JP6050035B2 - 電気エネルギー発生素子及びその駆動方法 - Google Patents

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Description

本発明は、電気エネルギー発生素子に係り、特に圧電構造体及びエレクトレット特性を有する絶縁性フィルムを備える電気エネルギー発生素子及びその駆動方法に関する。
基板上に成長された圧電ナノワイヤーを利用して、周辺の環境で発生する機械的なエネルギーを含む色々な形態のエネルギーを電気エネルギーに変換させる電気エネルギー発生素子が開発されている。すでに、平坦なバルク形態の基板上に圧電ナノワイヤーを成長させた電気エネルギー発生素子が開発されたが、かかる構造の電気エネルギー発生素子は、基板のバルク形態により、外部の小さい振動や音波のような小さい入力エネルギーから、効率的に電気エネルギーを生成させがたいという問題点がある。したがって、これを解決するための方案として、最近、柔軟かつ伸張可能な特性を有する衣類のような織物を基板として利用することで、人の動きによる機械的なエネルギーや外部のノイズによる振動エネルギーから、電気エネルギーを発生させる電気エネルギー発生素子についての開発が脚光を浴びている。かかる織物基板を利用した電気エネルギー発生素子は、織物基板が、向上したコンフォーマルカバレッジ(conformal coverage)、粗い表面、及び外部の環境に敏感に反応して振動する特性を有するため、圧電効果が向上し、これによって発生する出力電圧を効率的に増大させることができる。
本発明の目的は、圧電構造体及びエレクトレット特性を有する絶縁性フィルムを備える電気エネルギー発生素子及びその駆動方法を提供することである。
本発明の一側面において、導電性物質を含み、互いに離隔されて配置される第1及び第2基板と、前記第1基板上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む圧電構造体と、前記圧電構造体と前記第2基板との間に設けられるものであって、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムと、を備える電気エネルギー発生素子が提供される。
前記電気エネルギー発生素子は、前記絶縁性フィルムが外部の機械的な力により前記圧電構造体と接触して、前記圧電構造体が変形されることで、電気エネルギーを発生させる。
前記絶縁性フィルムは、半永久的な分極または半永久的な表面電荷を有する物質を含んでもよい。前記絶縁性フィルムは、ポリマー系の物質または無機物を含んでもよい。
前記ポリマー系の物質は、フルオロポリマー、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド(PI)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、エチレンビニルアセテート(EVA)、セルラーポリプロピレン、またはポーラスポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含む。そして、前記無機物は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、アルミニウム酸化物、またはフォトリフラクティブ物質を含む。
前記圧電構造体は、n型半導体物質で形成され、前記圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(−)表面電荷を有する。あるいは、前記圧電構造体は、p型半導体物質で形成され、前記圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(+)表面電荷を有する。前記圧電構造体は、前記第1基板上に成長された複数の圧電ナノワイヤー、または前記第1基板上にコーティングされた圧電物質層を備える。
前記圧電ナノワイヤーは、前記第1基板上に垂直または傾斜して設けられる。前記圧電ナノワイヤーは、長手方向に沿って直径が一定した形状、及び/または一つの長手方向に沿って直径が変化する形状を有する。前記圧電ナノワイヤーは、例えば、ZnO、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)またはBaTiOなどを含む。
前記圧電物質層は、ポリマー圧電フィルムを備える。ここで、前記ポリマー圧電フィルムは、例えば、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)を含む。
前記第1及び第2基板は、それぞれ織物基板を備える。ここで、前記織物基板は、非導電性織物と、前記非導電性織物上に形成された導電層とを備える。また、前記織物基板は、導電性織物を含んでもよい。
本発明の他の側面において、圧電特性を有する物質を含む圧電構造体と、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムと、を備え、前記絶縁性フィルムが前記圧電構造体と接触して、前記圧電構造体が変形されることで、電気エネルギーを発生させる電気エネルギー発生素子が提供される。
前記圧電構造体及び前記絶縁性フィルムは、導電性物質を含む第1基板と第2基板との間に設けられる。ここで、前記圧電構造体は、前記第1基板上に設けられ、前記絶縁性フィルムは、前記圧電構造体と前記第2基板との間に設けられる。
本発明の他の側面において、圧電特性を有する物質を含む圧電構造体と、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムとを備える電気エネルギー発生素子の駆動方法において、前記絶縁性フィルムが前記圧電構造体と接触して、前記圧電構造体が変形されることで、電気エネルギーを発生させる電気エネルギー発生素子の駆動方法が提供される。
ここで、前記絶縁性フィルムは、外部の機械的な力により前記圧電構造体と接触する。
本発明の他の側面において、互いに離隔されて設けられるものであって、それぞれ導電性物質を含む第1及び第2基板と、前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第1圧電構造体と、前記圧電構造体と前記第1及び第2基板のうち他方との間に設けられるものであって、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムと、を備える電気エネルギー発生素子が提供される。
前記絶縁性フィルムは、ポリマー系の物質または無機物を含んでもよい。
前記第1圧電構造体は、ナノワイヤー、ナノチューブ、ナノ粒子、ナノベルト、ナノコーン、マイクロワイヤー、マイクロ粒子、マイクロベルト、及びマイクロコーンのうち一つを含む。
