JP6092156B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents
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Description
する複数の前記関係式を記憶し、前記算出部は、複数の前記関係式に基づいて、前記設定された電流値を補正して複数の前記補正電流値を算出し、前記指示部は、複数の前記補正電流値を複数の前記整流器のそれぞれに指示する。
流器18に指令することができる。
応する実電流値を測定することにより得られる場合は、上記所定値を例えば10.00Aとすることができる。なお、整流器18は、指示電流値が大きいほど指示電流値と実電流値との誤差が小さくなる特性を有しているので、設定電流値が10.00A超の場合には、補正を行わなくとも指示電流値と実電流値との誤差が小さく、誤差がめっき膜に与える影響は少ない。このように、設定電流値が所定値超の場合には補正を行わないようにすることで、補正を行う設定電流値の範囲においてのみ指示電流値と実電流値との関係式を取得すればよい。
まず、図1に示しためっき装置10において、電流値が例えばオペレータ等のユーザにより入力装置から入力され、設定部32がこの設定電流値をめっき装置制御部30に設定する(ステップS101)。めっき装置制御部30(判定部)は、設定電流値が所定の値以下であるか否かを判定する(ステップS102)。
本実施例においては、28個(No.1からNo.28)の整流器18を用意した。記憶部24に記憶された整流器18毎の関係式に基づいて、設定電流値を補正して算出した補正電流値をそれぞれの整流器18に指示し、各整流器18が実際に出力した出力電流値を測定した(実施例)。
各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。
18…整流器
30…めっき装置制御部
32…設定部
34…記憶部
36…指示部
38…算出部
Claims (9)
- 基板にめっきするためのめっき装置であって、
前記基板に直流電流を印加するための整流器と、
直流電流の値を前記整流器に指示するためのめっき装置制御部と、を有し、
前記めっき装置制御部は、
電流値を設定するための設定部と、
前記整流器に指示される指示電流値と該指示電流値に従って前記整流器が出力する実電流値との関係式を記憶するための記憶部と、
前記設定された電流値を前記関係式に基づいて補正して補正電流値を算出するための算出部と、
前記補正電流値を前記整流器に指示するための指示部と、を有する、めっき装置。 - 複数の前記整流器を有し、
前記記憶部は、複数の前記整流器にそれぞれ対応する複数の前記関係式を記憶し、
前記算出部は、複数の前記関係式に基づいて、前記設定された電流値を補正して複数の前記補正電流値を算出し、
前記指示部は、複数の前記補正電流値を複数の前記整流器のそれぞれに指示する、請求項1に記載されためっき装置。 - 前記めっき装置制御部は、前記設定された電流値が所定値以下か否かを判定する判定部を有し、
前記算出部は、前記判定部が前記設定された電流値が所定値以下であると判定したときに、前記設定された電流値を前記関係式に基づいて補正して前記補正電流値を算出するように構成される、請求項1又は2に記載されためっき装置。 - 前記関係式は、xを前記実電流値とし、yを前記指示電流値とした場合に、y=ax+b(a,bは定数)で表され、
前記算出部は、前記設定された電流値を前記関係式のxに代入して得られた値yを前記補正電流値とする、請求項1ないし3のいずれか一項に記載されためっき装置。 - 前記記憶部に記憶される前記関係式は、前記整流器の複数の指示電流値に対応する複数の実電流値を測定することにより予め得られる、請求項1ないし4のいずれか一項に記載されためっき装置。
- 基板にめっきするためのめっき方法であって、
電流値を設定する設定工程と、
整流器に指示された指示電流値と該指示電流値に従って前記整流器が出力する実電流値との関係式に基づいて、前記設定された電流値を補正して補正電流値を算出する算出工程と、
前記補正電流値を前記整流器に指示する指示工程と、
前記指示に基づいて前記基板に直流電流を印加する工程と、を有する、めっき方法。 - 前記算出工程は、複数の整流器に対応する複数の前記関係式に基づいて、前記設定された電流値を補正して複数の補正電流値を算出することを含み、
前記指示工程は、前記算出された複数の補正電流値を、複数の前記整流器のそれぞれに指示することを含む、請求項6に記載されためっき方法。 - 前記設定された電流値が所定値以下か否かを判定する判定工程を有し、
前記算出工程は、前記判定工程において前記設定された電流値が所定値以下であると判
定されたときに、前記設定された電流値を前記関係式に基づいて補正して前記補正電流値を算出する、請求項6又は7に記載されためっき方法。 - 前記関係式は、xを前記実電流値とし、yを前記指示電流値とした場合に、y=ax+b(a,bは定数)で表され、
前記算出工程は、前記設定された電流値を前記関係式のxに代入して得られた値yを前記補正電流値とする、請求項6ないし8のいずれか一項に記載されためっき方法。
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