JP6085480B2 - Plasma polymer coating - Google Patents
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Description
本発明は、電気及び電気光学アセンブリ及び部品を被覆するのに有用なプラズマ重合ポリマーコーティング、並びに前記コーティングに関連する方法に関する。 The present invention relates to plasma polymerized polymer coatings useful for coating electrical and electro-optic assemblies and components, and methods related to such coatings.
コンフォーマル（絶縁保護）コーティングは、エレクトロニクス産業において何年もの間、作動中の環境曝露から電気アセンブリを保護するために使用されてきた。コンフォーマルコーティングは薄く、フレキシブルな保護ラッカーの層であり、ＰＣＢ及びその部品の外形に適合する。コンフォーマルコーティングは腐食性化学物質（例えば、塩、溶媒、ガソリン、油、酸及び環境汚染物質）、湿気／凝結、振動、漏電、エレクトロマイグレーション及びデンドライト成長から回路を保護する。従来のコンフォーマルコーティングは、典型的には２５〜２００μｍの厚さであり、一般に、エポキシ樹脂、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂に基づく。これらの材料は、全て、塗布しなければならない液体として堆積させた後、アセンブリ上で硬化させなければならない。最近、高価なパリレンもコンフォーマルコーティングとして使用されている。パリレンは、典型的には、当業者に広く知られている通常の化学気相堆積を使用して堆積される。 Conformal coatings have been used for many years in the electronics industry to protect electrical assemblies from environmental exposure during operation. A conformal coating is a thin, flexible layer of protective lacquer that conforms to the outline of the PCB and its components. Conformal coatings protect circuits from corrosive chemicals (eg, salts, solvents, gasoline, oils, acids and environmental pollutants), moisture / condensation, vibration, leakage, electromigration and dendrite growth. Conventional conformal coatings are typically 25-200 μm thick and are generally based on epoxy, acrylic or silicone resins. All of these materials must be cured on the assembly after being deposited as a liquid that must be applied. Recently, expensive parylene has also been used as a conformal coating. Parylene is typically deposited using conventional chemical vapor deposition well known to those skilled in the art.
従来のコンフォーマルコーティングには多数の不利な点がある。コーティングを堆積させるのに使用される方法は、コーティングを形成する前に、アセンブリを他のデバイスに接続するコンタクト（接点）をマスクして、コンフォーマルコーティングがコンタクトを被覆するのを防止することを必要とする。コンフォーマルコーティングは厚く、絶縁性であるので、コーティングで被覆されたコンタクトは他の装置と電気的に接続することができない。 Conventional conformal coatings have a number of disadvantages. The method used to deposit the coating is to mask the contacts connecting the assembly to other devices before forming the coating to prevent the conformal coating from covering the contacts. I need. Because the conformal coating is thick and insulative, the contacts coated with the coating cannot be electrically connected to other devices.
さらに、電気アセンブリの再加工が必要である場合、従来のコンフォーマルコーティングを除去するのは非常に困難かつ高価である。事前に除去することなく、コーティングを通してはんだ付け又は溶接することはできない。さらに、これらのコンフォーマルコーティングを堆積させるのに一般に使用される液体技術によって、コーティング中に欠陥（例えば、気泡）が発生する傾向がある。これらの欠陥により、コンフォーマルコーティングの保護能力が低下する。先行技術のコンフォーマルコーティングの別の問題は、被覆する際に使用される液体法のため、アセンブリ上の部品の下にコーティングを堆積させるのが困難であることである。 Furthermore, it is very difficult and expensive to remove conventional conformal coatings when the electrical assembly needs to be reworked. It cannot be soldered or welded through the coating without prior removal. Furthermore, liquid techniques commonly used to deposit these conformal coatings tend to generate defects (eg, bubbles) in the coating. These defects reduce the protective ability of conformal coatings. Another problem with prior art conformal coatings is that it is difficult to deposit the coating under the parts on the assembly due to the liquid process used in coating.
本発明者らは、驚くべきことに、プラズマ重合ポリマーを使用して、電気及び電気光学アセンブリ上に優れたコンフォーマルコーティングを形成することができることを見い出した。これらのコーティングは、連続的で実質的に欠陥がないだけではなく、前記の従来のコーティングによる問題を克服する。さらに、本発明のプラズマ重合ポリマーコーティングはデバイス上に堆積させるのが容易であり、かつ、比較的安価である。 The inventors have surprisingly found that plasma polymerized polymers can be used to form excellent conformal coatings on electrical and electro-optic assemblies. These coatings are not only continuous and substantially free of defects, but also overcome the problems with the conventional coatings described above. Furthermore, the plasma polymerized polymer coating of the present invention is easy to deposit on the device and is relatively inexpensive.
本発明は、絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングとを備える電気又は電気光学アセンブリを提供する。 The present invention comprises a substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, at least one electrical or electro-optic component connected to the at least one conductive track, a plasma polymerized polymer And an electro- or electro-optic assembly comprising at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and a continuous coating completely covering the at least one electro- or electro-optic component.
さらに、本発明は、（ａ）絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品とを備える電気又は電気光学アセンブリを提供するステップ、及び（ｂ）ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法も提供する。 Furthermore, the present invention provides: (a) a substrate comprising an insulating material; a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate; and at least one electric or electro-optic component connected to the at least one conductive track And (b) a continuous coating comprising a polymer and completely covering at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component. Also provided is a method comprising depositing by plasma polymerization.
さらに、本発明は前記の方法により得ることができる電気又は電気光学アセンブリも提供する。 Furthermore, the present invention also provides an electrical or electro-optic assembly obtainable by the above method.
さらに、本発明は、プラズマ重合ポリマーを含む連続的コーティングで完全に覆われた電気又は電気光学部品も提供する
さらに、本発明は、（ａ）前記の電気又は電気光学アセンブリを、連続的コーティングが除去されるようにプラズマ除去プロセスに供するステップ、（ｂ）場合によって、前記の電気又は電気光学アセンブリを再加工するステップ、（ｃ）場合によって、ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う代替(replacement)連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法を提供する。
Furthermore, the present invention also provides an electro- or electro-optical component completely covered with a continuous coating comprising a plasma polymerized polymer. Furthermore, the present invention provides: Subjecting it to a plasma removal process to be removed, (b) optionally reworking said electro- or electro-optic assembly, (c) optionally comprising a polymer, at least one surface of the substrate, a plurality of A method is provided that comprises depositing a replacement continuous coating by plasma polymerization that completely covers the conductive track and at least one electrical or electro-optic component.
さらに、本発明は、前記の電気又は電気光学アセンブリの連続的コーティングを通してはんだ付けして別の電気又は電気光学部品と少なくとも１つの伝導性トラックとの間にはんだ接合を形成する方法（該はんだ接合は連続的コーティングに接する）を提供する。 Further, the present invention provides a method of soldering through another continuous coating of the electro- or electro-optic assembly to form a solder joint between another electro- or electro-optic component and at least one conductive track (the solder joint). Provides continuous coating).
さらに、本発明は、（ａ）絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、ハロ炭化水素ポリマーを含み、複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆う表面仕上げコーティングと、少なくとも１つの伝導性トラックに表面仕上げコーティングを通して接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品とを備える電気又は電気光学アセンブリを、表面仕上げコーティングが除去されるように、プラズマ除去プロセスに供するステップ、（ｂ）前記のポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法を提供する。 The present invention further includes (a) a substrate including an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and a halohydrocarbon polymer, covering at least a portion of the plurality of conductive tracks. An electro- or electro-optic assembly comprising a surface finish coating and at least one electro- or electro-optic component connected through the surface finish coating to at least one conductive track, a plasma removal process such that the surface finish coating is removed And (b) depositing by plasma polymerization a continuous coating comprising said polymer and completely covering at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component. Provide a method.
さらに、本発明は、（ａ）絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、ハロ炭化水素ポリマーを含み、複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆う表面仕上げコーティングとを備える電気又は電気光学アセンブリを、表面仕上げコーティングが除去されるようにプラズマ除去プロセスに供するステップ、（ｂ）電気又は電気光学部品を少なくとも１つの伝導性トラックに接続するステップ、（ｃ）前記のポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法を提供する。 The present invention further includes (a) a substrate including an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and a halohydrocarbon polymer, covering at least a portion of the plurality of conductive tracks. Subjecting an electro- or electro-optic assembly comprising a surface finish coating to a plasma removal process such that the surface finish coating is removed; (b) connecting the electro- or electro-optic component to at least one conductive track; c) providing a method comprising plasma polymerizing a continuous coating comprising said polymer and completely covering at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component.
さらに、本発明は、前記のプラズマ重合ポリマーを含むコンフォーマルコーティングを備える電気又は電気光学アセンブリも提供する。 Furthermore, the present invention also provides an electro- or electro-optic assembly comprising a conformal coating comprising the plasma polymerized polymer.
さらに、本発明は、前記のプラズマ重合ポリマーの電気又は電気光学アセンブリのためのコンフォーマルコーティングとしての使用も提供する。 Furthermore, the present invention also provides the use of the plasma polymerized polymer as a conformal coating for an electro- or electro-optic assembly.
さらに、本発明は、前記ポリマーをプラズマ重合により堆積させるステップを含む、電気又は電気光学アセンブリをコンフォーマルに被覆するための方法も提供する。 The present invention further provides a method for conformally coating an electro- or electro-optic assembly comprising the step of depositing said polymer by plasma polymerization.
本発明は電気及び電気光学アセンブリに関する。電気アセンブリは、典型的には、少なくとも１つの電気部品を備える。電気光学アセンブリは、典型的には、少なくとも１つの電気光学部品を備え、場合によって、少なくとも１つの電気部品をさらに備えることもできる。電気又は電気光学アセンブリは、好ましくはプリント回路基板である。 The present invention relates to electrical and electro-optic assemblies. An electrical assembly typically comprises at least one electrical component. The electro-optic assembly typically comprises at least one electro-optic component and may optionally further comprise at least one electrical component. The electro- or electro-optic assembly is preferably a printed circuit board.
本発明の連続的コーティングはプラズマ重合ポリマーを含む。本発明の連続的コーティングは電気又は電気光学アセンブリへの環境損傷を防止することができる。環境損傷は、典型的には、大気中の成分（例えば、酸素、ＳＯ２、Ｈ２Ｓ及び／又はＮＯ２）及び／又は周囲の湿気又は高温による腐食によって引き起こされる。さらに、本発明の連続的コーティングは、より高温により劣化し得る従来のコンフォーマルコーティングよりも、適用される電気及び電気光学アセンブリをより広い温度範囲にわたって保護し続けることができる。 The continuous coating of the present invention comprises a plasma polymerized polymer. The continuous coating of the present invention can prevent environmental damage to the electrical or electro-optic assembly. Environmental damage is typically caused by corrosion from atmospheric components (eg, oxygen, SO 2 , H 2 S and / or NO 2 ) and / or ambient moisture or high temperatures. Furthermore, the continuous coating of the present invention can continue to protect the applied electro- and electro-optic assemblies over a wider temperature range than conventional conformal coatings that can degrade at higher temperatures.
本発明の連続的コーティングは、好ましくはコンフォーマルコーティングである。 The continuous coating of the present invention is preferably a conformal coating.