前記第1圧電構造体は、圧電物質層及び複数の圧電ナノワイヤーのうち一つを含む。前記第1圧電構造体は、複数の圧電ナノワイヤーを含み、前記複数の圧電ナノワイヤーは、3ないし10のアスペクト比を有する。
前記複数のナノワイヤーは、前記第1及び第2基板に垂直または一定に傾斜する。
前記第1圧電構造体は、n型半導体物質を含み、前記第1圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(−)表面電荷を含む。前記第1圧電構造体は、p型半導体物質を含み、前記第1圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(+)表面電荷を含む。
前記電気エネルギー発生素子は、前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第2圧電構造体をさらに含む。
前記第1圧電構造体は、複数の第1ナノワイヤーを含み、前記第2圧電構造体は、複数の第2ナノワイヤーを含む。
前記複数の第1ナノワイヤーと前記複数の第2ナノワイヤーとは、前記第1基板上にあり、前記第1ナノワイヤーの圧電物質は、前記第2ナノワイヤーの圧電物質と異なり、前記絶縁性フィルムは、前記第2基板と前記複数の第1及び第2ナノワイヤーとの間にある。
前記複数の第1ナノワイヤーは、前記第1基板上にあり、前記複数の第2ナノワイヤーは、前記第2基板上にあり、前記複数の第1ナノワイヤーは、n型半導体及びp型半導体のうち一方を含み、前記複数の第2ナノワイヤーは、n型半導体及びp型半導体のうち他方を含む。
前記電気エネルギー発生素子は、前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第3圧電構造体をさらに含む。
前記第1圧電構造体は、前記第1基板上にあり、前記絶縁性フィルムは、前記第1基板と前記第1圧電構造体とを取り囲み、前記第2基板は、前記絶縁性フィルムを取り囲む。
本発明の他の側面において、ハウジングと、前記ハウジング内に設けられる回路と、前記回路に連結されるマイクロフォンと、前記回路に連結されるスピーカと、前記回路に電気的に連結されるものであって、前記少なくとも一つの電気エネルギー発生素子と、を備えるフォンが提供される。
本発明の他の側面において、前記少なくとも一つの電気エネルギー発生素子を備える壁体システムが提供される。
本発明によれば、外部の機械的な力により、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムが圧電構造体と接触して、前記圧電構造体が変形されることで、より向上した出力電圧を誘導できる電気エネルギー発生素子を具現できる。また、基板として柔軟かつ伸張可能な特性を有する織物基板を使用する場合には、前記織物基板が外部のノイズや振動のような小さい入力エネルギーに対しても、敏感に反応するので、より効率的に電気エネルギーを生成させることができる。
本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子を概略的に示す分離斜視図である。 外部回路に連結された図1Aに示す電気エネルギー発生素子の概略的な分離斜視図である。 本発明の一実施形態による電気エネルギー発生素子を概略的に示す分離斜視図である。 図1Aに示す電気エネルギー発生素子の主要部を拡大して示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の主要部を拡大して示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の主要部を拡大して示す図面である。 図1Aに示す本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の動作過程を説明するための図面である。 図1Aに示す本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の動作過程を説明するための図面である。 図1Aに示す本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の動作過程を説明するための図面である。 静電容量の変化のみを利用した電気エネルギー発生素子を示す図面である。 圧電効果のみを利用した電気エネルギー発生素子を示す図面である。 本発明の実施形態による圧電及び静電容量の変化のシナジー効果を利用した電気エネルギー発生素子を示す図面である。 図4Aに示す電気エネルギー発生素子により発生した出力電圧を示す図面である。 図4Bに示す電気エネルギー発生素子により発生した出力電圧を示す図面である。 図4Cに示す電気エネルギー発生素子により発生した出力電圧を示す図面である。 圧電ナノワイヤーの上端面に表面電荷が付着された状態で、前記圧電ナノワイヤーに一定の力(T=−2.05×10Pa)が加えられた場合、前記表面電荷の密度によって、前記圧電ナノワイヤーの上端に誘導される圧電ポテンシャルを、シミュレーションを通じて計算した結果を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される織物基板の変形例を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体の変形例を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体の変形例を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体の変形例を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体の他の例を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の断面を示す図面である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子を備えるフォンの斜視図である。 本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子を備える壁体システムの斜視図である。
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。図面において、同じ参照符号は同じ構成要素を指し、各構成要素のサイズや厚さは、説明の明瞭性のために誇張されうる。
図1Aは、本発明の一実施形態による電気エネルギー発生素子100を概略的に示す分離斜視図である。そして、図2Aは、図1Aに示す電気エネルギー発生素子100の主要部を概略的に拡大して示すものである。
