JP6098794B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置及び検査方法に係り、更に詳しくは、光偏向器の検査装置及び検査方法に関する。

電子写真の画像記録では、レーザを用いた画像形成装置が広く用いられている。この画像形成装置では、光源から射出されたレーザ光を光偏向器で偏向し、該偏向されたレーザ光を用いて、表面が感光性を有するドラム状部材（以下では、「感光体ドラム」という）を走査し、感光体ドラムに潜像（静電潜像）を形成している。

一般的に用いられている光偏向器は、回転多面鏡（ポリゴンミラー）を有し、各鏡面が、光源から射出されたレーザ光を反射する。

例えば、特許文献１には、ポリゴンミラーのジッタ補正装置が開示されている。また、特許文献２には、ポリゴンミラーモータの測定装置が開示されている。

画像形成装置の画像品質に対する要求は、年々高くなってきている。そして、従来の検査装置で良とされた光偏向器を有する画像形成装置であっても、光偏向器に起因して画像品質が低下する場合があった。

本発明は、回転軸、及び該回転軸が回転すると該回転軸を中心にして回転する複数の反射面を有する光偏向器の検査装置であって、第１光源と、前記第１光源とは異なる第２の光源と、前記回転軸を回転させる駆動機構と、前記第１光源からの光を前記光偏向器に入射させる第１入射光学系と、前記光偏向器で反射された前記第１入射光学系からの光を受光する第１光検出器と、前記第２光源からの光を前記第１入射光学系とは異なる方向から前記光偏向器に入射させる第２入射光学系と、前記光偏向器で反射された前記第２入射光学系からの光を受光する第２光検出器と、前記第２光源、前記第２入射光学系、及び前記第２光検出器を一体として移動させ、前記光偏向器の反射面における前記第２入射光学系からの光の入射位置を変化させることが可能な移動機構と、前記第１光検出器の出力信号と前記第２光検出器の出力信号とに基づいて、前記複数の反射面の反射特性を求める処理装置と、を備え、前記処理装置は、前記第２入射光学系からの光が前記複数の反射面のうちの一の反射面における所定の基準位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第１計測値と、前記第２入射光学系からの光が前記一の反射面における前記基準位置とは異なる位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第２計測値とを求め、前記第２計測値と前記第１計測値の差に基づいて、前記一の反射面における前記基準位置での反射タイミングに対する前記異なる位置での反射タイミングのずれ量を求め、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第３計測値を更に求め、前記第３計測値に基づいて前記ずれ量を補正することを特徴とする検査装置である。

本発明の検査装置によれば、光偏向器における複数の反射面の反射特性を精度良く求めることができる。

本発明の一実施形態に係るカラープリンタの概略構成を示す図である。 図１における光走査装置Ａを説明するための図（その１）である。 図１における光走査装置Ａを説明するための図（その２）である。 図１における光走査装置Ｂを説明するための図（その１）である。 図１における光走査装置Ｂを説明するための図（その２）である。 本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成を示す図である。 ポリゴンミラーの各偏向反射面及びマークＭを説明するための図である。 反射面ａ及び反射面ｂを説明するための図である。 ｍ方向を説明するための図である。 ｍ方向に関する位置を説明するための図である。 面特定センサを説明するための図である。 面特定信号を説明するための図である。 面特定信号と各光検知信号との関係を説明するための図である。 光学系ｂの移動方向を説明するための図である。 光ＬＢｂの入射位置の変化を説明するための図である。 光ＬＢａの入射位置を説明するための図である。 ポリゴンミラーの反射特性計測処理を説明するためのフローチャート（その１）である。 ポリゴンミラーの反射特性計測処理を説明するためのフローチャート（その２）である。 ｋの値と光ＬＢｂの入射位置との関係を説明するための図である。 Ｄ１（ｔ）を説明するための図である。 ΔＤ１（ｔ）の一例を説明するための図である。 Ｅ１１（ｔ）を説明するための図である。 ΔＥｎｋ（ｔ）の一例を説明するための図である。 ΔＤ１（ｔ）／４の一例を説明するための図である。 ΔＴｎｋ（ｔ）の一例を説明するための図である。 ΔＴｎｋの一例を説明するための図である。

以下、本発明の一実施形態を図１〜図２６に基づいて説明する。図１には、一実施形態に係るカラープリンタ２０００の概略構成が示されている。

このカラープリンタ２０００は、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、２つの光走査装置（２０１０Ａ、２０１０Ｂ）、４つの感光体ドラム（２０３０ａ、２０３０ｂ、２０３０ｃ、２０３０ｄ）、４つのクリーニングユニット（２０３１ａ、２０３１ｂ、２０３１ｃ、２０３１ｄ）、４つの帯電装置（２０３２ａ、２０３２ｂ、２０３２ｃ、２０３２ｄ）、４つの現像ローラ（２０３３ａ、２０３３ｂ、２０３３ｃ、２０３３ｄ）、転写ベルト２０４０、転写ローラ２０４２、定着ローラ２０５０、給紙コロ２０５４、排紙ローラ２０５８、給紙トレイ２０６０、排紙トレイ２０７０、通信制御装置２０８０、及び上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置２０９０などを備えている。

通信制御装置２０８０は、ネットワークなどを介した上位装置（例えばパソコン）との双方向の通信を制御する。

プリンタ制御装置２０９０は、ＣＰＵ、該ＣＰＵにて解読可能なコードで記述されたプログラム及び該プログラムを実行する際に用いられる各種データなどが格納されているＲＯＭ、作業用のメモリであるＲＡＭ、アナログデータをデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器などを有している。そして、プリンタ制御装置２０９０は、上位装置からの要求に応じて各部を制御する。

感光体ドラム２０３０ａ、帯電装置２０３２ａ、現像ローラ２０３３ａ、及びクリーニングユニット２０３１ａは、組として使用され、ブラックの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｋステーション」ともいう）を構成する。

感光体ドラム２０３０ｂ、帯電装置２０３２ｂ、現像ローラ２０３３ｂ、及びクリーニングユニット２０３１ｂは、組として使用され、シアンの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｃステーション」ともいう）を構成する。