プラズマ重合ポリマーは、伝統的な重合方法では調製することができないユニークな種類のポリマーである。プラズマ重合ポリマーは、非常に不規則な構造を有し、一般に、高度に架橋されており、ランダムな分岐を含有し、いくつかの反応点を保持する。従って、プラズマ重合ポリマーは、当業者に公知の伝統的重合方法により調製されるポリマーとは化学的に異なる。これらの化学的及び物理的差異はよく知られており、例えば、Plasma Polymer Films, Hynek Biederman, Imperial College Press 2004に記載されている。
Plasma polymerized polymers are a unique type of polymer that cannot be prepared by traditional polymerization methods. Plasma polymerized polymers have a very irregular structure and are generally highly cross-linked, contain random branches and retain some reactive sites. Thus, plasma polymerized polymers are chemically different from polymers prepared by traditional polymerization methods known to those skilled in the art. These chemical and physical differences are well known and are described, for example, in Plasma Polymer Films, Hynek Biederman,
プラズマ重合ポリマーは、典型的には、以下に詳述するプラズマ重合方法によって得ることができる。 The plasma polymerized polymer can typically be obtained by the plasma polymerization method described in detail below.
プラズマ重合ポリマーは、典型的には、プラズマ重合された炭化水素、ハロ炭化水素、シリコーン、シロキサン、シラン、シラザン又はスタンナンである。 The plasma polymerized polymer is typically a plasma polymerized hydrocarbon, halohydrocarbon, silicone, siloxane, silane, silazane or stannane.
プラズマ重合炭化水素は、典型的には、場合によって環状部分を含む直線状及び／又は分岐ポリマーである。前記の環状部分は好ましくは脂環式環又は芳香族環、より好ましくは芳香族環である。好ましくは、プラズマ重合炭化水素は環状部分を含まない。好ましくは、プラズマ重合炭化水素は分岐ポリマーである。 Plasma polymerized hydrocarbons are typically linear and / or branched polymers that optionally include a cyclic portion. Said cyclic moiety is preferably an alicyclic ring or an aromatic ring, more preferably an aromatic ring. Preferably, the plasma polymerized hydrocarbon does not include a cyclic moiety. Preferably, the plasma polymerized hydrocarbon is a branched polymer.
プラズマ重合ハロ炭化水素は、典型的には、場合によって環状部分を含む直線状及び／又は分岐ポリマーである。前記の環状部分は、好ましくは脂環式環又は芳香族環、より好ましくは芳香族環である。好ましくは、プラズマ重合ハロ炭化水素は環状部分を含まない。好ましくは、プラズマ重合ハロ炭化水素は分岐ポリマーである。 Plasma polymerized halohydrocarbons are typically linear and / or branched polymers that optionally include a cyclic portion. The cyclic moiety is preferably an alicyclic ring or an aromatic ring, more preferably an aromatic ring. Preferably, the plasma polymerized halohydrocarbon does not contain a cyclic moiety. Preferably, the plasma polymerized halohydrocarbon is a branched polymer.
芳香族部分を含むプラズマ重合炭化水素及びハロ炭化水素は、それぞれプラズマ重合芳香族炭化水素及び芳香族ハロ炭化水素（例えば、芳香族フルオロ炭化水素）である。例として、プラズマ重合ポリスチレン及びプラズマ重合パリレンが挙げられる。プラズマ重合パリレンが特に好ましい。プラズマ重合パリレンは非置換であってもよく、又は１個以上の置換基で置換されていてもよい。好ましい置換基としてハロゲンが挙げられ、フッ素が最も好ましい。１個以上のハロゲン原子により置換されたパリレンはハロパリレンである。１個以上のフッ素原子により置換されたパリレンはフルオロパリレンである。非置換パリレンが最も好ましい。 Plasma polymerized hydrocarbons and halohydrocarbons containing aromatic moieties are plasma polymerized aromatic hydrocarbons and aromatic halohydrocarbons (eg, aromatic fluorohydrocarbons), respectively. Examples include plasma polymerized polystyrene and plasma polymerized parylene. Plasma polymerized parylene is particularly preferred. The plasma polymerized parylene may be unsubstituted or substituted with one or more substituents. Preferred substituents include halogen, with fluorine being most preferred. Parylene substituted with one or more halogen atoms is haloparylene. Parylene substituted with one or more fluorine atoms is fluoroparylene. Unsubstituted parylene is most preferred.
プラズマ重合炭化水素は、場合によって、Ｎ、Ｏ、Ｓｉ及びＰから選択されるヘテロ原子を含有する。しかし、好ましくは、プラズマ重合炭化水素は、Ｎ、Ｏ、Ｓｉ及びＰから選択されるヘテロ原子を含有しない。 The plasma polymerized hydrocarbon optionally contains a heteroatom selected from N, O, Si and P. However, preferably the plasma polymerized hydrocarbon does not contain heteroatoms selected from N, O, Si and P.
プラズマ重合ハロ炭化水素は、場合によって、Ｎ、Ｏ、Ｓｉ及びＰから選択されるヘテロ原子を含有する。しかし、好ましくは、プラズマ重合ハロ炭化水素は、Ｎ、Ｏ、Ｓｉ及びＰから選択されるヘテロ原子を含有しない。 The plasma polymerized halohydrocarbon optionally contains a heteroatom selected from N, O, Si and P. Preferably, however, the plasma polymerized halohydrocarbon does not contain heteroatoms selected from N, O, Si and P.
酸素含有プラズマ重合炭化水素は、好ましくはカルボニル部分、より好ましくはエステル及び／又はアミド部分を含む。酸素含有プラズマ重合炭化水素ポリマーの好ましいものはプラズマ重合アクリレートポリマーである。 The oxygen-containing plasma polymerized hydrocarbon preferably comprises a carbonyl moiety, more preferably an ester and / or amide moiety. Preferred oxygen-containing plasma polymerized hydrocarbon polymers are plasma polymerized acrylate polymers.
酸素含有プラズマ重合ハロ炭化水素は、好ましくは、カルボニル部分、より好ましくはエステル及び／又はアミド部分を含む。酸素含有プラズマ重合ハロ炭化水素ポリマーの好ましい分類はプラズマ重合ハロアクリレートポリマー、例えば、プラズマ重合フルオロアクリレートポリマーである。 The oxygen-containing plasma polymerized halohydrocarbon preferably comprises a carbonyl moiety, more preferably an ester and / or amide moiety. A preferred class of oxygen-containing plasma polymerized halohydrocarbon polymers are plasma polymerized haloacrylate polymers, such as plasma polymerized fluoroacrylate polymers.
窒素含有プラズマ重合炭化水素は、好ましくはニトロ、アミン、アミド、イミダゾール、ジアゾール、トリゾール及び／又はテトラゾール部分を含む。 The nitrogen-containing plasma polymerized hydrocarbon preferably comprises a nitro, amine, amide, imidazole, diazole, trizole and / or tetrazole moiety.
窒素含有プラズマ重合ハロ炭化水素は、好ましくはニトロ、アミン、アミド、イミダゾール、ジアゾール、トリゾール及び／又はテトラゾール部分を含む。 The nitrogen-containing plasma polymerized halohydrocarbon preferably comprises a nitro, amine, amide, imidazole, diazole, trizole and / or tetrazole moiety.
プラズマ重合シリコーン、シロキサン、シラン及びシラザンは、場合によって１個以上のフッ素原子で置換されている。しかし、シリコーン、シロキサン、シラン及びシラザンは、好ましくは非置換である。好ましいシラザンはヘキサメチルジシラザンである。 Plasma polymerized silicones, siloxanes, silanes, and silazanes are optionally substituted with one or more fluorine atoms. However, silicone, siloxane, silane and silazane are preferably unsubstituted. A preferred silazane is hexamethyldisilazane.
好ましくは、プラズマ重合ポリマーはプラズマ重合ハロ炭化水素、より好ましくはプラズマ重合フルオロ炭化水素である。最も好ましくは、プラズマ重合ポリマーは分岐し、ヘテロ原子を含有しないプラズマ重合フルオロ炭化水素である。 Preferably, the plasma polymerized polymer is a plasma polymerized halohydrocarbon, more preferably a plasma polymerized fluorohydrocarbon. Most preferably, the plasma polymerized polymer is a plasma polymerized fluorohydrocarbon that is branched and does not contain heteroatoms.
本明細書で使用する場合、「ハロ」の語は、好ましくはフルオロ、クロロ、ブロモ及びヨードである。フルオロ及びクロロが好ましく、フルオロが最も好ましい。ハロゲンも同じ意味を有する。 As used herein, the term “halo” is preferably fluoro, chloro, bromo and iodo. Fluoro and chloro are preferred, and fluoro is most preferred. Halogen has the same meaning.
本発明のアセンブリは、プラズマ重合によりポリマーを堆積させることにより調製できる。プラズマ重合は、一般に、薄膜コーティングを堆積させるために効果的な方法である。一般に、重合反応がin situで起こるので、プラズマ重合は優れた品質のコーティングを提供する。その結果、プラズマ重合ポリマーは、一般に、特定の状況において、通常の液体コーティング方法によっては到達できない小さなくぼみの中、部品の下、及びビア(via)に堆積される。 The assembly of the present invention can be prepared by depositing the polymer by plasma polymerization. Plasma polymerization is generally an effective method for depositing thin film coatings. In general, plasma polymerization provides an excellent quality coating since the polymerization reaction occurs in situ. As a result, plasma polymerized polymers are typically deposited in small indentations, under parts, and vias that are not reachable by conventional liquid coating methods in certain situations.
さらに、ポリマーのin situ形成は、一般に、堆積中にポリマーが表面と反応するので、コーティングが形成される表面に優れた接着性を提供することができる。従って、特定の状況において、プラズマ重合ポリマーは、他のコンフォーマルコーティングが堆積することができない材料上に堆積することができる。 In addition, in situ formation of the polymer can generally provide excellent adhesion to the surface on which the coating is formed because the polymer reacts with the surface during deposition. Thus, in certain situations, the plasma polymerized polymer can be deposited on materials that other conformal coatings cannot deposit on.
本発明のプラズマ重合方法の別の利点は、堆積後にコーティングを乾燥する／硬化する必要がないことである。コーティングについての先行技術の方法は、乾燥／硬化ステップが必要であり、そのことはコーティングの表面上に硬化／乾燥欠陥の形成をもたらす。プラズマ重合は硬化／乾燥欠陥の形成を回避する。 Another advantage of the plasma polymerization method of the present invention is that the coating need not be dried / cured after deposition. Prior art methods for coating require a drying / curing step, which results in the formation of curing / drying defects on the surface of the coating. Plasma polymerization avoids the formation of cure / dry defects.
プラズマ堆積は、ガスプラズマ（イオン化した気体イオン、電子、原子及び／又は中性種を含む）を発生させる反応器中で行うことができる。反応器はチャンバー、真空システム及び１つ以上のエネルギー源を含み得るが、ガスプラズマを発生するように構成された好適な種類の反応器を使用することができる。エネルギー源は、１種以上の気体をガスプラズマに変換するように構成された好適なデバイスを備えることができる。好ましくは、エネルギー源は加熱器、高周波（ＲＦ）発生器及び／又はマイクロ波発振器を備える。 Plasma deposition can be performed in a reactor that generates a gas plasma (including ionized gas ions, electrons, atoms and / or neutral species). The reactor may include a chamber, a vacuum system, and one or more energy sources, but any suitable type of reactor configured to generate a gas plasma can be used. The energy source can comprise a suitable device configured to convert one or more gases into a gas plasma. Preferably, the energy source comprises a heater, a radio frequency (RF) generator and / or a microwave oscillator.