図1A及び図2Aを参照すれば、第1及び第2織物基板110,120が互いに離隔されて設けられている。前記第1及び第2織物基板110,120は、導電性物質を含む。一例として、前記第1織物基板110は、非導電性の第1織物111と、前記第1織物111上にコーティングされた第1導電層112とを備える。そして、前記第2織物基板120は、非導電性の第2織物121と、前記第2織物121上にコーティングされた第2導電層122とを備える。ここで、前記第1及び第2織物111,121それぞれは、複数の繊維ストランドが、図1Aに示すように互いに所定のパターンに織り込まれた二次元的形状を有してもよい。かかる第1及び第2織物111,121は、柔軟かつ伸張可能な特性を有する。前記第1及び第2導電層112,122は、例えば、Auのような電気伝導度に優れた金属で形成される。しかし、これは、単に例示的なものであって、本実施形態は、これに限定されず、他の多様な物質が前記第1及び第2導電層112,122に使われる。このように、第1及び第2織物基板110,120を電気エネルギー発生素子100の基板として使用すれば、柔軟かつ伸張可能な織物特性により、外部のノイズや振動のような微細な入力エネルギーに対しても、電気エネルギー発生素子が敏感に反応し、これによって、より効率的に電気エネルギーを生成できる。
前記第1及び第2織物基板110,120の長さ及び幅は限定されない。例えば、前記第1及び第2織物基板110,120の長さ及び幅は、約1cm×1cmから約10cm×10cmとなるが、これに限定されない。大きい基板は、さらに自由に振動するため、基板サイズが大きいほど、出力電圧がさらに高くなる。
前記第1織物基板110上には、圧電特性を有する物質を含む圧電構造体が設けられている。前記圧電構造体は、複数の圧電ナノワイヤー130を備える。かかる圧電ナノワイヤー130は、外部の機械的な力により変形されれば、その圧電効果により、変形されたナノワイヤー130の両端間には所定の電圧が誘導され、これによって、電気エネルギーが発生する。前記圧電ナノワイヤー130は、n型半導体物質またはp型半導体物質で形成される。具体的に、前記圧電ナノワイヤー130は、例えば、ZnO、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、またはBaTiOなどを含む。しかし、これは、単に例示的なものであって、その他にも、前記圧電ナノワイヤー130は、他の多様な圧電物質を含んでもよい。前記圧電ナノワイヤー130は、前記第1織物基板110の第1導電層112上に、例えば、化学気相蒸着法(Chemical Vapor Deposition:CVD)または水熱合成方法(hydrothermal synthesis method)などを利用して、圧電物質を成長させることによって形成される。これによって、前記圧電ナノワイヤー130は、第1織物基板110の第1導電層112上に垂直または所定の角度ほど傾斜して形成されてもよい。かかる圧電ナノワイヤー130は、長手方向に沿って直径が一定した形状を有してもよい。
図1A及び図2Aは、圧電ナノワイヤー130を含む圧電構造体を説明したが、本実施形態はこれに限定されない。前記ナノワイヤー130の代わりに、または前記ナノワイヤー130に追加して、前記圧電ナノ構造体は、その物質(例えば、ZnO、PZT、またはBaTiOなど)の他の形状(例えば、ナノチューブ、ナノ粒子、ナノベルト、ナノコーン、マイクロワイヤー、マイクロ粒子、マイクロベルト、及びマイクロコーンなど)を含む。ナノワイヤーやマイクロワイヤーが使われる場合、前記ナノワイヤーやマイクロワイヤーの直径及び長さは、数ナノメーターから数百マイクロメーターまで多様であり、前記ナノワイヤー及びマイクロワイヤーは、約3から10のアスペクト比を有する。例えば、前記ナノワイヤー130は、約200nmの直径と、約2から4ミクロンの長さとを有する。しかし、これに限定されるものではない。
前記圧電ナノワイヤー130と前記第2織物基板120との間には、絶縁性フィルム150が設けられている。前記絶縁性フィルム150は、エレクトレット特性を有する物質を含む。ここで、前記エレクトレット特性を有する物質は、半永久的な表面電荷または半永久的な分極を有する物質を意味する。これによって、前記絶縁性フィルム150は、複数の(−)表面電荷を有するか、または複数の(+)表面電荷を有する。また、前記絶縁性フィルム150は、一面は複数の(+)表面電荷を有するように、他面は複数の(−)表面電荷を有するように、強く分極されている物質で形成されてもよい。具体的に、前記圧電ナノワイヤー130がn型半導体物質を含む場合には、前記圧電ナノワイヤー130と対面する前記絶縁性フィルム150の表面、すなわち、前記絶縁性フィルム150の下面は、(−)表面電荷を有する。この場合、前記絶縁性フィルム150は、(−)表面電荷を有する物質で形成されるか、または下面が(−)表面電荷を有するように、強く分極されている物質で形成される。そして、前記圧電ナノワイヤー130がp型半導体物質を含む場合には、前記圧電ナノワイヤー130と対面する前記絶縁性フィルム150の表面、すなわち、前記絶縁性フィルム150の下面は、(+)表面電荷を有する。この場合、前記絶縁性フィルム150は、(+)表面電荷を有する物質で形成されるか、または下面が(+)表面電荷を有するように、強く分極されている物質で形成される。
かかる絶縁性フィルム150は、その絶縁特性により、前記第1及び第2織物基板110,120が互いに接触することによって発生するショートを防止することも可能である。そして、前記絶縁性フィルム150は、そのエレクトレット特性により、外部エネルギー(一例として、機械及び振動エネルギー)により、前記第1織物基板110との間隔が変われれば、静電容量の変化による電圧の誘導が発生する。かかる絶縁性フィルム150は、例えば、ポリマー系の物質または無機物を含む。ここで、前記ポリマー系の物質は、フルオロポリマー、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド(PI)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、エチレンビニルアセテート(EVA)、セルラーポリプロピレン、またはポーラスポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などを含む。前記フルオロポリマーには、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)またはポリ(テトラフルオロエチル−co−ヘキサフルオロプロピレン)(FEP)などが含まれ、前記ポリエチレン(PE)には、高密度ポリエチレン(HDPE)、低密度ポリエチレン(LDPE)、または架橋ポリエチレン(XLPE)などが含まれる。そして、前記無機物は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、アルミニウム酸化物、フォトリフラクティブ物質、またはシリコン酸化物にNa,SeまたはBなどが追加されたガラスを含む。一方、前述した物質は、単に例示的なものであって、その他に多様な物質が前記絶縁性フィルム150の物質として使われてもよい。
