JP6098189B2 - 光コネクタの製造方法、及び光コネクタ製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、光導波路用光コネクタの製造方法と、これにより製造された光コネクタに関する

光信号は、高速、大容量の信号伝送に適しており、長距離の基幹通信システムではすでに光通信が実用化されている。コンピュータなどの情報系装置においても、信号の高速化により装置間で光信号の送受信が実用化されている。現在は、装置内、ボード内への光信号の導入が視野に入ってきている。

装置内、ボード内で光信号を送受信する場合、光信号の配線数は非常に多くなることが予想され、複数本の光ファイバを一括して接続する光コネクタが開発されている。ＭＴコネクタと呼ばれるもので、日本工業規格（JIS C5981、「Ｆ１２形多心光ファイバコネクタ（ＭＴコネクタ）」）で規格化されている。２本のガイドピンを用いてフェルールを嵌合させる構造であり、ピンがコアの位置基準となる。ＭＴフェルールにおいて、ガイドピン穴と光ファイバ挿入穴を精密成型により同時形成することで、コア位置の精度を担保している。ＭＴコネクタの規格によると、ピン穴から決まる位置に対して、シングルモード光ファイバ用で１．４μｍ以下、マルチモード光ファイバ用で３μｍ以下の精度で光ファイバ挿入穴が形成される。

光配線としては、光ファイバの他に光導波路も用いられる。光導波路はフォトリソグラフィー技術を用いて製造可能であることから、簡便に任意のパッターンの光配線を実現できるメリットがある。光導波路は主にポリマー材料が用いられ、ガラス材料が主体の光ファイバとは異なり、折れにくく扱いやすい長所がある。光導波路用光コネクタは、ＭＴコネクタと接続互換性のあるＰＭＴコネクタが日本電子回路工業会において規格化されている（非特許文献１参照）。

ＰＭＴコネクタは、図１に示すように、ガイドピン穴１０４が形成されているフェルール本体１０１に、帯状に切断された光導波路１２０をブーツ１０３で保持して挿入し、蓋１０２をかぶせる（図１（Ａ））。光導波路１２０を接着剤１０５で接着してフェルール１１０を組み立て（図１（Ｂ））、必要であれば端面１１０Ａを研磨して完成するものである（図１（Ｃ））。

ＰＭＴコネクタの規格にはコア位置の精度についての規定はないが、低損失で光接続するためにＭＴコネクタと同等の位置精度が望まれる。その精度を実現するためには、(a)コアが規定のピッチで並び、かつ(b)底面からコア中心高さ精度が±３μｍとなる光導波路を作製し、(c)コア配置の中心点から均等に±１５μｍの精度で帯状に切り出し、(d)光導波路の底面側の接着剤厚みが極めて薄くなるようにＰＭＴフェルールの溝に接着する。(a)のコアのピッチについては、マスク露光を行うことで比較的容易に実現できる。しかし、(b)〜(d)はＰＭＴ組立工程のほとんどすべての段階が対象になっているため、製造が難しく、性能（接続損失）のばらつきが大きくなりやすい。製造コストにも影響する。

これに対して、コアそのものでフェルール内の光導波路の位置を規定する提案がされている（たとえば、非特許文献２〜４参照）。上述した問題は、コア位置を光導波路外形に変換しているために生じているが、コアそのものでピン穴に対する位置決めができれば、上記の問題は解決される。具体的には、コア配列の外側にアライメント用のダミーコアを形成する。ダミーコアは、コアと同じフォトマスクを用いて形成されるので、コアに対して正確な位置関係を有する。上部クラッドをダミーコアの少なくとも一部がむき出しになるように形成する。光コネクタのフェルールには、ダミーコアを受け取るガイドが形成されており、ダミーコアをガイド内に配置することでフェルール内の光導波路コアを正確な位置に配置している。

