JP6089410B2 - Handler and parts inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、部品を搬送するハンドラーに関し、特に部品の温度を常温よりも低い温度である低温に保持するハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。 The present invention relates to a handler that conveys a component, and more particularly, to a handler that keeps the temperature of a component at a low temperature that is lower than normal temperature, and a component inspection apparatus that includes the handler.
一般に、電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置では、基台上のトレイと検査用ソケットとの間で検査前や検査後の電子部品を搬送するハンドラーが用いられている。こうした部品検査装置の中には、電子部品を0℃以下の低温にしたうえで該電子部品の電気的特性を検査するものがある。 In general, a component inspection apparatus that inspects the electrical characteristics of an electronic component uses a handler that conveys the electronic component before or after the inspection between the tray on the base and the inspection socket. Some of such component inspection apparatuses inspect the electrical characteristics of the electronic component after setting the electronic component to a low temperature of 0 ° C. or lower.
従来、電子部品を低温まで冷却する方法としては、例えば特許文献1に記載のような技術が知られている。特許文献1に記載のハンドラーは、複数の電子部品が収容されるトレイと該トレイが載置されるケースとによって、電子部品を支持する支持部が構成されている。そして、乾燥状態にしたドライエアを冷凍機にて冷却し、その冷却されたドライエアをケースの内部に形成された冷却路に供給することによって、ケースを介してトレイを冷却し、そのトレイを介して電子部品を冷却している。
Conventionally, as a method for cooling an electronic component to a low temperature, for example, a technique as described in
ところで、電子部品の検査は、低温だけでなく、電子部品を例えば18℃といった常温にしたうえでも行なわれ、低温による検査の後に常温による検査が連続して行なわれる場合もある。また、支持部のメンテナンスを行なう際には、低温状態にある支持部を常温に復帰させる必要もある。そのため、部品検査装置の処理効率を向上させるうえで、常温よりも低い温度である低温と常温との双方に支持部の温度を切り替えることの可能な装置が望まれている。なお、こうした要望は、電子部品を検査する部品検査装置に適用されるハンドラーに限らず、部品を低温にする機能を備えたハンドラーに概ね共通するものである。 By the way, the inspection of an electronic component is performed not only at a low temperature but also at a normal temperature such as 18 ° C., and the inspection at a normal temperature may be continuously performed after the inspection at a low temperature. Further, when performing maintenance of the support part, it is necessary to return the support part in a low temperature state to room temperature. Therefore, in order to improve the processing efficiency of the component inspection apparatus, an apparatus that can switch the temperature of the support portion between a low temperature that is lower than normal temperature and a normal temperature is desired. Such a request is not limited to a handler applied to a component inspection apparatus for inspecting an electronic component, but is generally common to handlers having a function of lowering the temperature of a component.
本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、その目的は、部品を支持する支持部の温度を常温よりも低い温度である低温と常温とに切り替えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備えた部品検査装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a handler capable of switching the temperature of a support portion for supporting a component between a low temperature and a normal temperature, which are lower than the normal temperature, and the handler. It is providing the component inspection apparatus provided with.
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、前記媒体供給路の途中に介在し、第1の流路を流れる前記温度調整媒体と第2の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、前記熱交換器に接続され、第1の媒体を前記第2の流路に供給する第1の供給路と、前記熱交換器に接続され、第2の媒体を前記第2の流路に供給する第2の供給路と、前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、前記媒体制
御弁の開度、前記第1の制御弁の開度、前記第2の制御弁の開度を制御する制御部とを備え、前記第2の流路は、該第2の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記第2の流路の前記流入端に対して並列に接続され、前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、前記制御部は、前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有する。
One aspect of the handler of the present invention includes a support unit having a medium flow path that supports components and through which a temperature adjustment medium flows, and a medium supply that is connected to the medium flow path and supplies the temperature adjustment medium to the medium flow path. A medium control valve that controls the flow rate of the temperature adjustment medium in the medium supply path, and the temperature adjustment medium and the second flow path that are interposed in the middle of the medium supply path and that flow through the first flow path. A heat exchanger for exchanging heat with a flowing fluid; a first supply path connected to the heat exchanger for supplying a first medium to the second flow path; and connected to the heat exchanger. A second supply path for supplying a second medium to the second flow path, a first control valve for controlling a flow rate of the first medium in the first supply path, and the second A second control valve for controlling a flow rate of the second medium in a supply path; an opening degree of the medium control valve; and the first control valve A control unit that controls the opening degree and the opening degree of the second control valve, and the second flow path has an inflow end and an other end that are one end of both ends of the second flow path. And the first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the second flow path, and the first medium is has a temperature lower than 18 ° C., the second medium has a temperature above 18 ° C., wherein the control unit, the medium control valve open state, the first control valve open state, A first temperature adjusting state in which the second control valve is closed; a second temperature in which the medium control valve is opened; the first control valve is closed; and the second control valve is opened. And having an adjustment state.
本発明のハンドラーの一態様によれば、第1温度調整状態では、熱交換器における第2の流路に18℃よりも低い温度を有する第1の媒体が流入することから、媒体流路には、第1の媒体によって18℃よりも低い温度に冷却された温度調整媒体が流入する。第2温度調整状態では、熱交換器の第2の流路に18℃以上の温度を有する第2の媒体が流入することから、媒体流路に対し、18℃以上の温度の温度調整媒体を流入させることが可能になる。上記2つの制御状態である第1温度調整状態と第2温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が18℃よりも低い状態と支持部の温度が18℃以上である状態とを切替えることが可能である。 According to the one aspect of the handler of the present invention, in the first temperature adjustment state, the first medium having a temperature lower than 18 ° C. flows into the second flow path in the heat exchanger. Flows into the temperature adjusting medium cooled to a temperature lower than 18 ° C. by the first medium. In the second temperature adjustment state, since the second medium having a temperature of 18 ° C. or higher in the second flow path of the heat exchanger flows, to the medium flow path, the temperature adjustment medium temperature above 18 ° C. It becomes possible to make it flow. Because it has a first temperature adjusting state and a second temperature adjustment state is the above two control states control unit, and a state temperature is the temperature of the support portion and lower than 18 ° C. is 18 ° C. or more support portions Can be switched.
本発明のハンドラーの一態様は、前記第2の供給路には、前記第2の媒体を18℃よりも高い温度まで加熱する加熱部が配設されている。
このハンドラーによれば、第2温度調整状態において、第2の供給路には、18℃よりも高い温度まで加熱された第2の媒体が供給されることから、18℃の第2の媒体が第2の供給路に供給される場合に比べて、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
In one aspect of the handler according to the present invention, a heating unit that heats the second medium to a temperature higher than 18 ° C. is disposed in the second supply path.
According to this handler, in the second temperature adjustment state, since the second medium heated to a temperature higher than 18 ° C. is supplied to the second supply path, the second medium at 18 ° C. Compared with the case where it is supplied to the second supply path, it is possible to reduce the time required for the support portion to switch from the low temperature to the high temperature.
本発明のハンドラーの一態様は、前記第2の供給路には、前記加熱部への前記第1の媒体の流入を抑止する抑止部が配設されている。
このハンドラーによれば、第1温度調整状態において、加熱部に対する第1の媒体の流入が抑止されることから、第1の媒体による加熱部の温度低下が抑えられる。その結果、加熱部に第1の媒体が流入する場合に比べて、第2温度調整状態の開始時における加熱部の温度が高められ、第2供給路に対し、18℃以上の温度まで加熱された第2の媒体を早期に供給することができる。それゆえに、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
In one aspect of the handler of the present invention, the second supply path is provided with a suppression unit that suppresses the inflow of the first medium into the heating unit.
According to this handler, since the inflow of the first medium to the heating unit is suppressed in the first temperature adjustment state, the temperature drop of the heating unit due to the first medium is suppressed. As a result, compared with the case where the first medium flows into the heating unit, the temperature of the heating unit at the start of the second temperature adjustment state is increased, and the second supply path is heated to a temperature of 18 ° C. or higher. The second medium can be supplied at an early stage. Therefore, the time required for the support portion to switch from the low temperature to the high temperature can be further shortened.
本発明のハンドラーの一態様は、前記第2の制御弁が、前記抑止部の上流側に配設されている。
このハンドラーによれば、例えば第1の媒体が液化ガスである場合、第1温度調整状態において第1の媒体が第2の制御弁に流入するとなれば、第2の制御弁は、非常に温度の低い第1の媒体に対して耐性を有する部材で構成されることになる。この点、上述したハンドラーにおいては、第1温度調整状態において第2の制御弁への第1の媒体の流入が抑止されることから、第2の制御弁を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
In one aspect of the handler of the present invention, the second control valve is disposed upstream of the suppression unit.
According to this handler, for example, when the first medium is a liquefied gas, if the first medium flows into the second control valve in the first temperature adjustment state, the second control valve has a very high temperature. It is comprised with the member which has tolerance with respect to the 1st medium with low. In this regard, in the above-described handler, since the inflow of the first medium to the second control valve is suppressed in the first temperature adjustment state, the degree of freedom regarding the members constituting the second control valve is increased. Can do.
本発明のハンドラーの一態様は、前記支持部が収容される収容容器と、前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路とを有し、前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである。 One aspect of the handler of the present invention includes a storage container in which the support portion is stored, and a discharge path connected to the storage container through which the medium discharged from the outflow end flows. The gas is obtained by vaporizing liquefied gas, and the second medium is gas obtained by vaporizing dry air or liquefied gas.
このハンドラーによれば、第1及び第2の媒体は、通常のエアに比べて水分含有量が少ない流体である。そして、第1温度調整状態においては、排出路を通じて第1の媒体が収容容器内に導入され、第2温度調整状態においては、排出路を通じて第2の媒体が収容容器内に導入されることになる。その結果、収容容器に水分含有量の少ない気体が導入されることから、収容容器内において結露が発生することを抑えるうえで、第1及び第2の媒体を有効に利用することができる。 According to this handler, the first and second media are fluids having a low water content compared to normal air. In the first temperature adjustment state, the first medium is introduced into the storage container through the discharge path, and in the second temperature adjustment state, the second medium is introduced into the storage container through the discharge path. Become. As a result, since a gas having a low water content is introduced into the storage container, the first and second media can be used effectively in suppressing the occurrence of condensation in the storage container.
本発明のハンドラーの一態様は、前記排出路には、前記流出端から排出された媒体を18℃まで加熱する加熱部が配設されている。
このハンドラーによれば、収容容器に導入される第1及び第2の媒体が少なくとも18℃を有していることから、収容容器内の温度がその時々の露点よりも低くなることを抑えることができる。その結果、収容容器内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
In one aspect of the handler according to the present invention, a heating section for heating the medium discharged from the outflow end to 18 ° C. is disposed in the discharge path.
According to this handler, since the first and second media introduced into the storage container have at least 18 ° C. , it is possible to suppress the temperature in the storage container from becoming lower than the dew point at that time. it can. As a result, it is possible to further suppress the occurrence of condensation in the storage container.
本発明のハンドラーの一態様は、前記支持部を複数有し、前記第1の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも2つの支持部に対して1つずつ設けられ、前記第2の供給路が、前記複数の第1の供給路に対して並列に接続される。 One aspect of the handler of the present invention includes a plurality of the support portions, and the first supply path is provided for each of at least two support portions of the support portions, and the second supply portion is provided. A path is connected in parallel to the plurality of first supply paths.
このハンドラーによれば、複数の第1の供給路に対して第2の供給路を並列に接続することによって、複数の第1の供給路に対し、共通する供給源から第2の媒体を供給することができる。その結果、1つの第1の供給路に対して1つの第2の供給路が接続され、且つ第2の供給路の各々に第2の媒体の供給源が配設される場合に比べて、第2の媒体の供給源を削減することが可能であるとともに、第2の供給路の構成を簡素化することができる。 According to this handler, a second medium is supplied from a common supply source to the plurality of first supply paths by connecting the second supply path in parallel to the plurality of first supply paths. can do. As a result, compared to a case where one second supply path is connected to one first supply path, and a second medium supply source is disposed in each of the second supply paths, The supply source of the second medium can be reduced, and the configuration of the second supply path can be simplified.
