JP6081904B2 - 現像処理装置、現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
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Description
30 下部反射防止膜形成装置
31 レジスト塗布装置
32 上部反射防止膜形成装置
33 洗浄装置
40 熱処理装置
41 アドヒージョン装置
42 周辺露光装置
43 現像処理装置
120 載置台
121 処理容器
140 現像ガス供給部
141 現像ガス供給管
150 現像液貯槽
151 加圧ガス供給源
152 気化器
153 窒素ガス供給管
154 窒素ガス供給源
160、161、162 遮断弁
163 流量計測機構
170 排気管
171 排気機構
172 空気供給源
173 冷却槽
174 回収管
W ウェハ
Claims (8)
- 基板上に現像液を供給して、所定のパターンを露光した基板上のレジスト膜を現像する現像処理装置であって、
内部に基板を収容する気密な処理容器と、
前記処理容器内に現像液の蒸気を含むガスを供給する現像ガス供給部と、
前記処理容器内に供給されたガスに含まれる現像液の蒸気を、当該処理容器内で凝縮させる凝縮機構と、を有し、
前記現像液は、ネガ現像型の現像液であり、
前記処理容器は、開口を有する本体部と、前記本体部の開口を気密に塞ぎ且つ前記開口と摺動自在に構成された閉止部と、を有し、
前記凝縮機構は、前記閉止部と前記本体部を相対的に移動させて前記処理容器内に供給されたガスを圧縮する駆動機構であることを特徴とする、現像処理装置。 - 基板上に現像液を供給して、所定のパターンを露光した基板上のレジスト膜を現像する現像処理装置であって、
内部に基板を収容する気密な処理容器と、
前記処理容器内に現像液の蒸気を含むガスを供給する現像ガス供給部と、を有し、
前記処理容器は、開口を有する本体部と、前記本体部の開口を気密に塞ぎ且つ前記開口と摺動自在に構成された閉止部と、を備え、
前記閉止部と前記本体部を相対的に移動させることで前記処理容器内に供給されたガスを圧縮し、前記現像液の蒸気を当該処理容器内で凝縮させる凝縮機構をさらに有することを特徴とする、現像処理装置。 - 前記処理容器内には、基板を前記処理容器内に供給された現像液の蒸気の飽和温度以下に冷却する冷却機構を有することを特徴とする、請求項2に記載の現像処理装置。
- 基板上に現像液を供給して、所定のパターンを露光した基板上のレジスト膜を現像する現像処理方法であって、
気密な処理容器内に基板を収容し、
前記処理容器内に現像液の蒸気を含むガスを供給し、
前記処理容器内に供給されたガスに含まれる現像液の蒸気を、当該処理容器内で凝縮させ、
前記現像液は、ネガ現像型の現像液であり、
前記処理容器は、開口を有する本体部と、前記本体部の開口を気密に塞ぎ且つ前記開口と摺動自在に構成された閉止部と、を有し、
前記閉止部と前記本体部を相対的に移動させることで前記処理容器内に供給されたガスを圧縮し、前記処理容器内の圧力を前記現像液の飽和圧力以上にすることで、当該現像液の蒸気を当該処理容器内で凝縮させることを特徴とする、現像処理方法。 - 基板上に現像液を供給して、所定のパターンを露光した基板上のレジスト膜を現像する現像処理方法であって、
開口を有する本体部と、前記本体部の開口を気密に塞ぎ且つ前記開口と摺動自在に構成された閉止部と、を備えた処理容器内に基板を収容し、
前記処理容器内に現像液の蒸気を含むガスを供給し、
前記閉止部と前記本体部を相対的に移動させることで前記処理容器内のガスを圧縮し、前記処理容器内の圧力を前記現像液の飽和圧力以上にすることで、当該現像液の蒸気を当該処理容器内で凝縮させることを特徴とする、現像処理方法。 - 前記処理容器内に前記現像液の蒸気を供給した後、基板を前記現像液の飽和温度以下に冷却することを特徴とする、請求項5に記載の現像処理方法。
- 請求項4〜6のいずれか1項に記載の現像処理方法を現像処理装置によって実行させるように、当該現像処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項7に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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