JP6076101B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
2 タワー
10 排液部
11 個別回収管路
12 共通回収管路
13 管路
14 排気管路
20 圧抜き管路
21 処理液供給ノズル
22 カップ
23 排気部
24 プリディスペンスポッド
31 個別回収管路
32 共通回収管路
33 管路
34 排気管路
40 圧抜き管路
41 処理液供給ノズル
42 カップ
43 排気部
44 プリディスペンスポッド
100 半導体ウエハ
A 処理ユニット
B 処理ユニット
C 処理ユニット
D 処理ユニット
Claims (7)
- カップ内に配置された基板に対して処理液を供給する処理液供給部を備え、混合されたときに発熱反応が生じて気体を発生する複数の処理液により基板を処理する複数の処理ユニットと、
各処理ユニットから排出される排液を回収する個別回収管路と、
これらの個別回収管路に接続され、前記個別回収管路から排出される排液をまとめて回収する共通回収管路と、
前記共通回収管路に連通し、前記発熱反応により発生した気体を前記共通回収管路の外部に排出する圧抜き管路と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記複数の処理ユニットは、各々、前記カップ内を排気する排気部を有し、
前記圧抜き管路は、前記複数の処理ユニットのうち一つの処理ユニットにおける排気部と、前記共通回収管路とを接続する基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記複数の処理ユニットは、上下に重畳する状態で配置されている基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記圧抜き管路は、前記複数の処理ユニットのうち最上部に配置された処理ユニットにおける排気部と、前記共通回収管路とを接続する基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記複数の処理ユニットのうち最下部に配置された処理ユニットから排出される排液を回収する個別回収管路内に接続され、当該個別回収管路の圧力を測定する圧力測定手段を備える基板処理装置。 - 請求項3から請求項5のいずれかに記載の基板処理装置において、
上下に重畳する状態で配置された複数の処理ユニットから成るタワーを複数備え、
前記個別回収管路および前記共通回収管路と前記圧抜き管路は、前記各タワー毎に配設される基板処理装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板処理装置において、
各処理ユニットは、
基板に対して処理液を供給する前に、処理液供給ノズルから吐出される処理液を回収するためのプリディスペンスポッドと、
前記プリディスペンスポッドと前記個別回収管路とを接続する管路と、
をさらに備える基板処理装置。
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JP2014139970A JP2014139970A (ja) | 2014-07-31 |
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