感光体ドラム２０３０ｃ、帯電装置２０３２ｃ、現像ローラ２０３３ｃ、及びクリーニングユニット２０３１ｃは、組として使用され、マゼンタの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｍステーション」ともいう）を構成する。

感光体ドラム２０３０ｄ、帯電装置２０３２ｄ、現像ローラ２０３３ｄ、及びクリーニングユニット２０３１ｄは、組として使用され、イエローの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｙステーション」ともいう）を構成する。

各感光体ドラムはいずれも、その表面に感光層が形成されている。すなわち、各感光体ドラムの表面がそれぞれ被走査面である。各感光体ドラムは、不図示の回転機構により、図１における面内で矢印方向に回転する。

各帯電装置は、対応する感光体ドラムの表面をそれぞれ均一に帯電させる。

光走査装置２０１０Ａは、プリンタ制御装置２０９０からのブラックの画像情報及びシアンの画像情報に基づいて色毎に変調された光によって、帯電された感光体ドラム２０３０ａ及び感光体ドラム２０３０ｂの表面をそれぞれ走査する。

光走査装置２０１０Ｂは、プリンタ制御装置２０９０からのマゼンタの画像情報及びイエローの画像情報に基づいて色毎に変調された光によって、帯電された感光体ドラム２０３０ｃ及び感光体ドラム２０３０ｄの表面をそれぞれ走査する。

これにより、画像情報に対応した潜像が各感光体ドラムの表面にそれぞれ形成される。ここで形成された潜像は、感光体ドラムの回転に伴って対応する現像ローラの方向に移動する。なお、各光走査装置の詳細については後述する。

ところで、各感光体ドラムにおける画像情報が書き込まれる走査領域は、「有効走査領域」、「画像形成領域」、「有効画像領域」などと呼ばれている。

各現像ローラは、回転に伴って、対応するトナーカートリッジ（図示省略）からのトナーが、その表面に薄く均一に塗布される。そして、各現像ローラの表面のトナーは、対応する感光体ドラムの表面に接すると、該表面における光が照射された部分にだけ移行し、そこに付着する。すなわち、各現像ローラは、対応する感光体ドラムの表面に形成された潜像にトナーを付着させて顕像化させる。ここでトナーが付着した像（トナー画像）は、感光体ドラムの回転に伴って転写ベルト２０４０の方向に移動する。

イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各トナー画像は、所定のタイミングで転写ベルト２０４０上に順次転写され、重ね合わされてカラー画像が形成される。

給紙トレイ２０６０には記録紙が格納されている。この給紙トレイ２０６０の近傍には給紙コロ２０５４が配置されており、該給紙コロ２０５４は、記録紙を給紙トレイ２０６０から１枚ずつ取り出す。該記録紙は、所定のタイミングで転写ベルト２０４０と転写ローラ２０４２との間隙に向けて送り出される。これにより、転写ベルト２０４０上のカラー画像が記録紙に転写される。カラー画像が転写された記録紙は、定着ローラ２０５０に送られる。

定着ローラ２０５０では、熱と圧力とが記録紙に加えられ、これによってトナーが記録紙上に定着される。トナーが定着された記録紙は、排紙ローラ２０５８を介して排紙トレイ２０７０に送られ、排紙トレイ２０７０上に順次積み重ねられる。

各クリーニングユニットは、対応する感光体ドラムの表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。残留トナーが除去された感光体ドラムの表面は、再度対応する帯電装置に対向する位置に戻る。

次に、前記光走査装置２０１０Ａの詳細について説明する。

この光走査装置２０１０Ａは、一例として図２及び図３に示されるように、２つの光源（２２００ａ、２２００ｂ）、２つのコリメートレンズ（２２０１ａ、２２０１ｂ）、２つの開口板（２２０３ａ、２２０３ｂ）、２つのシリンドリカルレンズ（２２０４ａ、２２０４ｂ）、ポリゴンミラー２１０４Ａ、２つの走査レンズ（２１０５ａ、２１０５ｂ）、２つの折り返しミラー（２１０６ａ、２１０６ｂ）、２つの集光レンズ（２１１２ａ、２１１２ｂ）、２つの同期検知センサ（２１１５ａ、２１１５ｂ）、及び不図示の走査制御装置Ａを有している。

ここでは、ＸＹＺ３次元直交座標系において、各感光体ドラムの長手方向（回転軸方向）に沿った方向をＹ軸方向、ポリゴンミラー２１０４Ａの回転軸に平行な方向をＺ軸方向として説明する。

各光源は、半導体レーザ及び該半導体レーザを駆動する駆動回路を有している。そして、各光源の駆動回路は、走査制御装置Ａによって制御される。

コリメートレンズ２２０１ａは、光源２２００ａから射出された光を略平行光とする。コリメートレンズ２２０１ｂは、光源２２００ｂから射出された光を略平行光とする。

開口板２２０３ａは、開口部を有し、コリメートレンズ２２０１ａを介した光のビーム径を調整する。開口板２２０３ｂは、開口部を有し、コリメートレンズ２２０１ｂを介した光のビーム径を調整する。

シリンドリカルレンズ２２０４ａは、開口板２２０３ａの開口部を通過した光を、ポリゴンミラー２１０４Ａの偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。シリンドリカルレンズ２２０４ｂは、開口板２２０３ｂの開口部を通過した光を、ポリゴンミラー２１０４Ａの偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。

ポリゴンミラー２１０４Ａは、回転多面鏡としての４面鏡を有し、各鏡面がそれぞれ偏向反射面（反射面）となる。この回転多面鏡は、不図示のポリゴンモータによって、回転軸まわりに等速回転し、各シリンドリカルレンズからの光を、それぞれ等角速度的に偏向する。ここでは、回転多面鏡は、内接円の直径が８ｍｍであり、時計回りに回転されるものとする。

シリンドリカルレンズ２２０４ａからの光は、ポリゴンミラー２１０４Ａの回転軸の−Ｘ側に位置する偏向反射面に入射し、シリンドリカルレンズ２２０４ｂからの光は、該回転軸の＋Ｘ側に位置する偏向反射面に入射する。