JPCA-PE03-01-07S-2006、「ＰＭＴ光コネクタの詳細規格」 平洋一、エレクトロニクス実装学会第３７回ＯＰＴ公開研究会資料、pp.1-9 (2008/11/19) Yoichi Taira, et al., "OE Device Integration for Optically Enabled MCM", 2007 ECTC, pp. 1262-1267 Hidetoshi Numata, et al. "MT-like Multi layer 48-channel Polymer Waveguide Connector using Novel Passive Alignment Structure", OSA/OFC/NFOEC 2011

しかし、ダミーコアの高さはコアと同じ５０μｍ程度である。柔らかいフィルム状の光導波路をわずか５０μｍの段差（ガイド）を用いて位置決めするのは難しい。さらに、ダミーコアを露出するために上部クラッドを露光・現像するので、光導波路の製造工程が複雑になるという問題がある。

そこで、光導波路の製造工程を複雑にすることなく、フェルール内の光導波路コアの位置精度を向上することのできる光コネクタの製造技術を提供することを課題とする。

一つの態様では、光コネクタの製造方法は、
複数の導波路コアを有する光導波路をフェルールに装着し、
前記フェルールの接続面に現れる前記複数の導波路コアの各々の中心座標を取得し、
前記中心座標を結ぶ近似直線と、前記複数の導波路コアの配列中心を算出し、
前記近似直線と前記配列中心とに基づいて、前記フェルールに２以上のガイドピン穴を形成する。

上記の手法により、光導波路の製造工程を複雑化することなく、フェルール内の光導波路コアの位置精度を高めることができる。その結果、ＭＴコネクタとの間でも低損失で光接続が実現する。

一般的なＰＭＴフェルールの組み立て工程図である。 第１実施形態の光コネクタの作製方法と構成を示す図である。 光導波路コアの中心座標の取得を説明する図である。 実施形態の光コネクタ製造装置を用いたコア位置の計測を示す図である。 実施形態の光コネクタ製造装置を用いたガイドピン穴の形成を示す図である。 第２実施形態の光コネクタの作製方法を示す図である。 第２実施形態の光コネクタの作製を示す図である。 比較例として、従来のＰＭＴフェルールを多連コネクタに適用した場合の構成を示す図である。 第３実施形態の光コネクタの作製方法と構成を示す図である。 図９の方法で作製される光コネクタと、４８心ＭＴコネクタとの対応関係を示す図である。 図９の変形例を示す図である。

光導波路コア（以下、適宜「コア」と称する）の位置精度を高めるために、実施形態では、コアを既存のガイドピン穴に合わせるのではなく、コアに合わせてガイドピン穴を形成する。光導波路をフェルールに接着後、光導波路のコア位置に対して最も誤差の少ない位置にガイドピン穴を形成することで、フェルール内の光導波路コアの位置精度が向上する。
＜第１実施形態＞

図２は、第１実施形態の光コネクタの製造工程図である。図２（Ａ）において、ガイドピン穴が形成されていないフェルール本体１１に、ブーツ１３に保持された光導波路２０を嵌め込み、蓋１２をかぶせる。フェルール本体１１、蓋１２、ブーツ１３は、樹脂の射出成形などにより作製される。光導波路２０は、公知の技術で作製可能、または商業的に入手可能である。光導波路２０は、フェルール本体１１の溝１１ｇに入るように、所定の幅に切断されている。切断時に光導波路２０のコアがダメージを受けない範囲であれば、切断の寸法精度は問わない。

フェルール本体１１、蓋１２、及びブーツ１３を組み合わせてフェルール１５が形成される。光導波路２０はフェルール１５内に接着剤１６で固定されている（図２（Ｂ））。必要に応じて、フェルールの端面（接続面）１５Ａからはみ出ている接着剤１６を除去し、突出する光導波路２０を研磨する（図２（Ｃ））。

最後に、図２（Ｄ）に示すように、光導波路２０のコア配列に応じてガイドピン穴１４の位置を決定し、ドリル等の開孔ツール３２でガイドピン穴１４を形成する。これにより光コネクタ１０が完成する。

