JP6039398B2 - Manufacturing method of flexible printed wiring board - Google Patents

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本願発明は、金メッキ処理工程後の絶縁膜と銅箔との密着性に優れるフレキシブルプリント配線板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a flexible printed wiring board having excellent adhesion between an insulating film and a copper foil after a gold plating process.

一般的に携帯電話やデジタルカメラなどの小型機器等に搭載されるフィルム状のプリント配線板(以下、フレキシブルプリント配線板と略記する。)は、(1)銅貼積層板の回路形成工程、(2)カバーレイ及びカバーコートによる回路基板の保護工程、(3)銅箔露出部や部品実装部分に金メッキ処理などを行う表面処理工程、(4)補強版を張り合わせる工程、(5)打ち抜きなどの外形加工工程を経ることによって製造される。   Generally, a film-like printed wiring board (hereinafter abbreviated as a flexible printed wiring board) mounted on a small device such as a mobile phone or a digital camera is (1) a circuit forming process of a copper-clad laminate, 2) Circuit board protection process by coverlay and cover coat, (3) Surface treatment process for performing gold plating on exposed copper foil and parts mounting part, (4) Laminating plate, (5) Punching, etc. It is manufactured through the outer shape processing step.

フレキシブルプリント配線板の(2)回路基板の保護工程としては、回路基板上に絶縁性、耐熱性、耐溶剤性、難燃性などに優れる感光性樹脂組成物を液状で塗布またはフィルム状で貼付し、感光性樹脂組成物の皮膜を形成した後、写真技術により露光、現像、加熱を行うことで、微細なパターン(絶縁膜)を容易に形成し、回路基板の保護を行う。   (2) Circuit board protection process for flexible printed circuit boards: A photosensitive resin composition that excels in insulation, heat resistance, solvent resistance, flame retardancy, etc., is applied to the circuit board in liquid form or pasted in film form. And after forming the film | membrane of the photosensitive resin composition, a fine pattern (insulating film) is easily formed by performing exposure, image development, and heating with a photographic technique, and a circuit board is protected.

さらに、用途に応じて銅箔露出部や部品実装部分に様々な(3)表面処理工程が選択され、スイッチの接点や異方性導電膜(ACF)接続端子を有するフレキシブルプリント配線板には金メッキ処理が施され、高密度実装を行うフレキシブルプリント配線板においては金メッキ処理や防錆(OSP)処理が施される。   Furthermore, various (3) surface treatment processes are selected for copper foil exposed parts and component mounting parts depending on the application, and gold is plated on flexible printed wiring boards with switch contacts and anisotropic conductive film (ACF) connection terminals. A flexible printed wiring board that is subjected to a high-density mounting is subjected to a gold plating process or a rust prevention (OSP) process.

特に、フレキシブルプリント配線板使用上のトラブルは、(3)表面処理工程の中でも金メッキ処理工程に関する問題が多く、絶縁膜/銅界面への金メッキ薬液の染込みなどが報告されている。この原因の一つとして銅箔表面の酸化状態が重要とされている。感光性樹脂組成物の熱キュアによって絶縁膜/銅界面の銅表面が酸化し、金メッキ薬液の浸食を引き起こし、最悪の場合剥離まで生じる。これを抑制するために、銅表面の防錆処理に関する方法、密着付与剤を感光性樹脂組成物に添加する方法、あるいはマイクロエッチング剤によって銅表面を粗化することによってソルダーレジストの密着性を向上させる方法などが報告されている(例えば、特許文献1〜4参照。)。   In particular, troubles in the use of flexible printed wiring boards include (3) many problems related to the gold plating process in the surface treatment process, and the infiltration of a gold plating chemical into the insulating film / copper interface has been reported. One of the causes is that the oxidation state of the copper foil surface is important. The heat curing of the photosensitive resin composition oxidizes the copper surface at the insulating film / copper interface, causing erosion of the gold plating chemical solution and, in the worst case, until peeling. In order to suppress this, the adhesion of solder resist is improved by roughening the copper surface with a method related to rust prevention treatment of the copper surface, a method of adding an adhesion-imparting agent to the photosensitive resin composition, or a micro-etching agent. The method of making it etc. have been reported (for example, refer patent documents 1-4).

特開2000−165037号公報JP 2000-165037 A 特開2004−109555号公報JP 2004-109555 A 特開平11−160880号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-160880 特開平11−29883号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-29883

しかしながら、特許文献1では、防錆処理によって、銅箔の酸化が原因となる絶縁膜/銅界面への金メッキ薬液(特に、金メッキ前処理工程に使用される酸性薬液)の染込みを抑制することはできるが、金メッキ処理工程で使用される全ての薬液(還元作用のある薬液や錯形成作用のある薬液など)の染込みを抑制することはできなかった。   However, in Patent Document 1, the antirust treatment suppresses the infiltration of the gold plating chemical (particularly, the acidic chemical used in the gold plating pretreatment process) into the insulating film / copper interface caused by oxidation of the copper foil. However, infiltration of all chemicals used in the gold plating process (such as chemicals having a reducing action and chemicals having a complexing action) could not be suppressed.

特許文献2及び3では、イミダゾール系化合物、トリアゾール系化合物及びメルカプト基含有化合物を感光性樹脂組成物に添加することで密着付与剤が絶縁膜と銅とを直接結合させるために絶縁膜/銅の密着性が向上するが、銅上の感光性樹脂組成物の残渣による金メッキの不載りや添加物に由来する金メッキ浴の汚染などが起こることがあった。   In Patent Documents 2 and 3, an imidazole compound, a triazole compound, and a mercapto group-containing compound are added to the photosensitive resin composition so that the adhesion-imparting agent directly bonds the insulating film and copper. Although the adhesiveness is improved, there is a case in which the gold plating due to the residue of the photosensitive resin composition on the copper or the gold plating bath derived from the additive is contaminated.

また、特許文献4では、銅表面を粗化することによって、乾燥状態の絶縁膜/銅との密着性は大幅に向上するが、金メッキ処理工程後には、絶縁膜/銅界面に薬液が浸透し、絶縁膜が脆弱化するために密着性を維持することはできなかった。特に、隠蔽性の大きな感光性樹脂組成物から得られる絶縁膜では、露光による活性光線が絶縁膜自身に吸収され絶縁膜底部に完全に到達せず、光硬化しにくくなる。その結果、得られた絶縁膜の耐薬品性が低下し、金メッキ処理工程のように過激な薬液処理を行う場合には金メッキ薬液が絶縁膜/銅界面に浸透しやすくなるために上記方法では、金メッキ処理工程後の密着性の改善は不十分であった。   Further, in Patent Document 4, by roughening the copper surface, the adhesion with the insulating film / copper in a dry state is greatly improved. However, after the gold plating process, the chemical solution penetrates into the insulating film / copper interface. The adhesion could not be maintained because the insulating film became brittle. In particular, in an insulating film obtained from a highly concealable photosensitive resin composition, actinic rays due to exposure are absorbed by the insulating film itself and do not reach the bottom of the insulating film completely, making it difficult to be photocured. As a result, the chemical resistance of the obtained insulating film is reduced, and when performing an extreme chemical treatment like the gold plating treatment step, the gold plating chemical tends to permeate the insulating film / copper interface. The improvement in adhesion after the gold plating process was insufficient.

本願発明者らは、少なくとも、絶縁膜が銅箔上に積層されたフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、前記製造方法が金メッキ処理工程および金メッキ処理工程後に加熱処理工程を含み、前記絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たすことを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法をとることによって、金メッキ処理工程後の密着性に優れるフレキシブルプリント配線板を得ることが可能であることを見出した。 The inventors of the present application provide a method for manufacturing a flexible printed wiring board in which at least an insulating film is laminated on a copper foil, the manufacturing method including a gold plating treatment step and a heat treatment step after the gold plating treatment step, The breaking strength (E I ) before performing the gold plating treatment step and the breaking strength (E II ) after performing the heat treatment step after the gold plating treatment step are (E II ) / (E I )> 0.70 It has been found that a flexible printed wiring board having excellent adhesion after the gold plating process can be obtained by adopting a method for producing a flexible printed wiring board characterized by satisfying the above relationship.

すなわち、絶縁膜が銅箔上に積層されたフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、前記製造方法が金メッキ処理工程および金メッキ処理工程後に加熱処理工程を含み、前記絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たすことを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法である。 That is, a method for manufacturing a flexible printed wiring board in which an insulating film is laminated on a copper foil, wherein the manufacturing method includes a gold plating step and a heat treatment step after the gold plating step, and the gold plating step for the insulating film is performed. The previous breaking strength (E I ) and the breaking strength (E II ) after the heat treatment step after the gold plating treatment step satisfy the relationship of (E II ) / (E I )> 0.70 It is the manufacturing method of the flexible printed wiring board characterized.

また、前記絶縁膜の金メッキ処理を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行う前の破断強度(EIII)とが、(EIII)/(EI)>0.50の関係を満たすことが好ましい。 Further, the breaking strength (E I ) before performing the gold plating treatment of the insulating film and the breaking strength (E III ) before carrying out the heat treatment step after the gold plating treatment step are (E III ) / (E I )> It is preferable to satisfy the relationship of 0.50.

また、前記絶縁膜が、少なくとも(A)バインダーポリマー 、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化性樹脂を含む感光性樹脂組成物から得られることが好ましい。   The insulating film is preferably obtained from a photosensitive resin composition containing at least (A) a binder polymer, (B) a radical polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a thermosetting resin. .