前記絶縁性フィルム150の厚さは、数ナノメーターから数ミリメーターまで多様であるが、これに限定されない。例えば、100nmから100ミクロンとなってもよい。さらに、前記絶縁性フィルム150は、単一層または複数層を備える。例えば、前記絶縁性フィルム150は、ポリマー系の物質の二つ以上の層、無機物の二つ以上の層、またはポリマー系の物質の少なくとも一つの層、無機物の少なくとも一つの層を備える複数層構造で形成される。しかし、これに限定されるものではない。
図1Bは、外部回路に連結された図1Aに示す電気エネルギー発生素子の概略的な分離斜視図である。図1Bを参照すれば、前記第1織物基板110は、第1回路基板170上の第1パッド160に電気的に連結される。前記第2織物基板120は、第2回路基板190上の第2パッド180に電気的に連結される。したがって、電気エネルギー発生素子100の作動の間に発生する出力電圧Vは、第1回路基板170と第2回路基板190とを通じて収集され、外部回路(図示せず)に供給される。しかし、これに限定されるものではない。
図1Cは、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子を概略的に示す分離斜視図である。図1Cを参照すれば、前記電気エネルギー発生素子105は、第1織物基板110上に設けられる圧電ナノワイヤー130と、第2織物基板120上に設けられる圧電ナノワイヤー131とを備える。前記圧電ナノワイヤー131は、前記電気エネルギー発生素子105のナノワイヤー131として使われる物質が、ナノワイヤー130として選択された物質に依存するという点を除いては、圧電ナノワイヤー130と類似している。図1Cにおけるナノワイヤー130,131は、図1Cに示すポーリング方向(−+←→−+または+−←→+−)に沿って選択される。例えば、前記電気エネルギー発生素子105において、ナノワイヤー130,131のうち一方は、n型半導体物質で形成され、前記ナノワイヤー130,131のうち他方は、p型半導体物質で形成される。
図2B及び図2Cは、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の主要部を拡大して示すものである。
図2Bを参照すれば、本実施形態による電気エネルギー発生素子は、第1織物基板110上に設けられる第1及び第2ナノワイヤー130,132を備える。前記圧電ナノワイヤー130,132の物質は相異なるが、同じ導電型、例えば、n型またはp型半導体を含む。
図2Cを参照すれば、本実施形態による電気エネルギー発生素子は、第2織物基板120上に設けられる圧電ナノワイヤー131,134をさらに備える。図2Cにおけるナノワイヤー130,131,132,134は、図2Cに示すポーリング方向(−+←→−+または+−←→+−)に沿って選択される。例えば、ナノワイヤー130,132は、相異なるn型半導体物質で形成され、ナノワイヤー131,134は、相異なるp型半導体物質で形成される。しかし、これに限定されるものではない。例えば、ナノワイヤー130,132は、相異なるp型半導体物質で形成され、ナノワイヤー131,134は、相異なるn型半導体物質で形成されてもよい。
図3A及び図3Cは、図1Aに示す本発明の一実施形態による電気エネルギー発生素子100が電気エネルギーを発生する過程を説明するための図面である。具体的に、図3Aは、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子100に圧力が加えられていない状態、すなわち、前記電気エネルギー発生素子100に外部エネルギーが加えられていない状態を示すものである。そして、図3Cは、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子100に外部エネルギーにより圧力が加えられた状態、すなわち、前記電気エネルギー発生素子100に、例えば、外部のノイズや振動などによる機械的な力が加えられた状態を示すものである。
図3Aを参照すれば、前記電気エネルギー発生素子100に外部の機械的な力が加えられていない状態では、第1織物基板110上に形成された圧電ナノワイヤー130、エレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150、及び第2織物基板120が互いに一定に離隔されている。一方、前記電気エネルギー発生素子100に外部の機械的な力が加えられていない状態でも、前記第2織物基板120、前記絶縁性フィルム150、及び前記圧電ナノワイヤー130は、互いに接触されもするが、この場合、前記圧電ナノワイヤー130は変形されず、前記絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間隔が一定に維持されてもよい。したがって、このように、前記電気エネルギー発生素子100に外部の機械的な力が加えられていない状態では、前記圧電ナノワイヤー130が変形されないので、圧電効果による電圧の誘導は発生せず、また、前記絶縁性フィルム150が第1織物基板110と一定の間隔を維持しているので、絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量の変化による電圧の誘導も発生しない。
例えば、図3Bを参照すれば、図3Bは、いかなる機械的な力が加えられていない時、前記絶縁性フィルム150が前記圧電ナノワイヤー130に接触していることを示すものである。図3Bに示すように、圧電ナノワイヤー130は変形されない。一方、図示していないが、いかなる機械的な力も加えられていない時、前記絶縁性フィルム150が第2織物基板120と接触するか、または前記第2織物基板120及び前記圧電ナノワイヤーといずれも接触する。
次いで、図3Cを参照すれば、前記電気エネルギー発生素子100に外部のエネルギーが、一例として、ノイズや振動などによる機械的な力を通じて加えられれば、前記第2織物基板120が第1織物基板110を加圧する方向に圧力が作用する。これによって、前記第2織物基板120、エレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150、及び圧電ナノワイヤー130が互いに接触する。そして、前記絶縁性フィルム150が圧電ナノワイヤー130の上端を加圧することで、前記圧電ナノワイヤー130は変形を起こす。一方、前記絶縁性フィルム150は、第1及び第2織物基板110,120の間で発生するショートを防止できる。このように、前記電気エネルギー発生素子100に外部のエネルギーが、一例として、機械的な力を通じて加えられた状態では、前記圧電ナノワイヤー130の変形による圧電効果が発生し、かかる圧電効果によって、圧電ナノワイヤー130の両端間に所定の電圧が誘導される。また、前記絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間隔が変化することで、前記絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量が変化し、かかる静電容量の変化によって、前記第1織物基板110と第2織物基板120との間に所定の電圧が誘導される。これによって、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子では、外部のエネルギーにより、圧電効果による電圧の誘導及び静電容量の変化による電圧の誘導が発生することで、高い出力電圧が得られる。
