JP6007867B2

JP6007867B2 - Grinding aid for non-aqueous electrolyte secondary battery active material and grinding method

Info

Publication number: JP6007867B2
Application number: JP2013129096A
Authority: JP
Inventors: 中西　鉄雄; 鉄雄中西; 松村　和之; 和之松村
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2013-06-20
Filing date: 2013-06-20
Publication date: 2016-10-12
Anticipated expiration: 2033-06-20
Also published as: JP2015005376A

Description

本発明は、非水電解質二次電池用負極活物質を粉砕する際に添加する粉砕助剤、及びこれを用いた粉砕方法に関する。 The present invention relates to a pulverization aid added when pulverizing a negative electrode active material for a non-aqueous electrolyte secondary battery, and a pulverization method using the same.

近年、携帯型の電子機器、通信機器等の著しい発展に伴い、経済性と機器の小型化、軽量化の観点から、高エネルギー密度の非水電解質二次電池が強く要望されている。一方で、自動車用途に於いて燃費向上、地球温暖化ガスの排出抑制を目的にハイブリッド自動車、電気自動車の開発が盛んに行われている。 In recent years, with the remarkable development of portable electronic devices, communication devices, etc., there is a strong demand for non-aqueous electrolyte secondary batteries with high energy density from the viewpoints of economy and downsizing and weight reduction of devices. On the other hand, in automobile applications, hybrid cars and electric cars have been actively developed for the purpose of improving fuel consumption and suppressing emission of global warming gas.

珪素は現在実用化されている炭素材料の理論容量３７２ｍＡｈ／ｇより遙かに高い理論容量４，２００ｍＡｈ／ｇを示すことから、電池の小型化と高容量化において最も期待される材料である。 Since silicon exhibits a theoretical capacity of 4,200 mAh / g, which is much higher than the theoretical capacity of 372 mAh / g of carbon materials currently in practical use, it is the most promising material for reducing the size and increasing the capacity of batteries.

例えば、特許文献１（特許第２９６４７３２号公報）では単結晶珪素を負極活物質の支持体として使用したリチウムイオン二次電池を開示している。また、特許文献２（特許第３０７９３４３号公報）では、単結晶珪素、多結晶珪素及び非晶質珪素のＬｉ_xＳｉ（但し、ｘは０〜５）からなるリチウム合金を使用したリチウムイオン二次電池を開示しており、特に非晶質珪素を用いたＬｉ_xＳｉが好ましく、モノシランをプラズマ分解した非晶質珪素で被覆した結晶性珪素の粉砕物が例示されている。 For example, Patent Document 1 (Japanese Patent No. 2964732) discloses a lithium ion secondary battery using single crystal silicon as a support for a negative electrode active material. In Patent Document 2 (Japanese Patent No. 3079343), a lithium ion secondary using a lithium alloy composed of Li _x Si (where x is 0 to 5) of single crystal silicon, polycrystalline silicon, and amorphous silicon. A battery is disclosed, and Li _x Si using amorphous silicon is particularly preferable, and pulverized crystalline silicon coated with amorphous silicon obtained by plasma decomposition of monosilane is exemplified.

また、特許文献３〜５（特許第３７０２２２３号公報、特許第３７０２２２４号公報、特許第４１８３４８８号公報）では、蒸着法により電極集電体に非晶質珪素薄膜を堆積させ、負極として利用する方法が開示されている。この集電体に直接珪素を気相成長させる方法において、成長方向を制御することで体積膨張によるサイクル特性の低下を抑制する方法も開示されている（特許文献６：特開２００６−３３８９９６号公報参照）。この方法によればサイクル特性の改良が達成されるものの、電極の生産速度が限られるためコストが高く、また珪素薄膜の厚膜化が困難であり、さらに負極集電体である銅が珪素中に拡散するという問題があった。 In Patent Documents 3 to 5 (Japanese Patent No. 3702223, Japanese Patent No. 3702224, and Japanese Patent No. 4183488), an amorphous silicon thin film is deposited on an electrode current collector by vapor deposition and used as a negative electrode. Is disclosed. In this method of directly vapor-growing silicon on the current collector, a method is also disclosed in which the growth direction is controlled to suppress a decrease in cycle characteristics due to volume expansion (Patent Document 6: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-338996). reference). Although this method achieves improved cycle characteristics, it is expensive because the electrode production rate is limited, it is difficult to increase the thickness of the silicon thin film, and copper as the negative electrode current collector is contained in silicon. There was a problem of spreading.