本願発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は、以上のように、少なくとも絶縁膜が銅箔上に積層されたフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、前記製造方法が金メッキ処理工程および金メッキ処理工程後に加熱処理工程を含み、前記絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たすことを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法をとるため、金メッキ処理工程後の密着性に優れるフレキシブルプリント配線板の製造方法を提供することができるものである。 The manufacturing method of the flexible printed wiring board of the present invention is a manufacturing method of a flexible printed wiring board in which at least an insulating film is laminated on a copper foil as described above, and the manufacturing method includes a gold plating process and a gold plating process. after including a heat treatment step, the breaking strength before performing gold plating process of the insulating film and (E I), the breaking strength after the heat treatment step after the gold plating step and (E II) but, (E II ) / (E I )> 0.70 is satisfied, and a method for manufacturing a flexible printed wiring board having excellent adhesion after a gold plating process is provided. It is something that can be done.

フィルムの反り量を測定している模式図である。It is the schematic diagram which has measured the curvature amount of the film. テープ剥離試験の模式図(テープ張り合わせ方法)である。It is a schematic diagram (tape laminating method) of a tape peeling test. テープ剥離試験の模式図(テープ剥離方法)である。It is a schematic diagram (tape peeling method) of a tape peeling test.

本願発明のフレキシブルプリント配線板は、各種特性に優れることを本発明者らは見出したが、これは以下の理由によるものではないかと推測している。   The present inventors have found that the flexible printed wiring board of the present invention is excellent in various characteristics, but this is presumed to be due to the following reasons.

金メッキ工程後の絶縁膜と銅箔界面での密着性の低下は、金メッキ工程中の薬液が絶縁膜中に浸透することで絶縁膜と銅箔の密着界面に水分を取り込みやすいような脆弱層が形成される(絶縁膜の本来の強度が低下する)ために、テープピールのような外部応力を与えると界面近傍の絶縁膜が凝集破壊を起こすために発生するものと考えられる。そこで、本願発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法は金メッキ処理工程後に加熱処理工程を含むために金メッキ工程後の絶縁膜と銅箔界面に存在する水分を減らすことで、絶縁膜の強度の低下を抑え脆弱層の発生を抑制することが可能となり金メッキ処理工程後の密着性に優れるフレキシブルプリント配線板を提供することができるものと考えている。さらに、絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たす絶縁膜を選択することで、金メッキ処理工程後の密着性に優れるフレキシブルプリント配線板を提供することができる。 The decrease in adhesion at the interface between the insulating film and the copper foil after the gold plating process is due to the fact that a chemical layer in the gold plating process penetrates into the insulating film, so that a fragile layer that easily takes moisture into the adhesion interface between the insulating film and the copper foil. Since it is formed (the original strength of the insulating film is reduced), it is considered that when an external stress such as a tape peel is applied, the insulating film near the interface causes cohesive failure. Therefore, the manufacturing method of the flexible printed wiring board according to the present invention includes a heat treatment process after the gold plating process, and therefore reduces the moisture present at the interface between the insulating film and the copper foil after the gold plating process, thereby reducing the strength of the insulating film. It is believed that it is possible to provide a flexible printed wiring board that can suppress the generation of a suppressed fragile layer and has excellent adhesion after the gold plating process. Furthermore, the breaking strength (E I ) before performing the gold plating treatment step of the insulating film and the breaking strength (E II ) after performing the heat treatment step after the gold plating treatment step are (E II ) / (E I ) By selecting an insulating film satisfying a relationship of> 0.70, it is possible to provide a flexible printed wiring board having excellent adhesion after the gold plating process.

以下、本願発明について、感光性樹脂組成物、絶縁膜の形成方法、金メッキ処理工程、加熱処理工程および破断強度の測定方法について説明する。   Hereinafter, the photosensitive resin composition, the method for forming an insulating film, the gold plating process, the heat treatment process, and the method for measuring the breaking strength will be described for the present invention.

[感光性樹脂組成物]
本願発明の感光性樹脂組成物とは、感光性を有する樹脂組成物であれば特に限定はされないが、少なくとも(A)バインダーポリマー、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。また、本願発明における感光性樹脂組成物とは、硬化した絶縁膜として求められる機能を果たすことが出来る材料であれば限定されるものではない。ここで、上記求められる機能としては、低温(200℃以下)で硬化可能であり、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性、難燃性に優れ、硬化後の基板の反りが小さい事が挙げられる。
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a photosensitive resin composition, but at least (A) a binder polymer, (B) a radical polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) It is preferable to contain a thermosetting resin. Moreover, the photosensitive resin composition in this invention will not be limited if it is a material which can fulfill | perform the function calculated | required as a hardened | cured insulating film. Here, as the above-mentioned required functions, it can be cured at a low temperature (200 ° C. or less), has high flexibility, is excellent in electrical insulation reliability, solder heat resistance, organic solvent resistance, flame resistance, and after curing. It is mentioned that the board warpage is small.

以下(A)バインダーポリマー、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化性樹脂、その他の成分ついて説明する。   Hereinafter, (A) binder polymer, (B) radical polymerizable compound, (C) photopolymerization initiator, (D) thermosetting resin, and other components will be described.

[(A)バインダーポリマー]
本願発明に用いられる(A)バインダーポリマーとは、有機溶媒に対して可溶性であり、2つ以上のモノマーが重合反応してできる化合物であって、分子量1,000以上、1,000,000以下のポリマーであれば特に限定されるものではない。
[(A) Binder polymer]
The (A) binder polymer used in the present invention is a compound that is soluble in an organic solvent and is formed by polymerization reaction of two or more monomers, and has a molecular weight of 1,000 or more and 1,000,000 or less. The polymer is not particularly limited as long as it is a polymer.

上記有機溶媒とは、特に限定されないが、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。   Examples of the organic solvent include, but are not limited to, sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, formamide solvents such as N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, Examples thereof include acetamide solvents such as N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤が挙げられる。   Furthermore, for example, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2 Symmetric glycol diethers such as -butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Cetate (aka carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether Acetates such as acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n Propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, ethers such solvents such as ethyl ether also ethylene glycol.

有機溶媒に対して可溶性となる指標である有機溶媒溶解性は、有機溶媒100重量部に対して溶解する樹脂の重量部として測定することが可能であり、有機溶媒100重量部に対して溶解する樹脂の重量部が5重量部以上であれば有機溶媒に対して可溶性とすることができる。有機溶媒溶解性測定方法は、特に限定されないが、例えば、有機溶媒100重量部に対して樹脂を5重量部添加し、40℃で1時間攪拌後、室温まで冷却して24時間以上放置し、不溶解物や析出物の発生なく均一な溶液であることを確認する方法で測定することができる。   The solubility of the organic solvent, which is an index that becomes soluble in the organic solvent, can be measured as a part by weight of the resin that dissolves in 100 parts by weight of the organic solvent, and dissolves in 100 parts by weight of the organic solvent. If the weight part of resin is 5 weight part or more, it can be made soluble in an organic solvent. The organic solvent solubility measurement method is not particularly limited. For example, 5 parts by weight of the resin is added to 100 parts by weight of the organic solvent, stirred at 40 ° C. for 1 hour, cooled to room temperature, and left for 24 hours or more. It can measure by the method of confirming that it is a uniform solution without generation | occurrence | production of an insoluble matter and a precipitate.

本願発明の(A)バインダーポリマーの重量平均分子量は、例えば、以下の方法で測定することができる。   The weight average molecular weight of the (A) binder polymer of the present invention can be measured, for example, by the following method.

(重量平均分子量測定)
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
(Weight average molecular weight measurement)
Equipment used: Tosoh HLC-8220GPC equivalent column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow rate: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), response (0.5 sec)
Sample concentration: about 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol)

上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、得られる絶縁膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が1,000,000以上の場合は樹脂組成物の粘度が高くなる場合がある。   Controlling the weight average molecular weight within the above range is preferable because the resulting insulating film has excellent flexibility and chemical resistance. When the weight average molecular weight is 1,000 or less, flexibility and chemical resistance may decrease, and when the weight average molecular weight is 1,000,000 or more, the viscosity of the resin composition may increase.

上記重合反応としては例えば、連鎖重合、逐次重合、リビング重合、付加重合、重縮合、付加縮合、ラジカル重合、イオン重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合、開環重合、共重合などが挙げられる。また、このような重合反応で得られたバインダーポリマーとしては例えば、例えば、ポリウレタン系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂等が挙げられる。   Examples of the polymerization reaction include chain polymerization, sequential polymerization, living polymerization, addition polymerization, polycondensation, addition condensation, radical polymerization, ionic polymerization, cationic polymerization, anionic polymerization, coordination polymerization, ring-opening polymerization, and copolymerization. It is done. Examples of the binder polymer obtained by such a polymerization reaction include, for example, polyurethane resins, poly (meth) acrylic resins, polyvinyl resins, polystyrene resins, polyethylene resins, polypropylene resins, polyimide resins. And polyamide resins, polyacetal resins, polycarbonate resins, polyester resins, polyphenylene ether resins, polyphenylene sulfide resins, polyether sulfone resins, polyether ether ketone resins, and the like.

[(B)ラジカル重合性化合物]
本願発明に用いられる(B)ラジカル重合性化合物とは光や熱によって発生したラジカルにより化学結合が形成される化合物である。その中でも(C)光重合開始剤により化学結合が形成される化合物であり、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する化合物であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、アクリル基(CH2=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH3)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)であることが好ましい。
[(B) Radical polymerizable compound]
The (B) radical polymerizable compound used in the present invention is a compound in which a chemical bond is formed by radicals generated by light or heat. Among them, (C) a compound in which a chemical bond is formed by a photopolymerization initiator, and a compound having at least one unsaturated double bond in the molecule is preferable. Furthermore, the unsaturated double bond is an acryl group (CH 2 ═CH— group), a methacryloyl group (CH═C (CH 3 ) — group) or a vinyl group (—CH═CH— group). Is preferred.

