JP6067481B2 - 研磨パッド、研磨方法、および研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1(A)は研磨装置の外観構成を模式的に示す。研磨装置1は、回転テーブル2、回転軸3、研磨パッド4、及び、研磨ヘッド5、などを備える。回転テーブル2は、回転軸3に下から支承されている。回転軸3が外部の駆動装置(図示せず)により回転駆動されることで回転テーブル2は所定速度で回転する。
図14〜図18は第2実施形態を示すもので前述実施形態と異なるところは、無発泡セグメントが表面側から裏面側まで連続して形成すると共に平面的に交互に配置されているところにある。
図19〜図24は第3実施形態を示す。本実施形態では第2実施形態のように、研磨層61がその表面から裏面まで発泡セグメント63と無発泡セグメント64とが連続して形成される場合において、各セグメント63及び64の平面的な配置例を例示する。
図25〜図27は第4実施形態を示す。本実施形態では、研磨パッドの研磨層の表面に形成された溝の平面配置例を示す。
Claims (6)
- 研磨対象物の研磨処理に寄与する領域が、無発泡の樹脂からなる無発泡セグメントと独立気孔を含む樹脂からなる発泡セグメントとを備えた研磨層を具備し、
前記研磨層は、前記無発泡セグメント及び前記発泡セグメントが互いに同一の樹脂原料により構成され、
前記無発泡セグメントと前記発泡セグメントとはそれぞれランダムに配置されていることを特徴とする研磨パッド。 - 研磨対象物の研磨処理に寄与する領域が、無発泡の樹脂からなる無発泡セグメントと独立気孔を含む樹脂からなる発泡セグメントとを備えた研磨層を具備し、
前記研磨層は、前記無発泡セグメント及び前記発泡セグメントが互いに同一の樹脂原料により構成され、
前記無発泡セグメント及び前記発泡セグメントが共に、前記研磨層の平面的な少なくとも一部において前記研磨層の表面側から裏面側まで連続して形成され、前記研磨層の裏面が回転テーブルに載置されることを特徴とする研磨パッド。 - 請求項1または2記載の研磨パッドを用いて研磨対象物の表面を研磨することを特徴とする研磨方法。
- 独立気孔を含む発泡ペレットと前記独立気孔を含まない無発泡ペレットをそれぞれ同一の樹脂原料を用いて形成する工程と、
前記発泡ペレットと前記無発泡ペレットを混合し加熱成型し、発泡セグメントと無発泡セグメントを備えた一体の複合成型体を形成する工程と、を備えたことを特徴とする研磨パッドの製造方法。 - 独立気孔を含む発泡樹脂原料と前記独立気孔を含まない無発泡樹脂原料をそれぞれ同一樹脂原料を用いて形成する工程と、
前記発泡樹脂原料と前記無発泡樹脂原料のいずれか一方を使用し溝を有する単独成型体を形成する工程と、
前記単独成型体を構成する原料とは異なる他方の原料を当該単独成型体上に導入して一体の複合成型体を形成する工程と、
前記複合成型体の表面及び裏面を発泡セグメントと無発泡セグメントが互い違いに露出するまで研磨ないし切削する工程と、を備えたことを特徴とする研磨パッドの製造方法。 - 請求項2記載の研磨パッドにおいて、
前記研磨層は、その表面にスラリーを展開または保持するための保持パターンを備え、
前記保持パターンは、
前記無発泡セグメントと前記発泡セグメントとの配置パターンと異なるパターン、
前記無発泡セグメントと前記発泡セグメントとの配置パターンと同一又は類似で且つピッチが異なるパターン、または、
前記無発泡セグメントと前記発泡セグメントとの配置パターンと同一又は類似で且つ傾斜角度が異なるパターン、の何れかのパターンとされていることを特徴とする研磨パッド。
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