このため近年では、珪素含有粒子を用いながら、珪素の電池容量利用率を制限して体積膨張を抑制する方法（特許文献７〜９：特開２０００−１７３５９６号公報、特許第３２９１２６０号公報、特開２００５−３１７３０９号公報等参照）、多結晶粒子の粒界を体積変化の緩衝帯とする方法としてアルミナを添加した珪素融液を急冷する方法（特許文献１０：特開２００３−１０９５９０号公報参照）、α，β−ＦｅＳｉ₂の混相多結晶体からなる多結晶粒子を用いる方法（特許文献１１：特開２００４−１８５９９１号公報参照）、単結晶珪素インゴットの高温塑性加工法（特許文献１２：特開２００４−３０３５９３号公報参照）が開示されている。 Therefore, in recent years, while using silicon-containing particles, a method for suppressing the volume expansion by limiting the battery capacity utilization rate of silicon (Patent Documents 7 to 9: JP 2000-173596 A, JP 3291260 A, And a method of rapidly cooling a silicon melt to which alumina is added as a method of using a grain boundary of a polycrystalline particle as a buffer zone for volume change (see Patent Document 10: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-109590). ), A method using polycrystalline particles made of a mixed phase polycrystal of α, β-FeSi ₂ (see Patent Document 11: Japanese Patent Laid-Open No. 2004-185991), a high-temperature plastic working method of a single crystal silicon ingot (Patent Document 12: Japanese Patent Laid-Open No. 2004-303593) is disclosed.

以上のように、珪素含有粒子は微粉砕した上で、粒度を調整して使用されるが、金属珪素の微粒子や酸化珪素の微粒子はきわめて付着力が強く、粉砕中に内壁に流動しない層を作ることが多く、粒度分布が広くなる原因となっていた。 As described above, the silicon-containing particles are used after finely pulverizing and adjusting the particle size. However, the metal silicon fine particles and silicon oxide fine particles have extremely strong adhesion and do not flow on the inner wall during pulverization. This was often the cause of the increase in the particle size distribution.

従来、珪素含有粒子のように容器内壁に固着しやすい粉体に対して、水、アルコール、アセトン、炭化水素溶剤等を添加して湿式で粉砕する方法がある。この方法によれば、内壁の付着は低減され粉砕効率も向上するが、添加液体の除去が必要であり、操作が煩雑となりやすい。 Conventionally, there is a method in which water, alcohol, acetone, a hydrocarbon solvent, or the like is added to a powder that easily adheres to the inner wall of a container, such as silicon-containing particles, and is wet pulverized. According to this method, the adhesion of the inner wall is reduced and the pulverization efficiency is improved, but it is necessary to remove the added liquid, and the operation tends to be complicated.

一方、乾式粉砕では上記の水、アルコール等の上記を用いるほか、ベントナイト、ゼオライト、タルク等の粘土鉱物やホワイトカーボン等の湿式シリカ、糖類、デキストリン等の植物単体等が使用されるほか、カーボンブラックやグラファイト等の炭素系固体が使用されている（特許文献１３：特開平８−３１８１７４号公報，１４：特開２０１１−２６１９７号公報参照）。 On the other hand, in dry pulverization, the above water and alcohol are used, clay minerals such as bentonite, zeolite and talc, wet silica such as white carbon, plant simple substances such as saccharides and dextrin are used, and carbon black And carbon-based solids such as graphite are used (see Patent Document 13: JP-A-8-318174, 14: JP-A-2011-26197).