かかる(B)ラジカル重合性化合物としては、例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはメタアクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性熱硬化性樹脂組成物を硬化した絶縁膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。   Examples of the (B) radical polymerizable compound include bisphenol F EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, and bisphenol S EO modified (n = 2 to 50). ) Diacrylate, bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6- Hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, Tramethylolpropane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipenta Erythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro 2-hydroxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, Polyethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2 -Bis [4- (methacryloyl Ciethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy / diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy / polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate , Polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3- Methacryloxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylol methane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytri Tylene glycol acrylate, nonyl phenoxy polyethylene glycol acrylate, nonyl phenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonyl phenoxy ethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1, 4-butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol Dimethacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diaquo Relate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4 -Diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated tomethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, Propoxylated pentathritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, Sidyl allyl ether, 1,3,5-triacryloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, alloverbital, diallylamine, diallyldimethylsilane , Diallyl disulfide, diallyl ether, zalyl sialate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4 ′ -Isopropylidene diphenol diacrylate and the like are preferred, but not limited thereto. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or methacrylate is preferably in the range of 2-50, more preferably 2-40. By using an EO repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility of the resin composition in an aqueous developer typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the development time is shortened. Furthermore, it is difficult for stress to remain in the insulating film obtained by curing the photosensitive thermosetting resin composition. For example, among printed wiring boards, printed wiring boards are laminated on a flexible printed wiring board based on polyimide resin. The curl can be suppressed.

特に、上記EO変性のジアクリレート或いは、ジメタクリレートと、アクリル基もしくは、メタクリル基を3以上有するアクリル樹脂を併用することが現像性を高める上で特に好ましく、例えばエトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルコハク酸、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、プロポキシ化ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、下記一般式(1)   In particular, it is particularly preferable to use the EO-modified diacrylate or dimethacrylate together with an acrylic resin having 3 or more acrylic groups or methacrylic groups in order to improve developability. For example, ethoxylated isocyanuric acid EO-modified triacrylate, Ethoxylated isocyanuric acid EO modified trimethacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tri Acrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, ditrimethyl Propanetetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, 2,2,2-trisacryloyloxymethyl ethyl succinic acid, 2,2, 2-trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, propoxylated ditrimethylolpropane tetraacrylate, propoxylated dipentaerythritol hexaacrylate, ethoxylated isocyanuric acid triacrylate, ε-caprolactone modified tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate, Caprolactone-modified ditrimethylolpropane tetraacrylate, the following general formula (1)

(式中、a+b=6、n=12である。)で表される化合物、下記一般式(2) (Wherein a + b = 6 and n = 12.), A compound represented by the following general formula (2)

(式中、a+b=4、n=4である。)で表される化合物、下記式(3) (Wherein a + b = 4 and n = 4), a compound represented by the following formula (3)

で表される化合物、下記一般式(4) A compound represented by the following general formula (4)

(式中、m=1、a=2、b=4もしくは、m=1、a=3、b=3もしくは、m=1、a=6、b=0もしくは、m=2、a=6、b=0である。)で表される化合物、下記一般式(5) (Where m = 1, a = 2, b = 4, or m = 1, a = 3, b = 3, or m = 1, a = 6, b = 0, or m = 2, a = 6 B = 0)), a compound represented by the following general formula (5)

(式中、a+b+c=3.6である。)で表される化合物、下記式(6) (Wherein a + b + c = 3.6), a compound represented by the following formula (6)

で表される化合物、下記一般式(7) A compound represented by the following general formula (7)

(式中、m・a=3、a+b=3、ここで「m・a」は、mとaとの積である。)で表される化合物等のアクリル樹脂が好適に用いられる。 An acrylic resin such as a compound represented by the formula (where m · a = 3, a + b = 3, where “m · a” is a product of m and a) is preferably used.

また、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する物も好適に用いられる。   In addition, hydroxyl groups, carbonyls in the molecular structure such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, phthalic acid monohydroxyethyl acrylate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaerythritol tri and tetraacrylate Those having a group are also preferably used.

この他、エポキシ変性のアクリル(メタクリル)樹脂や、ウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、ポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂等どのようなラジカル重合性化合物を用いてもよい。   In addition, any radically polymerizable compound such as an epoxy-modified acrylic (methacrylic) resin, a urethane-modified acrylic (methacrylic) resin, or a polyester-modified acrylic (methacrylic) resin may be used.

尚、ラジカル重合性化合物としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、光硬化後の絶縁膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。   In addition, although it is also possible to use 1 type as a radically polymerizable compound, using 2 or more types together is preferable when improving the heat resistance of the insulating film after photocuring.

本願発明における(B)ラジカル重合性化合物は、(B)成分を除く成分の合計100重量部に対して、10〜200重量部となるように配合されていることが、感光性樹脂組成物の感光性が向上する点で好ましい。   In the photosensitive resin composition, the (B) radical polymerizable compound in the present invention is blended so as to be 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight in total of the components excluding the component (B). It is preferable at the point which photosensitivity improves.

ラジカル重合性化合物が上記範囲よりも少ない場合には、絶縁膜の耐アルカリ性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなる場合がある。また、ラジカル重合性樹脂が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる塗膜のべたつきが大きくなるため生産性が低下し、また架橋密度が高くなりすぎることにより絶縁膜が脆く割れやすくなる場合がある。上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。   When the amount of the radical polymerizable compound is less than the above range, the alkali resistance of the insulating film is lowered, and it may be difficult to obtain contrast when exposed and developed. In addition, when the amount of the radical polymerizable resin is larger than the above range, productivity decreases because the stickiness of the coating film obtained by applying the photosensitive resin composition on the substrate and drying the solvent increases. In addition, when the crosslinking density becomes too high, the insulating film may be brittle and easily cracked. By making it within the above range, the resolution at the time of exposure / development can be set to an optimum range.

[(C)光重合開始剤]
本願発明における光重合開始剤とは、露光などのエネルギーによって活性化し、光重合反応を開始・促進させる化合物である。かかる(C)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4',4''−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などが挙げられる。上記、光重合開始剤は適宜選択することが望ましく、1種以上を混合させて用いることが望ましい。
[(C) Photopolymerization initiator]
The photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is activated by energy such as exposure to start and accelerate the photopolymerization reaction. Examples of the (C) photopolymerization initiator include Mihilaz ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, and 2,2 ′. -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, Benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1- Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, benzyldimethyl Ketal, benzyldiethylketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4, 6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4′-diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4′-diazidostilbene-2,2′-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy)- Enyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4- Trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadiene -1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2- Kutandione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1 -), Ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1 -(O-acetyloxyome) etc. are mentioned. The photopolymerization initiator is preferably selected as appropriate, and it is desirable to use a mixture of one or more.

本願発明における(C)光重合開始剤は、(C)成分を除く成分の合計100重量部に対して、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。   The (C) photopolymerization initiator in the present invention is preferably blended in an amount of 0.1 to 50 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the components excluding the component (C).

上記配合割合にすることで樹脂組成物の感光性が向上するので好ましい。   Since the photosensitivity of a resin composition improves by making it the said mixture ratio, it is preferable.

光重合開始剤成分が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時のラジカル重合性基の反応が起こりにくく、硬化が不十分となることが多い場合がある。また、光重合開始剤成分が上記範囲よりも多い場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。   When the photopolymerization initiator component is less than the above range, the reaction of the radical polymerizable group at the time of light irradiation hardly occurs and the curing is often insufficient. Moreover, when there are more photoinitiator components than the said range, adjustment of light irradiation amount becomes difficult and may be in an overexposed state. Therefore, in order to advance the photocuring reaction efficiently, it is preferable to adjust within the above range.