本発明の部品検査装置の一態様は、部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、前記媒体供給路の途中に介在し、第1の流路を流れる前記温度調整媒体と第2の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、前記熱交換器に接続され、第1の媒体を前記第2の流路に供給する第1の供給路と、前記熱交換器に接続され、第2の媒体を前記第2の流路に供給する第2の供給路と、前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、前記媒体制御弁の開度、前記第1の制御弁の開度、前記第2の制御弁の開度を制御する制御部とを備え、前記第2の流路は、該第2の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記第2の流路の前記流入端に対して並列に接続され、前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、前記制御部は、前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有する。 One aspect of the component inspection apparatus of the present invention is a device that supports a component and has a medium flow path through which a temperature adjustment medium flows, and is connected to the medium flow path, and supplies the temperature adjustment medium to the medium flow path. A medium supply path; a medium control valve that controls the flow rate of the temperature adjustment medium in the medium supply path; and the temperature adjustment medium and the second flow that are interposed in the middle of the medium supply path and that flow through the first flow path. A heat exchanger for exchanging heat with a fluid flowing through the channel, a first supply channel connected to the heat exchanger and supplying a first medium to the second channel, and the heat exchanger A second supply path connected to supply the second medium to the second flow path; a first control valve for controlling a flow rate of the first medium in the first supply path; A second control valve for controlling the flow rate of the second medium through two supply paths, the opening degree of the medium control valve, and the first control. And a control unit for controlling the opening of the second control valve, and the second flow path includes an inflow end that is one end of both ends of the second flow path, and the like. The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the second flow path, and the first medium Has a temperature lower than 18 ° C. , the second medium has a temperature of 18 ° C. or higher, and the control unit opens the medium control valve and opens the first control valve. A first temperature adjustment state in which the second control valve is closed; a medium control valve in the open state; the first control valve in a closed state; and the second control valve in an open state. Temperature controlled state.
本発明の部品検査装置の一態様によれば、第1温度調整状態では、熱交換器における第2の流路に18℃よりも低い温度を有する第1の媒体が流入することから、媒体流路には、第1の媒体によって18℃よりも低い温度に冷却された温度調整媒体が流入する。第2温度調整状態では、熱交換器の第2の流路に18℃以上の温度を有する第2の媒体が流入することから、媒体流路には、第2の媒体によって18℃以上の温度に加熱された温度調整媒体が流入する。上記2つの制御状態である第1温度調整状態と第2温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が18℃よりも低い状態と支持部の温度が18℃以上である状態とを切替えることが可能である。
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記支持部が収容される収容容器と、前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の
制御弁と、前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、前記制御部は、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、さらに、前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と、前記収容容器に接続され、パージエアが流れるパージエア供給路と、前記排出路を流れる前記媒体と前記パージエア供給路を流れる前記パージエアとの間での熱交換により前記媒体を18℃まで加熱する熱交換器とを備え、前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記パージエアがドライエアである。
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記支持部が収容される収容容器と、前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、前記制御部は、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、さらに、前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と、前記排出路に配設され、前記媒体流路から前記収容容器への前記媒体の流れを許容し、且つ、前記収容容器から前記媒体流路への前記媒体の流れを抑止する逆止弁とを備え、前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである。
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する複数の支持部と、前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、前記制御部は、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、前記第1の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも2つの支持部に対して1つずつ設けられ、前記第2の供給路が、前記複数の第1の供給路に対して並列に接続され、前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、前記複数の第1の供給路を流れる前記液化ガスを気化する気化容器をさらに備え、前記気化容器の内部は、前記複数の第1の供給路の各々に対する気化室に仕切られている。
According to the aspect of the component inspection apparatus of the present invention, in the first temperature adjustment state, the first medium having a temperature lower than 18 ° C. flows into the second flow path in the heat exchanger. The temperature adjusting medium cooled to a temperature lower than 18 ° C. by the first medium flows into the path. In the second temperature adjustment state, since the second medium having a temperature of 18 ° C. or higher flows into the second flow path of the heat exchanger, the medium flow path has a temperature of 18 ° C. or higher due to the second medium. The heated temperature adjusting medium flows into the. Because it has a first temperature adjusting state and a second temperature adjustment state is the above two control states control unit, and a state temperature is the temperature of the support portion and lower than 18 ° C. is 18 ° C. or more support portions Can be switched.
One aspect of the handler of the present invention includes a support section that supports a component and has a medium flow path through which a medium flows, a storage container that stores the support section, and a medium that is connected to the medium flow path. A first supply path for supplying the medium flow path; a second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path; and the first supply path for the first supply path. A first control valve that controls the flow rate of the first medium, a second control valve that controls the flow rate of the second medium in the second supply path, the opening of the first control valve, and the A control unit that controls the opening degree of the second control valve, and the medium flow path has an inflow end that is one end and an outflow end that is the other end of the medium flow path. And the first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path, and the first medium is at 18 ° C. The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher, and the control unit opens the first control valve and closes the second control valve. A first temperature adjustment state; a second temperature adjustment state in which the first control valve is in a closed state and the second control valve is in an open state; By a heat exchange between a discharge path through which the medium discharged from the pipe flows, a purge air supply path connected to the container and through which purge air flows, and the medium flowing through the discharge path and the purge air flowing through the purge air supply path A heat exchanger that heats the medium to 18 ° C. , the first medium is a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, and the second medium is a gas obtained by vaporizing dry air or a liquefied gas, The purge air is dry air.
One aspect of the handler of the present invention includes a support section that supports a component and has a medium flow path through which a medium flows, a storage container that stores the support section, and a medium that is connected to the medium flow path. A first supply path for supplying the medium flow path; a second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path; and the first supply path for the first supply path. A first control valve that controls the flow rate of the first medium, a second control valve that controls the flow rate of the second medium in the second supply path, the opening of the first control valve, and the A control unit that controls the opening degree of the second control valve, and the medium flow path has an inflow end that is one end and an outflow end that is the other end of the medium flow path. And the first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path, and the first medium is at 18 ° C. The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher, and the control unit opens the first control valve and closes the second control valve. A first temperature adjustment state; a second temperature adjustment state in which the first control valve is in a closed state and the second control valve is in an open state; A discharge path through which the medium discharged from the medium flows, and allows the medium to flow from the medium flow path to the storage container, and is disposed in the discharge path, and the medium flow path from the storage container to the medium flow path A check valve for suppressing the flow of the medium, wherein the first medium is a gas obtained by vaporizing liquefied gas, and the second medium is a gas obtained by vaporizing dry air or liquefied gas.
According to one aspect of the handler of the present invention, there are provided a plurality of support portions that support a component and have a medium flow path through which a medium flows, a first medium that is connected to the medium flow path and supplies a first medium to the medium flow path. A second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path, and a first flow path for controlling the flow rate of the first medium by the first supply path. 1 control valve, a second control valve for controlling the flow rate of the second medium through the second supply path, an opening degree of the first control valve, and an opening degree of the second control valve, The medium flow path has an inflow end that is one end of the both ends of the medium flow path and an outflow end that is the other end, and the first supply path And the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path, the first medium has a temperature lower than 18 ° C. , and the second supply path Medium has a temperature above 18 ° C., wherein the control unit, the first control valve open state, the first temperature adjusting state of the closed second control valve, the first of A second temperature adjustment state in which the control valve is closed and the second control valve is in an open state, and the first supply path is 1 for at least two support portions of the support portions. Each provided, the second supply path is connected in parallel to the plurality of first supply paths, and the first medium is a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, and the plurality of first supplies A vaporization container for vaporizing the liquefied gas flowing through the supply path, and the inside of the vaporization container is partitioned into vaporization chambers for the plurality of first supply paths.
以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した第1及び第2実施形態について、図1〜図11を参照して説明する。なお、部品検査装置は、電子部品を搬送するハンドラーと、ハンドラーとは別体の装置であって電子部品の電気的特性を検査するテスターとを備えるものである。 Hereinafter, first and second embodiments embodying a handler and a component inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. The component inspection apparatus includes a handler that conveys an electronic component, and a tester that is an apparatus separate from the handler and inspects the electrical characteristics of the electronic component.
