JP6059148B2 - 活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法 - Google Patents
活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6059148B2 JP6059148B2 JP2013532438A JP2013532438A JP6059148B2 JP 6059148 B2 JP6059148 B2 JP 6059148B2 JP 2013532438 A JP2013532438 A JP 2013532438A JP 2013532438 A JP2013532438 A JP 2013532438A JP 6059148 B2 JP6059148 B2 JP 6059148B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active oxygen
- amount
- surface treatment
- oxygen
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
以下に技術背景として、これらの点を概観する。
いずれの方法においても、活性酸素を用いる表面処理において、処理室全体のオゾン濃度を測定することに重点がある。表面処理を行う場合には、表面の状態を観察しながら、処理を進めることが要請される。従来、処理対象物の表面を直接測定してオゾン量を測定するということは行われていない。これは、適切な測定手段がないことによると考えられる。
この活性酸素殺菌装置は、紫外線が直接届く範囲にある表面の殺菌を行うことができるだけでなく、活性酸素を使用するので、袋状被処理物の内側まで殺菌することができる。しかしながら、従来の活性酸素殺菌装置では、例えば、袋内に収納された医療器具を、医療福祉分野で求められる高い殺菌レベルまで殺菌する場合、袋内に十分な量の活性酸素を入り込ませることができず、このため殺菌処理に時間がかかるという問題があった。
結論として、被処理対象物の表面への純粋な作用量を測定するための具体的な手法が提案されておらず、工業的に利用可能な態様では同手法は確立されていない。
個別の成分に応じて得られる結果に基づいて測定することは、特許文献8により知られている。この方法では、測定装置の大型化が避けられず、計算の手間も膨大なものとなる。単純な方法として、特許文献9の方法が知られている。
多種の成分を含む活性酸素は、個々の成分による温度、湿度、圧力変動といった因子が外乱として大きく影響し、純粋な活性酸素作用量のみならず、これら外乱の影響によって、水晶振動子の共振周波数が変動し、活性酸素作用による共振周波数の変化量が過大又は過小評価される。その結果、検出誤差が大きくなることが問題となる。測定値を得られたからといって、この測定結果が直ちに活性酸素の状態をさすものではないことに注意しなければならない。
活性酸素による処理を検討する上では主要成分による活性酸素作用量のほかに、多種の成分を含む活性酸素は、活性酸素を利用する装置内の温度、湿度、圧力変動について、外乱として影響することが大きいとされている。その結果、見かけの活性酸素による作用量を含んだ状態で測定が行われる。この結果、実際に使用された活性酸素作用量のみを測定することが、活性酸素による表面処理を行う上で必要となる。その結果に基づいて安定した状態で処理を進めることが必要とされている。この問題を解決することが喫緊の課題となっている。
本発明の第2の課題は、活性酸素の表面処理方法に、実際に必要とされる活性酸素の作用量を算出し、その結果、最も有効な処理条件下に活性酸素による表面処理を進めるとともに、得られた活性酸素量を使用する条件を活性酸素の表面処理の条件としてフィードバックして、良好な条件下に連続的に処理を進める装置及び方法を提供することである。
上記において、第1及び第2の振動子は水晶振動子又は弾性表面波素子である。
また、特定された前記実際の活性酸素作用量による周波数変化量が、表面処理部に供給される酸素量又は活性酸素生成の処理のための供給電力にフィードバックされるようにしてもよい。
また、その算出結果により得られる値を活性酸素生成装置側にフィードバックすることにより、活性酸素による表面処理操作を、常時安定した状態として活性酸素を供給する条件下に行うことができる。また、得られる製品は良好な処理を施されるので、歩留まりを向上できる。
本発明の活性酸素の測定手段を搭載した活性酸素表面処理装置(活性酸素殺菌装置)の一例を、図1を用いて説明する。なお、活性酸素は、原子、分子、イオン及びラジカルの形態の群から選ばれる酸化性の活性化学種であって、光源、線源からの光放射、熱源からの熱輻射、放電プラズマの何れかの処理、またはこれら複合処理で生成される。
活性酸素表面処理装置1(以下、「処理装置1」という)は、被処理対象物6を処理するための処理手段を有する。