走査レンズ２１０５ａは、ポリゴンミラー２１０４Ａの−Ｘ側であって、ポリゴンミラー２１０４Ａで偏向された光の光路上に配置されている。走査レンズ２１０５ｂは、ポリゴンミラー２１０４Ａの＋Ｘ側であって、ポリゴンミラー２１０４Ａで偏向された光の光路上に配置されている。

折り返しミラー２１０６ａは、走査レンズ２１０５ａを介した光を感光体ドラム２０３０ａに導光する。折り返しミラー２１０６ｂは、走査レンズ２１０５ｂを介した光を感光体ドラム２０３０ｂに導光する。

各感光体ドラムの表面に形成された光スポットは、ポリゴンミラー２１０４Ａの回転に伴って、感光体ドラムの長手方向に移動する。このときの光スポットの移動方向が「主走査方向」であり、感光体ドラムの回転方向が「副走査方向」である。

同期検知センサ２１１５ａは、感光体ドラム２０３０ａにおける書き込み終了後の光を、集光レンズ２１１２ａを介して受光する位置に配置されている。同期検知センサ２１１５ｂは、感光体ドラム２０３０ｂにおける書き込み開始前の光を、集光レンズ２１１２ｂを介して受光する位置に配置されている。各同期検知センサは、同期検知信号を走査制御装置Ａに出力する。

走査制御装置Ａは、同期検知センサ２１１５ａからの同期検知信号に基づいて、感光体ドラム２０３０ａにおける書き込み開始タイミングを求め、同期検知センサ２１１５ｂからの同期検知信号に基づいて、感光体ドラム２０３０ｂにおける書き込み開始タイミングを求める。

次に、前記光走査装置２０１０Ｂの詳細について説明する。

この光走査装置２０１０Ｂは、一例として図４及び図５に示されるように、２つの光源（２２００ｃ、２２００ｄ）、２つのコリメートレンズ（２２０１ｃ、２２０１ｄ）、２つの開口板（２２０３ｃ、２２０３ｄ）、２つのシリンドリカルレンズ（２２０４ｃ、２２０４ｄ）、ポリゴンミラー２１０４Ｂ、２つの走査レンズ（２１０５ｃ、２１０５ｄ）、２つの折り返しミラー（２１０６ｃ、２１０６ｄ）、２つの集光レンズ（２１１２ｃ、２１１２ｄ）、２つの同期検知センサ（２１１５ｃ、２１１５ｄ）、及び不図示の走査制御装置Ｂを有している。

各感光体ドラムの長手方向（回転軸方向）に沿った方向はＹ軸方向、ポリゴンミラー２１０４Ｂの回転軸に平行な方向はＺ軸方向である。

各光源は、半導体レーザ及び該半導体レーザを駆動する駆動回路を有している。そして、各光源の駆動回路は、走査制御装置Ｂによって制御される。

コリメートレンズ２２０１ｃは、光源２２００ｃから射出された光を略平行光とする。コリメートレンズ２２０１ｄは、光源２２００ｄから射出された光を略平行光とする。

開口板２２０３ｃは、開口部を有し、コリメートレンズ２２０１ｃを介した光のビーム径を調整する。開口板２２０３ｄは、開口部を有し、コリメートレンズ２２０１ｄを介した光のビーム径を調整する。

シリンドリカルレンズ２２０４ｃは、開口板２２０３ｃの開口部を通過した光を、ポリゴンミラー２１０４Ｂの偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。シリンドリカルレンズ２２０４ｄは、開口板２２０３ｄの開口部を通過した光を、ポリゴンミラー２１０４Ｂの偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。

ポリゴンミラー２１０４Ｂは、回転多面鏡としての４面鏡を有し、各鏡面がそれぞれ偏向反射面（反射面）となる。この回転多面鏡は、不図示のポリゴンモータによって、回転軸まわりに等速回転し、各シリンドリカルレンズからの光を、それぞれ等角速度的に偏向する。ここでは、回転多面鏡は、内接円の直径が８ｍｍであり、時計回りに回転されるものとする。

シリンドリカルレンズ２２０４ｃからの光は、ポリゴンミラー２１０４Ｂの回転軸の−Ｘ側に位置する偏向反射面に入射し、シリンドリカルレンズ２２０４ｄからの光は、該回転軸の＋Ｘ側に位置する偏向反射面に入射する。

走査レンズ２１０５ｃは、ポリゴンミラー２１０４Ｂの−Ｘ側であって、ポリゴンミラー２１０４Ｂで偏向された光の光路上に配置されている。走査レンズ２１０５ｄは、ポリゴンミラー２１０４Ｂの＋Ｘ側であって、ポリゴンミラー２１０４Ｂで偏向された光の光路上に配置されている。

折り返しミラー２１０６ｃは、走査レンズ２１０５ｃを介した光を感光体ドラム２０３０ｃに導光する。折り返しミラー２１０６ｄは、走査レンズ２１０５ｄを介した光を感光体ドラム２０３０ｄに導光する。

各感光体ドラムの表面に形成された光スポットは、ポリゴンミラー２１０４Ｂの回転に伴って、感光体ドラムの長手方向に移動する。このときの光スポットの移動方向が「主走査方向」であり、感光体ドラムの回転方向が「副走査方向」である。

同期検知センサ２１１５ｃは、感光体ドラム２０３０ｃにおける書き込み終了後の光を、集光レンズ２１１２ｃを介して受光する位置に配置されている。同期検知センサ２１１５ｄは、感光体ドラム２０３０ｄにおける書き込み開始前の光を、集光レンズ２１１２ｄを介して受光する位置に配置されている。各同期検知センサは、同期検知信号を走査制御装置Ｂに出力する。

走査制御装置Ｂは、同期検知センサ２１１５ｃからの同期検知信号に基づいて、感光体ドラム２０３０ｃにおける書き込み開始タイミングを求め、同期検知センサ２１１５ｄからの同期検知信号に基づいて、感光体ドラム２０３０ｄにおける書き込み開始タイミングを求める。