[ハンドラー及び部品検査装置の構成]
まず、第1及び第2実施形態のハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に共通する全体構成について図1を参照して説明する。図1に示されるように、ハンドラー10の基台11には、各種ロボットの搭載される搭載面11aが上面として設けられ、該搭載面11aの大部分が、カバー部材12によって覆われている。これらカバー部材12と搭載面11aとにより囲まれた空間である搬送空間は、外部から供給されるドライエアにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。
[Configuration of handler and parts inspection equipment]
First, an overall configuration common to the handlers of the first and second embodiments and the component inspection apparatus including the handler will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the
基台11の搭載面11aには、カバー部材12の外側と内側との間で電子部品Tを搬送する4つのコンベアーC1〜C4が配列されている。このうち、コンベアーの配列方向であるX方向の一方側には、カバー部材12の外側から内側に向かって検査前の電子部品Tを搬送する供給用コンベアーC1が敷設され、X方向の他方側には、カバー部材12の内側から外側に向かって検査後の電子部品Tを搬送する回収用コンベアーC2,C3,C4が敷設されている。これらのコンベアーC1〜C4では、複数の電子部品Tが各コンベアー上のデバイストレイC1a〜C4aに収容された状態で搬送される。
On the mounting
また、搭載面11aのうち、搬送空間の略中央には、搭載面11aを貫通する矩形状の開口部13が形成されている。この開口部13には、テスターのテストヘッド14が取り付けられている。テストヘッド14は、その上面に電子部品Tが嵌め込まれる検査用ソケットを有しており、該電子部品Tを検査するためのテスター内の検査回路に電気的に接続されている。このテスターにおいては、テストヘッド14と検査用ソケット14aとによって1つのステージが構成されている。
In addition, a
さらに、搭載面11aのうち、X方向と直交するY方向では、開口部13の両側に、検査前及び検査後の電子部品Tが一時的に載置される第1シャトル15と第2シャトル16とが配設されている。これらのシャトル15,16は、X方向に延びるように形成されており、その上面における上記供給用コンベアーC1側には、検査前の電子部品Tが収容される収容ポケット17,18が複数形成された供給用シャトルプレート15a,16aがそれぞれ固定されている。一方、シャトル15,16の上面における上記回収用コンベアーC2〜C4側には、検査後の電子部品Tが収容される回収用シャトルプレート15b,16bがそれぞれ固定されている。そして、これらシャトル15,16は、搭載面11aに固設されたX方向に延びるシャトルガイド15c,16cにそれぞれ連結されてX方向に沿って往動及び復動する。ハンドラー10においては、第1シャトル15と供給用シャトルプレート15aとによって1つのステージが構成されており、第2シャトル16と供給用シャトルプレート16aとによって1つのステージが構成されている。
Furthermore, in the Y direction orthogonal to the X direction on the mounting
基台11の搭載面11a上には、検査用ソケット14a、供給用シャトルプレート15a,16a、及び回収用シャトルプレート15b,16bの各々に電子部品Tを搬送するロボット機構が搭載されている。そして、ロボット機構を構成する供給ロボット20、搬送ロボット30、及び回収ロボット40の動作に合わせて、上述のシャトル15,16はシャトルガイド15c,16cに沿って移動する。
On the mounting
供給ロボット20は、供給用コンベアーC1上のデバイストレイC1aから、シャトル15,16上の供給用シャトルプレート15a,16aに検査前の電子部品Tを搬送するロボットであり、供給用コンベアーC1のY方向に配置されている。詳しくは、供給ロボット20は、Y方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド21と、供給側固定ガイド21に対してY方向に往動及び復動可能に連結された供給側可動ガイド22と、供給側可動ガイド22に対してX方向に往動及び復動可能に連結された供給用ハンドユニット23とを有している。また、供給用ハンドユニット23は、その下端に電子部品Tを吸着する吸着部を有し、搭載面11a対して下降及び上昇可能に供給側可動ガイド22に連結されている。そして、供給側可動ガイド22及び供給用ハンドユニット23の移動により、デバイストレイC1aに載置された電子部品Tが、供給用ハンドユニット23の吸着部に吸着されて搬送され、供給用シャトルプレート15a,16aに載置される。
The
回収ロボット40は、シャトル15,16上の回収用シャトルプレート15b,16bから、回収用コンベアーC2〜C4上のデバイストレイC2a〜C4aに検査後の電子部品Tを搬送するロボットであり、回収用コンベアーC2〜C4のY方向に配置されている。詳しくは、回収ロボット40は、上述の供給ロボット20と同様、Y方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド41と、回収側固定ガイド41に対してY方向に往動及び復動可能に連結された回収側可動ガイド42と、回収側可動ガイド42に対してX方向に往動及び復動可能に連結された回収用ハンドユニット43とを有している。また、回収用ハンドユニット43は、その下端に電子部品Tを吸着する吸着部を有し、搭載面11a対して下降及び上昇可能に回収側可動ガイド42に連結されている。そして、回収側可動ガイド42及び回収用ハンドユニット43の移動により、回収用シャトルプレート15b,16bに載置された電子部品Tが、回収用ハンドユニット43の吸着部に吸着されて搬送され、デバイストレイC2a〜C4aに載置される。
The
搬送ロボット30は、搬送空間の略中央に設置されたY方向に延びる固定軸である搬送ガイド31と、搬送ガイド31に対してY方向に往動及び復動可能に連結された第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33とを有している。このうち、第1搬送ユニット32は、第1シャトル15上とテストヘッド14上との間を往復し、第2搬送ユニット33は、第2シャトル16上とテストヘッド14上との間を往復する。また、第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33は、各々がその下端に電子部品Tを吸着する吸着部を有し、搭載面11a対して下降及び上昇可能に搬送ガイド31に連結されている。
The
そして、第1搬送ユニット32は、第1シャトル15上の供給用シャトルプレート15aに載置された検査前の電子部品Tを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド14の検査用ソケット14aに所定の押圧力で嵌め込む。検査用ソケット14aの底面には、電子部品Tの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されており、電子部品Tの有する雄端子が検査用ソケット14aの雌端子に嵌め込まれることによって、電子部品Tの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラー10から検査開始の指令を受けて電子部品Tの検査を開始し、その検査結果とともに検査の終了を示す信号をハンドラー10に出力する。こうして電子部品Tの検査が終了すると、第1搬送ユニット32は、検査後の電子部品Tをテストヘッド14の検査用ソケット14aから第1シャトル15上の回収用シャトルプレート15bへ搬送する。
Then, the
同様に、第2搬送ユニット33は、第2シャトル16上の供給用シャトルプレート16aに載置された検査前の電子部品Tを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド14の検査用ソケット14aに所定の押圧力で嵌め込む。そして、テスターによる電子部品Tの検査が終了すると、第2搬送ユニット33は、検査後の電子部品Tを、テストヘッド14の検査用ソケット14aから第2シャトル16上の回収用シャトルプレート16bへ搬送する。このような第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33によるテストヘッド14への電子部品Tの搬送は交互に行われ、電子部品Tがテスターによって順次検査されていく。
Similarly, the
なお、供給用ハンドユニット23、回収用ハンドユニット43、第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33は、複数の電子部品を同時に吸着保持するものであり、各々の吸着部は例えば真空吸着によって電子部品Tを吸着して把持することの可能なエンドエフェクターとして構成される。
The
ここで、本実施形態では、第1シャトル15の周囲に、搬送空間内で隔離され、第1シャトル15と供給用シャトルプレート15a及び回収用シャトルプレート15bとを収容する部屋を有する収容容器としての収容ボックス50が配設されている。同様に、開口部13及び開口部13に取り付けられたテストヘッド14の周囲には、搬送空間内で隔離され、テストヘッド14及び検査用ソケット14aを収容する部屋である検査ボックス51が配設されている。さらに、第2シャトル16の周囲には、搬送空間内で隔離され、第2シャトルと供給用シャトルプレート16a及び回収用シャトルプレート16bとを収容する部屋である収容ボックス52が配設されている。そして、これら収容ボックス50、検査ボックス51、及び収容ボックス52の各々において電子部品Tの冷却が行なわれる。
Here, in the present embodiment, as a storage container having a room for storing the
[第1実施形態における温度調整ユニットの構成]
次に、第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Tの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。まず、温度調整ユニットの構成について、図2を参照して説明する。なお、部品検査装置には、供給用シャトルプレート15a,16aの収容ポケット17,18に収容された電子部品Tの温度を調整する温度調整ユニット、テストヘッド14の検査用ソケット14aに収容された電子部品Tの温度を調整する温度調整ユニットが搭載されている。第1実施形態では、供給用シャトルプレート15aの収容ポケット17に収容される電子部品Tの温度を調整する温度調整ユニットを用いて説明する。
[Configuration of Temperature Adjustment Unit in First Embodiment]
Next, a temperature adjustment unit that adjusts the temperature of the electronic component T in the handler and the component inspection apparatus of the first embodiment will be described. First, the configuration of the temperature adjustment unit will be described with reference to FIG. The component inspection apparatus includes a temperature adjustment unit for adjusting the temperature of the electronic component T accommodated in the accommodation pockets 17 and 18 of the
図2に示されるように、1つの温度調整ユニットは、供給用シャトルプレート15aに形成された複数の収容ポケット17のうち、2つの収容ポケット17A,17Bの温度を調整する。温度調整ユニットは、収容ポケット17A,17Bの温度を調整することで、該収容ポケット17A,17Bに収容される電子部品Tの温度を調整する。温度調整ユニットは、例えば、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度である例えば−45℃となるように調整する。また例えば、温度調整ユニットは、第1目標温度にある収容ポケット17A,17Bの温度が例えば18℃といった常温である第2目標温度になるように調整する。
As shown in FIG. 2, one temperature adjustment unit adjusts the temperatures of the two
温度調整ユニットにおいて、貯蔵タンク55には、第1の媒体である窒素が液相状態にある液体窒素が貯蔵されている。貯蔵タンク55には、共通路56を介して第1供給路57Aが接続されている。この第1供給路57Aは、収容ポケット17Aの直下を通るように第1シャトル15に形成された媒体流路58Aの流入端EnAに接続されている。第1供給路57Aには、第1の制御弁としての窒素供給バルブ59A(以下、単にバルブ59Aという。)が配設されており、このバルブ59Aは、第1供給路57Aを開閉して媒体流路58Aに対する第1の媒体の供給量を制御する。
In the temperature adjustment unit, the
また、貯蔵タンク55には、共通路56を介して第1供給路57Bが接続されている。第1供給路57Bは、第1供給路57Aと略等しい流路断面積を有する配管であって、収容ポケット17Bの直下を通るように第1シャトル15に形成された媒体流路58Bの流入端EnBに接続されている。第1供給路57Bには、第1の制御弁としての窒素供給バルブ59B(以下、単にバルブ59Bという。)が配設されており、このバルブ59Bは、第1供給路57Bを開閉して媒体流路58Bに対する第1の媒体の供給量を制御する。
In addition, a first supply path 57 </ b> B is connected to the
すなわち、第1シャトル15は、媒体流路58Aと媒体流路58Bとに対して互いに異なる量の第1の媒体が供給可能となっていることから、収容ポケット17Aに対応する媒体流路58Aを有する支持部と、収容ポケット17Bに対応する媒体流路58Bを有する支持部とを有している。
That is, since the
これら第1供給路57A,57Bには、各バルブ59A,59Bの下流側に気化容器60が配設されている。気化容器60内は、第1供給路57A,57Bよりも流路断面積が大きい気化室61A,61Bに仕切られており、気化室61Aに第1供給路57Aの液体窒素が流入し、気化室61Bに第1供給路57Bの液体窒素が流入する。気化室61A,61Bに流入した液体窒素は、第1目標温度よりも低い温度の窒素ガスとなって気化容器60から流出する。そして、窒素ガスとなった第1の媒体は、媒体流路58A,58Bに流入して収容ポケット17A,17Bを直接的に冷却する。
In the
また、第1シャトル15の内部には、各収容ポケット17A,17Bの直下に加熱ヒーター62A,62B(以下、単にヒーター62A,62Bという。)が備えられている。ヒーター62A,62Bは、収容ポケット17A,17Bを加熱する。また、各収容ポケット17A,17Bには、該収容ポケット17A,17Bの温度を検出する温度センサー63A,63Bが備えられている。そして、媒体流路58A,58Bを流通する窒素ガスによる冷却とヒーター62A,62Bによる加熱との協働によって、各収容ポケット17A,17Bが第1目標温度に制御される。
Further, inside the
一方、媒体流路58Aの流出端ExAには、排出路64Aが接続されている。排出路64Aは、収容ボックス50に接続されており、媒体流路58Aから排出された窒素ガスを収容ボックス50に導入する。また、媒体流路58Bの流出端ExBには、排出路64Bが接続されている。排出路64Bは、接続部65において排出路64Aに接続されており、媒体流路58Bから排出された窒素ガスを排出路64Aに排出する。すなわち、収容ボックス50には、媒体流路58A,58Bから排出された窒素ガスが導入される。
On the other hand, a
排出路64Aには、排出路64Bとの接続部65よりも上流側に、媒体流路58Aから接続部65への気体の流れを許容し、且つ接続部65から媒体流路58Aへの気体の流れを抑止する逆止弁66Aが配設されている。同様に排出路64Bには、排出路64Bとの接続部65よりも上流側に、媒体流路58Bから接続部65への気体の流れを許容し、且つ接続部65から媒体流路58Bへの気体の流れを抑止する逆止弁66Bが配設されている。こうした逆止弁66A,66Bを設けることによって、例えば、媒体流路58Aから排出された媒体が排出路64Bを逆流して媒体流路58Bに流入すること、媒体流路58Bから排出された媒体が排出路64Aを逆流して媒体流路58Aに流入すること、これらを抑えることができる。
The
また、排出路64Aには、排出路64Bとの接続部65よりも下流側に加熱部としての熱交換器67が配設されている。熱交換器67は、いわゆるプレート式熱交換器であって、排出路64Aと、ドライエア供給源69からのドライエアであるパージエアが供給されるパージエア供給路70とが接続されている。熱交換器67では、排出路64Aを流通する媒体と、パージエア供給路70を流通するパージエアとが並行流となっており、これら媒体とパージエアとの間で熱交換が行なわれる。
Further, a
また、排出路64Aには、熱交換器67の下流側に、熱交換器67から収容ボックス50への気体の流れを許容し、且つ収容ボックス50から熱交換器67への気体の逆流を抑止する逆止弁68が配設されている。こうした逆止弁68を設けることによって、排出路64Aを通じて、熱交換器67、媒体流路58A,58B、気化容器60に対し、収容ボックス50から窒素ガスよりも水分含有量の多いエアが流れ込むことを抑えることができる。その結果、バルブ59A,59Bが再び開状態に制御されたときに、逆止弁68よりも上流側にある熱交換器67や媒体流路58A,58B、気化容器60等、窒素ガスの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
Further, in the discharge path 64 </ b> A, on the downstream side of the
ドライエア供給源69は、コンプレッサーや乾燥機で構成されており、部品検査装置の周辺にあるエアを圧縮し、乾燥させたうえでパージエア供給路70に供給する。パージエア供給路70に対する供給量は、パージエア供給路70の流路断面積を変化させるパージエア供給バルブ71(以下、単にバルブ71という。)によって制御される。パージエア供給路70は、収容ボックス50に接続されており、熱交換器67から流出したパージエアは、収容ボックス50に導入される。パージエア供給路70には、バルブ71と熱交換器67との間にパージエアを加熱するエアヒーター72が配設されている。熱交換器67には、このエアヒーター72によって加熱されたパージエアが供給される。
The dry
また、パージエア供給路70には、熱交換器67の下流側に、熱交換器67から収容ボックス50への気体の流れを許容し、且つ収容ボックス50から熱交換器67への気体の逆流を抑止する逆止弁73が配設されている。こうした逆止弁73を設けることによって、収容ボックス50から窒素ガスよりも水分含有量の多いエアが流れ込むことを抑えられ、熱交換器67及びパージエア供給路70を乾燥状態に維持することができる。
Further, in the purge
上記ドライエア供給源69は、上記パージエア供給路70の他、該ドライエア供給源69の生成するドライエアを第2の媒体である昇温ガスとして第2供給路75に供給する。この第2供給路75は、分岐部76において第2供給路75Aと第2供給路75Bとに分岐されている。第2供給路75Aは、第1供給路57Aに対して接続部77Aで接続され、第2供給路75Bは、第1供給路57Bに対して接続部77Bで接続されている。
In addition to the purge
第2供給路75における分岐部76よりも上流側には、第2供給路75の流路断面積を変化させて、第2供給路75に対する昇温ガスの供給量を制御する第2の制御弁としての昇温ガス供給バルブ78(以下、単にバルブ78という。)が配設されている。また、第2供給路75におけるバルブ78と分岐部76との間には、昇温ガスを第2目標温度である18℃よりも高い所定の温度である例えば60℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター79とが配設されている。すなわち、窒素供給バルブ59A,59Bが閉状態、且つバルブ78が開状態にある場合、第1供給路57A,57Bには、第2目標温度よりも高い温度の昇温ガスが流入することとなり、収容ポケット17A,17Bが昇温ガスによって直接的に加熱されることになる。
The second control for controlling the supply amount of the temperature rising gas to the
また、第2供給路75Aには、第2供給路75から第1供給路57Aに対する昇温ガスの流れを許容し、且つ第1供給路57Aから第2供給路75への窒素ガスの流れを抑止する抑止する抑止部としての逆止弁80Aが配設されている。同様に、第2供給路75Bには、第2供給路75から第1供給路57Bに対する昇温ガスの流れを許容し、且つ第1供給路57Bから第2供給路75への窒素ガスの流れを抑止する抑止部としての逆止弁80Bが配設されている。
Further, the
[第1実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成]
次に、第1実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー10の電気的構成を中心に図3を参照して説明する。上記ハンドラー10に備えられた制御部を構成する制御装置85は、中央処理装置(CPU)、不揮発性メモリー(ROM)、及び揮発性メモリー(RAM)を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置85は、上記ROM及びRAMに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、上述の供給ロボット20、搬送ロボット30、回収ロボット40といったロボット機構の動作をはじめとするハンドラー10にかかわる各種制御を統括的に行っている。また、制御装置85には、テスター88が電気的に接続されており、テスター88との間で電子部品Tの検査の開始や終了を示す信号の入出力を行っている。ここでは、制御装置85による制御のうち、収容ポケット17A,17Bに対応する温度調整ユニットにかかわる制御の態様について説明する。なお、制御装置85は、入出力装置86を介して入力される目標温度に関する情報に基づいて、温度調整ユニットに関わる各種制御を実行する。
[Electric Configuration of Handler and Component Inspection Device in First Embodiment]
Next, the electrical configuration of the handler and the component inspection apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIG. The
