JP6009765B2 - ターゲット領域の高速走査 - Google Patents
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Description
−ラスタ点につき最多で1回の位置測定。強度測定なし。
−ラスタ点につき最多で1回の強度測定。位置測定なし。
−ラスタ点につき最多で1回の位置測定と、ラスタ点につき最多で1回の強度測定。
−ラスタ点につき最多で1回の位置測定と、ラスタ点につき複数回の強度測定。
−ラスタ点につき最多で1回の強度測定と、ラスタ点につき複数回の位置測定。
−ビームの強度に従った照射のシーケンスの制御(強度制御)。場合によっては、ラスタ点につき複数回の強度測定を伴い、ビームの位置は、ラスタ点につき最多で1回測定される。
−3個または10個のラスタ点、あるいはまた1列のラスタラインに対して最多で1回の位置測定。
−3個または10個のラスタ点、あるいはまた1列のラスタラインに対して最多で1回の強度測定。
−一定の時間間隔に従った強度測定および/または位置測定の実施。
−できるだけ短い時間間隔の選択。
−照射の強度制御。位置測定に関しては一定の時間間隔。
−測定間で3個または10個のラスタ点が、あるいはまた1列のラスタラインが走査されるような時間間隔の設定。
−測定によって照射時間が長引かないような時間間隔の設定。
−複数のラスタ点にわたる測定の平均化。
−そのような平均化を改善するための検出器ガス中でのイオン化の考慮。
−照射の時間制御。位置は、ラスタ点につき最多で1回測定される。
−そのような時間制御における抽出プロファイルの考慮。
−放射源の比較的近くでのビーム位置の測定。
−ビーム幅の測定を、専用のモジュールによって、位置測定とは切り離して実施する。
−測定機構の直列接続。
選択肢が図3に示される。
−測定された位置または測定された強度が対応する目標値からかなりずれている場合、照射を中断する。
−測定された位置がその目標値からわずかにずれている場合、ビーム位置を修正する。
選択肢が図4に示される。
Claims (12)
- ターゲット点を走査するビーム(105)を有機材料または無機材料におけるターゲット(102)に照射するための方法であって、
ビームの位置およびビームの強度という量の少なくとも一方を測定するステップと、
少なくとも一つの測定された量に応じて前記ビームの位置および/または強度を変更するステップとを含む方法において、
前記少なくとも一方の測定される量が、1つのターゲット点につき最多で1回測定され、
特定の時間が経過したときに、順次のターゲット点へと前記ビームを向けることが決定され、前記特定の時間は、所期の線量が適用されたと予想される時間であって、抽出プロファイルを考慮して決定された時間であることを特徴とする方法。 - 前記ビーム(105)の位置が、1つのターゲット点につき最多で1回測定される請求項1に記載の方法。
- 前記照射が、少なくとも2回の走査で当てられる複数回照射として設計され、前記各走査においてターゲット点が順次に適用される請求項1または2に記載の方法。
- 前記ターゲット(102)が移動される請求項3に記載の方法。
- 前記少なくとも一方の測定される量が、少なくとも2個のターゲット点での測定の総数が最多で1回である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも一方の測定される量を測定するための時点が、経過時間によって決定される請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- ビーム(105)の断面積が、ターゲットの直前における前記ビームの対応する断面積の最大で80%に相当するビーム源(104)の方向において前記ビーム位置が測定される請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- ビーム幅測定モジュールを用いてビーム(105)の幅が測定される請求項1乃至7のいずれか1項に記載の方法。
- ターゲット点を走査するビーム(105)を用いてターゲット(102)を照射するための装置であって、
ビーム(105)の位置(117)および前記ビーム(105)の強度(116)という量の少なくとも一方を測定するための測定機構(116、117)と、
シーケンス制御機構(112)とを備え、前記シーケンス制御機構(112)が、少なくとも一方の測定された量に応じて前記ビーム(105)の位置および/または強度を変更するように構成された装置において、
前記少なくとも一方の測定される量を、1つのターゲット点につき最多で1回測定するように構成され、
特定の時間が経過したときに順次のターゲット点へと前記ビームを向けることが決定され、前記特定の時間は、所期の線量が適用されたと予想される時間であって、抽出プロファイルを考慮して決定された時間であることを特徴とする装置。 - 複数の前記測定機構が直列に接続される請求項9に記載の装置。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法を実行する請求項9または10に記載の装置。
- 請求項9〜11のいずれか1項に記載の装置を制御する制御システム。
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