[(D)熱硬化性樹脂]
本願発明における(D)熱硬化性樹脂とは、加熱により架橋構造を生成し、熱硬化剤として機能する化合物である。例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、アリル硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂;高分子鎖の側鎖又は末端にアリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基、等の反応性基を有する側鎖反応性基型熱硬化性高分子等を用いることができる。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。
[(D) Thermosetting resin]
The (D) thermosetting resin in the present invention is a compound that generates a crosslinked structure by heating and functions as a thermosetting agent. For example, thermosetting resins such as epoxy resin, bismaleimide resin, bisallyl nadiimide resin, acrylic resin, methacrylic resin, hydrosilyl cured resin, allyl cured resin, and unsaturated polyester resin; allyl on the side chain or terminal of the polymer chain A side chain reactive group type thermosetting polymer having a reactive group such as a group, a vinyl group, an alkoxysilyl group, and a hydrosilyl group can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における(D)熱硬化性樹脂としては、この中でも、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。本願発明におけるエポキシ樹脂は分子中に少なくとも1つ以上のエポキシ基を有していれば、分子量を問わず、モノマー、オリゴマー、及びポリマーなどの全てを含み、加熱により架橋構造を生成し、熱硬化剤として機能する化合物である。エポキシ樹脂を含有することにより、樹脂組成物を硬化させて得られる絶縁膜に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができる。上記エポキシ樹脂とは、分子内に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER828、jER1001、jER1002、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4100E、アデカレジンEP−4300E、日本化薬株式会社製の商品名RE−310S、RE−410S、大日本インキ株式会社製の商品名エピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン1050、エピクロン7050、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−128、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER806、jER807、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4901E、アデカレジンEP−4930、アデカレジンEP−4950、日本化薬株式会社製の商品名RE−303S、RE−304S、RE−403S,RE−404S、DIC株式会社製の商品名エピクロン830、エピクロン835、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDF−170、エポトートYDF−175S、エポトートYDF−2001、ビスフェノールS型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−1514、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX8000、jERYX8034,jERYL7170、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−4080E、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−7015、東都化成株式会社製の商品名エポトートYD−3000、エポトートYD−4000D、ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jERYX4000、jERYL6121H、jERYL6640、jERYL6677、日本化薬株式会社製の商品名NC−3000、NC−3000H、フェノキシ型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER1256、jER4250、jER4275、ナフタレン型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−4032、エピクロンHP−4700、エピクロンHP−4200、日本化薬株式会社製の商品名NC−7000L、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER152、jER154、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−201−L、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−740、エピクロンN−770、東都化成株式会社製の商品名エポトートYDPN−638、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EOCN−1020、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S、DIC株式会社製の商品名エピクロンN−660、エピクロンN−670、エピクロンN−680、エピクロンN−695、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名EPPN−501H、EPPN−501HY、EPPN−502H、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の商品名XD−1000、DIC株式会社製の商品名エピクロンHP−7200、アミン型エポキシ樹脂としては、東都化成株式会社の商品名エポトートYH−434、エポトートYH−434L、可とう性エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の商品名jER871、jER872、jERYL7175、jERYL7217、DIC株式会社製の商品名エピクロンEXA−4850、ウレタン変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPU−6、アデカレジンEPU−73、アデカレジンEPU−78−11、ゴム変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEPR−4023、アデカレジンEPR−4026、アデカレジンEPR−1309、キレート変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の商品名アデカレジンEP−49−10、アデカレジンEP−49−20等が挙げられる。上記、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Among these, as (D) thermosetting resin in this invention, it is preferable to use an epoxy resin. The epoxy resin in the present invention includes all monomers, oligomers, polymers, etc., regardless of molecular weight, as long as it has at least one epoxy group in the molecule. It is a compound that functions as an agent. By containing an epoxy resin, heat resistance can be imparted to an insulating film obtained by curing the resin composition, and adhesion to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted. The epoxy resin is a compound containing at least two epoxy groups in the molecule. For example, as a bisphenol A type epoxy resin, product names jER828, jER1001, jER1002, and ADEKA manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Trade names of Adeka Resin EP-4100E, Adeka Resin EP-4300E, trade names RE-310S and RE-410S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names Epicron 840S, Epicron 850S, Epicron 1050 and Epicron 7050 manufactured by Dainippon Ink, Inc. The product names Epototo YD-115, Epototo YD-127, Epototo YD-128, and bisphenol F type epoxy resins manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. are trade names jER806 and jER8 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. 7. Trade names Adeka Resin EP-4901E, Adeka Resin EP-4930, Adeka Resin EP-4950 manufactured by Adeka Co., Ltd., trade names RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S, DIC manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Product names Epicron 830 and Epicron 835 manufactured by Co., Ltd. Product names Epototo YDF-170, Epototo YDF-175S, Epototo YDF-2001, and Bisphenol S type epoxy resin manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. As Epiklon EXA-1514 and hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, trade names jERYX8000, jERYX8034, jERYL7170, and ADEKA RESIN EP-408 manufactured by ADEKA Corporation are available. E, DIC Corporation trade name Epicron EXA-7015, Toto Kasei Co., Ltd. trade name Epototo YD-3000, Epototo YD-4000D, biphenyl type epoxy resin, Japan Epoxy Resin Corporation trade name jERYX4000, jERYL6121H, jERYL6640, jERYL6667, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name NC-3000, NC-3000H, phenoxy type epoxy resin, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. trade name jER1256, jER4250, jER4275, naphthalene type epoxy resin Are DIC Corporation trade names Epicron HP-4032, Epicron HP-4700, Epicron HP-4200, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names NC-7000L, Phenol As the borak type epoxy resin, trade names jER152 and jER154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade names EPPN-201-L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names Epicron N-740 manufactured by DIC Corporation, and Epicron N- 770, product names Epototo YDPN-638 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and cresol novolak type epoxy resins include product names EOCN-1020, EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, DIC shares manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Brand names EPIKRON N-660, Epicron N-670, Epicron N-680, Epicron N-695, and trisphenol methane type epoxy resins manufactured by the company include trade names EPPN-501H and EPPN-501HY manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-502H, As the cyclopentadiene type epoxy resin, trade name XD-1000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., the product name Epicron HP-7200 manufactured by DIC Co., Ltd., and as the amine type epoxy resin, trade name Etototo YH- 434, Epototo YH-434L, as flexible epoxy resin, trade names jER871, jER872, jERYL7175, jERYL7217 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name Epicron EXA-4850 manufactured by DIC Corporation, and urethane-modified epoxy resin Adeka Resin EPU-6, Adeka Resin EPU-73, Adeka Resin EPU-78-11, Adeka Resin EPR-4023, Adeka Resin EPR-4023, Adeka Resin Resin EPR-4026, Adeka Resin EPR-1309, as a chelate-modified epoxy resin, ADEKA Corporation under the trade name Adeka Resin EP-49-10, and the like Adecaresin EP-49-20. These can be used alone or in combination of two or more.

本願発明におけるエポキシ樹脂の硬化剤としては特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Although it does not specifically limit as a hardening | curing agent of the epoxy resin in this invention, For example, phenol resins, such as a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, a naphthalene type phenol resin, an amino resin, a urea resin, a melamine, a dicyandiamide, etc. It can be used alone or in combination of two or more.

また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Further, the curing accelerator is not particularly limited, but for example, phosphine compounds such as triphenylphosphine; amine compounds such as tertiary amine, trimethanolamine, triethanolamine and tetraethanolamine; 1,8- Borate compounds such as diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-un Imidazoles such as decylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2- Ethyl imidazoline, 2 Imidazolines such as isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- ( 1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 ′ Examples include azine-based imidazoles such as -ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, and these can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における(D)熱硬化性樹脂成分は、(D)成分を除く成分の合計100重量部に対して、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは、1〜50重量部、特に好ましくは、5〜20重量部である。上記範囲内に熱硬化性樹脂成分の量を調整することにより、樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁信頼性を向上することができるので好ましい。   The (D) thermosetting resin component in the present invention is preferably 0.5 to 100 parts by weight, more preferably 1 to 50 parts by weight, particularly 100 parts by weight of the total component excluding the component (D). Preferably, it is 5 to 20 parts by weight. By adjusting the amount of the thermosetting resin component within the above range, it is preferable because the heat resistance, chemical resistance and electrical insulation reliability of the insulating film obtained by curing the resin composition can be improved.

熱硬化性樹脂成分が上記範囲よりも少ない場合には、樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜の耐熱性、電気絶縁信頼性に劣る場合がある。また、熱硬化性樹脂成分が上記範囲よりも多い場合には、樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜が脆くなり柔軟性に劣り、絶縁膜の反りも大きくなる場合がある。   If the thermosetting resin component is less than the above range, the insulating film obtained by curing the resin composition may be inferior in heat resistance and electrical insulation reliability. Moreover, when there are more thermosetting resin components than the said range, the insulating film obtained by hardening a resin composition becomes weak, it is inferior to a softness | flexibility, and the curvature of an insulating film may also become large.

[その他の成分]
本願発明における感光性樹脂組成物は(A)バインダーポリマー、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)熱硬化性樹脂に加えて、必要に応じて、フィラー難燃剤、着色剤、密着付与剤、重合禁止剤および有機溶媒等の添加剤を含有してもよい。
[Other ingredients]
In addition to (A) binder polymer, (B) radical polymerizable compound, (C) photopolymerization initiator, and (D) thermosetting resin, the photosensitive resin composition in the present invention includes a filler flame retardant as necessary. Further, additives such as a colorant, an adhesion imparting agent, a polymerization inhibitor and an organic solvent may be contained.

本願発明におけるフィラーとは、有機フィラー又は無機フィラーと呼ばれるものであれば特に限定されないが、形状としては球状、粉状、繊維状、針状、鱗片状などが挙げられる。有機フィラーとしては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン粉、ポリエチレン、ベンゾグアナミン、メラミン、フタロシアニン粉等の他、シリコーン、アクリル、スチレンブ−タジエンゴム、ブタジエンゴム等を用いた多層構造のコアシェル等が挙げられる。無機フィラーとしてはシリカ、酸化チタンやアルミナ等の金属酸化物、窒化珪素や窒化ホウ素等の金属窒素化合物、炭酸カルシウム、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸アルミニウム等の金属塩等が挙げられる。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に金属酸化物、金属窒素化合物又は、金属塩である場合、銅表面の欠陥である酸素原子、水酸基及び吸着水などとの親和性が高く絶縁膜/銅との密着性を向上させることができるため好ましい。   Although it will not specifically limit if the filler in this invention is what is called an organic filler or an inorganic filler, As a shape, spherical shape, powder shape, fibrous shape, needle shape, scale shape, etc. are mentioned. Examples of the organic filler include polytetrafluoroethylene powder, polyethylene, benzoguanamine, melamine, phthalocyanine powder and the like, as well as a multi-layer core shell using silicone, acrylic, styrene butadiene rubber, butadiene rubber, and the like. Examples of the inorganic filler include silica, metal oxides such as titanium oxide and alumina, metal nitrogen compounds such as silicon nitride and boron nitride, metal salts such as calcium carbonate, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, and aluminum phosphate. These can be used alone or in combination of two or more. Particularly when it is a metal oxide, a metal nitrogen compound, or a metal salt, it has a high affinity with oxygen atoms, hydroxyl groups, adsorbed water, etc., which are defects on the copper surface, and can improve the adhesion with the insulating film / copper. Therefore, it is preferable.

また、フィラーの表面をシランカップリング剤、その他の有機化合物等で被覆し親水性化あるいは疎水性化などの表面改質を行ってもよい。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   Further, the surface of the filler may be coated with a silane coupling agent, other organic compounds, etc., and surface modification such as hydrophilicity or hydrophobicity may be performed. These can be used alone or in combination of two or more.

フィラーの添加方法は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いて混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これを感光性樹脂組成物溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよい。上記フィラーは適宜選択することが望ましく、1種以上を混合させて用いることもできる。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
The method of adding filler is
1. 1. A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization 2. A method of kneading using three rolls after completion of polymerization. Any method such as a method of preparing a dispersion containing a filler and mixing it with the photosensitive resin composition solution may be used. The filler is preferably selected as appropriate, and one or more fillers can be mixed and used. Further, in order to disperse the filler satisfactorily and stabilize the dispersion state, a dispersant, a thickener and the like can be used within a range not affecting the film physical properties.

