JP6091392B2 - マーク確認用治具 - Google Patents

Description

本発明は、マークの位置を確認するためのマーク確認用治具に関する。

ウエハには、当該ウエハを識別するためのマークが設けられる。例えば、半導体マーキング設備等により、ウエハの指定された箇所にマークが印字される（特許文献１参照）。当該マークは、例えば、アルファベット、数字等で構成される。

特開２００５−２０９９１８号公報

ウエハにおいてマークの位置にズレが発生している場合、作業者は、当該マークの視認が出来なくなる。また、マークが製品パターンに入り込み、チップ不良と見なされる場合もある。

現状における、ウエハの管理方法では、作業者がウエハを顕微鏡にセットし、顕微鏡のステージに取り付けてあるデジタルゲージ（物差し）により、作業者がマークの位置を確認している。すなわち、マークの位置の確認は顕微鏡を用いて行われる。そのため、マークの位置の確認には、多くの時間を要していた。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、迅速にマークの位置を確認することが可能なマーク確認用治具を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るマーク確認用治具は、ウエハを識別するためのマークが設けられた該ウエハがウエハ台座に載せられた状態で、該ウエハの上方に取り付けられる。前記マーク確認用治具には、前記マークの位置を目視で確認するための枠部が設けられ、前記枠部は、前記ウエハが予め定められた位置に前記マークが設けられたマーク正常ウエハである場合に当該ウエハの上方に前記マーク確認用治具が取り付けられた治具取り付け状態において、当該枠部内に当該ウエハの当該マーク全体が入る位置に設けられる。

本発明によれば、前記マーク確認用治具には、前記マークの位置を目視で確認するための枠部が設けられる。これにより、作業者は、目視によりマークの位置を確認することができる。その結果、迅速にマークの位置を確認することができる。

本発明の実施の形態１に係るマーク確認用治具を説明するための図である。 本発明の実施の形態１に係るマーク確認用治具を説明するための平面図である。 本発明の実施の形態１に係る変形構成のマーク確認用治具を示す図である。 本発明の実施の形態２に係るマーク確認用治具を説明するための図である。 本発明の実施の形態２に係る変形構成のマーク確認用治具を示す図である。 変形例Ａに係るウエハ台座を説明するための図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の構成要素には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明を省略する場合がある。

なお、実施の形態において例示される各構成要素の寸法、材質、形状、それらの相対配置などは、本発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるものであり、本発明はそれらの例示に限定されるものではない。また、各図における各構成要素の寸法は、実際の寸法と異なる場合がある。

＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係るマーク確認用治具１００を説明するための図である。図１（ａ）は、マーク確認用治具１００の斜視図である。なお、図１（ａ）には、説明のために、マーク確認用治具１００には含まれないウエハＷ１０およびウエハ台座５０が示される。図１（ｂ）は、図１（ａ）の領域Ｒ１０の拡大図である。

図２は、本発明の実施の形態１に係るマーク確認用治具１００を説明するための平面図である。また、図２は、マーク確認用治具１００に関連する、図１（ａ）の一部を誇張して示す。例えば、図２では、マーク確認用治具１００が判別し易いように、マーク確認用治具１００を、ウエハ台座５０より大きいサイズで示している。なお、マーク確認用治具１００のサイズは、実際には、ウエハ台座５０のサイズとほぼ同じである。詳細は後述するが、マーク確認用治具１００は、ウエハＷ１０が載置されたウエハ台座５０の上方に設置される。

また、図２は、図１（ａ）に示される構成のうち、マーク確認用治具１００に関連しない部分を簡略化して示す。なお、図２では、図１と同様、説明のために、マーク確認用治具１００には含まれないウエハＷ１０およびウエハ台座５０が示される。ウエハ台座５０は、ウエハＷ１０を載せるための台座である。

図１（ａ）、図１（ｂ）および図２を参照して、ウエハ台座５０の形状は、板状である。また、ウエハ台座５０の上面の形状は、略四角状である。ウエハ台座５０には、台５１が設けられる。台５１の形状は、ウエハＷ１０の形状とほぼ同じである。

台５１のサイズは、図２に示すように、ウエハＷ１０のサイズよりわずかに大きい。なお、図２では、図の簡略化のため、ウエハＷ１０に設けられる後述のオリフラ（Orientation Flat）Ｗ１２は示されていない。

台５１は、例えば、ウエハ台座５０に設けられる凹部の底面で構成される。なお、台５１は、ウエハ台座５０の表面に印字された枠線により構成されてもよい。

ウエハＷ１０には、マークＭ１０が設けられる。マークＭ１０は、ウエハＷ１０を識別するためのマークである。マークＭ１０は、例えば、半導体マーキング設備等により、ウエハＷ１０の表面に印字される。マークＭ１０は、例えば、アルファベット、数字等で構成される。また、ウエハＷ１０には、オリフラＷ１２が設けられる。オリフラＷ１２は、ウエハＷ１０の向きを合わせるための直線部である。