ここで、カラープリンタ２０００の製造工程の１つである検査工程で行われるポリゴンミラーの反射特性計測処理について説明する。

図６には、この反射特性計測処理で用いられる検査装置１０００が示されている。

この検査装置１０００は、２つの光源（１００ａ、１００ｂ）、２つの射出光用コリメートレンズ（１０１ａ、１０１ｂ）、２つの開口板（１０２ａ、１０２ｂ）、２つの射出光用シリンドリカルレンズ（１０３ａ、１０３ｂ）、２つの反射光用シリンドリカルレンズ（１０４ａ、１０４ｂ）、２つの反射光用コリメートレンズ（１０５ａ、１０５ｂ）、２つの光検知センサ（１０６ａ、１０６ｂ）、面特定センサ１１０、検査対象のポリゴンミラー２１０４を回転させる駆動機構１１１、移動機構１１２、処理装置１２０、入力装置１２１、表示装置１２２、印字装置１２３などを有している。なお、ポリゴンミラー２１０４の回転軸に平行な方向はＺ軸方向である。

入力装置１２１は、キーボード等の入力媒体を備え、作業者から入力された各種情報を処理装置１２０に通知する。

表示装置１２２は、液晶ディスプレイ等の表示部を備え、処理装置１２０から指示された各種情報を表示する。

印字装置１２３は、プリンタを備え、処理装置１２０から指示された各種情報を紙などの記録媒体に印刷する。

各光源は、半導体レーザ及び該半導体レーザを駆動する駆動回路を有している。そして、各光源の駆動回路は、処理装置１２０によって制御される。以下では、便宜上、光源１００ａから射出される光を「光ＬＢａ」といい、光源１００ｂから射出される光を「光ＬＢｂ」という。

射出光用コリメートレンズ１０１ａは、光源１００ａから射出された光ＬＢａを略平行光とする。射出光用コリメートレンズ１０１ｂは、光源１００ｂから射出された光ＬＢｂを略平行光とする。各射出光用コリメートレンズの焦点距離は１５ｍｍである。

開口板１０２ａは、開口部を有し、射出光用コリメートレンズ１０１ａを介した光ＬＢａのビーム径を調整する。開口板１０２ｂは、開口部を有し、射出光用コリメートレンズ１０１ｂを介した光ＬＢｂのビーム径を調整する。各開口板の開口部の大きさは、Ｚ軸方向の長さが１．９ｍｍ、Ｚ軸方向に直交する方向の長さが２．０ｍｍである。

射出光用シリンドリカルレンズ１０３ａは、開口板１０２ａの開口部を通過した光ＬＢａを、ポリゴンミラー２１０４の偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。射出光用シリンドリカルレンズ１０３ｂは、開口板１０２ｂの開口部を通過した光ＬＢｂを、ポリゴンミラー２１０４の偏向反射面近傍にＺ軸方向に関して結像する。

反射光用シリンドリカルレンズ１０４ａは、ポリゴンミラー２１０４で反射された光ＬＢａを略平行光にする。反射光用シリンドリカルレンズ１０４ｂは、ポリゴンミラー２１０４で反射された光ＬＢｂを略平行光にする。各反射光用シリンドリカルレンズのＺ軸方向に関する焦点距離は１２４．８ｍｍである。

反射光用コリメートレンズ１０５ａは、反射光用シリンドリカルレンズ１０４ａを介した光ＬＢａを集光する。反射光用コリメートレンズ１０５ｂは、反射光用シリンドリカルレンズ１０４ｂを介した光ＬＢｂを集光する。各反射光用コリメートレンズの焦点距離は１００ｍｍである。

光検知センサ１０６ａは、反射光用コリメートレンズ１０５ａを介した光ＬＢａを受光する。光検知センサ１０６ｂは、反射光用コリメートレンズ１０５ｂを介した光ＬＢｂを受光する。

各光検知センサは、光検知信号を処理装置１２０に出力する。各光検知センサは、受光光量が所定の値よりも小さいときに光検知信号が「ハイレベル」となり、受光光量が所定の値以上のときに光検知信号が「ローレベル」となるように構成されている。すなわち、光検知センサが光を受光すると、光検知信号は「ハイレベル」から「ローレベル」に変化する。以下では、便宜上、光検知センサ１０６ａからの光検知信号を「光検知信号ａ」、光検知センサ１０６ｂからの光検知信号を「光検知信号ｂ」ともいう。

ポリゴンミラー２１０４に入射する光ＬＢａの主光線の進行方向と、光検知センサ１０６ａに向かう光ＬＢａの主光線の進行方向とのなす角θａは１．０°である。また、ポリゴンミラー２１０４に入射する光ＬＢｂの主光線の進行方向と、光検知センサ１０６ｂに向かう光ＬＢｂの主光線の進行方向とのなす角θｂは１．０°である。

光源１００ａと、射出光用コリメートレンズ１０１ａと、開口板１０２ａと、射出光用シリンドリカルレンズ１０３ａと、反射光用シリンドリカルレンズ１０４ａと、反射光用コリメートレンズ１０５ａと、光検知センサ１０６ａとからなる光学部品群を「光学系ａ」ともいう。

同様に、光源１００ｂと、射出光用コリメートレンズ１０１ｂと、開口板１０２ｂと、射出光用シリンドリカルレンズ１０３ｂと、反射光用シリンドリカルレンズ１０４ｂと、反射光用コリメートレンズ１０５ｂと、光検知センサ１０６ｂとからなる光学部品群を「光学系ｂ」ともいう。

駆動機構１１１は、処理装置１２０の指示に応じて、検査対象のポリゴンミラー２１０４の回転軸を時計回りに回転させる。駆動機構１１１は、回転軸の回転速度を検出するためのセンサを有し、該センサの出力信号を処理装置１２０に送出する。

ここでは、図７に示されるように、ポリゴンミラー２１０４の４つの偏向反射面を、時計回りに「面１」、「面２」、「面３」、「面４」とする。そして、ポリゴンミラー２１０４の＋Ｚ側の表面には、該表面の中心部から面１と面４との間の角部に向かう直線状のマークＭが付加されている。なお、以下では、偏向反射面を特定する必要がないときは、マークＭの図示を省略する。