制御装置85は、電子部品Tの目標温度が例えば−45℃である第1目標温度である場合には、収容ポケットを冷却する第1温度調整状態である冷却運転を実施する。また、制御装置85は、電子部品Tの目標温度が第1目標温度から例えば18℃といった常温である第2目標温度に切り替えられた場合には、収容ポケットを常温に復帰させる第2温度調整状態である常温復帰運転を実施する。
When the target temperature of the electronic component T is the first target temperature, for example, −45 ° C., the
図3に示されるように、制御装置85には、バルブ駆動部87aと加熱ヒーター駆動部87bとエアヒーター駆動部87cとを有する温度調整ユニット駆動部87が電気的に接続されている。
As shown in FIG. 3, the
まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部87a、加熱ヒーター駆動部87b、エアヒーター駆動部87cによる各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
First, regarding the cooling operation, driving modes of each valve, each heater, and each air heater by the
冷却運転において、バルブ駆動部87aは、制御装置85から入力された第1目標温度と、温度センサー63A,63Bの検出値とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度になるように、バルブ59A,59Bの各々の開閉時間を設定するとともに、該開閉時間を示す信号を各バルブ59A,59Bに出力する。バルブ59A,59Bは、入力された信号に応じた開閉を行うことで媒体流路58A,58Bの各々に対する窒素ガスの供給量を調整する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ78が閉状態に維持されることを示す信号をバルブ78に出力する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ71の開度を最大開度に維持することを示す信号をバルブ71に出力する。
In the cooling operation, the
冷却運転において、加熱ヒーター駆動部87bは、制御装置85から入力された第1目標温度と、温度センサー63A,63Bから入力された温度とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が目標温度になるように、ヒーター62A,62Bの各々に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力を各ヒーター62A,62Bに出力し、ヒーター62A,62Bを駆動する。
In the cooling operation, the
冷却運転において、エアヒーター駆動部87cは、エアヒーター72,79のうち、エアヒーター72のみを駆動する。エアヒーター駆動部87cは、バルブ59A,59Bの開閉時間に基づいて、熱交換器67における窒素ガスとパージエアとの熱交換によって、これら窒素ガスとパージエアが常温となるように、エアヒーター72に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター72に出力し、エアヒーター72を駆動する。
In the cooling operation, the air
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部87a、加熱ヒーター駆動部87b、エアヒーター駆動部87cによる各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
Next, regarding the normal temperature recovery operation, driving modes of each valve, each heater, and each air heater by the
常温復帰運転において、バルブ駆動部87aは、バルブ59A,59Bが閉状態に維持されることを示す信号を各バルブ59A,59Bに出力する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ78の開度を最大開度にすることを示す信号をバルブ78に出力する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ71の開度を最大開度にすることを示す信号をバルブ71に出力する。
In the normal temperature recovery operation, the
常温復帰運転において、加熱ヒーター駆動部87bは、制御装置85から入力された第2目標温度と、温度センサー63A,63Bから入力された温度とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が第2目標温度になるように、ヒーター62A,62Bの各々に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力を各ヒーター62A,62Bに出力し、ヒーター62A,62Bを駆動する。
In the normal temperature recovery operation, the
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部87cは、エアヒーター72,79の双方を駆動する。エアヒーター駆動部87cは、媒体流路58A,58Bに供給される昇温ガスが第2目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター79に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部87cは、その生成した駆動電力をエアヒーター79に出力し、エアヒーター79を駆動する。
In the normal temperature recovery operation, the air
また、エアヒーター駆動部87cは、温度センサー63A,63Bの検出値に基づいて、熱交換器67における昇温ガスとパージエアとの熱交換によって、これら昇温ガスとパージエアの双方が常温以上の温度となるように、エアヒーター72に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部87cは、その生成した駆動電力をエアヒーター72に出力し、エアヒーター72を駆動する。
Further, the air
すなわち、温度調整ユニット駆動部87は、冷却運転と常温復帰運転とにおいて、図4に示すように、窒素供給バルブ59A,59B、昇温ガス供給バルブ78、パージエア供給バルブ71、加熱ヒーター62A,62B、エアヒーター72,79の駆動態様を変化させる。
That is, in the cooling operation and the normal temperature recovery operation, the temperature adjustment
なお、温度調整ユニット駆動部87と同様、供給用シャトルプレート15aの他の収容ポケット17や、供給用シャトルプレート16aの収容ポケット18、テストヘッド14の検査用ソケット14aに対応する温度調整ユニットに対しても、該温度調整ユニットごとに温度調整ユニット駆動部が設けられている。すなわち、制御装置85は、各温度調整ユニットを互いに独立させた態様で制御する。
As with the temperature adjustment
[第1実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて]
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて図5を参照して説明する。上述したように、第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ59A,59B,71が開閉制御されるとともに、バルブ78が閉状態に制御される。なお、冷却運転においては、バルブ78が閉状態であり、且つ第1供給路57A,57Bから第2供給路75への窒素ガスの流れが逆止弁80A,80Bで抑止されるため、第2供給路75,75A,75Bには流体が流通していない。そのため、図5では、第2供給路75,75A,75Bを点線で示している。
[Temperature adjustment unit during cooling operation in the first embodiment]
Next, the temperature adjustment unit during the cooling operation will be described with reference to FIG. As described above, in the cooling operation in the handler and component inspection device of the first embodiment, the
図5に示されるように、貯蔵タンク55から第1供給路57A,57Bに供給された液体窒素は、やがて気化容器60に流入する。気化容器60に流入した液体窒素は、該気化容器60において窒素ガスへと転移したのち、続いて媒体流路58A,58Bに流入して収容ポケット17A,17Bを冷却する。
As shown in FIG. 5, the liquid nitrogen supplied from the
媒体流路58A,58Bから排出路64A,64Bに排出された窒素ガスは、接続部65にて合流したのち、熱交換器67に流入する。この熱交換器67には、上記窒素ガスの他、エアヒーター72によって加熱されて窒素ガスよりも温度の高いパージガスが流入している。熱交換器67に流入した窒素ガスは、パージガスとの熱交換によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス50に導入される。また、熱交換器67に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換によって常温まで降温させられたのち、収容ボックス50に導入される。
The nitrogen gas discharged from the
こうした冷却運転において、制御装置85は、温度センサー63A,63Bから入力される温度が第1目標温度となるように、各バルブ59A,59Bの開閉時間とヒーター62A,62Bに出力される駆動電力とを制御する。また、制御装置85は、バルブ71を最大開度に制御するとともに、収容ボックス50に導入される窒素ガス及びパージエアが常温となるようにエアヒーター72に出力される駆動電力を制御する。
In such a cooling operation, the
[第1実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて]
次に、常温復帰運転の温度調整ユニットについて、図6を参照して説明する。上述したように、第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、バルブ59A,59Bが閉状態に制御されるとともに、バルブ71,78の開度が最大開度に制御される。なお、常温復帰運転においては、貯蔵タンク55から接続部77A,77Bまでの第1供給路57A,57Bには第1の媒体である窒素が流通していない。そのため、図6では、共通路56と第1供給路57A,57Bの一部とを点線で示している。
[Temperature adjustment unit during normal temperature recovery operation in the first embodiment]
Next, the temperature adjustment unit for normal temperature return operation will be described with reference to FIG. As described above, in the normal temperature recovery operation in the handler and the parts inspection apparatus of the first embodiment, the
図6に示されるように、ドライエア供給源69から第2供給路75に供給された昇温ガスは、エアヒーター79によって第2目標温度よりも高い温度まで加熱させられたのち、分岐部76において第2供給路75A,75Bに分流される。第2供給路75A,75Bに流入した昇温ガスは、接続部77A,77Bにおいて第1供給路57A,57Bに流入し、続けて媒体流路58A,58Bに流入する。媒体流路58A,58Bに流入した昇温ガスは、収容ポケット17A,17Bを加熱したのち、排出路64A,64Bに排出される。すなわち、第1目標温度にあった各収容ポケット17A,17Bは、ヒーター62A,62Bに加えて、媒体流路58A,58Bを流通する昇温ガスによって直接的に加熱される。
As shown in FIG. 6, the temperature rising gas supplied from the dry
媒体流路58A,58Bから排出路64A,64Bに排出された昇温ガスは、接続部65にて合流したのち、熱交換器67に流入する。この熱交換器67には、上記窒素ガスの他、エアヒーター72によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器67に流入した窒素ガスは、パージガスとの熱交換によって常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス50に導入される。また、熱交換器67に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス50に導入される。
The temperature rising gas discharged from the
こうした常温復帰運転において、制御装置85は、温度センサー63A,63Bから入力される温度が第2目標温度となるように、バルブ78の開度を最大開度に制御しつつ、エアヒーター79に出力される駆動電力とヒーター62A,62Bに出力される駆動電力とを制御する。また、制御装置85は、バルブ71を最大開度に制御するとともに、収容ボックス50に導入される窒素ガス及びパージエアが常温以上となるようにエアヒーター72に出力される駆動電力を制御する。
In such a normal temperature recovery operation, the
やがて温度センサー63A,63Bの検出値が第2目標温度に到達すると、ヒーター62A,62B、エアヒーター72,79の駆動が停止され、常温復帰運転が終了する。これにより、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度から第2目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット17A,17Bに収容された電子部品Tの温度も第1目標温度から第2目標温度に切り替えられる。なお、バルブ71,78は、常温復帰運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス50内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス50内が乾燥状態に維持される。
When the detected values of the
[第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置の作用]
次に、第1実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用について説明する。
第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Tの目標温度が第1目標温度から第2目標温度に切り替えられると上述した常温復帰運転が実施される。常温復帰運転が開始されると、媒体流路58A,58Bに供給される媒体が第1の媒体である窒素から第2の媒体である昇温ガスに切り替えられる。そして、第1目標温度にあった各収容ポケット17A,17Bは、第2目標温度に到達するまで昇温ガスによって加熱されることとなる。
[Operation of Handler and Component Inspection Device of First Embodiment]
Next, the operation of the handler and the component inspection apparatus in the first embodiment will be described.
In the handler and the component inspection apparatus of the first embodiment, when the target temperature of the electronic component T is switched from the first target temperature to the second target temperature, the above-described normal temperature return operation is performed. When the normal temperature recovery operation is started, the medium supplied to the
そのため、例えば各収容ポケット17A,17Bが常温になるまで装置自体を待機させる場合や常温のドライエアを媒体流路58A,58Bに供給する場合に比べて、各収容ポケット17A,17Bが第2目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
Therefore, for example, each of the storage pockets 17A and 17B has the second target temperature as compared with a case where the apparatus itself waits until the storage pockets 17A and 17B reach room temperature or when dry air of normal temperature is supplied to the
また、第2供給路75A,75Bには、逆止弁80A,80Bが配設されていることから、冷却運転時に窒素ガスの一部がエアヒーター79に流入し、該窒素ガスによってエアヒーター79が冷却されることを抑えることができる。これにより、窒素ガスの一部がエアヒーター79に流入してしまう場合に比べて、常温復帰運転開始時におけるエアヒーター79の温度が高められることとなる。その結果、第1供給路57A,57Bに対して、第2目標温度よりも高い温度の昇温ガスが早期に供給されることから、各収容ポケット17A,17Bが第2目標温度に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
In addition, since the
また、第2供給路75には、エアヒーター79の上流側にバルブ78が配設されている。ここで、バルブ78にも上記窒素ガスの一部が流入するとなれば、バルブ78の設計温度を窒素ガスの温度よりも低い温度に設定する必要がある。すなわち、上記逆止弁80A,80Bによって上記バルブ78に対する窒素ガスの流入が抑止されることで、バルブ78の設計温度を高く設定することができる。その結果、バルブ78を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
A
また、媒体流路58A,58Bから排出路64Aに排出された窒素ガス及び昇温ガスは、収容ボックス50に導入される。窒素ガスは、液体窒素を気化させたものであり水分含有量が0に近く、また昇温ガスも、ドライエアであって、部品検査装置の周辺のエアに比べれば水分含有量が少ない。そのため、これら窒素ガス及び昇温ガスが収容ボックス50に導入されることによって、収容ボックス50内が水分含有量の少ない気体で満たされることになる。その結果、収容ボックス50内で結露が発生することを抑えることができる。
Further, the nitrogen gas and the temperature rising gas discharged from the
一方、媒体流路58A,58Bから排出路64A,64Bに排出された窒素ガスは、収容ポケット17A,17Bを含む窒素ガスの流通経路を冷却しているため、気化容器60から流出した直後に比べて温度が高くなっているものの、未だ常温よりも低い温度が維持されている。また、媒体流路58A,58Bから排出路64A,64Bに排出された昇温ガスは、収容ポケット17A,17Bを含む窒素ガスの流通経路を加熱しているため、常温よりも低い温度まで温度が低下している可能性がある。こうした窒素ガスや昇温ガスが収容ボックス50に導入されるとなれば、いくら水分含有量の少ない気体が収容ボックス50に供給されているとはいえ、収容ボックス50内の温度がその時々の露点よりも低い温度になってしまい、収容ボックス50内において結露が発生する虞がある。この点、収容ボックス50に導入される窒素ガス及び昇温ガスは、熱交換器67におけるパージガスとの熱交換によって、その温度が常温以上の温度に調整される。そのため、収容ボックス50内の温度がその時々の露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス50内で結露が発生することをさらに抑えることができる。
On the other hand, since the nitrogen gas discharged from the
そして、収容ポケット17A,17Bを冷却する窒素ガス、収容ポケット17A,17Bを加熱する昇温ガス、これらを収容ボックス50における結露対策用のガスとして使用している。そのため、収容ボックス50において結露が発生することを抑えるうえで上記窒素ガス及び昇温ガスを有効に利用することができる。
Then, nitrogen gas for cooling the storage pockets 17A and 17B, temperature rising gas for heating the storage pockets 17A and 17B, and these as gas for preventing condensation in the
また、第2供給路75は、エアヒーター79の下流側にある分岐部76において、第2供給路75A,75Bに分岐されて、これら第2供給路75A,75Bが第1供給路57A,57Bに接続されている。すなわち、第2供給路75は、エアヒーター79の下流側で2つの第1供給路57A,57Bに対して並列に接続されている。そのため、2つの第1供給路57A,57Bに昇温ガスを供給する上で、ドライエア供給源69、バルブ78、エアヒーター79を共通化することができる。その結果、2つの第2供給路75A,75Bの各々にドライエア供給源69、バルブ78、エアヒーター79が配設される場合に比べて、第2供給路の構成を簡素化することができる。
In addition, the
以上説明したように、第1実施形態のハンドラー及び部品検査装置によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
(1)常温復帰運転によって、第1目標温度にあった収容ポケット17A,17Bを第2目標温度に切り替えることができるとともに、第2目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
As described above, according to the handler and component inspection apparatus of the first embodiment, the effects listed below can be obtained.