ウエハ台座５０の台５１には、ウエハＷ１０が載せられる。詳細は後述するが、マーク確認用治具１００は、ウエハＷ１０がウエハ台座５０（台５１）に載せられた状態で、ウエハＷ１０の上方に取り付けられる。

次に、マーク確認用治具１００について詳細に説明する。マーク確認用治具１００は、板状の透明部材である。なお、マーク確認用治具１００は、透明部材に限定されない。マーク確認用治具１００は、例えば、透明でないが、光を透過させる部材であってもよい。

マーク確認用治具１００には、枠部１１ａが設けられる。枠部１１ａは、マークＭ１０の位置を目視で確認するための部分である。枠部１１ａは、図１（ｂ）に示すような、切りかき、すなわち、穴である。

以下においては、図２のように、ウエハＷ１０の外周の一部の端の位置が、台５１の外周の一部の端の位置にある状態を、ウエハ設定状態ともいう。なお、ウエハ設定状態は、ウエハＷ１０の上方にマーク確認用治具１００が取り付けられていない状態である。

また、以下においては、予め定められた位置にマークＭ１０が設けられたウエハＷ１０を、マーク正常ウエハともいう。また、以下においては、ウエハ設定状態において、ウエハＷ１０の上方にマーク確認用治具１００が取り付けられた状態を、治具取り付け状態ともいう。

治具取り付け状態は、ウエハＷ１０のマークＭ１０の位置を確認するための状態である。治具取り付け状態は、例えば、図１（ａ）に示される状態である。以下においては、治具取り付け状態において、枠部１１ａ内にマークＭ１０全体が入っている状態を、マーク位置正常状態という。

枠部１１ａは、ウエハＷ１０がマーク正常ウエハである場合の治具取り付け状態において、図１（ｂ）のように、枠部１１ａ内にウエハＷ１０のマークＭ１０全体が入る位置に設けられる。すなわち、ウエハＷ１０がマーク正常ウエハである場合の治具取り付け状態では、作業者は、ウエハＷ１０のマークＭ１０全体を目視で確認可能である。

次に、マーク確認用治具１００を使用して、マークＭ１０を確認するための方法（以下、マーク確認方法Ｎともいう）について説明する。

マーク確認方法Ｎでは、まず、ウエハ載置工程が行われる。ウエハ載置工程では、ウエハＷ１０の状態が前述のウエハ設定状態となるように、作業者が、ウエハＷ１０を、ウエハ台座５０の台５１に載せる。次に、治具載置工程が行われる。

治具載置工程では、作業者が、マーク確認用治具１００の状態が前述の治具取り付け状態となるように、ウエハＷ１０の上方にマーク確認用治具１００を取り付ける。次に、マーク確認工程が行われる。

マーク確認工程では、作業者は、目視により、マーク確認用治具１００の枠部１１ａ内にウエハＷ１０のマークＭ１０全体が入っているか否かを確認する。すなわち、マーク確認工程では、作業者は、マークＭ１０の位置の状態が、マーク位置正常状態であるか否かを確認する。

以上説明したように、本実施の形態によれば、マーク確認用治具１００は、ウエハＷ１０を識別するためのマークＭ１０が設けられたウエハＷ１０がウエハ台座５０に載せられた状態で、ウエハＷ１０の上方に取り付けられる。マーク確認用治具１００には、マークＭ１０の位置を目視で確認するための枠部１１ａが設けられる。これにより、作業者は、目視によりマークの位置を確認することができる。その結果、迅速にマークの位置を確認することができる。

また、本実施の形態によれば、前述のマーク確認方法Ｎが行われることにより、作業者は、目視により、マークＭ１０の位置を容易に確認できる。すなわち、作業者は、目視により、マークＭ１０の位置を正確に且つ短時間で確認出来る。すなわち、その結果、マークＭ１０の確認のための作業時間の短縮を図ることができる。

また、マークＭ１０の位置の状態がマーク位置正常状態でない場合、作業者は、ウエハＷ１０においてマークＭ１０の位置がずれていると認識できる。作業者は、マークＭ１０の位置がずれているウエハＷ１０を不良品として扱い、当該ウエハＷ１０を使用して製品を生成する工程においてウエハＷ１０を使用しない。

これにより、マークＭ１０の位置がずれているウエハＷ１０が使用されることを防止することができる。すなわち、マークＭ１０の位置ずれを防止することができる。また、不良品のウエハＷ１０を用いた不良製品の発生を防ぐことができる。