また、本実施形態による電気エネルギー発生素子では、エレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150の表面電荷により、前記圧電ナノワイヤー130の圧電特性を向上させることで、より高い出力電圧を得ることも可能である。これを具体的に説明するために、前記絶縁性フィルム150は、(−)表面電荷を有する物質で形成され、前記圧電ナノワイヤー130は、n型半導体物質で形成される場合を例として説明する。図3Cを参照すれば、電気エネルギー発生素子に外部の機械的な力が加えられれば、前記絶縁性フィルム150が圧電ナノワイヤー130の上端に接触し、次いで、前記圧電ナノワイヤー130が変形される。これによって、(−)表面電荷を有する絶縁性フィルム150と第1織物基板110及び第2織物基板120との間隔が変化することで、静電容量が変化し、かかる静電容量の変化によって、第1及び第2織物基板110,120には、それぞれ所定の(−)電位及び(+)電位が誘導される。また、前記絶縁性フィルム150と接触する圧電ナノワイヤー130が変形されることで、圧電効果が発生する。ここで、前記圧電ナノワイヤー130と接触する絶縁性フィルム150の(−)表面電荷により、圧電ナノワイヤー130の圧電効果が大きく向上する。具体的に、前記絶縁性フィルム150が圧電ナノワイヤー130と接触した状態で、前記圧電ナノワイヤー130が変形された場合に、前記圧電ナノワイヤー130の上端面に接触している絶縁性フィルム150の(−)表面電荷から発生する静電場が前記圧電ナノワイヤー130の内部の電子を再分布させる。そして、かかる電子の再分布により、圧電ナノワイヤー130の圧電特性はさらに強化されもする。したがって、このように向上した圧電効果により、前記圧電ナノワイヤー130の下端及び上端には、それぞれ所定の(+)電位及び(−)電位が誘導される。ここで、前記圧電ナノワイヤー130の両端間に誘導される電圧は、前記絶縁性フィルム150なしに、前記圧電ナノワイヤー130が変形されることによって誘導される電圧より高い。このように、本実施形態による電気エネルギー発生素子では、絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量の変化による電圧の誘導によっても、前記圧電ナノワイヤー130の変形と、前記圧電ナノワイヤー130に接触した絶縁性フィルム150の表面電荷とによっても発生する、向上した圧電効果による電圧の誘導が発生することで、より高い出力電圧が得られる。
以下では、静電容量の変化のみを利用した電気エネルギー発生素子と、圧電効果のみを利用した電気エネルギー発生素子と、前述した本発明の実施形態による圧電及び静電容量の変化のシナジー効果を利用した電気エネルギー発生素子とを比較して説明する。
図4Aは、静電容量の変化のみを利用した電気エネルギー発生素子10を概略的に示すものである。図4Aを参照すれば、第1織物基板110と第2織物基板120との間に、エレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150が介在されている。前記電気エネルギー発生素子10に外部のエネルギーが、一例として、機械的な力を通じて加えられれば、前記絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間隔が変化することで、前記絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量が変化する。そして、かかる静電容量の変化により、第1織物基板110と第2織物基板120との間には、所定の電圧が誘導される。
図4Bは、圧電効果のみを利用した電気エネルギー発生素子20を概略的に示すものである。図4Bを参照すれば、第1織物基板110上には、複数の圧電ナノワイヤー130が形成されており、この圧電ナノワイヤー130の上部に第2織物基板120が設けられている。前記電気エネルギー発生素子に外部のエネルギーが、一例として、機械的な力を通じて加えられれば、前記第2織物基板120が圧電ナノワイヤー130を加圧することで、圧電ナノワイヤー130が変形される。そして、かかる圧電ナノワイヤー130の変形によって発生する圧電効果により、前記圧電ナノワイヤー130の両端には、所定の電圧が誘導される。
図4Cは、本発明の実施形態による圧電及び静電容量の変化のシナジー効果を利用した電気エネルギー発生素子100を概略的に示すものである。図4Cを参照すれば、第1織物基板110上には、圧電ナノワイヤー130が形成されており、この圧電ナノワイヤー130と第2織物基板120との間には、エレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150が介在されている。前述したように、前記電気エネルギー発生素子に外部のエネルギーが、一例として、機械的な力を通じて加えられれば、静電容量の変化による電圧の誘導及び圧電効果による電圧の誘導が発生する。
図5Aないし図5Cは、それぞれ図4Aないし図4Cに示す対応する電気エネルギー発生素子10,20,100により発生した出力電圧を示すものである。具体的に、図5Aは、図4Aに示す静電容量の変化のみを利用した電気エネルギー発生素子10により発生した出力電圧Vを示すものであり、図5Bは、図4Bに示す圧電効果のみを利用した電気エネルギー発生素子20により発生した出力電圧Vを示すものである。そして、図5Cは、図4Cに示す本発明の実施形態による圧電及び静電容量の変化のシナジー効果を利用した電気エネルギー発生素子100により発生した出力電圧Vを示すものである。図5Aないし図5Cには、図4Aないし図4Cに示す電気エネルギー発生素子10,20,100に、スピーカを利用して100dB,100Hzの音波を加えた時に誘導された出力電圧が示されている。ここで、前記絶縁性フィルム150としては、(−)表面電荷を有するエレクトレットフィルムが使われ、前記圧電ナノワイヤー130としては、n型ZnOナノワイヤーが使われた。そして、前記第1及び第2織物基板110,120としては、Auが表面にコーティングされた織物基板が使われた。