後工程の簡便さから乾式粉砕を選択するのが効率的ではあるが、珪素及び珪素含有粒子を非水電解質二次電池用負極材として使用する場合には、その粒径が０．５〜３０μｍであり、付着性が強く内壁に固着しやすい。対策として各種粉砕助剤を添加すると効果的ではあるが、金属元素のコンタミや有機樹脂のコンタミが避けられず、電池材料として不適当である。一方、組成の類似したホワイトカーボンを選択するのが最も効果的と考えられるが、現状のホワイトカーボンでは純度的に満足いくものではなく、効果も限定的であった。 Although it is efficient to select dry pulverization from the simplicity of the post-process, when silicon and silicon-containing particles are used as the negative electrode material for non-aqueous electrolyte secondary batteries, the particle size is 0.5 to 30 μm. It has strong adhesion and is easily fixed to the inner wall. Although it is effective to add various grinding aids as a countermeasure, contamination of metal elements and organic resin is unavoidable and is unsuitable as a battery material. On the other hand, it is considered to be most effective to select white carbon having a similar composition, but the present white carbon is not satisfactory in terms of purity, and the effect is also limited.

特許第２９６４７３２号公報Japanese Patent No. 2964732 特許第３０７９３４３号公報Japanese Patent No. 3079343 特許第３７０２２２３号公報Japanese Patent No. 3702223 特許第３７０２２２４号公報Japanese Patent No. 3702224 特許第４１８３４８８号公報Japanese Patent No. 4183488 特開２００６−３３８９９６号公報JP 2006-338996 A 特開２０００−１７３５９６号公報JP 2000-173596 A 特許第３２９１２６０号公報Japanese Patent No. 3291260 特開２００５−３１７３０９号公報JP 2005-317309 A 特開２００３−１０９５９０号公報JP 2003-109590 A 特開２００４−１８５９９１号公報JP 2004-185991 A 特開２００４−３０３５９３号公報JP 2004-303593 A 特開平８−３１８１７４号公報JP-A-8-318174 特開２０１１−２６１９７号公報JP 2011-26197 A

本発明は上記事情に鑑みなされたもので、非水電解質二次電池活物質、特に珪素粒子又は珪素化合物粒子粉砕時の容器内壁への付着を低減し、粉砕収率を向上させる粉砕助剤、及びこれを用いた粉砕方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a non-aqueous electrolyte secondary battery active material, particularly a grinding aid that reduces adhesion to the inner wall of the container during grinding of silicon particles or silicon compound particles and improves the grinding yield, And it aims at providing the crushing method using the same.

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、非水電解質二次電池活物質、特に珪素粒子又は珪素化合物粒子を粉砕する際に、特定の球状シリカ微粒子からなる粉砕助剤を添加することで、珪素粒子又は珪素化合物粒子の凝集性を改善することができ、粉砕時の容器内壁への付着が低減され、また、粉砕物の流動分布が狭くなり、結果的に粉砕収率の向上がみられることを見出した。 As a result of intensive investigations to achieve the above object, the present inventors have found that when a non-aqueous electrolyte secondary battery active material, particularly silicon particles or silicon compound particles is pulverized, a pulverization aid comprising specific spherical silica fine particles is added. By adding, the cohesiveness of silicon particles or silicon compound particles can be improved, adhesion to the inner wall of the container during pulverization is reduced, and the flow distribution of the pulverized material is narrowed, resulting in a pulverization yield. It was found that there was an improvement.