処理装置1には、酸素を含んだガスを供給する酸素供給口2を経て酸素供給装置(不図示)が接続されている。酸素供給口2には、ガスの流量(注入速度)を制御するマスフローコントローラ3が設置されている。これにより一定量の酸素が供給される。
処理装置1内には、活性酸素生成用ランプ4(以下、「ランプ4」という)が設置されている。ランプ4により、酸素供給装置より供給される酸素に紫外線を照射することにより活性酸素が生成される。
(2)装置1は、表面処理部の近傍に活性酸素の被処理対象物6に対する作用量を質量変化として測定するセンサI及びIIの水晶振動子20による測定結果を算出する手段(発振/周波数カウンタ回路42、差分演算回路43)を備える活性酸素量測定装置41を内蔵している。
(3)その結果、活性酸素による作用量が測定される。
表面処理部の近傍とは、平面だけではなくて、空間配置として近傍にあることを意味している。これは経験に基づいて定めることができる。
活性酸素を発生させる反応は以下の通り示される。活性酸素処理は活性酸素殺菌を示す。通常、ランプ4には、紫外線である波長184.9nmおよび253.7nmの水銀輝線を放射する低圧水銀ランプが用いられる。
紫外線処理を処理装置1内で行うことにより、紫外線が導入される酸素分子に吸収されて、オゾン(O3)および、その解離生成物である励起一重項の原子状酸素(O(1D))、分子状酸素(O2(a1Δg))がそれぞれ活性酸素として生成される。これらの活性酸素によって処理台に載置した被処理物6の表面に殺菌処理が施される。
反応は以下に示される。
センサIは、活性酸素と接触して質量変化を生ずることによる質量変化を測定する見かけの活性酸素量を測定するセンサである。センサIは振動子20及び活性酸素検出層21を備え、活性酸素検出層21の表面が活性酸素暴露面30を形成する。ここで、振動子20は水晶振動子又は弾性表面波素子であればよい。本発明でいう弾性表面波素子には、市販のSAW(Surface Acoustic Wave)デバイスが好適に用いられ、水晶振動子と同等の効果を得ることができる。活性酸素検出層21は有機薄膜からなり、表面処理に用いられる活性酸素作用量を、質量変化として測定できる。活性酸素検出層21では、測定対象となる活性酸素(気体)の表面作用によって質量の変化が生じる。
センサIIは、処理条件である温度、湿度および圧力変化による外乱となる成分による質量変化を測定する手段である。センサIIは水晶振動子20及び不活性層22を備え、不活性層22の表面が活性酸素暴露面を形成する。不活性層22は、活性酸素の処理条件である温度、湿度、圧力変化による外乱となる成分を不活性な無機物質の層である。測定対象となる活性酸素(気体)を不活性層22に接触させると、活性酸素の処理条件である温度、湿度、圧力変化による外乱となる成分による質量変化を測定でき、センサIと同様に質量変化を周波数変化量として測定できることを本発明者らは見出した。
そこで、センサIで測定される周波数変化量からセンサIIで測定される周波数変化量を排除すれば実際に表面処理に用いられた活性酸素量を算出することができる。
(a)炭素の同素体とは、炭素の同一元素から成る。その原子の配列や結合が異なり、性質が異なる単体を意味する。具体的には、このような材質の薄膜層としては、カーボン、グラファイト、ダイヤモンドライクカーボン、ダイヤモンド、カーボンナノチューブなどから選ばれる単一成分又はこれらの複合成分が挙げられる。
(b)薄膜層を用いる場合には、これら炭素の同素体を公知の真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、プラズマCVD法、スピンコート法の手段により形成する。特にカーボンナノチューブなどのナノ構造の炭素同素体の薄膜層を水晶振動子上の不活性な電極層上に安定して形成する場合には、まずニッケル(Ni)やコバルト(Co)などの金属触媒を形成させて、熱CVD法などでナノカーボン構造を形成する方法を用いる。これは公知の技術である。
以上の質量減少又は質量増加を生じさせる活性酸素検出層21は何れも振動子20上に形成されている金属電極上に形成される。
炭素化合物による膜及び有機薄膜は、活性酸素との反応によって揮発性有機物質として除去されるため、質量変化(質量減少)がもたらされるが、温度、湿度、圧力変化といった外乱も質量変化として合わせて検出されることになる。したがって、質量変化をもたらす活性酸素検出層21で測定を行うと、求める活性酸素の質量変化だけではなく、求める以外の外乱による質量変化の結果が含まれることとなる。必要な活性酸素量を測定する場合には、活性酸素の処理条件である温度、湿度、圧力変化といった外乱による活性酸素による質量変化をもたらす成分の測定値による結果を取り除くことが必要となる。本発明では、外部条件の変動による質量変化を測定するセンサIIの振動子20は、活性酸素に不活性な無機物質の不活性層22を含むことにより、活性酸素の処理条件である温度、湿度、圧力変化による外乱による活性酸素による質量変化を測定できる。したがって、センサIによって測定された質量変化から、センサIIによって測定された質量変化を差し引くことにより、測定すべき活性酸素のみによる質量変化を特定できる。