特定の実施形態において、電気又は光学アセンブリを反応器のチャンバーに入れることができ、真空システムを使用して、チャンバーを１０−３〜１０ｍｂａｒの範囲の圧力にポンプで低下させることができる。その後、１種以上の気体をチャンバーへと送り込むことができ、エネルギー源は安定なガスプラズマを発生させることができる。その後、１種以上の前駆体化合物を、気体及び／又は液体として、チャンバー内のガスプラズマ中へと導入することができる。ガスプラズマへ導入されると、前駆体化合物はイオン化され、かつ／又は分解されて、重合してポリマーコーティングを生成する種々の活性種をプラズマ中で発生させ得る。 In certain embodiments, an electrical or optical assembly can be placed in the reactor chamber and a vacuum system can be used to pump the chamber down to a pressure in the range of 10 −3 to 10 mbar. Thereafter, one or more gases can be pumped into the chamber and the energy source can generate a stable gas plasma. Thereafter, one or more precursor compounds can be introduced as a gas and / or liquid into the gas plasma in the chamber. When introduced into a gas plasma, the precursor compound can be ionized and / or decomposed to generate various active species in the plasma that polymerize to form a polymer coating.
プラズマ重合フルオロ炭化水素は、好ましくは、フッ素原子を含む炭化水素材料である１種以上の前駆体化合物のプラズマ重合により得られる。好ましいフッ素原子を含む炭化水素材料はペルフルオロアルカン、ペルフルオロアルケン、ペルフルオロアルキン、フルオロアルカン、フルオロアルケン、フルオロアルキンである。例えば、Ｃ３Ｆ６及びＣ４Ｆ８が挙げられる。
The plasma-polymerized fluorohydrocarbon is preferably obtained by plasma polymerization of one or more precursor compounds that are hydrocarbon materials containing fluorine atoms. Preferred hydrocarbon materials containing fluorine atoms are perfluoroalkanes, perfluoroalkenes, perfluoroalkynes, fluoroalkanes, fluoroalkenes, fluoroalkynes. For example,
他の好ましい前駆体化合物は、フルオロクロロアルカン、フルオロクロロアルケン及びフルオロクロロアルキンである。例えば、Ｃ２Ｆ３Ｃｌ及びＣ２Ｆ４Ｃｌ２が挙げられる。
Other preferred precursor compounds are fluorochloroalkanes, fluorochloroalkenes and fluorochloroalkynes. For example,
プラズマ重合パリレンは、好ましくは、ジ−ｐ−キシリレン、キシリレン又はキシレンのプラズマ重合により得ることができる。 The plasma-polymerized parylene can be preferably obtained by plasma polymerization of di-p-xylylene, xylylene or xylene.
プラズマ重合ポリマーコーティングの正確な性質及び組成は、典型的には、１つ以上の以下の条件、すなわち、（ｉ）選択されるプラズマガス、（ii）使用される特定の前駆体化合物、（iii）前駆体化合物の量（前駆体化合物の圧力と流量の組み合わせによって決定することができる）、（iv）前駆体化合物の割合、（ｖ）前駆体化合物の順番、（vi）プラズマ圧力、（vii）プラズマ駆動周波数、（viii）パルス幅タイミング、（ix）被覆処理時間、（ｘ）プラズマ出力（例えば、ピーク及び／又は平均プラズマ出力）、（xi）チャンバーの電極配置、及び／又は（xii）入れられるアセンブリの前処理によって決まる。 The exact nature and composition of the plasma polymerized polymer coating typically includes one or more of the following conditions: (i) the selected plasma gas, (ii) the specific precursor compound used, (iii) ) Amount of precursor compound (can be determined by the combination of precursor compound pressure and flow rate), (iv) proportion of precursor compound, (v) order of precursor compound, (vi) plasma pressure, (vii ) Plasma drive frequency, (viii) pulse width timing, (ix) coating treatment time, (x) plasma power (eg, peak and / or average plasma power), (xi) chamber electrode placement, and / or (xii) Depends on the pretreatment of the assembly being put in.
典型的には、プラズマ駆動周波数は１ｋＨｚ〜１ＧＨｚである。典型的には、プラズマ出力は５００〜１００００Ｗである。典型的には、質量流量は５〜２０００ｓｃｃｍである。典型的には、作動圧力は１０〜５００ｍＴｏｒｒである。典型的には、被覆処理時間は１０秒〜２０分である。 Typically, the plasma driving frequency is 1 kHz to 1 GHz. Typically, the plasma power is 500-10000W. Typically, the mass flow rate is 5 to 2000 sccm. Typically, the operating pressure is 10 to 500 mTorr. Typically, the coating treatment time is 10 seconds to 20 minutes.
パルスプラズマシステムを使用することもできる。 A pulsed plasma system can also be used.
しかし、当業者は理解するように、好ましい条件はプラズマチャンバーの大きさ及び形状によって決まる。従って、使用している特定のプラズマチャンバーによって、作動条件を変更することが当業者にとって有利であり得る。 However, as those skilled in the art will appreciate, the preferred conditions depend on the size and shape of the plasma chamber. Therefore, it may be advantageous for those skilled in the art to vary the operating conditions depending on the particular plasma chamber being used.
連続的コーティングの表面エネルギーは前駆体及びプラズマ処理条件の慎重な選択によって制御することができる。特定のプラズマポリマーによって、表面は親水性又は疎水性であり得る。 The surface energy of the continuous coating can be controlled by careful selection of precursors and plasma processing conditions. Depending on the particular plasma polymer, the surface can be hydrophilic or hydrophobic.
疎水性コーティングは、好ましくは９０°よりも大きい、より好ましくは１０５°よりも大きい水接触角を示す。疎水性コーティングは、好ましくは３５ｄｙｎｅ／ｃｍ未満、より好ましくは３０ｄｙｎｅ／ｃｍ未満の表面エネルギーを示す。特定の状況において、連続的コーティングの疎水性は、湿気によるアセンブリへの損傷の可能性を減少させることができるので、非常に望ましいことがあり得る。 The hydrophobic coating preferably exhibits a water contact angle greater than 90 °, more preferably greater than 105 °. The hydrophobic coating preferably exhibits a surface energy of less than 35 dyne / cm, more preferably less than 30 dyne / cm. In certain situations, the hydrophobicity of the continuous coating can be highly desirable as it can reduce the possibility of damage to the assembly due to moisture.
しかし、いくつかの状況において、親水性コーティングが望ましいことがあり得る。例えば、別のコーティング又はラベル（例えば、バーコード）が連続的コーティングに適用される場合、親水性コーティングが望ましいことがあり得る。一般に、別のコーティングを親水性コーティングに接着することは容易である。親水性コーティングは、好ましくは７０°未満、より好ましくは５５°未満の水接触角を示す。親水性コーティングは、好ましくは４５ｄｙｎｅ／ｃｍよりも大きい、最も好ましくは５０ｄｙｎｅ／ｃｍよりも大きい表面エネルギーを示す。 However, in some situations, a hydrophilic coating may be desirable. For example, if another coating or label (eg, a barcode) is applied to the continuous coating, a hydrophilic coating may be desirable. In general, it is easy to adhere another coating to a hydrophilic coating. The hydrophilic coating preferably exhibits a water contact angle of less than 70 °, more preferably less than 55 °. The hydrophilic coating preferably exhibits a surface energy greater than 45 dyne / cm, most preferably greater than 50 dyne / cm.
本発明において使用する場合、「連続的」の語はコーティングが実質的に欠陥を有していないことを意味する。可能性がある欠陥として、コーティング中の穴、亀裂及び割れ目が挙げられる。連続的コーティングは、電気又は電気光学アセンブリ上にin situで形成されるプラズマ重合ポリマーを使用して達成することができる。連続的コーティングは、下記のプラズマ重合方法を使用して、プラズマガスと接触する全ての表面上に形成され得る。このことは、高アスペクト比の機構、例えば、典型的には電気又は電気光学アセンブリ上に見られる部品を被覆する場合に特に有利であり得る。プラズマ重合方法を使用すると、アンダーハング(underhang)がコーティングによって十分に覆われることも可能にし得る。 As used herein, the term “continuous” means that the coating is substantially free of defects. Possible defects include holes, cracks and cracks in the coating. Continuous coating can be achieved using a plasma polymerized polymer formed in situ on an electro- or electro-optic assembly. A continuous coating can be formed on all surfaces in contact with the plasma gas using the plasma polymerization method described below. This may be particularly advantageous when coating high aspect ratio features, such as parts typically found on electrical or electro-optic assemblies. Using the plasma polymerization method may also allow the underhang to be fully covered by the coating.
連続的コーティングは、典型的には、１ｎｍ〜１０μｍ、好ましくは１ｎｍ〜５μｍ、より好ましくは５ｎｍ〜５００ｎｍ、より好ましくは１００ｎｍ〜３００ｎｍ、より好ましくは１５０ｎｍ〜２５０ｎｍ、例えば約２００ｎｍの平均厚さを有する。連続的コーティングの厚さは、実質的に均一であり得るか、又は場所により変化し得る。特定の実施形態において、連続的コーティングは、基板、伝導性トラック及び部品の三次元表面に適合するように堆積することができる。 The continuous coating typically has an average thickness of 1 nm to 10 μm, preferably 1 nm to 5 μm, more preferably 5 nm to 500 nm, more preferably 100 nm to 300 nm, more preferably 150 nm to 250 nm, for example about 200 nm. . The thickness of the continuous coating can be substantially uniform or can vary from place to place. In certain embodiments, the continuous coating can be deposited to conform to the three-dimensional surface of the substrate, conductive track and component.
連続的コーティングは、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う。好ましくは、コーティングは、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品の露出部分を封入（ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｅ）する。従って、連続的コーティングは、好ましくはコンフォーマルコーティングであり得る。コンフォーマルコーティングは、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品をコンフォーマルに被覆する。誤解をさけるために、下記のような他の品目を完全に覆うコーティングについての記載は、上記と同様の意味を有することを目的とする。 The continuous coating completely covers at least one surface of the substrate, the plurality of conductive tracks and at least one electrical or electro-optic component. Preferably, the coating encapsulates at least one surface of the substrate, the plurality of conductive tracks and the exposed portion of at least one electrical or electro-optic component. Thus, the continuous coating can preferably be a conformal coating. A conformal coating conformally coats at least one surface of a substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electrical or electro-optic component. To avoid misunderstanding, the description of a coating that completely covers other items such as the following is intended to have the same meaning as above.
連続的コーティングで完全に覆われた電気又は電気光学アセンブリの領域は、ある状況下では、より大きい電気又は電気光学アセンブリの一部であり得、その残りは被覆されていないことがあり得る。 The area of the electro- or electro-optic assembly that is completely covered with the continuous coating may be part of a larger electro- or electro-optic assembly and the rest may be uncoated under certain circumstances.
連続的コーティングは、該コーティングが設けられたアセンブリの電気的及び／又は光学的性能に最小限の変化を引き起こし得る。例えば、アセンブリ中の電気回路のインダクタンスはコーティングによって最小限の影響を受け得る。いくつかの状況において、これは他のコンフォーマルコーティングと比較して非常に有利であり得る。この他のコンフォーマルコーティングの場合、典型的には、回路の性質が有意に変更され、そのためアセンブリを設計する際、他のコーティングにより引き起こされるアセンブリの変更された性質を考慮する必要があり得る。本発明のコーティングは、いくつかの状況において、この必要性を取り除くことができる。 A continuous coating can cause minimal changes in the electrical and / or optical performance of the assembly provided with the coating. For example, the inductance of the electrical circuit in the assembly can be minimally affected by the coating. In some situations this can be very advantageous compared to other conformal coatings. In the case of this other conformal coating, the properties of the circuit are typically significantly changed, so it may be necessary to consider the altered properties of the assembly caused by other coatings when designing the assembly. The coating of the present invention can eliminate this need in some circumstances.