図３は、光導波路２０のコア２５の位置に応じたガイドピン穴１４の決定を示す図である。ｎ個のコア２５を有する光導波路２０に対し、それぞれのコア２５について中心座標Ｃi（ｘ、ｙ）を求め、ｎ個の座標値を取得する。この例では、８芯のマルチコア光導波路２０に対し、８個のコア中心座標を取得する。

次に、ｎ個のコア中心座標から、コア配列の近似直線ｙ＝ａｘ＋ｂと、中心点Ｏを求める。近似直線は次のようにして求める。コア中心Ｃiから直線ｙ＝ａｘ＋ｂに垂線を引き、その交点をＰi（ｘ，ｙ）とする。ＣiとＰiの距離をｄiとする。距離ｄiを最も小さくする直線ｙ＝ａｘ＋ｂが求める直線である。直線ｙ＝ａｘ＋ｂは、連立方程式（１）から求められる。

ｎ個のコア配列の中心点Ｏの座標は、式（２）のようにＰi座標の平均値で与えられる。

上記の演算は、厳密解を求める場合の演算である。一般には、直線の傾きは非常に小さく、コア２５も一直線上に並んでいることが期待される（そのように作らないと合格品にはならない）。このため、距離ｄiを直線ｙ＝ａｘ＋ｂに対する垂線ではなく、垂直方向（ｙ方向）の距離だけを用いて求めても実用的には問題がなく、計算を簡便にすることができる。この場合は、一般的な直線の最小二乗法の式を用いてもよい。

また、コア配列の中心点の座標は、式（４）で与えられる。

図４は、実施形態の光コネクタの作製に用いられる光コネクタ製造装置１の概略構成図である。光コネクタ製造装置１は、ガイドピン穴を形成する穴形成部３０と、自動ステージ４０と、撮像部５０と、画像処理装置３５を有する。撮像部５０は任意の構成をとることができ、たとえば、所望の倍率を有するＣＣＤカメラ５１と、鏡筒５２と、対物レンズ５３を含む。穴形成部３０は、駆動部３１と、開孔ツール３２を有する。開孔のための出力形態は任意である。開孔ツール３２がドリルの場合は、出力端３２ａにドリルビット３２ａを有する。開孔ツール３２がレーザの場合は出力端３２ａに出射端３２ａを有する。開孔ツール３２がリーマーの場合は出力端３２ａにリーマービット３２ａを有する。自動ステージ４０は、ｘ、ｙ、ｚ方向に移動可能なステージ４１を有する。ステージ４１上に光コネクタ１０が配置される。

ステージ４１に配置された光コネクタ１０のフェルール端面（接続面）に現れる導波路コア２５の画像をＣＣＤカメラ５１で撮影し、画像処理装置３５で各コア２５の中心座標Ｃiを求める。画像処理装置３５のＣＰＵ３６は、ｎ個のコア中心座標Ｃiから、式（１）、（２）の方法（厳密解）、または式（３）、（４）の方法（簡略解）により、直線ｙ＝ａｘ＋ｂとコア配列の中心Ｏiを求める。

製品完成段階では、直線ｙ＝ａｘ＋ｂがフェルール両端のガイドピン穴１４を結ぶ線となる。直線ｙ＝ａｘ＋ｂとコア配列の中心Ｏがわかれば、ガイドピン穴１４の形成位置が特定される。光導波路２０をフェルール１５内に装着してコア２５の座標Ｃiを求めた時点で、ガイドピンに対するコア位置の精度の予測が可能となる。コア位置すなわち距離ｄiが規格を満たさないことがわかると、この時点で不良品と判定することができる。

逆に、接着剤の厚さが規定以上になった、あるいは異物を挟み込んだ等の理由で従来ならば不良とされる場合でも、その状態でのコア位置に合わせてガイドピン穴１４を形成することができ、コア位置不良が発生する確率を低減することができる。