Δmは、測定値から換算した質量変化量であり、共振周波数6MHzの水晶振動子に使用した場合、1Hzは6.2ngの質量変化量に相当する。
Aは、アボガドロ定数(6.02×1023)である。
Mcは、検出層(有機薄膜)の質量数である。
Sは、検出層の面積(cm2)である。
tは、測定時間(sec)である。
本発明でいう活性酸素の生成源として、具体的には、光源として本発明で例示している紫外線(UV)ランプ、放電プラズマとして減圧雰囲気で生成したプラズマ(減圧誘導結合プラズマ、減圧容量結合プラズマ、減圧マイクロ波励起プラズマ)、もしくは大気圧近傍圧力で生成したプラズマ(大気圧誘導結合プラズマ、大気圧容量結合プラズマ、大気圧マイクロ波励起プラズマ、アーク放電)などが挙げられるがこの限りではない。
活性酸素による処理に先立って工程S1〜S2が実行される。本実施例では、被処理物は片面が不織布の滅菌バックなどに封入されて処理が行われる。処理装置1による処理操作の前に、工程S1及びS2において、処理装置1内が大気圧(1×105Pa)雰囲気から1×103Pa程度の減圧に排気される。
処理時間は予め定められている時間により、活性酸素による表面処理が進められる。工程S6において、処理装置1内部に残留したオゾンに対して紫外線(波長253.7nmのみ)が照射され、工程S7において、所定の時間、オゾン分解後に処理装置1内の排気が行われる。
工程S8において、処理装置1内を再び減圧して、残留オゾンを排除した後、外気(空気)を大気圧まで注入して、処理装置1内部の残留オゾン濃度が0.1ppm未満になって、一連の工程が終了となる。
紫外線照射装置(ランプ4)よる紫外線を、導入される酸素に照射して活性酸素に変化させ、滅菌バック中へと拡散、浸透させて、内部に封入された被処理対象物の表面に供給して表面処理を行う。滅菌バックの構成部材である不織布シートおよびフィルムは上記の紫外線を透過しないため、非処理対象物表面に作用する作用因子としては活性酸素のみとなる。上述したように、表面処理部の近傍に設けたセンサである振動子に、振動子による測定結果を算出する手段が接続され、活性酸素の被処理対象物に対する作用量が質量変化として測定される。
まず、処理装置1のチャンバー(処理室)10の内部を圧力1×103Paまでスクロールポンプ(BUSCH製、F0075)(排気ポンプ)で排気する。圧力が到達圧力となった時点で酸素(O2)ガスをマスフロー(KOFLOC製、MODEL8350MC−0−1−1)で30SLM一定流量となるようにコントロールしながら、処理室10内へ導入する。同時に4灯のランプ4(岩崎電気製、QGL200G−3)を点灯し、導入酸素から活性酸素を生成した。
それぞれのセンサを個別に発振回路および周波数カウンタ回路42が内包された回路プローブに同軸ケーブルで接続し、各々の共振周波数変化量を差分演算器43(ここでは、ソフトウェア上の計算)で差分演算し、差分演算値(活性酸素作用量計測値)として出力した。
一方、減圧プラズマ、大気圧プラズマのように、活性酸素生成箇所が空間的に限定される場合には、前記、活性酸素モニタ(各センサ)は、活性酸素が実際に作用する表面処理部の近傍、例えば、プラズマ生成源の直下など、実際の処理効果が得られる箇所に出来るだけ接近させて配置して、その作用量をモニタする。
要するに、本発明の活性酸素量測定装置41のセンサI及びIIの振動子20は、いずれの活性酸素の生成様式が採用されても、表面処理部の近傍に配置することで本来の目的を達成できる。
上記実施例では、活性酸素の生成に紫外線ランプを用いているが、本発明は、例えばプラズマ(減圧、大気圧)、電子線などの手段で生成した活性酸素のモニタに用いることもできる。
また、処理プロセスとしては殺菌、滅菌処理に限定されず、洗浄、改質等、表面処理全般に適用することができる。
2 酸素供給口
3 マスフローコントローラ
4 活性酸素発生用ランプ
5 排出装置
6 被処理対象物
7 水晶微小天秤(センサ(I))
8 水晶微小天秤(センサ(II))
9 処理台
10 チャンバー(処理室)
20 水晶振動子
21 活性酸素検出層(有機薄膜)
22 不活性層
30 活性酸素暴露面
41 活性酸素量測定装置
42 発振/周波数カウンタ回路
43 差分演算回路
44 フィードバック回路
Claims (10)
- 活性酸素を被処理対象物の表面に供給して表面処理を行う活性酸素表面処理装置において使用される活性酸素量測定装置であって、
前記被処理対象物の近傍に配置される第1の振動子を有し、活性酸素作用量に基づく該第1の振動子における質量変化を第1の周波数変化量として出力する第1のセンサ、