従って、本発明は下記を提供する。
[１].珪素粒子又は珪素化合物粒子である非水電解質二次電池活物質の粉砕時に用いられる、平均粒子径が５ｎｍ〜１．００μｍ、粒度分布Ｄ₉₀／Ｄ₁₀の値が３以下であり、平均円形度が０．８〜１である球状シリカ微粒子からなる非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤。
[２].非水電解質二次電池活物質に対して０．１〜５質量％添加する[１]記載の非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤。
[３].球状シリカ微粒子が、疎水性球状シリカ微粒子である[１]又は[２]記載の非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤。
[４].４官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物又はそれらの組み合わせを、加水分解・縮合することによって、ＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子を得る工程と、得られたＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子の表面に、Ｒ¹ＳｉＯ_3/2単位（式中、Ｒ¹は置換又は非置換の炭素原子数１〜２０の１価炭化水素基である。）を導入する工程と、次いでＲ² ₃ＳｉＯ_1/2単位（式中、Ｒ²は同一又は異種の、置換又は非置換の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）を導入する疎水化処理工程とを含む、[３]記載の疎水性球状シリカ微粒子からなる非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤を製造する方法。
[５].下記（Ａ１）〜（Ａ４）工程を含む、[３]記載の疎水性球状シリカ微粒子からなる非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤を製造する方法。
（Ａ１）：親水性球状シリカ微粒子の調製工程
下記一般式（Ｉ）
Ｓｉ（ＯＲ³）₄ （Ｉ）
（式中、Ｒ³は同一又は異種の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）
で表わされる４官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物又はこれらの混合物を、塩基性物質の存在下、親水性有機溶媒と水との混合溶媒中で加水分解・縮合することによって、ＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子が分散した混合溶媒分散液を得、
（Ａ２）：３官能性シラン化合物による第１疎水化表面処理工程
（Ａ１）で得られた分散液に、下記一般式（ＩＩ）
Ｒ¹Ｓｉ（ＯＲ⁴）₃ （ＩＩ）
（式中、Ｒ¹は置換又は非置換の炭素原子数１〜２０の１価炭化水素基、Ｒ⁴は同一又は異種の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）で表わされる３官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物又はこれらの混合物を添加して、上記親水性球状シリカ微粒子を表面処理し、その表面にＲ¹ＳｉＯ_3/2単位（式中、Ｒ¹は上記と同じである。）が導入された球状シリカ微粒子が分散した混合溶媒分散液を得、
（Ａ３）：濃縮工程
（Ａ２）で得られた分散液から、親水性有機溶媒と水の一部とを除去し、濃縮することにより、濃縮分散液を得、
（Ａ４）：１官能性シラン化合物による第２疎水化表面処理工程
（Ａ３）で得られた濃縮分散液に、下記一般式（ＩＩＩ）
Ｒ² ₃ＳｉＮＨＳｉＲ² ₃ （ＩＩＩ）
（式中、Ｒ²は、同一又は異種の、置換又は非置換の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）
で表わされるシラザン化合物、下記一般式（ＩＶ）：
Ｒ² ₃ＳｉＸ（ＩＶ）
（式中、Ｒ²は上記と同じであり、ＸはＯＨ基又は加水分解性基である。）で表わされる１官能性シラン化合物又はこれらの混合物を添加し、上記Ｒ¹ＳｉＯ_3/2単位が導入された球状シリカ微粒子を表面処理し、その表面にＲ² ₃ＳｉＯ_1/2単位（式中、Ｒ²は上記と同じである。）を導入する。
[６].珪素粒子又は珪素化合物粒子である非水電解質二次電池活物質に、[１]〜[３]のいずれか１項記載の非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤を、非水電解質二次電池活物質に対して０．１〜５質量％添加して粉砕する、上記非水電解質二次電池活物質の粉砕方法。
Accordingly, the present invention provides the following.
[1] The average particle size used when pulverizing the non-aqueous electrolyte secondary battery active material that is silicon particles or silicon compound particles is 5 nm to 1.00 μm, and the particle size distribution D ₉₀ / D ₁₀ is 3 or less. A grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material comprising spherical silica fine particles having an average circularity of 0.8 to 1.
[2] The grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material according to [1], which is added in an amount of 0.1 to 5% by mass relative to the non-aqueous electrolyte secondary battery active material.
[3] The grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material according to [1] or [2] , wherein the spherical silica fine particles are hydrophobic spherical silica fine particles.
[4]. A step of obtaining hydrophilic spherical silica fine particles comprising SiO ₂ units by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis-condensation product thereof, or a combination thereof, and the obtained SiO _An R ¹ SiO _3/2 unit (wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms) is introduced on the surface of the hydrophilic spherical silica fine particle composed of ₂ units. And then introducing a R ² ₃ SiO _1/2 unit (wherein R ² is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). A method for producing a grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material comprising the hydrophobic spherical silica fine particles according to [ 3 ], comprising a treatment step.
[5] A method for producing a grinding aid for a nonaqueous electrolyte secondary battery active material comprising the hydrophobic spherical silica fine particles according to [ 3 ], comprising the following steps (A1) to (A4).
(A1): Step of preparing hydrophilic spherical silica fine particles The following general formula (I)
Si (OR ³ ) ₄ (I)
(In the formula, R ³ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
By hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound represented by the formula, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof in a mixed solvent of a hydrophilic organic solvent and water in the presence of a basic substance, SiO ₂ A mixed solvent dispersion in which hydrophilic spherical silica fine particles composed of units are dispersed is obtained,
(A2): First hydrophobizing surface treatment step with trifunctional silane compound (A1), the dispersion obtained in the following general formula (II)
R ¹ Si (OR ⁴ ) ₃ (II)
(Wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and R ⁴ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). The above-mentioned hydrophilic spherical silica fine particles are surface-treated by adding a trifunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, and R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is The same as the above) to obtain a mixed solvent dispersion in which spherical silica fine particles introduced are dispersed,
(A3): Concentration step From the dispersion obtained in (A2), the hydrophilic organic solvent and a part of water are removed and concentrated to obtain a concentrated dispersion.
(A4): Second hydrophobized surface treatment step with a functional silane compound (A3) The concentrated dispersion obtained in (A3) is added to the following general formula (III)
R ² ₃ SiNHSiR ² ₃ (III)
(In the formula, R ² is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
A silazane compound represented by the following general formula (IV):
R ² ₃ SiX (IV)
(Wherein R ² is the same as above, X is an OH group or a hydrolyzable group), and a monofunctional silane compound or a mixture thereof is added, and the R ¹ SiO _3/2 unit is added. Are treated, and R ² ₃ SiO _1/2 units (wherein R ² is the same as above) are introduced on the surface thereof.
[6] The nonaqueous electrolyte secondary battery active material according to any one of [1] to [ 3 ] is added to the nonaqueous electrolyte secondary battery active material that is silicon particles or silicon compound particles, The said nonaqueous electrolyte secondary battery active material grinding | pulverization method of adding 0.1-5 mass% with respect to a nonaqueous electrolyte secondary battery active material, and grind | pulverizing.