また、本実施の形態によれば、マーク確認用治具１００を使用することで、常に、マークＭ１０の位置が正確なウエハＷ１０を得ることができる。

なお、従来のマークの位置確認は、顕微鏡を使用し、中心１点の計測をしている。その為、ウエハのマークの位置にローテーションが発生し、製品部にマークが掛かっていても、ウエハの良否判定が出来ないという問題がある。

しかしながら、本実施の形態によれば、上記のように構成されるため、上記の従来の問題を解決することができる。

なお、本実施の形態では、マーク確認用治具１００に設けられる枠部１１ａの数は、１としたがこれに限定されない。例えば、マーク確認用治具１００には、複数の枠部１１ａが設けられる構成（以下、変形構成Ａともいう）としてもよい。

変形構成Ａのマーク確認用治具１００では、図３のように、一例として、複数の枠部１１ａが設けられる。なお、図３では、図の簡略化のために、２つの枠部１１ａを示している。複数の枠部１１ａは、例えば、円状に配置される。

なお、各枠部１１ａは、マークＭ１０の位置が異なる各ウエハＷ１０がマーク正常ウエハである場合の治具取り付け状態において、当該枠部１１ａ内に当該ウエハＷ１０のマークＭ１０全体が入る位置に設けられる。

マーク確認方法Ｎにおいて、変形構成Ａのマーク確認用治具１００を使用することにより、さまざまな位置にマークＭ１０が設けられた複数のウエハＷ１０に対し、目視により、マークＭ１０を正確に確認することができる。すなわち、マーク確認方法Ｎにおいて、変形構成Ａの１つのマーク確認用治具１００を使用することにより、マークＭ１０の位置が異なる複数のウエハＷ１０に対応することができる。また、製品不良の発生を防ぐことができる。

＜実施の形態２＞
実施の形態１では、マーク確認用治具にきりかきを設ける構成とした。本実施の形態では、切りかきの代わりに、枠状の線（罫書き）を使用する。

図４は、本発明の実施の形態２に係るマーク確認用治具１００Ａを説明するための図である。マーク確認用治具１００Ａは、図２のマーク確認用治具１００と比較して、枠部１１ａの代わりに、枠部１１ｂを含む点が異なる。マーク確認用治具１００Ａのそれ以外の構成、機能および用途等は、マーク確認用治具１００と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

枠部１１ｂは、枠状の線である。枠部１１ｂは、マークＭ１０の位置を目視で確認するための部分である。枠部１１ｂのサイズおよび輪郭は、枠部１１ａと同じである。また、枠部１１ｂは、マーク確認用治具１００Ａの表面に設けられる。また、枠部１１ｂの位置は、図２を用いて説明したマーク確認用治具１００における枠部１１ａの位置と同じである。

マーク確認用治具１００Ａが、マーク確認方法Ｎにおいて、マーク確認用治具１００の代わりに使用されることにより、実施の形態１と同様な効果を得ることができる。すなわち、迅速にマークの位置を確認することができる。

なお、本実施の形態では、マーク確認用治具１００Ａに設けられる枠部１１ｂの数は、１としたがこれに限定されない。例えば、マーク確認用治具１００Ａには、複数の枠部１１ｂが設けられる構成（以下、変形構成Ｂともいう）としてもよい。

変形構成Ｂのマーク確認用治具１００Ａでは、図５のように、一例として、複数の枠部１１ｂが設けられる。なお、図５では、図の簡略化のために、２つの枠部１１ｂを示している。複数の枠部１１ｂは、例えば、円状に配置される。

なお、各枠部１１ｂは、マークＭ１０の位置が異なる各ウエハＷ１０がマーク正常ウエハである場合の治具取り付け状態において、当該枠部１１ｂ内に当該ウエハＷ１０のマークＭ１０全体が入る位置に設けられる。

マーク確認方法Ｎにおいて、変形構成Ｂのマーク確認用治具１００Ａを使用することにより、変形構成Ａのマーク確認用治具１００を使用した場合と同様な効果が得られる。すなわち、マーク確認方法Ｎにおいて、変形構成Ｂの１つのマーク確認用治具１００Ａを使用することにより、マークＭ１０の位置が異なる複数のウエハＷ１０に対応することができる。

（変形例Ａ）
なお、実施の形態１または２において、ウエハ台座５０の代わりに以下のウエハ台座５０Ａが使用されてもよい。

図６は、変形例Ａに係るウエハ台座５０Ａを説明するための図である。図６を参照して、ウエハ台座５０Ａは、図２のウエハ台座５０と比較して、ウエハ押し付け機構５５をさらに含む点が異なる。ウエハ台座５０Ａのそれ以外の構成、機能および用途等は、ウエハ台座５０と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