また、以下では、便宜上、光ＬＢａが入射する偏向反射面を「反射面ａ」、光ＬＢｂが入射する偏向反射面を「反射面ｂ」ともいう（図８参照）。例えば、反射面ａが面１であるタイミングでは、反射面ｂは面２である。

また、各偏向反射面において、その長手方向を「ｍ方向」、該長手方向の寸法を長さＬとする（図９参照）。そして、ｍ方向に関して、偏向反射面の中心位置を０、偏向反射面の両端位置を−Ｌ／２及びＬ／２とする（図１０参照）。ここでは、Ｌ＝８ｍｍである。

面特定センサ１１０は、一例として図１１に示されるように、ポリゴンミラー２１０４の＋Ｚ側に配置され、ポリゴンミラー２１０４の＋Ｚ側の表面に光を照射する光源（図示省略）、及び該表面で反射された光を受光する光検出器（図示省略）を有している。そして、面特定センサ１１０は、マークＭを検知すると、「ハイレベル」から「ローレベル」に変化する面特定信号を、処理装置１２０に出力する（図１２参照）。

そこで、処理装置１２０は、一例として図１３に示されるように、面特定信号に基づいて、光検知センサ１０６ａが光ＬＢａを受光したときの反射面ａが、面１、面２、面３、面４のいずれであるかを特定することができる。そして、光検知センサ１０６ｂが光ＬＢｂを受光したときの反射面ｂが、面１、面２、面３、面４のいずれであるかも特定することができる。

移動機構１１２は、処理装置１２０の指示に応じて、光学系ｂを、光検知センサ１０６ｂがｍ＝０の位置で反射された光ＬＢｂを受光するタイミングにおける、反射面ｂのｍ方向に関して移動させる（図１４参照）。そこで、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置をｍ方向に関して移動させることができる（図１５参照）。

すなわち、移動機構１１２は、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置が変化しても、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射方向が変化しないように、光学系ｂを移動させる。

また、移動機構１１２は、光学系ｂの移動方向に関する光学系ｂの位置情報を処理装置１２０に送出する。これにより、処理装置１２０は、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置を知ることができる。

一方、光学系ａは、光検知センサ１０６ａが光ＬＢａを受光するタイミングで、反射面ａのｍ方向に関して、反射面ａの中心位置、すなわち、ｍ＝０の位置に光ＬＢａが入射するように位置が固定されている（図１６参照）。

次に、検査装置１０００を用いて行われるポリゴンミラーの反射特性計測処理について図１７及び図１８を用いて説明する。図１７及び図１８のフローチャートは、処理装置１２０によって実行される一連の処理アルゴリズムに対応している。この反射特性計測処理は、入力装置１２１を介した作業者の指示により開始される。なお、検査対象のポリゴンミラー２１０４は、すでに所定位置に取り付けられているものとする。

最初のステップＳ４０１では、光源１００ａ及び光源１００ｂを点灯させる。

次のステップＳ４０３では、駆動機構１１１を介して、ポリゴンミラー２１０４を所定の回転速度で回転させる。

次のステップＳ４０５では、駆動機構１１１の出力信号に基づいて、ポリゴンミラー２１０４の回転が安定したか否かを判断する。ポリゴンミラー２１０４の回転が安定していなければ、ここでの判断は否定され、ステップＳ４０７に移行する。

このステップＳ４０７では、予め設定されている時間だけ待機した後、上記ステップＳ４０５に戻る。

ポリゴンミラー２１０４の回転が安定すると、ステップＳ４０５での判断は肯定され、ステップＳ４０９に移行する。

次のステップＳ４０９では、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置を特定するための入射位置番号が格納される変数ｋに初期値１をセットする。ここでは、一例として図１９に示されるように、ｍ方向に関する位置が、−ｍ３、−ｍ２、−ｍ１、０、ｍ１、ｍ２、ｍ３の７箇所を入射位置とする。具体的には、ｍ１＝１ｍｍ、ｍ２＝２ｍｍ、ｍ３＝３ｍｍである。そして、ｋ＝１はｍ＝−ｍ３の入射位置、ｋ＝２はｍ＝−ｍ２の入射位置、ｋ＝３はｍ＝−ｍ１の入射位置、ｋ＝４はｍ＝０の入射位置、ｋ＝５はｍ＝ｍ１の入射位置、ｋ＝６はｍ＝ｍ２の入射位置、ｋ＝７はｍ＝ｍ３の入射位置を示す。なお、反射面ｂのｍ方向に関して、変数ｋに格納されている入射位置番号に対応する位置を入射位置ｋという。

次のステップＳ４１１では、光検知センサ１０６ｂが光ＬＢｂを受光するタイミングで入射位置ｋに光ＬＢｂが入射するように、移動機構１１２を介して光学系ｂの位置を制御する。

次のステップＳ４１３では、タイマカウンタＴＣの値を０リセットする。なお、このタイマカウンタＴＣのカウントアップは、一定時間毎に実行されるタイマ割り込み処理で行われるようになっている。

次のステップＳ４１５では、面特定信号、光検知信号ａ、及び光検知信号ｂの取得を開始する。面特定信号、光検知信号ａ、及び光検知信号ｂの取得は、所定のサンプリング時間毎に行われ、取得結果は、変数ｋの値と対応付けされて、処理装置１２０の不図示のメモリに格納される。

次のステップＳ４１７では、タイマカウンタＴＣの値が予め設定されている時間に対応する値Ｎ以上であるか否かを判断する。タイマカウンタＴＣの値がＮ未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４１９に移行する。

このステップＳ４１９では、予め設定されている時間だけ待機した後、上記ステップＳ４１７に戻る。なお、待機中は、面特定信号、光検知信号ａ、及び光検知信号ｂの取得が継続される。