図５は、ガイドピン穴の形成を示す図である。図４の光コネクタ製造装置１は、コア位置計測機能と、開孔機能の両方を有する。図４の方法で直線ｙ＝ａｘ＋ｂと中心Ｏが算出されたならば、自動ステージ４０が撮像部５０に対向する位置から、穴形成部３０に対向する位置に移動する。自動ステージ４０は、フェルール１５の端面（接続面）がドリルビット等の出力端３２ａと向かい合う位置にステージ４１を移動する。

フェルール１５が、ＭＴフェルールと互換性のあるＰＭＴフェルールである場合は、中心点Ｏから直線ｙ=ａｘ+ｂに沿って２．３ｍｍ離れた位置に、ガイドピン穴１４を形成する。

撮像部５０の画像計測位置の原点（カメラ座標）と、穴形成部３０の出力端３２ａの中心点の位置関係はあらかじめ規定されており、画像処理装置３５のＣＰＵ３６は自動ステージ４０のｘ、ｙ、ｚ方向の送り量を決定する。開孔ツール３２は、所定の位置に移動したフェルール１５の端面に、ガイドピン穴１４を形成する。

このように、ガイドピン穴１４にコア２５を合わせるのではなく、コア２５にガイドピン穴１４を合わせることで、光導波路２０の加工精度を緩くすることができる。また、従来であれば不良品とされていたケースでも、良品して扱われる場合が増える。またガイドピン穴１４を開ける前の段階でコア位置不良を判断することができるため、早い段階で製品としての合否を判断することができる。

コア位置精度はガイドピン穴の加工位置精度で規定されるが、図４、５に示す光コネクタ製造装置１を用いることにより、加工位置精度を上げることができる。

なお、図４及び５に示す構成例では、光コネクタ１０を撮像部５０と穴形成部３０に対して移動させたが、撮像部５０と穴形成部３０を移動させる構成にしてもよい。光コネクタ１０が、撮像部５０と穴形成部３０に対して相対的に移動できれば実施例の構成、手法は実現できる。
＜第２実施形態＞

図６及び図７は、第２実施形態の光コネクタ６０の作製方法と構成を示す図である。第２実施形態では、複数の光導波路２３を有する光導波路シート２８を、多連フェルール６５で挟み込む構成を提供する。

光導波路２３は、フォトリソグラフィー技術を用いて作製されるため、１枚のシートに複雑な回路パターン（光導波路回路２２）と複数の入出力部（光導波路）２３を形成することができる。この光導波路シート２８に従来のＰＭＴコネクタを接続しようとすると、図８に示すように、光導波路２３を所定の幅に加工し（図８（Ｂ））、各光導波路２３にＰＭＴフェルール１１０を接着することになる（図８（Ｃ））。ＰＭＴフェルール１１０に要求される精度で光導波路２３を所定の形状に加工することは困難である。また、テープ状に加工した光導波路２３の付け根部分に応力が集中しやすく、実際にコネクタを着脱する際に破断などのトラブルが起き易い。

これに対して、第２実施形態で用いられる多連フェルール６５は、複数の上部リテーナ６３ａが連結された上半分６１と、複数の下部リテーナ６３ｂが連結された下半分６２で光導波路シート２８を挟み込む（図６）。シート２８上の光導波路２３は、対応するフェルール６３に保持される（図７（Ａ））。フェルール６３を構成する上部リテーナ６３ａと下部リテーナ６３ｂは、個別の部品として各光導波路２３に装着されてもよいが、図６及び図７に示すように、一体化されている場合は機械的強度の点で有利である。光導波路２３を補強し、光コネクタ着脱時の応力を多連フェルール６５が受けてくれるため、光導波路２３の破断を防止することができる。