本願発明における難燃剤とは、感光性樹脂組成物を難燃化するために用いられる化合物のことである。例えば、リン酸エステル系化合物、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、有機リン系化合物、シリコーン系等を用いることができ、使用方法としては添加型難燃剤、反応型難燃剤として用いることができる。また、難燃剤は、1種又は2種以上を適宜組み合わせて用いても良い。難燃剤としては、この中でも、非ハロゲン系化合物を用いることが環境汚染の観点からより好ましく、特にリン系難燃剤が好ましい。本願発明の感光性樹脂組成物における難燃剤以外の成分の合計100重量部対して、1〜100重量部となるように配合されていることが好ましい。上記配合割合にすることで感光性樹脂組成物の現像性、感光性、得られる硬化膜の耐折れ性を損なうことなく、難燃性が向上するので好ましい。難燃剤成分が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物の硬化膜の難燃性が不十分となる場合がある。また、難燃剤成分が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物の現像性や感光性が低下する場合がある。   The flame retardant in the present invention is a compound used to make a photosensitive resin composition flame retardant. For example, a phosphoric ester compound, a halogen-containing compound, a metal hydroxide, an organic phosphorus compound, a silicone, or the like can be used, and the method of use can be used as an additive flame retardant or a reactive flame retardant. . Moreover, you may use a flame retardant suitably combining 1 type (s) or 2 or more types. Among these, as the flame retardant, it is more preferable to use a non-halogen compound from the viewpoint of environmental pollution, and a phosphorus flame retardant is particularly preferable. It is preferable that 1-100 weight part is mix | blended with respect to a total of 100 weight part of components other than a flame retardant in the photosensitive resin composition of this invention. The blending ratio is preferable because flame retardancy is improved without impairing the developability and photosensitivity of the photosensitive resin composition and the bending resistance of the resulting cured film. When there are few flame retardant components than the said range, the flame retardance of the cured film of the photosensitive resin composition may become inadequate. Moreover, when there are more flame retardant components than the said range, the developability and photosensitivity of the photosensitive resin composition may fall.

本願発明における着色剤としては、フタロシアニン系化合物、アゾ系化合物、カーボンブラック、酸化チタン等、密着性付与剤としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   As the colorant in the present invention, phthalocyanine compounds, azo compounds, carbon black, titanium oxide, etc., as adhesion imparting agents, silane coupling agents, triazole compounds, tetrazole compounds, triazine compounds, polymerization inhibitors Examples thereof include hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether, and these can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における溶媒としては、感光性樹脂組成物成分を溶解させることができる溶媒であれば良い。例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本願発明における溶媒の量は、感光性樹脂組成物における溶剤以外の成分の合計100重量部に対して、10〜400重量部が好ましく、より好ましくは、20〜200重量部、特に好ましくは、40〜100重量部である。上記範囲内に溶媒の量を調整することにより、感光性樹脂組成物の粘度や粘性をスクリーン印刷などの塗工に適切な範囲内に調整することができるので好ましい。溶媒が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物の粘度が非常に高くなり、塗工が困難となり、塗工時の泡の巻き込み、レベリング性に劣る場合がある。また、溶媒が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物の粘度が非常に低くなってしまい、塗工が困難となり、回路の被覆性に劣る場合がある。   As a solvent in this invention, what is necessary is just a solvent which can dissolve the photosensitive resin composition component. For example, sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, methyl monoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyl diglyme (bis (2-methoxyether) ether), methyl triglyme (1,2-bis (2) -Methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldiglyme (bis (2-ethoxyethyl)) Ether), symmetric glycol diethers such as butyl diglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate , Et Glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol Acetates such as monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, Dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n -Butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol Examples include ethers such as monoethyl ether, and these can be used alone or in combination of two or more. The amount of the solvent in the present invention is preferably 10 to 400 parts by weight, more preferably 20 to 200 parts by weight, particularly preferably 40 parts by weight based on 100 parts by weight of the total components other than the solvent in the photosensitive resin composition. ~ 100 parts by weight. It is preferable to adjust the amount of the solvent within the above range since the viscosity and viscosity of the photosensitive resin composition can be adjusted within a range suitable for coating such as screen printing. When the solvent is less than the above range, the viscosity of the photosensitive resin composition becomes very high, coating becomes difficult, and foam entrainment during coating and leveling properties may be inferior. Moreover, when there are more solvents than the said range, the viscosity of the photosensitive resin composition will become very low, application | coating will become difficult and the circuit coverage may be inferior.

[回路基板]
本願発明におけるフレキシブルプリント配線板に使用される回路基板は例えば、ポリイミドなどのベースフィルムと銅箔とを張り合わせた銅貼積層板を用いて製造することができる。ベースフィルムと銅箔との張り合わせには接着剤を用いるものと接着剤を用いないものなどを選択することができ、接着剤を用いないものにはキャスト法、ラミネート法又はメタライズ法を選択することができる。その後、必要に応じてサブトラクト法(例えば、ビアホール加工工程、デスミア処理工程、ビアメッキ工程、エッチングレジスト形成工程、エッチング工程およびレジスト除去工程の順番に回路形成を行う方法)によって回路形成をすることができる。また、本願発明の回路基板の別の製造方法はセミアディティブ法(ポリイミドなどのベースフィルムにニッケルクロムなどのシード層を設け、銅のスパッタ層を設けた後電解銅メッキを施す。その後、エッチングレジスト形成工程、露光工程、現像工程、銅メッキ工程およびメッキレジスト除去工程の順に回路形成を行う方法)を選択することもできる。その後、回路基板上の銅箔を粗化処理した後に使用することができる。
[Circuit board]
The circuit board used for the flexible printed wiring board in this invention can be manufactured using the copper-laminated laminated board which bonded together base films, such as a polyimide, and copper foil, for example. For the bonding of the base film and copper foil, you can choose between those that use an adhesive and those that do not use an adhesive. For those that do not use an adhesive, choose the cast method, laminate method, or metallization method. Can do. Thereafter, a circuit can be formed by a subtracting method (for example, a method of forming a circuit in the order of a via hole processing step, a desmear treatment step, a via plating step, an etching resist formation step, an etching step, and a resist removal step) as necessary. . Another method of manufacturing the circuit board of the present invention is a semi-additive method (a base layer such as polyimide is provided with a seed layer such as nickel chrome, a copper sputter layer is provided, and then electrolytic copper plating is performed. It is also possible to select a method of forming a circuit in the order of the forming step, the exposing step, the developing step, the copper plating step, and the plating resist removing step. Thereafter, the copper foil on the circuit board can be used after roughening.

また、銅箔の粗化方法としては、バフ研磨、スクラブ研磨、又は、グラインダー研磨等の物理的研磨やマイクロエッチング剤を用いる化学的研磨等が挙げられる。特に微細パターンを有する基板の処理にはマイクロエッチングが好ましい。マイクロエッチング剤としては、硫酸・過酸化水素系を主成分とするエッチング剤、塩化鉄(III)や硫酸鉄(III)が主成分のエッチング剤、又は、有機酸系のエッチング剤等を用いることができる。このようなマイクロエッチング剤としては、メック株式会社製メックエッチボンドSTZ−3100、STL−3300、CZ−8100、CZ−8101、メックVボンドBO−7780V、BO−7790V、メックブライトCB−5004、CB−5530、SF−5420、CA−91Y,CB−801Y,CB−5602AYなどが挙げられる。   Moreover, as a roughening method of copper foil, physical grinding | polishing, such as buff grinding | polishing, scrub grinding | polishing, or grinder grinding | polishing, chemical grinding | polishing using a microetching agent, etc. are mentioned. In particular, microetching is preferable for processing a substrate having a fine pattern. As the micro-etching agent, an etching agent mainly composed of sulfuric acid / hydrogen peroxide, an etching agent mainly composed of iron (III) chloride or iron (III) sulfate, or an organic acid based etching agent is used. Can do. Examples of such a micro-etching agent include Mec Etch Bond STZ-3100, STL-3300, CZ-8100, CZ-8101, Mec V Bond BO-7780V, BO-7790V, Mec Bright CB-5004, CB manufactured by Mec Corporation. -5530, SF-5420, CA-91Y, CB-801Y, CB-5602AY, and the like.

さらに、前記回路基板の銅箔が防錆層及び/又は、有機又は無機プライマー層を有していてもよい。また、防錆層およびプライマー層の効果を同時に有するものも含まれる。このような防錆剤、プライマー処理剤としては、メック株式会社製メックエッチボンドCL−8300、CL−8301、メックブライトCAU−5232Cなどが挙げられる。防錆処理及びプライマー処理の方法としては回路基板を薬液に浸漬する方法やスプレーにて噴霧する方法などが挙げられる。   Furthermore, the copper foil of the circuit board may have a rust prevention layer and / or an organic or inorganic primer layer. Moreover, what has the effect of a rust prevention layer and a primer layer simultaneously is also contained. Examples of such a rust inhibitor and primer treatment agent include MEC Etch Bond CL-8300, CL-8301, and MEC BRIGHT CAU-5232C manufactured by MEC Co., Ltd. Examples of the rust prevention treatment and primer treatment include a method of immersing the circuit board in a chemical solution and a method of spraying with a spray.