タイマカウンタＴＣの値がＮ以上になると、ステップＳ４１７での判断は肯定され、ステップＳ４２１に移行する。

このステップＳ４２１では、面特定信号、光検知信号ａ、及び光検知信号ｂの取得を停止する。

次のステップＳ４２３では、変数ｋの値が７以上であるか否かを判断する。変数ｋの値が７未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４２５に移行する。

このステップＳ４２５では、変数ｋの値を＋１して前記ステップＳ４１１に戻る。

以下、ステップＳ４２３での判断が肯定されるまで、ステップＳ４１１〜ステップＳ４２５の処理を繰り返す。

変数ｋの値が７以上になると、ステップＳ４２３での判断は肯定され、ステップＳ４２７に移行する。

このステップＳ４２７では、光源１００ａ及び光源１００ｂを消灯させる。

次のステップＳ４２９では、駆動機構１１１を介して、ポリゴンミラー２１０４の回転を停止させる。

次のステップＳ４４１では、メモリに格納されている面特定信号と光検知信号ａとから、光検知センサ１０６ａが面１で反射された光ＬＢａを受光してから、次に光検知センサ１０６ａが面１で反射された光ＬＢａを受光する時間間隔Ｄ１を求める。なお、時間間隔Ｄ１は、ポリゴンミラー２１０４を回転させた時間（累積回転時間）に応じて複数求めることができる。そこで、取得された各時間間隔Ｄ１を、それらが取得されたタイミングと結びつけて、Ｄ１（ｔ）と表示する（図２０参照）。

次のステップＳ４４３では、複数のＤ１（ｔ）の平均値ＡＤ１を算出する。ここでは、ＡＤ１は０．００２秒であった。

次のステップＳ４４５では、各Ｄ１（ｔ）と平均値ＡＤ１との差ΔＤ１（ｔ）を求める。図２１には、ΔＤ１（ｔ）とポリゴンミラー２１０４の累積回転時間ｔとの関係の一例が示されている。この関係は、ポリゴンミラー２１０４の回転むらを示している。

次のステップＳ４４７では、測定対象の偏向反射面を特定するための面番号が格納される変数ｎに初期値１をセットする。なお、面番号１は面１を示し、面番号２は面２を示し、面番号３は面３を示し、面番号４は面４を示す。また、変数ｎに格納されている面番号に対応する偏向反射面を面ｎという。

次のステップＳ４４９では、変数ｋの値と対応付けされてメモリに格納されている面特定信号と光検知信号ａと光検知信号ｂとから、変数ｋの値毎に、光検知センサ１０６ａが面ｎで反射された光ＬＢａを受光してから、次に光検知センサ１０６ｂが面ｎで反射された光ＬＢａを受光する時間間隔Ｅｎｋを求める。

ここで、符号Ｅｎｋのｎは、変数ｎの値を意味し、符号Ｅｎｋのｋは、変数ｋの値を意味している。なお、時間間隔Ｅｎｋは、ポリゴンミラー２１０４を回転させた時間に応じて複数求めることができる。そこで、取得された各時間間隔Ｅｎｋを、それらが取得されたタイミングと結びつけて、Ｅｎｋ（ｔ）と表示する。なお、ｎ＝１、ｋ＝１の場合のＥｎｋ（ｔ）、すなわち、Ｅ１１（ｔ）の例が図２２に示されている。

次のステップＳ４５１では、変数ｋの値毎に、次の（１）式を用いて、ΔＥｎｋ（ｔ）を求める。ΔＥｎｋ（ｔ）の一例が図２３に示されている。

ΔＥｎｋ（ｔ）＝Ｅｎｋ（ｔ）−Ｅｎ４（ｔ） ……（１）

次のステップＳ４５３では、変数ｋの値毎に、次の（２）式を用いて、ΔＴｎｋ（ｔ）を求める。これにより、ΔＥｎｋ（ｔ）に含まれている回転むらの影響を補正することができる。ΔＤ１（ｔ）／４の一例が図２４に示され、ΔＴｎｋ（ｔ）の一例が図２５に示されている。なお、（２）式において、ΔＤ１（ｔ）を１／４倍するのは、光ＬＢａを反射した面１が、次に光ＬＢｂを反射するまでに、ポリゴンミラー２１０４が１／４回転することによる。

ΔＴｎｋ（ｔ）＝ΔＥｎｋ（ｔ）−ΔＤ１（ｔ）／４ ……（２）

次のステップＳ４５５では、変数ｋの値毎に、ΔＴｎｋ（ｔ）の平均値ΔＴｎｋを算出する。図２５の例では、ΔＴｎｋ＝７．４４９０３ｎｓｅｃ（ナノ秒）であった。

ここで算出されたΔＴｎｋは、面ｎの反射特性を示している。例えば、ΔＴ１１は、面１において、ｍ＝０の位置で反射された光ＬＢｂが光検知センサ１０６ｂで受光されるタイミングに対する、ｍ＝−ｍ３の位置（ｋ＝１）で反射された光ＬＢｂが光検知センサ１０６ｂで受光されるタイミングのずれ量である。このずれ量は、ｍ＝０の位置での接線方向とｍ＝−ｍ３の位置での接線方向との角度差に対応している。

そして、ΔＴｎｋは、できるだけ０に近いほうが好ましい。

次のステップＳ４５７では、変数ｎの値が４以上であるか否かを判断する。変数ｎの値が４未満であれば、ここでの判断は否定され、ステップＳ４５９に移行する。

このステップＳ４５９では、変数ｎの値を＋１する。そして、上記ステップＳ４４９に戻る。

以下、ステップＳ４５７での判断が肯定されるまで、ステップＳ４４９〜ステップＳ４５９の処理を繰り返す。

変数ｎの値が４以上になると、ステップＳ４５７での判断は肯定され、ステップＳ４６１に移行する。

このステップＳ４６１では、反射特性計測処理の結果を、表示装置１２２の表示部に表示するとともに、印字装置１２３を介して紙などの記録媒体に印刷する。そして、反射特性計測処理を終了する。図２６には、この反射特性計測処理で得られた各偏向反射面の複数位置での反射タイミングのずれ量の一例が示されている。