本発明によれば、非水電解質二次電池活物質、特に珪素粒子又は珪素化合物粒子を粉砕する際に添加する、珪素粒子又は珪素化合物粒子の凝集性を改善して、粉砕時の容器内壁への付着が低減され、粉砕収率の向上を可能にする粉砕助剤、及びこれを用いた粉砕方法
を提供することができる。 According to the present invention, the non-aqueous electrolyte secondary battery active material, particularly silicon particles or silicon compound particles, which is added when pulverizing, improves the cohesiveness of the silicon particles or silicon compound particles to the inner wall of the container during pulverization. Thus, it is possible to provide a pulverization aid that can improve the pulverization yield and a pulverization method using the same.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の非水電解質二次電池活物質用粉砕助剤は、平均粒子径が５ｎｍ〜１．００μｍ、粒度分布Ｄ₉₀／Ｄ₁₀の値が３以下であり、平均円形度が０．８〜１である球状シリカ微粒子からなるものである。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material of the present invention has an average particle size of 5 nm to 1.00 μm, a particle size distribution D ₉₀ / D ₁₀ of 3 or less, and an average circularity of 0.8 to 1 consisting of spherical silica fine particles.

［珪素粒子又は珪素化合物粒子］
非水電解質二次電池活物質としては、珪素粒子又は珪素化合物粒子が挙げられ、１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。珪素については特に制限されることはなく、単結晶珪素、多結晶珪素、アモルファス珪素のいずれも使用できる。また、金属不純物濃度が各々１ｐｐｍ以下の高純度珪素粒子（特に単結晶珪素粒子、多結晶粒子）、塩酸で洗浄したのちフッ化水素酸及びフッ化水素酸と硝酸の混合物で処理することで金属不純物を取り除いたケミカルグレードの珪素粒子、冶金的に精製された金属珪素を粒子状に加工したものを用いることができる。 [Silicon particles or silicon compound particles]
Examples of the non-aqueous electrolyte secondary battery active material include silicon particles or silicon compound particles, which may be used alone or in combination of two or more. The silicon is not particularly limited, and any of single crystal silicon, polycrystalline silicon, and amorphous silicon can be used. In addition, after washing with high-purity silicon particles (especially single crystal silicon particles and polycrystalline particles) each having a metal impurity concentration of 1 ppm or less, hydrochloric acid and then treating with hydrofluoric acid and a mixture of hydrofluoric acid and nitric acid, the metal Chemical grade silicon particles from which impurities have been removed and metallurgically refined metal silicon processed into particles can be used.