環境からの非常に高い保護が電気又は電気光学アセンブリに必要である場合、プラズマ重合ポリマーの追加の連続的コーティングを最初の連続的コーティングの上に設けることができる。従って、電気又は電気光学アセンブリは、前記のプラズマ重合ポリマーを含み、連続的コーティングを完全に覆う第１の追加の連続的コーティング、及び、場合によって、前記のプラズマ重合ポリマーを含み、第１の追加の連続的コーティングを完全に覆う第２の追加の連続的コーティングをさらに備えることができる。前記のプラズマ重合ポリマーの別の追加の連続的コーティング（例えば、第３〜第１０の連続的コーティング）を必要に応じて設けることができる。各追加の連続的コーティングに使用するプラズマ重合ポリマーは、独立して、最初の連続的コーティングのプラズマ重合ポリマーと同一であるか、又は異なり得る。各追加の連続的コーティングは、典型的には、前記の連続的コーティングを堆積させるのに使用される方法により堆積される。最初の連続的コーティング及び追加の連続的コーティングの正確な性質は、被覆されるアセンブリに必要な性能を改善するか、又は最適化するように選択することができる。例えば、湿気に対して優れた抵抗を達成するために、高い疎水性コーティングを最上のコーティングとして備えることが望ましいことがあり得る。 If very high protection from the environment is required for electro- or electro-optic assemblies, an additional continuous coating of plasma polymerized polymer can be provided over the initial continuous coating. Accordingly, the electro- or electro-optic assembly includes the plasma polymerized polymer as described above, and includes a first additional continuous coating that completely covers the continuous coating, and optionally includes the plasma polymerized polymer as described above. A second additional continuous coating that completely covers the continuous coating. Other additional continuous coatings of the plasma polymerized polymer (e.g., third to tenth continuous coatings) can be provided as needed. The plasma polymerized polymer used for each additional continuous coating can independently be the same as or different from the plasma polymerized polymer of the first continuous coating. Each additional continuous coating is typically deposited by the method used to deposit the continuous coating. The exact nature of the initial continuous coating and the additional continuous coating can be selected to improve or optimize the performance required for the assembly being coated. For example, it may be desirable to have a highly hydrophobic coating as the top coating to achieve excellent resistance to moisture.
さらに、本発明のプラズマ重合コーティングを使用して、別のコンフォーマルコーティングで被覆された従来の電気又は電気光学アセンブリに追加の環境保護を提供することもできる。このことは、耐水性の外側のコーティングが必要である場合に有利であり得る。電気又は電気光学アセンブリは、プラズマ重合ポリマーの連続的コーティングの少なくとも一部と基板、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品の少なくとも一部との間に堆積した、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティングをさらに備えることができる。特定の実施形態において、パリレンコーティングは化学気相堆積方法により堆積させることができる。 In addition, the plasma polymerized coatings of the present invention can be used to provide additional environmental protection to conventional electro- or electro-optic assemblies coated with another conformal coating. This can be advantageous when a water resistant outer coating is required. An electro- or electro-optic assembly is an epoxy resin, acrylic, deposited between at least a portion of a continuous coating of plasma polymerized polymer and at least a portion of a substrate, a plurality of conductive tracks, and at least one electro- or electro-optic component. A coating of resin, silicone resin or parylene can further be provided. In certain embodiments, the parylene coating can be deposited by a chemical vapor deposition method.
電気又は電気光学アセンブリは、絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品と、少なくとも一部の基板上のエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティング（伝統的な化学気相堆積方法により堆積させることができる）と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック、少なくとも１つの電気又は電気光学部品及びエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティングを完全に覆う連続的コーティングとを備えることができる。 The electro- or electro-optic assembly includes a substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and at least one electro- or electro-optic component connected to the at least one conductive track; A coating of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin or parylene on at least a portion of the substrate (which can be deposited by traditional chemical vapor deposition methods) and at least one surface of the substrate comprising a plasma polymerized polymer; A plurality of conductive tracks, at least one electrical or electro-optic component and a continuous coating that completely covers the coating of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin or parylene.
好ましくは、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティングはコンフォーマルコーティングである。かかる配置は、基板、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品の少なくとも一部の上に堆積したエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティングを備える電気又は電気光学アセンブリを本明細書に記載されるコーティング方法に供することにより調製することができる。 Preferably, the coating of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin or parylene is a conformal coating. Such an arrangement includes an electro- or electro-optic assembly comprising a substrate, a plurality of conductive tracks and a coating of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin or parylene deposited on at least a portion of at least one electro- or electro-optic component. It can be prepared by subjecting it to the coating method described in the specification.
さらに、連続的コーティングはＷＯ２００８／１０２１１３（その内容は参照により本明細書に組み入れられる）に記載されるようなハロ炭化水素表面仕上げコーティングを備える電気又は電気光学アセンブリに設けることもできる。電気又は電気光学アセンブリは、ハロ炭化水素ポリマーを含み、（ａ）連続的コーティングと（ｂ）基板の少なくとも１つの表面及び複数の伝導性トラックとの間に堆積した表面仕上げコーティングを備えることができ、ここで、該表面仕上げコーティングは複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆い、少なくとも１つの電気又は電気光学部品は少なくとも１つの伝導性トラックに表面仕上げコーティングを通して接続される。好ましくは、表面仕上げコーティングはフルオロ炭化水素ポリマー、より好ましくはプラズマ重合フルオロ炭化水素ポリマーを含む。 Furthermore, the continuous coating can also be provided on an electro- or electro-optic assembly comprising a halohydrocarbon surface finish coating as described in WO 2008/102113, the contents of which are incorporated herein by reference. The electro- or electro-optic assembly can comprise a halohydrocarbon polymer and comprise a surface finish coating deposited between (a) a continuous coating and (b) at least one surface of the substrate and a plurality of conductive tracks. Here, the surface finish coating covers at least a portion of the plurality of conductive tracks, and at least one electro- or electro-optic component is connected to the at least one conductive track through the surface finish coating. Preferably, the surface finish coating comprises a fluorohydrocarbon polymer, more preferably a plasma polymerized fluorohydrocarbon polymer.
さらに、電気又は電気光学アセンブリは、絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品と、ハロ炭化水素ポリマーを含み、複数の伝導性トラックの少なくとも一部の上に堆積した表面仕上げコーティングと、プラズマ重合ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック、少なくとも１つの電気又は電気光学部品及び表面仕上げコーティングを完全に覆う連続的コーティングとを備えることができ、ここで、少なくとも１つの電気又は電気光学部品は少なくとも１つの伝導性トラックに表面仕上げコーティングを通して接続される。 Furthermore, the electro- or electro-optic assembly comprises a substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and at least one electro- or electro-optic component connected to the at least one conductive track. A surface finish coating comprising a halohydrocarbon polymer and deposited on at least a portion of the plurality of conductive tracks, and a plasma polymerized polymer comprising at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks, at least one A continuous coating completely covering the electro- or electro-optic component and the surface finish coating, wherein at least one electro- or electro-optic component is connected to the at least one conductive track through the surface finish coating.
好ましくは、電気又は電気光学部品は、はんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合によって少なくとも１つの伝導性トラックに接続され、はんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合は表面仕上げコーティングに接する。 Preferably, the electro- or electro-optic component is connected to the at least one conductive track by solder joint, weld joint or wire bond joint, the solder joint, weld joint or wire bond joint being in contact with the surface finish coating.
アセンブリが表面仕上げコーティング又はエポキシ樹脂、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂のコーティングを備える場合、適切な表面仕上げコーティング又はエポキシ樹脂、アクリル樹脂若しくはシリコーン樹脂のコーティングを備えるアセンブリを前記のコーティング方法に供することによりアセンブリを調製することができる。同様に、追加の連続的コーティングも、典型的には、前記のコーティング方法により堆積される。 Where the assembly comprises a surface finish coating or a coating of epoxy resin, acrylic resin or silicone resin, the assembly is provided by subjecting the assembly to a coating method as described above with a suitable surface finish coating or coating of epoxy resin, acrylic resin or silicone resin. Can be prepared. Similarly, additional continuous coatings are typically deposited by the coating methods described above.
プラズマ重合コーティングの別の利点は、いくつかの状況において、プラズマ除去プロセスにより容易に除去することができることである。プラズマ除去プロセスは、電気又は電気光学アセンブリの内在する表面を露出させる、コーティングのプラズマエッチングを含み得る。コーティングは約２００ｎｍの厚さを有し得る。先行技術の公知の方法を使用して電気又は電気光学アセンブリに設けられた伝統的なコンフォーマルコーティングは、典型的には、２５〜２００μｍの厚さである。従来のコンフォーマルコーティングの除去は、プラズマエッチングを使用すると、除去される材料が大量であるために時間がかかり、高価であり得る。前記の電気又は電気光学アセンブリはプラズマ除去プロセスを受けることができる。このプラズマ除去プロセスにより、典型的には、実質的に全ての連続的コーティングが除去される。存在する場合、典型的には、実質的に全ての追加の連続的コーティング及び／又は表面仕上げコーティングが除去される。プラズマ除去プロセスは、典型的には、電気又は電気光学アセンブリをプラズマチャンバーに入れるステップ、及び、化学的に及び／又は物理的にコーティングの表面に衝撃を与えて材料を除去し、徐々に最初の内在する表面へとエッチングする反応性ガスプラズマを導入するステップを含む。 Another advantage of a plasma polymerized coating is that in some situations it can be easily removed by a plasma removal process. The plasma removal process can include a plasma etch of the coating that exposes the underlying surface of the electro- or electro-optic assembly. The coating can have a thickness of about 200 nm. Traditional conformal coatings applied to electro- or electro-optic assemblies using known methods of the prior art are typically 25-200 μm thick. Conventional conformal coating removal can be time consuming and expensive due to the large amount of material removed using plasma etching. The electrical or electro-optic assembly can be subjected to a plasma removal process. This plasma removal process typically removes substantially all of the continuous coating. If present, typically substantially all of the additional continuous coating and / or surface finish coating is removed. The plasma removal process typically involves placing an electro- or electro-optic assembly into the plasma chamber and chemically and / or physically bombarding the surface of the coating to remove material and gradually begin with Introducing a reactive gas plasma that etches into the underlying surface.
このプロセスは迅速で安価であり得るので、有利であり得る。コーティングが除去された電気又は電気光学アセンブリは、その後、典型的には、別の部品の追加又は既存の部品の代替（交換）により再加工（再生）することができる。或いは、伝導性トラックと部品の間の接続部が使用により損傷した場合、該接続部を再加工することができる。 This process can be advantageous because it can be rapid and inexpensive. The electro- or electro-optic assembly from which the coating has been removed can then typically be reworked (regenerated) by adding another part or replacing (replacing) an existing part. Alternatively, if the connection between the conductive track and the part is damaged by use, the connection can be reworked.
再加工が完結したら、場合によって、ポリマーを含む代替連続的コーティングをプラズマ重合によって堆積し得、該コーティングは基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う。いくつかの状況において、損傷した電気又は電気光学アセンブリを容易に修理することができる。 Once the rework is complete, an alternative continuous coating containing the polymer may optionally be deposited by plasma polymerization, which completes at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component. Cover. In some situations, a damaged electrical or electro-optic assembly can be easily repaired.