図5Aないし図5Cを参照すれば、静電容量の変化のみを利用した電気エネルギー発生素子10で発生した出力電圧Vは、約1Vであり、圧電効果のみを利用した電気エネルギー発生素子20で発生した出力電圧Vは、約1.6Vであった。そして、本発明の実施形態による圧電及び静電容量の変化のシナジー効果を利用した電気エネルギー発生素子100で発生した出力電圧Vは、約4.8Vであった。かかる結果から、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子100から発生する出力電圧Vは、静電容量の変化を利用して誘導された出力電圧Vと、圧電効果を利用して誘導された出力電圧Vとの和よりはるかに大きいということが分かる。これは、前述したように、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子では、絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量の変化による電圧の誘導によっても、前記圧電ナノワイヤー130の変形と、前記絶縁性フィルムの表面電荷とによっても発生する、向上した圧電効果による電圧の誘導が発生することに起因する。
図6は、圧電ナノワイヤーの上端面に変化する量(または密度)の(−)表面電荷が付着された状態で、前記圧電ナノワイヤーに一定の力(T=−2.05×10Pa)がナノワイヤーの長手方向に加えられた場合、前記表面電荷の密度によって、前記圧電ナノワイヤーの上端に誘導される圧電ポテンシャルを、シミュレーションを通じて計算した結果を示すものである。図6のシミュレーションのための圧電ナノワイヤー130としては、n型ZnOナノワイヤーが使われた。図6を参照すれば、前記圧電ナノワイヤーの上端に付着された(−)表面電荷の密度が増加するにつれて、前記圧電ナノワイヤーの上端に誘導される圧電ポテンシャルも増加するということが分かる。かかる実験結果から、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子で、外部の機械的な力により、前記圧電ナノワイヤー130の上端面にエレクトレット特性を有する絶縁性フィルム150が付着されれば、前記圧電ナノワイヤー130の上端面に接触する絶縁性フィルム150の表面電荷により、前記圧電ナノワイヤー130の圧電特性がさらに向上するということが分かる。
前述したように、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子100では、絶縁性フィルム150と第1織物基板110との間の静電容量の変化による電圧の誘導によっても、前記圧電ナノワイヤー130の変形と、前記圧電ナノワイヤー130に接触した前記絶縁性フィルム150の表面電荷とによっても発生する、向上した圧電効果による電圧の誘導によって、さらに高い出力電圧が得られる。また、本実施形態による電気エネルギー発生素子100において、基板として柔軟かつ伸張可能な特性を有する織物基板110,120を使用することで、外部のノイズのような小さい入力エネルギーに対しても、電気エネルギー発生素子が敏感に反応して、効率的に電気エネルギーを発生させることができる。
一方、以上では、前記第1及び第2織物基板110,120が非導電性の織物111,121と、この織物の表面にコーティングされた導電層112,122とから構成される場合について説明した。しかし、図7に示すように、第1及び第2織物基板110´,120´が導電性材質の織物のみで構成されてもよい。そして、前述した第1及び第2織物基板110,110´,120,120´の構造も、単に例示的なものであって、その他にも、前記第1及び第2織物基板は、他の多様な構造を有してもよい。そして、以上では、織物基板が使われる場合を例として説明したが、その他にも、多様な種類の基板(例えば、シリコン基板またはフレキシブル基板など)が使われてもよい。
以上では、第1織物基板110上に形成された圧電ナノワイヤー130が長手方向に沿って直径が一定した形状を有する場合を例として説明した。しかし、その他にも、成長条件を調節すれば、多様な形状の圧電ナノワイヤーが成長形成される。
図8Aないし図8Cには、図1Aに示す圧電構造体、例えば、圧電ナノワイヤー130の変形例が示されている。具体的に、図8Aに示す圧電ナノワイヤー130aは、一つの長手方向に沿って直径が次第に短くなる形状を有しており、図8Bに示す圧電ナノワイヤー130bは、長手方向に沿って直径が一定した形状と、一つの長手方向に沿って直径が短くなる形状とが結合された形状を有している。そして、図8Cに示す圧電ナノワイヤー130cは、一つの長手方向に沿って直径が次第に短くなっていて、再び増加する形状を有している。一方、前述した圧電ナノワイヤー130,130a,130b,130cの形状は、単に例示的なものであって、その他にも、多様な形状の圧電ナノワイヤーが使われてもよい。
また、以上では、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体として、圧電ナノワイヤー130を例として説明した。しかし、その他の圧電構造体が使われてもよい。
図9は、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子に適用される圧電構造体の他の例を示すものである。図9を参照すれば、第1織物基板110上には、圧電構造体が設けられる。ここで、前記圧電構造体は、前記第1織物基板110上にコーティングされた圧電物質層130´となる。かかる圧電物質層130´は、例えば、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)のようなポリマー圧電物質を含む。しかし、これに限定されるものではない。一方、以上の実施形態では、二つの基板と、その間に設けられた圧電構造体とから構成された単層構造の電気エネルギー発生素子が例として説明されたが、これに限定されず、複層または多層構造の電気エネルギー発生素子も具現可能である。
以下では、本発明の一実施形態による電気エネルギー発生素子の製造方法を説明する。しかし、後述する方法に限定されない。
織物基板は、ポリエステルからなる人造繊維のネットワークで構成されている。前記ポリエステル繊維は、長いストランドでポリエステルを引っ張ることで製造され、このポリエステル繊維を織り込むことで、織物基板が形成される。薄いAu電極(〜5nm)は、RFマグネトロンスパッタを利用して、前記織物基板の両側上に蒸着される。その上に水熱合成法を利用してZnOナノワイヤーが成長され、絶縁性フィルムとして、接着剤を塗った薄いPEフィルム(40μm)がZnOナノワイヤー上に設けられる。上部電極としての役割を行うAuがコーティングされた織物基板である振動板が、前記絶縁性フィルム上に設けられる。前記挿入されたPEフィルムは、エッジが固定され、前記ZnOナノワイヤーと前記織物の上部電極との間で自由に振動する。前記織物の上部及び下部は、エッジで密封され、前記電極は、前記織物の両側上にシルバーペーストを利用して付着される。
