JP6033212B2 - 高周波交流電源装置 - Google Patents
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Description
[高周波交流電源装置の構成]
図1は、実施の形態1による高周波交流電源装置100およびガスレーザ装置110の構成を示す回路図である。
図4は、図3の各ゲート駆動回路19の詳細な構成を示す回路図である。図4を参照して、ゲート駆動回路19は、電源電位Vddおよび接地電位GND(0V)がそれぞれ与えられる電源ノードN10および接地ノードN11と、入力部50と、レベルシフト回路51と、出力部52とを含む。電源ノードN10および接地ノードN11は、図3のゲート用電源7の対応する整流回路40と接続される。接地ノードN11は、さらに、対応するパワー半導体素子20のソース側のノードN17と接地線43を介して接続される。
Vth1<Vth0 …(1)
の関係となるように、NチャネルFET27として低しきい値電圧品が選択される。
図5は、図4のゲート駆動回路19の出力電圧の時間変化を示すタイミング図である。図5では、入力部50の出力電圧Vi1(ノードN12の電圧)がHレベル、Lレベル、Hレベルの順に変化するとき(すなわち、入力信号SinがLレベル、Hレベル、Lレベルの順に変化するとき)の、ゲート駆動回路19の出力ノードN15の電圧Vo1の変化が示されている。図5の実線のグラフ70は、図4においてNチャネルFET27およびダイオード28が設けられておらず、接続ノードN13がノードN14に直結されている比較例のゲート駆動回路の場合を示す。図5の破線のグラフ71は、実施の形態1のゲート駆動回路19の場合を示す。
(ゲート駆動回路の出力の立上がり時間のばらつき低減)
図3で説明したように、耐圧が数百Vのパワー半導体素子20を複数個直列に接続することによってインバータ回路の各高電圧スイッチ5を構成した場合、複数のパワー半導体素子20にそれぞれ対応する複数のゲート駆動回路19が設けられる。この場合、複数のゲート駆動回路19の出力電圧の立上がり時間にばらつきがあると問題となる。
パワー半導体素子20がオフ状態のとき、ゲート駆動回路19の出力電圧Vo1はLレベル(0V)となる。このときNチャネルFET24はオン状態であるので、プルアップ用の抵抗素子25(抵抗値Rp)を介して電流が流れ、Vdd×Vdd/Rpの電力損失が発生する。
前述の特開平5−344718号公報(特許文献1)の図2のゲート駆動回路では出力電流を大電流化するため、レベルシフト回路の出力(NPNトランジスタのコレクタ端子)にNチャネルFETとPチャネルFETとを使ったプッシュプル回路が設けられている。ここで、プッシュプル回路のPチャネルFETを高速にターオンするには、PチャネルFETの入力容量を高速に放電させる必要がある。このため、より多くの電流をレベルシフト回路のNPNトランジスタに流す必要があるが、電流が多くなるほどNPNトランジスタのストレージタイムが長くなる。さらに多くの電流を流すため通電電流の絶対定格の大きいNPNトランジスタを使う必要があり、やはりストレージタイムが長くなる。このため、特開平5−344718号公報(特許文献1)の図2のゲート駆動回路では、数MHzでパワー半導体素子を駆動することが困難である。
[ゲート駆動回路の構成]
図6は、実施の形態2によるゲート駆動回路19Aの構成を示す回路図である。図6を参照して、ゲート駆動回路19Aのレベルシフト回路51Aは、ダイオード28と並列に設けられた抵抗素子31をさらに含む点で、図4のゲート駆動回路19のレベルシフト回路51と異なる。
Vth1≧Vth2 …(2)
の関係となるような特性の半導体素子を用いている。