図７（Ｂ）で、光導波路シート２８に多連フェルール６５を装着した後に、各フェルール６３にガイドピン穴６４を形成する。光導波路２３のコア配列は、フェルール６３ごとに異なる。コア位置精度の観点から、コア中心座標の計測とガイドピン穴６４の形成を、フェルール６３ごとに行うのが望ましい。この場合、光導波路シート２８をステージ４１に搭載して、フェルール６３単位で自動ステージ４０を駆動して、開孔ツール３２でガイドピン穴６４を形成する。

すべてのフェルール６３にガイドピン穴６４を形成すると、多連の光コネクタ６０が完成する。光コネクタ６０は、コア位置精度と機械的強度に優れ、低損失の光接続を可能にする。光コネクタ６０は、たとえばブレードサーバのバックプレーンボードに適用することができる。
＜第３実施形態＞

図９は、第３実施形態の光コネクタ７０の作製方法と構成を示す。第３実施形態では、光導波路７２はポリマーシートではなく、基板７１上に形成されている。一般に、基板７１上の光導波路７２にＰＭＴコネクタを装着することは困難である。非特許文献３では、あらかじめ光導波路にアライメント用のダミーコアを形成し、ダミーコアの部分を特定の形状に加工するという追加の工程を設けている。

第３実施形態では、光導波路７２は通常の構成で作製されている。光導波路７２はクラッド（不図示）で隔てられた複数の導波路コア（不図示）の配列を有する。光導波路７２上に、ガイドピン穴が形成されていないフェルール７３を配置、接着する（図９（Ａ）及び図９（Ｂ））。その後、図４の方法により、各コアの中心座標を取得し、コア配列の近似直線とコア配列の中心点を算出し、ガイドピン穴の位置を決定する。

その後、図５の方法により、開孔ツール３２でフェルール６３にガイドピン穴７４を形成して、光コネクタ７０が完成する（図９（Ｃ））。

図９の構成で、単純にコア配列の中心点から近似直線に沿って所定距離離れた位置をガイドピン穴７４の位置に設定すると、フェルール７３と基板７１をほぼ半分ずつ削ることになる。しかし、基板７１の材質として、ガラスのように切削加工が難しいものや、プリント配線基板のように脆くて穴径の精度を保持できないものも多く、図９（Ｃ）のようにフェルール７３に開孔することが望ましい。

この場合は、ガイドピン穴の位置は、コア配列の中心から近似直線に沿って所定距離離れた位置から、近似直線と垂直な方向に所定距離並行移動した位置となる。厳密解に替えて簡略解を用いる場合は、コア配列の中心から近似直線に沿って所定距離離れた位置からフェルールの底面に対して垂直な方向（ｚ方向）に所定距離並行移動した位置とする。

図９では、単一の光導波路に単一のフェルール７３を装着する例を示しているが、第２実施形態のような複数の光導波路を有する構成にも適用可能である。この場合は、基板７１上に複雑な構成の光導波路回路や、それに接続される複数の光導波路７２が形成され、基板の端部に沿って複数のフェルール７３が配置される。

図１０は、第３実施形態の光コネクタ７０と、相手方コネクタ８０との接続関係を示す図である。光コネクタ７０のフェルール７３にガイドピン穴７４を形成すると、ガイドピン穴７４の中心を結ぶ直線は、光導波路２０のコア２５の配列の中心線からｚ方向（基板７１と垂直な方向）にずれる。

そこで、相手方コネクタ８０として、光ファイバ８２を複数列に配置したＭＴコネクタ８０を用い、ＭＴコネクタ８０の特定のファイバ列を光接続に利用する。たとえば、ＭＴコネクタ８０のガイドピン８４を、第３実施形態の光コネクタ７０のガイドピン孔７４に挿入してコネクタ同士を嵌合させたときに、ＭＴコネクタ８０の一番下のファイバ列の光ファイバ８２と、光コネクタ７０の導波路コア２５とが光結合する。これにより、第３実施形態の光コネクタ７０を、既存のＭＴコネクタ８０に接続することができる。