前記被処理対象物の近傍に配置される第2の振動子を有し、前記第2の振動子は、金、白金、パラジウム、ロジウム又はオスミウムを含む、活性酸素に不活性な層を有し、前記活性酸素を前記被処理対象物の表面に供給するための排気及び酸素ガス導入による温度、湿度又は圧力の変化に起因する外乱に基づく該第2の振動子における質量変化を第2の周波数変化量として出力する第2のセンサ、及び
前記第1の周波数変化量と前記第2の周波数変化量の差分を演算し、該差分を実際の活性酸素作用量による周波数変化量として特定するように構成された測定部
を備えた活性酸素量測定装置。 - 前記第1の振動子が、活性酸素と反応する炭素化合物又は有機薄膜の層を含むことを特徴とする請求項1記載の活性酸素量測定装置。
- 前記第1及び第2の振動子が水晶振動子又は弾性表面波素子であることを特徴とする請求項1又は2記載の活性酸素量測定装置。
- 原子、分子、イオン及びラジカルの形態の群から選ばれる酸化性の活性化学種である活性酸素を、光源、線源からの光放射、熱源からの熱輻射、放電プラズマの何れかの処理又はこれらの複合処理によって生成させ、生成された活性酸素を被処理対象物の表面に供給して表面処理を行う表面処理部、及び
請求項1から3のいずれか一項に記載の活性酸素量測定装置
を備えた活性酸素表面処理装置。 - 前記活性酸素量測定装置において特定された前記実際の活性酸素作用量による周波数変化量を、前記表面処理部に供給される酸素量又は活性酸素生成の処理のための供給電力にフィードバックするフィードバック回路を備えたことを特徴とする請求項4記載の活性酸素表面処理装置。
- 活性酸素を被処理対象物の表面に供給して表面処理を行う活性酸素表面処理装置において使用される活性酸素量測定方法であって、
前記被処理対象物の近傍に配置される第1の振動子によって、活性酸素作用量に基づく該第1の振動子における質量変化を第1の周波数変化量として出力するステップ、
前記被処理対象物の近傍に配置され、金、白金、パラジウム、ロジウム又はオスミウムを含む、活性酸素に不活性な層を有する第2の振動子によって、前記活性酸素を前記被処理対象物の表面に供給するための排気及び酸素ガス導入による温度、湿度又は圧力の変化に起因する外乱に基づく該第2の振動子における質量変化を第2の周波数変化量として出力するステップ、及び
前記第1の周波数変化量と前記第2の周波数変化量の差分を演算し、該差分を実際の活性酸素作用量による周波数変化量として特定するステップ
を備える活性酸素量測定方法。 - 前記第1の振動子が、活性酸素と反応する炭素化合物又は有機薄膜の層を含むことを特徴とする請求項6記載の活性酸素量測定方法。
- 前記第1及び第2の振動子が水晶振動子又は弾性表面波素子であることを特徴とする請求項6又は7記載の活性酸素量測定方法。
- 原子、分子、イオン及びラジカルの形態の群から選ばれる酸化性の活性化学種である活性酸素を、光源、線源からの光放射、熱源からの熱輻射、放電プラズマの何れかの処理又はこれらの複合処理によって生成させ、生成された活性酸素を被処理対象物の表面に供給して表面処理を行うステップ、及び
請求項6から8のいずれか一項に記載の活性酸素量測定方法の各ステップ
を備える活性酸素表面処理方法。 - 前記活性酸素量測定方法において特定された前記実際の活性酸素作用量による周波数変化量を、前記表面処理を行うステップにおいて供給される酸素量又は活性酸素生成の処理のための供給電力にフィードバックするステップをさらに備える請求項9記載の活性酸素表面処理方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011192840 | 2011-09-05 | ||
JP2011192840 | 2011-09-05 | ||
PCT/JP2012/005594 WO2013035304A1 (ja) | 2011-09-05 | 2012-09-04 | 活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013035304A1 JPWO2013035304A1 (ja) | 2015-03-23 |
JP6059148B2 true JP6059148B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=47831776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013532438A Active JP6059148B2 (ja) | 2011-09-05 | 2012-09-04 | 活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6059148B2 (ja) |
