JP6071464B2 - 故障判断支援装置および方法、ならびにプログラム - Google Patents
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はじめに、本発明の実施の形態1について図1,図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における故障判断支援装置の構成を示す構成図である。また、図2は、本発明の実施の形態1における故障判断支援装置の動作例(故障判断支援方法)を説明するフローチャートである。
次に、本発明の実施の形態2について図5,図6を用いて説明する。図5は、本発明の実施の形態2における故障判断支援装置の構成を示す構成図である。また、図6は、本発明の実施の形態2における故障判断支援装置の動作例(故障判断支援方法)を説明するフローチャートである。
Claims (5)
- 製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製品を製造する製造設備の故障,劣化の状態を示す故障情報が設定された時間区間に関連付けて記憶された故障情報記憶部と、
前記製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製造設備の状態を時系列的に測定して得られたプロセスパラメータの変化を記憶したプロセスデータ記憶部と、
前記プロセスデータ記憶部に記憶されているプロセスパラメータの変化より前記時間区間のプロセスデータセットを抽出するプロセスデータ抽出部と、
前記プロセスデータ抽出部が抽出したプロセスデータセットの特徴を示すプロセスデータ代表値を演算するプロセスデータ代表値演算部と、
前記プロセスデータ代表値演算部が演算したプロセスデータ代表値と、前記故障情報記憶部に記憶されている故障情報とを、対応する時間区間毎に関連付けてプロセス故障対応データとして生成するプロセス故障対応データ生成部と、
前記プロセス故障対応データ生成部が生成したプロセス故障対応データを視認可能に表示する表示部と
を少なくとも備えることを特徴とする故障判断支援装置。 - 請求項1記載の故障判断支援装置において、
設定されているプロセスパラメータに関して前記プロセスデータ代表値演算部が演算したプロセスデータ代表値が、設定されている故障範囲になったことを検出して異常判定を生成する故障判断部を備え、
前記表示部は、前記故障判断部が生成した異常判定を視認可能に表示することを特徴とする故障判断支援装置。 - 製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製品を製造する製造設備の故障,劣化の状態を示す故障情報を設定された時間区間に関連付けて記憶する故障情報記憶ステップと、
前記製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製造設備の状態を時系列的に測定して得られたプロセスパラメータの変化を記憶するプロセスデータ記憶ステップと、
前記プロセスデータ記憶ステップで記憶されたプロセスパラメータの変化より前記時間区間のプロセスデータセットを抽出するプロセスデータ抽出ステップと、
前記プロセスデータ抽出ステップによって抽出されたプロセスデータセットの特徴を示すプロセスデータ代表値を演算するプロセスデータ代表値演算ステップと、
前記プロセスデータ代表値演算ステップで演算されたプロセスデータ代表値と、前記故障情報記憶ステップで記憶された故障情報とを、対応する時間区間毎に関連付けてプロセス故障対応データとして生成するプロセス故障対応データ生成ステップと、
前記プロセス故障対応データ生成ステップで生成されたプロセス故障対応データを視認可能に表示する表示ステップと
を少なくとも備えることを特徴とする故障判断支援方法。 - 請求項3記載の故障判断支援方法において、
設定されているプロセスパラメータに関して前記プロセスデータ代表値演算ステップで演算されたプロセスデータ代表値が、設定されている故障範囲になったことを検出して異常判定を生成する故障判断ステップを備え、
前記表示ステップでは、前記故障判断ステップが生成した異常判定を視認可能に表示することを特徴とする故障判断支援方法。 - コンピュータに、
製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製品を製造する製造設備の故障,劣化の状態を示す故障情報を設定された時間区間に関連付けて記憶する故障情報記憶機能と、
前記製品を製造した一連の製造工程の実施に伴い前記製造設備の状態を時系列的に測定して得られたプロセスパラメータの変化を記憶するプロセスデータ記憶機能と、
前記プロセスデータ記憶機能に記憶されているプロセスパラメータの変化より前記時間区間のプロセスデータセットを抽出するプロセスデータ抽出機能と、
前記プロセスデータ抽出機能が抽出したプロセスデータセットの特徴を示すプロセスデータ代表値を演算するプロセスデータ代表値演算機能と、
前記プロセスデータ代表値演算機能が演算したプロセスデータ代表値と、前記故障情報記憶機能に記憶されている故障情報とを、対応する時間区間毎に関連付けてプロセス故障対応データとして生成するプロセス故障対応データ生成機能と、
前記プロセス故障対応データ生成機能が生成したプロセス故障対応データを視認可能に表示する表示機能と
を実現させるためのプログラム。
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JP2012255884A JP6071464B2 (ja) | 2012-11-22 | 2012-11-22 | 故障判断支援装置および方法、ならびにプログラム |
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