プラズマ重合コーティングの別の利点は、再加工の前にコーティングを除去しなくてもよいことである。なぜなら、いくつかの状況において、コーティングを通してはんだ付けすることができるからである。いくつかの状況において、電気又は電気光学アセンブリの最初のコーティング、及び、存在する場合、第１及び第２の追加のコーティング並びに／又は表面仕上げコーティングを通してはんだ付けして、別の電気又は電気光学部品と少なくとも１つの伝導性トラックとの間にはんだ接合を形成することもできる。はんだ接合は、連続的コーティング、及び、存在する場合、第１及び第２の追加のコーティング並びに／又は表面仕上げコーティングに接し得る。 Another advantage of the plasma polymerization coating is that the coating does not have to be removed before rework. This is because in some situations it can be soldered through the coating. In some situations, another electro- or electro-optic component is soldered through the first coating of the electro- or electro-optic assembly and, if present, the first and second additional coatings and / or the surface finish coating. It is also possible to form a solder joint between and at least one conductive track. The solder joint may contact the continuous coating and, if present, the first and second additional coatings and / or the surface finish coating.
別の適用は、前記のプラズマ除去プロセスにより表面仕上げコーティングを除去するステップ、その後、前記のプラズマ重合ポリマーを堆積させるステップを含む。別の適用は、プラズマ除去プロセスにより前記の表面仕上げコーティングを除去するステップ、その後、電気又は電気光学部品を伝導性トラックに接続するステップ、その後、前記のプラズマ重合ポリマーを堆積させるステップを含む。 Another application includes removing the surface finish coating by the plasma removal process and then depositing the plasma polymerized polymer. Another application includes removing the surface finish coating by a plasma removal process, then connecting an electrical or electro-optic component to a conductive track, and then depositing the plasma polymerized polymer.
電気又は電気光学アセンブリは電気伝導性トラック又は光伝導性トラックであり得る複数の伝導性トラックを備えることができる。 The electrical or electro-optic assembly can comprise a plurality of conductive tracks, which can be electrically conductive tracks or photoconductive tracks.
電気伝導性トラックは、典型的には、好適な電気伝導性材料を含む。好ましくは、電気伝導性トラックは、金、タングステン、銅、銀、アルミニウム、半導体基板のドープ領域、伝導性ポリマー及び／又は伝導性インクを含む。より好ましくは、電気伝導性トラックは、金、タングステン、銅、銀又はアルミニウムを含む。 The electrically conductive track typically includes a suitable electrically conductive material. Preferably, the electrically conductive track comprises gold, tungsten, copper, silver, aluminum, a doped region of a semiconductor substrate, a conductive polymer and / or a conductive ink. More preferably, the electrically conductive track comprises gold, tungsten, copper, silver or aluminum.
伝導性トラックに好適な形状及び配置は、特定の対象のアセンブリについて当業者が選択することができる。 Suitable shapes and arrangements for the conductive tracks can be selected by those skilled in the art for a particular target assembly.
典型的には、電気伝導性トラックは基板の表面にその全長に沿って取り付ける。或いは、電気伝導性トラックは、基板に２つ以上の点で取り付けることができる。例えば、電気伝導性トラックは、基板に、その全長に沿わずに２つ以上の点で、ワイヤで取り付けることができる。 Typically, the electrically conductive track is attached to the surface of the substrate along its entire length. Alternatively, the electrically conductive track can be attached to the substrate at two or more points. For example, an electrically conductive track can be attached to a substrate with a wire at two or more points along its entire length.
電気伝導性トラックは、典型的には、当業者に公知の好適な方法を使用して基板上に形成される。好ましい方法において、電気伝導性トラックは「サブトラクティブ」法を使用して基板上に形成される。典型的には、この方法において、金属層（例えば、銅箔、アルミニウム箔等）を基板の表面に接着させた後、金属層の不要な部分を除去して望ましい伝導性トラックを残す。金属層の不要な部分は、典型的には、化学エッチング又はフォトエッチング、ミリングにより基板から除去される。別の好ましい方法において、伝導性トラックは「アディティブ」法、例えば、電気めっき、逆マスクを使用する堆積及び／又は任意の幾何学的に制御される堆積プロセスを使用して基板上に形成される。或いは、基板は、典型的には、ドープ領域を伝導性トラックとして有するシリコンダイ又はウェハであってもよい。 The electrically conductive track is typically formed on the substrate using any suitable method known to those skilled in the art. In a preferred method, the electrically conductive track is formed on the substrate using a “subtractive” method. Typically, in this method, after a metal layer (eg, copper foil, aluminum foil, etc.) is adhered to the surface of the substrate, unwanted portions of the metal layer are removed, leaving the desired conductive tracks. Unnecessary portions of the metal layer are typically removed from the substrate by chemical etching, photoetching, or milling. In another preferred method, the conductive track is formed on the substrate using an “additive” method such as electroplating, deposition using a reverse mask and / or any geometrically controlled deposition process. . Alternatively, the substrate may typically be a silicon die or wafer having doped regions as conductive tracks.
光伝導性トラックは、典型的には、好適な光伝導性材料を含む。好ましくは、光伝導性トラックは光導波路であり、光導波路は、典型的には、光伝送材料を含み、屈折率の変化を使用して望ましい経路を通して電磁放射線を伝送する。導波路は、例えば、クラッド又は境界層（クラッド又は境界層は異なる屈折率の材料から製造される）を光伝送材料に適用することにより製造することができる。或いは、導波路は、光伝送材料をドーピング又は改変して可変の屈折率の領域を作り出すことにより製造することができる。従って、導波路はスタンドアロン部品又は基板に一体化された機構であり得る。典型的な光伝送材料は、ガラス、ドープガラス及びプラスチックである。 The photoconductive track typically comprises a suitable photoconductive material. Preferably, the photoconductive track is an optical waveguide, which typically includes an optical transmission material and transmits electromagnetic radiation through a desired path using a change in refractive index. The waveguide can be manufactured, for example, by applying a cladding or boundary layer (the cladding or boundary layer is manufactured from a material with a different refractive index) to the optical transmission material. Alternatively, the waveguide can be manufactured by doping or modifying the light transmission material to create a variable index region. Thus, the waveguide can be a stand-alone component or a mechanism integrated into the substrate. Typical optical transmission materials are glass, doped glass and plastic.
複数の伝導性トラックは電気導電性トラックのみ、光伝導性トラックのみ、又は電気伝導性トラックと光伝導性トラックの混合物からなることができる。２つ以上の電気伝導性トラックが存在する場合、各トラックは前記の同一の材料から製造することができ、かつ／又は同一の形状を有し得、又は、種々のトラック材料及び／又はトラック形状であり得る。２つ以上の光伝導性トラックが存在する場合、各トラックは前記の同一の材料から製造することができ、かつ／又は同一の形状を有し得、又は、種々のトラック材料及び／又はトラック形状であり得る。 The plurality of conductive tracks can consist of only electrically conductive tracks, only photoconductive tracks, or a mixture of electrically conductive tracks and photoconductive tracks. If more than one electrically conductive track is present, each track can be made from the same material and / or have the same shape, or different track materials and / or track shapes. It can be. If more than one photoconductive track is present, each track can be made from the same material and / or have the same shape, or different track materials and / or track shapes. It can be.
複数の伝導性トラックは、少なくとも１つの外部コンタクト手段をさらに備えることができる。連続的コーティングは、好ましくは、少なくとも１つの外部コンタクト手段を完全に覆う。 The plurality of conductive tracks can further comprise at least one external contact means. The continuous coating preferably completely covers at least one external contact means.
外部コンタクト手段の正確な性質は、コンタクトを必要とするアセンブリ及びデバイスの性質によって決まり得る。好適なコンタクトは、通常、当業者によって選択され得る。典型的には、外部コンタクト手段は電気又は光コンタクトである。外部コンタクト手段は、複数の伝導性トラックの一部であり得る。或いは、外部コンタクト手段は少なくとも１つの伝導性トラックに電気的に又は光学的に接続される追加の部品であってもよい。 The exact nature of the external contact means may depend on the nature of the assembly and device that require contact. Suitable contacts can usually be selected by one skilled in the art. Typically, the external contact means is an electrical or optical contact. The external contact means can be part of a plurality of conductive tracks. Alternatively, the external contact means may be an additional component that is electrically or optically connected to at least one conductive track.
プラズマ重合コーティングは、連続的コーティングを事前に除去することなく、（ａ）外部コンタクト手段（好ましくは、電気コンタクト）と（ｂ）外部デバイスにおける対応するコンタクトとの間に電気接続を作ることを可能にし得る。同様に、プラズマ重合コーティングは、連続的コーティングを事前に除去することなく、（ａ）外部コンタクト手段（好ましくは、光コンタクト）と（ｂ）外部デバイスにおける対応するコンタクトとの間に光接続を作ることを可能にし得る。従って、プラズマ重合コーティングの形成前にアセンブリの外部コンタクト手段をマスクすることは、いずれの場合にも必要ではない可能性がある。いくつかの状況において、外部コンタクトをマスクすることは時間がかかり、かつ高価であり得るので、このことは有利であり得る。 Plasma-polymerized coatings can make electrical connections between (a) external contact means (preferably electrical contacts) and (b) corresponding contacts in external devices without prior removal of the continuous coating Can be. Similarly, the plasma polymerized coating makes an optical connection between (a) the external contact means (preferably an optical contact) and (b) the corresponding contact in the external device without prior removal of the continuous coating. Can make it possible. Thus, it may not be necessary in either case to mask the external contact means of the assembly prior to the formation of the plasma polymerized coating. In some situations this can be advantageous because masking external contacts can be time consuming and expensive.
電気又は電気光学アセンブリは絶縁材料を含む基板を備えることができる。基板は、典型的には、基板が電気又は電気光学アセンブリの回路を短絡することを防止する好適な絶縁材料を含む。従って、電気アセンブリにおいて、基板は、好ましくは電気的に絶縁である。電気光学アセンブリにおいて、基板は、好ましくは電気的に絶縁であり、かつ光学的にも絶縁である。 The electro- or electro-optic assembly can comprise a substrate comprising an insulating material. The substrate typically includes a suitable insulating material that prevents the substrate from shorting out the circuitry of the electro- or electro-optic assembly. Thus, in an electrical assembly, the substrate is preferably electrically insulating. In electro-optic assemblies, the substrate is preferably electrically insulating and optically insulating.
基板は、好ましくは、エポキシラミネート材料、合成樹脂ボンド紙、エポキシ樹脂で接着したガラス布（ＥＲＢＧＨ）、複合エポキシ材料（ＣＥＭ）、ＰＴＦＥ（テフロン（登録商標））又は他のポリマー材料、フェノールコットン紙、ケイ素、ガラス、セラミック、紙、ボール紙、天然及び／又は合成木材に基づく材料及び／又は他の好適な織物を含む。基板は、場合によって、難燃性材料、典型的には、Flame Retardant 2(FR-2)及び／又はFlame Retardant 4(FR-4)をさらに含む。基板は、単一層の絶縁材料、又は、多層の同一若しくは異なる絶縁材料を含むことができる。基板は、前記の材料のいずれか１つで作られたプリント回路基板（ＰＣＢ）の板であってもよい。 The substrate is preferably an epoxy laminate material, synthetic resin bond paper, glass cloth bonded with epoxy resin (ERBGH), composite epoxy material (CEM), PTFE (Teflon) or other polymer material, phenol cotton paper , Silicon, glass, ceramic, paper, cardboard, natural and / or synthetic wood based materials and / or other suitable fabrics. The substrate optionally further comprises a flame retardant material, typically Flame Retardant 2 (FR-2) and / or Flame Retardant 4 (FR-4). The substrate can comprise a single layer of insulating material or multiple layers of the same or different insulating material. The substrate may be a printed circuit board (PCB) board made of any one of the aforementioned materials.