(1) By the normal temperature return operation, the accommodation pockets 17A and 17B that are at the first target temperature can be switched to the second target temperature, and the time required to switch to the second target temperature can be shortened.
(2)また、窒素ガスの流通経路と昇温ガスの流通経路とが、第1供給路と第2供給路との接続部よりも下流側で共有化されていることから、窒素ガスの流通経路と昇温ガスの流通経路とが別々に設けられた場合に比べて、温度の切り替えに要する構成を簡素にすることが可能である。 (2) Further, since the flow path of nitrogen gas and the flow path of temperature rising gas are shared downstream of the connection portion between the first supply path and the second supply path, the flow of nitrogen gas Compared with the case where the path and the flow path of the temperature rising gas are provided separately, the configuration required for temperature switching can be simplified.
(3)また、逆止弁80A,80Bによって、エアヒーター79に対する窒素ガスの流入が抑止されることから、各収容ポケット17A,17Bが第2目標温度に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
(3) Further, since the
(4)バルブ78は、第2供給路75においてエアヒーター79の上流側に配設されており、該エアヒーター79と同様に、窒素ガスの流入が逆止弁80A,80Bで抑止される。そのため、バルブ78を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
(4) The
(5)収容ポケットの冷却に利用した窒素ガス、及び収容ポケットの加熱に利用した昇温ガスが収容ボックス50に導入されることから、収容ボックス50を満たす気体の水分含有量を少なくすることができる。その結果、収容ボックス50内において結露が発生することを抑えることができる。
(5) Since the nitrogen gas used for cooling the storage pocket and the temperature rising gas used for heating the storage pocket are introduced into the
(6)排出路64Aには、媒体流路58A,58Bから排出された窒素ガス及び昇温ガスの温度を調整する熱交換器67が配設されている。その結果、収容ボックス50内の温度が露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス50内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
(6) A
(7)収容ポケットの冷却に使用した窒素ガス、収容ポケットの加熱に使用した昇温ガス、これらを収容ボックス50における結露対策用のガスとして使用している。そのため、収容ボックス50において結露が発生することを抑えるうえで上記窒素ガス及び昇温ガスを有効に利用することができる。
(7) Nitrogen gas used for cooling the storage pocket, temperature rising gas used for heating the storage pocket, and these are used as gas for preventing condensation in the
(8)第2供給路75は、エアヒーター79の下流側で2つの第1供給路57A,57Bに対して並列に接続されている。すなわち、2つの第2供給路75A,75Bに対し、1つのドライエア供給源69、1つのバルブ78で昇温ガスを供給することができる。その結果、第2供給路の構成を簡素化することができる。
(8) The
(9)また、2つの第2供給路75A,75Bの各々にエアヒーター79が配設される場合に比べて、第2供給路におけるエアヒーターの設置台数を少なくすることができることから、第2供給路の構成をさらに簡素化することができる。
(9) Since the number of installed air heaters in the second supply path can be reduced as compared with the case where the
(10)排出路64Aには逆止弁68が配設されていることから、該逆止弁68よりも上流側における窒素ガスの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
(10) Since the
(11)また、排出路64Aには逆止弁66A、排出路64Bには逆止弁66Bが配設されている。これにより、これら逆止弁66A,66Bよりも上流側における窒素ガスの流通経路において、結露や氷結が発生することをさらに抑えることができる。
(11) A
[第2実施形態における温度調整ユニットの構成]
次に、第2実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Tの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。
[Configuration of Temperature Adjustment Unit in Second Embodiment]
Next, a temperature adjustment unit that adjusts the temperature of the electronic component T in the handler and the component inspection apparatus of the second embodiment will be described.
まず、第2実施形態における温度調整ユニットの構成について、図7を参照して説明する。なお、第1実施形態の温度調整ユニットでは収容ポケットの媒体流路に対して、第1の媒体である窒素及び第2の媒体である昇温ガスを供給していたが、第2実施形態においては、第1の媒体及び第2の媒体とは異なる温度調整媒体が収容ポケットの媒体流路に供給される。そして、第1の媒体は、温度調整媒体を介して間接的に収容ポケットを冷却する。同様に、第2の媒体も、温度調整媒体を介して間接的に収容ポケットを加熱する。第2実施形態においては、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、第1実施形態における温度調整ユニットと同じ機能を有する構成要素については、同じ符号を付すことによりその詳細な説明を省略する。 First, the structure of the temperature adjustment unit in 2nd Embodiment is demonstrated with reference to FIG. In the temperature adjustment unit of the first embodiment, the nitrogen that is the first medium and the temperature rising gas that is the second medium are supplied to the medium flow path of the accommodation pocket. The temperature adjusting medium different from the first medium and the second medium is supplied to the medium flow path of the accommodation pocket. The first medium cools the accommodation pocket indirectly through the temperature adjustment medium. Similarly, the second medium also indirectly heats the accommodation pocket via the temperature adjustment medium. In the second embodiment, portions different from the first embodiment will be described in detail, and the same reference numerals are given to components having the same functions as the temperature adjustment unit in the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted. To do.
図7に示されるように、温度調整ユニットにおいて、ドライエア供給源69は、温度調整媒体としてのドライエアを媒体供給路であるドライエア供給路90に供給する。ドライエア供給路90は、第1熱交換器91の供給側流路91a、第2熱交換器92のドライエア側流路92a、第3熱交換器93のドライエア側流路93aを介して、収容ポケット17Aに対応する媒体流路58Aの一端に接続されている。この媒体流路58Aの他端に接続された連結路95は、第4熱交換器94のドライエア側流路94aを介して収容ポケット17Bに対応する媒体流路58Bの一端に接続されている。この媒体流路58Bの他端に接続されたドライエア排気路96は、第1熱交換器91の排気側流路91bを介して収容ボックス50に接続されている。なお、第3熱交換器93のドライエア側流路93a、第4熱交換器94のドライエア側流路94aが第1の流路に相当する。
As shown in FIG. 7, in the temperature adjustment unit, a dry
すなわち、温度調整媒体としてドライエア供給源69から供給されたドライエアは、第1熱交換器91の供給側流路91a、第2熱交換器92のドライエア側流路92a、第3熱交換器93のドライエア側流路93aを通じて、収容ポケット17Aに対応する媒体流路58Aに流入する。媒体流路58Aから排出されたドライエアは、第4熱交換器94のドライエア側流路94aを通じて、収容ポケット17Bに対応する媒体流路58Bに流入する。そして、媒体流路58Bからドライエア排気路96に排出されたドライエアは、第1熱交換器91の排気側流路91bを通じて、収容ボックス50に導入される。
That is, the dry air supplied from the dry
ドライエア供給路90には、第1熱交換器91の上流側に、媒体制御弁としてのドライエア供給バルブ97(以下、単にバルブ97という。)が配設されている。バルブ97は、ドライエア供給路90の流路断面積を変化させて、媒体流路58A,58Bに対するドライエアの供給量を制御する。また、ドライエア供給路90には、バルブ97と第1熱交換器91との間に、ドライエアを第2目標温度である18℃よりも高い所定の温度である例えば60℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター98が配設されている。
In the dry
ドライエア排気路96には、第1熱交換器91の下流側に逆止弁99が配設されており、この逆止弁99の下流側には加熱部としてのエアヒーター100が配設されている。逆止弁99は、第1熱交換器91からエアヒーター100への気体の流れを許容し、且つエアヒーター100から第1熱交換器91への気体の流れを抑止する。エアヒーター100は、収容ボックス50に導入されるドライエアの温度を例えば常温以上の温度に調整する。
In the dry
一方、第1供給路57Aは、バルブ59Aの下流側にて第3熱交換器93におけるガス側流路93bの流入端EnAに接続されており、第3熱交換器93に供給された媒体は、ガス側流路93bの流出端ExAから排出路64Aに排出される。第1供給路57Bは、バルブ59Bの下流側にて第4熱交換器94におけるガス側流路94bの流入端EnBに接続されており、第4熱交換器94に供給された媒体は、ガス側流路94bの流出端ExBから排出路64Bに排出される。これら排出路64A,64Bに排出された媒体は、接続部65で合流したのち、第2熱交換器92のガス側流路92bに流入する。排出路64Aには、第2熱交換器92の下流側に逆止弁68が配設されているとともに、この逆止弁68の下流側に、排出路64Aから収容ボックス50に導入される媒体の温度を常温以上の温度に調整するエアヒーター101が配設されている。
On the other hand, the
上述した第1〜第4熱交換器91〜94は、いわゆるプレート式熱交換器であって、各熱交換器における2つの流路が第1供給路57A,57Bよりも大きな流路断面積で形成されている。第1熱交換器91では、ドライエア供給源69から供給されて収容ポケット17A,17Bを冷却する前のドライエアと、媒体流路58Bから排出されて収容ポケット17A,17Bを冷却した後のドライエアとの間で熱交換が可能となっている。第2熱交換器92では、第1熱交換器91を通過したドライエアと、第3及び第4熱交換器93,94から排出されて、先行するドライエアとの間で熱交換した後の媒体との間で熱交換が可能となっている。第3熱交換器93では、第2熱交換器92を通過したドライエアと、第1供給路57Aから供給された媒体との間で熱交換が可能となっている。第4熱交換器94では、媒体流路58Aから排出されたドライエアと、第1供給路57Bから供給された媒体との間で熱交換が可能となっている。
The first to
[第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成]
次に、第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー10の電気的構成を中心に図8を参照して説明する。なお、加熱ヒーター駆動部87bによるヒーター62A,62Bの駆動態様は、第1実施形態と同じであるためその詳細な説明を省略する。
[Electric Configuration of Handler and Component Inspection Device in Second Embodiment]
Next, the electrical configuration of the handler and the component inspection apparatus according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In addition, since the driving mode of the
まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部87a、エアヒーター駆動部87cによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
冷却運転において、バルブ駆動部87aは、制御装置85から入力された第1目標温度と、温度センサー63A,63Bから入力された温度とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度になるように、バルブ59A,59Bの開閉時間を設定する。バルブ駆動部87aは、その開閉時間を示す信号を各バルブ59A,59Bに出力する。バルブ59A,59Bは、入力された信号に応じた開閉を行うことで第3及び第4熱交換器93,94に対する窒素ガスの供給量を調整する。また、バルブ駆動部87aは、制御装置85から入力された第1目標温度と、温度センサー63A,63Bから入力された温度とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度になるように、バルブ97の開度を設定する。バルブ駆動部87aは、その開度を示す信号をバルブ97に出力する。バルブ97は、入力された信号に応じて媒体流路58A,58Bに対するドライエアの供給量を調整する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ78が閉状態に維持されることを示す信号を該バルブ78に出力する。
First, regarding the cooling operation, driving modes of each valve and each air heater by the
In the cooling operation, the
冷却運転において、エアヒーター駆動部87cは、エアヒーター79,98,100,101のうち、エアヒーター100,101を駆動する。エアヒーター駆動部87cは、バルブ59A,59Bの開閉時間に基づいて、収容ボックス50に導入される窒素ガスの温度が常温となるように、エアヒーター101に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター101に出力し、エアヒーター101を駆動する。また、エアヒーター駆動部87cは、バルブ97の開度に基づいて、収容ボックス50に導入されるドライエアの温度が常温となるように、エアヒーター100に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター100に出力し、エアヒーター100を駆動する。
In the cooling operation, the air
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部87a、エアヒーター駆動部87cによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
常温復帰運転において、バルブ駆動部87aは、バルブ59A,59Bが閉状態に維持されることを示す信号を各バルブ59A,59Bに出力する。また、バルブ駆動部87aは、バルブ78,97の各々の開度を最大開度に維持することを示す信号を各バルブ78,97に出力する。
Next, regarding the normal temperature recovery operation, driving modes of each valve and each air heater by the
In the normal temperature recovery operation, the