[絶縁膜の形成方法]
また、本願発明における感光性樹脂組成物は、以下のようにして絶縁膜を形成することができる。先ず上記感光性樹脂組成物を前記回路基板上に塗布し、乾燥して溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、ローラーコーティング、カ−テンコーティング、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5μmから100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、現像液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく、この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ性水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミン等が挙げられ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も使用することができる。
[Method of forming insulating film]
Moreover, the photosensitive resin composition in this invention can form an insulating film as follows. First, the photosensitive resin composition is applied onto the circuit board and dried to remove the solvent. The substrate can be applied by screen printing, roller coating, curtain coating, spray coating, spin coating using a spinner, or the like. The coating film (preferably having a thickness of 5 μm to 100 μm) is dried at 120 ° C. or lower, preferably 40 to 100 ° C. After drying, a negative photomask is placed on the dried coating film and irradiated with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, and electron beams. Next, the pattern can be obtained by washing the unexposed portion with a developing solution using various methods such as shower, paddle, dipping or ultrasonic waves. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spray pressure and flow velocity of the developing device and the temperature of the developer, it is preferable to find the optimum device conditions as appropriate. As the developer, an aqueous alkali solution is preferably used. The developer is water-soluble such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, N-methyl-2-pyrrolidone and the like. An organic solvent may be contained. Examples of the alkaline compound that gives the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates, hydrogen carbonates, amine compounds, and the like of alkali metals, alkaline earth metals, or ammonium ions, specifically sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, ammonium bicarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N, N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropanolamine, trii Propylamine and the like, aqueous solution compound other than this as long as it exhibits basicity can also be used.

また、本願発明における感光性樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10重量%、特に好ましくは、0.05〜5重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は(A)感光性樹脂組成物の組成や、現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、20℃以上50℃以下で使用することが好ましい。   Moreover, the density | concentration of the alkaline compound which can be used suitably for the image development process of the photosensitive resin composition in this invention becomes like this. Preferably it is 0.01 to 10 weight%, Most preferably, it is 0.05 to 5 weight%. It is preferable. The temperature of the developer depends on the composition of the photosensitive resin composition (A) and the developer, and is generally 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, more generally 20 ° C. or higher and 50 ° C. or lower. It is preferable to use at a temperature of 0 ° C.

上記現像工程によって形成したパタ−ンは、リンスして不用な現像液残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The pattern formed by the development step is rinsed to remove unnecessary developer residue. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

次に、加熱硬化処理を行うことにより耐熱性および柔軟性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜は配線厚み等を考慮して決定されるが、厚みが2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化させることが望まれている。この時の加熱硬化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であることが望ましく、特に好ましくは130℃以上190℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進む場合がある。   Next, a cured film rich in heat resistance and flexibility can be obtained by performing heat curing treatment. Although a cured film is determined in consideration of wiring thickness etc., it is preferable that thickness is about 2-50 micrometers. The final curing temperature at this time is desired to be cured by heating at a low temperature for the purpose of preventing oxidation of the wiring and the like and not reducing the adhesion between the wiring and the substrate. The heat curing temperature at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. When the final heating temperature becomes high, the wiring may be oxidized and deteriorated.

このようにして絶縁膜が積層されたフレキシブルプリント配線基板はスイッチの接点、異方性導電膜(ACF)接続端子および部品実装などをするために金メッキ処理を施される。   In this way, the flexible printed wiring board on which the insulating films are laminated is subjected to gold plating in order to mount the switch contacts, anisotropic conductive film (ACF) connection terminals, and components.

[金メッキ処理工程]
本願発明における金メッキ処理工程は、少なくとも(I)脱脂処理、(II)エッチング処理、(III)触媒化処理、(IV)無電解ニッケルメッキ処理、及び(V)金メッキ処理から成り、一般的な湿式メッキである電解金メッキ又は無電解金メッキと呼ばれる処理工程であれば特に限定されない。
[Gold plating process]
The gold plating process in the present invention comprises at least (I) a degreasing process, (II) an etching process, (III) a catalytic process, (IV) an electroless nickel plating process, and (V) a gold plating process. There is no particular limitation as long as it is a processing step called electrolytic gold plating or electroless gold plating.

また、本願発明における(V)金メッキ処理で用いられる金メッキ薬液としては少なくとも、シアン化金カリウム、第二シアン化金カリウム、又は亜硫酸金ナトリウムなどの金塩、有機酸塩、硫酸塩、ホウ酸、リン酸塩、又はスルファミン酸などの緩衝剤、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、N’−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン−N,N,N’−三酢酸(HEDTA)、ニトリロ三酢酸(NTA),ジエチレントリアミン五酢酸(DTPA)、トリエチレンテトラミン六酢酸(TTHA)、又は水酸基エチリデンフォスフォン(HEDP)などの金属隠蔽剤、コバルト、ニッケル、銀、鉄、パラジウム、銅、タリウム、鉛、又はヒ素などの結晶調整剤から構成される。このような金メッキ薬液としては、例えば、奥野製薬工業株式会社製の商品名フラッシュゴールド2000、フラッシュゴールドVT、フラッシュゴールド330、フラッシュゴールドNC、無電ノーブルAU、セルフゴールドOTK−IT、上村工業株式会社製の商品名、コブライトTMX−22、コブライトTMX−23、コブライトTMX−40、コブライトTSB−71、コブライトTSB−72、コブライトTCU−37、コブライトTUC−38、コブライトTAM−LC、コブライトTCL−61、コブライトTIG−10、コブライトTAW−66、オーリカルTKK−51等を挙げることができる。   In addition, as the gold plating chemical used in the gold plating process (V) in the present invention, at least a gold salt such as potassium gold cyanide, potassium gold cyanide, or sodium gold sulfite, an organic acid salt, a sulfate, boric acid, Buffers such as phosphate or sulfamic acid, ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA), N ′-(2-hydroxyethyl) ethylenediamine-N, N, N′-triacetic acid (HEDTA), nitrilotriacetic acid (NTA), Metal concealing agents such as diethylenetriaminepentaacetic acid (DTPA), triethylenetetraminehexaacetic acid (TTHA), or hydroxyethylidenephosphone (HEDP), cobalt, nickel, silver, iron, palladium, copper, thallium, lead, arsenic, etc. Consists of a crystal modifier. Examples of such gold-plated chemicals include trade names Flash Gold 2000, Flash Gold VT, Flash Gold 330, Flash Gold NC, Denno Noble AU, Self Gold OTK-IT, and Uemura Kogyo Co., Ltd. Product names of Cobrite TMX-22, Cobrite TMX-23, Cobrite TMX-40, Cobrite TSB-71, Cobrite TSB-72, Cobrite TCU-37, Cobrite TUC-38, Cobrite TAM-LC, Cobrite TCL-61, Cobrite TIG-10, Cobrite TAW-66, orical TKK-51, etc. can be mentioned.

[加熱処理工程]
本願発明における金メッキ処理工程後の加熱処理工程は、金メッキ処理工程後の絶縁膜中の水分を除去する目的で実施され、絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たす範囲であれば特に限定されない。好ましい加熱温度範囲は50〜200℃、より好ましくは80〜170℃、好ましい加熱処理時間は10秒以上、より好ましくは15分以上であり、絶縁膜の特性を保持できる範囲において加熱温度と処理時間を適宜選択することができる。
[Heat treatment process]
The heat treatment step after the gold plating treatment step in the present invention is performed for the purpose of removing moisture in the insulating film after the gold plating treatment step, the breaking strength (E I ) before performing the gold plating treatment step of the insulating film, and the gold plating. There is no particular limitation as long as the breaking strength (E II ) after the heat treatment step after the treatment step satisfies the relationship of (E II ) / (E I )> 0.70. A preferable heating temperature range is 50 to 200 ° C., more preferably 80 to 170 ° C., a preferable heat treatment time is 10 seconds or more, more preferably 15 minutes or more, and the heating temperature and the treatment time are within a range in which the characteristics of the insulating film can be maintained. Can be appropriately selected.

その後、補強版を張り合わせる工程、打ち抜きなどの外形加工工程を経ることによってフレキシブルプリント配線板が製造される。   Then, a flexible printed wiring board is manufactured by passing through the process of sticking a reinforcement plate and external processing processes, such as punching.

[破断強度の測定方法]
本願発明における破断強度とは、材料が外力によって破断する際の応力の値を示し、断面単位面積にかかる応力として求めることができる。破断強度の測定方法は、例えば、島津製作所製引張り試験機(オートグラフ S−100−C)を使用し、ASTM−D882に準じで測定することができる。
[Measurement method of breaking strength]
The breaking strength in the present invention indicates the value of stress when the material breaks due to external force, and can be obtained as the stress applied to the cross-sectional unit area. The breaking strength can be measured, for example, using a tensile tester (Autograph S-100-C) manufactured by Shimadzu Corporation according to ASTM-D882.

以下本願発明を実施例により具体的に説明するが本願発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、還流管および窒素導入管を備えたセパラブルフラスコ中に、重合溶媒として1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン17.5gを仕込み、次いでノルボルネンジイソシアナート(分子量:206.4g)20.6gを仕込み80℃に加熱して溶解させた。この溶液にポリカーボネートジオール(旭化成株式会社製:商品名PCDL T5652、平均分子量2000)を50.0gおよびジメチロールブタン酸(分子量:148.2g)8.1gを1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン50.0gに溶解した溶液を1時間かけて添加した後、5時間加熱還流を行い、中間体を得た。その後、メタノール1gを添加し5時間攪拌を行い、重量平均分子量10,000の(A)バインダーポリマー50重量%の樹脂溶液を得た。
(Synthesis Example 1)
In a separable flask equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, a reflux tube and a nitrogen introduction tube, 17.5 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane was charged as a polymerization solvent, and then norbornene diisocyanate ( (Molecular weight: 206.4 g) 20.6 g was charged and dissolved by heating to 80 ° C. To this solution, 50.0 g of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation: trade name PCDL T5652, average molecular weight 2000) and 8.1 g of dimethylolbutanoic acid (molecular weight: 148.2 g) were added 1,2-bis (2-methoxyethoxy). ) A solution dissolved in 50.0 g of ethane was added over 1 hour, followed by heating under reflux for 5 hours to obtain an intermediate. Thereafter, 1 g of methanol was added and stirred for 5 hours to obtain a resin solution of 50% by weight of (A) binder polymer having a weight average molecular weight of 10,000.