図１１は、第３実施形態の変形例の光コネクタ９０の作製方法と構成を示す。変形例では、基板９１の光導波路９２の両側に、フェルール嵌合用の溝９７を形成する（図１１（Ａ））。光導波路９２は、溝９７に挟まれた突起９８上に位置する。フェルール９３は、嵌合溝９５を有し、コの字型の断面形状を有する。

フェルール９３を、基板９１の溝９７に嵌め込む。このとき、フェルール９３の溝９５と、基板９１の突起９８とが嵌合する（図１１（Ｂ））。基板９１の端面９１ａと、フェルール９３の端面９３ａが揃い、コア配列９５が端面に露出する。図４，５に示す光コネクタ製造装置１を用いて、コア配列９５に応じたガイドピン穴の位置を決定し、フェルール９３にガイドピン穴９４を形成する（図１１（Ｃ））。基板９１に溝９７を形成したことにより、ガイドピン穴９４を結ぶラインは、コア配列９５にほぼ一致する。これにより、光コネクタ９０が完成する。

以上の実施形態によれば、従来の技術とは逆に、光導波路のコア位置からガイドピン穴の位置を決定する。光導波路の加工精度を緩めることができる一方で、コア位置精度を高めることができる。組み立て工程が規定を満たさない場合でも、コア位置の状態に合わせてガイドピン穴を形成するので、コア位置不良となる確率を低減できる。ガイドピン穴の位置の決定と開孔を、自動化して行うことができる。フェルールを精密成形ではなく、安価な成型に替えることができる。

以上の説明に対して、以下の付記を提示する。
（付記１）
複数の導波路コアを有する光導波路をフェルールに装着し、
前記フェルールの接続面に現れる前記複数の導波路コアの各々の中心座標を取得し、
前記中心座標を結ぶ近似直線と、前記複数の導波路コアの配列中心を算出し、
前記近似直線と前記配列中心とに基づいて、前記フェルールに２以上のガイドピン穴を形成する
ことを特徴とする光コネクタの製造方法。
（付記２）
前記中心座標は、前記フェルールの前記接続面に現れる前記導波路コアの画像を撮影し前記画像を処理して算出することを特徴とする付記１に記載の光コネクタの製造方法。
（付記３）
前記画像の処理結果に基づいて、前記導波路コアの位置精度を検査することを特徴とする付記２に記載の光コネクタの製造方法。
（付記４）
前記ガイドピン穴を、前記配列中心から前記近似直線に沿って所定距離離れた位置に形成することを特徴とする付記１に記載の光コネクタの製造方法。
（付記５）
前記ガイドピン穴を、前記配列中心から前記近似直線に沿って所定距離離れた位置からさらに、前記近似直線に対して垂直方向に並行移動した位置に形成することを特徴とする請求項１に記載の光コネクタの製造方法。
（付記６）
前記光導波路をシート上に複数形成し、
前記シート上の前記光導波路を複数の前記フェルールで保持し、
前記フェルールごとに、対応する前記導波路コアの前記中心座標に基づいて、前記ガイドピン穴の位置を決定することを特徴とする付記１に記載の光コネクタの製造方法。
（付記７）
前記光導波路を基板上に形成し、
前記フェルールを前記基板上の前記光導波路に嵌合させ、
前記フェルールの接続面に現れる前記導波路コアの前記中心座標に基づいて、前記ガイドピン穴を前記フェルールに形成することを特徴とする付記１に記載の光コネクタの製造方法。
（付記８）
複数の導波路コアが形成された光導波路を有する光コネクタを保持する保持部と、
前記光コネクタのフェルールの接続面に現れる前記導波路コアの画像を撮影する撮像部と、
前記撮像部が取得した画像を処理して、前記フェルール上のガイドピン穴の形成位置を決定する画像処理部と、
前記画像処理部で決定された位置に基づいて、前記フェルールにガイドピン穴を形成する穴形成部と、
前記保持部の、前記撮像部および前記穴形成部に対する相対的な位置を制御する駆動部と、
を備えた光コネクタ製造装置。
（付記９）
前記駆動部は、前記画像処理部による決定結果に基づいて、前記光コネクタを、前撮像部に向かい合う位置から前記穴形成部に向かい合う位置へ移動させることを特徴とする付記８に記載の光コネクタ製造装置。
（付記１０）
前記画像処理部は、前記撮像部が取得した画像から、前記複数の導波路コアの中心座標を取得し、前記中心座標を結ぶ近似直線と、前記複数の導波路コアの配列中心を算出し、前記近似直線と前記配列中心とに基づいて前記ガイドピン穴の形成位置を決定することを特徴とする付記８に記載の光コネクタ製造装置。
（付記１１）
光導波路が形成された基材と、
前記基材に形成された光導波路を保持するフェルールと、
を有し、前記フェルールは、前記光導波路に含まれる複数の導波路コアの中心座標を結ぶ近似直線または前記近似直線と平行な直線上に位置する複数のガイドピン穴を有することを特徴とする光コネクタ。
（付記１２）
前記基材はシートであり、
前記シート上に前記光導波路が複数形成され、
前記光導波路の各々に対応して配置される前記フェルールが一体に連結されていることを特徴とする付記１１に記載の光コネクタ。
（付記１３）
前記基材は基板であり、
前記フェルールは、前記基板の端部で前記基板に形成された前記光導波路と嵌合し、
前記フェルールは、前記中心座標を結ぶ前記近似直線上または前記近似直線と平行な直線上に位置する複数のガイドピン穴を有することを特徴とする光コネクタ。