WO (1) | WO2013035304A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019034385A1 (en) * | 2017-08-15 | 2019-02-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | METHOD FOR OPERATING AN OPTICAL APPARATUS, AND OPTICAL APPARATUS |
KR101966158B1 (ko) * | 2017-11-24 | 2019-08-13 | 주식회사 선영비앤씨 | 육류의 워터에이징 장치 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6125969B2 (ja) * | 2013-10-07 | 2017-05-10 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 殺菌パウチ、殺菌システム、殺菌方法および活性酸素種インジケータ |
JP6501486B2 (ja) * | 2014-10-27 | 2019-04-17 | 学校法人東海大学 | 滅菌装置 |
EP3106868A1 (en) * | 2015-06-15 | 2016-12-21 | Honeywell International Inc. | Acoustic wave based sensors |
CN110441203B (zh) * | 2019-09-11 | 2024-04-05 | 生态环境部华南环境科学研究所 | 一种用于活性氧在线监测捕获装置及监测装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08332371A (ja) * | 1995-06-06 | 1996-12-17 | Advanced Display:Kk | 紫外線処理方法およびそれに用いる装置 |
JP3470786B2 (ja) * | 1996-10-29 | 2003-11-25 | 株式会社リコー | 液相表面処理装置およびこれを用いた被処理体の質量変化計測方法 |
JP2000246200A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Iwasaki Electric Co Ltd | 表面処理装置 |
JP5231914B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2013-07-10 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 酸化性活性化学種センサ、酸化性活性化学種存在量の測定方法及び酸化性活性化学種存在量の測定装置 |
WO2010044394A1 (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-22 | 株式会社シームス | アルコール濃度検知素子、アルコール濃度検知装置及びアルコール濃度検知方法 |
-
2012
- 2012-09-04 WO PCT/JP2012/005594 patent/WO2013035304A1/ja active Application Filing
- 2012-09-04 JP JP2013532438A patent/JP6059148B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019034385A1 (en) * | 2017-08-15 | 2019-02-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | METHOD FOR OPERATING AN OPTICAL APPARATUS, AND OPTICAL APPARATUS |
US11307505B2 (en) | 2017-08-15 | 2022-04-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for operating an optical apparatus, and optical apparatus |
KR101966158B1 (ko) * | 2017-11-24 | 2019-08-13 | 주식회사 선영비앤씨 | 육류의 워터에이징 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013035304A1 (ja) | 2013-03-14 |
JPWO2013035304A1 (ja) | 2015-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6059148B2 (ja) | 活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法 | |
JP4433451B2 (ja) | 化学反応装置におけるアクティブ・パルスのモニターリング | |