そして、反射特性計測処理で得られた全ての偏向反射面の複数位置での反射タイミングのずれ量が許容範囲内のポリゴンミラーのみが、光走査装置２０１０Ａ及び光走査装置２０１０Ｂに組み付けられる。そこで、カラープリンタ２０００は、所望の画像品質を担保することができる。

ところで、光走査装置に用いられるポリゴンミラーは、組み付け誤差により、偏向反射面に入射する光の位置は必ずしも設計位置と一致しない。そこで、光の入射位置が多少ずれても、所望のタイミングで反射されることが、画像品質の低下を抑制するのに必要である。ポリゴンミラーの偏向反射面の表面形状は、例えば表面形状測定器を用いて精度良く測定することが可能である。しかしながら、発明者らは、表面粗さが小さくても、光の反射位置による反射タイミングのずれ量が大きい場合があり、反対に、表面粗さが有る程度大きくても、光の反射位置による反射タイミングのずれ量が小さい場合があるという新たな知見を得た。すなわち、偏向反射面の表面粗さでポリゴンミラーの良否を判断すると、不良品が混入したり、良品が除外されるおそれがある。

そこで、発明者らは、光の反射位置による反射タイミングのずれ量を実測することができる検査装置及び検査方法を考案した。これにより、ポリゴンミラーの良否を正しく判断することが可能となった。

以上の説明から明らかなように、上記実施形態に係る検査装置１０００では、光源１００ａによって第１光源が構成され、射出光用コリメートレンズ１０１ａと開口板１０２ａと射出光用シリンドリカルレンズ１０３ａとによって第１入射光学系が構成され、光検知センサ１０６ａによって第１光検出器が構成されている。また、光源１００ｂによって第２光源が構成され、射出光用コリメートレンズ１０１ｂと開口板１０２ｂと射出光用シリンドリカルレンズ１０３ｂとによって第２入射光学系が構成され、光検知センサ１０６ｂによって第２光検出器が構成されている。さらに、ポリゴンミラー２１０４の４つの偏向反射面が光偏向器の複数の反射面を構成している。そして、上記反射特性計測処理において、本発明の検査方法が実施されている。

また、Ｅｎ４（ｔ）が第１計測値であり、Ｅｎ１（ｔ）、Ｅｎ２（ｔ）、Ｅｎ３（ｔ）、Ｅｎ５（ｔ）、Ｅｎ６（ｔ）、Ｅｎ７（ｔ）がそれぞれ第２計測値であり、ΔＤ１（ｔ）が第３計測値である。そして、ｍ＝０の位置が基準位置である。

以上説明したように、本実施形態に係る検査装置１０００によると、２つの光源（１００ａ、１００ｂ）、２つの射出光用コリメートレンズ（１０１ａ、１０１ｂ）、２つの開口板（１０２ａ、１０２ｂ）、２つの射出光用シリンドリカルレンズ（１０３ａ、１０３ｂ）、２つの反射光用シリンドリカルレンズ（１０４ａ、１０４ｂ）、２つの反射光用コリメートレンズ（１０５ａ、１０５ｂ）、２つの光検知センサ（１０６ａ、１０６ｂ）、面特定センサ１１０、駆動機構１１１、移動機構１１２、及び処理装置１２０などを有している。

移動機構１１２は、処理装置１２０の指示に応じて、反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置が変化しても、光ＬＢｂの入射方向が変化しないように、光学系ｂを移動させる。

処理装置１２０は、移動機構１１２を介して反射面ｂにおける光ＬＢｂの入射位置を変化させつつ、面特定信号、光検知信号ａ、及び光検知信号ｂを取得する。

そして、処理装置１２０は、面特定信号、光検知信号ａ、及び光ＬＢｂが反射面ｂにおけるｍ＝０の位置（基準位置）に入射されたときの光検知信号ｂに基づいて、光検知センサ１０６ａが一の偏向反射面（一の反射面）で反射された光ＬＢａを受光してから、次に光検知センサ１０６ｂが同じ一の偏向反射面で反射された光ＬＢｂを受光するまでの時間間隔である第１計測値としてＥｎ４（ｔ）を求める。

次に、処理装置１２０は、面特定信号、光検知信号ａ、及び光ＬＢｂが反射面ｂにおけるｍ＝０とは異なる位置に入射されたときの光検知信号ｂに基づいて、光検知センサ１０６ａが一の偏向反射面（一の反射面）で反射された光を受光してから、次に光検知センサ１０６ｂが同じ一の偏向反射面で反射された光ＬＢｂを受光するまでの時間間隔である第２計測値としてＥｎ１（ｔ）、Ｅｎ２（ｔ）、Ｅｎ３（ｔ）、Ｅｎ５（ｔ）、Ｅｎ６（ｔ）、Ｅｎ７（ｔ）を求める。

さらに、処理装置１２０は、偏向反射面毎に、第２計測値と第１計測値の差に基づいて、基準位置での反射タイミングに対する該基準位置とは異なる位置での反射タイミングのずれ量を反射特性として求める。

また、処理装置１２０は、光検知センサ１０６ａが面１で反射された光ＬＢａを受光してから、次に光検知センサ１０６ａが面１で反射された光ＬＢａを受光するまでの時間間隔である第３計測値としてΔＤ１（ｔ）を更に求め、該第３計測値に基づいて上記ずれ量を補正する。

この場合は、高コスト化を招くことなく、各偏向反射面の反射特性を精度良く求めることができる。

そして、光走査装置２０１０Ａ及び光走査装置２０１０Ｂは、検査装置１０００を用いて検査され、各偏向反射面の反射特性が許容範囲内とされたポリゴンミラーを備えている。そこで、各感光体ドラムに所望の静電潜像を形成することができる。

そして、カラープリンタ２０００は、光走査装置２０１０Ａと光走査装置２０１０Ｂを備えているため、所望の画像品質を担保することができる。

なお、上記実施形態において、ポリゴンミラー２１０４の回転むらが小さい場合、あるいは、カラープリンタ２０００で回転むらの補正処理が行われる場合は、上記反射特性計測処理におけるずれ量の補正（ステップＳ４５３）は不要である。