電気又は電気光学アセンブリは少なくとも１つの電気又は電気光学部品を備える。 The electro- or electro-optic assembly comprises at least one electro- or electro-optic component.
電気部品は、電気アセンブリの好適な回路素子であり得る。好ましくは、電気部品は、抵抗器、コンデンサ、トランジスタ、ダイオード、増幅器、アンテナ又は発振器である。任意の好適な数及び／又は組み合わせの電気部品を電気アセンブリに接続することができる。 The electrical component can be a suitable circuit element of the electrical assembly. Preferably, the electrical component is a resistor, capacitor, transistor, diode, amplifier, antenna or oscillator. Any suitable number and / or combination of electrical components can be connected to the electrical assembly.
電気部品は、好ましくは、ボンドによって電気伝導性トラックに接続される。ボンドは、好ましくは、はんだ接合、溶接接合、ワイヤボンド接合、伝導性接着剤接合、クリンプ接合又はプレスフィット接合である。ボンドを形成するのに好適なはんだ付け、溶接、ワイヤボンド、伝導性接着剤及びプレスフィットの方法は当業者には公知である。より好ましくは、ボンドは、はんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合であり、はんだ接合が最も好ましい。 The electrical component is preferably connected to the electrically conductive track by a bond. The bond is preferably a solder joint, a weld joint, a wire bond joint, a conductive adhesive joint, a crimp joint or a press fit joint. Suitable soldering, welding, wire bonding, conductive adhesive and press fit methods for forming the bond are known to those skilled in the art. More preferably, the bond is a solder joint, a weld joint or a wire bond joint, with a solder joint being most preferred.
電気光学部品は、電磁信号（すなわち、光信号）が、例えばアクティブスイッチ、フィルター、変調器、増幅器及び切替可能な素子において電子的に制御される部品であり得る。或いは、電気光学部品は、電磁信号（すなわち、光信号）を電子信号に変換するか、またはその逆である部品、例えば、発光素子、光検出器及び検出器配列であり得る。電気光学部品は、好ましくは発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザーＬＥＤ、フォトダイオード、フォトトランジスタ、光電子増倍管又は光抵抗器である。 Electro-optic components can be components in which electromagnetic signals (ie, optical signals) are electronically controlled, for example in active switches, filters, modulators, amplifiers and switchable elements. Alternatively, the electro-optic component can be a component that converts an electromagnetic signal (ie, an optical signal) into an electronic signal, or vice versa, such as a light emitting element, a photodetector, and a detector array. The electro-optic component is preferably a light emitting diode (LED), a laser LED, a photodiode, a phototransistor, a photomultiplier tube or a photoresistor.
当業者は理解するように、電気光学部品は電気入力／出力及び光入力／出力を備えることができる。電気入力／出力は、好ましくは前記のボンドによって電気伝導性トラックに接続することができる。光入力／出力は、好ましくはボンドによって光伝導性トラックに接続することができる。 As those skilled in the art will appreciate, the electro-optic component can comprise an electrical input / output and an optical input / output. The electrical input / output can be connected to an electrically conductive track, preferably by the bond described above. The optical input / output can be connected to the photoconductive track, preferably by a bond.
アセンブリは、場合によって、光学部品をさらに備えることができる。光学部品はパッシブ部品（受動素子）であり得る。パッシブ部品として、例えば、連結器、スプリッター、Ｙ−スプリッター、スター連結器、繊維及び光スイッチを挙げることができる。典型的には、光学部品は、好ましくはボンドによって光伝導性トラックに接続される。光学部品及びボンドは、存在する場合、典型的には、連続的コーティングに完全に覆われている。 The assembly can optionally further comprise an optical component. The optical component can be a passive component (passive element). Examples of passive components include couplers, splitters, Y-splitters, star couplers, fibers, and optical switches. Typically, the optical component is connected to the photoconductive track, preferably by a bond. Optical components and bonds, if present, are typically completely covered by a continuous coating.
光接続は、部品及び伝導性トラックを光学的に並べて配置し、これらを所定の位置に機械的に保持する能動又は受動機械的構造によって達成することができる。或いは、光接続は、場合によって、選択された／制御された屈折率を有する接着剤を使用して達成することができる。或いは、光接続は、部品及び伝導性トラックを一緒に融合する(fusing)ことにより作り出すことができる。或いは、材料の屈折率を、例えば、新しい材料でドーピングすることにより変更して新しい接続を作り出すことができる。或いは、好適な材料のin situ付加を適用して新しい光学的配置を作り出すことができる。 The optical connection can be achieved by an active or passive mechanical structure that places the components and conductive tracks optically side by side and mechanically holds them in place. Alternatively, the optical connection can optionally be achieved using an adhesive having a selected / controlled refractive index. Alternatively, the optical connection can be created by fusing the parts and conductive tracks together. Alternatively, the refractive index of the material can be changed, for example by doping with a new material, to create a new connection. Alternatively, in situ addition of suitable materials can be applied to create a new optical configuration.
１つの好ましい実施形態において、電気アセンブリは、絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の電気伝導性トラックと、好ましくは前記の少なくとも１つのボンドにより、少なくとも１つの電気伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気部品と、プラズマ重合フルオロポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の電気伝導性トラック、少なくとも１つの電気部品、及び、存在する場合、少なくとも１つのボンドを完全に覆う連続的コーティングとを備える。より好ましくは、電気伝導性トラックは、典型的には、少なくとも１つの電気コンタクトである少なくとも１つの外部コンタクト手段を備え、少なくとも１つの外部コンタクト手段も連続的コーティングによって完全に覆われている。 In one preferred embodiment, the electrical assembly comprises at least one electrical conduction by a substrate comprising an insulating material, a plurality of electrically conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and preferably by at least one bond as described above. At least one electrical component connected to the conductive track and a plasma polymerized fluoropolymer, at least one surface of the substrate, a plurality of electrically conductive tracks, at least one electrical component, and at least one bond, if present And a continuous coating that completely covers. More preferably, the electrically conductive track comprises at least one external contact means, typically at least one electrical contact, the at least one external contact means also being completely covered by a continuous coating.
別の好ましい実施形態において、プリント回路基板は、絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の電気伝導性トラックと、はんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合の少なくとも１つにより、少なくとも１つの電気伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気部品と、プラズマ重合フルオロポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の電気伝導性トラック、少なくとも１つの電気部品及びはんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合の少なくとも１つを完全に覆う連続的コーティングとを備える。 In another preferred embodiment, the printed circuit board comprises: a substrate comprising an insulating material; a plurality of electrically conductive tracks present on at least one surface of the substrate; and at least one of a solder joint, a weld joint, or a wire bond joint. At least one electrical component connected to at least one electrically conductive track and a plasma polymerized fluoropolymer, at least one surface of the substrate, a plurality of electrically conductive tracks, at least one electrical component and a solder joint, welding And a continuous coating that completely covers at least one of the bond or wire bond bond.
さらに別の好ましい実施形態において、プリント回路基板は、絶縁材料を含む基板と、少なくとも１つの外部コンタクト手段を備え、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の電気伝導性トラックと、はんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合の少なくとも１つにより、少なくとも１つの電気伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気部品と、プラズマ重合フルオロポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の電気伝導性トラック、少なくとも１つの外部コンタクト手段、少なくとも１つの電気部品及びはんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合の少なくとも１つを完全に覆う連続的コーティングとを備える。 In yet another preferred embodiment, the printed circuit board comprises a substrate comprising an insulating material, at least one external contact means, a plurality of electrically conductive tracks present on at least one surface of the substrate, solder bonding, welding At least one electrical component connected to the at least one electrically conductive track by at least one of a bond or a wire bond bond, and at least one surface of the substrate, a plurality of electrically conductive tracks, comprising a plasma polymerized fluoropolymer; At least one external contact means, at least one electrical component and a continuous coating completely covering at least one of a solder joint, weld joint or wire bond joint.
プラズマ重合ポリマー連続的コーティングは、電気又は電気光学部品を被覆するのに有用であり得る。電気又は電気光学部品は、電気又は電気光学アセンブリについて前記のプラズマ重合ポリマーを含む連続的コーティングで完全に覆われ得る。この被覆された部品は、部品を前記のコーティング方法に供することによって調製することができる。プラズマ重合ポリマーコーティングは電気又は電気光学部品に優れた環境保護を提供することができるので、価値の高い部品の場合に特に有用であり得る。好ましい実施形態は、プラズマ重合フルオロポリマーを含む連続的コーティングで完全に覆われた電気部品である。 Plasma polymerized polymer continuous coatings can be useful for coating electrical or electro-optic components. The electro- or electro-optic component can be completely covered with a continuous coating comprising the plasma polymerized polymer described above for electro- or electro-optic assemblies. This coated part can be prepared by subjecting the part to the coating method described above. Plasma polymerized polymer coatings can be particularly useful for high value components, as they can provide excellent environmental protection for electrical or electro-optic components. A preferred embodiment is an electrical component that is completely covered with a continuous coating comprising a plasma polymerized fluoropolymer.
被覆された電気又は電気光学部品は、典型的には、はんだ付け又はワイヤボンド接合による電気部品の場合、連続的コーティングを事前に除去することなく、電気又は光学アセンブリの少なくとも１つの伝導性トラックに接続することができる。その場合、実質的に全ての連続的コーティングは無傷のままであり得、設置後に環境保護を提供することができる。或いは、コーティングはアセンブリにおける設置前にプラズマ除去プロセスにより除去することができる。 The coated electrical or electro-optic component is typically in the case of an electrical component by soldering or wire bond bonding to at least one conductive track of the electrical or optical assembly without prior removal of the continuous coating. Can be connected. In that case, substantially all of the continuous coating can remain intact and provide environmental protection after installation. Alternatively, the coating can be removed by a plasma removal process prior to installation in the assembly.
特定の実施形態において、前記のプラズマ重合ポリマーは、電気若しくは電気光学アセンブリ又は電気若しくは電気光学部品をコンフォーマルに被覆するのに使用することができる。 In certain embodiments, the plasma polymerized polymer can be used to conformally coat an electrical or electro-optic assembly or an electrical or electro-optic component.
本発明の態様を添付図面に示された実施形態（図面中の同一の数字は同一又は類似の部品を指す）及び実施例を参照して記載する。 Aspects of the invention will now be described with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, wherein like numerals refer to like or similar parts, and examples.
図面の説明
図１Ａは、プラズマ重合フルオロポリマーのＸ線光電子分光分析の結果を示す。この結果はプラズマ重合フルオロポリマーが高い割合のＣＦ３、ＣＦ及びＣ−ＣＦ部分を含むことを示し、分岐度及び架橋度が高いことを示す。図１Ｂは通常の重合技術により得られるフルオロポリマー（すなわち、市販のＰＴＦＥ）のＸ線光電子分光分析の結果を示す。この結果は通常の重合技術により得られるフルオロポリマーは主にＣＦ２部分を含有し、ＣＦ３、ＣＦ及びＣ−ＣＦ部分は無視できる割合であることを示し、分岐度及び架橋度が非常に低いことを示す。これらの結果が得られた方法は実施例１に記載する。
DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1A shows the results of X-ray photoelectron spectroscopy analysis of a plasma polymerized fluoropolymer. The results show that plasma polymerized fluoropolymer comprises a high CF 3, CF and C-CF% of all indicates a higher degree of branching and degree of crosslinking. FIG. 1B shows the results of X-ray photoelectron spectroscopy analysis of a fluoropolymer (ie commercially available PTFE) obtained by conventional polymerization techniques. This result shows that the fluoropolymers obtained by conventional polymerization techniques contain mainly CF 2 moieties, with negligible proportions of CF 3 , CF and C—CF, with very low degree of branching and crosslinking It shows that. The way in which these results were obtained is described in Example 1.