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部87cは、エアヒーター79,98,100,101を駆動する。エアヒーター駆動部87cは、第1供給路57A,57Bに供給される昇温ガスが第2目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター79に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター79に出力し、エアヒーター79を駆動する。
In the normal temperature recovery operation, the air
エアヒーター駆動部87cは、第1熱交換器91に供給されるドライエアが第2目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター98に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター98に出力し、エアヒーター98を駆動する。
The air
エアヒーター駆動部87cは、温度センサー63A,63Bの検出値に基づいて、収容ボックス50に導入されるドライエアの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター100に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター100に出力し、エアヒーター100を駆動する。
Based on the detection values of the
エアヒーター駆動部87cは、温度センサー63A,63Bの検出値に基づいて、収容ボックス50に導入される昇温ガスの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター101に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター101に出力し、エアヒーター101を駆動する。
Based on the detection values of the
すなわち、温度調整ユニット駆動部87は、冷却運転と常温復帰運転とでは、図9に示すように、窒素供給バルブ59A,59B、昇温ガス供給バルブ78、ドライエア供給バルブ97、加熱ヒーター62A,62B、エアヒーター79,98,100,101の駆動態様を変化させる。
That is, in the cooling operation and the normal temperature recovery operation, the temperature adjustment
[第2実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて]
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて、図10を参照して説明する。上述したように、第2実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ59A,59B,97が開閉制御されるとともに、バルブ78が閉状態に制御される。また、エアヒーター79,98が停止状態に制御されるとともに、エアヒーター100,101の駆動電力が制御される。なお、冷却運転においては、バルブ78が閉状態であり、且つ第1供給路57A,57Bから第2供給路75への窒素ガスの流れが逆止弁80A,80Bで抑止されるため、第2供給路75,75A,75Bには流体が流通していない。そのため、図10では、第2供給路75,75A,75Bを点線で示している。
[Temperature adjustment unit during cooling operation in the second embodiment]
Next, the temperature adjustment unit during the cooling operation will be described with reference to FIG. As described above, in the cooling operation in the handler and component inspection apparatus of the second embodiment, the
図10に示されるように、貯蔵タンク55から第1供給路57Aに供給された液体窒素は、第3熱交換器93のガス側流路93bに流入して窒素ガスへと転移したのち第2熱交換器92のガス側流路92bに流入する。貯蔵タンク55から第1供給路57Bに供給された液体窒素は、第4熱交換器94のガス側流路94bに流入して窒素ガスへと転移したのち第2熱交換器92のガス側流路92bに流入する。そして、第2熱交換器92のガス側流路92bから排出された窒素ガスは、エアヒーター101によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス50に導入される。
As shown in FIG. 10, the liquid nitrogen supplied from the
一方、ドライエア供給源69からドライエア供給路90に供給されたドライエアは、第1熱交換器91の供給側流路91a、第2熱交換器92のドライエア側流路92a、第3熱交換器93のドライエア側流路93aに続けて流入する。ドライエアは、第1及び第2熱交換器91,92における熱交換によって段階的に冷却されたのち、第3熱交換器93における窒素ガスとの熱交換によって第1目標温度よりも低い温度まで冷却される。そして、第3熱交換器93のドライエア側流路93aを通過したドライエアは、媒体流路58Aに流入して収容ポケット17Aを冷却する。
On the other hand, the dry air supplied from the dry
媒体流路58Aから排出されたドライエアは、連結路95を通じて第4熱交換器94のドライエア側流路94aに流入する。第4熱交換器94に流入するドライエアは、収容ポケット17Aの冷却によって昇温されているが、該第4熱交換器94における窒素ガスとの熱交換によって第1目標温度よりも低い温度まで再び冷却される。そして、第4熱交換器94を通過したドライエアは、媒体流路58Bに流入して収容ポケット17Bを冷却する。媒体流路58Bからドライエア排気路96に排出されたドライエアは、続けて第1熱交換器91の排気側流路91bを通過したのち、エアヒーター100によって常温まで加熱されたうえで収容ボックス50に導入される。
The dry air discharged from the
媒体流路58Bからドライエア排気路96に排出されるドライエアは、収容ポケット17Bの冷却によって昇温されているとはいえ、常温よりは低い温度にある。そのため、第1熱交換器91では、先行して収容ポケット17A,17Bを冷却したドライエアの廃熱を利用して、第2熱交換器92に流入する前のドライエアが冷却される。
The dry air discharged from the
また、第2熱交換器92に流入する窒素ガスは、第3及び第4熱交換器93,94におけるドライエアとの熱交換によって昇温されているとはいえ、第1熱交換器91で冷却されたドライエアの温度よりは低い温度にある。そのため、第2熱交換器92では、先行するドライエアを冷却した窒素ガスの廃熱を利用して、第3熱交換器93に流入する前のドライエアが冷却される。
The nitrogen gas flowing into the
制御装置85は、温度センサー63A,63Bから入力される温度が第1目標温度となるように、各媒体流路58A,58Bに供給されるドライエアの供給量と、各第1供給路57A,57Bに供給される液体窒素の供給量と、ヒーター62A,62Bに出力される駆動電力とを制御する。これにより、各収容ポケット17A,17Bに収容された電子部品Tが第1目標温度に制御される。
The
[第2実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて]
次に、常温復帰運転時の温度調整ユニットについて図11を参照して説明する。上述したように、第2実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、温度調整ユニットにおいて、バルブ78,97が開閉制御されるとともに、バルブ59A,59Bが閉状態に制御される。また、エアヒーター79,98,100,101の駆動電力が制御される。なお、常温復帰運転においては、貯蔵タンク55から接続部77A,77Bまでの第1供給路57A,57Bには第1の媒体である窒素が流通していない。そのため、図11では、共通路56と第1供給路57A,57Bの一部とを点線で示している。
[Temperature adjustment unit during normal temperature recovery operation in the second embodiment]
Next, the temperature adjustment unit at the time of normal temperature return operation will be described with reference to FIG. As described above, in the normal temperature recovery operation in the handler and component inspection apparatus of the second embodiment, the
図11に示されるように、ドライエア供給源69から第2供給路75に供給された昇温ガスは、エアヒーター79によって第2目標温度よりも高い温度まで加熱されたのち、分岐部76において第2供給路75A,75Bに分流される。
As shown in FIG. 11, the temperature rising gas supplied from the dry
第2供給路75Aに流入した昇温ガスは、接続部77Aにおいて第1供給路57Aに流入し、続けて第3熱交換器93のガス側流路93bに流入する。また、第2供給路75Bに流入した昇温ガスは、接続部77Bにおいて第1供給路57Bに流入し、続けて第4熱交換器94のガス側流路94bに流入する。これら第3及び第4熱交換器93,94から排出路64A,64Bに排出された昇温ガスは、接続部65にて合流して第2熱交換器92のガス側流路92bに流入する。そして、第2熱交換器92から排出された昇温ガスは、エアヒーター101に流入する。すなわち、昇温ガスは、第2〜第4熱交換器92〜94等、冷却運転時に低温となっていた窒素ガスの流通経路を加熱する。そして、窒素ガスの流通経路を加熱することによって温度が低下した昇温ガスは、エアヒーター101によってその温度が常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス50に導入される。
The temperature rising gas that has flowed into the
一方、ドライエア供給源69からドライエア供給路90に供給されたドライエアは、エアヒーター98によって第2目標温度よりも高い所定の温度まで加熱される。その後、ドライエアは、ドライエア供給路90、及び冷却運転時にドライエアを段階的に冷却していた第1〜第3熱交換器91〜93を加熱しながら流通し、やがて媒体流路58Aに流入する。
On the other hand, the dry air supplied from the dry
この過程においてドライエアは、その温度が徐々に低下することになるが、第2及び第3熱交換器92,93は、上記ドライエアに加えて、第2供給路75Aからの昇温ガスによっても加熱されている。そのため、媒体流路58Aに流入するドライエアは、第2及び第3熱交換器92,93に昇温ガスが供給されない場合よりも高い温度で媒体流路58Aに流入することになる。そして、冷却運転時に低温にあった収容ポケット17Aは、媒体流路58Aに流入するドライエアによって加熱される。
In this process, the temperature of the dry air gradually decreases, but the second and
媒体流路58Aから排出されたドライエアは、連結路95、及び冷却運転時にドライエアを冷却していた第4熱交換器94を加熱しながら流通し、やがて媒体流路58Bに流入する。この過程においてもドライエアは、その温度が徐々に低下することになるが、第4熱交換器94も、上記ドライエアに加えて、第2供給路75Bからの昇温ガスによって加熱されている。そのため、媒体流路58Bに流入するドライエアは、第4熱交換器94に昇温ガスが供給されない場合よりも高い温度で媒体流路58Bに流入する。そして、冷却運転時に低温となっていた収容ポケット17Bは、媒体流路58Bに流入するドライエアによって加熱される。
The dry air discharged from the
媒体流路58Bからドライエア排気路96に排出されたドライエアは、ドライエア排気路96、及び第1熱交換器91を加熱しながら流通したのち、エアヒーター100に流入する。ドライエアは、エアヒーター100によってその温度が常温以上の温度に調整されたうえで収容ボックス50に導入される。
The dry air discharged from the
そして、常温復帰運転が進むにつれて、ドライエア供給路90、第1〜第4熱交換器91〜94の温度が上昇することから、媒体流路58A,58Bに流入するドライエアの温度も常温以上の温度まで上昇する。やがて温度センサー63A,63Bの検出値が第2目標温度に到達すると、バルブ78が閉状態に制御されるとともにエアヒーター79,98,100,101の駆動が停止され、常温復帰運転が終了する。これにより、収容ポケット17A,17Bの温度が第1目標温度から第2目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット17A,17Bに収容された電子部品Tの温度も第1目標温度から第2目標温度に切り替えられる。なお、バルブ97は、常温復帰運転の終了後も開状態に制御される。これにより、収容ボックス50内にドライエアが供給され続け、該収容ボックス50内が乾燥状態に維持される。
As the temperature recovery operation proceeds, the temperature of the dry
[第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用]
次に、第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用について説明する。第2実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Tの目標温度が第1目標温度から第2目標温度に切り替えられると常温復帰運転が実施される。
[Operation of Handler and Component Inspection Device in Second Embodiment]
Next, the operation of the handler and component inspection device in the second embodiment will be described. In the handler and the component inspection apparatus of the second embodiment, when the target temperature of the electronic component T is switched from the first target temperature to the second target temperature, the normal temperature recovery operation is performed.
常温復帰運転が開始されると、第1供給路57A,57Bに供給される媒体が第1の媒体である窒素から第2の媒体である昇温ガスに切り替えられるとともに、ドライエア供給路90から第1熱交換器91に供給されるドライエアが第2目標温度よりも高い所定の温度まで加熱されたドライエアに切り替えられる。そして、第1目標温度にあった各収容ポケット17A,17Bが第2目標温度に到達するまで、ドライエアの流通経路及び窒素ガスの流通経路が加熱されることとなる。
When the normal temperature recovery operation is started, the medium supplied to the
そのため、例えば各収容ポケット17A,17Bが常温になるまで装置自体を待機させる場合や、第2供給路75A,75Bに昇温ガスが供給されず且つ常温のドライエアがドライエア供給路90に供給される場合に比べて、ドライエアの流通経路が早期に昇温される。その結果、媒体流路58A,58Bに到達するまでの過程におけるドライエアの温度低下が抑えられることから、各収容ポケット17A,17Bが第2目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
For this reason, for example, when the respective storage pockets 17 </ b> A and 17 </ b> B are kept at a normal temperature, or when the temperature rising gas is not supplied to the
また、収容ボックス50には、エアヒーター100によって常温以上の温度が調整されたドライエアと、エアヒーター101によって常温以上の温度に調整された窒素ガスまたは昇温ガスが導入される。そのため、媒体流路58A,58Bから排出されたドライエア、排出路64A,64Bに排出された窒素ガスまたは昇温ガス、これらが常温よりも低い温度で収容ボックス50に導入される場合に比べて、収容ボックス50内の温度がその時々における露点よりも低い温度まで低下することを抑えることができる。
The
また、ドライエア排気路96において、第1熱交換器91の下流には逆止弁99が配設されている。そのため、バルブ97が閉状態に制御されている期間において、ドライエアの流通経路に対し、ドライエアよりも水分含有量の多いエアが収容ボックス50から流れ込むことを抑えることができる。その結果、冷却運転時にドライエアの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
In the dry
以上説明したように、第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置によれば、第1実施形態に記載した(2)〜(5)、(7)〜(11)に準ずる効果に加えて、以下に列挙する効果が得られるようになる。 As explained above, according to the handler and component inspection apparatus in the second embodiment, in addition to the effects equivalent to (2) to (5) and (7) to (11) described in the first embodiment, The following effects can be obtained.
