JP6041218B2 - バリア材の透過度を測定する方法及び装置 - Google Patents
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Description
で浄化され、浄化の結果、開放された測定チャンバーにおける透過物質の濃度(c)が低下する。ここで、第一の測定形態において、低下する透過物質の濃度(c)の変化が、所定の下方転換濃度(cvS)に達するまで測定され、さらに、浄化時間(tS)が測定される。第二の測定形態では、低下する透過物質の濃度(c)の変化が、所定の浄化時間(tvS)に達するまで測定される。
Claims (16)
- バリア材の透過度を測定する方法であって、
開閉のための少なくとも二つの遮断エレメント(8.1;8.2)を有する測定チャンバー(8.7)において、テストガスチャンバー(8.3)において一定の濃度のテストガスとして存在し、前記テストガスチャンバー(8.3)と前記測定チャンバー(8.7)との間に配置され、既知の透過可能な表面積(A)を有するバリアエレメント(8.5)を通じて前記測定チャンバー(8.7)へ透過する、少なくとも一つの透過物質の濃度が測定され、
プロセスステップ(i)において、
前記測定チャンバー(8.7)が、所定の上方転換濃度(cvA)に達した際に、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を開けることにより、一定の非透過性の浄化ガス体積流(V)で浄化され、開放された前記測定チャンバー(8.7)における透過物質の濃度(c)が、前記浄化の結果低下し、
この透過物質の濃度(c)の経時変化が、所定の下方転換濃度(cvS)に達するまで測定され、ここで、浄化時間(tS)が測定され、
及び、
プロセスステップ(ii)において、
前記所定の下方転換濃度(cvS)に達した際に、
前記測定チャンバー(8.7)が、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を閉じることにより閉鎖され、前記測定チャンバー(8.7)における前記透過物質の濃度(c)が、透過の結果増加し、
前記所定の上方転換濃度(cvA)に達するまでの濃縮時間(tA)が測定され、続いて、
前記濃縮時間(tA)と、プロセスステップ(i)において測定された前記浄化時間(tS)と、前記浄化時間(tS)の間に測定された前記透過物質の濃度(c)の前記経時変化とを用いて、
前記バリアエレメント(8.5)の透過度(P)が、以下の式を用いて算出され、
- 該方法が、プロセスステップ(i)で始まり、または、プロセスステップ(ii)で始まり、実施されること、
を特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記透過度(P)が、少なくとも一つのプロセスステップ(i)と、少なくとも一つのプロセスステップ(ii)とをそれぞれ含む、少なくとも一つの測定サイクルから、それぞれ測定されること、
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の方法。 - 前記濃縮時間(tA)と前記浄化時間(tS)との和から得られる総サイクル時間が、直前の前記測定サイクルのものと一致するまで、または、最大2倍の測定不確かさで異なるまで、前記測定サイクルが何回も繰り返されること、
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の方法。 - バリア材の透過度を測定する方法であって、
開閉のための少なくとも二つの遮断エレメント(8.1;8.2)を有する測定チャンバー(8.7)において、テストガスチャンバー(8.3)において一定の濃度のテストガスとして存在し、前記テストガスチャンバー(8.3)と前記測定チャンバー(8.7)との間に配置され、既知の透過可能な表面積(A)を有するバリアエレメント(8.5)を通じて前記測定チャンバー(8.7)へ透過する、少なくとも一つの透過物質の濃度が測定され、
プロセスステップ(i)において、
前記測定チャンバー(8.7)が、所定の濃縮時間(tvA)に達した際に、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を開けることにより、一定の非透過性の浄化ガス体積流(V)で浄化され、開放された前記測定チャンバー(8.7)における透過物質の濃度(c)が、前記浄化の結果低下し、
この透過物質の濃度(c)の経時変化が、所定の浄化時間(tvS)に達するまで測定され、
及び、
プロセスステップ(ii)において、
前記所定の浄化時間(tvS)に達した際に、
前記測定チャンバー(8.7)が、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を閉じることにより閉鎖され、前記測定チャンバー(8.7)における前記透過物質の濃度(c)が、透過の結果増加し、
プロセスステップ(i)において前記所定の浄化時間(tvS)の間に測定された前記透過物質の濃度(c)の前記経時変化と、前記所定の浄化時間(tvS)と、前記所定の濃縮時間(tvA)とを用いて、