図６に示すように、ウエハ押し付け機構５５は、ウエハ台座５０Ａに設けられる。ウエハ押し付け機構５５は、作業者の操作により、台５１に載せられたウエハＷ１０の位置を調整する構成を有する。以下においては、オリフラＷ１２の長さを、オリフラ長ともいう。

具体的には、ウエハ押し付け機構５５は、ウエハＷ１０のオリフラ長の交差、ウエハＷ１０の直径の交差等を考慮して、前述のウエハ設定状態となるように、ウエハＷ１０の位置を調整する構成を有する。

ここで、オリフラ長の交差とは、所定のオリフラ長に対し、ウエハＷ１０が正常な形状と見なされるための許容誤差（マージン）である。ウエハＷ１０の直径の交差とは、ウエハＷ１０の所定の直径に対し、ウエハＷ１０が正常な形状と見なされるための許容誤差（マージン）である。すなわち、ウエハ押し付け機構５５は、オリフラ長の交差、ウエハＷ１０の直径の交差等に対応できる構成を有する。

次に、変形例Ａにおいて、マークＭ１０を確認するための方法（以下、マーク確認方法Ａともいう）について説明する。マーク確認方法Ａでは、マーク確認用治具１００またはマーク確認用治具１００Ａが使用される。ここでは、マーク確認用治具１００が使用されるとして説明する。

マーク確認方法Ａでは、まず、ウエハ載置工程Ａが行われる。ウエハ載置工程Ａでは、作業者が、ウエハＷ１０を、ウエハ台座５０Ａの台５１に載せる。なお、ウエハＷ１０の状態が前述のウエハ設定状態でない場合、作業者は、ウエハＷ１０の状態がウエハ設定状態となるように、ウエハ押し付け機構５５を操作する。

この操作により、ウエハ押し付け機構５５は、ウエハＷ１０の状態がウエハ設定状態となるように、ウエハＷ１０の位置を調整する。次に、前述の治具載置工程が行われる。治具載置工程は、前述と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

ウエハ載置工程Ａおよび治具載置工程により、マーク確認用治具１００は、ウエハ押し付け機構５５により、ウエハＷ１０の位置が、予め定められた位置に調整された状態で、ウエハＷ１０の上方に取り付けられる。当該予め定められた位置とは、ウエハＷ１０のマークＭ１０を、マーク確認用治具１００を利用して確認する際に、ウエハＷ１０を配置する位置である。

その後、前述のマーク確認工程が行われる。マーク確認工程は、前述と同様なので詳細な説明は繰り返さない。

以上説明したように、本変形例によれば、ウエハ押し付け機構５５が設けられたウエハ台座５０Ａを使用することにより、さまざまな使用のウエハに対応出来る。

なお、マーク確認方法Ａでは、マーク確認用治具１００の代わりにマーク確認用治具１００Ａが使用されてもよい。

また、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態、変形例を自由に組み合わせたり、各実施の形態、変形例を適宜、変形、省略することが可能である。

１１ａ，１１ｂ 枠部、５０，５０Ａ ウエハ台座、５１ 台、５５ ウエハ押し付け機構、１００，１００Ａ マーク確認用治具、Ｍ１０ マーク、Ｗ１０ ウエハ。

Claims (6)

1. ウエハを識別するためのマークが設けられた該ウエハがウエハ台座に載せられた状態で、該ウエハの上方に取り付けられるマーク確認用治具であって、
   前記マーク確認用治具には、前記マークの位置を目視で確認するための枠部が設けられ、
   前記枠部は、前記ウエハが予め定められた位置に前記マークが設けられたマーク正常ウエハである場合に当該ウエハの上方に前記マーク確認用治具が取り付けられた治具取り付け状態において、当該枠部内に当該ウエハの当該マーク全体が入る位置に設けられる
   マーク確認用治具。
2. 前記マーク確認用治具は、板状の透明部材である
   請求項１に記載のマーク確認用治具。
3. 前記マーク確認用治具には、前記枠部が複数設けられる
   請求項１または２に記載のマーク確認用治具。
4. 前記枠部は、切りかきである
   請求項１〜３のいずれか１項に記載のマーク確認用治具。
5. 前記枠部は、枠状の線である
   請求項１〜３のいずれか１項に記載のマーク確認用治具。
6. 前記マーク確認用治具は、前記ウエハの位置を調整するためのウエハ押し付け機構により、該ウエハの位置が、予め定められた位置に調整された状態で、該ウエハの上方に取り付けられる
   請求項１〜５のいずれか１項に記載のマーク確認用治具。

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