図２Ａは、本発明のプラズマ重合フルオロポリマーコーティングの電子顕微鏡写真を示し、前記コーティングの滑らかな物理的性質を示す。図２Ｂは通常の重合技術により堆積し、フィブリルがはっきりと見える構造を有するＰＴＦＥコーティングの電子顕微鏡写真を示す。 FIG. 2A shows an electron micrograph of a plasma polymerized fluoropolymer coating of the present invention showing the smooth physical properties of the coating. FIG. 2B shows an electron micrograph of a PTFE coating deposited by conventional polymerization techniques and having a structure where the fibrils are clearly visible.
図３は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック２と、少なくとも１つの伝導性トラック２に接続された電気部品３と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック２及び電気部品３を完全に覆う連続的コーティング４とを備える電気アセンブリを示す。
FIG. 3 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 2 present on at least one surface of the substrate 1, an
図４は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック２と、少なくとも１つの伝導性トラック２にボンド５により接続された電気部品３と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック２、電気部品３及びボンド５を完全に覆う連続的コーティング４とを備える電気アセンブリを示す。
FIG. 4 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 2 present on at least one surface of the substrate 1, an
図５は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック２と、少なくとも１つの伝導性トラック２に接続された電気部品３と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック２及び電気部品３を完全に覆う連続的コーティング４と、プラズマ重合ポリマーを含み、連続的コーティング４を完全に覆う第１の追加の連続的コーティング７とを備える電気アセンブリを示す。
FIG. 5 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 2 present on at least one surface of the substrate 1, an
図６は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック２と、少なくとも１つの伝導性トラック２に接続された電気部品３と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック２及び電気部品３を完全に覆う連続的コーティング４と、少なくとも一部の連続的コーティング４と基板１、複数の伝導性トラック２及び電気部品３の少なくとも一部との間に堆積したエポキシ樹脂、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂のコーティング８とを備える電気アセンブリを示す。
FIG. 6 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 2 present on at least one surface of the substrate 1, an
図７は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック２と、少なくとも１つの伝導性トラック２にボンド５により接続された電気部品３と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック２、電気部品３及びボンド５を完全に覆う連続的コーティング４と、ハロ炭化水素を含み、連続的コーティング４と、基板１の少なくとも１つの表面及び複数の伝導性トラック２との間に堆積した表面仕上げコーティング６とを備える電気アセンブリを示す。電気部品３は、表面仕上げコーティング６に接するボンド５により、表面仕上げコーティング６を通して伝導性トラック２に接続される。
FIG. 7 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 2 present on at least one surface of the substrate 1, an
図８は、絶縁材料を含む基板１と、基板１の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラック１７、１８と、少なくとも１つの伝導性トラック１７、１８に接続された電気光学部品１９と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板１の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック１７、１８及び電気光学部品１９を完全に覆う連続的コーティング４とを備える電気光学アセンブリを示す。伝導性トラック１７は光伝導性トラック（例えば、光ファイバー）である。伝導性トラック１８は電気伝導性トラックである。コーティング２０の領域の屈折率は光インターコネクト２１により制御される。
FIG. 8 shows a substrate 1 comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks 17, 18 present on at least one surface of the substrate 1, and an electro-
図９は、プラズマ重合ポリマーを含む連続的コーティング１６で完全に覆われた電気部品１５を示す。
FIG. 9 shows the
図１０は、本発明のプラズマ重合ポリマーコーティングを形成するために使用することができる装置の例を示す。この例において、反応器９は真空システム１１及びエネルギー源１２に接続されたチャンバー１０を備える。前駆体化合物はプラズマによってイオン化及び／又は分解されて活性種１３を形成した後、該活性種はアセンブリ１４の表面で反応してプラズマ重合ポリマーの連続的コーティングを形成する。
FIG. 10 shows an example of an apparatus that can be used to form the plasma polymerized polymer coating of the present invention. In this example, the
図１１Ａ、１１Ｂ及び１１Ｃは前記の方法の特定の実施形態を示しているフローチャートである。 FIGS. 11A, 11B and 11C are flow charts showing particular embodiments of the method.
実施例１
プラズマ重合フルオロ炭化水素のＸＰＳ分析
エポキシラミネート基板をプラズマ重合フルオロ炭化水素で被覆した。このラミネートを切断して約１ｃｍ２の大きさのサンプルを得て、Thermo-Scientific社のＸ線光電子分光計ESCALAB 250のサンプルチャンバーに導入した。
Example 1
XPS analysis of plasma polymerized fluorohydrocarbon Epoxy laminate substrates were coated with plasma polymerized fluorohydrocarbon. The laminate was cut to obtain a sample having a size of about 1 cm 2 and introduced into a sample chamber of an ESCALAB 250 X-ray photoelectron spectrometer manufactured by Thermo-Scientific.
チャンバーを作動圧力１０−１０Ｔｏｒｒまでポンプで低下させた後、サンプルを分析チャンバーに移動させた。単色Ｘ線ビームを表面に入射し、サンプルから放出された光電子を集め、分析した。 After the chamber was pumped down to an operating pressure of 10 −10 Torr, the sample was moved to the analysis chamber. A monochromatic X-ray beam was incident on the surface and photoelectrons emitted from the sample were collected and analyzed.
広いシグナルスキャンを行って表面上の全ての成分を捕獲した後、Ｃ１ｓピークのさらに高解像のスキャンを行ってピークの微細構造及びサンプルの化学構造を決定した。 After performing a broad signal scan to capture all components on the surface, a higher resolution scan of the C1s peak was performed to determine the peak microstructure and the chemical structure of the sample.
結果を図１Ａに示した。 The results are shown in FIG. 1A.
実施例２
被覆されたアセンブリの調製
アセンブリを以下の表１に示した前駆体及びプラズマ重合条件を使用してＲｕｎ１〜１０において被覆した。
Preparation of the coated assembly The assemblies were coated in Runs 1-10 using the precursors and plasma polymerization conditions shown in Table 1 below.
実施例３
プラズマ除去プロセス
プラズマ重合フルオロ炭化水素で被覆された電気アセンブリをプラズマチャンバーに導入した。チャンバーを作動圧力２５０ｍＴｏｒｒにポンプで低下させた後、酸素ガスを流量２５００ｓｃｃｍで導入した。該ガスを、チャンバーに３０秒間流した後、プラズマ発生器を周波数４０ｋＨｚ、出力３ｋＷでスイッチを入れた。アセンブリに活性プラズマを５分間当てた後、プラズマ発生器のスイッチを切り、チャンバーを大気圧に戻した。
Example 3
Plasma Removal Process An electrical assembly coated with plasma polymerized fluorohydrocarbon was introduced into the plasma chamber. After the chamber was pumped down to an operating pressure of 250 mTorr, oxygen gas was introduced at a flow rate of 2500 sccm. After flowing the gas through the chamber for 30 seconds, the plasma generator was switched on at a frequency of 40 kHz and an output of 3 kW. After the active plasma was applied to the assembly for 5 minutes, the plasma generator was turned off and the chamber was returned to atmospheric pressure.
アセンブリをプラズマチャンバーから取り出し、プラズマポリマーコーティングの除去をBruker FTIR分光計を使用して確認した。１２５０ｎｍの特徴的なＣ−Ｆの伸縮ピークが存在しないことにより、フルオロポリマーが完全に除去されたことが示された。本発明の実施形態として以下を挙げることができる。［実施形態１］
絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品と、プラズマ重合ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングとを備える、電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態２］
プラズマ重合ポリマーがプラズマ重合炭化水素又はハロ炭化水素である、実施形態１に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態３］
プラズマ重合ポリマーがプラズマ重合フルオロ炭化水素である、実施形態１又は２に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態４］
プラズマ重合フルオロ炭化水素が、ペルフルオロアルカン、ペルフルオロアルケン、ペルフルオロアルキン、フルオロアルカン、フルオロアルケン、フルオロアルキン、フルオロアクリレート、フルオロエステル、フルオロシラン、フルオロクロロアルカン、フルオロクロロアルケン、フルオロクロロアルキン、フルオロクロロアクリレート、フルオロクロロエステル及びフルオロクロロシランから選択される１種以上の前駆体化合物をプラズマ重合することにより得ることができる、実施形態１〜３のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態５］
少なくとも１つの電気又は電気光学部品が電気部品であり、少なくとも１つの伝導性トラックが電気伝導性トラックである、実施形態１〜４のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態６］
電気部品が少なくとも１つの伝導性トラックに少なくとも１つのボンドにより接続され、連続的コーティングが少なくとも１つのボンドを完全に覆う、実施形態５に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態７］
少なくとも１つのボンドがはんだ接合、溶接接合、ワイヤボンド接合、伝導性接着剤接合、クリンプ接合又はプレスフィット接合である、実施形態６に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態８］
少なくとも１つのボンドがはんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合である、実施形態７に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態９］
少なくとも１つの電気又は電気光学部品が電気光学部品であり、少なくとも１つの伝導性トラックが電気伝導性トラック又は光伝導性トラックである、実施形態１〜４のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１０］
複数の伝導性トラックが少なくとも１つの外部コンタクト手段をさらに備え、連続的コーティングが少なくとも１つの外部コンタクト手段を完全に覆う、実施形態１〜９のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１１］
少なくとも１つの外部コンタクト手段が電気コンタクトである、実施形態１０に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１２］
少なくとも１つの外部コンタクト手段が光コンタクトである、実施形態１０に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１３］
光伝導性トラックに接続される光学部品をさらに含む、実施形態１〜１２のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１４］
実施形態１〜４のいずれか１項に記載のプラズマ重合ポリマーを含み、連続的コーティングを完全に覆う第１の追加の連続的コーティングと、場合によって、実施形態１〜４のいずれか１項に記載のプラズマ重合ポリマーを含み、第１の追加のコーティングを完全に覆う第２の追加の連続的コーティングとをさらに備える、実施形態１〜１３のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１５］
プラズマ重合ポリマーの連続的コーティングの少なくとも一部と、基板、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は光学部品の少なくとも一部との間に堆積したエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂又はパリレンのコーティングをさらに備える、実施形態１〜１４のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１６］
ハロ炭化水素ポリマーを含み、（ａ）連続的コーティングと（ｂ）基板の少なくとも１つの表面及び複数の伝導性トラックとの間に堆積した表面仕上げコーティングをさらに備え、該表面仕上げコーティングが複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆い、少なくとも１つの電気又は電気光学部品が表面仕上げコーティングを通して少なくとも１つの伝導性トラックに接続される、実施形態１〜１５のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１７］
実施形態８に記載のはんだ接合、溶接接合又はワイヤボンド接合が表面仕上げコーティングに接する、実施形態１６に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１８］
プリント回路基板である、実施形態１〜１７のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態１９］
実施形態１〜１８のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリを調製するための方法であって、前記方法が、（ａ）絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品とを備える電気又は電気光学アセンブリを提供するステップ及び（ｂ）実施形態１〜３のいずれか１項に記載のポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む、前記方法。
［実施形態２０］
プラズマ重合により堆積させるステップが、実施形態４に記載の１種以上の前駆体化合物をプラズマ重合するステップを含む、実施形態１９に記載の方法。
［実施形態２１］
実施形態１９又は２０に記載の方法により得られる電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態２２］
実施形態１〜４のいずれか１項に記載のプラズマ重合ポリマーを含む連続的コーティングで完全に覆われた電気又は電気光学部品。
［実施形態２３］
（ａ）連続的コーティング並びに、存在する場合、第１の及び第２の追加の連続的コーティング及び／又は表面仕上げコーティングが除去されるように、実施形態１〜１４、１６〜１８及び２１のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリをプラズマ除去プロセスに供するステップ、（ｂ）場合によって、得られた電気又は電気光学アセンブリを再加工するステップ及び（ｃ）場合によって、ポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う、代替連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法。
［実施形態２４］
実施形態１〜１４、１６〜１８及び２１のいずれか１項に記載の電気又は電気光学アセンブリの連続的コーティング、並びに、存在する場合、第１の及び第２の追加の連続的コーティング及び／又は表面仕上げコーティングを通してはんだ付けして別の電気又は電気光学部品と少なくとも１つの伝導性トラックとの間にはんだ接合を形成する方法であって、はんだ接合が連続的コーティング、並びに、存在する場合、第１の及び第２の追加の連続的コーティング及び／又は表面仕上げコーティングに接する、前記方法。
［実施形態２５］
絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、ハロ炭化水素ポリマーを含み、複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆う表面仕上げコーティングと、表面仕上げコーティングを通して少なくとも１つの伝導性トラックに接続された少なくとも１つの電気又は電気光学部品とを備える電気又は電気光学アセンブリを、表面仕上げコーティングが除去されるようにプラズマ除去プロセスに供するステップ、及び（ｂ）実施形態１〜４のいずれか１項に記載のポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法。
［実施形態２６］
（ａ）絶縁材料を含む基板と、基板の少なくとも１つの表面に存在する複数の伝導性トラックと、ハロ炭化水素ポリマーを含み、複数の伝導性トラックの少なくとも一部を覆う表面仕上げコーティングとを備える電気又は電気光学アセンブリを、表面仕上げコーティングが除去されるようにプラズマ除去プロセスに供するステップ、（ｂ）電気又は電気光学部品を少なくとも１つの伝導性トラックに接続するステップ及び（ｃ）実施形態１〜４のいずれか１項に記載のポリマーを含み、基板の少なくとも１つの表面、複数の伝導性トラック及び少なくとも１つの電気又は電気光学部品を完全に覆う連続的コーティングをプラズマ重合により堆積させるステップを含む方法。
［実施形態２７］
実施形態１〜４のいずれか１項に記載のプラズマ重合ポリマーを含むコンフォーマルコーティングを備える、電気又は電気光学アセンブリ。
［実施形態２８］
電気又は電気光学アセンブリのためのコンフォーマルコーティングとしての実施形態１〜４のいずれか１項に記載のプラズマ重合ポリマーの使用。
［実施形態２９］
電気又は電気光学アセンブリをコンフォーマルに被覆するための方法であって、実施形態１〜４のいずれか１項に記載のポリマーをプラズマ重合により堆積させるステップを含む、前記方法。