図7は、図6のゲート駆動回路19Aの出力電圧の時間変化を示すタイミング図である。図7の下段には、入力部50の出力電圧Vi1(ノードN12の電圧)がHレベル、Lレベル、Hレベルの順に変化するとき(すなわち、入力信号SinがLレベル、Hレベル、Lレベルの順に変化するとき)、ゲート駆動回路19Aの出力ノードN15の電圧Vo1の変化が示されている。図7の上段には、図5で説明した実施の形態1のゲート駆動回路19の出力電圧(破線のグラフ71)と、比較例のゲート駆動回路の出力電圧(実線のグラフ70)が示されている。
上記のように、実施の形態2によるゲート駆動回路19Aでは、レベルシフト回路51AのNチャネルFET27がオンする前に、対応するパワー半導体素子20の半導体スイッチのドレイン・ソース間のインピーダンスを下げることが可能となる。これによって、複数のパワー半導体素子20を直列または並列接続した際のスイッチングのタイミングずれに起因する電圧集中または電流集中が緩和され、半導体スイッチへの高電圧印加による故障および電流集中に起因する発熱を低減することができる。
[ゲート駆動回路の構成]
図8は、実施の形態3によるゲート駆動回路19Bの構成を示す回路図である。
図8を参照して、パワー半導体素子20を高速にスイッチングさせるには、パワー半導体素子20の入力容量Cissを、出力インピーダンスが低く、出力電流の大きなゲート駆動回路でドライブする必要がある。
図4を参照して、実施の形態1のゲート駆動回路19の場合、NチャネルFET24がオンしたとき、NチャネルFET27はオフ状態で、NチャネルFET27のソース端子(ノードN14)の電位はダイオード28が一瞬オンし、ダイオード28の順方向電圧Vf≒0.7Vまで低下する。しかし、ノードN14の電位が0.7V以下になると、ダイオード28はオフし、ノードN14のインピーダンスが不定(ハイインピーダンス)になり、外来ノイズが重畳し易いという問題がある。
Claims (6)
- 入力信号を受ける入力部と、
前記入力信号に応じて前記入力部から出力される信号の電圧レベルを変換し、変換後の信号を出力ノードから出力するレベルシフト回路と、
前記レベルシフト回路の前記出力ノードの電圧変化に基づいて、パワー半導体素子を駆動するための信号を出力する出力部とを備え、
前記レベルシフト回路は、電源ノードと接地ノードとの間に順に直列に接続された第1の抵抗素子および第1の半導体スイッチ素子を含み、
前記第1の半導体スイッチ素子は、前記入力部から出力される信号に応じてオンまたはオフに変化し、
前記レベルシフト回路は、さらに、
前記電源ノードと前記レベルシフト回路の前記出力ノードとの間に設けられ、前記第1の抵抗素子と前記第1の半導体スイッチ素子との接続ノードの電圧に応じてオンまたはオフに変化する第2の半導体スイッチ素子と、
前記接続ノードと前記レベルシフト回路の前記出力ノードとの間に設けられ、前記接続ノードから前記出力ノードの方向の電流を阻止するダイオードと、
前記ダイオードと並列に設けられた第2の抵抗素子とを含む、ゲート駆動回路。 - 前記パワー半導体素子のしきい値電圧は、前記第1の半導体スイッチ素子のしきい値電圧以下である、請求項1に記載のゲート駆動回路。
- 前記レベルシフト回路は、前記出力ノードと前記接地ノードとの間に設けられた第3の抵抗素子をさらに含む、請求項1または2に記載のゲート駆動回路。
- 前記出力部は、互いに直列接続された複数段のプッシュプル回路を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載のゲート駆動回路。
- ブリッジ回路を備え、
前記ブリッジ回路の各アームには、互いに直列接続された複数のパワー半導体素子が設けられ、
さらに、前記各アームの前記複数のパワー半導体素子をそれぞれ駆動するための請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲート駆動回路を複数備える、交流電源装置。 - 請求項5に記載の交流電源装置と、
前記交流電源装置によって駆動されるレーザ放電管とを備える、ガスレーザ装置。
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