(12)常温復帰運転によって、窒素ガスの流通経路、ドライエアの流通経路がともに加熱されることで、各収容ポケット17A,17Bに供給されるドライエアの温度を効果的に高めることができる。その結果、第1目標温度にあった収容ポケット17A,17Bを第2目標温度に切り替えることができるとともに、第2目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。 (12) The temperature of the dry air supplied to each of the accommodation pockets 17A and 17B can be effectively increased by heating the nitrogen gas flow path and the dry air flow path by the normal temperature recovery operation. As a result, the storage pockets 17A and 17B that are at the first target temperature can be switched to the second target temperature, and the time required to switch to the second target temperature can be shortened.
(13)排出路64Aには、第2熱交換器92から排出された窒素ガスあるいは昇温ガスを常温以上の温度に調整するエアヒーター101が配設されている。また、ドライエア排気路96には、媒体流路58Bから排出されたドライエアを常温以上の温度に調整するエアヒーター100が配設されている。その結果、収容ボックス50内の温度がその時々における露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス50内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
(13) An
(14)ドライエア排気路96には第1熱交換器91の下流側に逆止弁99が配設されていることから、該逆止弁99よりも上流側におけるドライエアの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
(14) Since the
なお、上記の第1及び第2実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・第1及び第2実施形態において、第2供給路は、収容ポケット17Aに対応する第1供給路57A、収容ポケット17Bに対応する第1供給路57Bに対して並列に接続されている。これに限らず、収容ポケットが複数ある場合には、互いに異なるドライエア供給源、流量制御弁、エアヒーターを備える第2供給路が複数の第1供給路に対して個別に接続されていてもよい。
In addition, said 1st and 2nd embodiment can also be suitably changed and implemented as follows.
In the first and second embodiments, the second supply path is connected in parallel to the
・第1及び第2実施形態において、1つの第2供給路75は、3つ以上の第1供給路に対して並列に接続されていてもよい。
・第1及び第2実施形態において、分岐部76の上流側におけるエアヒーター79を割愛し、分岐部76の下流側である第2供給路75A,75Bの各々にエアヒーターを備えていてもよい。
In the first and second embodiments, one
In the first and second embodiments, the
・第1及び第2実施形態において、媒体流路58A,58Bは、互いに異なるシャトルに配設された媒体流路であってもよい。その際、例えば媒体流路58Bが第2シャトル16に配設されているならば、該媒体流路58Bから排出されたドライエアは、収容ボックス52に導入される構成が好ましい。
In the first and second embodiments, the
・第1及び第2実施形態において、ハンドラー10は、該ハンドラー10が乾燥雰囲気下に設置されているならば、収容ボックス50,52、検査ボックス51が割愛された構成であってもよい。
In the first and second embodiments, the
・第1及び第2の媒体は、大気中よりも水分含有量が少ないものであればよい。例えば、第1の媒体は、液化ガスを気化させたガスであればよく、例えば酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。また例えば、第2の媒体は、ドライエアに限らず、液化ガスを気化させたガスであってもよく、第1の媒体同様、窒素、酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。 -The 1st and 2nd medium should just be a thing with less water content than air | atmosphere. For example, the first medium may be a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, and may be oxygen, hydrogen, helium, or the like, for example. Further, for example, the second medium is not limited to dry air, but may be a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, and may be nitrogen, oxygen, hydrogen, helium, or the like as in the first medium.
・第1及び第2実施形態において、窒素ガス、及び昇温ガス等のドライエアは、カバー部材12内や大気中に排出されてもよい。
・第1及び第2実施形態において、昇温ガス供給バルブ78は、エアヒーター79と分岐部76との間に配設されてもよいし、第2供給路75A,75Bにおける逆止弁80A,80Bの下流側に配設されていてもよい。
-In 1st and 2nd embodiment, dry air, such as nitrogen gas and temperature rising gas, may be discharged | emitted in the
-In 1st and 2nd embodiment, the temperature rising
・第1及び第2実施形態においては、逆止弁80A,80Bを抑止部としている。これに限らず、抑止部は、第1供給路57A,57Bから第2供給路75に対する窒素ガスの流入を抑止するものであればよく、例えば制御装置85によって開閉が制御される仕切弁などであってもよい。
-In 1st and 2nd embodiment,
・第1及び第2実施形態において、第2供給路75A,75Bにおける逆止弁80A,80Bの少なくとも一方が割愛された構成であってもよい。
・第1及び第2実施形態において、第2の媒体である昇温ガスを加熱するエアヒーター79が割愛された構成であってもよい。すなわち、第2の媒体は、常温であってもよい。
In the first and second embodiments, a configuration in which at least one of the
-In 1st and 2nd embodiment, the structure by which the
・第1及び第2実施形態において、媒体流路は、例えば第1シャトル15ではなく供給用シャトルプレート15aに形成されていてもよいし、第1シャトル15及び供給用シャトルプレート15aに連なるように形成されていてもよい。
In the first and second embodiments, the medium flow path may be formed in, for example, the
・第2実施形態のドライエア供給路90において、エアヒーター98が割愛された構成であってもよい。こうした構成の下では、常温復帰運転が進行するにつれて、第2〜第4熱交換器92〜94における昇温ガスとの熱交換によって加熱されたドライエアが媒体流路58A,58Bに供給されることになる。
-In the dry
・第1実施形態において、第2供給路は、図12に示されるような構成であってもよい。すなわち、図12に示されるように、パージエア供給路70における熱交換器67と逆止弁73との間にある分岐部111と、バルブ78とを接続する分岐路113を第2供給路としてもよい。また、同様に、排出路64Aにおける熱交換器67と逆止弁68との間に分岐部を設け、この分岐部とバルブ78を接続する分岐路を第2供給路としてもよい。
In the first embodiment, the second supply path may be configured as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 12, the
・第1実施形態において、収容ポケット17A,17Bが常温に復帰したことを温度センサー63A,63Bの検出値でなく、例えば熱交換器67や排出路64Aに新たに設けられた温度センサーの検出値に基づいて判断してもよい。
-In 1st Embodiment, it is not the detection value of
・第2実施形態において、第2供給路は、図13に示されるような構成であってもよい。図13に示されるように、ドライエア排気路96における第1熱交換器91と逆止弁99との間にある分岐部115と、バルブ78とを接続する分岐路117を第2供給路としてもよい。また、同様に、排出路64Aにおける第2熱交換器92と逆止弁68との間に分岐部を設け、この分岐部とバルブ78を接続する分岐路を第2供給路としてもよい。
In the second embodiment, the second supply path may be configured as shown in FIG. As shown in FIG. 13, the
・第2実施形態において、収容ポケット17A,17Bが常温に復帰したことを温度センサー63A,63Bの検出値でなく、例えばドライエア排気路96に設けられた温度センサーの検出値に基づいて判断してもよい。
In the second embodiment, it is determined that the storage pockets 17A and 17B have returned to normal temperature based on, for example, the detection value of the temperature sensor provided in the dry
・第2実施形態において、制御装置85は、例えばエアヒーター100に流入するドライエアの温度を検出する温度センサーを設け、該温度センサーの検出値に基づいて、エアヒーター100に出力する駆動電力を生成してもよい。同様に、制御装置85は、例えばエアヒーター101に流入する窒素ガスあるいは昇温ガスの温度を検出する温度センサーを設け、該温度センサーの検出値に基づいて、エアヒーター101に出力する駆動電力を生成してもよい。
-In 2nd Embodiment, the
・第1及び第2実施形態では、第2温度調整状態として、収容ポケット17A,17Bを常温に復帰させる常温復帰運転について説明した。これに限らず、第2温度調整状態は、収容ポケットを常温以上の温度に昇温させる運転状態であればよく、例えば120℃程度といった第2目標温度よりも高い第3目標温度まで収容ポケットを昇温させるような運転状態であってもよい。この運転状態においても、各バルブの開閉態様は常温復帰運転と同じであり、エアヒーターによって第3目標温度よりも高い温度まで昇温ガス及びドライエアが加熱される。 In the first and second embodiments, the normal temperature return operation for returning the accommodation pockets 17A and 17B to the normal temperature as the second temperature adjustment state has been described. Not limited to this, the second temperature adjustment state may be an operation state in which the storage pocket is heated to a temperature equal to or higher than room temperature. For example, the storage pocket is held to a third target temperature higher than the second target temperature, for example, about 120 ° C. An operating state in which the temperature is raised may be used. Even in this operating state, the open / close mode of each valve is the same as the normal temperature recovery operation, and the temperature rising gas and dry air are heated to a temperature higher than the third target temperature by the air heater.