The assembly was removed from the plasma chamber and the removal of the plasma polymer coating was confirmed using a Bruker FTIR spectrometer. The absence of a characteristic C—F stretching peak at 1250 nm indicated that the fluoropolymer was completely removed. The following can be mentioned as an embodiment of the present invention. [Embodiment 1]
A substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, at least one electrical or electro-optic component connected to the at least one conductive track, and a plasma polymerized polymer, An electro- or electro-optic assembly comprising: at least one surface of the plurality of conductive tracks;
[Embodiment 2]
The electro- or electro-optic assembly according to embodiment 1, wherein the plasma polymerized polymer is a plasma polymerized hydrocarbon or halohydrocarbon.
[Embodiment 3]
[Embodiment 4]
Plasma polymerized fluorohydrocarbons are perfluoroalkane, perfluoroalkene, perfluoroalkyne, fluoroalkane, fluoroalkene, fluoroalkyne, fluoroacrylate, fluoroester, fluorosilane, fluorochloroalkane, fluorochloroalkene, fluorochloroalkyne, fluorochloroacrylate, The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1 to 3, obtainable by plasma polymerizing one or more precursor compounds selected from fluorochloroesters and fluorochlorosilanes.
[Embodiment 5]
[Embodiment 6]
Embodiment 6. The electrical or electro-optic assembly of
[Embodiment 7]
The electrical or electro-optic assembly according to embodiment 6, wherein the at least one bond is a solder joint, a weld joint, a wire bond joint, a conductive adhesive joint, a crimp joint or a press fit joint.
[Embodiment 8]
Embodiment 8. The electro- or electro-optic assembly according to embodiment 7, wherein the at least one bond is a solder joint, a weld joint or a wire bond joint.
[Embodiment 9]
The electrical or electrical of any one of embodiments 1-4, wherein the at least one electrical or electro-optic component is an electro-optic component and the at least one conductive track is an electrically conductive track or a photoconductive track. Optical assembly.
[Embodiment 10]
10. The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-9, wherein the plurality of conductive tracks further comprises at least one external contact means, and the continuous coating completely covers the at least one external contact means.
[Embodiment 11]
[Embodiment 12]
[Embodiment 13]
The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-12, further comprising an optical component connected to the photoconductive track.
[Embodiment 14]
A first additional continuous coating comprising the plasma polymerized polymer of any one of embodiments 1-4 and completely covering the continuous coating, and optionally in any one of embodiments 1-4. 14. The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-13, further comprising a second additional continuous coating comprising the plasma polymerized polymer described above and completely covering the first additional coating.
[Embodiment 15]
A coating of epoxy resin, acrylic resin, silicone resin or parylene deposited between at least a portion of the continuous coating of plasma polymerized polymer and at least a portion of the substrate, the plurality of conductive tracks and at least one electrical or optical component. The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-14, further comprising:
[Embodiment 16]
A surface finish coating comprising a halohydrocarbon polymer and deposited between (a) a continuous coating and (b) at least one surface of the substrate and a plurality of conductive tracks, the surface finish coating comprising a plurality of conductive coatings.
[Embodiment 17]
The electro- or electro-optic assembly according to
[Embodiment 18]
18. The electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-17, which is a printed circuit board.
[Embodiment 19]
19. A method for preparing an electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-18, wherein the method is present on (a) a substrate comprising an insulating material and on at least one surface of the substrate. Providing an electro- or electro-optic assembly comprising a plurality of conducting tracks and at least one electro- or electro-optic component connected to at least one conducting track; and (b) any of embodiments 1-3 8. The method of claim 1, comprising depositing a continuous coating by plasma polymerization comprising the polymer of claim 1 and completely covering at least one surface of the substrate, the plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component.
[Embodiment 20]
20. The method of
[Embodiment 21]
21. An electrical or electro-optic assembly obtained by the method of
[Embodiment 22]
5. An electro- or electro-optic component completely covered with a continuous coating comprising the plasma polymerized polymer according to any one of embodiments 1-4.
[Embodiment 23]
(A) any of Embodiments 1-14, 16-18 and 21 so that the continuous coating and, if present, the first and second additional continuous coatings and / or surface finish coatings are removed. Subjecting the electro- or electro-optic assembly according to claim 1 to a plasma removal process, (b) optionally reworking the resulting electro- or electro-optic assembly and (c) optionally comprising a polymer, Depositing an alternative continuous coating by plasma polymerization that completely covers at least one surface, a plurality of conductive tracks and at least one electrical or electro-optic component.
[Embodiment 24]
Embodiment 22. The continuous coating of the electro- or electro-optic assembly according to any one of embodiments 1-14, 16-18 and 21, and, if present, the first and second additional continuous coatings and / or A method of forming a solder joint between another electrical or electro-optic component and at least one conductive track by soldering through a surface finish coating, wherein the solder joint is present as well as a continuous coating, Contacting said first and second additional continuous coatings and / or surface finish coatings.
[Embodiment 25]
A substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, a surface finish coating comprising a halohydrocarbon polymer and covering at least a portion of the plurality of conductive tracks, and through the surface finish coating Subjecting an electro- or electro-optic assembly comprising at least one electro- or electro-optic component connected to at least one conductive track to a plasma removal process such that the surface finish coating is removed, and (b) embodiments Depositing a continuous coating by plasma polymerization comprising the polymer of any one of 1 to 4 and completely covering at least one surface of the substrate, a plurality of conductive tracks and at least one electro- or electro-optic component. Including methods.
[Embodiment 26]
(A) a substrate comprising an insulating material, a plurality of conductive tracks present on at least one surface of the substrate, and a surface finish coating comprising a halohydrocarbon polymer and covering at least a portion of the plurality of conductive tracks. Subjecting the electro- or electro-optic assembly to a plasma removal process such that the surface finish coating is removed; (b) connecting the electro- or electro-optic component to at least one conductive track; Depositing a continuous coating by plasma polymerization, comprising a polymer according to any one of
[Embodiment 27]
An electro- or electro-optic assembly comprising a conformal coating comprising the plasma polymerized polymer of any one of embodiments 1-4.
[Embodiment 28]
5. Use of the plasma polymerized polymer according to any one of embodiments 1-4 as a conformal coating for an electrical or electro-optic assembly.
[Embodiment 29]
A method for conformally coating an electro- or electro-optic assembly, comprising the step of depositing the polymer of any one of embodiments 1-4 by plasma polymerization.
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| GB2539231B (en) * | 2015-06-10 | 2017-08-23 | Semblant Ltd | Coated electrical assembly |
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| GB201601221D0 (en) * | 2016-01-22 | 2016-03-09 | Semblant Ltd | Coated electrical assembly |
| JP6750252B2 (en) * | 2016-02-29 | 2020-09-02 | 日亜化学工業株式会社 | Method for manufacturing light emitting device |
| TW201825623A (en) | 2016-08-30 | 2018-07-16 | 美商康寧公司 | Siloxane plasma polymers for sheet bonding |
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| GB201621177D0 (en) * | 2016-12-13 | 2017-01-25 | Semblant Ltd | Protective coating |
| WO2019010122A1 (en) * | 2017-07-03 | 2019-01-10 | Avx Corporation | Solid electrolytic capacitor containing a nanocoating |
| CN110720131B (en) | 2017-07-03 | 2022-05-31 | 京瓷Avx元器件公司 | Solid electrolytic capacitor assembly |
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| CN107587120B (en) * | 2017-08-23 | 2018-12-18 | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 | A kind of preparation method of the high insulating nano protective coating with modulated structure |
| CN107686986B (en) * | 2017-08-23 | 2018-12-18 | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 | A kind of preparation method of the organic silicon nano protective coating of modulated structure |
| CN107587119B (en) * | 2017-08-23 | 2018-11-13 | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 | A kind of preparation method of the high insulating rigid nano protecting coating of composite construction |
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| CN109686672A (en) * | 2017-10-18 | 2019-04-26 | 上海稷以科技有限公司 | The method of protective layer and the product of surface formation matcoveredn are formed in body surface |
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| KR102362271B1 (en) * | 2019-10-16 | 2022-02-14 | 이정훈 | Protective coating composition for circuit boards |
| KR20230021125A (en) * | 2020-06-09 | 2023-02-13 | 지앙수 페이보레드 나노테크놀로지 컴퍼니., 리미티드 | Protective coatings and methods of making them |
Family Cites Families (9)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63311793A (en) * | 1987-06-12 | 1988-12-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Manufacture of flexible wiring board |
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