大面積の織物基板上にZnOナノワイヤーを均一に成長させるために、織物基板を0.02Mの酢酸亜鉛二水和物溶液(酢酸亜鉛二水和物+エタノール)に3分間ディッピングすることで、シード層を成長し、それを5分間200℃でホットプレート上でベーキングする。そして、かかる工程は、四回繰り返される。次いで、ZnOナノワイヤーの成長がなされる。硝酸亜鉛六水和物(98%,Aldrich)及びヘキサメチレンテトラミン(99%,Aldrich)溶液が、25nm濃度でイオン交換水内に用意される。次いで、Auがコーティングされた織物基板を、水溶液で満たされたガラス容器内にさかさまに吊り下げて、前記ガラス容器を約90℃に加熱する。成長反応後には、成長されたZnOナノワイヤーは、空気により乾燥される。
図10は、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子の断面を示すものである。図10を参照すれば、電気エネルギー発生素子は、第1織物基板110"を備える。前記第1織物基板110"は、非導電性の第1織物111"と、前記第1織物111"上にコーティングされた第1導電層112"とを備える。圧電ナノワイヤー130は、前記第1織物基板110"上に設けられる。絶縁性フィルム150´と第2織物基板120"とは、前記第1織物基板110"を取り囲むように形成される。前記第2織物基板120"は、非導電性の第2織物121"と、前記第2織物上にある第2導電層122"とを備える。図10は、前記絶縁性フィルム150´及び前記第2織物基板120"が、圧電ナノワイヤー130を含む前記第1織物基板110"を取り囲む同心型チューブで形成された場合が説明されたが、本実施形態は、これに限定されない。
前記第1織物基板110"、第1織物111"及び第1導電層112"、絶縁性フィルム150´、第2織物基板120"、第2織物121"及び第2導電層122"は、それぞれ図1Aに示す前記第1織物基板110、第1織物111及び第1導電層112、絶縁性フィルム150、第2織物基板120、第2織物121及び第2導電層122と同じ物質を含む。
図11は、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子500を備えるフォン1100a,1100bの斜視図である。図11を参照すれば、各フォン1100a,1100bは、ディスプレイ200、マイクロフォン300、ハウジング400、及び少なくとも一つの電気エネルギー発生素子500を備える。しかし、これに限定されない。前記電気エネルギー発生素子500は、前記ハウジング400の内側に設けられた電源装置(図示せず)に連結された回路(図示せず)に電気的に連結される。前記電気エネルギー発生素子500の位置は、特に限定されるものではないが、一つの電気エネルギー発生素子500は、マイクロフォン300やスピーカ600に近く位置することが望ましい。これによって、前記電気エネルギー発生素子500は、スピーカ600から出るか、またはマイクロフォン300に入る音波から機械的なエネルギーを得て、この機械的なエネルギーを、フォン1100a,1100bの電力を供給するのに使われる電気エネルギーに転換可能に構成される。前記ディスプレイ200、マイクロフォン300及びスピーカ600は、前記回路に連結される。
図11は、電気エネルギー発生素子を備えるフォン1100a,1100bを示しているが、本実施形態は、これに限定されない。本実施形態による電気エネルギー発生素子は、機械的なエネルギー及び/またはノイズを電気エネルギーに得るために、他の電子素子に適用される。例えば、本実施形態による電気エネルギー発生素子は、機械的なエネルギーを電気エネルギーに変換させるために、コンピュータ、ポケット用素子、ラジオ、音響システム、個人デジタル補助手段、タブレットコンピュータなどに適用される。しかし、これらに限定されるものではない。
図12は、本発明の実施形態による電気エネルギー発生素子を備える壁体システム700を示すものである。図12を参照すれば、壁体システム700は、本発明の実施形態による少なくとも一つの電気エネルギー発生素子800を備える。前記壁体システム700は、道路900(例えば、高速道路)に隣接した構造物の一部となる。前記壁体システム700は、道路900上の車両運行により発生するノイズによる音波からエネルギーを得るように構成される。前記音波は、電気エネルギー発生素子800を利用して電気エネルギーに転換されて、パワーシステム(図示せず)に供給される。
図12は、前記壁体システム700が道路に隣接した場合を示しているが、これに限定されない。例えば、前記壁体システム700は、ノイズによる音波からエネルギーが得られる他の領域及び/またはノイズ環境に設けられてもよい。例えば、前記壁体システム700は、建設現場近辺、列車駅または鉄道線路近辺、空港滑走路近辺、コンサート場所のステージやスピーカ近辺に設けられてもよい。しかし、これらに限定されない。
以上、本発明の実施形態が説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。
本発明は、電気エネルギー発生関連の技術分野に適用可能である。
100 電気エネルギー発生素子
110 第1織物基板
111 第1織物
112 第1導電層
120 第2織物基板
121 第2織物
122 第2導電層
130 圧電ナノワイヤー
150 絶縁性フィルム

Claims (29)

  1. 導電性物質を含み、互いに離隔されて配置される第1及び第2基板と、
    前記第1基板上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む圧電構造体と、
    前記圧電構造体と前記第2基板との間に設けられるものであって、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムと、を備え、
    前記圧電構造体は、n型半導体物質で形成され、前記圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(−)表面電荷を有し、もしくは、
    前記圧電構造体は、p型半導体物質で形成され、前記圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(+)表面電荷を有する、
    ことを特徴とする電気エネルギー発生素子。
  2. 前記絶縁性フィルムが外部の機械的な力により前記圧電構造体と接触して、前記圧電構造体が変形されることで、電気エネルギーを発生させることを特徴とする請求項1に記載の電気エネルギー発生素子。
