JP6764680B2 - A novel photosensitive resin composition and its manufacturing method, and a flexible printed wiring board using it and its manufacturing method - Google Patents

A novel photosensitive resin composition and its manufacturing method, and a flexible printed wiring board using it and its manufacturing method Download PDF

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本願発明は、感光性樹脂組成物とその製造方法および感光性樹脂組成物硬化膜を用いたフレキシブルプリント配線基板とその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a photosensitive resin composition and a method for producing the same, and a flexible printed wiring board using a cured film of the photosensitive resin composition and a method for producing the same.

一般的に携帯電話やデジタルカメラなどの小型機器等に搭載されるフィルム状のプリント配線基板(以下、フレキシブルプリント配線基板と略記する。)は、(1)銅貼積層板の回路形成工程、(2)カバーレイ及びカバーコートによる回路基板の保護工程、(3)銅箔露出部や部品実装部分に金メッキ処理などを行う表面処理工程、(4)補強版を張り合わせる工程、(5)打ち抜きなどの外形加工工程を経ることによって製造される。その後、用途に応じて(6)銅箔露出部や部品実装部分に様々な表面処理工程が選択され、スイッチの接点や異方性導電膜(ACF)接続端子を有するフレキシブルプリント配線基板には金メッキ処理が施され、高密度実装を行うフレキシブルプリント配線基板においては金メッキ処理や防錆(OSP)処理が施される。 Generally, a film-shaped printed wiring board (hereinafter abbreviated as a flexible printed wiring board) mounted on a small device such as a mobile phone or a digital camera is described in (1) a circuit forming process of a copper-clad laminate, (1). 2) Circuit board protection process with coverlay and cover coat, (3) Surface treatment process for copper foil exposed part and component mounting part, (4) Reinforcing plate bonding process, (5) Punching, etc. Manufactured by going through the outer shape processing process of. After that, various surface treatment steps are selected for (6) copper foil exposed parts and component mounting parts according to the application, and gold-plated flexible printed wiring boards having switch contacts and anisotropic conductive film (ACF) connection terminals. The flexible printed wiring board that is treated and mounted at high density is subjected to gold plating treatment and rust prevention (OSP) treatment.

特に、前記(2)の工程では、回路基板上に絶縁性、耐熱性、耐溶剤性、難燃性などに優れる感光性樹脂組成物をフィルム状で貼り付けまたは液状で塗布し、感光性樹脂組成物の皮膜を形成した後、写真技術により露光、現像、加熱を行うことで、微細なパターン(絶縁膜)を容易に形成し、回路基板の保護を行う。 In particular, in the step (2) above, a photosensitive resin composition having excellent insulation, heat resistance, solvent resistance, flame retardancy, etc. is attached on a circuit board in the form of a film or applied in a liquid form to obtain a photosensitive resin. After forming the film of the composition, it is exposed, developed, and heated by photographic technology to easily form a fine pattern (insulating film) and protect the circuit board.

カバーレイとしてはポリイミドフィルム等に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムが用いられてきた。このカバーレイフィルムをフレキシブル回路基板上に接着する場合、回路の端子部や部品との接合部に予めパンチングなどの方法により開口部を設け、位置合わせをした後に熱プレス等で熱圧着する方法が一般的であるが、薄いカバーレイフィルムに高精度な開口部を設けることは困難である。また、張り合わせ時の位置合わせは手作業で行われる場合が多いため作業性や位置精度も悪く、不要部分までカバーレイフィルムが貼り付けられるために廃棄部分が多くコストにも問題を抱えている。一方、コストに有利なカバーコートとしてはソルダーレジスト等が用いられ、スクリーン印刷などを利用して直接パターン形成する熱硬化性ソルダーレジストや、特に微細な加工が必要な場合は、感光性機能を有するソルダーレジストが好ましく用いられている。 As the coverlay, a coverlay film obtained by applying an adhesive to a polyimide film or the like has been used. When this coverlay film is adhered to a flexible circuit board, an opening is provided in advance at the terminal portion of the circuit or the joint portion with the component by a method such as punching, and after alignment, thermocompression bonding is performed by a hot press or the like. Although it is common, it is difficult to provide a highly accurate opening in a thin coverlay film. In addition, since the alignment at the time of bonding is often performed manually, workability and position accuracy are poor, and since the coverlay film is attached to unnecessary parts, there are many discarded parts and there is a problem in cost. On the other hand, a solder resist or the like is used as a cover coat that is advantageous in terms of cost, and has a thermosetting solder resist that directly forms a pattern by screen printing or the like, or has a photosensitive function especially when fine processing is required. Solder resist is preferably used.

近年、電子機器の小型化、薄型化が進むことでプリント配線板はより高精細で複雑になり、更には省スペース化に対応するため厳しい折り曲げに耐えることや、組み込み時に反発しないような低反発性なども重要な特性として求められるようになってきた。そこで、リフロー後の折曲性を改善する目的で、バインダーポリマーとしてフェノールノボラック骨格を有するカルボキシル基含有樹脂とウレタン結合を有するカルボキシル基含有樹脂を使用した硬化性樹脂組成物(例えば、特許文献1)、PCT耐性、HAST耐性、無電解金メッキ耐性、熱衝撃耐性を確保すると同時に柔軟性を確保する目的で、フィラー、イオン吸着剤、及びコアシェル粒子型エラストマーまたはシリコンエラストマーを含む半導体用感光性樹脂組成物(例えば、特許文献2)、部品実装時の反り、反発性、タック性および作業性を確保する目的で多価アルコールとジイソシアネート化合物とラクトン化合物と水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物との反応生成物を含有する感光性樹脂組成物(例えば、特許文献3)、シロキサン骨格のポリイミドを利用した感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルム(例えば、特許文献4)などが検討されている。 In recent years, as electronic devices have become smaller and thinner, printed wiring boards have become more sophisticated and complex, and in order to save space, they can withstand severe bending and have low resilience so that they do not repel when assembled. Gender is also required as an important characteristic. Therefore, for the purpose of improving the bendability after reflow, a curable resin composition using a carboxyl group-containing resin having a phenol novolac skeleton and a carboxyl group-containing resin having a urethane bond as a binder polymer (for example, Patent Document 1). , PCT resistance, HAST resistance, electrolytic gold plating resistance, thermal shock resistance, and a photosensitive resin composition for semiconductors containing a filler, an ion adsorbent, and a core-shell particle type elastomer or a silicon elastomer for the purpose of ensuring flexibility at the same time. (For example, Patent Document 2), a reaction product of a polyhydric alcohol, a diisocyanate compound, a lactone compound, and a (meth) acrylate compound having a hydroxyl group for the purpose of ensuring warpage, resilience, tackiness, and workability during component mounting. A photosensitive resin composition containing (for example, Patent Document 3), a photosensitive resin composition using a polyimide having a siloxane skeleton, and a photosensitive dry film (for example, Patent Document 4) have been studied.

特開2015−199907(太陽インキ製造株式会社)JP 2015-199907 (Solar Ink Mfg. Co., Ltd.) 特開2015−49517(ケーシーシーコーポレーション)JP-A-2015-49517 (Casey Corporation) 特開2014−59339(日立化成株式会社)JP-A-2014-59339 (Hitachi Chemical Co., Ltd.) 特開2009−25699(カネカ)JP-A-2009-25699 (Kaneka)

しかしながら、特に感光性ソルダーレジストにおいては、露光による光硬化反応と絶縁信頼性に影響を与える現像性基を潰すための熱硬化反応の二種類の硬化反応を経て絶縁膜を形成する。二種類の硬化反応を用いるために硬化収縮は大きくなりやすく、特許文献1〜3の感光性樹脂組成物は、最近のより薄いフレキシブルプリント配線基板上に絶縁膜を形成した場合には反り改善に対しては不十分である。さらに、熱硬化反応後に反りが小さいものであっても、後の実装工程においては反りが問題となることがある。例えば、異方導電フィルム(以下、ACFと略記する。)との熱プレス圧着やハンダリフロー工程において、フレキシブルプリント配線基板がソルダーレジストの熱硬化工程よりも高い温度で処理された場合には、絶縁膜中の僅かな未反応残基の反応や度重なる薬液処理によってダメージを受けた塗膜の表層と内層との硬化状態に差が生じることによって、反りが大きく顕在化する場合がほとんどであった。また、特許文献4のように組成物中にシリーコーンやシロキサン骨格を有する原料を含有する場合は実装工程を経ても反りが小さいが、補強版やシールド材などとの密着性が不十分であり、さらには低分子量成分のブリードによる工程汚染などの問題によって実用するには課題が多い。 However, especially in photosensitive solder resists, an insulating film is formed through two types of curing reactions: a photocuring reaction by exposure and a thermosetting reaction for crushing a developable group that affects insulation reliability. Since two types of curing reactions are used, the curing shrinkage tends to be large, and the photosensitive resin compositions of Patent Documents 1 to 3 can improve warpage when an insulating film is formed on a recent thinner flexible printed wiring board. On the other hand, it is insufficient. Further, even if the warp is small after the thermosetting reaction, the warp may become a problem in the subsequent mounting process. For example, in a hot press crimping process with an anisotropic conductive film (hereinafter abbreviated as ACF) or a solder reflow process, when the flexible printed wiring board is treated at a temperature higher than that of the solder resist thermosetting process, it is insulated. In most cases, the warpage became large and manifested due to the difference in the cured state between the surface layer and the inner layer of the coating film damaged by the reaction of a small amount of unreacted residues in the film and repeated chemical treatment. .. Further, when a raw material having a series cone or a siloxane skeleton is contained in the composition as in Patent Document 4, the warp is small even after the mounting process, but the adhesion to the reinforcing plate or the shielding material is insufficient. Furthermore, there are many problems for practical use due to problems such as process contamination due to bleeding of low molecular weight components.

上記問題を鑑み、回路保護膜としての絶縁性、密着性などの特性を保持できるだけでなく、熱硬化反応および後の実装工程においても耐折れ性、低反り、低反発性に優れた感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜付きフレキシブルプリント配線基板およびそれらの製造方法を提供することを課題とする。 In view of the above problems, a photosensitive resin that not only retains properties such as insulation and adhesion as a circuit protection film, but also has excellent breakage resistance, low warpage, and low resilience in the thermosetting reaction and the subsequent mounting process. An object of the present invention is to provide a composition, a cured film, a flexible printed wiring board with a cured film, and a method for producing the same.

本願発明者らは、(A)ベースバインダーポリマー、(B)絶縁膜改質用組成物、(C)光重合開始剤、(D)溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)ベースバインダーポリマーが、(a1)分子中に一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物と
(a2)分子中に一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物の二種類の化合物を含み、
さらに前記(B)絶縁膜改質用組成物が体積平均粒子径の異なる二種類以上の粒子を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物の構成をとることによって、回路保護膜としての絶縁性、密着性などの特性を保持できるだけでなく、熱硬化反応および後の実装工程においても耐折れ性、低反り、低反発性に優れることを見出した。
The inventors of the present application are photosensitive resin compositions containing (A) a base binder polymer, (B) a composition for modifying an insulating film, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent.
The (A) base binder polymer is selected from (a1) one or more active energy ray reactive groups in the molecule and an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond. A compound having more than one kind of structure and (a2) one or more carboxyl groups in the molecule and one or more kinds of structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. Includes two types of compounds with
Further, by adopting the constitution of the photosensitive resin composition characterized in that the composition for modifying the insulating film (B) contains two or more kinds of particles having different volume average particle diameters, the insulating property as a circuit protective film is obtained. It has been found that it not only retains properties such as adhesion, but also has excellent breakage resistance, low warpage, and low resilience in the thermosetting reaction and the subsequent mounting process.

すなわち、本願発明は(A)ベースバインダーポリマー、(B)絶縁膜改質用組成物、(C)光重合開始剤、(D)溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)ベースバインダーポリマーが、(a1)分子中に一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物と
(a2)分子中に一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物の二種類の化合物を含み、
さらに前記(B)絶縁膜改質用組成物が体積平均粒子径の異なる二種類以上の粒子を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。
That is, the present invention is a photosensitive resin composition containing (A) a base binder polymer, (B) a composition for modifying an insulating film, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent.
The (A) base binder polymer is selected from (a1) one or more active energy ray reactive groups in the molecule and an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond. A compound having more than one kind of structure and (a2) one or more carboxyl groups in the molecule and one or more kinds of structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. Includes two types of compounds with
Further, the composition for modifying the insulating film (B) is a photosensitive resin composition characterized by containing two or more kinds of particles having different volume average particle diameters.

また、前記(B)絶縁膜改質用組成物が、体積平均粒子径1μm未満の有機ポリマー粒子(b1)と体積平均粒子径1μm以上の有機ポリマー粒子(b2)とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であることが好ましい。 Further, the composition for modifying the insulating film (B) is characterized by containing organic polymer particles (b1) having a volume average particle diameter of less than 1 μm and organic polymer particles (b2) having a volume average particle diameter of 1 μm or more. It is preferably a photosensitive resin composition.

また、前記(B)絶縁膜改質用組成物中の有機ポリマー粒子が、コアシェルポリマー粒子、有機−無機複合化粒子、有機粒子および架橋ポリマー粒子から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする絶縁性樹脂組成物であることが好ましい。 Further, the organic polymer particles in the composition for modifying the insulating film (B) are at least one selected from core-shell polymer particles, organic-inorganic composite particles, organic particles and crosslinked polymer particles. It is preferably an insulating resin composition.

また、前記(B)絶縁膜改質用組成物が少なくとも有機ポリマー粒子および分散溶媒および/または分散媒になり得る化合物を含み、有機ポリマー粒子成分の70%以上が1次粒子の状態で分散していることを特徴とする感光性樹脂組成物であることが好ましい。 Further, the composition for modifying the insulating film (B) contains at least organic polymer particles and a compound that can be a dispersion solvent and / or a dispersion medium, and 70% or more of the organic polymer particle components are dispersed in the state of primary particles. It is preferable that the photosensitive resin composition is characterized by the above.

また、前記感光性樹脂組成物が、更に(E)着色剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物であることが好ましい。 Further, it is preferable that the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition further containing (E) a colorant.

また、前記感光性樹脂組成物が、更に(F)リン元素を含むフィラーを含有することを特徴する感光性樹脂組成物であることが好ましい。 Further, it is preferable that the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition characterized by further containing a filler containing the phosphorus element (F).

また、本願発明は、感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜に関する。 The present invention also relates to a cured film which is a cured product of a photosensitive resin composition.

また、本願発明は、感光性樹脂組成物を光および熱の少なくとも何れかの活性エネルギー線により硬化させることを特徴とする硬化膜の製造方法に関する。 The present invention also relates to a method for producing a cured film, which comprises curing a photosensitive resin composition with at least one of light and heat active energy rays.

また、本願発明は、前記硬化膜を有するフレキシブルプリント配線基板に関する。 The present invention also relates to a flexible printed wiring board having the cured film.

また、本願発明は、感光性樹脂組成物を絶縁膜として形成することを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法に関する。 The present invention also relates to a method for manufacturing a flexible printed wiring board, which comprises forming a photosensitive resin composition as an insulating film.

本願発明により、回路保護膜としての絶縁性、密着性などの特性を保持できるだけでなく、熱硬化反応および後の実装工程においても耐折れ性、低反り、低反発性に優れた硬化膜、絶縁膜付きポリイミドおよび絶縁膜付きフレキシブルプリント配線基板を提供することができるものである。 According to the present invention, not only can the characteristics such as insulation and adhesion as a circuit protective film be maintained, but also the cured film and insulation having excellent breakage resistance, low warpage, and low resilience in the thermosetting reaction and the subsequent mounting process. It is possible to provide a polyimide with a film and a flexible printed wiring board with an insulating film.

フィルムの反り量を測定している模式図である。It is a schematic diagram which measures the amount of warpage of a film.

本願発明は、(A)ベースバインダーポリマー、(B)絶縁膜改質用組成物、(C)光重合開始剤、(D)溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)ベースバインダーポリマーが、(a1)分子中に一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物と
(a2)分子中に一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物の二種類の化合物を含み、
さらに前記(B)絶縁膜改質用組成物が体積平均粒子径の異なる二種類以上の粒子を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。
本願発明の感光性樹脂組成物は各種特性に優れることを本発明者らは見出したが、これは以下の理由によるものではないかと推測している。
The present invention is a photosensitive resin composition containing (A) a base binder polymer, (B) a composition for modifying an insulating film, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent.
The (A) base binder polymer is selected from (a1) one or more active energy ray reactive groups in the molecule and an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond. A compound having more than one kind of structure and (a2) one or more carboxyl groups in the molecule and one or more kinds of structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. Includes two types of compounds with
Further, the composition for modifying the insulating film (B) is a photosensitive resin composition characterized by containing two or more kinds of particles having different volume average particle diameters.
The present inventors have found that the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in various properties, but it is speculated that this may be due to the following reasons.

感光性樹脂組成物は光硬化成分と熱硬化成分とを同時に含有する複雑な組成物であり、カバーコートによる回路基板の保護工程は、印刷−露光−現像−熱硬化という多段階の工程を経るために、組成物には未反応の硬化成分が残存しやすくなる。これは、先ず露光による光架橋反応が進行するために、後の熱硬化反応を阻害することなどが考えられ、単体反応であれば反応が十分に完結する熱硬化条件においても硬化反応が完了しない可能性がある。さらに、乾燥−露光−現像工程において十分広い現像ウインドウを確保するために潜在性の高い熱硬化樹脂や硬化触媒を利用することも未反応成分を残存し易くする要因の一つである。このように、感光性のカバーコートにおいて未反応成分を完全に無くすことは非常に難しい。そのために、熱硬化後の実装工程(熱プレスやリフロー工程)で更に高い温度が加わることで未反応成分の硬化反応が進行するために硬化収縮が発生し、結果としてフレキシブルプリント配線基板がカバーコート方向に反り上がってしまう。一方で、本願発明は体積粒子径の異なる二種類以上の(B)絶縁膜改質用組成物を含むことにより体積変化の少ない緻密な塗膜が形成され、さらに絶縁膜改質用組成物の応力緩和効果によって硬化収縮が発生してもそれを十分に打ち消す効果を奏するために、実装工程における硬化膜の変化を抑制できるものと推測される。さらに、フレキシブルプリント配線基板の製造時にも様々な工程では次のような硬化収縮が発生する。(1)インク印刷−乾燥工程の乾燥収縮、(2)露光工程の光硬化反応に伴う硬化収縮、(3)現像−熱硬化工程の主に熱硬化反応に伴う硬化収縮、(4)無電解金メッキ工程−乾燥工程の乾燥収縮など。本願発明の感光性樹脂組成物はこれらの工程においても上記説明の通りに十分な効果を発揮する。 The photosensitive resin composition is a complicated composition containing a photocuring component and a thermosetting component at the same time, and the process of protecting the circuit board by the cover coat goes through a multi-step process of printing-exposure-development-thermosetting. Therefore, unreacted cured components tend to remain in the composition. This is because the photocrosslinking reaction due to exposure first proceeds, which may hinder the subsequent thermosetting reaction. If it is a simple substance reaction, the curing reaction is not completed even under thermosetting conditions in which the reaction is sufficiently completed. there is a possibility. Further, the use of a thermosetting resin or a curing catalyst having high potential to secure a sufficiently wide developing window in the drying-exposure-developing process is also one of the factors that make it easy for unreacted components to remain. As described above, it is very difficult to completely eliminate unreacted components in the photosensitive cover coat. Therefore, when a higher temperature is applied in the mounting process (heat press or reflow process) after heat curing, the curing reaction of unreacted components proceeds, resulting in curing shrinkage, and as a result, the flexible printed wiring board is covered. It warps in the direction. On the other hand, in the present invention, by including two or more kinds of (B) insulating film modifying compositions having different volume particle diameters, a dense coating film having little volume change is formed, and further, the insulating film modifying composition. Even if curing shrinkage occurs due to the stress relaxation effect, it is presumed that the change in the cured film in the mounting process can be suppressed because it has the effect of sufficiently canceling it. Further, the following curing shrinkage occurs in various processes even when the flexible printed wiring board is manufactured. (1) Ink printing-drying shrinkage in the drying process, (2) curing shrinkage associated with the photocuring reaction in the exposure process, (3) curing shrinkage associated mainly with the thermosetting reaction in the development-thermosetting process, (4) electroless Gold plating process-Drying shrinkage of the drying process, etc. The photosensitive resin composition of the present invention also exerts a sufficient effect in these steps as described above.

さらに、二種類の(B)絶縁膜改質用組成物の緻密な充填構造は組成物硬化膜の高分子鎖の分子運動を抑制するために、実装工程で高い温度が加わっても熱分解しにくく、(A)ベースバインダーポリマーと二種類の(B)絶縁膜改質用組成物の両成分が有機成分で構成されるために、硬化膜本来の柔軟性を損なわないものと推測される。よって、耐熱性向上や低反りのアプローチとして一般的な無機フィラーの高充填、不要な主鎖成分の架橋や芳香環量増加することなく、反り改善に優れ、十分な耐熱性と耐薬品性などを達成できるものと考えられる。 Furthermore, the dense packing structure of the two types (B) insulating film modification compositions suppresses the molecular motion of the polymer chains of the cured composition film, so that they are thermally decomposed even when a high temperature is applied in the mounting process. It is difficult, and it is presumed that the original flexibility of the cured film is not impaired because both the components of (A) the base binder polymer and the two types (B) the composition for modifying the insulating film are composed of organic components. Therefore, as an approach to improve heat resistance and low warpage, it is excellent in warpage improvement without high filling of general inorganic fillers, cross-linking of unnecessary main chain components and increase in aromatic ring amount, and sufficient heat resistance and chemical resistance. Is considered to be able to be achieved.

さらに、着色剤、難燃剤、熱硬化性樹脂などの選択によってさらに優れた効果を奏するものである。
以下、本願発明について、詳細に説明する。
Further, further excellent effects can be obtained by selecting a colorant, a flame retardant, a thermosetting resin, or the like.
Hereinafter, the invention of the present application will be described in detail.

[(A)ベースバインダーポリマー]
本願発明の(A)ベースバインダーポリマーは2つ以上のモノマーが重合反応してできる有機溶媒に対して可溶な化合物であって、分子量1,000以上、1,000,000以下のポリマーであって、(a1)分子中に少なくとも一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物と(a2)分子中に少なくとも一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物の二種類の化合物を含むものであれば特に限定されない。(以下、分子中に少なくとも一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物をベースバインダーポリマー(a1)、分子中に少なくとも一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物をベースバインダー(b1)と表すことがある。)
[(A) Base binder polymer]
The (A) base binder polymer of the present invention is a compound that is soluble in an organic solvent formed by a polymerization reaction of two or more monomers, and has a molecular weight of 1,000 or more and 1,000,000 or less. (A1) It has at least one active energy ray-reactive group in the molecule and one or more structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. Two of a compound and (a2) a compound having at least one carboxyl group in the molecule and one or more structures selected from an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond. It is not particularly limited as long as it contains a kind of compound. (Hereinafter, a compound having at least one active energy ray reactive group in the molecule and one or more structures selected from an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond Base binder polymer (a1), a compound having at least one carboxyl group in the molecule and one or more structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. May be referred to as a base binder (b1).)

上記有機溶媒とは、特に限定されないが、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。さらに必要に応じて、これらの有機極性溶媒とキシレンあるいはトルエンなどの芳香族炭化水素とを組み合わせて用いることもできる。 The organic solvent is not particularly limited, and is, for example, a sulfoxide solvent such as dimethyl sulfoxide or diethyl sulfoxide, a formamide solvent such as N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, etc. Examples thereof include acetamide-based solvents such as N and N-diethylacetamide, pyrrolidone-based solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, hexamethylphospholamide, and γ-butyrolactone. Further, if necessary, these organic polar solvents can be used in combination with aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene.

更に、例えばメチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤が挙げられる。 Further, for example, methyl monoglime (1,2-dimethoxyethane), methyl diglime (bis (2-methoxyether) ether), methyl triglime (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyl tetraglime. (Bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglime (1,2-diethoxyethane), ethyl diglime (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyl diglime (bis (2) -Symmetric glycol diethers such as (butoxyethyl) ether), methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as diethylene glycol monoethyl ether acetate). , Carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene Acetates such as glycol diacetate and 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether. , Dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, ethyl of ethylene glycol Examples thereof include ether solvents such as ether.

有機溶媒に対して可溶性となる指標である有機溶媒溶解性は、有機溶媒100重量部に対して溶解する樹脂の重量部として測定することが可能であり、有機溶媒100重量部に対して溶解する樹脂の重量部が5重量部以上であれば有機溶媒に対して可溶性とすることができる。有機溶媒溶解性測定方法は、特に限定されないが、例えば、有機溶媒100重量部に対して樹脂を5重量部添加し、40℃で1時間攪拌後、室温まで冷却して24時間以上放置し、不溶解物や析出物の発生なく均一な溶液であることを確認する方法で測定することができる。
本願発明の(A)ベースバインダーの重量平均分子量は、例えば、以下の方法で測定することができる。
The organic solvent solubility, which is an index of solubility in an organic solvent, can be measured as a part by weight of a resin that dissolves in 100 parts by weight of the organic solvent, and dissolves in 100 parts by weight of the organic solvent. If the weight of the resin is 5 parts by weight or more, it can be made soluble in an organic solvent. The method for measuring the solubility of an organic solvent is not particularly limited. For example, 5 parts by weight of a resin is added to 100 parts by weight of an organic solvent, the mixture is stirred at 40 ° C. for 1 hour, cooled to room temperature and left for 24 hours or more. It can be measured by a method of confirming that the solution is uniform without the generation of insoluble matter or precipitate.
The weight average molecular weight of the (A) base binder of the present invention can be measured by, for example, the following method.

(重量平均分子量測定)
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)。
(Measurement of weight average molecular weight)
Equipment used: Tosoh HLC-8220 GPC equivalent Column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 Guard columns: Tosoh TSK guard volume Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow velocity: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), Response (0.5 sec)
Sample concentration: Approximately 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol).

上記範囲内に重量平均分子量を制御することにより、得られる絶縁膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。重量平均分子量が1,000以下の場合は、柔軟性や耐薬品性が低下する場合があり、重量平均分子量が1,000,000以上の場合は樹脂組成物の粘度が高くなる場合がある。 By controlling the weight average molecular weight within the above range, the flexibility and chemical resistance of the obtained insulating film are excellent, which is preferable. When the weight average molecular weight is 1,000 or less, the flexibility and chemical resistance may decrease, and when the weight average molecular weight is 1,000,000 or more, the viscosity of the resin composition may increase.

上記重合反応としては例えば、連鎖重合、逐次重合、リビング重合、付加重合、重縮合、付加縮合、ラジカル重合、イオン重合、カチオン重合、アニオン重合、配位重合、開環重合、共重合などが挙げられる。 Examples of the polymerization reaction include chain polymerization, sequential polymerization, living polymerization, addition polymerization, polycondensation, addition condensation, radical polymerization, ion polymerization, cationic polymerization, anion polymerization, coordination polymerization, ring-opening polymerization, and copolymerization. Be done.

本願発明における(A)ベースバインダーポリマーは、成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して、10〜70重量部となるように配合されていることが、感光性樹脂組成物の感光性や低反りポリイミドとの密着性が向上する点で好ましい。 The base binder polymer (A) in the present invention is blended so as to be 10 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components. , The photosensitive resin composition is preferable in that the photosensitivity and the adhesion to the low warp polyimide are improved.

(A)ベースバインダーポリマーが上記範囲よりも少ない場合には、絶縁膜の耐アルカリ性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなる場合がある。また、(A)ベースバインダーポリマーが上記範囲よりも多い場合には、樹脂組成物を基材上に塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる塗膜のべたつきが大きくなるため生産性が低下し、また架橋密度が高くなりすぎることにより絶縁膜が脆く割れやすくなる場合がある。上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。 When the amount of the base binder polymer (A) is less than the above range, the alkali resistance of the insulating film may be lowered, and the contrast at the time of exposure / development may be difficult to obtain. Further, when the amount of the base binder polymer (A) is larger than the above range, the stickiness of the coating film obtained by applying the resin composition on the substrate and drying the solvent becomes large, so that the productivity is lowered. In addition, the insulating film may become brittle and easily cracked due to the excessively high crosslink density. Within the above range, the resolution at the time of exposure / development can be set to the optimum range.

(ベースバインダーポリマー(a1))
本願発明のベースバインダーポリマー(a1)は、分子中に一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物であれば特に限定されるものではなが、2つ以上のモノマーが重合反応してできる有機溶媒に対して可溶な化合物であることが好ましく、分子量1,000以上、1,000,000以下のポリマーであることが更に好ましい。さらにビスフェノールA構造、ビスフェノールF構造、ビフェノール構造、ビフェノールノボラック構造、ビスキシレノール構造、ビフェニルノボラック構造から選ばれる1種以上の部分構造を有するものでも良い。
(Base binder polymer (a1))
The base binder polymer (a1) of the present invention is one kind selected from one or more active energy ray reactive groups in the molecule and an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a urethane bond, an imide bond, a urea bond and an amic acid bond. The compound having the above structure is not particularly limited, but is preferably a compound soluble in an organic solvent formed by a polymerization reaction of two or more monomers, and has a molecular weight of 1,000 or more. More preferably, it is a polymer of 1,000,000 or less. Further, it may have one or more partial structures selected from a bisphenol A structure, a bisphenol F structure, a biphenol structure, a biphenol novolak structure, a bisxylenol structure, and a biphenyl novolak structure.

上記活性エネルギー線反応基とは、光や熱によって発生したラジカル等の活性種により化学結合が形成される基のことを意味し、好ましくは不飽和二重結合であり、アクリル基(CH=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)であることが更に好ましい。 The active energy ray reactive group means a group in which a chemical bond is formed by an active species such as a radical generated by light or heat, preferably an unsaturated double bond, and an acrylic group (CH 2 =). CH-group), methacryloyl group (CH = C (CH 3 ) -group) or vinyl group (-CH = CH-group) is more preferable.

本願発明の(A)ベースバインダーポリマーは上記特性を有していれば特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、フェノールのボラック型、クレゾールノボラック型等の各種エポキシ樹脂を、不飽和基を含有するモノカルボン酸で変性した後、飽和又は不飽和基を含有する多塩基酸無水物で酸変性した酸変性のアクリル(メタクリル)樹脂、水酸基含有アクリル(メタクリル)樹脂とイソシアナート化合物との反応で得られるウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、水酸基含有アクリル(メタクリル)樹脂とカルボキシル基含有化合物との反応で得られるポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂などが挙げられる。 The (A) base binder polymer of the present invention is not particularly limited as long as it has the above characteristics, but for example, various epoxy resins such as bisphenol A type, bisphenol F type, phenol volac type, and cresol novolac type are unsaturated. Acid-modified acrylic (methacryl) resin, hydroxyl group-containing acrylic (methacryl) resin and isocyanato compound modified with a group-containing monocarboxylic acid and then acid-modified with a saturated or unsaturated group-containing polybasic acid anhydride. Examples thereof include urethane-modified acrylic (methacryl) resin obtained by the reaction of the above, polyester-modified acrylic (methacryl) resin obtained by the reaction of a hydroxyl group-containing acrylic (methacryl) resin and a carboxyl group-containing compound, and the like.

更に分子中に少なくとも1種類以上の活性エネルギー線反応基を含有するベースバインダーポリマーが、更に構造中に少なくとも1つ以上のカルボキシル基を含有する場合においても本願発明のベースバインダーポリマー(a1)に属し、構造中に含有されるカルボキシル基は側鎖および末端に存在しても良く、末端カルボン酸がテトラカルボン酸から誘導されたジカルボン酸やカルボン酸をアルコールなどでエステル化させたものなどでも良い。本願発明のベースバインダーポリマー(a1)がカルボキシル基を含有することで(A)ベースバインダーポリマーの溶剤への溶解性が向上するために好ましい。前記ベースバインダーポリマー(a1)の酸価は150mgKOH/g未満であることが好ましく、100mgKOH/g以下であることが更に好ましい。150mgKOH/gを超える場合には、得られた絶縁膜が外観不良を示したり、密着性や耐薬品性などが不十分となる場合がある。 Further, the base binder polymer containing at least one kind of active energy ray reactive group in the molecule belongs to the base binder polymer (a1) of the present invention even when the structure further contains at least one carboxyl group. The carboxyl group contained in the structure may be present in the side chain and the terminal, and the terminal carboxylic acid may be a dicarboxylic acid derived from the tetracarboxylic acid or a carboxylic acid esterified with alcohol or the like. It is preferable that the base binder polymer (a1) of the present invention contains a carboxyl group because the solubility of the base binder polymer (A) in a solvent is improved. The acid value of the base binder polymer (a1) is preferably less than 150 mgKOH / g, and more preferably 100 mgKOH / g or less. If it exceeds 150 mgKOH / g, the obtained insulating film may have a poor appearance, or the adhesion and chemical resistance may be insufficient.

(ベースバインダーポリマー(a2))
本願発明のベースバインダーポリマー(a2)は、分子中に一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物であれば特に限定されるものではなが、2つ以上のモノマーが重合反応してできる有機溶媒に対して可溶な化合物であることが好ましく、分子量1,000以上、1,000,000以下のポリマーであることが更に好ましい。さらにビスフェノールA構造、ビスフェノールF構造、ビフェノール構造、ビフェノールノボラック構造、ビスキシレノール構造、ビフェニルノボラック構造およびウレタン構造から選ばれる1種以上の部分構造を有するのでも良い。さらに、前記ベースバインダーポリマー(a2)の酸価が30〜150mgKOH/gであることが好ましく、40〜130mgKOH/gであることがより好ましく、50〜100mgKOH/gであることが更に好ましい。酸価が30mgKOH/g未満では現像性が不十分になり、現像残渣が発生する傾向があり、150mgKOH/gを超える場合には、得られた絶縁膜が外観不良を示したり、密着性や耐薬品性などが不十分となる場合がある。
(Base binder polymer (a2))
The base binder polymer (a2) of the present invention has one or more carboxyl groups in the molecule and one or more structures selected from ether bonds, ester bonds, carbonate bonds, urethane bonds, imide bonds, urea bonds and amic acid bonds. The compound is not particularly limited as long as it has, but it is preferably a compound that is soluble in an organic solvent formed by a polymerization reaction of two or more monomers, and has a molecular weight of 1,000 or more and 1,000. More preferably, it is a polymer of 000 or less. Further, it may have one or more partial structures selected from a bisphenol A structure, a bisphenol F structure, a biphenol structure, a biphenol novolak structure, a bisxylenol structure, a biphenyl novolak structure and a urethane structure. Further, the acid value of the base binder polymer (a2) is preferably 30 to 150 mgKOH / g, more preferably 40 to 130 mgKOH / g, and even more preferably 50 to 100 mgKOH / g. If the acid value is less than 30 mgKOH / g, the developability becomes insufficient and development residue tends to be generated. If the acid value exceeds 150 mgKOH / g, the obtained insulating film shows poor appearance, adhesion and resistance. The chemical properties may be insufficient.

本願発明におけるベースバインダーポリマー(a2)の例としては、酸変性したエポキシ樹脂、側鎖にカルボン酸を有するアクリル樹脂およびウレタン樹脂、ポリアミド酸樹脂、末端カルボン酸を有するウレタン樹脂およびイミド樹脂などが挙げられる。 Examples of the base binder polymer (a2) in the present invention include acid-modified epoxy resin, acrylic resin and urethane resin having a carboxylic acid in the side chain, polyamic acid resin, urethane resin and imide resin having a terminal carboxylic acid, and the like. Be done.

本願発明における成分(a1)および成分(a2)の比率は、固形分で(a1):(a2)=10:90〜90:10の範囲で任意に設定しても良いが、より好ましくは(a1):(a2)=30:70〜70:30の範囲とすることで感光性やポリイミドとの密着性が向上する点で好ましい。 The ratio of the component (a1) and the component (a2) in the present invention may be arbitrarily set in the range of (a1) :( a2) = 10: 90 to 90:10 in terms of solid content, but more preferably ( The range of a1): (a2) = 30: 70 to 70:30 is preferable in that the photosensitivity and the adhesion to the polyimide are improved.

成分(a1)が上記範囲よりも多いすなわち(a2)が上記範囲よりも少ない場合には、絶縁膜の耐アルカリ性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなる場合がある。また、成分(a1)が上記範囲よりも少ないすなわち成分(a2)が上記範囲よりも多い場合には、架橋密度が高くなりすぎることにより絶縁膜が脆く割れやすくなる場合がある。上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。 When the amount of the component (a1) is more than the above range, that is, the amount of the component (a2) is less than the above range, the alkali resistance of the insulating film may be lowered and the contrast at the time of exposure / development may be difficult to be obtained. Further, when the component (a1) is less than the above range, that is, the component (a2) is more than the above range, the crosslink density may become too high and the insulating film may be brittle and easily cracked. Within the above range, the resolution at the time of exposure / development can be set to the optimum range.

[(B)絶縁膜改質用組成物]
本願発明における(B)絶縁膜改質用組成物は、体積平均粒子径の異なる二種類以上の粒子を含む。(B)は、コアシェルポリマー粒子、有機−無機複合化粒子、有機粒子および架橋ポリマー粒子から選ばれる少なくとも1種の有機ポリマー粒子であることが好ましく、前記(B)絶縁膜改質用組成物が有機ポリマー粒子および分散溶媒および/または分散媒になり得る化合物を含み、有機ポリマー粒子成分の70%以上が1次粒子の状態で分散していることが更に好ましい。
[(B) Composition for modifying insulating film]
The composition for modifying the insulating film (B) in the present invention contains two or more types of particles having different volume average particle diameters. (B) is preferably at least one organic polymer particle selected from core-shell polymer particles, organic-inorganic composite particles, organic particles and crosslinked polymer particles, and the composition for modifying the insulating film (B) is More preferably, it contains organic polymer particles and a dispersion solvent and / or a compound that can be a dispersion medium, and 70% or more of the organic polymer particle components are dispersed in the state of primary particles.

さらに、前記体積平均粒子径の異なる二種類以上の組成物化合物が体積平均粒子径1μm未満の有機ポリマー粒子(b1)と体積平均粒子径1μm以上の有機ポリマー粒子(b2)とを含むことが好ましく、上記範囲内に体積平均粒子径を制御することにより、絶縁膜の柔軟性、耐薬品性が優れるため好ましい。体積平均粒子径が0.001μm(=1nm)より小さい場合は、絶縁膜表面に効果的に凹凸が形成されず、タックフリー性に劣る場合があり、体積平均粒子径が0.001μm以上であることが好ましい。平均粒子径が20μmを超える場合は耐折れ性の低下や、微細パターン形成時の開口部に粒子が露出し解像性(パターニング性)不良になる場合がある。また、感光性の観点からは、使用する露光機の露光波長に相当する体積平均粒子径を除くことが好ましく、例えば、436nm(g線)、 405nm(h線)、365nm(i線 )、248nm(KrFエキシマレーザー )、193nm(ArFエキシマレーザー)、157nm(Fエキシマレーザー )などが挙げられる。 Further, it is preferable that the two or more kinds of composition compounds having different volume average particle diameters include organic polymer particles (b1) having a volume average particle diameter of less than 1 μm and organic polymer particles (b2) having a volume average particle diameter of 1 μm or more. By controlling the volume average particle size within the above range, the flexibility and chemical resistance of the insulating film are excellent, which is preferable. When the volume average particle diameter is smaller than 0.001 μm (= 1 nm), unevenness is not effectively formed on the insulating film surface, and the tack-free property may be inferior, and the volume average particle diameter is 0.001 μm or more. Is preferable. If the average particle size exceeds 20 μm, the breakage resistance may be lowered, or the particles may be exposed at the openings at the time of forming a fine pattern, resulting in poor resolution (patterning property). From the viewpoint of photosensitivity, it is preferable to exclude the volume average particle diameter corresponding to the exposure wavelength of the excimer used, for example, 436 nm (g line), 405 nm (h line), 365 nm (i line), 248 nm. (KrF excimer laser), 193 nm (ArF excimer laser), 157 nm (F 2 excimer laser) and the like.

さらに、(b1)の体積平均粒子径は500nm以下にすることが充填性において好ましく、更に好ましくは350nm以下である。これにより露光時の光硬化反応を促すことができる。(b2)の体積平均粒子径は1μm〜20μmにすることが得られる感光性樹脂組成物のパターニング性を改善する点で好ましく、更に好ましくは1μm〜10μmにすることで工程搬送中の有機ポリマー粒子の脱離や微細配線の埋め込み性、回路端部の被覆性および絶縁信頼性を向上することができる。 Further, the volume average particle diameter of (b1) is preferably 500 nm or less in terms of filling property, and more preferably 350 nm or less. This makes it possible to promote the photocuring reaction during exposure. The volume average particle diameter of (b2) is preferably 1 μm to 20 μm in terms of improving the patterning property of the photosensitive resin composition, and more preferably 1 μm to 10 μm to carry the organic polymer particles in the process. It is possible to improve the detachability of the polymer, the embedding property of fine particles, the covering property of the circuit end, and the insulation reliability.

さらに、少なくとも(b1)および(b2)の何れか1つの成分の有機ポリマー粒子成分の70%以上が1次粒子の状態で分散していることが有機ポリマー粒子を硬化膜に均一に分散させることができ、低反り、耐熱性および耐薬品性などの種々の特性を向上できる観点で好ましい。 Further, 70% or more of the organic polymer particle components of at least one of (b1) and (b2) are dispersed in the state of primary particles, so that the organic polymer particles are uniformly dispersed in the cured film. It is preferable from the viewpoint of being able to improve various properties such as low warpage, heat resistance and chemical resistance.

前記コアシェルポリマーとは、少なくとも1種のゴム状弾性体層を有するコアシェルポリマーであり、ゴム弾性を有するポリマーを主成分とするポリマーからなるゴム粒子コアと、これにグラフト重合されたポリマー成分からなるシェル層より構成されるポリマーであることが好ましい。 The core-shell polymer is a core-shell polymer having at least one rubber-like elastic layer, and is composed of a rubber particle core made of a polymer containing a polymer having rubber elasticity as a main component and a polymer component graft-polymerized thereto. It is preferably a polymer composed of a shell layer.

前記ゴム粒子コアを構成するポリマーは架橋されており、該ポリマーの良溶媒に対して膨潤しうるが実質的には溶解せず、分散媒(例えばエポキシ樹脂等の硬化性樹脂)に不溶であることが好ましい。前記コア部分のゲル含量は60質量%以上であることが好ましく、より好ましくは80質量%以上、特に好ましくは90質量%以上、最も好ましくは95質量%以上である。前記コア部分を構成するポリマーは、ゴムとしての性質を有することが好ましいことから、ガラス転移温度(Tg)が0℃以下であることが好ましく、−10℃以下であることがより好ましい。 The polymer constituting the rubber particle core is crosslinked and can swell in a good solvent of the polymer, but is substantially insoluble and insoluble in a dispersion medium (for example, a curable resin such as an epoxy resin). Is preferable. The gel content of the core portion is preferably 60% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, particularly preferably 90% by mass or more, and most preferably 95% by mass or more. Since the polymer constituting the core portion preferably has rubber properties, the glass transition temperature (Tg) is preferably 0 ° C. or lower, and more preferably −10 ° C. or lower.

ゴム粒子コアを構成するポリマーは、ジエン系ゴム、アクリル系ゴム、あるいはポリシロキサンゴム、またはこれらを併用することが好ましい。ジエン系ゴムおよび/またはアクリル系ゴムは、ジエン系単量体(共役ジエン系単量体)および(メタ)アクリル酸エステル系単量体からなる群より選ばれる少なくとも1種以上の単量体50質量%以上100質量%以下、および他の共重合可能なビニル単量体0質量%以上50質量%以下から構成されるゴム弾性体であることが好ましい。単量体が50質量%未満の場合には、靭性が低下する傾向にある。単量体は、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは65質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上であり、より好ましくは95質量%以下又は90質量%以下である。単量体(Y)は、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上、さらにより好ましくは15質量%以上であり、より好ましくは45質量%以下、さらに好ましくは40質量%以下である。なお、本発明において(メタ)アクリルとは、アクリル及び/又はメタクリルを意味するものとする。 The polymer constituting the rubber particle core is preferably a diene-based rubber, an acrylic-based rubber, or a polysiloxane rubber, or a combination thereof. The diene-based rubber and / or acrylic-based rubber is at least one or more monomers 50 selected from the group consisting of diene-based monomers (conjugated diene-based monomers) and (meth) acrylic acid ester-based monomers. It is preferably a rubber elastic body composed of 0% by mass or more and 100% by mass or less, and 0% by mass or more and 50% by mass or less of other copolymerizable vinyl monomers. When the amount of the monomer is less than 50% by mass, the toughness tends to decrease. The monomer is more preferably 60% by mass or more, further preferably 65% by mass or more, further preferably 70% by mass or more, and more preferably 95% by mass or less or 90% by mass or less. The monomer (Y) is more preferably 5% by mass or more, further preferably 10% by mass or more, still more preferably 15% by mass or more, still more preferably 45% by mass or less, still more preferably 40% by mass or less. Is. In the present invention, (meth) acrylic means acrylic and / or methacrylic.

前記ゴム弾性体を構成する共役ジエン系単量体としては、例えばブタジエン、イソプレン、クロロプレン等を挙げることができるが、ブタジエンが特に好ましい。(メタ)アクリル酸エステル系単量体としては、例えばブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレートなどが挙げられるが、ブチルアクリレートと2−エチルヘキシルアクリレートが特に好ましい。これらは1種類あるいは組み合わせて使用できる。 Examples of the conjugated diene-based monomer constituting the rubber elastic body include butadiene, isoprene, and chloroprene, but butadiene is particularly preferable. Examples of the (meth) acrylic acid ester-based monomer include butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and lauryl (meth) acrylate, but butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate are particularly preferable. These can be used alone or in combination.

さらに、前記ゴム弾性体は、共役ジエン系単量体または(メタ)アクリル酸エステル系単量体の他に、これらと共重合可能なビニル単量体との共重合体であってもよい。共役ジエン系単量体または(メタ)アクリル酸エステル系単量体と共重合可能なビニル単量体としては、芳香族ビニル系単量体、シアン化ビニル系単量体からなる群より選ばれるビニル単量体が例示できる。芳香族ビニル系単量体としては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルナフタレン等が使用可能であり、シアン化ビニル系単量体としては、例えば(メタ)アクリロニトリル若しくは置換(メタ)アクリロニトリル等が使用可能である。これらは1種類あるいは組み合わせて使用できる。 Further, the rubber elastic body may be a copolymer of a conjugated diene-based monomer or a (meth) acrylic acid ester-based monomer, or a vinyl monomer copolymerizable with these. The vinyl monomer copolymerizable with the conjugated diene-based monomer or the (meth) acrylic acid ester-based monomer is selected from the group consisting of aromatic vinyl-based monomers and vinyl cyanide-based monomers. A vinyl monomer can be exemplified. As the aromatic vinyl-based monomer, for example, styrene, α-methylstyrene, vinylnaphthalene and the like can be used, and as the vinyl cyanide-based monomer, for example, (meth) acrylonitrile or substituted (meth) acrylonitrile and the like can be used. It can be used. These can be used alone or in combination.

また、前記ゴム弾性体を構成する成分として、架橋度を調節するために、多官能性単量体を含んでいてもよい。多官能性単量体としては、ジビニルベンゼン、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、(イソ)シアヌル酸トリアリル、(メタ)アクリル酸アリル、イタコン酸ジアリル、フタル酸ジアリル等を例示できる。これらの使用量は、例えばコア部の全質量に対して10質量%以下、好ましくは5質量%以下、更に好ましくは3質量%以下である。多官能性単量体の使用量が10質量%を超えると、ゴム粒子コアによる、靭性が低下する傾向がある。 Further, as a component constituting the rubber elastic body, a polyfunctional monomer may be contained in order to adjust the degree of cross-linking. Examples of the polyfunctional monomer include divinylbenzene, butanediol di (meth) acrylate, triallyl (iso) cyanurate, allyl (meth) acrylate, diallyl itaconic acid, and diallyl phthalate. The amount of these used is, for example, 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less, and more preferably 3% by mass or less with respect to the total mass of the core portion. When the amount of the polyfunctional monomer used exceeds 10% by mass, the toughness of the rubber particle core tends to decrease.

また、前記ゴム弾性体を構成するポリマーの分子量や架橋度を調節するために、連鎖移動剤を使用してもよい。具体的には炭素数5〜20のアルキルメルカプタン等が例示できる。これらの使用量はコア部の全質量に対して、好ましくは5質量%以下、より好ましくは3質量%以下である。連鎖移動剤の使用量が5質量%を超えると、ゴム粒子コアの未架橋成分の量が増加し、分散媒が硬化性樹脂である場合耐熱性、粘度等に悪影響を与える場合がある。 In addition, a chain transfer agent may be used to adjust the molecular weight and the degree of cross-linking of the polymer constituting the rubber elastic body. Specifically, an alkyl mercaptan having 5 to 20 carbon atoms can be exemplified. The amount of these used is preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, based on the total mass of the core portion. If the amount of the chain transfer agent used exceeds 5% by mass, the amount of the uncrosslinked component of the rubber particle core increases, and when the dispersion medium is a curable resin, heat resistance, viscosity and the like may be adversely affected.

さらに、ゴム粒子コアとして、前記ゴム弾性体に替えて、またはこれらと併用して、ポリシロキサンゴムを使用することも可能である。ゴム粒子コアとしてポリシロキサンゴムを使用する場合には、例えばジメチルシリルオキシ、メチルフェニルシリルオキシ、ジフェニルシリルオキシ等の、アルキル或いはアリール2置換シリルオキシ単位から構成されるポリシロキサンゴムが使用可能である。また、このようなポリシロキサンゴムを使用する場合には、必要に応じて、
(i)重合時に多官能性のアルコキシシラン化合物を一部併用する方法、或いは
(ii)ビニル反応性基、メルカプト基等の反応性基を導入してからその後ビニル重合性の単量体或いは有機過酸化物等を添加してラジカル反応させる方法、或いは
(iii)ポリシロキサンゴムの重合後に多官能ビニル化合物やメルカプト基含有化合物等の架橋性単量体を添加して重合する方法等により、架橋構造を導入することが好ましい。
Further, as the rubber particle core, it is also possible to use polysiloxane rubber in place of or in combination with the rubber elastic body. When a polysiloxane rubber is used as the rubber particle core, a polysiloxane rubber composed of an alkyl or aryl2-substituted silyloxy unit such as dimethylsilyloxy, methylphenylsilyloxy, or diphenylsilyloxy can be used. In addition, when using such a polysiloxane rubber, if necessary,
(I) A method in which a part of a polyfunctional alkoxysilane compound is used in combination during polymerization, or (ii) a reactive group such as a vinyl-reactive group or a mercapto group is introduced, and then a vinyl-polymerizable monomer or an organic substance is introduced. Crosslinking is performed by a method of adding a peroxide or the like to cause a radical reaction, or a method of adding a crosslinkable monomer such as a polyfunctional vinyl compound or a mercapto group-containing compound after the polymerization of (iii) polysiloxane rubber and polymerizing. It is preferable to introduce a structure.

前記シェル層を構成するポリマーは、エポキシ樹脂等の硬化性樹脂とコアシェルポリマーの親和性の点から、ゴム粒子コアを構成するポリマーにグラフト重合されており、実質的にゴム粒子コアを構成するポリマーと結合していることが好ましい。シェル層を構成するポリマーのうち、好ましくは70質量%以上、より好ましくは80質量%以上、さらに好ましくは90質量%以上がゴム粒子コアに結合していることが望ましい。 The polymer constituting the shell layer is graft-polymerized to the polymer constituting the rubber particle core from the viewpoint of the affinity between the curable resin such as epoxy resin and the core shell polymer, and is substantially the polymer constituting the rubber particle core. It is preferable that it is combined with. It is desirable that 70% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, and further preferably 90% by mass or more of the polymers constituting the shell layer are bonded to the rubber particle core.

シェル層は、コアシェルポリマーが絶縁膜改質用組成物中で安定に一次粒子の状態で分散する為、分散媒に対する親和性を与えてもよく、シェル層は、後述する有機溶媒及び分散媒に対して膨潤性、相溶性もしくは親和性を有するものが好ましい。 Since the core-shell polymer is stably dispersed in the insulating film modifying composition in the state of primary particles, the shell layer may give an affinity for a dispersion medium, and the shell layer may be used as an organic solvent and a dispersion medium described later. On the other hand, those having swelling property, compatibility or affinity are preferable.

また、シェル層は、必要に応じて、エポキシ樹脂等の分散媒もしくは使用時に配合される硬化剤との反応性を有することが好ましく、これによりエポキシ樹脂等の分散媒が硬化剤と反応して硬化する条件下において、これらと化学反応し結合を生成できる機能を有することにより、硬化条件下にコアシェルポリマー同士が再凝集し分散状態が悪化することを効果的に抑制することができる。 Further, the shell layer preferably has a reactivity with a dispersion medium such as an epoxy resin or a curing agent blended at the time of use, if necessary, whereby the dispersion medium such as an epoxy resin reacts with the curing agent. By having a function of chemically reacting with these to form a bond under curing conditions, it is possible to effectively suppress the reaggregation of core-shell polymers with each other and deterioration of the dispersed state under curing conditions.

シェル層を構成するポリマーは、(メタ)アクリル酸エステル系単量体、芳香族ビニル系単量体、シアン化ビニル系単量体、不飽和酸誘導体、(メタ)アクリルアミド誘導体、およびマレイミド誘導体より選ばれる1種以上の成分を共重合して得られる(共)重合体が好ましい。さらに、特にシェル層にエポキシ樹脂等の分散媒硬化時の化学反応性を求める場合には、(メタ)アクリル酸エステル系単量体、芳香族ビニル系単量体、シアン化ビニル系単量体、不飽和酸誘導体、(メタ)アクリルアミド誘導体、またはマレイミド誘導体に加えて、エポキシ基、カルボキシル基、水酸基、及び炭素−炭素2重結合から選ばれる官能基を含有する単量体を1種類以上共重合して得られる共重合体を用いることがより好ましい。これらの官能基は、後述するエポキシ樹脂等の分散媒あるいはその硬化剤、硬化触媒等との反応性を有していてもよい。 The polymer constituting the shell layer is composed of (meth) acrylic acid ester-based monomer, aromatic vinyl-based monomer, vinyl cyanide-based monomer, unsaturated acid derivative, (meth) acrylamide derivative, and maleimide derivative. A (co) polymer obtained by copolymerizing one or more selected components is preferable. Further, when the chemical reactivity of the shell layer at the time of curing with a dispersion medium such as an epoxy resin is required, a (meth) acrylic acid ester-based monomer, an aromatic vinyl-based monomer, or a vinyl cyanide-based monomer is required. , An unsaturated acid derivative, a (meth) acrylamide derivative, or a maleimide derivative, as well as one or more monomers containing a functional group selected from an epoxy group, a carboxyl group, a hydroxyl group, and a carbon-carbon double bond. It is more preferable to use a copolymer obtained by polymerization. These functional groups may have reactivity with a dispersion medium such as an epoxy resin described later, a curing agent thereof, a curing catalyst, or the like.

前記の(メタ)アクリル酸エステル系単量体としては、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルなどの(メタ)アクリル酸アルキルエステルがあげられる。芳香族ビニル系単量体としては、スチレン、α−メチルスチレン、アルキル置換スチレン、さらにブロモスチレン、クロロスチレン等のハロゲン置換スチレン類などがあげられる。また、シアン化ビニル系単量体としては、(メタ)アクリロニトリルおよび置換(メタ)アクリロニトリルが例示される。また、反応性を有する官能基を含有する単量体としては、例えば反応性側鎖を有する(メタ)アクリル酸エステル類として、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−アミノエチル、(メタ)アクリル酸グリシジルなど;反応性基を含有するビニルエーテルとして、グリシジルビニルエーテル、アリルビニルエーテルなどがあげられる。不飽和カルボン酸誘導体として、例えば(メタ)アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、無水マレイン酸などがあげられる。(メタ)アクリルアミド誘導体としては、(メタ)アクリルアミド(N−置換物を含む)などがあげられる。マレイミド誘導体としては、マレイン酸イミド(N−置換物を含む)があげられる。 Examples of the (meth) acrylic acid ester-based monomer include (meth) methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Acrylic acid alkyl ester can be mentioned. Examples of the aromatic vinyl-based monomer include styrene, α-methylstyrene, alkyl-substituted styrene, and halogen-substituted styrenes such as bromostyrene and chlorostyrene. Further, examples of the vinyl cyanide-based monomer include (meth) acrylonitrile and substituted (meth) acrylonitrile. Examples of the monomer containing a reactive functional group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate as (meth) acrylic acid esters having a reactive side chain. Aminoethyl, glycidyl (meth) acrylate and the like; examples of the vinyl ether containing a reactive group include glycidyl vinyl ether and allyl vinyl ether. Examples of unsaturated carboxylic acid derivatives include (meth) acrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, and maleic anhydride. Examples of the (meth) acrylamide derivative include (meth) acrylamide (including N-substituted products). Examples of maleimide derivatives include imide maleate (including N-substituted products).

本発明では、例えば、芳香族ビニル系単量体(特にスチレン)0〜50質量%(好ましくは5〜40質量%)、シアン化ビニル系単量体(特にアクリロニトリル)0〜50質量%(好ましくは1〜30質量%、より好ましくは10〜25質量%)、(メタ)アクリル酸エステル系単量体(特にメタクリル酸メチル)0〜50質量%(好ましくは5〜45質量%)、反応性を有する官能基を含有する単量体(特にメタクリル酸グリシジル)0〜50質量%(好ましくは5〜30質量%、より好ましくは10〜25質量%)を組み合わ
せたシェル層形成用モノマー(合計100質量%)のポリマーであるシェル層とすることが好ましい。
In the present invention, for example, aromatic vinyl-based monomer (particularly styrene) 0 to 50% by mass (preferably 5 to 40% by mass) and vinyl cyanide-based monomer (particularly acrylonitrile) 0 to 50% by mass (preferably). 1 to 30% by mass, more preferably 10 to 25% by mass), (meth) acrylic acid ester-based monomer (particularly methyl methacrylate) 0 to 50% by mass (preferably 5 to 45% by mass), reactivity. A monomer for forming a shell layer (a total of 100) in which 0 to 50% by mass (preferably 5 to 30% by mass, more preferably 10 to 25% by mass) of a monomer containing a functional group having a functional group (particularly glycidyl methacrylate) is combined. It is preferable to use a shell layer which is a polymer (% by mass).

コアシェルポリマーのゴム粒子コア/シェル比率(質量比)は、例えば40/60〜95/5の範囲であり、好ましくは60/40〜90/10である。コア/シェル比率が40/60をはずれてコアの比率が低下すると、低応力化効果が低下する傾向がある。比率が95/5をはずれてシェルの比率が低下すると、本発明における取扱い時に凝集をきたし易く、操作性に問題が生じるとともに所望の物性が得られない場合がある。 The rubber particle core / shell ratio (mass ratio) of the core-shell polymer is, for example, in the range of 40/60 to 95/5, preferably 60/40 to 90/10. When the core / shell ratio deviates from 40/60 and the core ratio decreases, the stress reduction effect tends to decrease. If the ratio deviates from 95/5 and the ratio of the shell decreases, agglomeration is likely to occur during handling in the present invention, which may cause a problem in operability and may not provide desired physical properties.

コアシェルポリマーの製造は、特に制限されず、周知の方法、例えば、乳化重合、懸濁重合、マイクロサスペンジョン重合などにより製造することができる。この中でも特に、多段乳化重合による製造方法が好適である。水媒体中での乳化(分散)剤としては、具体的には、ジオクチルスルホコハク酸やドデシルベンゼンスルホン酸等に代表される様なアルキルまたはアリールスルホン酸、アルキルまたはアリールエーテルスルホン酸、ドデシル硫酸に代表されるようなアルキルまたはアリール硫酸、アルキルまたはアリールエーテル硫酸、アルキルまたはアリール置換燐酸、アルキルまたはアリールエーテル置換燐酸、ドデシルザルコシン酸に代表されるようなN−アルキルまたはアリールザルコシン酸、オレイン酸やステアリン酸等に代表されるようなアルキルまたはアリールカルボン酸、アルキルまたはアリールエーテルカルボン酸等の、各種の酸類のアルカリ金属塩またはアンモニウム塩、アルキルまたはアリール置換ポリエチレングリコール等の非イオン性乳化剤或いは分散剤、ポリビニルアルコール、アルキル置換セルロース、ポリビニルピロリドン、ポ
リアクリル酸誘導体等の分散剤が例示される。これらは1種類または適宜組み合わせて使用できる。
The production of the core-shell polymer is not particularly limited, and can be produced by a well-known method such as emulsion polymerization, suspension polymerization, or microsuspension polymerization. Of these, a production method by multi-stage emulsion polymerization is particularly preferable. Specific examples of the emulsifying (dispersing) agent in an aqueous medium include alkyl or aryl sulfonic acid such as dioctyl sulfosuccinic acid and dodecylbenzene sulfonic acid, alkyl or aryl ether sulfonic acid, and dodecyl sulfate. Alkyl or aryl sulphate, alkyl or aryl ether sulphate, alkyl or aryl substituted phosphoric acid, alkyl or aryl ether substituted phosphoric acid, N-alkyl or aryl sarcosic acid, oleic acid as represented by dodecyl zarcosic acid, etc. Alkali metal salts or ammonium salts of various acids such as alkyl or aryl carboxylic acids such as stearic acid, alkyl or aryl ether carboxylic acids, and nonionic emulsifiers or dispersants such as alkyl or aryl-substituted polyethylene glycols. , Polyvinyl alcohols, alkyl-substituted celluloses, polyvinylpyrrolidones, polyacrylic acid derivatives and other dispersants are exemplified. These can be used alone or in combination as appropriate.

前記コアシェルポリマーの例としては、株式会社カネカ製のMX−136、MX−153、MX−154、MX−170、MX−217、MX−257、MX−416、MX−551、MX−960、MX−965などが挙げられる。 Examples of the core-shell polymer include MX-136, MX-153, MX-154, MX-170, MX-217, MX-257, MX-416, MX-551, MX-960, and MX manufactured by Kaneka Corporation. -965 and the like.

本願発明の有機−無機複合化粒子とは有機系粒子表面に無機物層を形成した粒子や、無機系微粒子表面に有機物層あるいは有機微粒子を形成した球状粒子であれば特に限定されないが、球状、粉状、繊維状、針状、鱗片状なども含まれる。 The organic-inorganic composite particles of the present invention are not particularly limited as long as they are particles having an inorganic layer formed on the surface of organic particles or spherical particles having an organic layer or organic fine particles formed on the surface of inorganic fine particles, but are spherical or powder. It also includes shapes, fibrous, needle-shaped, and scaly-shaped.

本願発明の有機−無機複合化粒子は、特に限定はされないが、例えば、有機成分は有機ポリマーおよび/またはエラストマーであって、例えば、ポリエステル系ポリマー、ポリウレタン系ポリマー、ポリエステルウレタン系ポリマー、ポリアミド系ポリマー、ポリイミド系ポリマー、ポリエステルアミド系ポリマー、ポリエステルイミド系ポリマー、アクリル系ポリマー、セルロース系ポリマー、ポリ乳酸系ポリマー、フェノキシ系ポリマーなどが挙げられ、水酸基、カルボキシル基およびエポキシ基などの側鎖官能基を含有していても良い。上記有機成分の中でも、(A)成分との親和性の観点からポリウレタン系ポリマーおよびエラストマーが好ましい。また、無機成分は溶融シリカ、結晶シリカ、炭化珪素、金属単体、酸化チタンやアルミナ等の金属酸化物、窒化珪素や窒化ホウ素等の金属窒素化合物などが挙げられる。 The organic-inorganic composite particles of the present invention are not particularly limited, but for example, the organic component is an organic polymer and / or an elastomer, and for example, a polyester polymer, a polyurethane polymer, a polyester urethane polymer, or a polyamide polymer. , Polygonic polymer, polyesteramide polymer, polyesterimide polymer, acrylic polymer, cellulose polymer, polylactic polymer, phenoxy polymer, etc., and side chain functional groups such as hydroxyl group, carboxyl group and epoxy group. It may be contained. Among the above organic components, polyurethane polymers and elastomers are preferable from the viewpoint of affinity with the component (A). Examples of the inorganic component include molten silica, crystalline silica, silicon carbide, simple metal, metal oxides such as titanium oxide and alumina, and metal nitrogen compounds such as silicon nitride and boron nitride.

本願発明の有機−無機複合化粒子の例としては、大日精化工業株式会社製の製品名ダイミックビーズUCN−8070CMクリヤー、UCN−8150CMクリヤー、UCN−5070Dクリヤー、UCN−5150Dクリヤー、根上工業株式会社製の製品名アートパールC−100透明、C−200透明、C−300透明、C−300WA、C−400透明、C−400WA、C−600透明、C−800透明、C−800WA、P−400T、P−800T、U−600T、CF−600T、JB−400T、JB−800T、CE−400T、CE−800T、TK−900TR、TK−1000TR等が挙げられる。 Examples of the organic-inorganic composite particles of the present invention include product names of Daimic Beads UCN-8070CM Clear, UCN-8150CM Clear, UCN-5070D Clear, UCN-5150D Clear, and Negami Kogyo Co., Ltd. manufactured by Dainichiseika Kogyo Co., Ltd. Product name made by the company Art Pearl C-100 transparent, C-200 transparent, C-300 transparent, C-300WA, C-400 transparent, C-400WA, C-600 transparent, C-800 transparent, C-800WA, P -400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-800T, CE-400T, CE-800T, TK-900TR, TK-1000TR and the like can be mentioned.

また、有機−無機複合化粒子の表面をシランカップリング剤、その他の有機化合物等で被覆し親水性化あるいは疎水性化などの表面改質を行ってもよい。
本願発明の有機粒子とは炭素を含む球状ポリマーであれば特に限定されないが、楕円状のものも含まれる。
Further, the surface of the organic-inorganic composite particles may be coated with a silane coupling agent, other organic compounds, or the like to perform surface modification such as making the particles hydrophilic or hydrophobic.
The organic particles of the present invention are not particularly limited as long as they are spherical polymers containing carbon, but elliptical particles are also included.

本願発明の有機粒子は、特に限定はされないが、例えば、ポリメタクリル酸メチル系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM−0600、GM−0600W、架橋ポリメタクリル酸メチル系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGM−0801S、GM−0807S、GM−1001−S、GM−1007S、GM−1505S−S、GMX−0610、GMX−0810、GMP−0800、GMDM−050M、GMDM−080M、GMDM−100M、GMDM−150M、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーMBX−5、MBX−8、MBX−12、架橋ポリメタクリル酸ブチル系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGB−05S、GB−08S、GB−10S、GB−15S、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーBM30X−5、BM30X−8、架橋アクリル系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGMP−0820、アクリルコポリマー系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGBM−55COS、架橋スチレン系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGS−0605、GS−1105、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーSBX−6、SBX−8、架橋ポリアクリル酸エステル系有機ビーズとしては、積水化成品工業株式会社製の製品名テクポリマーABX−8、AF10X−8、AFX−15、ARX−15、ナイロン系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールGPA−550、シリコーン系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSI−020、SI−030、SI−045、架橋シリコーン系球状有機ビーズとしては、ガンツ化成株式会社製の製品名ガンツパールSIG−070、架橋ウレタン系球状有機ビーズとしては、大日精化工業株式会社製の製品名ダイミックビーズUCN−8070CMクリヤー、UCN−8150CMクリヤー、UCN−5070Dクリヤー、UCN−5150Dクリヤー、根上工業株式会社製の商品名アートパールC−100透明、C−200透明、C−300透明、C−300WA、C−400透明、C−400WA、C−600透明、C−800透明、C−800WA、P−400T、P−800T、U−600T、CF−600T、JB−400T、JB−600T、JB−800T、CE−400T、CE−800T、AK−200TR、AK−300TR、AK−400TR、AK−800TR、HI−400T、HI−400BK、HI−400W、MM−120T、MM−120TW、MM−101SW、HB−800BK、HB−400BK、CH−800R、CH−800BL、TK−600T、TK−800T、TK−900TR、TK−1000TR、C−600TH、RZ−600T、RY−600T、RT−600T、RX−600T、RW−600T、RV−600T、RU−600T、BP−835T、BP−870T、BP−892T等が挙げられる。 The organic particles of the present invention are not particularly limited. For example, as polymethylmethacrylate-based spherical organic beads, product names of Ganzpearl GM-0600, GM-0600W, and crosslinked polymethylmethacrylate-based ones manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd. are used. As spherical organic beads, product names of Ganz Pearl GM-0801S, GM-0807S, GM-1001-S, GM-1007S, GM-1505S-S, GMX-0610, GMX-0810, GMP- 0800, GMDM-050M, GMDM-080M, GMDM-100M, GMDM-150M, Product names manufactured by Sekisui Kasei Kogyo Co., Ltd. Techpolymers MBX-5, MBX-8, MBX-12, crosslinked polybutyl methacrylate-based spherical organic As beads, product names of Ganz Pearl GB-05S, GB-08S, GB-10S, GB-15S manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., product names of Techpolymer BM30X-5, BM30X-8 manufactured by Sekisui Kasei Kogyo Co., Ltd., As the crosslinked acrylic spherical organic beads, the product name Gantz Pearl GMP-0820 manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd., and as the acrylic polymer-based spherical organic beads, the product name Gantz Pearl GBM-55COS manufactured by Gantz Kasei Co., Ltd. As organic beads, product names of Ganz Pearl GS-0605 and GS-1105 manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., product names of Techpolymer SBX-6 and SBX-8 manufactured by Sekisui Kasei Kogyo Co., Ltd., and cross-linked polyacrylic acid ester-based organic beads. As beads, product name Techpolymer ABX-8, AF10X-8, AFX-15, ARX-15 manufactured by Sekisui Kasei Kogyo Co., Ltd., and as nylon-based spherical organic beads, product name Ganz Pearl manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd. GPA-550, as silicone-based spherical organic beads, product names manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd. Ganzpearl SI-020, SI-030, SI-045, and as crosslinked silicone-based spherical organic beads, products manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd. Name Gantz Pearl SIG-070, cross-linked urethane-based spherical organic beads, product names manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Daimic beads UCN-8070CM clear, UCN-8150CM clear, UCN-5070D clear, UCN-5150D clear, Negami Product name Art Pearl C-100 transparent, C-200 transparent, C-300 transparent, C-300WA, C-400 transparent, C-400WA, C-600 transparent, C-800 transparent, C manufactured by Kogyo Co., Ltd. -800WA, P-400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-600T, JB-800T, CE-400T, CE-800T, AK-200TR, AK-300TR, AK-400TR , AK-800TR, HI-400T, HI-400BK, HI-400W, MM-120T, MM-120TW, MM-101SW, HB-800BK, HB-400BK, CH-800R, CH-800BL, TK-600T, TK -800T, TK-900TR, TK-1000TR, C-600TH, RZ-600T, RY-600T, RT-600T, RX-600T, RW-600T, RV-600T, RU-600T, BP-835T, BP-870T , BP-892T and the like.

本願発明の有機粒子は、上記球状有機ビーズの中でも、特に分子内にウレタン結合を含有する架橋球状有機ビーズを用いることが、絶縁膜の反り低下、繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性の向上、ポリイミドとの接着性の向上のために好ましい。 Among the above-mentioned spherical organic beads, the organic particles of the present invention include crosslinked spherical organic beads containing a urethane bond in the molecule to reduce the warp of the insulating film, improve the flexibility to withstand repeated bending, and to use polyimide. It is preferable for improving the adhesiveness of the material.

本願発明の前記架橋ポリマー粒子とは少なくとも2種類以上のモノマーが重合反応し、少なくとも1種類以上の化学結合および架橋構造を有しているものであって、基本的に重合反応が完結した真球状または楕円状の粒子であれば特に限定されないが、例えば、大日精化工業株式会社製の商品名ダイミックビーズUCN−8070CMクリヤー、UCN−8150CMクリヤー、UCN−5070Dクリヤー、UCN−5150Dクリヤー、根上工業株式会社製の商品名アートパールC−100透明、C−200透明、C−300透明、C−300WA、C−400透明、C−400WA、C−600透明、C−800透明、C−800WA、P−400T、P−800T、U−600T、CF−600T、JB−400T、JB−600T、JB−800T、CE−400T、CE−800T、AK−200TR、AK−300TR、AK−400TR、AK−800TR、HI−400T、HI−400BK、HI−400W、MM−120T、MM−120TW、MM−101SW、HB−800BK、HB−400BK、CH−800R、CH−800BL、TK−600T、TK−800T、TK−900TR、TK−1000TR、C−600TH、RZ−600T、RY−600T、RT−600T、RX−600T、RW−600T、RV−600T、RU−600T、BP−835T、BP−870T、BP−892T等が挙げられる。 The crosslinked polymer particles of the present invention are those in which at least two or more kinds of monomers are polymerized and have at least one kind of chemical bond and crosslinked structure, and basically a spherical shape in which the polymerization reaction is completed. Alternatively, the particles are not particularly limited as long as they are elliptical particles, but for example, trade names such as Daimic Beads UCN-8070CM Clear, UCN-8150CM Clear, UCN-5070D Clear, UCN-5150D Clear, and Negami Kogyo manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Product name made by Art Pearl Co., Ltd. C-100 transparent, C-200 transparent, C-300 transparent, C-300WA, C-400 transparent, C-400WA, C-600 transparent, C-800 transparent, C-800WA, P-400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-600T, JB-800T, CE-400T, CE-800T, AK-200TR, AK-300TR, AK-400TR, AK- 800TR, HI-400T, HI-400BK, HI-400W, MM-120T, MM-120TW, MM-101SW, HB-800BK, HB-400BK, CH-800R, CH-800BL, TK-600T, TK-800T, TK-900TR, TK-1000TR, C-600TH, RZ-600T, RY-600T, RT-600T, RX-600T, RW-600T, RV-600T, RU-600T, BP-835T, BP-870T, BP- 892T and the like can be mentioned.

本願発明の成分(B)の体積平均粒子径は、例えばマイクロトラックUPA(日機装社製)やLA−950V2(株式会社堀場製作所製)を用いて、体積基準のメジアン径(積算分布値50%に対する粒子径)として測定することができる。 The volume average particle diameter of the component (B) of the present invention is, for example, using Microtrack UPA (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) or LA-950V2 (manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd.) with respect to the volume-based median diameter (integrated distribution value 50%). It can be measured as particle size).

本願発明の成分(B)絶縁膜改質用組成物の混合方法としては、
(1)(B)絶縁膜改質用組成物以外の感光性樹脂組成物用原料の一部または全てを予め混合したものに(B)絶縁膜改質用組成物を攪拌機などの比較的せん断応力の低い混合方法を用いて混合することにより、(B)絶縁膜改質用組成物を添加する方法、
(2)感光性樹脂組成物の原料ポリマーおよび/またはオリゴマーを重合するにあたり、重合前または重合途中に(B)絶縁膜改質用組成物を添加し、感光性樹脂組成物中に原料ポリマーおよび/またはオリゴマーが溶解したものを得ることにより、(B)絶縁膜改質用組成物を添加する方法、
(3)(B)絶縁膜改質用組成物およびその他の感光性樹脂組成物原料の一部または全てを混合し、3本ロール、ビーズミルなどのせん断応力などの力学的な応力を用いて混錬あるいは分散し、(B)絶縁膜改質用組成物を添加する方法、
(4)感光性樹脂組成物用原料の内、常温固形および/または比較的粘度の高い原料を(B)絶縁膜改質用組成物と混合し、均一に当該原料が溶解した液状物とすることにより、(B)絶縁膜改質用組成物を添加する方法等が挙げられる。
As a method for mixing the component (B) insulating film modifying composition of the present invention,
(1) (B) The composition for modifying the insulating film is relatively sheared by a stirrer or the like by mixing a part or all of the raw materials for the photosensitive resin composition other than the composition for modifying the insulating film in advance. (B) A method of adding a composition for modifying an insulating film by mixing using a mixing method with low stress.
(2) When polymerizing the raw material polymer and / or oligomer of the photosensitive resin composition, the composition for modifying the insulating film (B) is added before or during the polymerization, and the raw material polymer and / or the oligomer are added to the photosensitive resin composition. / Or a method of adding (B) a composition for modifying an insulating film by obtaining a dissolved oligomer.
(3) (B) The composition for modifying the insulating film and some or all of the raw materials for the other photosensitive resin composition are mixed and mixed using mechanical stress such as shear stress of a three-roll or bead mill. Method of smelting or dispersing and (B) adding a composition for modifying an insulating film,
(4) Of the raw materials for the photosensitive resin composition, a solid at room temperature and / or a raw material having a relatively high viscosity is mixed with the composition for modifying the insulating film (B) to obtain a liquid material in which the raw material is uniformly dissolved. As a result, (B) a method of adding the insulating film modifying composition and the like can be mentioned.

本願発明の成分(B)の配合量は、好ましくは成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して30〜100重量部、より好ましくは40〜80重量部とすることにより、得られる絶縁膜表面に効果的に凹凸を形成することが可能となり、タックフリー性に優れ、成分(B)による充填硬化が得られるため絶縁膜の反りが低下し、応力緩和効果や破壊靱性の向上により繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性が向上する。成分(B)が30重量部より少ない場合はタックフリー性や繰り返し折り曲げに耐え得る柔軟性に劣る場合があり、100重量部より多い場合は難燃性や樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。 The blending amount of the component (B) of the present invention is preferably 30 to 100 parts by weight, more preferably 40 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components. By forming the portion, it becomes possible to effectively form irregularities on the surface of the obtained insulating film, excellent tack-free property, and filling and curing by the component (B) can be obtained, so that the warp of the insulating film is reduced and stress is obtained. The flexibility to withstand repeated bending is improved by improving the relaxation effect and fracture toughness. If the component (B) is less than 30 parts by weight, it may be inferior in tack-free property and flexibility that can withstand repeated bending, and if it is more than 100 parts by weight, it is flame-retardant or when applying a resin composition solution. The coatability deteriorates, and the appearance may be poor due to foaming of the coating film during coating and insufficient leveling.

[(C)光重合開始剤]
本願発明における(C)光重合開始剤とは、UV光、レーザー光およびLED光などの特定波長におけるエネルギーまたはエネルギーの組合せによって活性化し、ラジカル重合性基の反応を開始・促進させる化合物である。
[(C) Photopolymerization Initiator]
The (C) photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is activated by energy or a combination of energies at a specific wavelength such as UV light, laser light and LED light to initiate and promote the reaction of a radically polymerizable group.

本願発明の成分(C)は、上記特性を有する化合物であれば特に限定はされないが、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)、9H−チオキサンテン−2−カルボキシアルデヒド 9−オキソ−2−(O−アセチルオキシム)などが挙げられる。上記成分(B)は適宜選択することが望ましく、1種以上を混合させて用いることが望ましい。 The component (C) of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having the above characteristics, but for example, Mihira's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4', 4 "-tris. (Dimethylamino) Triphenylmethane, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, Benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butyl anthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2, 4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, diacetylbenzyl, benzyldimethylketal, benzyldiethylketal, 2 (2'-frylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2'(5''-methylfuryl) ethylidene] -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) ) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4,4'-diazidocalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4'-diazidostilben-2,2 '-Disulfoneate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one , 1- [4- (2-Hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpho Renopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2) , 6-Dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1 -Ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadiene-1-yl) -bis (2, 6-Difluoro-3- (1H-pyrrole-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodonium , (4-Methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, etanone, 1- [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxyom), 9H-thioxanthene-2-carboxyaldehyde 9-oxo-2-( O-acetyloxime) and the like. It is desirable to appropriately select the above component (B), and it is desirable to use a mixture of one or more.

成分(C)は、感光性樹脂組成物中、0.1〜20重量%となるように配合されていることが好ましく、0.2〜10重量%がさらに好ましい。 The component (C) is preferably blended in an amount of 0.1 to 20% by weight, more preferably 0.2 to 10% by weight, in the photosensitive resin composition.

上記配合割合にすることで黒色樹脂組成物の感光性が向上するので好ましい。成分(C)が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時のラジカル重合性基の反応が起こりにくく、硬化が不十分となることが多い場合がある。また、成分(C)が上記範囲よりも多い場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。 It is preferable to use the above blending ratio because the photosensitivity of the black resin composition is improved. When the amount of the component (C) is less than the above range, the reaction of the radically polymerizable group at the time of light irradiation is unlikely to occur, and the curing may be insufficient in many cases. Further, when the component (C) is more than the above range, it becomes difficult to adjust the light irradiation amount, and an overexposure state may occur. Therefore, in order to efficiently proceed with the photocuring reaction, it is preferable to adjust within the above range.

本願発明における(C)光重合開始剤として、好ましくは、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどのα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)、9H−チオキサンテン−2−カルボキシアルデヒド 9−オキソ−2−(O−アセチルオキシム)などのオキシムエステル系光重合開始剤、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウムなどのチタノセン系光重合開始剤などが挙げられる。 As the (C) photopolymerization initiator in the present invention, preferably 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-( 4-Morphorinophenyl) -butane-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, Α-Aminoacetophenone-based photopolymerization initiators such as N-dimethylaminoacetophenone, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iodonium, (4) -Methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1-), ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, etanone, 1- [9- Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxyom), 9H-thioxanthene-2-carboxyaldehyde 9-oxo-2- (O-acetyl) Oxime ester-based photopolymerization initiator such as oxime), 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-ketone, bis (n5-2) , 4-Cyclopentadiene-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrole-1-yl) -phenyl) Titanosen-based photopolymerization initiators such as titanium can be mentioned.

さらに好ましくは、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤を含有することが好ましい。かかるα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASF社製のIrgacure907、Irgacure369、Irgacure379などが挙げられる。 More preferably, it contains an α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator. Examples of such α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiators include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(. 4-Morphorinophenyl) -butane-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, Examples thereof include N-dimethylaminoacetophenone. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF.

[(D)溶媒]
本願発明における溶媒としては、本願発明の感光性樹脂組成物成分を溶解させることができる溶媒であれば良い。例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエーテル類等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。
[(D) Solvent]
The solvent in the present invention may be any solvent that can dissolve the components of the photosensitive resin composition of the present invention. For example, sulfoxide-based solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, methyl monoglime (1,2-dimethoxyethane), methyl diglime (bis (2-methoxyether) ether), and methyl triglime (1,2-bis (2)). -Methoxyethoxy) ethane), methyl tetraglime (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglime (1,2-diethoxyethane), ethyl diglime (bis (2-ethoxyethyl)) (Ether), symmetric glycol diethers such as butyl diglime (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butylolactone, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate. , Ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, acetate 2- (2-butoxyethoxy) ethyl)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene Acetates such as glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether. , Dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether , Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monoethyl ether and other ethers can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における溶媒の量は、感光性樹脂組成物における成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して重量部に対して、10〜400重量部が好ましく、より好ましくは、20〜200重量部、特に好ましくは、40〜100重量部である。上記範囲内に溶媒の量を調整することにより、樹脂組成物の粘度や粘性をスクリーン印刷などの塗工に適切な範囲内に調整することができるので好ましい。溶媒が上記範囲よりも少ない場合には、樹脂組成物の粘度が非常に高くなり、塗工が困難となり、塗工時の泡の巻き込み、レベリング性に劣る場合がある。また、溶媒が上記範囲よりも多い場合には、樹脂組成物の粘度が非常に低くなってしまい、塗工が困難となり、回路の被覆性に劣る場合がある。 The amount of the solvent in the present invention is preferably 10 to 400 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components in the photosensitive resin composition. More preferably, it is 20 to 200 parts by weight, and particularly preferably 40 to 100 parts by weight. By adjusting the amount of the solvent within the above range, the viscosity and viscosity of the resin composition can be adjusted within an appropriate range for coating such as screen printing, which is preferable. When the amount of the solvent is less than the above range, the viscosity of the resin composition becomes very high, the coating becomes difficult, and the foam entrainment and leveling property at the time of coating may be inferior. Further, when the amount of the solvent is more than the above range, the viscosity of the resin composition becomes very low, the coating becomes difficult, and the coating property of the circuit may be inferior.

[(E)着色剤]
本願発明の感光性樹脂組成物には、(E)着色剤を含有することが出来る。
(E)着色剤とは、染料または顔料のいずれかであり、かつ本願発明の感光性樹脂組成物を着色することができるものであれば特に限定されない。また、複数の着色剤を組み合わせても良い。具体的には、赤色着色剤、橙色着色剤、黄色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤、黒着色剤、白色着色剤を任意に組み合わせることができる。以下に具体例をカラーインデックス番号で示す。
[(E) Colorant]
The photosensitive resin composition of the present invention can contain (E) a colorant.
The colorant (E) is not particularly limited as long as it is either a dye or a pigment and can color the photosensitive resin composition of the present invention. Moreover, you may combine a plurality of colorants. Specifically, a red colorant, an orange colorant, a yellow colorant, a green colorant, a blue colorant, a purple colorant, a black colorant, and a white colorant can be arbitrarily combined. A specific example is shown below by the color index number.

(赤色着色剤)
本願発明の赤色着色剤としては、特に限定されないが、例えば、モノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系等の顔料であるC.I.Pigment Red 122、149、166、177、179、242、224、254、264、272が挙げられる。
(Red colorant)
The red colorant of the present invention is not particularly limited, and for example, monoazo type, dizuazo type, azolake type, benzimidazolone type, perylene type, diketopyrrolopyrrole type, condensed azo type, anthraquinone type, quinacridone type and the like. C.I. I. Pigment Red 122, 149, 166, 177, 179, 242, 224, 254, 264, 272.

(橙色着色剤)
本願発明の橙着色剤は、特に限定されないが、例えば、C.I.Pigment Orange 5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73が挙げられる。
(Orange colorant)
The orange colorant of the present invention is not particularly limited, but for example, C.I. I. Pigment Orange 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73.

(黄色着色剤)
本願発明の黄色着色剤としては、特に限定されないが、例えば、モノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等の顔料であるC.I.Pigment Yellow 83、110、128、138、139、150、151、154、155、180、181が挙げられる。
(Yellow colorant)
The yellow colorant of the present invention is not particularly limited, and is, for example, a pigment such as monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, and anthraquinone. I. Pigment Yellow 83, 110, 128, 138, 139, 150, 151, 154, 155, 180, 181.

(緑色着色剤)
本願発明の緑色着色剤としては、特に限定されないが、例えば、フタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系等の顔料であるC.I.Pigment Green 7、37、染料系であるSolvent Green 3、5、20、28が挙げられる。上記以外にも金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。特に、銅フタロシアニン系が着色力の観点から好ましい。
(Green colorant)
The green colorant of the present invention is not particularly limited, and is, for example, a phthalocyanine-based, anthraquinone-based, perylene-based pigment, or the like. I. Pigment Green 7, 37, and Solvent Green 3, 5, 20, 28, which are dye-based, can be mentioned. In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used. In particular, a copper phthalocyanine type is preferable from the viewpoint of coloring power.

(青色着色剤)
本願発明の青色着色剤は、特に限定されないが、例えば、フタロシアニン系、アントラキノン系,ジオキサジン系等の顔料であるC.I.Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60、染料系であるSolvent Blue 35、63、68、70、83、87、94、97、122、136、67、70が挙げられる。上記以外にも金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。特に、銅フタロシアニン系が着色力の観点から好ましい。
(Blue colorant)
The blue colorant of the present invention is not particularly limited, but is, for example, a phthalocyanine-based, anthraquinone-based, dioxazine-based pigment, or the like. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 60, Dye-based Solvent Blue 35, 63, 68, 70, 83, 87, 94, 97, 122, 136, 67, 70 can be mentioned. In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used. In particular, a copper phthalocyanine type is preferable from the viewpoint of coloring power.

(紫色着色剤)
願発明の紫着色剤は、特に限定されないが、例えば、C.I.Pigment Violet 19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50、Solvent Violet 13、36が挙げられる。
(Purple colorant)
The purple colorant of the present invention is not particularly limited, but for example, C.I. I. Pigment Violet 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50, Solvent Violet 13, 36.

(黒着色剤)
本願発明の黒色着色剤は、特に限定されないが、例えば、カーボンブラック系、黒鉛系、金属酸化物系、チタンブラック系、アンスラキノン系などの顔料であるC. i. Pigment Black 6、7、8、9、10、11、12、13、15、25、28、29、30、31、32が挙げられる。
(Black colorant)
The black colorant of the present invention is not particularly limited, but is, for example, a pigment such as carbon black, graphite, metal oxide, titanium black, anthraquinone, etc. C. i. Pigment Black 6, 7, 8 , 9, 10, 11, 12, 13, 15, 25, 28, 29, 30, 31, 32.

(白色着色剤)
本願発明の白色着色剤は、特に限定されないが、例えば、酸化亜鉛系、酸化チタン系、硫化亜鉛系の顔料であるC. i. Pigment White 4、6、7が挙げられる。
(White colorant)
The white colorant of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include Zi. Pigment Whites 4, 6 and 7, which are zinc oxide-based, titanium oxide-based, and zinc sulfide-based pigments.

[(F)リン元素を含むフィラー]
本願発明の感光性樹脂組成物には、(F)リン元素を含むフィラーを含有することが出来る。(F)リン元素を含むフィラーとは分子中のリン元素を含有し、室温以上のガラス転移温度を有する化合物であり、堆積平均粒子径が1〜10μmの粒子であれば特に限定されない。形状としては球状、粉状、繊維状、針状、鱗片状などが挙げられる。特にホスフィン酸塩が好ましく、下記一般式(1)で示される化合物である。
[(F) Filler containing phosphorus element]
The photosensitive resin composition of the present invention can contain a filler containing the element (F) phosphorus. (F) The filler containing a phosphorus element is a compound containing a phosphorus element in a molecule and having a glass transition temperature of room temperature or higher, and is not particularly limited as long as the particles have a deposition average particle size of 1 to 10 μm. Examples of the shape include spherical, powdery, fibrous, needle-like, and scaly-like. In particular, phosphinate is preferable, and it is a compound represented by the following general formula (1).

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、R1及びR2は、それぞれ独立に直鎖状または枝分かれした炭素数1〜6のアルキル基またはアリール基を示し、Mは、Mg、Ca、Al、Sb、Sn、Ge、Ti、Fe、Zr、Zn、Ce、Bi、Sr、Mn、Li、Na及びKからなる群の少なくとも1種より選択される金属類を示し、tは1〜4の整数である。)。 (In the formula, R1 and R2 represent independently linear or branched alkyl or aryl groups having 1 to 6 carbon atoms, respectively, and M is Mg, Ca, Al, Sb, Sn, Ge, Ti, Fe. , Zr, Zn, Ce, Bi, Sr, Mn, Li, Na and K, indicating metals selected from at least one of the group, where t is an integer of 1 to 4).

本願発明のホスフィン酸塩は、上記構造であれば特に限定はされないが、例えば、トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル等を挙げることができ、これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いることができる。本願発明のホスフィン酸塩化合物が更にアルミニウム元素を含有することが、高い難燃性が得られる点で好ましく、中でも特に、アルミニウム元素を含有するトリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウムを用いた場合、さらに高い難燃性が得られるため好ましい。 The phosphinate of the present invention is not particularly limited as long as it has the above structure, but for example, aluminum trisdiethylphosphinate, aluminum trismethylethylphosphinate, aluminum trisdiphenylphosphinate, zinc bisdiethylphosphinate, and bismethylethylphosphine. Examples thereof include zinc acid, zinc bisdiphenylphosphinate, titanyl bisdiethylphosphinate, titanyl bismethylethylphosphinate, titanyl bisdiphenylphosphinate, and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. It is preferable that the phosphinate compound of the present invention further contains an aluminum element from the viewpoint of obtaining high flame retardancy, and in particular, aluminum trisdiethylphosphinate and aluminum trismethylethylphosphinate containing an aluminum element are used. If so, it is preferable because higher flame retardancy can be obtained.

本願発明の成分(F)の含有量は、好ましくは、成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して15〜80重量部、より好ましくは20〜75重量部とすることにより、得られる絶縁膜の難燃性や電気絶縁信頼性に優れる。特に、難燃性の観点からは感光性樹脂組成物の固形分に対してリン元素の含有比率が3重量%以上となることが好ましい。成分(F)が15重量部より少ない場合は難燃性に劣る場合があり、80重量部より多い場合は樹脂組成物溶液を塗工する際の塗工性が悪化し、塗工時の塗膜の発泡やレベリング不足による外観不良が発生する場合がある。 The content of the component (F) of the present invention is preferably 15 to 80 parts by weight, more preferably 20 to 75 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components. By using the weight part, the obtained insulating film has excellent flame retardancy and electrical insulation reliability. In particular, from the viewpoint of flame retardancy, the content ratio of the phosphorus element to the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 3% by weight or more. If the component (F) is less than 15 parts by weight, the flame retardancy may be inferior, and if it is more than 80 parts by weight, the coatability at the time of coating the resin composition solution deteriorates, and the coating at the time of coating is deteriorated. Poor appearance may occur due to foaming of the film or insufficient leveling.

[その他の成分]
本願発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じてラジカル重合性化合物、熱硬化性樹脂、無機フィラー、難燃剤、密着付与剤及び重合禁止剤等の添加剤を含有してもよい。
[Other ingredients]
The photosensitive resin composition of the present invention may contain additives such as a radical polymerizable compound, a thermosetting resin, an inorganic filler, a flame retardant, a adhesion imparting agent and a polymerization inhibitor, if necessary.

[ラジカル重合性化合物]
本願発明に用いられるラジカル重合性化合物とは、光や熱によって発生したラジカルにより化学結合が形成される化合物である。その中でも光重合開始剤により化学結合が形成される化合物であり、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する化合物であることが好ましい。さらには、上記不飽和二重結合は、アクリル基(CH2=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)であることが好ましい。
[Radical polymerizable compound]
The radically polymerizable compound used in the present invention is a compound in which a chemical bond is formed by radicals generated by light or heat. Among them, it is a compound in which a chemical bond is formed by a photopolymerization initiator, and a compound having at least one unsaturated double bond in the molecule is preferable. Furthermore, the unsaturated double bond, acrylic group (CH2 = CH- group), methacryloyl group (CH = C (CH 3) - group) that is or vinyl group (-CH = CH- group) preferable.

かかるラジカル重合性化合物としては、例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1 − アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはメタアクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、樹脂組成物のアルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性熱硬化性樹脂組成物を硬化した絶縁膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線基板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。 Examples of such radically polymerizable compounds include bisphenol F EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) diacrylate, and bisphenol S EO modified (n = 2 to 50) diacrylate. , Bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexanediol di Acrylate, Neopentyl glycol diacrylate, Ethylene glycol diacrylate, Pentaerythritol diacrylate, Trimethylol propantriacrylate, Pentaerythritol triacrylate, Dipentaerythritol hexaacrylate, Tetramethylol propantetraacrylate, Tetraethylene glycol diacrylate, 1,6 -Hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropanetetramethacrylate, tetraethyleneglycoldimethacrylate. , Methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, Phenoxypolyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6 -Hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4-( Methacryloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy-diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol Diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, 2,2-bis [4- (acryloxy-diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy- 3-Methacryloxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethanetriacrylate, tetramethylolmethanetetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol acrylate, 1- Acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanedioldi Methacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate , Tricyclodecanedimethanol diacrylate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4- Diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ethoxylated totimethylol propantriacrylate, propoxylated totimethylol propantriacrylate, tri-isocyanurate (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxy Pentathritol Tetraacrylate, Ditrimethylol Propane Tetraacrylate, Dipentaerythritol Polyacrylate, Triallyl Isocyanurate, Glycidyl Meta Cryrate, glycidyl allyl ether, 1,3,5-triacrylloylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallylcitrate, triallyl phosphate, alloverbital, diallylamine, diallyl Dimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, zarylsiallate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4'-isopropyridene diphenol dimethacrylate, 4, 4'-isopropyridene diphenol diacrylate, etc. are preferred, but not limited to these. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or methacrylate is preferably in the range of 2 to 50, and more preferably 2 to 40. By using a resin composition having a repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility of the resin composition in an aqueous developing solution typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the developing time is shortened. Further, stress does not easily remain in the cured insulating film of the photosensitive thermosetting resin composition. For example, among printed wiring boards, when laminated on a flexible printed wiring board using a polyimide resin as a base material, the printed wiring board It has features such as being able to suppress curling.

特に、上記EO変性のジアクリレート或いは、ジメタクリレートと、アクリル基もしくは、メタクリル基を3以上有するアクリル樹脂を併用することが現像性を高める上で特に好ましく、例えばエトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸EO変性トリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルコハク酸、2,2,2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、プロポキシ化ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、プロポキシ化ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−(2−アクリロキシエチル)イソシアヌレート、カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、下記一般式(2) In particular, it is particularly preferable to use the above-mentioned EO-modified diacrylate or dimethacrylate in combination with an acrylic resin having 3 or more acrylic groups or methacrylic groups in order to improve developability. For example, ethoxylated isocyanuric acid EO-modified triacrylate. Ethoxylated isocyanuric acid EO-modified trimethacrylate, ethoxylated trimethylol propanetriacrylate, ethoxylated trimethylolpropan triacrylate, ethoxylated trimethylol propanetriacrylate, trimethylol propanetriacrylate, propoxylated trimethylol propanetriacrylate, pentaerythritol triacrylate Acrylate, pentaerythritol tetraacrylate ethoxylated, pentaerythritol tetraacrylate ethoxylated, ditrimethylolpropanetetraacrylate, ditrimethylolpropanetetraacrylate, propoxylated pentaeristol tetraacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, 2,2 , 2-Trisacryloyloxymethylethyl succinic acid, 2,2,2-Trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, propoxylated ditrimethylol propanetetraacrylate, propoxylated dipentaerythritol hexaacrylate, ethoxylated isocyanuric acid triacrylate, ε-caprolactone-modified tris- (2-acryloxyethyl) isocyanurate, caprolactone-modified ditrimethylol propanetetraacrylate, the following general formula (2)

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、a+b=6、n=12である。)で表される化合物、下記一般式(3) (In the formula, a + b = 6, n = 12), the compound represented by the following general formula (3).

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、a+b=4、n=4である。)で表される化合物、下記式(4) (In the formula, a + b = 4, n = 4), the compound represented by the following formula (4).

Figure 0006764680
Figure 0006764680

で表される化合物、下記一般式(5) Compound represented by, the following general formula (5)

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、m=1、a=2、b=4もしくは、m=1、a=3、b=3もしくは、m=1、a=6、b=0もしくは、m=2、a=6、b=0である。)で表される化合物、下記一般式(6) (In the formula, m = 1, a = 2, b = 4 or m = 1, a = 3, b = 3 or m = 1, a = 6, b = 0 or m = 2, a = 6 , B = 0), the following general formula (6)

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、a+b+c=3.6である。)で表される化合物、下記式(7) (In the formula, a + b + c = 3.6), the compound represented by the following formula (7).

Figure 0006764680
Figure 0006764680

で表される化合物、下記一般式(8) Compound represented by, the following general formula (8)

Figure 0006764680
Figure 0006764680

(式中、m・a=3、a+b=3、ここで「m・a」は、mとaとの積である。)で表される化合物等のアクリル樹脂が好適に用いられる。 Acrylic resins such as compounds represented by (in the formula, m · a = 3, a + b = 3, where “m · a” is the product of m and a) are preferably used.

また、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する物も好適に用いられる。 Further, a hydroxyl group and a carbonyl in the molecular structure of 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, monohydroxyethyl phthalate acrylate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaeslitortri and tetraacrylate. Those having a group are also preferably used.

この他、エポキシ変性のアクリル(メタクリル)樹脂や、ウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、ポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂等どのようなラジカル重合性化合物を用いてもよい。 In addition, any radical polymerizable compound such as an epoxy-modified acrylic (methacrylic) resin, a urethane-modified acrylic (methacrylic) resin, or a polyester-modified acrylic (methacrylic) resin may be used.

尚、ラジカル重合性化合物としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、光硬化後の絶縁膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。 Although it is possible to use one type of radically polymerizable compound, it is preferable to use two or more types in combination in order to improve the heat resistance of the insulating film after photocuring.

本願発明におけるラジカル重合性化合物は、成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して、10〜200重量部となるように配合されていることが、感光性樹脂組成物の感光性が向上する点で好ましい。 It is photosensitive that the radically polymerizable compound in the present invention is blended so as to be 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components. It is preferable in that the photosensitivity of the sex resin composition is improved.

ラジカル重合性化合物が上記範囲よりも少ない場合には、絶縁膜の耐アルカリ性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストが付きにくくなる場合がある。また、ラジカル重合性樹脂が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる塗膜のべたつきが大きくなるため生産性が低下し、また架橋密度が高くなりすぎることにより絶縁膜が脆く割れやすくなる場合がある。上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。 If the amount of the radically polymerizable compound is less than the above range, the alkali resistance of the insulating film may be lowered, and it may be difficult to obtain contrast when exposed and developed. Further, when the amount of the radically polymerizable resin is more than the above range, the stickiness of the coating film obtained by applying the photosensitive resin composition on the substrate and drying the solvent becomes large, so that the productivity is lowered. In addition, the insulating film may be brittle and easily cracked due to the excessively high crosslink density. Within the above range, the resolution at the time of exposure / development can be set to the optimum range.

[熱硬化性樹脂]
本願発明に用いられる熱硬化性樹脂とは、加熱により架橋構造を生成し、熱硬化剤として機能する化合物である。例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、アリル硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂;高分子鎖の側鎖又は末端にアリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基、等の反応性基を有する側鎖反応性基型熱硬化性高分子等を用いることができる。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。
[Thermosetting resin]
The thermosetting resin used in the present invention is a compound that forms a crosslinked structure by heating and functions as a thermosetting agent. For example, thermosetting resins such as epoxy resin, bismaleimide resin, bisallyl nadiimide resin, acrylic resin, methacrylic resin, hydrosilyl curing resin, allyl curing resin, unsaturated polyester resin; allyl on the side chain or terminal of the polymer chain. A side chain reactive group type thermosetting polymer having a reactive group such as a group, a vinyl group, an alkoxysilyl group, or a hydrosilyl group can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における熱硬化性樹脂としては、この中でも、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。本願発明におけるエポキシ樹脂は分子中に少なくとも1つ以上のエポキシ基を有していれば、分子量を問わず、モノマー、オリゴマー、及びポリマーなどの全てを含み、加熱により架橋構造を生成し、熱硬化剤として機能する化合物である。エポキシ樹脂を含有することにより、樹脂組成物を硬化させて得られる絶縁膜に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができる。上記エポキシ樹脂とは、分子内に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jER828、jER1001、jER1002、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEP−4100E、アデカレジンEP−4300E、日本化薬株式会社製の製品名RE−310S、RE−410S、大日本インキ株式会社製の製品名エピクロン840S、エピクロン850S、エピクロン1050、エピクロン7050、東都化成株式会社製の製品名エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−128、ビスフェノールF型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jER806、jER807、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEP−4901E、アデカレジンEP−4930、アデカレジンEP−4950、日本化薬株式会社製の製品名RE−303S、RE−304S、RE−403S,RE−404S、DIC株式会社製の製品名エピクロン830、エピクロン835、東都化成株式会社製の製品名エポトートYDF−170、エポトートYDF−175S、エポトートYDF−2001、ビスフェノールS型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の製品名エピクロンEXA−1514、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jERYX8000、jERYX8034,jERYL7170、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEP−4080E、DIC株式会社製の製品名エピクロンEXA−7015、東都化成株式会社製の製品名エポトートYD−3000、エポトートYD−4000D、ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jERYX4000、jERYL6121H、jERYL6640、jERYL6677、日本化薬株式会社製の製品名NC−3000、NC−3000H、フェノキシ型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jER1256、jER4250、jER4275、ナフタレン型エポキシ樹脂としては、DIC株式会社製の製品名エピクロンHP−4032、エピクロンHP−4700、エピクロンHP−4200、日本化薬株式会社製の製品名NC−7000L、フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jER152、jER154、日本化薬株式会社製の製品名EPPN−201−L、DIC株式会社製の製品名エピクロンN−740、エピクロンN−770、東都化成株式会社製の製品名エポトートYDPN−638、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の製品名EOCN−1020、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S、DIC株式会社製の製品名エピクロンN−660、エピクロンN−670、エピクロンN−680、エピクロンN−695、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の製品名EPPN−501H、EPPN−501HY、EPPN−502H、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、日本化薬株式会社製の製品名XD−1000、DIC株式会社製の製品名エピクロンHP−7200、アミン型エポキシ樹脂としては、東都化成株式会社の製品名エポトートYH−434、エポトートYH−434L、可とう性エポキシ樹脂としては、ジャパンエポキシレジン株式会社製の製品名jER871、jER872、jERYL7175、jERYL7217、DIC株式会社製の製品名エピクロンEXA−4850、ウレタン変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEPU−6、アデカレジンEPU−73、アデカレジンEPU−78−11、ゴム変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEPR−4023、アデカレジンEPR−4026、アデカレジンEPR−1309、キレート変性エポキシ樹脂としては、株式会社ADEKA製の製品名アデカレジンEP−49−10、アデカレジンEP−49−20等が挙げられる。上記、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。 Among these, as the thermosetting resin in the present invention, it is preferable to use an epoxy resin. The epoxy resin in the present invention contains all of monomers, oligomers, polymers, etc. regardless of the molecular weight as long as it has at least one epoxy group in the molecule, forms a crosslinked structure by heating, and is thermosetting. It is a compound that functions as an agent. By containing the epoxy resin, heat resistance can be imparted to the insulating film obtained by curing the resin composition, and adhesiveness to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted. The epoxy resin is a compound containing at least two epoxy groups in the molecule. For example, as a bisphenol A type epoxy resin, product names jER828, jER1001, jER1002 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., and ADEKA Co., Ltd. Product Names Adecaredin EP-4100E, Adecaledin EP-4300E, Product Names RE-310S, RE-410S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Product Names Epicron 840S, Epicron 850S, Epicron 1050, Epicron 7050 manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd. , Product names made by Toto Kasei Co., Ltd. Epototo YD-115, Epototo YD-127, Epototo YD-128, As bisphenol F type epoxy resins, product names jER806, jER807 made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., made by ADEKA Co., Ltd. Product name Adecaredin EP-4901E, Adecaredin EP-4930, Adecaledin EP-4950, Product name made by Nippon Kayaku Co., Ltd. Product names RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S, Product name made by DIC Co., Ltd. Epoxy 830, Epicron 835, Product name Epototo YDF-170 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., Epototo YDF-175S, Epototo YDF-2001, Bisphenol S type epoxy resin, product name Epicron EXA-1514 manufactured by DIC Co., Ltd. As the bisphenol A type epoxy resin, the product name jERYX8000, jERYX8034, jERYL7170 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., the product name Adecalegin EP-4080E manufactured by ADEKA Co., Ltd., the product name Epicron EXA-7015 manufactured by DIC Co., Ltd., Toto Kasei Co., Ltd. Company-made product names Epototo YD-3000, Epototo YD-4000D, as biphenyl type epoxy resins, product names jERYX4000, jERYL6121H, jERYL6640, jERYL6677 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., product name NC- made by Nippon Kayaku Co., Ltd. 3000, NC-3000H, as phenoxy type epoxy resin, product names jER1256, jER4250, jER4275 made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., and as naphthalene type epoxy resin, product names Epicron HP-4032, Epicron HP- made by DIC Co., Ltd. 4700, Epoxy HP-4200, Product name NC-7000L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Phenolno As the volac type epoxy resin, the product names jER152 and jER154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., the product names EPPN-201-L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and the product names Epicron N-740 and Epicron N- of DIC Co., Ltd. 770, Toto Kasei Co., Ltd. product name Epototo YDPN-638, as cresol novolac type epoxy resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. product names EOCN-1020, EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S, DIC stock The company's product names Epicron N-660, Epicron N-670, Epicron N-680, Epicron N-695, and Trisphenol methane type epoxy resins are the product names EPPN-501H and EPPN-501HY manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. , EPPN-502H, as a dicyclopentadiene type epoxy resin, product name XD-1000 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product name Epicron HP-7200 manufactured by DIC Co., Ltd., and as an amine type epoxy resin, Toto Kasei Co., Ltd. Epototo YH-434, Epototo YH-434L, as flexible epoxy resin, product names jER871, jER872, jERYL7175, jERYL7217 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., product names Epicron EXA-4850 manufactured by DIC Co., Ltd. As the urethane-modified epoxy resin, the product name of ADEKA Co., Ltd. is Adecaredin EPU-6, Adecaredin EPU-73, Adecaredin EPU-78-11, and as the rubber-modified epoxy resin, the product name of ADEKA Co., Ltd. Examples of Adecaredin EPR-4026, Adecaledin EPR-1309, and chelate-modified epoxy resins include Adecaledin EP-49-10 and Adecaledin EP-49-20 manufactured by ADEKA Co., Ltd. The above can be used alone or in combination of two or more.

本願発明におけるエポキシ樹脂の硬化剤としては特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。 The curing agent for the epoxy resin in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include phenolic resins such as phenol novolac resin, cresol novolac resin, and naphthalene-type phenol resin, amino resins, urea resins, melamine, and dicyandiamide. It can be used alone or in combination of two or more.

また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。 The curing accelerator is not particularly limited, but for example, a phosphine compound such as triphenylphosphine; an amine compound such as a tertiary amine, a trimethanolamine, a triethanolamine, or a tetraethanolamine; 1,8- Borate compounds such as diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-un Imidazoles such as decylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2- Imidazolines such as ethyl imidazoline, 2-isopropyl imidazoline, 2-phenyl imidazoline, 2-undecyl imidazoline, 2,4-dimethyl imidazoline, 2-phenyl-4-methyl imidazoline; 2,4-diamino-6- [2' -Methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- Examples thereof include azine-based imidazoles such as 6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')] -ethyl-s-triazine, which can be used alone or in combination of two or more.

本願発明における熱硬化性樹脂成分は、成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは、1〜50重量部、特に好ましくは、5〜20重量部である。上記範囲内に熱硬化性樹脂成分の量を調整することにより、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁信頼性を向上することができるので好ましい。 The thermosetting resin component in the present invention is preferably 0.5 to 100 parts by weight, more preferably 1 to 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the components (A) to (F) and other components. It is 50 parts by weight, particularly preferably 5 to 20 parts by weight. By adjusting the amount of the thermosetting resin component within the above range, the heat resistance, chemical resistance, and electrical insulation reliability of the insulating film obtained by curing the photosensitive resin composition can be improved. preferable.

熱硬化性樹脂成分が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜の耐熱性、電気絶縁信頼性に劣る場合がある。また、熱硬化性樹脂成分が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物を硬化させることにより得られる絶縁膜が脆くなり柔軟性に劣り、絶縁膜の反りも大きくなる場合がある。 When the amount of the thermosetting resin component is less than the above range, the heat resistance and electrical insulation reliability of the insulating film obtained by curing the photosensitive resin composition may be inferior. Further, when the amount of the thermosetting resin component is more than the above range, the insulating film obtained by curing the photosensitive resin composition becomes brittle and inferior in flexibility, and the warp of the insulating film may be large.

[難燃剤]
本願発明に用いられる難燃剤とは、感光性樹脂組成物を難燃化するために用いられる化合物のことである。例えば、リン酸エステル系化合物、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、有機リン系化合物、シリコーン系等を用いることができ、使用方法としては添加型難燃剤、反応型難燃剤として用いることができる。また、難燃剤は、1種又は2種以上を適宜組み合わせて用いても良い。難燃剤としては、この中でも、非ハロゲン系化合物を用いることが環境汚染の観点からより好ましく、特にリン系難燃剤が好ましい。本願発明の感光性樹脂組成物における、成分(A)〜(F)及びその他の成分の固形分の合計100重量部に対して、1〜100重量部となるように配合されていることが好ましい。特にリン系難燃剤を添加する場合は感光性樹脂組成物の固形分に対してリン元素の含有比率が3重量%以上となることが好ましい。上記配合割合にすることで感光性樹脂組成物の現像性、感光性、得られる硬化膜の耐折れ性を損なうことなく、難燃性が向上するので好ましい。難燃剤成分が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂組成物の硬化膜の難燃性が不十分となる場合がある。また、難燃剤成分が上記範囲よりも多い場合には、感光性樹脂組成物の現像性や感光性が低下する場合がある。
[Flame retardants]
The flame retardant used in the present invention is a compound used to make a photosensitive resin composition flame-retardant. For example, a phosphoric acid ester compound, a halogen-containing compound, a metal hydroxide, an organic phosphorus compound, a silicone compound, or the like can be used, and as a method of use, it can be used as an additive flame retardant or a reactive flame retardant. .. Further, the flame retardant may be used alone or in combination of two or more as appropriate. Among these, as the flame retardant, it is more preferable to use a non-halogen compound from the viewpoint of environmental pollution, and a phosphorus flame retardant is particularly preferable. In the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable that the components (A) to (F) and other components are blended in an amount of 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight in total. .. In particular, when a phosphorus-based flame retardant is added, the content ratio of the phosphorus element to the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 3% by weight or more. It is preferable to use the above blending ratio because the flame retardancy is improved without impairing the developability, photosensitivity, and breakage resistance of the obtained cured film of the photosensitive resin composition. If the amount of the flame retardant component is less than the above range, the flame retardancy of the cured film of the photosensitive resin composition may be insufficient. Further, when the flame retardant component is more than the above range, the developability and the photosensitive property of the photosensitive resin composition may be lowered.

[無機フィラー]
本願発明に用いられる無機フィラーとは特に限定されないが、形状としては球状、粉状、繊維状、針状、鱗片状などが挙げられる。無機フィラーとしてはシリカ、酸化チタンやアルミナ等の金属酸化物、窒化珪素や窒化ホウ素等の金属窒素化合物、炭酸カルシウム、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸アルミニウム等の金属塩等が挙げられる。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。特に金属酸化物、金属窒素化合物又は、金属塩である場合、銅表面の欠陥である酸素原子、水酸基及び吸着水などとの親和性が高く絶縁膜/銅との密着性を向上させることができるため好ましい。
[Inorganic filler]
The inorganic filler used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include spherical, powdery, fibrous, needle-like, and scaly shapes. Examples of the inorganic filler include silica, metal oxides such as titanium oxide and alumina, metal nitrogen compounds such as silicon nitride and boron nitride, and metal salts such as calcium carbonate, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate and aluminum phosphate. These can be used alone or in combination of two or more. In particular, when it is a metal oxide, a metal nitrogen compound, or a metal salt, it has a high affinity with oxygen atoms, hydroxyl groups, adsorbed water, etc., which are defects on the copper surface, and can improve the adhesion with the insulating film / copper. Therefore, it is preferable.

また、フィラーの表面をシランカップリング剤、その他の有機化合物等で被覆し親水性化あるいは疎水性化などの表面改質を行ってもよい。これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。 Further, the surface of the filler may be coated with a silane coupling agent, another organic compound or the like to perform surface modification such as making it hydrophilic or hydrophobic. These can be used alone or in combination of two or more.

フィラーの添加方法は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いて混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これを樹脂組成物溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよい。上記フィラーは適宜選択することが望ましく、1種以上を混合させて用いることもできる。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
How to add the filler
1. 1. Method of adding to the polymerization reaction solution before or during the polymerization 2. Method of kneading using 3 rolls or the like after the polymerization is completed. Any method may be used, such as preparing a dispersion containing a filler and mixing it with the resin composition solution. It is desirable to appropriately select the above filler, and one or more of them can be mixed and used. Further, in order to disperse the filler well and stabilize the dispersed state, a dispersant, a thickener or the like can be used within a range that does not affect the physical properties of the film.

[密着付与剤および重合禁止剤]
密着性付与剤としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。
[Adhesion imparting agent and polymerization inhibitor]
Examples of the adhesion-imparting agent include a silane coupling agent, a triazole-based compound, a tetrazole-based compound, and a triazine-based compound, and examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether, which are used alone or in combination of two or more. Can be used.

[感光性樹脂組成物の製造方法]
本願発明の感光性樹脂組成物は、成分(A)〜(F)及びその他成分を粉砕・分散させて混合し、得られることができる。粉砕・分散方法としては、特に限定されるものではないが、例えばビーズミル、ボールミル、3本ロール等の一般的な混練装置を用いて行われる。感光性樹脂組成物に含まれる粒子の粒子径はJIS K 5600−2−5で規定されたゲージを用いる方法で測定することができる。また粒度分布測定装置を使用すれば、平均粒子径、粒子径、粒度分布を測定することができる。
[Manufacturing method of photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by pulverizing and dispersing the components (A) to (F) and other components and mixing them. The crushing / dispersing method is not particularly limited, but is carried out using, for example, a general kneading device such as a bead mill, a ball mill, or a three-roll. The particle size of the particles contained in the photosensitive resin composition can be measured by a method using a gauge specified in JIS K 5600-2-5. Further, if a particle size distribution measuring device is used, the average particle size, the particle size, and the particle size distribution can be measured.

[絶縁膜付きポリイミド]
本願発明の絶縁膜付きポリイミドとは、ポリイミド上に厚み5〜50μmで感光性樹脂組成物を硬化して得られた絶縁膜を有するものであって、前記感光性樹脂組成物を硬化して得られたものであれば特に限定されるものではない。ここで硬化とは熱硬化工程を必ず施すことを意味し、乾燥、露光、現像工程を必ずしも施す必要はない。
[Polyimide with insulating film]
The polyimide with an insulating film of the present invention has an insulating film obtained by curing a photosensitive resin composition having a thickness of 5 to 50 μm on the polyimide, and is obtained by curing the photosensitive resin composition. It is not particularly limited as long as it is provided. Here, curing means that a thermosetting step is always performed, and it is not always necessary to perform a drying, exposure, and developing step.

本願発明のポリイミドとは、一般的に酸無水物とジアミンとを反応することによって得られたイミド骨格を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸との縮合重合体、芳香族ジアミンとビスマレイミドとの付加重合体であるビスマレイミド樹脂、アミノ安息香酸ヒドラジドとビスマレイミドとの付加重合体であるポリアミノビスマレイミド樹脂、ジシアネート化合物とビスマレイミド樹脂とにより構成されるビスマレイイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性ポリイミド等が挙げられ、より具体的には株式会社カネカ製ポリイミドフィルム、アピカル12.5AH、アピカル25NPI、アピカル25NPI、アピカル50NPI、PIXEO BP、PIXEO BP−S、東レデュポン社製ポリイミドフィルム、カプトン40EN、カプトン50EN、80EN、100EN、150EN、200EN、カプトンH、カプトンV、カプトンEN−S、宇部興産株式会社製ポリイミドフィルム、ユーピレックス12.5S、ユーピレックス7.5S、ユーピレックス12.5CA、ユーピレックス8CA、ユーピレックスVT、タイマイド・テクノロジー社製ポリイミド、TH−012、TH−025、TH−050、TH−075、TL−012などが挙げられる。 The polyimide of the present invention is not particularly limited as long as it has an imide skeleton obtained by reacting an acid anhydride with diamine, but for example, aromatic diamine and aromatic tetra. Condensation polymer with carboxylic acid, bismaleimide resin which is an addition polymer of aromatic diamine and bismaleimide, polyaminobismaleimide resin which is an addition polymer of aminobenzoic acid hydrazide and bismaleimide, disianate compound and bismaleimide resin Examples thereof include heat-curable polyimides such as bismaleiimide triazine resin composed of the above, and more specifically, polyimide films manufactured by Kaneka Co., Ltd., Apical 12.5AH, Apical 25NPI, Apical 25NPI, Apical 50NPI, PIXEO BP, PIXEO BP-S, Toray Dupont Polyimide Film, Capton 40EN, Capton 50EN, 80EN, 100EN, 150EN, 200EN, Capton H, Capton V, Capton EN-S, Ube Kosan Co., Ltd. Polyimide Film, Upirex 12.5S, Upylex 7.5S, Upylex 12.5CA, Upylex 8CA, Upylex VT, Polyimide manufactured by Timerid Technology, TH-012, TH-025, TH-050, TH-075, TL-012 and the like.

[絶縁膜付きフレキシブルプリント配線基板]
本願発明の絶縁膜付きフレキシブルプリント配線基板とは、上記絶縁膜付きポリイミドと同様にフレキシブルプリント配線板(回路)上に厚み5〜50μmで感光性樹脂組成物を硬化して得られた絶縁膜を有するものであって、前記感光性樹脂組成物を硬化して得られたものであれば特に限定されるものではない。ここで硬化とは熱硬化工程を必ず施すことを意味し、乾燥、露光、現像工程を必ずしも施す必要はない。
[Flexible printed wiring board with insulating film]
The flexible printed wiring board with an insulating film of the present invention is an insulating film obtained by curing a photosensitive resin composition with a thickness of 5 to 50 μm on a flexible printed wiring board (circuit) similar to the above-mentioned polyimide with an insulating film. It is not particularly limited as long as it has, and is obtained by curing the photosensitive resin composition. Here, curing means that a thermosetting step is always performed, and it is not always necessary to perform a drying, exposure, and developing step.

また、本願発明におけるフレキシブルプリント配線基板は、例えば、上記ポリイミドフィルムと銅箔とを張り合わせた銅貼積層板を用いて製造することができる。ポリイミドフィルムと銅箔との張り合わせには接着剤を用いるものと接着剤を用いないものなどを選択することができ、接着剤を用いないものにはキャスト法、ラミネート法又はメタライズ法を選択することができる。その後、必要に応じてサブトラクト法(例えば、ビアホール加工工程、デスミア処理工程、ビアメッキ工程、エッチングレジスト形成工程、エッチング工程およびレジスト除去工程の順番に回路形成を行う方法)によって回路形成をすることができる。また、セミアディティブ法(ポリイミドフィルムなどのベースフィルムにニッケルクロムなどのシード層を設け、銅のスパッタ層を設けた後電解銅メッキを施す。その後、エッチングレジスト形成工程、露光工程、現像工程、銅メッキ工程およびメッキレジスト除去工程の順に回路形成を行う方法)を選択することもできる。その後、フレキシブルプリント配線基板上の回路基板を粗化処理した後に使用することもできる。また、回路基板の粗化方法としては、バフ研磨、スクラブ研磨、又は、グラインダー研磨等の物理的研磨やマイクロエッチング剤を用いる化学的研磨等が挙げられる。特に微細パターンを有する基板の処理にはマイクロエッチングが好ましい。マイクロエッチング剤としては、硫酸・過酸化水素系を主成分とするエッチング剤、塩化鉄(III)や硫酸鉄(III)が主成分のエッチング剤、又は、有機酸系のエッチング剤等を用いることができる。このようなマイクロエッチング剤としては、メック株式会社製メックエッチボンドSTZ−3100、STL−3300、CZ−8100、CZ−8101、メックVボンドBO−7780V、BO−7790V、メックブライトCB−5004、CB−5530、SF−5420、CA−91Y,CB−801Y,CB−5602AYなどが挙げられる。さらに、前記回路基板の銅箔が防錆層及び/又は、有機又は無機プライマー層を有していてもよい。また、防錆層およびプライマー層の効果を同時に有するものも含まれる。このような防錆剤、プライマー処理剤としては、メック株式会社製メックエッチボンドCL−8300、CL−8301、メックブライトCAU−5232Cなどが挙げられる。防錆処理及びプライマー処理の方法としては回路基板を薬液に浸漬する方法やスプレーにて噴霧する方法などが挙げられる。さらにシランカップリング剤などによって硬化膜の密着付与性を向上させるような表面処理を行ってもよい。 Further, the flexible printed wiring board in the present invention can be manufactured, for example, by using a copper-clad laminate in which the above-mentioned polyimide film and copper foil are laminated. Adhesives and non-adhesives can be selected for bonding the polyimide film and copper foil, and the casting method, laminating method, or metallizing method can be selected for those that do not use adhesives. Can be done. Then, if necessary, the circuit can be formed by a subtraction method (for example, a method of forming a circuit in the order of a via hole processing step, a desmear processing step, a via plating step, an etching resist forming step, an etching step, and a resist removing step). .. Further, the semi-additive method (a seed layer such as nickel chrome is provided on a base film such as a polyimide film, a copper sputter layer is provided, and then electrolytic copper plating is performed. After that, an etching resist forming step, an exposure step, a developing step, and copper A method of forming a circuit in the order of the plating step and the plating resist removing step) can also be selected. After that, the circuit board on the flexible printed wiring board can be roughened before use. Examples of the method for roughening the circuit board include buffing, scrubbing, physical polishing such as grinder polishing, and chemical polishing using a microetching agent. In particular, micro-etching is preferable for processing a substrate having a fine pattern. As the micro-etching agent, an etching agent containing sulfuric acid / hydrogen peroxide as a main component, an etching agent containing iron (III) chloride or iron (III) sulfate as a main component, an organic acid-based etching agent, or the like should be used. Can be done. Examples of such micro-etching agents include MEC Etch Bond STZ-3100, STL-3300, CZ-8100, CZ-8101, MEC V Bond BO-7780V, BO-7790V, MEC Bright CB-5004, CB manufactured by MEC Co., Ltd. -5530, SF-5420, CA-91Y, CB-801Y, CB-5602AY and the like can be mentioned. Further, the copper foil of the circuit board may have a rust preventive layer and / or an organic or inorganic primer layer. In addition, those having the effects of a rust preventive layer and a primer layer at the same time are also included. Examples of such rust preventives and primer treatment agents include MEC Etch Bond CL-8300, CL-8301, and MEC Bright CAU-5232C manufactured by MEC Co., Ltd. Examples of the rust preventive treatment and the primer treatment method include a method of immersing the circuit board in a chemical solution and a method of spraying with a spray. Further, a surface treatment may be performed by using a silane coupling agent or the like to improve the adhesion imparting property of the cured film.

[絶縁膜の形成方法、パターンの形成方法]
本願発明における感光性樹脂組成物は、以下のようにして絶縁膜を形成することができる。先ず上記感光性樹脂組成物を前記回路基板上に塗布し、乾燥して溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、ローラーコーティング、カ−テンコーティング、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜(好ましくは厚み:5μmから100μm)の乾燥は120℃以下、好ましくは40〜100℃で行う。乾燥後、乾燥塗布膜、紫外線、可視光線、電子線、レーザー光などの活性光線を照射する。この際にネガ型のフォトマスクを置く方法、ネガ型のガラスマスクを非接触で用いる方法あるいはレーザー光やLEDダイレクト露光機を用いて直描露光してもよい。適切な露光量は使用する露光装置、露光光源および露光方式によって異なるため、例えば、Stoffer社製21段ステップタブレットやKodack社製14段ステップタブレットを用いて設定でき、1段以上の露光感度が得られれば良い。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、現像液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。
[Method of forming insulating film, method of forming pattern]
The photosensitive resin composition according to the present invention can form an insulating film as follows. First, the photosensitive resin composition is applied onto the circuit board and dried to remove the solvent. The coating on the substrate can be performed by screen printing, roller coating, curtain coating, spray coating, rotary coating using a spinner, or the like. The coating film (preferably thickness: 5 μm to 100 μm) is dried at 120 ° C. or lower, preferably 40 to 100 ° C. After drying, it is irradiated with active light such as a dry coating film, ultraviolet rays, visible rays, electron beams, and laser light. At this time, a method of placing a negative photomask, a method of using a negative glass mask in a non-contact manner, or a direct drawing exposure using a laser beam or an LED direct exposure machine may be used. Since the appropriate exposure amount depends on the exposure device, exposure light source, and exposure method used, for example, it can be set using a 21-step step tablet manufactured by Stoffer or a 14-step step tablet manufactured by Kodack, and an exposure sensitivity of one step or more can be obtained. I hope I can. Next, a pattern can be obtained by washing the unexposed portion with a developing solution using various methods such as shower, paddle, immersion or ultrasonic waves. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spray pressure and flow velocity of the developing device and the temperature of the developing solution, it is preferable to find the optimum device conditions as appropriate.

上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく、この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。上記のアルカリ性水溶液を与えるアルカリ性化合物としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属またはアンモニウムイオンの、水酸化物または炭酸塩や炭酸水素塩、アミン化合物などが挙げられ、具体的には水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素アンモニウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、N−メチルジエタノ−ルアミン、N−エチルジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノ−ルアミン、トリエタノ−ルアミン、トリイソプロパノ−ルアミン、トリイソプロピルアミン等が挙げられ、水溶液が塩基性を呈するものであればこれ以外の化合物も使用することができる。 As the developer, it is preferable to use an alkaline aqueous solution, and the developer is water-soluble such as metall, etanol, n-propanol, isopropanol, and N-methyl-2-pyrrolidone. An organic solvent may be contained. Examples of the alkaline compound that gives the above alkaline aqueous solution include hydroxides or carbonates, hydrogen carbonates, and amine compounds of alkali metals, alkaline earth metals, and ammonium ions, and specific examples thereof include sodium hydroxide. , Potassium hydroxide, ammonium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonium carbonate, sodium hydrogencarbonate, potassium hydrogencarbonate, ammonium hydrogencarbonate, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium Hydroxide, N-methyldietanolamine, N-ethyldietanolamine, N, N-dimethylethanolamine, trietanolamine, triisopropanolamine, triisopropylamine, etc. are mentioned, and the aqueous solution exhibits basicity. If there is, other compounds can be used.

また、本願発明における黒色樹脂組成物の現像工程に好適に用いることのできる、アルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10重量%、特に好ましくは、0.05〜5重量%とすることが好ましい。また、現像液の温度は黒色樹脂組成物の組成や、現像液の組成に依存しており、一般的には0℃以上80℃以下、より一般的には、20℃以上50℃以下で使用することが好ましい。 Further, the concentration of the alkaline compound that can be suitably used in the developing step of the black resin composition in the present invention is preferably 0.01 to 10% by weight, particularly preferably 0.05 to 5% by weight. Is preferable. The temperature of the developing solution depends on the composition of the black resin composition and the composition of the developing solution, and is generally used at 0 ° C. or higher and 80 ° C. or lower, and more generally at 20 ° C. or higher and 50 ° C. or lower. It is preferable to do so.

上記現像工程によって形成したパタ−ンは、リンスして不用な現像液残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。 The pattern formed by the above developing step is rinsed to remove unnecessary developer residue. Examples of the rinsing solution include water and an acidic aqueous solution.

次に、加熱硬化処理を行うことにより耐熱性および柔軟性に富む硬化膜を得ることができる。硬化膜は配線厚み等を考慮して決定されるが、厚みが2〜50μm程度であることが好ましい。このときの最終硬化温度は配線等の酸化を防ぎ、配線と基材との密着性を低下させないことを目的として低温で加熱して硬化させることが望まれている。この時の加熱硬化温度は100℃以上250℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上200℃以下であることが望ましく、特に好ましくは130℃以上190℃以下である。最終加熱温度が高くなると配線の酸化劣化が進む場合がある。 Next, a cured film having high heat resistance and flexibility can be obtained by performing a heat curing treatment. The cured film is determined in consideration of the wiring thickness and the like, but the thickness is preferably about 2 to 50 μm. The final curing temperature at this time is desired to be cured by heating at a low temperature for the purpose of preventing oxidation of the wiring and the like and not lowering the adhesion between the wiring and the base material. The heat curing temperature at this time is preferably 100 ° C. or higher and 250 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and particularly preferably 130 ° C. or higher and 190 ° C. or lower. When the final heating temperature becomes high, oxidative deterioration of the wiring may progress.

このようにして絶縁膜が積層されたフレキシブルプリント配線基板はスイッチの接点、異方性導電膜(ACF)接続端子および部品実装などをするために金メッキ処理を施される。 The flexible printed wiring board on which the insulating film is laminated in this manner is gold-plated for switch contacts, anisotropic conductive film (ACF) connection terminals, component mounting, and the like.

[金メッキ処理]
本願発明における金メッキ処理は、少なくとも(I)脱脂処理、(II)エッチング処理、(III)触媒化処理、(IV)無電解ニッケルメッキ処理、及び(V)金メッキ処理から成り、一般的な湿式メッキである電解金メッキ又は無電解金メッキと呼ばれる処理工程であれば特に限定されない。
[Gold plating]
The gold plating treatment in the present invention comprises at least (I) degreasing treatment, (II) etching treatment, (III) catalytic treatment, (IV) electroless nickel plating treatment, and (V) gold plating treatment, and is a general wet plating. It is not particularly limited as long as it is a processing process called electrolytic gold plating or electroless gold plating.

また、本願発明における(V)金メッキ処理で用いられる金メッキ薬液としては少なくとも、シアン化金カリウム、第二シアン化金カリウム、又は亜硫酸金ナトリウムなどの金塩、有機酸塩、硫酸塩、ホウ酸、リン酸塩、又はスルファミン酸などの緩衝剤、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、N’−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン−N,N,N’−三酢酸(HEDTA)、ニトリロ三酢酸(NTA),ジエチレントリアミン五酢酸(DTPA)、トリエチレンテトラミン六酢酸(TTHA)、又は水酸基エチリデンフォスフォン(HEDP)などの金属隠蔽剤、コバルト、ニッケル、銀、鉄、パラジウム、銅、タリウム、鉛、又はヒ素などの結晶調整剤から構成される。このような金メッキ薬液としては、例えば、奥野製薬工業株式会社製の製品名フラッシュゴールド2000、フラッシュゴールドVT、フラッシュゴールド330、フラッシュゴールドNC、無電ノーブルAU、セルフゴールドOTK−IT、上村工業株式会社製の製品名、コブライトTMX−22、コブライトTMX−23、コブライトTMX−40、コブライトTSB−71、コブライトTSB−72、コブライトTCU−37、コブライトTUC−38、コブライトTAM−LC、コブライトTCL−61、コブライトTIG−10、コブライトTAW−66、オーリカルTKK−51等を挙げることができる。 Further, the gold plating chemical solution used in the (V) gold plating treatment in the present invention includes at least gold salts such as gold potassium cyanide, potassium ditanide cyanide, or sodium gold sulfite, organic acid salts, sulfates, boric acid, and the like. Buffers such as phosphate or sulfamic acid, ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA), N'-(2-hydroxyethyl) ethylenediamine-N, N, N'-triacetic acid (HEDTA), nitrilotriacetic acid (NTA), Metal concealing agents such as diethylenetriaminetetraacetic acid (DTPA), triethylenetetraminehexacetic acid (TTHA), or hydroxylidylenefosphon (HEDP), such as cobalt, nickel, silver, iron, palladium, copper, tallium, lead, or arsenic. It is composed of a crystal modifier. Examples of such gold-plated chemicals include product names Flash Gold 2000, Flash Gold VT, Flash Gold 330, Flash Gold NC, Electric Noble AU, Self Gold OTK-IT, and Uyemura & Co., Ltd. manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. Product Names, Cobright TMX-22, Cobright TMX-23, Cobright TMX-40, Cobright TSB-71, Cobright TSB-72, Cobright TCU-37, Cobright TUC-38, Cobright TAM-LC, Cobright TCL-61, Cobright Examples thereof include TIG-10, Cobright TAW-66, and aurical TKK-51.

また、金メッキ処理後の硬化膜中の水分を除去する目的で加熱処理を行ってもよい。好ましい加熱温度範囲は50〜200℃、より好ましくは80〜170℃、好ましい加熱処理時間は10秒以上、より好ましくは15分以上であり、絶縁膜の特性を保持できる範囲において加熱温度と処理時間を適宜選択することができる。 In addition, heat treatment may be performed for the purpose of removing water in the cured film after the gold plating treatment. The preferred heating temperature range is 50 to 200 ° C., more preferably 80 to 170 ° C., the preferred heat treatment time is 10 seconds or longer, more preferably 15 minutes or longer, and the heating temperature and treatment time are within a range in which the characteristics of the insulating film can be maintained. Can be selected as appropriate.

以下本願発明を実施例により具体的に説明するが本願発明はこれらの実施例により限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

(合成例1:ベースバインダーポリマー(a1)の合成1)
攪拌機、温度計および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)30.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)(旭化成株式会社製、製品名PCDL T5652、重量平均分子量2000)および2−ヒドロキシエチルメタクリレート6.51g(0.050モル)をメチルトリグライム30.00gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80℃で加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことでベースバインダー溶液(a1−1)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は53%、重量平均分子量は5,200であった。尚、固形分濃度、重量平均分子量および酸価は下記の方法で測定した。
(Synthesis Example 1: Synthesis of base binder polymer (a1) 1)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen introduction tube, 30.00 g of methyltriglime (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a polymerization solvent, and norbornene diisocyanate 10. 31 g (0.050 mol) was charged and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream to dissolve it. Methyltriglime containing 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation, product name PCDL T5652, weight average molecular weight 2000) and 6.51 g (0.050 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate in this solution. The solution dissolved in 30.00 g was added over 1 hour. This solution was heated and stirred at 80 ° C. for 5 hours to react. The above reaction was carried out to obtain a base binder solution (a1-1). The solid content concentration of the obtained resin solution was 53%, and the weight average molecular weight was 5,200. The solid content concentration, weight average molecular weight and acid value were measured by the following methods.

<固形分濃度>
JIS K 5601−1−2に従って測定を行った。尚、乾燥条件は170℃×1時間の条件を選択した。
<Solid content concentration>
The measurement was performed according to JIS K 5601-1-2. As the drying condition, a condition of 170 ° C. × 1 hour was selected.

<重量平均分子量>
下記条件で測定を行った。
使用装置:東ソーHLC−8220GPC相当品
カラム :東ソー TSK gel Super AWM−H(6.0mmI.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW−H
溶離液:30mM LiBr+20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
標準品:PEG(ポリエチレングリコール)。
<Weight average molecular weight>
The measurement was performed under the following conditions.
Equipment used: Tosoh HLC-8220 GPC equivalent Column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0 mm ID x 15 cm) x 2 Guard columns: Tosoh TSK guard volume Super AW-H
Eluent: 30 mM LiBr + 20 mM H3PO4 in DMF
Flow velocity: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), Response (0.5 sec)
Sample concentration: Approximately 5 mg / mL
Standard product: PEG (polyethylene glycol).

<酸価>
JIS K 5601−2−1に従って測定を行った。
<Acid value>
The measurement was performed according to JIS K 5601-2-1.

(合成例2:ベースバインダーポリマー(a1)の合成2)
攪拌機、温度計および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)40.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート20.62g(0.100モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)(旭化成株式会社製、製品名PCDL T5652、重量平均分子量2000)、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸3.70g(0.025モル)および2−ヒドロキシエチルメタクリレート13.02g(0.100モル)をメチルトリグライム40.00gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80℃で加熱攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことでベースバインダーポリマー溶液(a1−2)のを得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は52%、重量平均分子量は8,600、固形分の酸価は18mgKOH/gであった。尚、固形分濃度、重量平均分子量および酸価は合成例1と同様の方法で測定した。
(Synthesis Example 2: Synthesis of base binder polymer (a1) 2)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen introduction tube, 40.00 g of methyltriglime (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a polymerization solvent, and norbornene diisocyanate 20. 62 g (0.100 mol) was charged and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream to dissolve it. To this solution, 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., product name PCDL T5652, weight average molecular weight 2000), 3.70 g (0.025) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid. A solution prepared by dissolving 13.02 g (0.100 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate in 40.00 g of methyl triglime was added over 1 hour. This solution was heated and stirred at 80 ° C. for 5 hours to react. The above reaction was carried out to obtain a base binder polymer solution (a1-2). The solid content concentration of the obtained resin solution was 52%, the weight average molecular weight was 8,600, and the acid value of the solid content was 18 mgKOH / g. The solid content concentration, weight average molecular weight and acid value were measured by the same method as in Synthesis Example 1.

(合成例3:ベースバインダーポリマー(a2)の合成1)
攪拌機、温度計、滴下漏斗および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃まで昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g(0.14モル)、メタクリル酸ベンジル28.0g(0.16モル)、メタクリル酸ブチル60.0g(0.42モル)、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.5gを80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃まで昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながら更に2時間攪拌を行い反応させた。上記反応を行うことでベースバインダーポリマー溶液(a2−1)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は50%、重量平均分子量は48,000、固形分の酸価は78mgKOH/gであった。尚、固形分濃度および重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。
(Synthesis Example 3: Synthesis of Base Binder Polymer (a2) 1)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, 100.0 g of methyltriglime (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a solvent for polymerization under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g (0.14 mol) of methacrylic acid, 28.0 g (0.16 mol) of benzyl methacrylate and 60.0 g (0.42 mol) of butyl methacrylate, which were premixed at room temperature, were added. 0.5 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator was added dropwise from a dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropping, the temperature of the reaction solution was raised to 90 ° C. while stirring, and the reaction was reacted by further stirring for 2 hours while maintaining the temperature of the reaction solution at 90 ° C. The above reaction was carried out to obtain a base binder polymer solution (a2-1). The solid content concentration of the obtained resin solution was 50%, the weight average molecular weight was 48,000, and the acid value of the solid content was 78 mgKOH / g. The solid content concentration and the weight average molecular weight were measured by the same method as in Synthesis Example 1.

(合成例4:ベースバインダーポリマー(a2)の合成2)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、還流管および窒素導入管を備えたセパラブルフラスコ中に、重合溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)17.5gを仕込み、次いでノルボルネンジイソシアナート20.6g(0.100モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液にポリカーボネートジオール50.0g(0.025モル)(旭化成株式会社製、製品名PCDL T5652、重合平均分子量2000)およびジメチロールブタン酸8.1g(0.055モル)をメチルトリグライム50.0gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を5時間80℃で加熱還流しながら攪拌を行い、中間体を得た。その後、メタノール1gを添加し5時間攪拌を行いベースバインダーポリマー溶液(a2−2)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は50%、重量平均分子量は10,200、固形分の酸価は42mgKOH/gであった。尚、固形分濃度および重量平均分子量は合成例1と同様の方法で測定した。
(Synthesis Example 4: Synthesis of Base Binder Polymer (a2) 2)
17.5 g of methyltriglime (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a polymerization solvent was charged in a separable flask equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, a reflux tube and a nitrogen introduction tube. Next, 20.6 g (0.100 mol) of norbornene diisocyanate was charged and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream to dissolve it. In this solution, 50.0 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation, product name PCDL T5652, polymerization average molecular weight 2000) and 8.1 g (0.055 mol) of dimethylolbutanoic acid were added to methyl triglime 50. The solution dissolved in 0 g was added over 1 hour. The solution was stirred for 5 hours at 80 ° C. while heating under reflux to obtain an intermediate. Then, 1 g of methanol was added and stirred for 5 hours to obtain a base binder polymer solution (a2-2). The solid content concentration of the obtained resin solution was 50%, the weight average molecular weight was 10,200, and the acid value of the solid content was 42 mgKOH / g. The solid content concentration and the weight average molecular weight were measured by the same method as in Synthesis Example 1.

(合成例5:ベースバインダーポリマー(a2)の合成3)
攪拌機、温度計および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(=1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)35.00gを仕込み、これに、ノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)(旭化成株式会社製、製品名PCDL T5652、重量平均分子量2000)をメチルトリグライム35.00gに溶解した溶液を1時間かけて添加した。この溶液を2時間80℃で加熱攪拌を行った。反応終了後、3,3’,4,4’−オキシジフタル酸二無水物(以下、ODPA)15.51g(0.050モル)を前述の反応溶液に添加した。添加後に190℃に加温して1時間反応させた。この溶液を80℃まで冷却し純水3.60g(0.200モル)を添加した。添加後に110℃まで昇温し5時間加熱還流した。上記反応を行うことでベースバインダーポリマー溶液(a2−3)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は53%、重量平均分子量は9,200、固形分の酸価は86mgKOH/gであった。尚、固形分濃度、重量平均分子量および酸価は合成例1と同様の方法で測定した。
(Synthesis Example 5: Synthesis of Base Binder Polymer (a2) 3)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen introduction tube, 35.00 g of methyltriglime (= 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) was charged as a polymerization solvent, and norbornene diisocyanate 10. 31 g (0.050 mol) was charged and heated to 80 ° C. with stirring under a nitrogen stream to dissolve it. To this solution, a solution prepared by dissolving 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Corporation, product name PCDL T5652, weight average molecular weight 2000) in 35.00 g of methyl triglime was added over 1 hour. The solution was heated and stirred at 80 ° C. for 2 hours. After completion of the reaction, 15.51 g (0.050 mol) of 3,3', 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (hereinafter, ODPA) was added to the above-mentioned reaction solution. After the addition, the mixture was heated to 190 ° C. and reacted for 1 hour. The solution was cooled to 80 ° C. and 3.60 g (0.200 mol) of pure water was added. After the addition, the temperature was raised to 110 ° C. and the mixture was heated under reflux for 5 hours. The above reaction was carried out to obtain a base binder polymer solution (a2-3). The solid content concentration of the obtained resin solution was 53%, the weight average molecular weight was 9,200, and the acid value of the solid content was 86 mgKOH / g. The solid content concentration, weight average molecular weight and acid value were measured by the same method as in Synthesis Example 1.

(実施例1〜12および比較例1〜)
(A)ベースバインダーポリマー、(B)絶縁膜改質用組成物、(C)光重合開始剤、(D)溶媒、(E)顔料、(F)リン元素を含有するフィラー及びその他の成分を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を実施例は表1、比較例は表2に記載する。(D)溶媒を除く各成分の数値は固形分を重量部で示し、(D)溶媒は樹脂溶液に含まれる溶剤量も含む添加重量部を記載する。混合溶液を3本ロールで混合した後、脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。
(Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 1)
(A) base binder polymer, (B) insulating film modifying composition, (C) photopolymerization initiator, (D) solvent, (E) pigment, (F) filler containing phosphorus element and other components Addition was made to prepare a photosensitive resin composition. The blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the type of the raw material are shown in Table 1 for Examples and Table 2 for Comparative Examples. The numerical value of each component excluding the solvent (D) indicates the solid content by weight, and the solvent (D) describes the added weight portion including the amount of the solvent contained in the resin solution. After mixing the mixed solution with three rolls, the bubbles in the solution were completely defoamed with a defoaming device, and the following evaluation was carried out.

Figure 0006764680
Figure 0006764680

Figure 0006764680
Figure 0006764680

<1>日本化薬株式会社製 バインダーポリマー(ウレタン変性エポキシ(メタ)アクリレート、固形分酸価60.0mgKOH/g)。
<2>日本化薬株式会社製 バインダーポリマー(フェノールノボラック型エポキシ樹脂を出発原料とした感光性樹脂)。
<3>ダイセル・オルネクス株式会社製 バインダーポリマー(2官能ウレタンアクリレート)の製品名。
<4>株式会社カネカ製 ブタジエン系コアシェルポリマー(三菱化学株式会社製 エポキシ樹脂jER828を分散媒として使用、コアシェル成分濃度40%、体積平均粒子径230nm)。
<5>株式会社カネカ製 ブタジエン系コアシェルポリマー(三菱化学株式会社製 エポキシ樹脂jER828を分散媒として使用、コアシェル成分濃度37%、体積平均粒子径180nm)。
<6>根上工業株式会社製 架橋ウレタンビーズ(有機溶媒分散、ウレタンビーズ成分濃度30%、体積平均粒子径100nm)。
<7>根上工業株式会社製 有機微粒子(カーボネート骨格のウレタン系有機ビーズ、体積平均粒子径2.5μm)の製品名。
<8>日産化学工業株式会社製 有機−無機複合化微粒子(メラミン樹脂・シリカ複合粒子、体積平均粒子径6.5μm、硬度100MPa)の製品名。
<9>根上工業株式会社製 有機微粒子(ウレタン系有機ビーズ、平均粒子径15μm)の製品名。
<10>BASF社製 オキシムエステル系光重合開始剤の製品名。
<11>日本化薬株式会社製 チオキサントン系光重合開始剤の製品名。
<12>BASFジャパン社製 α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤の製品名。
<13>BASF株式会社製 フタロシアニン系青着色剤の製品名。
<14>クラリアントジャパン株式会社製 黄着色剤の製品名。
<15>クラリアントジャパン株式会社製 ホスフィン酸塩化合物(ジエチルホスフィン酸アルミニウム塩、平均粒子径2.5μm)の製品名。
<16>日本化薬株式会社製 ラジカル重合性化合物(ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート)の製品名。
<17>三菱化学株式会社製 ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ等量190g/eq)。
<18>三菱化学株式会社製 ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量188g/eq)。
<19>堺化学株式会社製 硫酸バリウム(無機フィラー)の製品名。
<20>ジャパンエポキシレジン株式会社製 添加剤(ジシアンジアミド)。
<21>共栄社化学株式会社製 ブタジエン系消泡剤の製品名。
<22>株式会社ダイセル製 溶剤(エチルジグルコールアセテート)。
<23>根上工業株式会社製 有機微粒子(ウレタン系有機ビーズ、平均粒子径22μm)の製品名。
<1> Binder polymer manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (urethane-modified epoxy (meth) acrylate, solid acid value 60.0 mgKOH / g).
<2> Binder polymer manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (photosensitive resin using phenol novolac type epoxy resin as a starting material).
<3> Product name of binder polymer (bifunctional urethane acrylate) manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd.
<4> Butadiene-based core-shell polymer manufactured by Kaneka Corporation (using epoxy resin jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation as a dispersion medium, core-shell component concentration 40%, volume average particle diameter 230 nm).
<5> Butadiene-based core-shell polymer manufactured by Kaneka Corporation (using epoxy resin jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation as a dispersion medium, core-shell component concentration 37%, volume average particle diameter 180 nm).
<6> Cross-linked urethane beads manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd. (organic solvent dispersion, urethane bead component concentration 30%, volume average particle diameter 100 nm).
<7> Product name of organic fine particles manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd. (urethane-based organic beads with carbonate skeleton, volume average particle diameter 2.5 μm).
<8> Product name of organic-inorganic composite fine particles (melamine resin / silica composite particles, volume average particle diameter 6.5 μm, hardness 100 MPa) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.
<9> Product name of organic fine particles (urethane-based organic beads, average particle diameter 15 μm) manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd.
<10> Product name of BASF's oxime ester-based photopolymerization initiator.
<11> Product name of thioxanthone-based photopolymerization initiator manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
<12> Product name of α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiator manufactured by BASF Japan Ltd.
<13> Product name of phthalocyanine blue colorant manufactured by BASF Limited.
<14> Product name of yellow colorant manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.
<15> Product name of a phosphinate compound (aluminum diethylphosphinate, average particle size 2.5 μm) manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.
<16> Product name of radically polymerizable compounds (dipentaerythritol penta and hexaacrylate) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
<17> Bisphenol A type epoxy resin manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (epoxy equivalent 190 g / eq).
<18> Biphenyl type epoxy resin manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (epoxy equivalent 188 g / eq).
<19> Product name of barium sulfate (inorganic filler) manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.
<20> Additive (dicyandiamide) manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.
<21> Product name of butadiene defoamer manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.
<22> Solvent manufactured by Daicel Corporation (ethyl diglucol acetate).
<23> Product name of organic fine particles (urethane-based organic beads, average particle diameter 22 μm) manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd.

<ポリイミドフィルム上への感光性樹脂組成物絶縁膜(縁膜付きポリイミド)の作製>
上記感光性樹脂組成物を、株式会社ミノグループ製ミノマット製5575(あおり式小型スクリーンプリンター)スクリーン印刷機を用いて、フレキシブル銅貼り積層板(銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製FRS−142#SWおよびFRS−522#SW)を塩化第二鉄溶液を用いてフルエッチングして得られた12.5μmおよび25μmのポリイミドフィルムに最終乾燥厚みが20μmになるように印刷し、80℃で20分乾燥した後、所定のネガ型フォトマスクを置いて200mJ/cmの積算露光量の紫外線(USHIO電気株式会社製DeepUVランプ)を照射して露光した。次いで、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて60秒間スプレー現像を行った。現像後、スプレーを使用せずに純水で十分洗浄した後、150℃のオーブン中で30分加熱硬化させて絶縁膜付きポリイミドを作製した。
また、上記で作製した配合例1〜12および比較例1〜5を用いて各条件で作製した絶縁膜付きポリイミドの反り、ハンダ耐熱性、金メッキ薬液およびフラックスハンダ試験後の密着性評価等は以下の方法で行った。評価結果を表3に記載する。
<Preparation of photosensitive resin composition insulating film (polyimide with rim film) on polyimide film>
The above photosensitive resin composition was applied to a flexible copper-clad laminate (copper foil thickness 12 μm, polyimide film FRS manufactured by Kaneka Co., Ltd.) using a screen printing machine manufactured by Minomat Co., Ltd. 5575 (small screen printer with tilting type). -142 # SW and FRS-522 # SW) were fully etched with a ferric chloride solution and printed on 12.5 μm and 25 μm polyimide films so that the final dry thickness was 20 μm, and printed at 80 ° C. After drying for 20 minutes, a predetermined negative type photomask was placed and exposed to ultraviolet rays (DeepUV lamp manufactured by USHIO Electric Co., Ltd.) having an integrated exposure amount of 200 mJ / cm 2 . Then, spray development was carried out for 60 seconds using a solution obtained by heating a 1.0% by weight aqueous sodium carbonate solution to 30 ° C. After the development, the polyimide was sufficiently washed with pure water without using a spray, and then heat-cured in an oven at 150 ° C. for 30 minutes to prepare a polyimide with an insulating film.
In addition, the warpage, solder heat resistance, adhesion evaluation after the gold-plated chemical solution and flux solder test of the polyimide with insulating film prepared under each condition using Formulation Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 5 prepared above are as follows. I went by the method of. The evaluation results are shown in Table 3.

(i)感光性
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、フルエッチングして得られた12.5μmのポリイミドフィルムに最終乾燥厚みが20μmになるように印刷、露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。得られた絶縁膜の表面観察を行い判定した。ただし、露光は、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを置いて露光した。
〇:ポリイミドフィルム表面に顕著な線太りや現像残渣無くライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けているもの。
×:ポリイミドフィルム表面にライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていないもの。
(I) Photosensitivity Printing on a 12.5 μm polyimide film obtained by full etching by the same method as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film> so that the final dry thickness is 20 μm. A polyimide film with an insulating film that was exposed, developed, and heat-cured was produced. The surface of the obtained insulating film was observed and judged. However, the exposure was performed by placing a negative photomask having a line width / space width = 100 μm / 100 μm.
〇: A photosensitive pattern of line width / space width = 100/100 μm can be drawn on the surface of the polyimide film without noticeable line thickness or development residue.
X: A photosensitive pattern of line width / space width = 100/100 μm cannot be drawn on the surface of the polyimide film.

(ii)熱硬化後の反り
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、フルエッチングして得られた12.5μmおよび25μmのポリイミドフィルムに最終乾燥厚みが20μmになるように印刷しパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。作製した絶縁膜付きポリイミドフィルムを5cm四方に加工し、四隅の反り高さを測定する。フィルムの反り量を測定している模式図を図1に示す。
○:反り高さの平均が20mm未満のもの。
△:反り高さの平均が20mm以上で筒状にならないもの。
×:反り試験用のフィルムが筒状になるもの。
(Ii) Warpage after thermosetting The final dry thickness of the 12.5 μm and 25 μm polyimide films obtained by full etching by the same method as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film> is 20 μm. A polyimide film with an insulating film, which was exposed, developed, and heat-cured without patterning, was produced. The produced polyimide film with an insulating film is processed into a 5 cm square, and the warp heights at the four corners are measured. A schematic diagram measuring the amount of warpage of the film is shown in FIG.
◯: The average warp height is less than 20 mm.
Δ: The average warp height is 20 mm or more and does not form a cylinder.
X: The film for the warp test has a tubular shape.

(iii)追加熱履歴後の反り1
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、フルエッチングして得られた12.5μmおよび25μmのポリイミドフィルムに最終乾燥厚みが20μmになるように印刷しパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。さらに、180℃のオーブン中で5分追加加熱した。作製した縁膜付きポリイミドフィルムを5cm四方に加工し、四隅の反り高さを測定する。
○:反り高さの平均が20mm未満のもの。
△:反り高さの平均が20mm以上で筒状にならないもの。
×:反り試験用のフィルムが筒状になるもの。
(Iii) Warpage after additional heat history 1
By the same method as the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>, the polyimide films of 12.5 μm and 25 μm obtained by full etching are printed so that the final dry thickness is 20 μm without patterning. A polyimide film with an insulating film that was exposed, developed, and heat-cured was prepared. Further, it was additionally heated in an oven at 180 ° C. for 5 minutes. The produced polyimide film with an edge film is processed into 5 cm squares, and the warp heights at the four corners are measured.
◯: The average warp height is less than 20 mm.
Δ: The average warp height is 20 mm or more and does not form a cylinder.
X: The film for the warp test has a tubular shape.

(iv)追加熱履歴後の反り2
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、フルエッチングして得られた12.5μmおよび25μmのポリイミドフィルムに最終乾燥厚みが20μmになるように印刷しパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。さらに、ピーク条件260℃、10秒のリフロー工程を通過させた。作製した縁膜付きポリイミドフィルムを5cm四方に加工し、四隅の反り高さを測定する。
○:反り高さの平均が20mm以上で筒状にならないもの。
×:反り試験用のフィルムが筒状になるもの。
(Iv) Warpage after additional heat history 2
By the same method as the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>, the polyimide films of 12.5 μm and 25 μm obtained by full etching are printed so that the final dry thickness is 20 μm without patterning. A polyimide film with an insulating film that was exposed, developed, and heat-cured was prepared. Further, it was passed through a reflow step under peak conditions of 260 ° C. for 10 seconds. The produced polyimide film with an edge film is processed into 5 cm squares, and the warp heights at the four corners are measured.
◯: The average warp height is 20 mm or more and does not form a cylinder.
X: The film for the warp test has a tubular shape.

(v)耐折れ性
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面にパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。絶縁膜付きポリイミドフィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで、曲率半径R=1.0mmで180°に5回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。尚、試験は塗膜厚み20μmで実施した。
○:硬化膜にクラックが無いもの。
△:硬化膜に若干クラックがあるもの。
×:硬化膜にクラックがあるもの。
(V) Folding resistance Exposure, development, and heating without patterning on the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd.) in the same manner as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. A cured polyimide film with an insulating film was produced. A polyimide film with an insulating film was cut into strips of 30 mm × 10 mm, bent 5 times at 180 ° with a radius of curvature R = 1.0 mm at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to confirm cracks. The test was carried out with a coating film thickness of 20 μm.
◯: The cured film has no cracks.
Δ: The cured film has some cracks.
X: The cured film has cracks.

(vi)追加熱履歴後の耐折れ性1
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面にパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。さらに、180℃のオーブン中で5分追加加熱した。作製した絶縁膜付きポリイミドフィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで、曲率半径R=1.0mmで180°に5回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの。
△:硬化膜に若干クラックがあるもの。
×:硬化膜にクラックがあるもの。
(Vi) Breaking resistance after additional heat history 1
Polyimide with insulating film exposed, developed, and heat-cured without patterning on the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd.) in the same manner as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. A film was made. Further, it was additionally heated in an oven at 180 ° C. for 5 minutes. The produced polyimide film with an insulating film was cut into strips of 30 mm × 10 mm, bent 5 times at 180 ° with a radius of curvature R = 1.0 mm at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to confirm cracks. ..
◯: The cured film has no cracks.
Δ: The cured film has some cracks.
X: The cured film has cracks.

(vii)追加熱履歴後の耐折れ性2
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、25μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル25NPI)表面にパターニングせずに露光、現像、加熱硬化した絶縁膜付きポリイミドフィルムを作製した。さらに、ピーク条件260℃、10秒のリフロー工程を通過させた。作製した絶縁膜付きポリイミドフィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで、曲率半径R=1.0mmで180°に5回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの。
△:硬化膜に若干クラックがあるもの。
×:硬化膜にクラックがあるもの。
(Vii) Breaking resistance after additional heat history 2
Polyimide with insulating film exposed, developed, and heat-cured without patterning on the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Apical 25NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd.) in the same manner as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. A film was made. Further, it was passed through a reflow step under peak conditions of 260 ° C. for 10 seconds. The produced polyimide film with an insulating film was cut into strips of 30 mm × 10 mm, bent 5 times at 180 ° with a radius of curvature R = 1.0 mm at 15 mm, and the coating film was visually confirmed to confirm cracks. ..
◯: The cured film has no cracks.
Δ: The cured film has some cracks.
X: The cured film has cracks.

(viii)耐溶剤性
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、35μm厚みの銅箔表面に感光性樹脂組成物の絶縁膜を作製した。但し、露光は、100μm角の四角開口マスクを使用し、25℃のメチルエチルケトン中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に膨れや剥がれなどの異常が発生する。
(Viii) Solvent resistance An insulating film of the photosensitive resin composition was prepared on the surface of a copper foil having a thickness of 35 μm by the same method as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. However, for exposure, a 100 μm square square opening mask was used, the film was immersed in methyl ethyl ketone at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
◯: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormalities such as swelling and peeling occur in the coating film.

(ix)半田耐熱性
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル75NPI)表面に絶縁膜を作製した。但し、露光は、ネガ型マスクを使用せず全面に200mJ/cmの積算露光量の紫外線を照射して露光した。絶縁膜付きポリイミドを280℃で完全に溶融した半田浴に絶縁膜面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。尚、試験は塗膜厚み20μmで実施した。
○:碁盤目テープ法で剥がれの無いもの。
△:升目の95%以上が残存しているもの。
×:升目の残存量が80%未満のもの。
(Ix) Solder Heat Resistance An insulating film was prepared on the surface of a 75 μm-thick polyimide film (Apical 75NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd.) in the same manner as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. However, the exposure was performed by irradiating the entire surface with ultraviolet rays having an integrated exposure amount of 200 mJ / cm 2 without using a negative mask. The polyimide with an insulating film was floated in a solder bath completely melted at 280 ° C. so that the insulating film surface was in contact with the solder bath, and was pulled up after 10 seconds. The operation was performed three times, and the adhesive strength of the cured film was evaluated by the grid tape method according to JIS K5400. The test was carried out with a coating film thickness of 20 μm.
◯: Those that do not come off by the grid tape method.
Δ: 95% or more of the squares remain.
X: The remaining amount of squares is less than 80%.

(x)フラックス半田耐熱性
上記<ポリイミドフィルム上への絶縁膜の作製>の項目と同様の方法で、75μm厚みのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製アピカル75NPI)表面に感光性樹脂組成物の絶縁膜積層フィルムを作製した。但し、露光は、ネガ型マスクを使用せず全面に400mJ/cm2の積算露光量の紫外線を照射して露光した。上記絶縁膜の表面に株式会社弘輝製JS−EU−31を塗布した後、を280℃で完全に溶解してある半田浴に絶縁膜面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。尚、試験は塗膜厚み70μmで実施した。
○:碁盤目テープ法で剥がれの無いもの。
△:升目の95%以上が残存しているもの。
×:升目の残存量が80%未満のもの。
(X) Flux solder heat resistance Insulating film of photosensitive resin composition on the surface of a polyimide film (Apical 75NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd.) having a thickness of 75 μm by the same method as in the above item <Preparation of insulating film on polyimide film>. A laminated film was produced. However, the exposure was performed by irradiating the entire surface with ultraviolet rays having an integrated exposure amount of 400 mJ / cm2 without using a negative mask. After applying JS-EU-31 manufactured by Kouki Co., Ltd. on the surface of the insulating film, the mixture was floated in a solder bath completely melted at 280 ° C. so that the insulating film surface was in contact with the insulating film, and then pulled up after 10 seconds. The operation was performed three times, and the adhesive strength of the cured film was evaluated by the grid tape method according to JIS K5400. The test was carried out with a coating film thickness of 70 μm.
◯: Those that do not come off by the grid tape method.
Δ: 95% or more of the squares remain.
X: The remaining amount of squares is less than 80%.

(xi)絶縁信頼性
フレキシブル銅貼り積層板(銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、上記<ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製>方法と同様の方法で櫛形パターン上に感光性樹脂組成物の絶縁膜を作製し試験片の調整を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。尚、試験は塗膜厚み20μmで実施した。
○:試験開始後、1000時間で10の8乗以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの。
×:試験開始後、1000時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの。
(Xi) Insulation reliability Flexible copper-clad laminate (copper foil thickness 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Co., Ltd., copper foil is bonded with polyimide adhesive) Line width / space width = 100 μm A comb-shaped pattern of / 100 μm was prepared, immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, washed with pure water, and surface-treated with copper foil. Then, an insulating film of the photosensitive resin composition was prepared on the comb-shaped pattern by the same method as the above-mentioned <Preparation of cured film on polyimide film>, and the test piece was adjusted. A DC current of 100 V was applied to both terminals of the test piece in an environmental tester at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and the occurrence of migration were observed. The test was carried out with a coating film thickness of 20 μm.
◯: A resistance value of 10 to the 8th power or more is shown 1000 hours after the start of the test, and migration, dendrite, etc. do not occur.
X: Migration, dendrite, etc. occur 1000 hours after the start of the test.

(xii)金メッキ試験後の密着性評価
上記絶縁膜付きポリイミドの配線方向に対し直角になるように張り合わせ、しっかりとこすってスペース部分に空気が入り込まないように貼り付ける。その後、引きはがし方向約60°で剥離試験を行った。
○:テープ剥離の無いもの
△:テープ剥離が一部発生し、細線パターン残りが80%のもの。
×:テープ剥離が発生し、細線パターン残りが80%未満のもの。
尚、無電解金メッキ処理工程は以下の通り行った。
(Xii) Evaluation of Adhesion After Gold Plating Test Adhesion is applied so that the polyimide with an insulating film is perpendicular to the wiring direction, and is rubbed firmly so that air does not enter the space portion. Then, a peeling test was conducted at a peeling direction of about 60 °.
◯: No tape peeling Δ: Partial tape peeling occurred, and the remaining fine line pattern was 80%.
X: Tape peeling occurs and the remaining fine line pattern is less than 80%.
The electroless gold plating process was performed as follows.

上記で作製した絶縁膜付きポリイミドのポリイミド側に支持体を接着させ、下記に従い無電解金メッキ処理を実施した。無電解金メッキ処理工程は、奥野製薬株式会社無電解金メッキ フラッシュゴールド330の標準工程に従い下記のように行った。 A support was adhered to the polyimide side of the polyimide with an insulating film produced above, and electroless gold plating was performed according to the following. The electroless gold plating treatment step was carried out as follows according to the standard step of the electroless gold plating Flash Gold 330 of Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.

(I)脱脂処理、ICPクリーンS−135K、40℃、4分
(II)エッチング処理、硫酸10mL/L、過流酸ナトリウム100g/L、硫酸銅・五水和物、8g/L、イオン交換水にて1Lに調製、30℃、1分
(III)触媒化処理、ICPアクセラ(Pd:0.04%)、30℃、1分
(IV)無電解ニッケルメッキ処理、ICP−ニコロンーFPF、84℃、30分
(V)金メッキ処理、フラッシュゴールド330、80℃、8分。
無電解金メッキ処理後、室温にて水洗を行い、100℃で10秒間乾燥処理を行った。
(I) Degreasing treatment, ICP clean S-135K, 40 ° C., 4 minutes (II) etching treatment, sulfuric acid 10 mL / L, sodium pervertate 100 g / L, copper sulfate pentahydrate, 8 g / L, ion exchange Prepared to 1 L with water, 30 ° C., 1 minute (III) catalytic treatment, ICP accelerator (Pd: 0.04%), 30 ° C., 1 minute (IV) electroless nickel plating treatment, ICP-Nicolon-FPF, 84 ° C., 30 minutes (V) gold plating, flash gold 330, 80 ° C., 8 minutes.
After the electroless gold plating treatment, it was washed with water at room temperature and dried at 100 ° C. for 10 seconds.

(xiii)フラックス半田耐熱性後の密着性評価
上記絶縁膜付きポリイミドのポリイミド側に支持体を接着させ、絶縁膜の表面に株式会社弘輝製JS−EU−31を塗布した後、280℃で完全に溶融した半田浴に絶縁膜面が接する様に浮かべて10秒後に引き上げた。その操作を3回行い、(i)金メッキ試験後の密着性評価と同様の方法で絶縁膜付きポリイミドの配線方向に対し直角になるように張り合わせ、しっかりとこすってスペース部分に空気が入り込まないように貼り付ける。その後、引きはがし方向約60°で剥離試験を行った。
○:テープ剥離の無いもの
△:テープ剥離が一部発生し、細線パターン残りが80%のもの。
×:テープ剥離が発生し、細線パターン残りが80%未満のもの。
(Xiii) Evaluation of Adhesion After Heat Resistance of Flux Solder A support is adhered to the polyimide side of the polyimide with an insulating film, and JS-EU-31 manufactured by Kouki Co., Ltd. is applied to the surface of the insulating film, and then completely at 280 ° C. It was floated so that the insulating film surface was in contact with the melted solder bath, and was pulled up after 10 seconds. Perform the operation three times, and (i) stick them together so that they are perpendicular to the wiring direction of the polyimide with insulating film by the same method as the adhesion evaluation after the gold plating test, and rub it firmly to prevent air from entering the space. Paste in. Then, a peeling test was conducted at a peeling direction of about 60 °.
◯: No tape peeling Δ: Partial tape peeling occurred, and the remaining fine line pattern was 80%.
X: Tape peeling occurs and the remaining fine line pattern is less than 80%.

Figure 0006764680
Figure 0006764680

1 感光性樹脂組成物絶縁膜付きポリイミドフィルムを有する片面基板
2 反り量
3 平滑な台
1 Single-sided substrate with a polyimide film with a photosensitive resin composition insulating film 2 Warpage amount 3 Smooth table

Claims (8)

(A)ベースバインダーポリマー、(B)絶縁膜改質用組成物、(C)光重合開始剤、(D)溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)ベースバインダーポリマーが、(a1)分子中に一つ以上の活性エネルギー線反応基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物と(a2)分子中に一つ以上のカルボキシル基とエーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、ウレタン結合、イミド結合、ウレア結合およびアミド酸結合から選ばれる1種類以上の構造を有する化合物の二種類の化合物を含み、
前記(B)絶縁膜改質用組成物が、体積平均粒子径が1μm未満の有機ポリマー粒子(b1)と、体積平均粒子径が1μm以上の有機ポリマー粒子(b2)とを含み、前記(B)絶縁膜改質用組成物中の有機ポリマー粒子が、コアシェルポリマー粒子、ポリメタクリル酸メチル系球状有機ビーズ、架橋ポリメタクリル酸メチル系球状有機ビーズ、架橋ポリメタクリル酸ブチル系球状有機ビーズ、架橋アクリル系球状有機ビーズ、アクリルコポリマー系球状有機ビーズ、架橋スチレン系球状有機ビーズ、架橋ポリアクリル酸エステル系有機ビーズ、ナイロン系球状有機ビーズ、シリコーン系球状有機ビーズ、架橋シリコーン系球状有機ビーズ、および架橋ウレタン系球状有機ビーズから選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition containing (A) a base binder polymer, (B) a composition for modifying an insulating film, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent, wherein the (A) base binder polymer is , (A1) With one or more active energy ray reactive groups in the molecule and a compound having one or more structures selected from ether bond, ester bond, carbonate bond, urethane bond, imide bond, urea bond and amic acid bond. (A2) Two types of compounds having one or more carboxyl groups in the molecule and one or more structures selected from ether bonds, ester bonds, carbonate bonds, urethane bonds, imide bonds, urea bonds and amic acid bonds. Including
The composition for modifying the insulating film (B) contains organic polymer particles (b1) having a volume average particle diameter of less than 1 μm and organic polymer particles (b2) having a volume average particle diameter of 1 μm or more. ) The organic polymer particles in the insulating film modification composition are core-shell polymer particles, polymethylmethacrylate-based spherical organic beads, crosslinked polymethylmethacrylate-based spherical organic beads, crosslinked polybutylmethacrylate-based spherical organic beads, and crosslinked acrylic. Spherical organic beads, acrylic copolymer spherical organic beads, crosslinked styrene spherical organic beads, crosslinked polyacrylic acid ester organic beads, nylon spherical organic beads, silicone spherical organic beads, crosslinked silicone spherical organic beads, and crosslinked urethane. A photosensitive resin composition, which is at least one selected from system spherical organic beads .
前記(B)絶縁膜改質用組成物が少なくとも有機ポリマー粒子および分散溶媒および/または分散媒になり得る化合物を含み、有機ポリマー粒子成分の70%以上が1次粒子の状態で分散していることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The composition for modifying the insulating film (B) contains at least organic polymer particles and a compound that can be a dispersion solvent and / or a dispersion medium, and 70% or more of the organic polymer particle components are dispersed in the state of primary particles. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition is characterized by the above. 前記感光性樹脂組成物が、更に(E)着色剤を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the photosensitive resin composition further contains (E) a colorant. 前記感光性樹脂組成物が、更に(F)リン元素を含むフィラーを含有することを特徴する請求項1〜のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition further (F) the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it contains a filler containing a phosphorus element. 請求項1〜のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物である硬化膜。 A cured film which is a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 . 請求項1〜のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を光および熱の少なくとも何れかの活性エネルギー線により硬化させることを特徴とする硬化膜の製造方法。 A method for producing a cured film, which comprises curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 by an active energy ray of at least one of light and heat. 請求項に記載の硬化膜を有するフレキシブルプリント配線基板。 A flexible printed wiring board having the cured film according to claim 5 . 請求項1〜のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を絶縁膜として形成することを特徴とするフレキシブルプリント配線基板の製造方法。 A method for manufacturing a flexible printed wiring board, which comprises forming the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 as an insulating film.
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