前記バリアエレメント(8.5)の透過度(P)が、以下の式を用いて算出され、
- 該方法が、プロセスステップ(i)で始まり、または、プロセスステップ(ii)で始まり、実施されること、
を特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記透過度(P)が、少なくとも一つのプロセスステップ(i)と、少なくとも一つのプロセスステップ(ii)とをそれぞれ含む、少なくとも一つの測定サイクルから、それぞれ測定されること、
を特徴とする請求項5または請求項6に記載の方法。 - 前記所定の濃縮時間(tvA)の終わりに、上方転換濃度値(cA)が設定され、前記所定の浄化時間(tvS)の終わりに、下方転換濃度値(cS)が設定されること、
を特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記下方転換濃度値(cS)が、直前の前記測定サイクルの前記下方転換濃度値と一致し、または、最大2倍の測定不確かさで異なり、同時に、前記上方転換濃度値(cA)と前記下方転換濃度値(cS)との間の差異が、直前の前記測定サイクルのものと一致するまで、または、最大2倍の測定不確かさで異なるまで、前記測定サイクルが何回も繰り返されること、
を特徴とする請求項8に記載の方法。 - ある測定サイクルのそれぞれ測定された前記透過度が、少なくとも一つ前の測定サイクルの前記透過度と、一致するか、最大20%異なるまで、前記測定サイクルが繰り返されること、
を特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の方法。 - 前記測定チャンバー(8.7)が、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を開けることにより、最初の測定サイクルを実施する前に、前記非透過性の浄化ガス体積流(V)で、少なくとも一回事前に浄化され、続いて、前記測定チャンバー(8.7)が、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を閉じることにより、再び閉鎖され、前記測定チャンバー(8.7)において平衡状態に達するまで、十分長く閉鎖されること、
を特徴とする請求項1から請求項10のいずれか一項に記載の方法。 - 非湿潤性で、好ましくは光学的な、及び/または、容量性の測定手段(8.6)が、前記測定チャンバー(8.7)のガス相における、前記透過物質の濃度、及び/または、前記透過物質の濃度の変化を測定するために、用いられること、
を特徴とする請求項1から請求項11のいずれか一項に記載の方法。 - 前記測定手段として、UV(紫外線)レーザー分光器、VIS(可視光)レーザー分光器、NIR(近赤外)レーザー分光器、MIR(中赤外域)レーザー分光器、量子カスケードレーザー分光器、キャビティリングダウン分光器、または、テラヘルツ分光器が用いられること、
を特徴とする請求項12に記載の方法。 - 検出される前記透過物質に適合された放射波長を有する、少なくとも一つのレーザービームを用いる、レーザーに基づく測定プロセス、好ましくはレーザーダイオード分光法プロセスが用いられること、
を特徴とする請求項12に記載の方法。 - 前記テストガスとして、濃縮可能なガス及び蒸気、好ましくは水蒸気が用いられること、
を特徴とする請求項1から請求項14のいずれか一項に記載の方法。 - 請求項1から請求項15に記載の方法を実施する装置であって、
開閉のための少なくとも二つの遮断エレメント(8.1;8.2)を有する測定チャンバー(8.7)において、少なくとも一つの透過物質の濃度が、検出ユニット(8.6)を用いて測定され、テストガスチャンバー(8.3)において一定濃度のテストガスとして存在する該透過物質は、前記テストガスチャンバー(8.3)と前記測定チャンバー(8.7)との間に配置され、既知の透過可能な表面積(A)を有するバリアエレメント(8.5)を通じて、測定チャンバー(8.7)に透過し、
前記測定チャンバー(8.7)が、所定の上方転換濃度(cvA)に達した際に、または、所定の濃縮時間(tvA)に達した際に、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を開けることにより、一定の非透過性の浄化ガス体積流(V)で浄化可能であり、その結果、前記測定チャンバー(8.7)における前記透過物質の濃度(c)が低下し、前記透過物質の濃度(c)の前記経時変化が測定可能であり、
所定の下方転換濃度(cvS)または所定の浄化時間(tvS)に達した際に、前記遮断エレメント(8.1;8.2)を閉じることにより、前記測定チャンバーが閉鎖可能であり、閉鎖された前記測定チャンバー(8.7)における前記透過物質の濃度(c)が、透過の結果上昇し、前記所定の上方転換濃度(cvA)に達するまでの濃縮時間(tA)が、測定可能であること、
を特徴とする装置。
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