(配合例1〜5)
(A)バインダーポリマー、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)熱硬化性樹脂及びその他の成分を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。混合溶液を3本ロールで混合した後、脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。
(Formulation examples 1-5)
A photosensitive resin composition was prepared by adding (A) a binder polymer, (B) a radical polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D) a thermosetting resin, and other components. Table 1 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. After mixing the mixed solution with three rolls, bubbles in the solution were completely defoamed with a defoaming apparatus, and the following evaluation was performed.

<1>日本化薬株式会社製 バインダーポリマー(ウレタン変性エポキシ(メタ)アクリレート、固形分酸価97.7mgKOH/g)の製品名
<2>日本化薬株式会社製 バインダーポリマー(ビスフェノールF型エポキシアクリレート、固形分酸価100mgKOH/g)の製品名
<3>日立化成工業株式会社製 ラジカル重合性化合物(EO変性ビスフェノールAジメタクリレート)の製品名
<4>日本化薬株式会社製 ラジカル重合性化合物(ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート)の商品名
<5>BASFジャパン社製 光重合開始剤の製品名
<6>ジャパンエポキシレジン株式会社製 ビスフェノールA型のエポキシ樹脂(エポキシ当量188g/eq)の製品名
<7>ジャパンエポキシレジン株式会社製 p−アミノフェノール型エポキシ樹脂(エポキシ等量96g/eq)の製品名
<8>日産化学工業株式会社製 フィラー(メラミン樹脂・シリカ複合粒子、平均粒子径6.5μm)の製品名
<9>クラリアントジャパン株式会社製 フィラー(ジエチルホスフィン酸アルミニウム塩、平均粒子径2.5μm)の製品名
<10>ジャパンエポキシレジン株式会社製 エポキシ硬化剤(ジシアンジアミド)の製品名
<11>日本アエロジル株式会社製 無水シリカの製品名
<1> Nippon Kayaku Co., Ltd. Binder polymer (urethane-modified epoxy (meth) acrylate, solid content acid value 97.7 mgKOH / g) product name <2> Nippon Kayaku Co., Ltd. binder polymer (bisphenol F type epoxy acrylate) Product name of solid content acid value 100 mgKOH / g) <3> product name of radically polymerizable compound (EO-modified bisphenol A dimethacrylate) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. <4> product of radically polymerizable compound manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. ( Product name <5> Product name of photopolymerization initiator manufactured by BASF Japan <6> Product name of bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent 188 g / eq) manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. <7> Japan Epoxy Resin Co., Ltd. p-aminophen Product name <8> product name of enol type epoxy resin (epoxy equivalent 96g / eq) <8> Product name of filler (melamine resin / silica composite particles, average particle size 6.5 μm) <9> Clariant Japan Co., Ltd. Product name of filler (aluminum diethylphosphinate, average particle diameter 2.5 μm) <10> Product name of epoxy curing agent (dicyandiamide) manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Product name of anhydrous silica manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.

また、感光性樹脂組成物の感光性等の評価は以下の方法で別途行った。評価結果を表2に記載する。   Moreover, evaluation of the photosensitivity etc. of the photosensitive resin composition was separately performed by the following method. The evaluation results are shown in Table 2.

<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>
上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、75μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名75NPI)に最終乾燥厚みが25μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、50mm×50mmの面積のライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で60秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、160℃のオーブン中で90分加熱硬化させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。
<Preparation of cured film on polyimide film>
The above photosensitive resin composition was cast and applied to an area of 100 mm × 100 mm on a 75 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Corporation: trade name 75 NPI) using a Baker type applicator so that the final dry thickness was 25 μm. After drying at 80 ° C. for 20 minutes, a negative photomask with a line width / space width of 50 mm × 50 mm = 100 μm / 100 μm was placed and irradiated with ultraviolet rays with an integrated exposure amount of 300 mJ / cm 2 to be exposed. Subsequently, spray development was performed for 60 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was sufficiently washed with pure water, and then cured by heating in an oven at 160 ° C. for 90 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition.

(i)感光性
感光性樹脂組成物の感光性の評価は、上記<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>の項目で得られた硬化膜の表面観察を行い判定した。
〇:ポリイミドフィルム表面にくっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けており、ライン部の剥離に伴うラインの揺れが発生しておらず、スペース部にも溶解残りが無いもの。
△:ポリイミドフィルム表面にくっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていないもの(ライン幅の線太りがあるもの)。
×:ポリイミドフィルム表面にライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けておらず、溶解残りが発生しているもの。
(I) Photosensitivity The photosensitivity of the photosensitive resin composition was determined by observing the surface of the cured film obtained in the above item <Preparation of cured film on polyimide film>.
◯: A clear photosensitive pattern with a line width / space width = 100/100 μm is drawn on the polyimide film surface, the line does not shake due to the peeling of the line portion, and there is no residual residue in the space portion. thing.
(Triangle | delta): The thing with which the clear line width / space width = 100/100 micrometer photosensitive pattern was not drawn on the polyimide film surface (those with the line width of line width).
X: A photosensitive pattern of line width / space width = 100/100 μm is not drawn on the surface of the polyimide film, and a dissolution residue is generated.

(ii)耐溶剤性
上記<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>の項目で得られた硬化膜の耐溶剤性の評価を行った。評価方法は25℃のメチルエチルケトン中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。
(Ii) Solvent resistance The solvent resistance of the cured film obtained in the above item <Preparation of cured film on polyimide film> was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in methyl ethyl ketone at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality such as swelling or peeling occurs in the coating film.

(iii)耐折れ性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。硬化膜積層フィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで180°に10回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの。
△:硬化膜に若干クラックがあるもの。
×:硬化膜にクラックがあるもの。
(Iii) Folding resistance The cured film of the photosensitive resin composition is laminated on the surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. A film was prepared. The cured film laminated film was cut into a 30 mm × 10 mm strip, bent 10 times at 180 ° at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to check for cracks.
○: The cured film has no cracks.
Δ: The cured film has some cracks.
X: The cured film has cracks.

(iv)反り
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。作製した硬化膜積層フィルムを5cm四方に加工し、四隅の反り高さを測定する。フィルムの反り量を測定している模式図を図1に示す。
○:反り高さの平均が10mm未満のもの。
△:反り高さの平均が10mm以上20mm未満もの。
×:反り高さの平均が20mm以上。
(Iv) Warpage A cured film laminated film of a photosensitive resin composition was applied to the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation) in the same manner as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. Produced. The produced cured film laminated film is processed into a 5 cm square, and the warp heights at the four corners are measured. A schematic diagram of measuring the amount of warpage of the film is shown in FIG.
○: The average warp height is less than 10 mm.
Δ: The average warp height is 10 mm or more and less than 20 mm.
X: The average of the warp height is 20 mm or more.

(v)絶縁信頼性
フレキシブル銅貼り積層板(銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、上記<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>方法と同様の方法で櫛形パターン上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の調整を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。
○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。
×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。
(V) Insulation reliability Line width / space width = 100 μm on a flexible copper-clad laminate (copper foil thickness 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Corporation, and copper foil is bonded with polyimide adhesive) A / 100 μm comb-shaped pattern was prepared, immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, washed with pure water, and subjected to a copper foil surface treatment. Thereafter, a cured film of the photosensitive resin composition was prepared on the comb pattern by the same method as the above <Preparation of cured film on polyimide film>, and the test piece was adjusted. A 100 V direct current was applied to both terminals of the test piece in an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and occurrence of migration were observed.
○: A resistance value of 10 8 or more in 1000 hours after the start of the test, and no occurrence of migration or dendrite.
X: Migration, dendrite, etc. occurred in 1000 hours after the start of the test.

(vi)プレス耐性
上記<ポリイミドフィルム上への塗膜の作製>の項目と同様の方法で、35μm厚みの銅箔表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。但し、露光は、100μm角の四角開口マスクを使用し、300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。その後、上記で作製した感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを熱プレスにて165℃/90minで加熱加圧し、四角開口部の変形量を測定した。
○:熱プレス後に90μm以上開口しているもの。
△:熱プレス後に80〜90μm開口しているもの。
×:熱プレス後に80μ以下しか開口していないもの。
また、水準2は開口せず試験を行うことができなかった。
(Vi) Press resistance A cured film laminated film of a photosensitive resin composition was prepared on the surface of a 35-μm-thick copper foil by the same method as in the above item <Preparation of coating film on polyimide film>. However, the exposure was performed by using a 100 μm square opening mask and irradiating with an ultraviolet ray with an integrated exposure amount of 300 mJ / cm 2 . Then, the cured film laminated film of the photosensitive resin composition produced above was heated and pressurized at 165 ° C./90 min with a hot press, and the deformation amount of the square opening was measured.
○: Opened by 90 μm or more after hot pressing.
(Triangle | delta): 80-90 micrometers opening after hot press.
X: Opening of 80 μm or less after hot pressing.
Further, level 2 was not opened and the test could not be performed.

(vii)半田耐熱性
上記<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル75NPI)表面に感光性樹脂組成物の硬化膜積層フィルムを作製した。但し、露光は、ネガ型マスクを使用せず全面に300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。
上記硬化膜を260℃で完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が塗工してある面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
○:碁盤目テープ法で剥がれの無いもの。
△:升目の95%以上が残存しているもの。
×:升目の残存量が80%未満のもの。
(Vii) Solder heat resistance In the same manner as in the above item <Preparation of cured film on polyimide film>, a cured film of a photosensitive resin composition is laminated on the surface of a polyimide film 75 μm thick (Apical 75NPI manufactured by Kaneka Corporation). A film was prepared. However, the exposure was performed by irradiating the entire surface with ultraviolet rays having an accumulated exposure amount of 300 mJ / cm 2 without using a negative mask.
The cured film was floated so that the surface coated with the cured film of the photosensitive resin composition was in contact with a solder bath in which the cured film was completely dissolved at 260 ° C., and then pulled up 10 seconds later. The operation was performed three times, and the adhesive strength of the cured film was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
○: No peeling by cross-cut tape method.
Δ: 95% or more of the cells remain.
X: The remaining amount of the mesh is less than 80%.

