JP6027955B2 - 湿度計構成部材、湿度計、および環境試験装置 - Google Patents
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Description
また、上記の構成によれば、温度検出部は、伝熱部材の第1部分の表面と保護管との間に挟まれて保持されているので、温度検出部が伝熱部材の表面から脱落するおそれが低減し、温度検出部の保持状態を安定させることが可能である。
図1に示される環境試験装置は、測定空間101を有するチャンバ100と、測定空間101の温度および湿度を制御する制御部(図示せず)と、測定空間101における湿度を測定するための湿度計1とを備える。
第1実施形態の湿度計構成部材では、ヒートパイプ11における測定空間101に配置される第1部分11aの表面に温度センサ12が取り付けられ、これら第1部分11aおよび温度センサ12が保護管14によって覆われているので、測定空間101内部におけるヒートパイプ11の腐食および温度センサ12の脱落を防止することができる。
しかも、第1実施形態の湿度計構成部材では、ヒートパイプ11と保護管14との間に充填材15が充填されるので、ヒートパイプ11の第1部分11aと保護管14とを密着させる作業が必要がなくなり、組み立て作業性が向上する。
第1実施形態の湿度計構成部材では、温度センサ12は、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面と保護管14との間に挟まれて保持されているので、温度センサ12がヒートパイプ11の表面から脱落するおそれが低減し、温度センサ12の保持状態を安定させることが可能である。
上記第1実施形態の湿度計構成部材では、伝熱部材としてヒートパイプ11が採用されている。ヒートパイプ11は、通常、熱伝導性の良い銅で製造されているので、測定空間に露出した状態で環境試験を使用すればとくに腐食しやすいが、上記の第1実施形態では、伝熱部材であるヒートパイプの第1部分が保護管によって覆われているので、測定空間101内部におけるヒートパイプの腐食を防ぐことができる。
第1実施形態の湿度計構成部材では、保護管14が耐腐食性を有する金属によって製造されているので、当該保護管14は測定空間101の内部に露出しても腐食しにくい。
上記の第1実施形態では、ヒートパイプ11の第1部分11aは、保護管14から熱が伝導されるように、充填材15を介して当該保護管14の内面14eに間接的に接触しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、以下の第2実施形態のように、ヒートパイプ11の第1部分11aが保護管の内面に密着することによって直接的に接触するようにしてもよい。
2 測定部
11 ヒートパイプ
11a 第1部分
11b 第2部分
12 温度センサ(温度検出部)
13 放熱部
14 保護管
14e 保護管の内面
15 充填材
44 保護管
44e 保護管の内面
100 チャンバ
101 測定空間
102 断熱壁
103 外部空間
Claims (7)
- 測定空間における湿度を測定するための湿度計構成部材であって、
作動流体が封入されるとともにヒートパイプ現象を生じさせ得るように構成され、前記測定空間に配置される第1部分と、前記測定空間から断熱された外部空間に配置される第2部分とを有し、当該第1部分と第2部分との間で熱が伝導される伝熱部材と、
前記伝熱部材の前記第1部分の表面に取り付けられ、当該第1部分の温度を検出する温度検出部と、
前記伝熱部材の前記第1部分および前記温度検出部を覆う保護管と、
前記伝熱部材の前記第2部分に接続され、当該第2部分から熱を受けて前記外部空間に放熱する放熱部と
を備え、
前記伝熱部材の前記第1部分は、前記保護管に熱的に接続されており、
前記温度検出部は、前記伝熱部材の第1部分の表面と前記保護管との間に挟まれて保持されている、
湿度計構成部材。 - 前記伝熱部材と前記保護管との間に、熱伝導性の充填材が充填され、
前記伝熱部材の第1部分は、前記充填材を介して前記保護管に熱的に接続されている、
請求項1に記載の湿度計構成部材。 - 前記伝熱部材の第1部分の周面の少なくとも一部は、前記保護管の内面に密着している、
請求項1に記載の湿度計構成部材。 - 前記伝熱部材は、ヒートパイプである、
請求項1から3のいずれかに記載の湿度計構成部材。 - 前記保護管は、耐腐食性を有する金属によって製造されている、
請求項1から4のいずれかに記載の湿度計構成部材。 - 測定空間における湿度を測定するための湿度計であって、
請求項1から5のいずれかに記載の湿度計構成部材と、
前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、
前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と、前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部と
を備えている湿度計。 - 外部空間から断熱された前記測定空間を有するチャンバと、
前記測定空間の温度および湿度を制御する制御部と、
測定空間における湿度を測定するための湿度計と
を備えており、
前記湿度計は、請求項1から5のいずれかに記載の湿度計構成部材と、前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部とを有する、
環境試験装置。
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