・また、この上記運転状態において、各加熱ヒーター62A,62Bは、制御装置85から入力された第3目標温度と、温度センサー63A,63Bから入力された温度とに基づいて、収容ポケット17A,17Bの温度が第3目標温度となるように駆動されてもよい。
In addition, in this operation state, the
・また、第2温度調整状態が常温復帰運転であるという前提の下では、第3目標温度まで収容ポケット17A,17Bを昇温させる運転状態において、各加熱ヒーター62A,62Bのみが駆動されてもよい。
In addition, under the premise that the second temperature adjustment state is the normal temperature recovery operation, even if only the
・上記第1及び第2実施形態において、基台11を貫通する開口部13に取り付けられたテストヘッド14とテストヘッド14上面の検査用ソケット14aとによりステージが構成されるものとした。これに代えて、図14に示されるように、媒体の流れる媒体流路120、ヒーター121、及び検査用ソケット14aの収容される収容部122を備える台座123を基台11に設置し、この台座123を支持部としてもよい。この場合、検査用ソケット14aは、台座123の収容部122に収容されることによってハンドラー10に搭載される。そして、台座123の温度が調整されることによって、検査用ソケット14aに収容された電子部品の温度が調整される。
In the first and second embodiments, the stage is configured by the
部品検査装置を構成するハンドラーとテスターとは別体の装置であるため、テストヘッド14及び検査用ソケット14aをステージとする場合、ハンドラー側の構成とは別に、予めテスターのテストヘッド14に媒体の流れる媒体流路やヒーターを備えておく必要がある。この点、上述した構成によれば、媒体流路やヒーターを備えたテストヘッド14を要することなく、検査用ソケット14aに収容された電子部品Tの温度を調整することが可能となる。
Since the handler and the tester constituting the component inspection apparatus are separate units, when the
なお、温度センサーは、検査用ソケット14aの温度が検出可能であれば、台座123に搭載されていてもよいし、検査用ソケット14aに搭載されていてもよい。また、図14に記載の台座123には1つの収容部122が形成されているが、台座123に形成される収容部122の数は、2以上であってもよい。また、台座123の収容部122にテストヘッド14及び検査用ソケット14aが収容される構成としてもよい。要は、電子部品を支持する支持部として、熱を伝導する部材を挟んで電子部品に間接的に触れる部材そのものが冷却される態様であればよい。なお、台座123に複数の収容部122が形成されている場合、台座123には、各収容部122に個別に対応する媒体流路120が形成されることが好ましい。
The temperature sensor may be mounted on the
・また、支持部は、基台11の搭載面11a上、もしくはカバー部材12によって覆われた搬送空間内における基台11の上方で電子部品Tを支持する部分であれば任意に設定することが可能である。例えば、供給用シャトルプレート15aと回収用シャトルプレート15bとをそれぞれ別のステージとして、これらに対して各別の温度調整ユニットを設けてもよい。また、搬送ロボット30における第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33の下端の吸着部にステージを配設し、第1搬送ユニット32及び第2搬送ユニット33の各々の下端部に温度調整ユニットを設けるようにしてもよい。要は、電子部品Tが支持される部分であれば、その箇所を支持部として温度調整ユニットを設けることができる。なお、各温度調整ユニット間において電子部品Tを搬送する際には、収容容器の一部を開閉して電子部品Tの移送を行うようにすればよい。
In addition, the support part may be arbitrarily set as long as it is a part that supports the electronic component T on the mounting
EnA,EnB…流入端、ExA,ExB…流出端、T…電子部品、C1…供給用コンベアー、C2,C3,C4…回収用コンベアー、C1a,C2a,C3a,C4a…デバイストレイ、10…ハンドラー、11…基台、11a…搭載面、12…カバー部材、13…開口部、14…テストヘッド、14a…検査用ソケット、15…第1シャトル、15a…供給用シャトルプレート、15b…回収用シャトルプレート、15c…シャトルガイド、16…第2シャトル、16a…供給用シャトルプレート、16b…回収用シャトルプレート、16c…シャトルガイド、17,17A,17B,18…収容ポケット、20…供給ロボット、21…供給側固定ガイド、22…供給側可動ガイド、23…供給用ハンドユニット、30…搬送ロボット、31…搬送ガイド、32…第1搬送ユニット、33…第2搬送ユニット、40…回収ロボット、41…回収側固定ガイド、42…回収側可動ガイド、43…回収用ハンドユニット、50…収容ボックス、51…検査ボックス、52…収容ボックス、55…貯蔵タンク、56…共通路、57A,57B…第1供給路、58A,58B…媒体流路、59A,59B…窒素供給バルブ、60…気化容器、61A,61B…気化室、62A,62B…加熱ヒーター、63A,63B…温度センサー、64A,64B…排出路、65…接続部、66A,66B…逆止弁、67…熱交換器、68…逆止弁、69…ドライエア供給源、70…パージエア供給路、71…パージエア供給バルブ、72…エアヒーター、73…逆止弁、75,75A,75B…第2供給路、76…分岐部、77A,77B…接続部、78…昇温ガス供給バルブ、79…エアヒーター、80A,80B…逆止弁、85…制御装置、87…温度調整ユニット駆動部、87a…バルブ駆動部、87b…加熱ヒーター駆動部、87c…エアヒーター駆動部、88…テスター、90…ドライエア供給路、91…第1熱交換器、92…第2熱交換器、93…第3熱交換器、94…第4熱交換器、95…連結路、96…ドライエア排出路、97…ドライエア供給バルブ、98…エアヒーター、99…逆止弁、100,101…エアヒーター、111…分岐部、113…分岐路、115…分岐部、117…分岐路、120…媒体流路、121…加熱ヒーター、122…収容部、123…台座。
EnA, EnB ... inflow end, ExA, ExB ... outflow end, T ... electronic components, C1 ... supply conveyor, C2, C3, C4 ... recovery conveyor, C1a, C2a, C3a, C4a ... device tray, 10 ... handler, DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、
前記媒体供給路の途中に介在し、第1の流路を流れる前記温度調整媒体と第2の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、
前記熱交換器に接続され、第1の媒体を前記第2の流路に供給する第1の供給路と、
前記熱交換器に接続され、第2の媒体を前記第2の流路に供給する第2の供給路と、
前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、
前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、
前記媒体制御弁の開度、前記第1の制御弁の開度、前記第2の制御弁の開度を制御する制御部と
を備え、
前記第2の流路は、該第2の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記第2の流路の前記流入端に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、
前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、
前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有する
ことを特徴とするハンドラー。 A support portion that supports the component and has a medium flow path through which the temperature adjustment medium flows;
A medium supply path connected to the medium flow path for supplying the temperature adjustment medium to the medium flow path;
A medium control valve for controlling the flow rate of the temperature adjusting medium in the medium supply path;
A heat exchanger intervening in the middle of the medium supply path and exchanging heat between the temperature adjusting medium flowing through the first flow path and the fluid flowing through the second flow path;
A first supply path connected to the heat exchanger and supplying a first medium to the second flow path;
A second supply path connected to the heat exchanger and supplying a second medium to the second flow path;
A first control valve for controlling the flow rate of the first medium in the first supply path;
A second control valve for controlling the flow rate of the second medium in the second supply path;
A controller for controlling the opening of the medium control valve, the opening of the first control valve, and the opening of the second control valve;
The second flow path has an inflow end that is one end of both ends of the second flow path and an outflow end that is the other end.
The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the second flow path,
The first medium has a temperature lower than 18 ° C . ;
The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher;
The controller is
A first temperature adjustment state in which the medium control valve is opened, the first control valve is opened, and the second control valve is closed;
A handler having a second temperature adjustment state in which the medium control valve is opened, the first control valve is closed, and the second control valve is opened.
請求項1に記載のハンドラー。 The handler according to claim 1, wherein a heating unit that heats the second medium to a temperature higher than 18 ° C. is disposed in the second supply path.
請求項2に記載のハンドラー。 The handler according to claim 2 , wherein the second supply path is provided with a suppression unit that suppresses inflow of the first medium into the heating unit.
請求項3に記載のハンドラー。 The handler of Claim 3. The said 2nd control valve is arrange | positioned in the upstream of the said suppression part.
前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と
を有し、
前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである
請求項1〜4のいずれか一項に記載のハンドラー。 A storage container in which the support portion is stored;
A discharge path connected to the container and through which the medium discharged from the outflow end flows,
The handler according to any one of claims 1 to 4 , wherein the first medium is a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, and the second medium is a gas obtained by vaporizing dry air or a liquefied gas.
請求項5に記載のハンドラー。 The handler according to claim 5, wherein a heating unit that heats the medium discharged from the outflow end to 18 ° C. is disposed in the discharge path.
前記第1の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも2つの支持部に対して1つずつ設けられ、
前記第2の供給路が、前記複数の第1の供給路に対して並列に接続される
請求項1〜6のいずれか一項に記載のハンドラー。 A plurality of the support portions;
The first supply path is provided one by one for at least two of the support parts,
The handler according to any one of claims 1 to 7 , wherein the second supply path is connected in parallel to the plurality of first supply paths.
前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、
前記媒体供給路の途中に介在し、第1の流路を流れる前記温度調整媒体と第2の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、
前記熱交換器に接続され、第1の媒体を前記第2の流路に供給する第1の供給路と、
前記熱交換器に接続され、第2の媒体を前記第2の流路に供給する第2の供給路と、
前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、
前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、
前記媒体制御弁の開度、前記第1の制御弁の開度、前記第2の制御弁の開度を制御する制御部と
を備え、
前記第2の流路は、該第2の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記第2の流路の前記流入端に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、
前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、
前記媒体制御弁を開状態、前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有する
ことを特徴とする部品検査装置。 A support portion that supports the component and has a medium flow path through which the temperature adjustment medium flows;
A medium supply path connected to the medium flow path for supplying the temperature adjustment medium to the medium flow path;
A medium control valve for controlling the flow rate of the temperature adjusting medium in the medium supply path;
A heat exchanger intervening in the middle of the medium supply path and exchanging heat between the temperature adjusting medium flowing through the first flow path and the fluid flowing through the second flow path;
A first supply path connected to the heat exchanger and supplying a first medium to the second flow path;
A second supply path connected to the heat exchanger and supplying a second medium to the second flow path;
A first control valve for controlling the flow rate of the first medium in the first supply path;
A second control valve for controlling the flow rate of the second medium in the second supply path;
A controller for controlling the opening of the medium control valve, the opening of the first control valve, and the opening of the second control valve;
The second flow path has an inflow end that is one end of both ends of the second flow path and an outflow end that is the other end.
The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the second flow path,
The first medium has a temperature lower than 18 ° C . ;
The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher;
The controller is
A first temperature adjustment state in which the medium control valve is opened, the first control valve is opened, and the second control valve is closed;
A component inspection apparatus comprising: a second temperature adjustment state in which the medium control valve is in an open state, the first control valve is in a closed state, and the second control valve is in an open state.
前記支持部が収容される収容容器と、
前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、
前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、
前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、
前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、
前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部と
を備え、
前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、
前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、
前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、
さらに、
前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と、
前記収容容器に接続され、パージエアが流れるパージエア供給路と、
前記排出路を流れる前記媒体と前記パージエア供給路を流れる前記パージエアとの間での熱交換により前記媒体を18℃まで加熱する熱交換器とを備え、
前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記パージエアがドライエアである
ことを特徴とするハンドラー。 A support part for supporting the component and having a medium flow path through which the medium flows;
A storage container in which the support portion is stored;
A first supply path connected to the medium flow path for supplying a first medium to the medium flow path;
A second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path;
A first control valve for controlling the flow rate of the first medium in the first supply path;
A second control valve for controlling the flow rate of the second medium in the second supply path;
A controller that controls the opening of the first control valve and the opening of the second control valve;
The medium flow path has an inflow end that is one end of both ends of the medium flow path and an outflow end that is the other end.
The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path,
The first medium has a temperature lower than 18 ° C . ;
The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher;
The controller is
A first temperature adjustment state in which the first control valve is in an open state and the second control valve is in a closed state;
A first temperature control state in which the first control valve is closed and the second control valve is in an open state;
further,
A discharge path connected to the container and through which the medium discharged from the outflow end flows;
A purge air supply path connected to the container and through which purge air flows;
A heat exchanger that heats the medium to 18 ° C. by heat exchange between the medium flowing through the discharge path and the purge air flowing through the purge air supply path;
The handler, wherein the first medium is a gas obtained by vaporizing a liquefied gas, the second medium is a gas obtained by vaporizing dry air or a liquefied gas, and the purge air is dry air.
前記支持部が収容される収容容器と、
前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、
前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、
前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、
前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、
前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部と
を備え、
前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、
前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、
前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、
さらに、
前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と、
前記排出路に配設され、前記媒体流路から前記収容容器への前記媒体の流れを許容し、且つ、前記収容容器から前記媒体流路への前記媒体の流れを抑止する逆止弁とを備え、
前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ前記第2の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである
ことを特徴とするハンドラー。 A support part for supporting the component and having a medium flow path through which the medium flows;
A storage container in which the support portion is stored;
A first supply path connected to the medium flow path for supplying a first medium to the medium flow path;
A second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path;
A first control valve for controlling the flow rate of the first medium in the first supply path;
A second control valve for controlling the flow rate of the second medium in the second supply path;
A controller that controls the opening of the first control valve and the opening of the second control valve;
The medium flow path has an inflow end that is one end of both ends of the medium flow path and an outflow end that is the other end.
The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path,
The first medium has a temperature lower than 18 ° C . ;
The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher;
The controller is
A first temperature adjustment state in which the first control valve is in an open state and the second control valve is in a closed state;
A first temperature control state in which the first control valve is closed and the second control valve is in an open state;
further,
A discharge path connected to the container and through which the medium discharged from the outflow end flows;
A check valve disposed in the discharge passage, allowing a flow of the medium from the medium flow path to the storage container, and suppressing a flow of the medium from the storage container to the medium flow path; Prepared,
The handler, wherein the first medium is a gas obtained by vaporizing liquefied gas, and the second medium is a gas obtained by vaporizing dry air or liquefied gas.
前記媒体流路に接続され、第1の媒体を前記媒体流路に供給する第1の供給路と、
前記媒体流路に接続され、第2の媒体を前記媒体流路に供給する第2の供給路と、
前記第1の供給路で前記第1の媒体の流量を制御する第1の制御弁と、
前記第2の供給路で前記第2の媒体の流量を制御する第2の制御弁と、
前記第1の制御弁の開度と前記第2の制御弁の開度とを制御する制御部と
を備え、
前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第1の供給路と前記第2の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が、18℃よりも低い温度を有し、
前記第2の媒体が、18℃以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記第1の制御弁を開状態、前記第2の制御弁を閉状態とする第1温度調節状態と、
前記第1の制御弁を閉状態、前記第2の制御弁を開状態とする第2温度調節状態とを有し、
前記第1の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも2つの支持部に対して1つずつ設けられ、
前記第2の供給路が、前記複数の第1の供給路に対して並列に接続され、
前記第1の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、
前記複数の第1の供給路を流れる前記液化ガスを気化する気化容器をさらに備え、
前記気化容器の内部は、前記複数の第1の供給路の各々に対する気化室に仕切られている
ことを特徴とするハンドラー。 A plurality of support portions that support the component and have a medium flow path through which the medium flows;
A first supply path connected to the medium flow path for supplying a first medium to the medium flow path;
A second supply path connected to the medium flow path for supplying a second medium to the medium flow path;
A first control valve for controlling the flow rate of the first medium in the first supply path;
A second control valve for controlling the flow rate of the second medium in the second supply path;
A controller that controls the opening of the first control valve and the opening of the second control valve;
The medium flow path has an inflow end that is one end of both ends of the medium flow path and an outflow end that is the other end.
The first supply path and the second supply path are connected in parallel to the inflow end of the medium flow path,
The first medium has a temperature lower than 18 ° C . ;
The second medium has a temperature of 18 ° C. or higher;
The controller is
A first temperature adjustment state in which the first control valve is in an open state and the second control valve is in a closed state;
A first temperature control state in which the first control valve is closed and the second control valve is in an open state;
The first supply path is provided one by one for at least two of the support parts,
The second supply path is connected in parallel to the plurality of first supply paths;
The first medium is a gas obtained by vaporizing a liquefied gas;
A vaporization container for vaporizing the liquefied gas flowing through the plurality of first supply paths;
The handler is characterized in that the inside of the vaporization container is partitioned into vaporization chambers for the plurality of first supply paths.
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