  3. 前記絶縁性フィルムは、半永久的な分極または半永久的な表面電荷を有する物質を含むことを特徴とする請求項1に記載の電気エネルギー発生素子。
  4. 前記絶縁性フィルムは、ポリマー系の物質または無機物を含むことを特徴とする請求項3に記載の電気エネルギー発生素子。
  5. 前記ポリマー系の物質は、フルオロポリマー、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリイミド(PI)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、エチレンビニルアセテート(EVA)、セルラーポリプロピレン、またはポーラスポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含むことを特徴とする請求項4に記載の電気エネルギー発生素子。
  6. 前記無機物は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、アルミニウム酸化物、またはフォトリフラクティブ物質を含むことを特徴とする請求項4に記載の電気エネルギー発生素子。
  7. 前記圧電構造体は、前記第1基板上に成長された複数の圧電ナノワイヤー、または前記第1基板上にコーティングされた圧電物質層を備えることを特徴とする請求項1に記載の電気エネルギー発生素子。
  8. 前記圧電ナノワイヤーは、前記第1基板上に垂直または傾斜して設けられることを特徴とする請求項に記載の電気エネルギー発生素子。
  9. 前記圧電ナノワイヤーは、長手方向に沿って直径が一定した形状、及び/または一つの長手方向に沿って直径が変化する形状を有することを特徴とする請求項に記載の電気エネルギー発生素子。
  10. 前記圧電ナノワイヤーは、ZnO、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、またはBaTiOを含むことを特徴とする請求項に記載の電気エネルギー発生素子。
  11. 前記圧電物質層は、ポリマー圧電フィルムを含むことを特徴とする請求項に記載の電気エネルギー発生素子。
  12. 前記ポリマー圧電フィルムは、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)を含むことを特徴とする請求項11に記載の電気エネルギー発生素子。
  13. 前記第1及び第2基板は、それぞれ織物基板を備えることを特徴とする請求項1に記載の電気エネルギー発生素子。
  14. 前記織物基板は、非導電性織物と、前記非導電性織物上に形成された導電層とを備えることを特徴とする請求項13に記載の電気エネルギー発生素子。
  15. 前記織物基板は、導電性織物を含むことを特徴とする請求項13に記載の電気エネルギー発生素子。
  16. 互いに離隔されて設けられるものであって、それぞれ導電性物質を含む第1及び第2基板と、
    前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第1圧電構造体と、
    前記圧電構造体と前記第1及び第2基板のうち他方との間に設けられるものであって、エレクトレット特性を有する物質を含む絶縁性フィルムと、を備え、
    前記第1圧電構造体は、n型半導体物質を含み、前記第1圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(−)表面電荷を含み、もしくは、
    前記第1圧電構造体は、p型半導体物質を含み、前記第1圧電構造体と対面する前記絶縁性フィルムの表面は、(+)表面電荷を含む、
    ことを特徴とする電気エネルギー発生素子。
  17. 前記絶縁性フィルムは、ポリマー系の物質または無機物を含むことを特徴とする請求項16に記載の電気エネルギー発生素子。
  18. 前記第1圧電構造体は、ナノワイヤー、ナノチューブ、ナノ粒子、ナノベルト、ナノコーン、マイクロワイヤー、マイクロ粒子、マイクロベルト、及びマイクロコーンのうち一つを含むことを特徴とする請求項16に記載の電気エネルギー発生素子。
  19. 前記第1圧電構造体は、圧電物質層及び複数の圧電ナノワイヤーのうち一つを含むことを特徴とする請求項16に記載の電気エネルギー発生素子。
  20. 前記第1圧電構造体は、複数の圧電ナノワイヤーを含み、前記複数の圧電ナノワイヤーは、3ないし10のアスペクト比を含むことを特徴とする請求項19に記載の電気エネルギー発生素子。
  21. 前記複数のナノワイヤーは、前記第1及び第2基板に垂直または一定に傾斜したことを特徴とする請求項19に記載の電気エネルギー発生素子。
  22. 前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第2圧電構造体をさらに備えることを特徴とする請求項16に記載の電気エネルギー発生素子。
  23. 前記第1圧電構造体は、複数の第1ナノワイヤーを含み、前記第2圧電構造体は、複数の第2ナノワイヤーを含むことを特徴とする請求項22に記載の電気エネルギー発生素子。
  24. 前記複数の第1ナノワイヤーと前記複数の第2ナノワイヤーとは、前記第1基板上にあり、前記第1ナノワイヤーの圧電物質は、前記第2ナノワイヤーの圧電物質と異なり、前記絶縁性フィルムは、前記第2基板と前記複数の第1及び第2ナノワイヤーとの間にあることを特徴とする請求項23に記載の電気エネルギー発生素子。
  25. 前記複数の第1ナノワイヤーは、前記第1基板上にあり、前記複数の第2ナノワイヤーは、前記第2基板上にあり、前記複数の第1ナノワイヤーは、n型半導体及びp型半導体のうち一方を含み、前記複数の第2ナノワイヤーは、n型半導体及びp型半導体のうち他方を含むことを特徴とする請求項23に記載の電気エネルギー発生素子。
  26. 前記第1及び第2基板のうち一方上に設けられるものであって、圧電特性を有する物質を含む第3圧電構造体をさらに備えることを特徴とする請求項25に記載の電気エネルギー発生素子。
  27. 前記第1圧電構造体は、前記第1基板上にあり、前記絶縁性フィルムは、前記第1基板と前記第1圧電構造体とを取り囲み、前記第2基板は、前記絶縁性フィルムを取り囲むことを特徴とする請求項16に記載の電気エネルギー発生素子。
  28. ハウジングと、
    前記ハウジング内に設けられる回路と、
    前記回路に連結されるマイクロフォンと、
    前記回路に連結されるスピーカと、
    前記回路に電気的に連結されるものであって、請求項16に記載の少なくとも一つの電気エネルギー発生素子と、を備えることを特徴とするフォン。
  29. 請求項16に記載の少なくとも一つの電気エネルギー発生素子を備えることを特徴とする壁体システム。
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