JP6088314B2 - 真空フィードスルー、真空装置 - Google Patents
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Description
を有する接点部材と、接点部材を本体側に押圧する押圧部材と、を備える。押圧部材は、真空装置の電気部品に電気的に接続されるフレキシブルプリント基板を押圧部材と接点部材との間に挟んだ状態で、接点部材を本体側に押圧可能に構成される。
図1は、本発明の一実施例としての真空装置100の主要部分を示す。本実施例では、真空装置100は、走査電子顕微鏡である。図示するように、真空装置100は、鏡筒150と、フレキシブルプリント基板(Flexible Printed Circuits、以下、FPCとも呼ぶ)140と、隔壁コラム160とを備えている。略円筒形の鏡筒150の内部には、試料に電子線を照射するための電子光学系や、試料を載置するステージなどが設けられている。FPC140は、鏡筒150内に収容された電子部品と、後述する真空フィードスルー(以下、単にフィードスルーとも呼ぶ)20とを電気的に接続する。隔壁コラム160は、鏡筒150の上方において鏡筒150の上部を覆うように配置されており、真空装置100の真空側と大気側とを隔てる隔壁として機能する。隔壁コラム160には、その厚み方向(径方向)に貫通する貫通穴165が形成されている。この貫通穴165には、後述するフィードスルー20が配置される。
出している。このピン40の大気側は、ソケットなどのコネクタを介して、真空装置100を制御する制御装置などの外部機器に接続される。ピン40の真空側は、本実施例では、本体30から僅かに突出している。ただし、ピン40の真空側の端面は、本体30と同一平面に形成されていてもよい。
めに平坦に形成されている。押圧部61の両端は、中央部よりも厚みが小さくなっている。この両端部には、それぞれ、2つの貫通穴63が形成されている。また、この両端部には、押圧部61の位置を固定するための固定部62がそれぞれ配置される。固定部には、それぞれ、2つの貫通穴64が形成されている。貫通穴64の各々の端部には、同一の方向に切り欠かれた切欠形状が形成されている。
を行うことになるので、極めて単純な作業のみで押圧部61を固定できる本実施例の構成は、非常に有効である。
B−1.変形例1:
真空装置100は、走査電子顕微鏡に限らず、任意の真空装置として実現可能である。例えば、真空装置100は、他の分析試験装置(例えば、写像型電子顕微鏡)であってもよいし、真空薄膜形成装置(例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)装置)などであってもよい。
30…本体
31…突出部
32…基部
33…小径部
34…先端部
40…ピン
50…接点部材
51…接点部
52…導電部
53…貫通穴
54…絶縁部
60…押圧部材
61…押圧部
62…固定部
63,64…貫通穴
100…真空装置
110…電子銃
120…電子部品
130…ピン
141…ランド
142…貫通穴
150…鏡筒
160…隔壁コラム
165…貫通穴
180…ケーシング
Claims (7)
- 真空装置の真空側と大気側との電気的な接続を提供するための真空フィードスルーであって、
前記真空側と前記大気側とを隔てる隔壁の一部を構成するための本体であって、該本体を厚み方向に貫通する導電性の複数のピンを有する本体と、
前記本体の前記真空側の面上に配置される接点部材であって、
絶縁性部材によって形成され、平板形状を有する絶縁部と、
前記絶縁部を厚み方向に貫通し、前記絶縁部の両面のうちの、少なくとも前記本体と反対の側の面から突出するように形成されるとともに加圧導電ゴムによって形成された複数の導電部であって、前記ピンと接触するための導電部と
を有する接点部材と、
前記接点部材を前記本体側に押圧する押圧部材と
を備え、
前記押圧部材は、前記真空装置の電気部品に電気的に接続されるフレキシブルプリント基板を前記押圧部材と前記接点部材との間に挟んだ状態で、前記接点部材を前記本体側に押圧可能に構成された
真空フィードスルー。 - 請求項1に記載の真空フィードスルーであって、
前記複数の導電部の各々は、前記絶縁部の両面から突出して形成された
真空フィードスルー。 - 請求項1または請求項2に記載の真空フィードスルーであって、
前記複数のピンは、前記本体の前記真空側の面から突出している
真空フィードスルー。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の真空フィードスルーであって、
前記複数の導電部の各々は、前記複数のピンの1つと複数の前記導電部とが接触可能な大きさおよび間隔で形成されている
真空フィードスルー。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の真空フィードスルーであって、
前記本体は、前記複数のピンの外側において、前記真空側の面から突出する少なくとも2つの突出部を備え、
前記接点部材および前記押圧部材には、前記突出部に対応する位置に、前記突出部を挿入可能な貫通穴が形成された
真空フィードスルー。 - 請求項5に記載の真空フィードスルーであって、
前記押圧部材は、
前記接点部材を押圧するための平坦な押圧面を有する押圧部と、
前記押圧部よりも前記本体と反対の側に配置され、前記押圧部の位置を固定するための固定部と
を備え、
前記押圧部の外周側には、前記貫通穴としての第1の貫通穴が形成されており、
前記固定部には、前記貫通穴としての第2の貫通穴が形成されており、
前記突出部は、基部と、該基部よりも前記本体と反対の側に位置し、該基部よりも径が小さい小径部と、を備え、
前記固定部の前記第2の貫通穴の端部には、前記小径部と嵌合する切欠形状が形成され
た
真空フィードスルー。 - 真空装置であって、
請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の真空フィードスルーと、
前記フレキシブルプリント基板と
を備えた真空装置。
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