WO2006007585A1 (en) | Methods, systems, and polymer substances relating to consideration of h2o levels present within an atmospheric-pressure nitrogen dielectric-barrier discharge | |
US7232545B2 (en) | Sensor for determining concentration of fluid sterilant | |
KR101412829B1 (ko) | 세정 장치, 측정 방법 및 교정 방법 | |
JP2010038867A (ja) | プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法 | |
Dickert et al. | Supramolecular detection of solvent vapours with calixarenes: mass-sensitive sensors, molecular mechanics and BET studies | |
CN101871904B (zh) | 气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法 | |
Alev et al. | WS2 thin film based quartz crystal microbalance gas sensor for dimethyl methylphosphonate detection at room temperature | |
JP5231914B2 (ja) | 酸化性活性化学種センサ、酸化性活性化学種存在量の測定方法及び酸化性活性化学種存在量の測定装置 | |
JP2014049684A (ja) | クリーニング終点検知方法 | |
Yoshino et al. | Investigation of a sterilization system using active oxygen species generated by ultraviolet irradiation | |
JP2019015675A (ja) | ガスセンサ、ガスセンサシステム、及びガス検出方法 | |
JP6125969B2 (ja) | 殺菌パウチ、殺菌システム、殺菌方法および活性酸素種インジケータ | |
JP2004267524A (ja) | プラズマ滅菌処理方法 | |
JP5935706B2 (ja) | 環境測定装置及び環境測定方法 | |
JP2009098084A (ja) | 雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法 | |
Sitanov et al. | Kinetics of atomic recombination on silicon samples in chlorine plasma | |
JP3319055B2 (ja) | 水晶振動子式ラジカルビームモニタ | |
JP4253914B2 (ja) | ガス溶解洗浄水の評価装置 | |
Reisert et al. | Development of a handheld sensor system system for the online measurement of hydrogen peroxide in aseptic filling systems | |
JP5229891B2 (ja) | 活性種量測定装置及び方法 | |
Kabir et al. | Determining the optimum exposure and recovery periods for efficient operation of a QCM based elemental mercury vapor sensor | |
US20060105466A1 (en) | Sensor for determining concentration of ozone | |
Kruglenko et al. | Thin-Film Coatings of Dibenzotetraazaannulenes for Quantitative Determination of Hydrochloric Acid Vapor by Quartz Crystal Microbalance Method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150903 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6059148 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |