JP2008197545A - Flexible printed wiring board with insulating film - Google Patents

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JP2008197545A JP2007034958A JP2007034958A JP2008197545A JP 2008197545 A JP2008197545 A JP 2008197545A JP 2007034958 A JP2007034958 A JP 2007034958A JP 2007034958 A JP2007034958 A JP 2007034958A JP 2008197545 A JP2008197545 A JP 2008197545A
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Hiroshi Fujiwara
寛 藤原
Yoshihide Sekito
由英 関藤
Tetsuya Ogiso
哲哉 小木曽
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Kaneka Corp
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Kaneka Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible printed wiring board with an insulating film formed by coating with a photosensitive resin composition which ensures a small warpage amount, excels in resistance to the heat of soldering, and can be cured at a low temperature. <P>SOLUTION: The flexible printed wiring board with the insulating film is obtained by forming a film on a flexible printed substrate on which wiring has been formed, by photo- and/or heat-curing the photosensitive resin composition prepared by mixing at least (A) a tetracarboxylic acid terminated siloxane imide oligomer, (B) a diamino compound, (C) a photosensitive resin, (D) a photopolymerization initiator and (E) a thermosetting resin. The photosensitive resin composition becomes a cured film and satisfies the following conditions (1)-(3); (1) it can be cured at ≤200°C, (2) it has resistance to the heat of soldering at 300°C/10 s/3 cycles, (3) it has a warpage index of ≤5 mm after application in a thickness of 25 μm on a surface of a polyimide film having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of ≥4.0 GPa and drying. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、低温で硬化可能であって、高温での半田耐熱性を有し、反りの小さい絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板に関するものである。   The present invention relates to a flexible printed wiring board which can be cured at a low temperature, has a solder heat resistance at a high temperature, and has an insulating film with a small warp.

ポリイミド樹脂は、耐熱性、電気絶縁性や耐薬品性に優れ、機械特性に優れることから電気・電子用途に使用される。例えば、半導体デバイス上への絶縁フィルムや保護コーティング剤、フレキシブルプリント配線板や硬質のプリント配線板、更には集積回路等の表面保護材料や基材樹脂、更には、微細な回路の層間絶縁膜や保護膜を形成させる場合に用いられる。特に、フレキシブルプリント配線用のコーティング材料として用いる場合には、ポリイミドフィルム等の成形体に接着剤を塗布して得られるカバーレイフィルムや、エポキシ樹脂等で構成された液状の液状カバーコートインクなどが用いられてきた。   Polyimide resins are used for electrical and electronic applications because of their excellent heat resistance, electrical insulation and chemical resistance, and excellent mechanical properties. For example, insulating films and protective coating agents on semiconductor devices, flexible printed wiring boards and rigid printed wiring boards, surface protection materials such as integrated circuits, base resin, and interlayer insulating films for fine circuits Used when forming a protective film. In particular, when used as a coating material for flexible printed wiring, a cover lay film obtained by applying an adhesive to a molded body such as a polyimide film, a liquid liquid cover coat ink composed of an epoxy resin, etc. Has been used.

一方、液状カバーコートインクは、エポキシ樹脂等を主体とした感光性のカバーコートインク(一般には、ソルダーレジストとも称する)が用いられるが、このインクは、絶縁材料としては電気絶縁信頼性に優れるが、屈曲等の機械特性が悪く例えば、反りが大きいなどの問題があり、フレキシブル回路基板用に用いるのは難しい。   On the other hand, as the liquid cover coat ink, a photosensitive cover coat ink (generally referred to as a solder resist) mainly composed of an epoxy resin or the like is used, but this ink is excellent in electrical insulation reliability as an insulating material. There are problems such as poor mechanical properties such as bending and, for example, large warpage, and it is difficult to use for flexible circuit boards.

近年では、この液状カバーコートインクに、ポリイミド樹脂を用いたものも提案されている。   In recent years, a liquid cover coat ink using a polyimide resin has been proposed.

例えば、シロキサンジアミンを用いたポリイミド樹脂を含有する感光性樹脂組成物が提案されている(例えば、特許文献1〜2参照。)。   For example, a photosensitive resin composition containing a polyimide resin using siloxane diamine has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

さらに、末端ハーフエステル化イミドシロキサンオリゴマーを用いた感光性樹脂組成物もしくはプラズマエッチングレジストが提案されている(例えば、特許文献3〜6参照。)。
特開平9−100350 特開2002−162740 特開2000−212446 特開2001−89656 特開2001−125273 特開2001−215702
Furthermore, a photosensitive resin composition or a plasma etching resist using a terminal half-esterified imidosiloxane oligomer has been proposed (see, for example, Patent Documents 3 to 6).
JP 9-100350 A JP 2002-162740 A JP 2000-212446 A JP 2001-89656 A JP 2001-125273 A JP 2001-215702 A

ところが、上記の特許文献1〜2の、ポリイミド型やその前駆体であるポリアミド酸型のカバーコートインクは、半田耐熱性を持たせようとするとポリイミド樹脂の構造骨格を固くする必要があり、薄膜のポリイミドフィルムの場合には、カールしてしまう問題があった。
また、特許文献3〜6に記載されている末端ハーフエステル化イミドシロキサンオリゴマーを用いた場合には、低温での硬化が難しい問題があった。
However, the polyimide-type and polyamic acid-type cover coat inks of the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 need to harden the structural skeleton of the polyimide resin in order to give solder heat resistance, and the thin film In the case of this polyimide film, there was a problem of curling.
Moreover, when the terminal half esterified imide siloxane oligomer described in patent documents 3-6 was used, there existed a problem that hardening at low temperature was difficult.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、配線を形成したフレキシブルプリント基板に、少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、(D)光重合開始剤、及び、(E)熱硬化性樹脂を混合して得られ、下記条件、
(1)200℃以下の温度で硬化可能であること、
(2)300℃/10秒/3サイクルでの半田耐熱性があること、
(3)厚みが25μm、弾性率が4.0GPa以上のポリイミドフィルム表面に25μmの厚みに塗工・乾燥した後に、反り指数が5mm以下であること、
を満足する硬化膜となる感光性樹脂組成物を、光及び/又は熱によって硬化させることによって膜を形成してなることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板とすることで上記問題を解決することができることが判った。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have at least (A) a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) a diamino compound, (C) a photosensitive resin, (D) obtained by mixing a photopolymerization initiator and (E) a thermosetting resin, the following conditions:
(1) It can be cured at a temperature of 200 ° C. or lower.
(2) Solder heat resistance at 300 ° C./10 seconds / 3 cycles,
(3) A warp index of 5 mm or less after coating and drying to a thickness of 25 μm on a polyimide film surface having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of 4.0 GPa or more,
The above-mentioned problem can be obtained by providing a flexible printed wiring board having an insulating film, wherein the photosensitive resin composition that forms a cured film satisfying the above conditions is formed by curing with light and / or heat. It turns out that it can be solved.

さらに、前記(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーが、下記一般式(1)で示されるシロキサンジアミンと、   Furthermore, the (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer is a siloxane diamine represented by the following general formula (1):

Figure 2008197545
(式中、R,Rは炭素数1〜12のアルキル基もしくは芳香族基であり、R,Rは同一であっても異なっていても良い。mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。)
下記一般式(2)で示されるテトラカルボン酸二無水物及び水を、
Figure 2008197545
(In the formula, R 1 and R 2 are alkyl groups or aromatic groups having 1 to 12 carbon atoms, and R 1 and R 2 may be the same or different. M is an integer of 1 to 40, n represents an integer of 1 to 20.)
Tetracarboxylic dianhydride and water represented by the following general formula (2)

Figure 2008197545
(式中、Rは4価の有機基を示す。)
モル比でシロキサンジアミンのモル数/テトラカルボン酸二無水物のモル数≦0.80となるように反応して得られることを特徴とするフレキシブルプリント配線板である。
Figure 2008197545
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
It is a flexible printed wiring board obtained by reacting so that the molar ratio is the number of moles of siloxane diamine / the number of moles of tetracarboxylic dianhydride ≦ 0.80.

また前記、(B)ジアミノ化合物が、下記一般式(3)で示される芳香族ジアミンであることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。   The flexible printed wiring board having an insulating film, wherein the (B) diamino compound is an aromatic diamine represented by the following general formula (3).

Figure 2008197545
(式中、R’’は、2価の有機基である。)
さらに、前記、(C)感光性樹脂が、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。
Figure 2008197545
(In the formula, R ″ is a divalent organic group.)
Furthermore, the (C) photosensitive resin is a flexible printed wiring board having an insulating film having at least one unsaturated double bond in the molecule.

さらに、前記、(E)熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。   Furthermore, (E) The flexible printed wiring board which has an insulating film characterized by the thermosetting resin being an epoxy resin.

さらに、前記、感光性樹脂組成物における(A)成分と(B)成分は、
(a)(A)成分の酸二無水物のモル量、
(b)(A)成分のシロキサンジアミンのモル量、
(c)(B)成分のジアミンのモル量
とした場合に、(a)/((b)+(c))が0.80以上1.20以下になるように配合されていることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。
Furthermore, (A) component and (B) component in the said photosensitive resin composition are as follows.
(A) the molar amount of the acid dianhydride of component (A),
(B) the molar amount of the siloxane diamine of component (A),
(C) When the molar amount of the diamine of component (B) is used, (a) / ((b) + (c)) is blended so as to be 0.80 or more and 1.20 or less. A flexible printed wiring board having an insulating coating.

また、さらに前記、感光性樹脂組成物における(A)成分、(B)成分、(C)成分および(D)成分は、
(A)成分と(B)成分を合計した固形分100重量部に対して、(C)成分が、10〜200重量部、(D)成分が、0.1〜50重量部となるように配合されていることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。
Further, the component (A), the component (B), the component (C) and the component (D) in the photosensitive resin composition are as follows:
The component (C) is 10 to 200 parts by weight and the component (D) is 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the sum of the components (A) and (B). A flexible printed wiring board having an insulating coating characterized by being blended.

また、前記(E)熱硬化性樹脂の配合割合が、(A)成分、(B)成分、(C)成分および(D)成分を合計した固形分100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合されていることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板である。   Moreover, the blending ratio of the (E) thermosetting resin is 0.5 to 100 parts by weight based on the total solid content of the (A) component, the (B) component, the (C) component, and the (D) component. It is a flexible printed wiring board having an insulating film, which is blended so as to be 100 parts by weight.

本発明を用いることで、低温での硬化が可能であって、300℃の半田耐熱性があり、しかも、ポリイミドフィルム表面に積層した際に、反りの小さな感光性樹脂組成物を積層してなる絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板を得ることができる。   By using the present invention, it is possible to cure at a low temperature, have a solder heat resistance of 300 ° C., and is formed by laminating a photosensitive resin composition with a small warp when laminated on the polyimide film surface. A flexible printed wiring board having an insulating coating can be obtained.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、配線を形成したフレキシブルプリント基板に、少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、(D)光重合開始剤、及び、(E)熱硬化性樹脂を混合して得られ、下記条件、
(1)200℃以下の温度で硬化可能であること、
(2)300℃/10秒/3サイクルでの半田耐熱性があること、
(3)厚みが25μm、弾性率が4.0GPa以上のポリイミドフィルム表面に25μmの厚みに塗工・乾燥した後に、反り指数が5mm以下であること、
を満足する硬化膜となる感光性樹脂組成物を、光及び/又は熱によって硬化させることによって膜を形成してなることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板であればよい。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have at least (A) a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) a diamino compound, (C) a photosensitive resin, (D) obtained by mixing a photopolymerization initiator and (E) a thermosetting resin, the following conditions:
(1) It can be cured at a temperature of 200 ° C. or lower.
(2) Solder heat resistance at 300 ° C./10 seconds / 3 cycles,
(3) A warp index of 5 mm or less after coating and drying to a thickness of 25 μm on a polyimide film surface having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of 4.0 GPa or more,
Any flexible printed wiring board having an insulating coating characterized in that a film is formed by curing a photosensitive resin composition that satisfies the above requirements with light and / or heat.

本願発明におけるフレキシブルプリント配線板とは、ポリイミドフィルム表面に導体配線が形成されたものであり、更には、フレキシブルプリント配線板を数段重ねた多層フレキシブルプリント配線板や、エポキシ樹脂等を積層したリジット部を一部有するフレキシブルプリント配線板、更には、弾性率の高いポリイミドフィルムを用いたTABテープや、微細配線形成が可能なCOF等が本願発明のフレキシブルプリント配線板に含まれる。   The flexible printed wiring board in the present invention is one in which conductor wiring is formed on the polyimide film surface, and further, a multilayer flexible printed wiring board in which several layers of flexible printed wiring boards are stacked, and a rigid laminated with epoxy resin or the like. A flexible printed wiring board having a part, a TAB tape using a polyimide film having a high elastic modulus, COF capable of forming fine wiring, and the like are included in the flexible printed wiring board of the present invention.

このフレキシブルプリント配線板に用いられるポリイミドフィルムは、例えば、鐘淵化学社製ポリイミドフィルムAPICALシリーズ、東レ・デュポン社性ポリイミドフィルムKAPTONシリーズ、宇部興産株式会社製UPILEXシリーズを基板とするフレキシブルプリント配線板が挙げられる。   The polyimide film used for this flexible printed wiring board is, for example, a flexible printed wiring board having a substrate made of Kaneka Chemical's polyimide film APICAL series, Toray DuPont polyimide film KAPTON series, Ube Industries Ltd. UPILEX series. Can be mentioned.

本願発明の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板の表面に積層する絶縁被膜は、
(1)200℃以下の温度で硬化可能であること、
(2)300℃/10秒/3サイクルでの半田耐熱性があること、
(3)厚みが25μm、弾性率が4.0GPa以上のポリイミドフィルム表面に25μmの厚みに塗工・乾燥した後に、反り指数が5mm以下であること、
の3種類の特徴を有する絶縁被膜であれば良い。特に、200℃以下の温度で硬化可能であることで、フレキシブルプリント配線板表面に塗布・乾燥した際に、導体配線の酸化を抑えることができるので好ましい。特に好ましくは、180℃以下で硬化可能であることが好ましい。
The insulating coating laminated on the surface of the flexible printed wiring board having the insulating coating of the present invention is
(1) It can be cured at a temperature of 200 ° C. or lower.
(2) Solder heat resistance at 300 ° C./10 seconds / 3 cycles,
(3) A warp index of 5 mm or less after coating and drying to a thickness of 25 μm on a polyimide film surface having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of 4.0 GPa or more,
Any insulating coating having these three characteristics may be used. In particular, it is preferable that the resin can be cured at a temperature of 200 ° C. or lower because oxidation of the conductor wiring can be suppressed when applied and dried on the surface of the flexible printed wiring board. Particularly preferably, it can be cured at 180 ° C. or lower.

また、本願発明では、300℃での半田耐熱性が優れる樹脂が好ましい。半田耐熱性が高いと、フレキシブルプリント配線板の導体部位に半田で配線を接続する際に耐熱性を有することになるので好ましい。特に、近年、環境問題の観点から鉛フリー半田が一般的に用いられるようになってきているが、このような半田に対応しようとした場合には、300℃以上での温度での半田耐熱性を有することが必須となる。尚、(1)の特性と(2)の特性は、相反する特性であり、一般的には硬化温度が低いと溶融温度も低くなるために、半田耐熱性が持たなくなる傾向にあるが、本願発明の感光性樹脂組成物は、上記特性を満たすように設計されている。   In the present invention, a resin excellent in solder heat resistance at 300 ° C. is preferable. High solder heat resistance is preferable because it has heat resistance when wiring is connected to the conductor portion of the flexible printed wiring board with solder. Particularly, in recent years, lead-free solder has been generally used from the viewpoint of environmental problems. However, when it is intended to cope with such solder, solder heat resistance at a temperature of 300 ° C. or higher is recommended. It is essential to have The characteristics (1) and (2) are contradictory characteristics. Generally, when the curing temperature is low, the melting temperature is also low, and thus the solder heat resistance tends to be lost. The photosensitive resin composition of the invention is designed to satisfy the above characteristics.

更に、本願発明の感光性樹脂組成物は、上記(1)、(2)の特性に加えて、(3)の特性を有する物であることが好ましい。このような特性を有することでフレキシブルプリント配線板表面に塗工・乾燥した後に、フィルムの反りが小さくなり、フレキシブルプリント配線板の取り扱いが行いやすくなるので好ましい。このようなポリイミドフィルムにする場合には、塗工するポリイミドフィルムの弾性率を低下させることで達成できるが、そのような場合には、上記(1)の特性は満たすが、(2)の特性を満たさなくなる。これは、感光性樹脂組成物の弾性率を低下させると、組成物のガラス転位温度が低下して、フィルム表面での耐熱性が低下する為である。本願発明での反り指数とは、厚みが25μm、弾性率が4.0GPa以上のポリイミドフィルム、好ましくは株式会社カネカ製アピカル25NPI表面上に25μm厚みに塗工してポリイミドフィルム毎、5cm×5cmに切り出してポリイミドフィルムを下面にするように置いた場合に、そのエッジのそり上がり量を反り指数と定義した場合、5mm以下であることがフレキシブルプリント配線板の絶縁被膜として用いる場合には好ましく、5mm以上の場合、フレキシブルプリント配線板が反りあがるので好ましくない。   Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention is preferably a product having the characteristic (3) in addition to the characteristics (1) and (2). Having such characteristics is preferable because the warp of the film is reduced after coating and drying on the surface of the flexible printed wiring board, and the flexible printed wiring board can be easily handled. In the case of making such a polyimide film, it can be achieved by lowering the elastic modulus of the polyimide film to be applied. In such a case, the above-mentioned property (1) is satisfied, but the property (2) Will not be satisfied. This is because when the elastic modulus of the photosensitive resin composition is lowered, the glass transition temperature of the composition is lowered and the heat resistance on the film surface is lowered. The warp index in the present invention is a polyimide film having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of 4.0 GPa or more, preferably 25 μm on the surface of Apical 25NPI manufactured by Kaneka Corporation, and a thickness of 5 cm × 5 cm for each polyimide film. When the cut-out polyimide film is placed on the bottom surface and the amount of warpage of the edge is defined as a warp index, it is preferably 5 mm or less when used as an insulating coating on a flexible printed wiring board. In the above case, the flexible printed wiring board warps and is not preferable.

上記の(1)〜(3)の特性を満たすことがフレキシブルプリント配線板用の絶縁被膜に使用する際には、必須であることを見出した。   It has been found that satisfying the above characteristics (1) to (3) is essential when used for an insulating coating for a flexible printed wiring board.

本願発明では、フレキシブルプリント配線板表面に積層する感光性樹脂として上記(1)〜(3)の特性を両立できるものとして、種々検討した結果、上記特性を持ち、更に、少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、(D)光重合開始剤、及び、(E)熱硬化性樹脂を混合して得られる感光性樹脂組成物であることが好ましいことを見出した。   In this invention, as a photosensitive resin laminated | stacked on the surface of a flexible printed wiring board, as a thing which can satisfy the characteristics of said (1)-(3) variously, as a result of having examined the above-mentioned characteristics, and also having at least (A) terminal tetra. It is a photosensitive resin composition obtained by mixing a carboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) a diamino compound, (C) a photosensitive resin, (D) a photopolymerization initiator, and (E) a thermosetting resin. Has been found to be preferable.

本願発明の感光性樹脂組成物の好ましい態様を下記に記載する。   Preferred embodiments of the photosensitive resin composition of the present invention are described below.

<(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー>
前記の末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーとは、オリゴマーの内部はイミド環を有しており、末端がカルボン酸の構造をとったオリゴマーであり、その原料としては、(a)下記一般式(1)で示されるシロキサンジアミンと、
<(A) Terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer>
The terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer is an oligomer having an imide ring inside and having a terminal carboxylic acid structure. The raw material thereof includes (a) the following general formula (1) ) And a siloxane diamine represented by

Figure 2008197545
(式中、R,Rは炭素数1〜12のアルキル基もしくは芳香族基であり、R,Rは同一であっても異なっていても良い。mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。)
(b)下記一般式(2)で示されるテトラカルボン酸二無水物及び水を、
Figure 2008197545
(In the formula, R 1 and R 2 are alkyl groups or aromatic groups having 1 to 12 carbon atoms, and R 1 and R 2 may be the same or different. M is an integer of 1 to 40, n represents an integer of 1 to 20.)
(B) a tetracarboxylic dianhydride represented by the following general formula (2) and water:

Figure 2008197545
(式中、Rは4価の有機基を示す。)
モル比でシロキサンジアミンのモル数/テトラカルボン酸二無水物のモル数≦0.80となるように反応して得られる内部はイミド環を有しており、末端がカルボン酸のシロキサンイミドオリゴマーである。より具体的には、本願発明に好適に用いられるシロキサンジアミンとテトラカルボン酸二無水物のモル比は、1未満、より好ましくは、0.20以上0.80以下であり、特に好ましくは0.25以上0.70以下である。尚、上記範囲に添加量を制御して反応させることで、末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの分子量を最適な範囲に制御することができるので好ましい。0.80より大きい場合には、オリゴマーの分子量が大きくなり感光性樹脂組成物に用いた場合に、現像することが困難になるので好ましくない。また、本願発明の末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの合成の際には、水を反応させることが必須である。水を反応させて末端をカルボン酸基にすることで低濃度のアルカリ溶液でも現像し易くなる。
Figure 2008197545
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
The inside obtained by reacting so that the molar ratio of the number of moles of siloxane diamine / the number of moles of tetracarboxylic dianhydride ≦ 0.80 has an imide ring, and the terminal is a siloxane imide oligomer having a carboxylic acid. is there. More specifically, the molar ratio of siloxane diamine and tetracarboxylic dianhydride suitably used in the present invention is less than 1, more preferably 0.20 or more and 0.80 or less, and particularly preferably 0.8. It is 25 or more and 0.70 or less. In addition, since the molecular weight of the terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer can be controlled to an optimum range by controlling the addition amount within the above range, it is preferable. When it is larger than 0.80, the molecular weight of the oligomer becomes large, and it becomes difficult to develop when used in the photosensitive resin composition, which is not preferable. In addition, when synthesizing the terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer of the present invention, it is essential to react water. Development with a low-concentration alkaline solution is facilitated by reacting water with a carboxylic acid group at the end.

好適には平均分子量(ポリエチレングリコール換算の重量平均分子量)が2万以下、特に平均分子量が800〜20000程度の末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマ−である。分子量が20000を越えると有機溶剤への溶解性と、感光性樹脂組成物に成形した際に、溶解性が著しく低下するので好ましくない。   Preferred are terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomers having an average molecular weight (weight average molecular weight in terms of polyethylene glycol) of 20,000 or less, particularly an average molecular weight of about 800 to 20,000. When the molecular weight exceeds 20000, the solubility in an organic solvent and the solubility when formed into a photosensitive resin composition are remarkably lowered.

更に本願発明では、上記イミド化の際に水を反応させて、末端の酸無水物基を開環させることで末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを得ることが好適に用いられる。但し、上記イミド化反応を行った後に、水を反応させて末端の酸無水物基を開環して末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを得る方法を用いても良い。   Further, in the present invention, it is preferable to obtain a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer by reacting water during the imidation to open a terminal acid anhydride group. However, after the imidation reaction, a method may be used in which water is reacted to open a terminal acid anhydride group to obtain a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer.

尚、本願発明におけるテトラカルボン酸二無水物とシロキサンジアミンのモル比が0.50未満の場合、過剰なテトラカルボン酸二無水物が水と反応して開環したテトラカルボン酸が共存することになるが、本願発明ではこのようなテトラカルボン酸が共存していても何ら問題は無い。   In addition, when the molar ratio of the tetracarboxylic dianhydride and the siloxane diamine in the present invention is less than 0.50, an excess of tetracarboxylic dianhydride reacts with water and the tetracarboxylic acid that is ring-opened coexists. However, in the present invention, there is no problem even if such a tetracarboxylic acid coexists.

上記(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの原料として用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば3,3’,4,4’―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3´,4,4´−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4―ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いることができる。   Examples of the tetracarboxylic dianhydride used as a raw material for the above-mentioned (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer include, for example, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis (4-hydroxy Phenyl) propanedibenzoate-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3- It can be used tetracarboxylic acid dianhydride such as cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride.

特に好ましくは、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、3,3’,4,4’―ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’―オキシジフタル酸二無水物を用いることで得られる末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの有機溶剤への溶解性を向上させることができるので好ましい。   Particularly preferably, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 Since the solubility to the organic solvent of the terminal tetracarboxylic-acid siloxane imide oligomer obtained by using ', 4,4'- oxydiphthalic dianhydride can be improved, it is preferable.

特に好ましくは、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物を用いることが感光性樹脂等との相溶性の観点から最も好ましく、感光性樹脂組成物の硬化被膜に濁りが生じにくくなるので好ましい。   Particularly preferably, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride is most preferably used from the viewpoint of compatibility with the photosensitive resin and the like, and the photosensitive resin composition This is preferable because turbidity of the cured film is less likely to occur.

また、本願発明に用いられるシロキサンジアミンは、下記一般式(1)で表されるシロキサンジアミン用いることが好ましく。   The siloxane diamine used in the present invention is preferably a siloxane diamine represented by the following general formula (1).

Figure 2008197545
(式中、R,Rは炭素数1〜12のアルキル基もしくは芳香族基であり、R,Rは同一であっても異なっていても良い。mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。)
特に本願発明に用いられるシロキサンジアミンの構造は、R,Rがメチル基、エチル基、フェニル基であって、mは1〜40、nが2以上であるものが好ましく用いられる。
Figure 2008197545
(In the formula, R 1 and R 2 are alkyl groups or aromatic groups having 1 to 12 carbon atoms, and R 1 and R 2 may be the same or different. M is an integer of 1 to 40, n represents an integer of 1 to 20.)
In particular, the structure of the siloxane diamine used in the present invention is preferably such that R 1 and R 2 are a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group, m is 1 to 40, and n is 2 or more.

特に好ましくは、R,Rがメチル基であって、mが1〜20、nが3のシロキサンジアミンもしくは、R1,Rがメチル基もしくはフェニル基であって、n=3、m=9〜12であるシロキサンジアミンが好適に用いられる。このジアミンを用いることで、イミド化温度を低下させることができると共に、ポリイミド樹脂の電気絶縁信頼性等を向上させることができる。 Particularly preferably, R 1 and R 2 are methyl groups, m is 1 to 20, n is 3 siloxane diamine, or R 1 and R 2 are methyl groups or phenyl groups, and n = 3, m A siloxane diamine of 9 to 12 is preferably used. By using this diamine, the imidization temperature can be lowered and the electrical insulation reliability and the like of the polyimide resin can be improved.

末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの製造方法としては、種々の方法が挙げられる。その代表的な方法を下記に例記する。   Various methods are mentioned as a manufacturing method of a terminal tetracarboxylic-acid siloxane imide oligomer. The typical method is illustrated below.

方法1:テトラカルボン酸ニ無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(1)で示されるシロキサンジアミンを添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。テトラカルボン酸二無水物とシロキサンジアミンの反応が終了した後、得られたポリアミド酸溶液を100℃以上300℃以下、より好ましくは、150℃以上250℃以下に加熱して脱水・イミド化を行い続いて、反応溶液を150℃以下に冷却して水を投入する。より好ましくは、20℃以上150℃以下、特に好ましくは、40℃以上100℃以下である。尚、イミド化の際には、トルエン、ヘキサン等の溶剤と共沸させながら反応系内から除去することもできる。水の投入量は、使用するテトラカルボン酸二無水物のモル量よりも多い事が好ましい。本方法で用いられる溶剤は、沸点が100℃以上である溶剤を用いることが好ましく、各工程の反応時間は用いる原料により変化するため、適宜選定することが好ましい。   Method 1: A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting a siloxane diamine represented by the general formula (1) in a solution in which tetracarboxylic dianhydride is dispersed or dissolved in an organic solvent. After the reaction of tetracarboxylic dianhydride and siloxane diamine is completed, the resulting polyamic acid solution is heated to 100 ° C. or higher and 300 ° C. or lower, more preferably 150 ° C. or higher and 250 ° C. or lower to perform dehydration and imidization Subsequently, the reaction solution is cooled to 150 ° C. or lower and water is added. More preferably, it is 20 degreeC or more and 150 degrees C or less, Most preferably, they are 40 degreeC or more and 100 degrees C or less. In the imidation, it can be removed from the reaction system while azeotropically boiling with a solvent such as toluene or hexane. The input amount of water is preferably larger than the molar amount of tetracarboxylic dianhydride used. The solvent used in the present method is preferably a solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher, and the reaction time in each step varies depending on the raw materials used, and thus is preferably selected as appropriate.

方法2:テトラカルボン酸ニ無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(1)で示されるシロキサンジアミンを添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。このポリアミド酸溶液中にイミド化の触媒(好ましくは3級アミンであるピリジン、ピコリン、イソキノリン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン等が用いられる)及び脱水剤(無水酢酸等)を添加して60℃以上180℃以下に加熱して、イミド化する。このイミド化を行った溶液に水を投入する、或いは、このイミド化を行った溶液を水に投入することで固体状に析出させる。析出させた粒子を沈殿・ろ過・乾燥することで末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを得ることができる。尚、析出しない場合には、溶剤を減圧乾燥装置等で溶剤を除去することで製造することができる。   Method 2: A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting a siloxane diamine represented by the general formula (1) in a solution in which tetracarboxylic dianhydride is dispersed or dissolved in an organic solvent. Add an imidization catalyst (preferably tertiary amines such as pyridine, picoline, isoquinoline, trimethylamine, triethylamine, tributylamine, etc.) and a dehydrating agent (acetic anhydride, etc.) to this polyamic acid solution at 60 ° C. or higher. Heat to 180 ° C. or less to imidize. Water is added to the solution that has undergone imidization, or the solution that has undergone imidization is poured into water to cause precipitation. The terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer can be obtained by precipitating, filtering and drying the precipitated particles. In addition, when it does not precipitate, it can manufacture by removing a solvent with a vacuum dryer etc.

方法3:テトラカルボン酸ニ無水物を有機溶剤中に分散もしくは溶解させた溶液中に、一般式(1)で示されるシロキサンジアミンを添加して反応させてポリアミド酸溶液を作製する。このポリアミド酸溶液を100℃以上250℃以下に加熱した真空減圧乾燥機中に入れて加熱・乾燥を行いながら真空に引くことでイミド化を行う。この樹脂を水と反応させることで末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを得ることができる。   Method 3: A polyamic acid solution is prepared by adding and reacting a siloxane diamine represented by the general formula (1) in a solution in which tetracarboxylic dianhydride is dispersed or dissolved in an organic solvent. The polyamic acid solution is placed in a vacuum reduced pressure dryer heated to 100 ° C. or more and 250 ° C. or less, and imidation is performed by drawing a vacuum while heating and drying. The terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer can be obtained by reacting this resin with water.

以上の方法が好ましく用いられるが、上記方法に係らず、内部がイミド環を有しており、末端がカルボン酸である末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーが得られる方法であればどのような方法を用いても問題がない。   The above method is preferably used. Regardless of the above method, any method can be used as long as the method has an imide ring inside and a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer having a terminal carboxylic acid. There is no problem even if it is used.

また、反応させる水の添加量は、使用したテトラカルボン酸二無水物のモル量の2.0倍以上300倍以下、より好ましくは、2.0倍以上200倍以下の水を添加して、開環することが好ましい。水の添加量は多く含むことが好ましい。但し、反応の方法によっては上記範囲以外でも問題が無い。適宜最適な量を選定することが好ましい。   The amount of water to be reacted is 2.0 to 300 times, more preferably 2.0 to 200 times the molar amount of tetracarboxylic dianhydride used, It is preferable to open the ring. It is preferable to include a large amount of water. However, there is no problem outside the above range depending on the reaction method. It is preferable to select an optimal amount as appropriate.

尚、上記の末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーの合成に用いられる溶剤としては、例えばジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトンやN−メチル−2−ピロリドン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。尚、必要に応じて低沸点のヘキサン、アセトン、トルエン、キシレン等も併用するこができる。
中でも特に対称グリコールジエーテル類がオリゴマーの溶解性が高いので好ましい。
Examples of the solvent used for the synthesis of the terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer include sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and formamide solvents such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide. Acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or p -Phenol solvents such as cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, methylmonoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) Ether), methyltriglyme (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxy) Ethane), ethyl diglyme (bis (2-ethoxyethyl) ether), symmetric glycol diethers such as butyl diglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone and N-methyl-2-pyrrolidone, Methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butyl acetate) Xyloxy) ethyl)), diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate Acetates such as dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n -Propyl ether, propylene glycol phenyl ether , Dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. If necessary, low-boiling hexane, acetone, toluene, xylene and the like can be used in combination.
Among them, symmetric glycol diethers are particularly preferable because of high solubility of oligomers.

<(B)ジアミノ化合物>
この発明における、(B)ジアミノ化合物とは、一般式(3)で示される芳香族ジアミンである。
<(B) Diamino Compound>
In this invention, the (B) diamino compound is an aromatic diamine represented by the general formula (3).

Figure 2008197545
(式中、R’’は、2価の有機基である。)
上記ジアミノ化合物の中で、より具体的には、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、(4−アミノフェノキシフェニル)(3−アミノフェノキシフェニル)フェニル]スルフィド、3,3’−ジアミノベンズアニリド、3,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] −1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−P−アミノベンゾエート、ポリ(テトラメチレン/3−メチルテトラメチレンエーテル)グリコールビス(4−アミノベンゾエート)、トリメチレン―ビス(4−アミノベンゾエート)、p-フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、m−フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、ビスフェノールA−ビス(4−アミノベンゾエート)、2,4−ジアミノ安息香酸、2,5−ジアミノ安息香酸、3,5−ジアミノ安息香酸、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシビフェニル、[ビス(4-アミノ-2-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(4-アミノ-3-カルボキシ)フェニル]メタン、[ビス(3-アミノ-4-カルボキシ)フェニル]メタン、 [ビス(3-アミノ-5-カルボキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−カルボキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4‘−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノ−4,4‘−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジカルボキシジフェニルスルフォン、2,3−ジアミノフェノール、2,4−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノフェノール、3,5−ジアミノフェノール等のジアミノフェノール類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’,5,5’−テトラヒドロキシビフェニル等のヒドロキシビフェニル化合物類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルメタン等のジヒドロキシジフェニルメタン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル]プロパン等のビス[ヒドロキシフェニル]プロパン類、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン等のビス[ヒヒドロキシフェニル]ヘキサフルオロプロパン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルエーテル等のヒドロキシジフェニルエーテル類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフォン等のジヒドロキシジフェニルスルフォン類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルフィド等のジヒドロキシジフェニルスルフィド類、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジヒドロキシジフェニルスルホキシド等のジヒドロキシジフェニルスルホキシド類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]プロパン等のビス[(ヒドロキシフェニル)フェニル]アルカン化合物類、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2,2−ビス[4−(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン等のビス[(ヒドロキシフェノキシ)フェニル]スルフォン化合物、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジハイドロキシジフェニルメタン、2,2−ビス[3−アミノ−4−カルボキシフェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノ−3−ヒドキシフェノキシ)ビフェニル等のビス(ヒドキシフェノキシ)ビフェニル化合物類をあげることができる。
Figure 2008197545
(In the formula, R ″ is a divalent organic group.)
Among the diamino compounds, more specifically, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-aminophenyl) sulfide, ( 3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (4-amino) Phenyl) sulfoxide, bis (3-aminophenyl) sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diamino Benzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,3 ′ -Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [ 4- Aminophenoxy) phenyl] sulfide, (4-aminophenoxyphenyl) (3-aminophenoxyphenyl) phenyl] sulfide, 3,3′-diaminobenzanilide, 3,4′-diaminobenzanilide, 4,4′-diaminobenz Anilide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl) )] Methane, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1- [4- (4- Aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) fur Nyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl) ] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2 -Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3 -Aminophenoxypheny )]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] ether, polytetramethylene oxide-di-P-aminobenzoate, poly (tetramethylene / 3-methyltetramethylene ether) glyco Rubis (4-aminobenzoate), trimethylene-bis (4-aminobenzoate), p-phenylene-bis (4-aminobenzoate), m-phenylene-bis (4-aminobenzoate), bisphenol A-bis (4-amino) Benzoate), 2,4-diaminobenzoic acid, 2,5-diaminobenzoic acid, 3,5-diaminobenzoic acid, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino- 3,3′-dicarboxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2′-dicarboxybiphenyl, [bis (4-amino-2-carboxy) phenyl] methane, [bis (4-amino-3-carboxy ) Phenyl] methane, [bis (3-amino-4-carboxy) phenyl] methane, [bis (3-amino-5-carboxy) phenyl] methane, 2,2-bis [3-amino-4- Ruboxyphenyl] propane, 2,2-bis [4-amino-3-carboxyphenyl] propane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [4- Amino-3-carboxyphenyl] hexafluoropropane, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl ether, 4,4′-diamino- 2,2′-dicarboxydiphenyl ether, 3,3′-diamino-4,4′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dicarboxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino- 2,2′-dicarboxydiphenylsulfone, 2,3-diaminophenol, 2,4-diaminophenol, 2,5-diaminophenol , Diaminophenols such as 3,5-diaminophenol, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxybiphenyl, 4,4′- Hydroxybiphenyl compounds such as diamino-2,2′-dihydroxybiphenyl, 4,4′-diamino-2,2 ′, 5,5′-tetrahydroxybiphenyl, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxy Dihydroxydiphenylmethanes such as diphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxy Bis [hydroxyphenyl] propanes such as phenyl] propane and 2,2-bis [4-amino-3-hydroxyphenyl] propane Bis [hyhydroxyphenyl] hexafluoropropanes such as 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis [3-amino-4-hydroxyphenyl] hexafluoropropane, Hydroxydiphenyl ethers such as 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl ether, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl ether, Dihydroxy such as 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfone, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl sulfone Diphenyl sulfones, 3,3′-diamino-4,4′-dihydro Dihydroxydiphenyl sulfides such as sidiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenyl sulfide, 4,4′-diamino-2,2′-dihydroxydiphenyl sulfide, 3,3′-diamino-4 , 4'-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxydiphenyl sulfoxide, dihydroxydiphenyl sulfoxides such as 4,4'-diamino-2,2'-dihydroxydiphenyl sulfoxide, 2,2- Bis [(hydroxyphenyl) phenyl] alkane compounds such as bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] propane, 4,4′-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl, etc. Bis (hydroxyphenoxy) biphenyl compounds, 2,2 Bis [(hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone compounds such as bis [4- (4-amino-3-hydroxyphenoxy) phenyl] sulfone, 4,4′-diamino-3,3′-dihydroxydiphenylmethane, 4,4 ′ -Bis such as diamino-2,2'-dihydroxydiphenylmethane, 2,2-bis [3-amino-4-carboxyphenyl] propane, 4,4'-bis (4-amino-3-hydroxyphenoxy) biphenyl (Hydroxyphenoxy) biphenyl compounds can be mentioned.

特に本願発明の感光性樹脂組成物に好適に用いることのできるジアミンは、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−[4−(4−アミノフェノキシフェニル)][4−(3−アミノフェノキシフェニル)] −1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ポリテトラメチレンオキシド−ジ−P−アミノベンゾエート、ポリ(テトラメチレン/3−メチルテトラメチレンエーテル)グリコールビス(4−アミノベンゾエート)、トリメチレン―ビス(4−アミノベンゾエート)、p-フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、m−フェニレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、ビスフェノールA−ビス(4−アミノベンゾエート)が好適に用いられる。上記芳香族ジアミンを用いることで感光性樹脂組成物の耐熱性が向上するので好ましい。   In particular, diamines that can be suitably used in the photosensitive resin composition of the present invention include m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, bis (3-aminophenyl) sulfone, and bis (4-aminophenyl). Sulfone, 3,4′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Sulfone, bis [4- (3-amino Enoxy) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-amino) Phenoxy) phenyl] propane, 2,2- [4- (4-aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)] propane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2- [4- (4-Aminophenoxyphenyl)] [4- (3-aminophenoxyphenyl)]-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3 -Aminopheno B) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis [4- (3- Aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, polytetramethylene oxide-di-P-aminobenzoate, poly (tetramethylene / 3-methyltetramethylene ether) glycol bis (4- Aminobenzoate), trimethylene-bis (4-aminobenzoate), p-phenylene-bis (4-aminobenzoate), m-phenylene-bis (4-aminobenzoate), bisphenol A-bis (4-aminobenzoate) are preferred. Used for. It is preferable to use the aromatic diamine because the heat resistance of the photosensitive resin composition is improved.

中でも、感光性樹脂の反り量を低下させるためにも、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテルが好ましく用いることができる。   Among them, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis is also used to reduce the amount of warpage of the photosensitive resin. [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, bis [4 -(3-aminophenoxy) phenyl] ether and bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether are preferably used Rukoto can.

本願発明におけるジアミノ化合物の配合量は、感光性樹脂組成物における(A)成分と(B)成分が、
(a)(A)成分の酸二無水物のモル量、
(b)(A)成分のシロキサンジアミンのモル量、
(c)(B)成分のジアミンのモル量
とした場合に、(a)/((b)+(c))が0.80以上1.20以下になるように配合されていることが好ましい。
The compounding amount of the diamino compound in the present invention is such that (A) component and (B) component in the photosensitive resin composition are:
(A) the molar amount of the acid dianhydride of component (A),
(B) the molar amount of the siloxane diamine of component (A),
(C) It is preferable that (a) / ((b) + (c)) is blended so as to be 0.80 or more and 1.20 or less when the molar amount of the component (B) diamine is used. .

上記範囲内にすることで感光性樹脂組成物の硬化膜の反り量が低減できると共に、硬化が進み易くなり、諸特性に優れた硬化被膜が得られるので望ましい。   When the amount is within the above range, the amount of warpage of the cured film of the photosensitive resin composition can be reduced, the curing can proceed easily, and a cured film excellent in various properties can be obtained.

<(C)感光性樹脂>
本願発明における(C)感光性樹脂とは、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する樹脂である。より具体的には、不飽和二重結合とは、アクリル基(CH2=CH−基)、メタアクリロイル基(CH=C(CH3)−基)もしくはビニル基(−CH=CH−基)である。
<(C) Photosensitive resin>
The photosensitive resin (C) in the present invention is a resin having at least one unsaturated double bond in the molecule. More specifically, the unsaturated double bond is an acrylic group (CH2 = CH-group), a methacryloyl group (CH = C (CH3) -group) or a vinyl group (-CH = CH-group). .

例えばビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジアクリレート、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−メタクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、フェノキシエチルアクリレート、フェノキシジエチレングリコールアクリレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレート、β−アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、ラウリルアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタクリロキシプロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタクリロキシプロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコールアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコールアクリレート、1− アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、イソステアリルアクリレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテルアクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,6−メキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールメタクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、2,2−水添ビス[4−(アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジアクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタンアクリレート)、ペンタスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、イソシアヌル酸トリアリル、グリシジルメタクリレート、グリシジルアリルエーテル、1,3,5−トリアクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルフォスフェート、アロバービタル、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ザリルシアルレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジメタクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジアクリレート、等が好ましいが、これらに限定されない。特に、ジアクリレートあるいはメタアクリレートの一分子中に含まれるEO(エチレンオキサイド)の繰り返し単位が、2〜50の範囲のものが好ましく、さらに好ましくは2〜40である。EOの繰り返し単位が2〜50の範囲の物を使用することにより、アルカリ水溶液に代表される水系現像液への溶解性が向上し、現像時間が短縮される。更に、感光性樹脂組成物を硬化した硬化膜中に応力が残りにくく、例えばプリント配線板の中でも、ポリイミド樹脂を基材とするフレキシブルプリント配線板上に積層した際に、プリント配線板のカールを抑えることができるなどの特徴を有する。   For example, bisphenol F EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) diacrylate, bisphenol F EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol A EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, bisphenol S EO modified (n = 2-50) dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, Ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate Tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylol Propane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxypolyethylene glycol methacrylate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β-methacryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, Allyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxydiethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, β-acryloyloxyethyl hydrogen succinate, lauryl acrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1 , 3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane, 2,2-bis [4- ( Methacryloxyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bi [4- (methacryloxy / diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (methacryloxy / polyethoxy) phenyl] propane, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, 2,2- Bis [4- (acryloxy-diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy-polyethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane, trimethylolpropane trimethacrylate, Tetramethylol methane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, nonylphenol Xylethylene glycol acrylate, nonylphenoxy polypropylene glycol acrylate, 1-acryloyloxypropyl-2-phthalate, isostearyl acrylate, polyoxyethylene alkyl ether acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, 1,4-butanediol di Methacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,6-mexanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1, 4-cyclohexanedimethanol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tricyclodecane dimethanol dia Relate, 2,2-hydrogenated bis [4- (acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, 2,4-diethyl-1,5-pentane Diol diacrylate, ethoxylated totimethylolpropane triacrylate, propoxylated tomethylolpropane triacrylate, isocyanuric acid tri (ethane acrylate), pentathritol tetraacrylate, ethoxylated pentathritol tetraacrylate, propoxylated pentathritol tetraacrylate, Ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol polyacrylate, triallyl isocyanurate, glycidyl methacrylate, glycidyl allyl ether, 1,3,5-triac Roylhexahydro-s-triazine, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, triallyl phosphate, allobarbital, diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, zalyl sialate Preferred are diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, 4,4′-isopropylidene diphenol dimethacrylate, 4,4′-isopropylidene diphenol diacrylate, and the like. However, it is not limited to these. In particular, the repeating unit of EO (ethylene oxide) contained in one molecule of diacrylate or methacrylate is preferably in the range of 2-50, more preferably 2-40. By using a product having an EO repeating unit in the range of 2 to 50, the solubility in an aqueous developer typified by an alkaline aqueous solution is improved, and the development time is shortened. Furthermore, it is difficult for stress to remain in the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition. For example, among the printed wiring boards, when laminated on a flexible printed wiring board based on a polyimide resin, curling of the printed wiring board is prevented. Features such as being able to be suppressed.

また、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、アクリル酸ダイマー、ペンタエスリトールトリ及びテトラアクリレート等の分子構造骨格中にヒドロキシル基、カルボニル基を有する物も好適に用いられる。   In addition, hydroxyl groups in the molecular structure skeleton such as 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, monohydroxyethyl acrylate phthalate, ω-carboxy-polycaprolactone monoacrylate, acrylic acid dimer, pentaerythritol tri and tetraacrylate, Those having a carbonyl group are also preferably used.

この他、エポキシ変性のアクリル(メタクリル)樹脂や、ウレタン変性のアクリル(メタクリル)樹脂、ポリエステル変性のアクリル(メタクリル)樹脂等どのような感光性樹脂を用いても良い。   In addition, any photosensitive resin such as an epoxy-modified acrylic (methacrylic) resin, a urethane-modified acrylic (methacrylic) resin, or a polyester-modified acrylic (methacrylic) resin may be used.

尚、感光性樹脂としては、1種を使用することも可能であるが、2種以上を併用することが、光硬化後の硬化膜の耐熱性を向上させる上で好ましい。   In addition, although it is also possible to use 1 type as a photosensitive resin, using 2 or more types together is preferable when improving the heat resistance of the cured film after photocuring.

<(D)光重合開始剤>
(D)光重合開始剤としては、例えば、ミヒラ−ズケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’,4’’−トリス(ジメチルアミノ)トリフェニルメタン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ジイミダゾール、アセトフェノン、ベンゾイン、2−メチルベンゾイン、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインエチルエ−テル、ベンゾインイソプロピルエ−テル、ベンゾインイソブチルエ−テル、2−t−ブチルアントラキノン、1,2−ベンゾ−9,10−アントラキノン、メチルアントラキノン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ジアセチルベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、2(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2[2’(5’’−メチルフリル)エチリデン]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−S−トリアジン、2,6−ジ(p−アジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、4,4’−ジアジドカルコン、ジ(テトラアルキルアンモニウム)−4,4’−ジアジドスチルベン−2,2’−ジスルフォネ−ト、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−ケトン、ビス(n5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1,2−オクタノンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、ヨード二ウム,(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]−ヘキサフルオロフォスフェート(1−)、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−4−ジメチルアミノベンゾエート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシオム)などが挙げられる。上記光重合開始剤は適宜選択することが好ましく、1種以上を混合させて用いることが好ましい。
<(D) Photopolymerization initiator>
(D) As the photopolymerization initiator, for example, Michler's ketone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′, 4 ″ -tris (dimethylamino) triphenylmethane, 2,2′- Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin Isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butylanthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methylanthraquinone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxy Cyclohexyl phenyl ketone, diacetylbenzyl, benzyldimethylketa , Benzyldiethylketal, 2 (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 [2 ′ (5 ″ -methylfuryl) ethylidene] -4,6- Bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2 (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,6-di (p-azidobenzal) -4-methylcyclohexanone, 4, 4'-diazidochalcone, di (tetraalkylammonium) -4,4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1 -Hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -pheny ] -2-Hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethyl Amino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl -Pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-ketone, bis (n5-2,4-cyclopentadiene- 1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 1,2-octa Dione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], iododium, (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] -hexafluorophosphate (1 -), Ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1 -(O-acetyloxyome) etc. are mentioned. The photopolymerization initiator is preferably selected as appropriate, and one or more types are preferably mixed and used.

本願発明における、感光性樹脂組成物における(A)成分、(B)成分、(C)成分および(D)成分は、
(A)成分と(B)成分を合計した固形分100重量部に対して、(C)成分が、10〜200重量部、(D)成分が、0.1〜50重量部となるように配合されていることが好ましい。
In the present invention, the (A) component, (B) component, (C) component and (D) component in the photosensitive resin composition are:
The component (C) is 10 to 200 parts by weight and the component (D) is 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the sum of the components (A) and (B). It is preferable that it is blended.

上記配合割合にすることで最終的に得られる硬化物や絶縁膜の諸特性(電気絶縁信頼性等)が向上するので好ましい。
(C)感光性樹脂が上記範囲よりも少ない場合には、感光性樹脂を光硬化した後の硬化被膜の耐熱性が低下すると共に、露光・現像したときのコントラストがつきにくくなるので好ましくない。そのため、上記範囲内にすることで露光・現像時の解像度を最適な範囲にすることが可能となる。
The blending ratio is preferable because various properties (such as electrical insulation reliability) of the cured product and insulating film finally obtained are improved.
(C) When the photosensitive resin is less than the above range, the heat resistance of the cured film after photo-curing the photosensitive resin is lowered, and the contrast when exposed and developed is difficult to be obtained. For this reason, it is possible to set the resolution at the time of exposure / development to an optimal range by setting the value within the above range.

(D)光重合開始剤が上記範囲よりも少ない場合には、光照射時のアクリル樹脂の硬化反応が起こりにくく、硬化が不十分となることが多い。また、多すぎた場合には、光照射量の調整が難しくなり、過露光状態となる場合がある。そのため、光硬化反応を効率良く進めるためには上記範囲内に調整することが好ましい。   (D) When there are few photoinitiators than the said range, the hardening reaction of the acrylic resin at the time of light irradiation hardly occurs, and hardening becomes inadequate in many cases. Moreover, when there is too much, adjustment of light irradiation amount becomes difficult and may be in an overexposure state. Therefore, in order to advance the photocuring reaction efficiently, it is preferable to adjust within the above range.

<(E)熱硬化性樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビスアリルナジイミド樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ヒドロシリル硬化樹脂、アリル硬化樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂;高分子鎖の側鎖または末端にアリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基、等の反応性基を有する側鎖反応性基型熱硬化性高分子等を用いることができる。上記熱硬化性成分は、1種又は2種以上を適宜組み合わせて用いればよい。
<(E) Thermosetting resin>
The thermosetting resin used in the photosensitive resin composition of the present invention is epoxy resin, isocyanate resin, block isocyanate resin, bismaleimide resin, bisallyl nadiimide resin, acrylic resin, methacrylic resin, hydrosilyl cured resin, allyl cured resin. Thermosetting resins such as unsaturated polyester resins; side chain reactive group type thermosetting resins having reactive groups such as allyl group, vinyl group, alkoxysilyl group, hydrosilyl group, etc. at the side chain or terminal of the polymer chain A polymer or the like can be used. The thermosetting component may be used alone or in combination of two or more.

この中でも、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。エポキシ樹脂成分を含有することにより、熱硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化樹脂に対して耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与することができる。   Among these, it is preferable to use an epoxy resin. By containing an epoxy resin component, heat resistance can be imparted to a cured resin obtained by curing a thermosetting resin composition, and adhesion to a conductor such as a metal foil or a circuit board can be imparted. .

上記エポキシ樹脂としては、分子内に少なくとも2個のエポキシ基を含むもので、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、水添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エチレンオキシド付加体ビスフェノールA型エポキシ樹脂、プロピレンオキシド付加体ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ポリグリコール型エポキシ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ウレタン変性エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、エポキシ変性ポリシロキサン等のエポキシ樹脂類を挙げることができる。これらエポキシ樹脂は、1種のみを用いてもよく、2 種以上を任意の割合で組み合わせて用いてもよい。   The epoxy resin contains at least two epoxy groups in the molecule, and is bisphenol A type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin. , Water added bisphenol A type epoxy resin, ethylene oxide adduct bisphenol A type epoxy resin, propylene oxide adduct bisphenol A type epoxy resin, novolac type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, Alkylphenol novolac type epoxy resin, polyglycol type epoxy resin, cycloaliphatic epoxy resin, cyclopentadiene type epoxy resin, dicyclopentadiene Type epoxy resins, cresol novolak type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, urethane modified epoxy resins, rubber-modified epoxy resin, an epoxy resin such as epoxy-modified polysiloxane. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more at any ratio.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、大日本インキ化学(株)製ナフタレン型4官能エポキシ樹脂の商品名エピクロンHP―4700、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンHP―7200、フェノールノボラック型エポキシ樹脂の商品名エピクロンN―740、高耐熱性のエポキシ樹脂であるエピクロンEXA―7240、クレゾールノボラック型の多官能エポキシ樹脂であるエピクロンN―660、N―665、N―670、N―680、N―655―EXP、フェノールノボラック型エポキシ樹脂の商品名エピクロンN―740、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンETePE、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂の商品名エピクロンETrPM、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート828等のビスフェノールA 型エポキシ樹脂、東都化成(株)製の商品名YDF−170等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート152、154、日本化薬(株)製の商品名EPPN−201、ダウケミカル社製の商品名DEN−438等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、日本化薬(株)製の商品名EOCN−125S,103S、104S等のo−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名Epon1031S、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製の商品名アラルダイト0163、ナガセ化成(株)製の商品名デナコールEX−611、EX−614、EX−614B、EX−622、EX−512、EX−521、EX−421、EX−411、EX−321等の多官能エポキシ樹脂、ジャパンエポキシレジン(株)製の商品名エピコート604、東都化成(株)製の商品名YH434、三菱ガス化学(株)製の商品名TETRAD−X、TERRAD−C 、日本化薬(株)製の商品名GAN、住友化学(株)製の商品名ELM−120等のアミン型エポキシ樹脂、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製の商品名アラルダイトPT810等の複素環含有エポキシ樹脂、UCC社製のERL4234,4299、4221、4206等の脂環式エポキシ樹脂などが挙げられ、これらを単独で又は2種類以上組合せて使用することができる。   Examples of the epoxy resin include, for example, the product name Epicron HP-4700 of the naphthalene type tetrafunctional epoxy resin manufactured by Dainippon Ink Chemical Co., Ltd., the product name Epicron HP-7200 of the cyclopentadiene type epoxy resin, and the product of the phenol novolac type epoxy resin. The name Epicron N-740, Epicron EXA-7240, which is a high heat resistance epoxy resin, Epicron N-660, N-665, N-670, N-680, N-655-, which is a cresol novolac type polyfunctional epoxy resin EXP, trade name of phenol novolac type epoxy resin, Epicron N-740, trade name of tetraphenylethane type epoxy resin, Epicron ETePE, trade name of triphenylmethane type epoxy resin, Epicron ETrPM, trade name of Japan Epoxy Resin Co., Ltd. Bisphenol A type epoxy resin such as Tote Kasei Co., Ltd., Bisphenol F type epoxy resin such as YDF-170, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., Epicoat 152, 154 manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Nippon Kayaku ( Phenol novolac type epoxy resin such as trade name EPPN-201 manufactured by Dow Chemical Co., Ltd., and trade name EOCN-125S, 103S, 104S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Novolac type epoxy resin, trade name Epon 1031S manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd., trade name Araldite 0163 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., trade names Denacol EX-611, EX-614 manufactured by Nagase Chemical Co., Ltd. EX-614B, EX-622, EX-512, EX-521, EX 421, EX-411, EX-321 and other polyfunctional epoxy resins, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. trade name Epicoat 604, Toto Kasei Co., Ltd. trade name YH434, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. trade name TETRAD-X, TERRAD-C, Nippon Kayaku Co., Ltd. trade name GAN, Sumitomo Chemical Co., Ltd. trade name ELM-120, etc. Amine type epoxy resin, Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. Heterocycle-containing epoxy resins such as the name Araldite PT810, and alicyclic epoxy resins such as ERL4234, 4299, 4221, and 4206 manufactured by UCC, and the like can be used alone or in combination of two or more.

これらのエポキシ樹脂のうち、1分子中にエポキシ基を2個以上有するエポキシ樹脂が感光性樹脂組成物の耐熱性、耐溶剤性、耐薬品性、耐湿性の向上の点で特に好ましい。   Among these epoxy resins, an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is particularly preferable from the viewpoint of improving the heat resistance, solvent resistance, chemical resistance and moisture resistance of the photosensitive resin composition.

本発明における熱硬化性樹脂の使用量は、(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、及び(D)光重合開始剤を合計した固形分100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合することが好ましい。特に好ましくは、1.0〜50重量部である。上記範囲に配合することで感光性樹脂組成物の硬化膜の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁信頼性を向上することができるので好ましい。   The amount of the thermosetting resin used in the present invention is a solid content of (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) diamino compound, (C) photosensitive resin, and (D) photopolymerization initiator. It is preferable to mix | blend so that it may become 0.5-100 weight part with respect to a weight part. Particularly preferred is 1.0 to 50 parts by weight. It is preferable to add it in the above range since the heat resistance, chemical resistance and electrical insulation reliability of the cured film of the photosensitive resin composition can be improved.

本発明の樹脂組成物に用いられるエポキシ樹脂は、1分子中にエポキシ基を1個だけ有するエポキシ化合物、例えばn−ブチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、ジブロモフェニルグシジルエーテル、ジブロモクレジルグリシジルエーテル等がある。また、3,4−エポキシシクロヘキシル、メチル(3,4−エポキシシクロヘキサン)カルボキシレート等の脂環式エポキシ化合物を併用することができる。   The epoxy resin used in the resin composition of the present invention is an epoxy compound having only one epoxy group in one molecule, such as n-butyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, dibromophenyl glycidyl ether, dibromocresyl glycidyl ether, etc. There is. In addition, alicyclic epoxy compounds such as 3,4-epoxycyclohexyl and methyl (3,4-epoxycyclohexane) carboxylate can be used in combination.

本発明の感光性樹脂組成物には、上記感光性樹脂の硬化剤として、例えば、フェノールノボラック型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂類、ユリア樹脂類、メラミン樹脂類、ジシアンジアミド、ジヒドラジン化合物類、イミダゾール化合物類、ルイス酸、及びブレンステッド酸塩類、ポリメルカプタン化合物類、イソシアネートおよびブロックイソシアネート化合物類、等を併用することができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, as a curing agent for the photosensitive resin, for example, phenol resins such as phenol novolac type phenol resin, cresol novolac type phenol resin, naphthalene type phenol resin, amino resins, urea resins Melamine resins, dicyandiamide, dihydrazine compounds, imidazole compounds, Lewis acids, Bronsted acid salts, polymercaptan compounds, isocyanates and blocked isocyanate compounds, and the like can be used in combination.

また、硬化促進剤としては、特に限定されないが、例えば、トリフェニルホスフィン等のホスフィン系化合物;3級アミン系、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラエタノールアミン等のアミン系化合物;1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート等のボレート系化合物等、イミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;2−メチルイミダゾリン、2−エチルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2,4−ジメチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン等のイミダゾリン類;2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のアジン系イミダゾール類等が挙げられる。ウレタン樹脂にアミノ基が含まれる場合、回路埋め込み性が向上させることができるる点で、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン等のイミダゾール類を用いることが好ましい。   Further, the curing accelerator is not particularly limited, but for example, phosphine compounds such as triphenylphosphine; amine compounds such as tertiary amine, trimethanolamine, triethanolamine and tetraethanolamine; 1,8- Borate compounds such as diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecenium tetraphenylborate, imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-un Imidazoles such as decylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2- Ethyl imidazoline, 2 Imidazolines such as isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- ( 1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2 ′ And azine-based imidazoles such as -ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine. When an amino group is contained in the urethane resin, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2,4-diamino-6- [ It is preferable to use imidazoles such as 2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine.

<(A)〜(D)及び(E)の混合方法>
この発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分(A)〜(D)及び(E)を均一に混合して得られる。均一に混合する方法としては、例えば3本ロール、ビーズミル装置等の一般的な混練装置を用いて混合すればよい。また、溶液の粘度が低い場合には、一般的な攪拌装置を用いて混合してもよい。
<Method of mixing (A) to (D) and (E)>
The photosensitive resin composition of the present invention is obtained by uniformly mixing the components (A) to (D) and (E). As a method of uniformly mixing, for example, a general kneading apparatus such as a three roll or bead mill apparatus may be used for mixing. Moreover, when the viscosity of a solution is low, you may mix using a general stirring apparatus.

<その他の成分>
この発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて難燃剤、消泡剤、充填剤、接着助剤、レベリング剤、重合禁止剤等の各種添加剤を加えることができる。充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウムなどの微細な無機充填剤、微細な有機ポリマ−充填剤を含有させてもよい。含有量は適宜選定することが好ましい。
<Other ingredients>
Various additives such as a flame retardant, an antifoaming agent, a filler, an adhesion aid, a leveling agent, and a polymerization inhibitor can be further added to the photosensitive resin composition of the present invention as necessary. As the filler, a fine inorganic filler such as silica, mica, talc, barium sulfate, wollastonite, calcium carbonate, or a fine organic polymer filler may be contained. It is preferable to select the content appropriately.

<感光性樹脂組成物溶液>
本願発明の感光性樹脂組成物は、種々の有機溶剤に溶解性が高く、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン、メチルモノグライム(1,2-ジメトキシエタン)、メチルジグライム(ビス(2-メトキシエテル)エーテル)、メチルトリグライム(1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン)、メチルテトラグライム(ビス[2-(2-メトキシエトキシエチル)]エーテル)、エチルモノグライム(1,2-ジエトキシエタン)、エチルジグライム(ビス(2-エトキシエチル)エーテル)、ブチルジグライム(ビス(2-ブトキシエチル)エーテル)等の対称グリコールジエーテル類、γ―ブチロラクトンやN−メチル−2−ピロリドン、メチルアセテート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、n―プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(別名、カルビトールアセテート、酢酸2-(2-ブトキシエトキシ)エチル))、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3―ブチレングリコールジアセテート等のアセテート類や、ジプロピレングリコールメチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールn−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールn−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテル、トリピレングリコールn−プロピルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,3―ジオキソラン、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールものエチルエーテル等のエーテル類の溶剤を用いることもできる。尚、必要に応じて低沸点のヘキサン、アセトン、トルエン、キシレン等も併用するこができる。
<Photosensitive resin composition solution>
The photosensitive resin composition of the present invention is highly soluble in various organic solvents, such as sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and formamide systems such as N, N-dimethylformamide and N, N-diethylformamide. Solvents, acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m- or Phenolic solvents such as p-cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, or hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, methylmonoglyme (1,2-dimethoxyethane), methyldiglyme (bis (2-methoxyether) ) Ether), Methyl Trigura (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane), methyltetraglyme (bis [2- (2-methoxyethoxyethyl)] ether), ethyl monoglyme (1,2-diethoxyethane), ethyldigig Symmetric glycol diethers such as lime (bis (2-ethoxyethyl) ether), butyldiglyme (bis (2-butoxyethyl) ether), γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, methyl acetate, ethyl acetate , Isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate (also known as carbitol acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate)) Acetates such as diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, Dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripylene glycol n-propyl ether, propylene glycol Phenyl ether, dipropylene glycol Methyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, a solvent may be used ethers such as ethyl ether also ethylene glycol. If necessary, low-boiling hexane, acetone, toluene, xylene and the like can be used in combination.

中でも特に対称グリコールジエーテル類が感光性樹脂組成物の溶解性が高いので好ましい。   Among these, symmetric glycol diethers are particularly preferable because the solubility of the photosensitive resin composition is high.

本願発明の感光性樹脂組成物溶液は、(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分の全固形分100重量部に対して、有機溶剤が、10重量部以上100重量部以下で配合されていることが好ましい。   The photosensitive resin composition solution of the present invention comprises (A) component, (B) component, (C) component, (D) component, and (E) component with respect to 100 parts by weight of the total solid content, It is preferable that 10 to 100 parts by weight is blended.

この範囲内の感光性樹脂組成物溶液にすることでフレキシブルプリント配線板上に塗布・乾燥後の膜減り率が小さくなるので好ましい。   A photosensitive resin composition solution within this range is preferable because the film reduction rate after coating and drying on the flexible printed wiring board is reduced.

<絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板の製造方法>
本願発明における絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板は、上記の感光性樹脂組成物をフレキシブルプリント配線板上に塗布し、光及び/もしくは熱によって硬化させることにより膜を形成してなるとこを特徴としており、特に好ましくは、上記感光性樹脂組成物溶液をフレキブルプリント配線板上に塗布し、光及び/もしくは熱によって硬化させることにより成形することが好ましい。
<The manufacturing method of the flexible printed wiring board which has an insulating film>
A flexible printed wiring board having an insulating coating in the present invention is characterized in that a film is formed by applying the photosensitive resin composition on the flexible printed wiring board and curing it by light and / or heat. It is particularly preferable that the photosensitive resin composition solution is applied on a flexible printed wiring board and molded by curing with light and / or heat.

特に好ましくは、フレキブルプリント配線板上に塗工した後に、乾燥・露光・アルカリ現像・硬化工程を経てフレキシブルプリント配線板上に絶縁被膜として成形されることが好ましい。   Particularly preferably, after coating on a flexible printed wiring board, it is preferably formed as an insulating film on the flexible printed wiring board through drying, exposure, alkali development and curing processes.

本願発明における、塗工とは、感光性樹脂組成物をスクリ−ン印刷、カ−テンロ−ル、リバ−スロ−ル、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等によりフレキシブルプリント配線板の導体面に塗布する工程であって、この際に、一部乾燥工程を含んでいても良い。この時のフレキシブルプリント配線板上に塗工する際の塗布膜の厚みは、好ましくは5〜100μm、特に好ましくは10〜100μmである。   In the present invention, coating is a conductive surface of a flexible printed wiring board formed by screen printing, curtain roll, river roll, spray coating, spin coating using a spinner or the like. In this case, a partial drying step may be included. The thickness of the coating film at the time of coating on the flexible printed wiring board at this time is preferably 5 to 100 μm, particularly preferably 10 to 100 μm.

本願発明における、乾燥とは、上記フレキシブルプリント配線板上に塗布膜を形成したものを、風乾及び/もしくは熱風乾燥を行い、塗布膜中の溶剤分を除去する工程である。   In the present invention, drying is a step of removing the solvent in the coating film by subjecting the flexible printed wiring board formed with the coating film to air drying and / or hot air drying.

特に、120℃以下の温度で加熱することが好ましく、特に好ましくは40〜100℃の温度で加熱することが好ましい。尚、この乾燥の際には、風を送り込んでおく事が乾燥を早く行う上で好ましい。   In particular, heating at a temperature of 120 ° C. or lower is preferable, and heating at a temperature of 40 to 100 ° C. is particularly preferable. In this drying, it is preferable to send air in order to dry quickly.

本願発明における、露光とは、上記フレキシブルプリント配線板上の乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線、レーザー光線などの活性光線を照射する工程であり、露光の際には、サンプルは窒素下で露光されても良いが、減圧状態に置かれて露光されることが好ましい。減圧状態とは、真空ポンプ等でサンプル容器内を減圧にすることである。尚、光を照射した後に、光で硬化を始めた部分をより硬化させるために、再度加熱を行っても良い。   In the present invention, the exposure is a step of placing a negative photomask on the dry coating film on the flexible printed wiring board and irradiating with actinic rays such as ultraviolet rays, visible rays, electron beams, laser rays, etc. In this case, the sample may be exposed under nitrogen, but is preferably exposed under reduced pressure. The depressurized state means that the inside of the sample container is depressurized with a vacuum pump or the like. In addition, after irradiating light, in order to harden the part which started hardening with light, you may heat again.

本願発明における、アルカリ現像とは、アルカリ溶液をシャワー、パドル、浸漬または超音波等のプリント基板表面の塗布膜にアルカリ溶液を接触させる各種方式を用い、アルカリ溶液で硬化していない未露光部を洗い出すことによりレリ−フパタ−ンを得ることである。アルカリ現像時の装置の噴霧圧力や流速、エッチング液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。本願発明では、アルカリ溶液の使用温度は、10〜40℃、好ましくは、20〜35℃であり、エッチング液の噴霧圧力は、0.3〜2.0kgf/mmにすることが好ましく、特に好ましくは、0.5〜1.5kgf/mmである。現像時間は、好ましくは、10秒〜600秒であり、より好ましくは、20秒〜300秒である。上記範囲内に制御することでパターンがより鮮明に露出することができる。尚、アルカリ溶液としては、0.01重量%以上2.0重量%以下の濃度の炭酸ナトリウム水溶液もしくは水酸化ナトリウム水溶液を用いることが好ましく、より好ましくは、0.05重量%以上1.5重量%以下の濃度の炭酸ナトリウム水溶液もしくは水酸化ナトリウム水溶液を用いることが好ましい。このようなアルカリ水溶液を用いることで現像後の残膜中のアルカリ金属濃度が低下して、電気絶縁信頼性を向上させることができるので好ましい。このアルカリ水溶液には、各種界面活性剤や、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。 In the present invention, alkali development refers to an unexposed portion that has not been cured with an alkaline solution, using various methods in which the alkaline solution is brought into contact with the coating film on the surface of the printed circuit board, such as shower, paddle, immersion, or ultrasonic wave. The relief pattern is obtained by washing out. Since the time until the pattern is exposed varies depending on the spraying pressure and flow rate of the apparatus during alkali development and the temperature of the etching solution, it is preferable to find optimal apparatus conditions as appropriate. In the present invention, the use temperature of the alkaline solution is 10 to 40 ° C., preferably 20 to 35 ° C., and the spray pressure of the etching solution is preferably 0.3 to 2.0 kgf / mm 2 , particularly Preferably, it is 0.5 to 1.5 kgf / mm 2 . The development time is preferably 10 seconds to 600 seconds, and more preferably 20 seconds to 300 seconds. By controlling within the above range, the pattern can be exposed more clearly. As the alkaline solution, it is preferable to use a sodium carbonate aqueous solution or a sodium hydroxide aqueous solution having a concentration of 0.01% by weight to 2.0% by weight, and more preferably 0.05% by weight to 1.5% by weight. It is preferable to use a sodium carbonate aqueous solution or a sodium hydroxide aqueous solution having a concentration of not more than%. Use of such an aqueous alkali solution is preferable because the alkali metal concentration in the remaining film after development is lowered and the electrical insulation reliability can be improved. This alkaline aqueous solution may contain various surfactants and water-soluble organic solvents such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, and N-methyl-2-pyrrolidone. .

上記アルカリ現像工程によって形成したレリ−フパタ−ンは、リンスして不用な残分を除去する。リンス液としては、水、酸性水溶液などが挙げられる。   The relief pattern formed by the alkali development step is rinsed to remove unnecessary residues. Examples of the rinsing liquid include water and acidic aqueous solutions.

本願発明における硬化工程とは、フレキシブルプリント配線板上の感光性樹脂組成物を加熱硬化させることにより、被膜を完全に硬化させる工程である。このときにかける温度は100℃以上200℃以下であることが好ましく、更に好ましくは120℃以上180℃以下であることが好ましい。硬化温度が高くなると樹脂の硬化が進み、特性の良い硬化被膜が得られ易いが、導配線の酸化劣化が進むので好ましくない。その為、上記温度範囲で制御することが好ましい。また、硬化の際には酸素による酸化劣化を抑える目的でアルゴン、窒素、ヘリウム等の不活性ガスにて室内を置換した状態で焼成することも可能である。   The curing step in the present invention is a step of completely curing the coating film by heating and curing the photosensitive resin composition on the flexible printed wiring board. The temperature applied at this time is preferably 100 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. When the curing temperature increases, the resin cures and a cured film with good characteristics is easily obtained, but it is not preferable because the conductive wiring is further deteriorated by oxidation. Therefore, it is preferable to control within the above temperature range. Further, at the time of curing, for the purpose of suppressing oxidative deterioration due to oxygen, it is possible to perform firing in a state in which the chamber is replaced with an inert gas such as argon, nitrogen, or helium.

以下本発明を実施例により具体的に説明するが本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1)
2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物(以下BPADAと略す)200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン140gに分散し、80℃に保った。これにシロキサンジアミン(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、一般式(1)中のR1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を128g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間均一攪拌を行い、次いで180℃に昇温させて3時間加熱還流を行いイミド化反応を行った。次いで、80℃まで冷却し水を27.7g(1.54mol)投入し、5時間加熱還流を行った。このようにして、末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを含む、末端テトラカルボン酸樹脂を得た。この溶液の固形分濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で140ポイズであった。この末端テトラカルボン酸樹脂溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成樹脂を樹脂Aと略す。
(Synthesis Example 1)
200 g (0.384 mol) of 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride (hereinafter abbreviated as BPADA) was converted to 140 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane. Dispersed and kept at 80 ° C. 128 g (0) of siloxane diamine (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name KF8010, molecular weight 830, R 1 and R 2 in the general formula (1) are methyl groups, n = 3, m = 6 to 11). 154 mol), and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred uniformly for 1 hour, then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours to carry out an imidization reaction. Next, the mixture was cooled to 80 ° C., 27.7 g (1.54 mol) of water was added, and the mixture was heated to reflux for 5 hours. In this way, a terminal tetracarboxylic acid resin containing a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer was obtained. The solid content concentration of this solution was 66% by weight, and the viscosity of the solution was 140 poise at 23 ° C. This terminal tetracarboxylic acid resin solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthetic resin is abbreviated as resin A.

(合成例2)
BPADA200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン159gに分散し、80℃に保った。これにシロキサンジアミン(信越化学社製:商品名X−22−9409S、分子量1492、式中R1,Rがメチル基もしくはフェニル基、n=3、m=9〜12である。)を172g(0.115mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間均一攪拌を行い、次いで、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行いイミド化反応を行った。次いで、80℃まで冷却し水を27.7g(1.54mol)投入し、5時間加熱還流を行った。このようにして、末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを含む、末端テトラカルボン酸樹脂を得た。この溶液の固形分濃度は67重量%、溶液の粘度は23℃で120ポイズであった。この末端テトラカルボン酸樹脂溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成樹脂を樹脂Bと略す。
(Synthesis Example 2)
200 g (0.384 mol) of BPADA was dispersed in 159 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and kept at 80 ° C. To this, 172 g of siloxane diamine (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name X-22-9409S, molecular weight 1492, wherein R 1 and R 2 are methyl groups or phenyl groups, n = 3, m = 9 to 12). (0.115 mol) was added, and uniform stirring was performed for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred uniformly for 1 hour, then heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours to carry out an imidization reaction. Next, the mixture was cooled to 80 ° C., 27.7 g (1.54 mol) of water was added, and the mixture was heated to reflux for 5 hours. In this way, a terminal tetracarboxylic acid resin containing a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer was obtained. The solid content concentration of this solution was 67% by weight, and the viscosity of the solution was 120 poise at 23 ° C. This terminal tetracarboxylic acid resin solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthetic resin is abbreviated as resin B.

(合成例3)
BPADA200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン154gに分散し、80℃に保った。これにシロキサンジアミン(信越化学社製:商品名KF8010、分子量830、一般式(1)中のR1、Rがメチル基、n=3、m=6〜11である。)を159g(0.192mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間均一攪拌を行い、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行いイミド化反応を行った。80℃まで冷却し水を27.7g(1.54mol)投入し、5時間加熱還流を行った。このようにして、末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを含む、末端テトラカルボン酸樹脂を得た。この溶液の固形分濃度は66重量%、溶液の粘度は23℃で100ポイズであった。この末端テトラカルボン酸樹脂溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成樹脂を樹脂Cと略す。
(Synthesis Example 3)
200 g (0.384 mol) of BPADA was dispersed in 154 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and kept at 80 ° C. 159 g (0 from Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name KF8010, molecular weight 830, R 1 and R 2 in the general formula (1) are methyl groups, n = 3, m = 6 to 11) 192 mol) and stirred uniformly for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred uniformly for 1 hour, heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours to carry out an imidization reaction. After cooling to 80 ° C., 27.7 g (1.54 mol) of water was added, and the mixture was heated to reflux for 5 hours. In this way, a terminal tetracarboxylic acid resin containing a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer was obtained. The solid content concentration of this solution was 66% by weight, and the viscosity of the solution was 100 poise at 23 ° C. This terminal tetracarboxylic acid resin solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthetic resin is abbreviated as resin C.

(合成例4)
BPADA200g(0.384mol)を1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン184gに分散し、80℃に保った。これにシロキサンジアミン(信越化学社製:商品名X−22−9409S、分子量1492、式中R1,Rがメチル基もしくはフェニル基、n=3、m=9〜12である。)を229g(0.154mol)投入し、30分間均一攪拌を行った。次いで、140℃に加熱して1時間均一攪拌を行い、180℃に昇温させて3時間加熱還流を行いイミド化反応を行った。80℃まで冷却し水を27.7g(1.54mol)投入した。均一に30分間攪拌した後、80℃に加熱して5時間加熱還流を行った。このようにして、末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーを含む、末端テトラカルボン酸樹脂を得た。この溶液の固形分濃度は67重量%、溶液の粘度は23℃で90ポイズであった。この末端テトラカルボン酸樹脂溶液は、1ヶ月間室温で放置しておいても、粘度の変化は殆ど無く安定的な溶液であった。この合成樹脂を樹脂Dと略す。
(Synthesis Example 4)
200 g (0.384 mol) of BPADA was dispersed in 184 g of 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane and kept at 80 ° C. To this, 229 g of siloxane diamine (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd .: trade name X-22-9409S, molecular weight 1492, wherein R 1 and R 2 are methyl groups or phenyl groups, n = 3, m = 9 to 12). (0.154 mol) was added, and uniform stirring was performed for 30 minutes. Next, the mixture was heated to 140 ° C. and stirred uniformly for 1 hour, heated to 180 ° C. and heated to reflux for 3 hours to carry out an imidization reaction. After cooling to 80 ° C., 27.7 g (1.54 mol) of water was added. After stirring uniformly for 30 minutes, the mixture was heated to 80 ° C. and refluxed for 5 hours. In this way, a terminal tetracarboxylic acid resin containing a terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer was obtained. The solid content concentration of this solution was 67% by weight, and the viscosity of the solution was 90 poise at 23 ° C. This terminal tetracarboxylic acid resin solution was a stable solution with little change in viscosity even when it was allowed to stand at room temperature for 1 month. This synthetic resin is abbreviated as resin D.

(実施例1〜4)
合成例1〜4で得られた末端テトラカルボン酸樹脂にジアミノ化合物、感光性樹脂、光重合開始剤、熱硬化性樹脂、フィラー、有機溶剤を添加して感光性樹脂組成物溶液を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表1に記載する。なお、表中の溶媒である1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタンは上記合成樹脂溶液等に含まれる溶剤等も含めた全溶剤量である。
感光性樹脂組成物ははじめに一般的な攪拌翼のついた攪拌装置で混合し、その溶液を3本ロールミルで2回パスし均一な溶液とした。グラインドメーターにて粒子径を測定したところ、いずれも10μm以下であった。混合溶液を脱泡装置で溶液中の泡を完全に脱泡して下記評価を実施した。評価結果を表2に示す。
(Examples 1-4)
A diamino compound, a photosensitive resin, a photopolymerization initiator, a thermosetting resin, a filler, and an organic solvent were added to the terminal tetracarboxylic acid resins obtained in Synthesis Examples 1 to 4 to prepare a photosensitive resin composition solution. Table 1 shows the blending amount of each constituent raw material in the resin solid content and the kind of the raw material. In addition, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane which is a solvent in the table is the total amount of solvent including the solvent and the like contained in the above synthetic resin solution and the like.
The photosensitive resin composition was first mixed with a general stirring device equipped with a stirring blade, and the solution was passed twice with a three-roll mill to obtain a uniform solution. When the particle diameter was measured with a grindometer, all were 10 μm or less. The following evaluation was carried out by completely defoaming the foam in the solution with a defoaming device. The evaluation results are shown in Table 2.

(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)
上記感光性樹脂組成物溶液を、ベーカー式アプリケーターを用いて、25μmのポリイミドフィルム(株式会社カネカ製:商品名25NPI)に最終乾燥厚みが25μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した。この乾燥フィルムは10枚用意した。9枚は50mm×50mmの面積が完全に透明な、ネガ型のフォトマスクをおいて、1枚には、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスク(30mm長さ×100μm幅のラインが10本残るフォトマスク)を置いて窒素雰囲気下で紫外線を300mJ/cm露光して感光させた。この感光フィルムに対し、0.8重量%の炭酸ナトリウム水溶液を30℃に加熱した溶液を用いて、1.0kgf/mm2の吐出圧で30秒間、スプレー現像を行った。現像後、純水で十分洗浄した後、170℃のオーブン中で60分加熱乾燥させて絶縁被膜を有するポリイミドフィルムを作製した。
(Preparation of polyimide film with insulating coating)
The above photosensitive resin composition solution is cast and coated on a 25 μm polyimide film (manufactured by Kaneka Co., Ltd .: trade name: 25NPI) on a 100 μm × 100 mm area using a Baker applicator so that the final dry thickness is 25 μm. And dried at 80 ° C. for 20 minutes. Ten sheets of this dry film were prepared. Nine sheets have a negative photomask with a completely transparent area of 50 mm × 50 mm, and one sheet has a negative photomask with a line width / space width = 100 μm / 100 μm (30 mm length × 100 μm width). A photomask with 10 lines left) was placed and exposed to UV light at 300 mJ / cm 2 in a nitrogen atmosphere. This photosensitive film was subjected to spray development for 30 seconds at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 using a solution obtained by heating a 0.8 wt% sodium carbonate aqueous solution to 30 ° C. After development, the film was thoroughly washed with pure water, and then heated and dried in an oven at 170 ° C. for 60 minutes to produce a polyimide film having an insulating film.

(反り指数)
上記50mm×50mmの絶縁被膜を有するポリイミドフィルムを平らな金属板上にポリイミドフィルムが下面になるように置き、末端のフィルムの反り上がっている高さを各エッジ部分の4点を測定した。その平均値を反り指数と定義する。
(Warpage index)
The polyimide film having an insulating film of 50 mm × 50 mm was placed on a flat metal plate so that the polyimide film was on the lower surface, and the height at which the terminal film was warped was measured at four points at each edge portion. The average value is defined as the warpage index.

このようにしてそり指数を測定した結果を表1に記載する。   The results of measuring the warpage index in this way are listed in Table 1.

(半田耐熱性)
上記、絶縁被膜を有するポリイミドフィルムを300℃で完全に溶解してある半田浴に感光性樹脂組成物の硬化膜が半田に接する様に浮かべて10秒後に引き上げ冷却した。その操作を3回行い、硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
碁盤目テープ法で剥がれの無いものを○、
升目の95%以上が残存している場合を△、
升目の残存量が80%未満のものを×とした。
(Solder heat resistance)
The polyimide film having the insulating coating was floated in a solder bath in which the polyimide film having the insulating coating was completely dissolved at 300 ° C. so that the cured film of the photosensitive resin composition was in contact with the solder, and was cooled after 10 seconds. The operation was performed three times, and the adhesive strength of the cured film was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
○ The one that does not peel off by the cross-cut tape method
△, when 95% or more of the cells remain
The case where the residual amount of the mesh was less than 80% was evaluated as x.

(感光性及び現像性評価)
感光性樹脂組成物の感光性及び現像性の評価は、上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られた絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの表面観察を行い判定した。
ポリイミドフィルム表面に
〇:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けており、ライン部の剥離に伴うラインの揺れが発生しておらず、スペース部にも溶解残りが無いもの。
△:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けており、ライン部に剥離に伴うラインの揺れが発生しているが、スペース部には溶解残りが無いもの。
×:くっきりとしたライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けておらず、ライン部が剥離しており、しかも、スペース部には溶解残りが発生しているもの。
(Photosensitivity and developability evaluation)
Evaluation of the photosensitivity and developability of the photosensitive resin composition was determined by observing the surface of the polyimide film having an insulating film obtained in the above item (Preparation of polyimide film having an insulating film).
◯: Clear line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern is drawn on the polyimide film surface, there is no fluctuation of the line due to peeling of the line part, and there is no residual residue in the space part thing.
Δ: A clear line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern is drawn, and the line portion is shaken due to peeling, but the space portion has no undissolved residue.
X: A clear line width / space width = 100/100 μm photosensitive pattern was not drawn, the line portion was peeled off, and a dissolution residue was generated in the space portion.

(塗膜の密着性)
上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の接着強度をJIS K5400に従って碁盤目テープ法で評価した。
碁盤目テープ法で剥がれの無いものを〇、
升目の95%以上が残存している場合を△、
升目の残存量が80%未満のものを×とした。
(Coating film adhesion)
The adhesive strength of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (production of polyimide film having an insulating coating) was evaluated by a cross-cut tape method according to JIS K5400.
Yes, those with no peeling by the cross-cut tape method
△, when 95% or more of the cells remain
The case where the residual amount of the mesh was less than 80% was evaluated as x.

(耐溶剤性)
上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐溶剤性の評価を行った。評価方法は25℃のイソプロパノール中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常がない。
×:塗膜に異常が発生する。
(Solvent resistance)
The solvent resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (production of polyimide film having an insulating coating) was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in isopropanol at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality in the coating film.
X: Abnormality occurs in the coating film.

(耐酸性)
上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐酸性の評価を行った。評価方法は25℃の2N塩酸溶液中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常(白化もしくは剥離)がないもの。
×:塗膜に異常(白化もしくは剥離)が発生する。
(Acid resistance)
The acid resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (production of a polyimide film having an insulating coating) was evaluated. In the evaluation method, the film was immersed in a 2N hydrochloric acid solution at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: The coating film has no abnormality (whitening or peeling).
X: Abnormality (whitening or peeling) occurs in the coating film.

(耐アルカリ性)
上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られた感光性樹脂組成物の硬化膜の耐アルカリ性の評価を行った。評価方法は25℃の2N水酸化ナトリウム溶液中に15分間浸漬した後風乾し、フィルム表面の状態を観察した。
○:塗膜に異常(白化もしくは剥離)がない。
×:塗膜に異常(白化もしくは剥離)が発生する。
(Alkali resistance)
The alkali resistance of the cured film of the photosensitive resin composition obtained in the above item (production of a polyimide film having an insulating coating) was evaluated. In the evaluation method, the film was dipped in a 2N sodium hydroxide solution at 25 ° C. for 15 minutes and then air-dried, and the state of the film surface was observed.
○: There is no abnormality (whitening or peeling) in the coating film.
X: Abnormality (whitening or peeling) occurs in the coating film.

(屈曲性)
上記(絶縁被膜を有するポリイミドフィルムの作製)の項目で得られたフィルムを30mm×10mmの短冊に切り出して、15mmのところで180°に10回折り曲げて塗膜を目視で確認してクラックの確認を行った。
○:硬化膜にクラックが無いもの
△:硬化膜に若干クラックがあるもの
×:硬化膜にクラックがあるもの
(耐湿絶縁性)
フレキシブル銅貼り積層版(銅箔の厚み12μm、ポリイミドフィルムは株式会社カネカ製アピカル25NPI、ポリイミド系接着剤で銅箔を接着している)上にライン幅/スペース幅=100μm/100μmの櫛形パターンを作製し、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬した後、純水で洗浄し銅箔の表面処理を行った。その後、ポリイミドフィルム上への硬化膜の作製方法と同様の方法で櫛形パターン上に感光性樹脂組成物の硬化膜を作製し試験片の調整を行った。85℃、85%RHの環境試験機中で試験片の両端子部分に100Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗値の変化やマイグレーションの発生などを観察した。表2には500時間後の絶縁抵抗値も記載する。
○:試験開始後、500時間で10Ω以上の抵抗値を示し、マイグレーション、デンドライトなどの発生が無いもの
×:試験開始後、500時間でマイグレーション、デンドライトなどの発生があるもの
(Flexibility)
The film obtained in the above item (Preparation of polyimide film having insulating coating) was cut into a 30 mm × 10 mm strip, bent at 180 ° at 10 ° and bent 10 times, and the coating film was visually confirmed to check for cracks. went.
○: The cured film has no cracks Δ: The cured film has some cracks ×: The cured film has cracks (Moisture resistance)
A comb-shaped pattern of line width / space width = 100 μm / 100 μm on a flexible copper-laminated laminate (copper foil thickness 12 μm, polyimide film is Apical 25 NPI manufactured by Kaneka Corporation, and copper foil is bonded with a polyimide adhesive) After being prepared and immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, the surface of the copper foil was treated by washing with pure water. Then, the cured film of the photosensitive resin composition was produced on the comb pattern by the method similar to the production method of the cured film on a polyimide film, and the test piece was adjusted. A 100 V direct current was applied to both terminals of the test piece in an environmental test machine at 85 ° C. and 85% RH, and changes in the insulation resistance value and occurrence of migration were observed. Table 2 also shows the insulation resistance value after 500 hours.
○: A resistance value of 10 6 Ω or more is exhibited in 500 hours after the start of the test, and no migration or dendrite is generated. ×: Migration, dendrite, etc. are generated in 500 hours after the test is started.

Figure 2008197545
Figure 2008197545

Figure 2008197545
Figure 2008197545

Claims (8)

配線を形成したフレキシブルプリント基板に、
少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、(D)光重合開始剤、及び、(E)熱硬化性樹脂を混合して得られ、下記条件、
(1)200℃以下の温度で硬化可能であること、
(2)300℃/10秒/3サイクルでの半田耐熱性があること、
(3)厚みが25μm、弾性率が4.0GPa以上のポリイミドフィルム表面に25μmの厚みに塗工・乾燥した後に、反り指数が5mm以下であること、
を満足する硬化膜となる感光性樹脂組成物を、
光及び/又は熱によって硬化させることによって膜を形成してなることを特徴とする絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。
On the flexible printed circuit board on which the wiring is formed,
It is obtained by mixing at least (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer, (B) diamino compound, (C) photosensitive resin, (D) photopolymerization initiator, and (E) thermosetting resin. conditions,
(1) It can be cured at a temperature of 200 ° C. or lower.
(2) Solder heat resistance at 300 ° C./10 seconds / 3 cycles,
(3) A warp index of 5 mm or less after coating and drying to a thickness of 25 μm on a polyimide film surface having a thickness of 25 μm and an elastic modulus of 4.0 GPa or more,
Photosensitive resin composition that becomes a cured film satisfying
A flexible printed wiring board having an insulating film, wherein the film is formed by curing with light and / or heat.
前記(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマーが、下記一般式(1)で示されるシロキサンジアミンと、
Figure 2008197545
(式中、R,Rは炭素数1〜12のアルキル基もしくは芳香族基であり、R,Rは同一であっても異なっていても良い。mは1〜40の整数、nは1〜20の整数を示す。)
下記一般式(2)で示されるテトラカルボン酸二無水物及び水を、
Figure 2008197545
(式中、Rは4価の有機基を示す。)
モル比でシロキサンジアミンのモル数/テトラカルボン酸二無水物のモル数≦0.80となるように反応して得られる感光性樹脂組成物であることを特徴とする請求項1記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。
The (A) terminal tetracarboxylic acid siloxane imide oligomer is a siloxane diamine represented by the following general formula (1):
Figure 2008197545
(In the formula, R 1 and R 2 are alkyl groups or aromatic groups having 1 to 12 carbon atoms, and R 1 and R 2 may be the same or different. M is an integer of 1 to 40, n represents an integer of 1 to 20.)
Tetracarboxylic dianhydride and water represented by the following general formula (2)
Figure 2008197545
(In the formula, R represents a tetravalent organic group.)
2. The insulating coating according to claim 1, which is a photosensitive resin composition obtained by reacting such that the molar ratio is the number of moles of siloxane diamine / the number of moles of tetracarboxylic dianhydride ≦ 0.80. A flexible printed wiring board.
前記、(B)ジアミノ化合物が、下記一般式(3)で示される芳香族ジアミンであることを特徴とする請求項1〜2のいずれか1項に記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。
Figure 2008197545
(式中、R’’は、2価の有機基である。)
The flexible printed wiring board having an insulating coating according to claim 1, wherein the (B) diamino compound is an aromatic diamine represented by the following general formula (3).
Figure 2008197545
(In the formula, R ″ is a divalent organic group.)
前記、(C)感光性樹脂が、分子内に不飽和二重結合を少なくとも1つ有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。   The flexible printed wiring board which has an insulating film of any one of Claims 1-3 in which the said (C) photosensitive resin has at least one unsaturated double bond in a molecule | numerator. 前記、(E)熱硬化性樹脂が、エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。   The flexible printed wiring board having an insulating coating according to any one of claims 1 to 4, wherein the (E) thermosetting resin is an epoxy resin. 前記、感光性樹脂組成物における(A)成分と(B)成分は、
(a)(A)成分の酸二無水物のモル量、
(b)(A)成分のシロキサンジアミンのモル量、
(c)(B)成分のジアミンのモル量
とした場合に、(a)/((b)+(c))が0.80以上1.20以下になるように配合されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。
The component (A) and the component (B) in the photosensitive resin composition are
(A) the molar amount of the acid dianhydride of component (A),
(B) the molar amount of the siloxane diamine of component (A),
(C) When the molar amount of the diamine of component (B) is used, (a) / ((b) + (c)) is blended so as to be 0.80 or more and 1.20 or less. The flexible printed wiring board which has an insulating film in any one of Claims 1-5.
前記、感光性樹脂組成物における(A)成分、(B)成分、(C)成分および(D)成分は、
(A)成分と(B)成分を合計した固形分100重量部に対して、(C)成分が、10〜200重量部、(D)成分が、0.1〜50重量部となるように配合されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。
The component (A), the component (B), the component (C) and the component (D) in the photosensitive resin composition are as follows:
The component (C) is 10 to 200 parts by weight and the component (D) is 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the sum of the components (A) and (B). The flexible printed wiring board which has an insulating film of any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned.
前記(E)熱硬化性樹脂の配合割合が、(A)成分、(B)成分、(C)成分および(D)成分を合計した固形分100重量部に対して、0.5〜100重量部となるように配合されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の絶縁被膜を有するフレキシブルプリント配線板。   The blending ratio of the (E) thermosetting resin is 0.5 to 100 weights with respect to 100 parts by weight of the solid content of the sum of the components (A), (B), (C) and (D). It mix | blends so that it may become a part, The flexible printed wiring board which has an insulating film of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned.
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