１ 光コネクタ製造装置
１０，６０、７０，９０ 光コネクタ
１４、６４、７４、９４ ガイドピン穴
１５、６３、７３、９３ フェルール
光導波路 ２０、２３、７２，９２
２５ 光導波路コア
３０ 穴形成部
３２ 開孔ツール
３５ 画像処理装置
４０ 自動ステージ
４１ ステージ
５０ 撮像部
６５ 多連フェルール

Claims (5)

1. 複数の導波路コアを有する光導波路をフェルールに装着し、
   前記フェルールの接続面に現れる前記複数の導波路コアの各々の中心座標を取得し、
   前記中心座標を結ぶ近似直線と、前記複数の導波路コアの配列中心を算出し、
   前記近似直線と前記配列中心とに基づいて、前記フェルールに２以上のガイドピン穴を形成する
   ことを特徴とする光コネクタの製造方法。
2. 前記中心座標は、前記フェルールの前記接続面に現れる前記導波路コアの画像を撮影し
   前記画像を処理して算出することを特徴とする請求項１に記載の光コネクタの製造方法。
3. 前記導波路コア中心と前記近似直線との距離に基づいて、前記導波路コアの位置精度を検査する請求項２に記載の光コネクタの製造方法。
4. 複数の導波路コアが形成された光導波路を有する光コネクタを保持する保持部と、
   前記光コネクタのフェルールの接続面に現れる前記導波路コアの画像を撮影する撮像部と、
   前記撮像部が取得した画像から、前記複数の導波路コアの中心座標を取得し、前記中心座標を結ぶ近似直線と、前記複数の導波路コアの配列中心を算出し、前記近似直線と前記配列中心とに基づいて、前記フェルール上のガイドピン穴の形成位置を決定する画像処理部と、
   前記画像処理部で決定された位置に基づいて、前記フェルールにガイドピン穴を形成する穴形成部と、
   前記保持部の、前記撮像部および前記穴形成部に対する相対的な位置を制御する駆動部と、
   を備えた光コネクタ製造装置。
5. 前記駆動部は、前記画像処理部による決定結果に基づいて、前記光コネクタを、前撮像
   部に向かい合う位置から前記穴形成部に向かい合う位置へ移動させることを特徴とする請
   求項４に記載の光コネクタ製造装置。

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