<絶縁膜付き銅箔の作製方法>
配合例1〜5の感光性樹脂組成物をベーカー式アプリケーターを用いて、銅箔(三井金属鉱業製特殊電解銅箔3EC−VLP、厚み35μm、粗度0.2μm)に最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、50mm×50mmの面積のライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で60秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、160℃のオーブン中で90分加熱硬化させて絶縁膜付き銅箔を作製した。
<Method for producing copper foil with insulating film>
Using a baker type applicator, the photosensitive resin compositions of Formulation Examples 1 to 5 were made into copper foil (Mitsui Metal Mining Special Electrolytic Copper Foil 3EC-VLP, thickness 35 μm, roughness 0.2 μm) with a final dry thickness of 20 μm. After casting and coating to an area of 100 mm × 100 mm and drying at 80 ° C. for 20 minutes, a negative photomask of 50 mm × 50 mm area line width / space width = 100 μm / 100 μm is placed and 300 mJ / cm Exposure was performed by irradiating with an ultraviolet ray of 2 accumulated exposure amount. Subsequently, spray development was performed for 60 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the substrate was thoroughly washed with pure water and then heat-cured in an oven at 160 ° C. for 90 minutes to produce a copper foil with an insulating film.

<無電解金メッキ後のテープ剥離評価方法>
上記で作製した絶縁膜付き銅箔を用いて下記に従い無電解金メッキ処理を実施した。無電解金メッキ処理工程は、奥野製薬株式会社無電解金メッキ フラッシュゴールド330の標準工程に従い下記のように行った。
(I)脱脂処理、ICPクリーンS−135K、40℃、4分
(II)エッチング処理、硫酸10mL/L、過流酸ナトリウム100g/L、硫酸銅・五水和物、8g/L、イオン交換水にて1Lに調製、30℃、1分
(III)触媒化処理、ICPアクセラ(Pd:0.04%)、30℃、1分
(IV)無電解ニッケルメッキ処理、ICP−ニコロンーFPF、84℃、30分
(V)金メッキ処理、フラッシュゴールド330、80℃、8分。
無電解金メッキ処理後、室温にて水洗を行い、80℃で15分、100℃で10秒および150℃で30分の条件で加熱処理を行った。また、水洗後、絶縁膜付き銅箔の表面の水分を拭き取ったものを加熱処理工程無し(未処理)とし、テープ剥離試験は金メッキ処理後30分以内に実施した。
<Tape peeling evaluation method after electroless gold plating>
An electroless gold plating process was performed according to the following using the copper foil with an insulating film produced above. The electroless gold plating process was performed as follows according to the standard process of Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. electroless gold plating Flash Gold 330.
(I) Degreasing treatment, ICP Clean S-135K, 40 ° C., 4 minutes (II) Etching treatment, sulfuric acid 10 mL / L, sodium persulfate 100 g / L, copper sulfate pentahydrate, 8 g / L, ion exchange Prepared to 1 L with water, 30 ° C., 1 minute (III) catalyzed treatment, ICP accelerator (Pd: 0.04%), 30 ° C., 1 minute (IV) electroless nickel plating treatment, ICP-Nicolon FPF, 84 ℃, 30 minutes (V) gold plating treatment, flash gold 330, 80 ℃, 8 minutes.
After the electroless gold plating treatment, the substrate was washed with water at room temperature, and heat treatment was performed at 80 ° C. for 15 minutes, at 100 ° C. for 10 seconds, and at 150 ° C. for 30 minutes. Moreover, after water washing, what wiped off the water | moisture content of the copper foil with an insulating film was made into the heat processing process without (unprocessed), and the tape peeling test was implemented within 30 minutes after the gold plating process.

(viii)テープ剥離試験
図2に示すように、テープ剥離試験はライン/スペース感光パターンにニチバン製セロハンテープ(18mm幅)をライン/スペース方向に対し直角になるように張り合わせ、しっかりとこすってスペース部分に空気が入り込まないように貼り付ける。その後、図3に示すように引きはがし方向約60°で剥離試験を行った。この結果を表3に示す。
○:テープ剥離の無いもの。
△:テープ剥離が一部発生し、細線パターン残りが80%のもの。
×:テープ剥離が発生し、細線パターン残りが80%未満のもの。
(Viii) Tape peel test As shown in FIG. 2, the tape peel test is performed by attaching a Nichiban cellophane tape (18 mm width) to the line / space photosensitive pattern so as to be perpendicular to the line / space direction, and rubbing firmly. Paste so that air does not get into the part. Thereafter, as shown in FIG. 3, a peel test was performed at a peeling direction of about 60 °. The results are shown in Table 3.
○: No tape peeling.
Δ: Some tape peeling occurred and the remaining fine line pattern was 80%.
X: Tape peeling occurred and the thin line pattern remaining was less than 80%.

<破断強度の測定>
上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、12.5μmの銅箔上に最終乾燥厚みが8μmになるように250mm×200mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した後、300mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で60秒スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、160℃のオーブン中で90分加熱硬化させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。その硬化膜を30℃の塩化第二鉄水溶液(40%)に浸漬し銅箔のみを溶解させた後、十分に水洗し表面の水分を拭き取った後、単層の硬化膜を得た。
<Measurement of breaking strength>
The photosensitive resin composition was cast and applied to a 250 mm × 200 mm area on a 12.5 μm copper foil using a Baker applicator so that the final dry thickness was 8 μm, and dried at 80 ° C. for 20 minutes. Then, exposure was performed by irradiating with an ultraviolet ray having an accumulated exposure amount of 300 mJ / cm 2 . Subsequently, spray development was performed for 60 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 1.0 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was sufficiently washed with pure water, and then cured by heating in an oven at 160 ° C. for 90 minutes to prepare a cured film of the photosensitive resin composition. The cured film was immersed in an aqueous ferric chloride solution (40%) at 30 ° C. to dissolve only the copper foil, and then sufficiently washed with water to wipe off the moisture on the surface, thereby obtaining a single-layer cured film.

得られた単層の硬化膜を25℃、50%RHに一昼夜放置したのち島津製作所製引張り試験機(オートグラフ S−100−C)を使用し、ASTM−D882に従い破断強度の測定を行った。試験片の幅15mm、厚さ8μm、チャック間距離100mm、全長200mm。測定値のN=5の平均値を破断強度の値に用いた。   The obtained single-layer cured film was left to stand at 25 ° C. and 50% RH for 24 hours, and then the tensile strength was measured according to ASTM-D882 using a Shimadzu tensile tester (Autograph S-100-C). . The width of the test piece is 15 mm, the thickness is 8 μm, the distance between chucks is 100 mm, and the total length is 200 mm. The average value of N = 5 of measured values was used as the value of breaking strength.

また、単層の硬化膜を上記無電解金メッキ処理工程にて処理した後、加熱処理工程無し(未処理)、80℃で15分、100℃で10秒および150℃で30分の条件で加熱処理を行ったものについても同様に破断強度の測定を行った。加熱処理工程無し(未処理)のものの破断強度を(EIII)、80℃で15分、100℃で10秒および150℃で30分の条件で加熱処理を行ったものの破断強度をそれぞれ(EII1)、(EII2)および(EII3)と示す。
この結果と破断強度の関係(比)を表4に示す。
In addition, after the single layer cured film is processed in the electroless gold plating process, it is heated at 80 ° C. for 15 minutes, at 100 ° C. for 10 seconds and at 150 ° C. for 30 minutes without the heat treatment process. The break strength was measured in the same manner for the treated sample. The breaking strengths of those without heat treatment step (untreated) are (E III ), and the breaking strengths of those subjected to heat treatment at 80 ° C. for 15 minutes, 100 ° C. for 10 seconds and 150 ° C. for 30 minutes are (E II 1), (E II 2) and (E II 3).
Table 4 shows the relationship (ratio) between the results and the breaking strength.

1 感光性樹脂組成物を積層したポリイミドフィルム
2 反り量
3 平滑な台
4 銅箔
5 絶縁膜(ライン部分)
6 セロハンテープ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film which laminated the photosensitive resin composition 2 Warpage amount 3 Smooth stand 4 Copper foil 5 Insulating film (line part)
6 Cellophane tape

Claims (2)

絶縁膜が銅箔上に積層されたフレキシブルプリント配線板の製造方法であって、前記製造方法が金メッキ処理工程および金メッキ処理工程後に加熱処理工程を含み、前記絶縁膜の金メッキ処理工程を行う前の破断強度(EI)と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行った後の破断強度(EII)とが、(EII)/(EI)>0.70の関係を満たし、かつ、
前記絶縁膜の金メッキ処理を行う前の破断強度(E I )と、金メッキ処理工程後に加熱処理工程を行う前の破断強度(E III )とが、(E III )/(E I )>0.50の関係を満たすことを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法。
A method for manufacturing a flexible printed wiring board in which an insulating film is laminated on a copper foil, wherein the manufacturing method includes a gold plating treatment step and a heat treatment step after the gold plating treatment step, and before performing the gold plating treatment step of the insulation film and the breaking strength (E I), the breaking strength after the heat treatment step after the gold plating step and (E II) but meets the relationship (E II) / (E I )> 0.70, and,
The breaking strength (E I ) before the gold plating treatment of the insulating film and the breaking strength (E III ) before the heat treatment step after the gold plating treatment step are (E III ) / (E I )> 0. method of manufacturing a flexible printed wiring board, characterized in Succoth meet the 50 relationships.
前記絶縁膜が、少なくとも(A)バインダーポリマー 、(B)ラジカル重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)熱硬化性樹脂を含む感光性樹脂組成物から得られることを特徴とする請求項1記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。 The insulating film is obtained from a photosensitive resin composition containing at least (A) a binder polymer, (B) a radical polymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a thermosetting resin. The manufacturing method of the flexible printed wiring board of Claim 1 to do .
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