また、上記実施形態では、面１を用いて第３計測値を求める場合について説明したが、これに限定されるものではない。面２〜面４のいずれかを用いて第３計測値を求めても良い。

また、上記実施形態では、ポリゴンミラー２１０４が４つの偏向反射面を有している場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ポリゴンミラー２１０４が６つの偏向反射面を有していても良い。

また、上記実施形態では、画像形成装置として４つの感光体ドラムを有するカラープリンタについて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、２つの感光体ドラムを有するプリンタであっても良い。この場合は、光走査装置２０１０Ａ又は光走査装置２０１０Ｂを用いることができる。また、更に補助色を用いるカラープリンタであっても良い。

また、上記実施形態では、トナー像が感光体ドラムから中間転写ベルトを介して記録紙に転写される画像形成装置について説明したが、これに限定されるものではなく、トナー像が感光体ドラムから記録紙に直接転写される画像形成装置であっても良い。

また、上記実施形態では、画像形成装置として、カラープリンタの場合について説明したが、これに限らず、プリンタ以外の画像形成装置、例えば、複写機、ファクシミリ、又は、これらが集約された複合機であっても良い。

また、上記実施形態では、ポリゴンミラーが画像形成装置に用いられる場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、プロジェクタ装置に用いられても良い。この場合、検査装置１０００を用いて検査され、各偏向反射面の反射特性が許容範囲内とされたポリゴンミラーを用いることにより、高画質の画像を投影することができる。

１００ａ…光源（第１光源）、１００ｂ…光源（第２光源）、１０１ａ…射出光用コリメートレンズ（第１入射光学系の一部）、１０１ｂ…射出光用コリメートレンズ（第２入射光学系の一部）、１０２ａ…開口板（第１入射光学系の一部）、１０２ｂ…開口板（第２入射光学系の一部）、１０３ａ…射出光用シリンドリカルレンズ（第１入射光学系の一部）、１０３ｂ…射出光用シリンドリカルレンズ（第２入射光学系の一部）、１０４ａ…反射光用シリンドリカルレンズ、１０４ｂ…反射光用シリンドリカルレンズ、１０５ａ…反射光用コリメートレンズ、１０５ｂ…反射光用コリメートレンズ、１０６ａ…光検知センサ（第１光検出器）、１０６ｂ…光検知センサ（第２光検出器）、１１０…面特定センサ、１１１…駆動機構、１１２…移動機構、１２０…処理装置、１０００…検査装置、２０００…カラープリンタ（画像形成装置）、２０１０Ａ…光走査装置、２０１０Ｂ…光走査装置、２０３０ａ〜２０３０ｄ…感光体ドラム（像担持体）、２１０４Ａ…ポリゴンミラー（光偏向器）、２１０４Ｂ…ポリゴンミラー（光偏向器）。

特開平７−１５９７１５号公報 特許第４６６１１６７号公報

Claims (4)

1. 回転軸、及び該回転軸が回転すると該回転軸を中心にして回転する複数の反射面を有する光偏向器の検査装置であって、
   第１光源と、
   前記第１光源とは異なる第２の光源と、
   前記回転軸を回転させる駆動機構と、
   前記第１光源からの光を前記光偏向器に入射させる第１入射光学系と、
   前記光偏向器で反射された前記第１入射光学系からの光を受光する第１光検出器と、
   前記第２光源からの光を前記第１入射光学系とは異なる方向から前記光偏向器に入射させる第２入射光学系と、
   前記光偏向器で反射された前記第２入射光学系からの光を受光する第２光検出器と、
   前記第２光源、前記第２入射光学系、及び前記第２光検出器を一体として移動させ、前記光偏向器の反射面における前記第２入射光学系からの光の入射位置を変化させることが可能な移動機構と、
   前記第１光検出器の出力信号と前記第２光検出器の出力信号とに基づいて、前記複数の反射面の反射特性を求める処理装置と、を備え、
   前記処理装置は、
   前記第２入射光学系からの光が前記複数の反射面のうちの一の反射面における所定の基準位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第１計測値と、
   前記第２入射光学系からの光が前記一の反射面における前記基準位置とは異なる位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第２計測値とを求め、
   前記第２計測値と前記第１計測値の差に基づいて、前記一の反射面における前記基準位置での反射タイミングに対する前記異なる位置での反射タイミングのずれ量を求め、
   前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第３計測値を更に求め、前記第３計測値に基づいて前記ずれ量を補正することを特徴とする検査装置。
2. 前記移動機構は、前記第２入射光学系からの光の入射位置が所定の基準位置のときに、前記光偏向器の反射面で反射された前記第２入射光学系からの光が前記第２光検出器で受光されるタイミングでの、該反射面に平行な方向に、前記第２光源、前記第２入射光学系、及び前記第２光検出器を一体として移動させることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 回転軸、及び該回転軸が回転すると該回転軸を中心にして回転する複数の反射面を有する光偏向器の検査方法であって、
   前記光偏向器で反射された第１の光を第１光検出器で受光し、前記第１の光とは異なる方向から前記光偏向器の反射面における光の入射位置を変化させながら前記光偏向器に入射され前記光偏向器で反射された第２の光を第２光検出器で受光し、前記第１光検出器の出力信号と、前記第２の光の入射位置毎の前記第２光検出器の出力信号とに基づいて、前記複数の反射面の反射特性を求め、
   前記第２の光が前記複数の反射面のうちの一の反射面における所定の基準位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第１計測値と、
   前記第２の光が前記一の反射面における前記基準位置とは異なる位置に入射されるときに、前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第２光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第２計測値とを求め、
   前記第２計測値と前記第１計測値の差に基づいて、前記一の反射面における前記基準位置での反射タイミングに対する前記異なる位置での反射タイミングのずれ量を求め、
   前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光してから、次に前記第１光検出器が前記一の反射面で反射された光を受光するまでの時間間隔である第３計測値を更に求め、前記第３計測値に基づいて前記ずれ量を補正することを特徴とする検査方法。
4. 前記第２の光の入射位置が変化しても、前記第２の光の入射方向は変化しないことを特徴とする請求項３に記載の検査方法。
   

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