珪素化合物としては、酸化珪素等の珪素酸化物、珪素窒化物、ケイ酸塩等が挙げられ、さらにＡｌ、Ｇｅ等の金属を添加した固溶体合金、Ｔｉ、Ｃｏ等の金属を添加した珪化物等を用いることができる。 Examples of silicon compounds include silicon oxides such as silicon oxide, silicon nitrides, silicates, etc., solid solution alloys added with metals such as Al and Ge, silicides added with metals such as Ti and Co, etc. Can be used.

粉砕前の珪素粒子又は珪素化合物粒子の形状は特に規定されないが、製法によって大きく異なり、例えば外径が２０ｃｍを超えるような冶金グレードの珪素塊も使用可能であり、太陽電池用の高純度のものであれば外径が１ｃｍを超える塊状のものから、１ｃｍ以下のビーズ上のものまで種々入手可能である。非水電解質二次電池活物質として使用されうる珪素粒子又は珪素化合物粒子では、数ミクロンの粒子サイズとなることから、微粉砕を行う前にあらかじめ、粉砕器の規格にあった粒子形状に加工することが一般的であり、その平均粒子径は０．１〜３ｍｍの範囲とするとよい。 The shape of the silicon particles or silicon compound particles before pulverization is not particularly defined, but varies greatly depending on the production method. For example, metallurgical grade silicon ingots having an outer diameter exceeding 20 cm can be used, and have high purity for solar cells. If so, a variety of products having a diameter exceeding 1 cm to those on beads having a diameter of 1 cm or less are available. Silicon particles or silicon compound particles that can be used as a non-aqueous electrolyte secondary battery active material have a particle size of several microns, so they are processed in advance into a particle shape that meets the specifications of the pulverizer before pulverization. The average particle diameter is preferably in the range of 0.1 to 3 mm.

非水電解質二次電池活物質として、珪素粒子又は珪素化合物粒子を用いるには、粉砕して粒度を調整したものを使用する。粉砕後のレーザー回折散乱式粒度分布における累積５０％体積径（Ｄ₅₀）：平均粒子径は、０．０１〜３０μｍが好ましく、０．１〜２０μｍがより好ましく、０．５〜１０μｍがさらに好ましい。Ｄ₅₀が０．０１μｍ未満だと、製造方法が限定され高コストになるおそれがあり、比表面積が大きく、負極膜密度が小さくなりすぎる場合がある。３０μｍを超えると、負極成型体をプレスした際に集電体を貫通するおそれがある。なお、レーザー回折散乱式粒度分布における累積５０％体積径（Ｄ₅₀）とは、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による粒度分布において、累積５０体積％に相当する粒子径をいう。 In order to use silicon particles or silicon compound particles as the nonaqueous electrolyte secondary battery active material, a pulverized particle size adjusted is used. Cumulative 50% volume diameter (D ₅₀ ) in pulverized laser diffraction / scattering particle size distribution: The average particle diameter is preferably from 0.01 to 30 μm, more preferably from 0.1 to 20 μm, still more preferably from 0.5 to 10 μm. . If D ₅₀ is less than 0.01 μm, the production method is limited and the cost may increase, the specific surface area may be large, and the negative electrode film density may be too small. When it exceeds 30 μm, there is a possibility of penetrating the current collector when the negative electrode molded body is pressed. The cumulative 50% volume diameter (D ₅₀ ) in the laser diffraction / scattering particle size distribution refers to the particle diameter corresponding to the cumulative 50% by volume in the particle size distribution by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method.

また、窒素吸着１点法で測定したＢＥＴ比表面積が、０．５〜２０ｍ²／ｇが好ましく、１〜１０ｍ²／ｇがより好ましい。比表面積が０．５ｍ²／ｇ未満であると、酸化珪素製造時の反応性が低下するおそれがあり、２０ｍ²／ｇを超えると製造コストが高くつき不利になるおそれがある。 Moreover, 0.5-20 m < ² > / g is preferable and, as for the BET specific surface area measured by the nitrogen adsorption 1 point method, 1-10 m < ² > / g is more preferable. If the specific surface area is less than 0.5 m ² / g, the reactivity during the production of silicon oxide may be reduced, and if it exceeds 20 m ² / g, the production cost may be increased and disadvantageous.

［球状シリカ微粒子］
本発明の球状シリカ微粒子は合成非晶質シリカに区分され、さらにゾルゲル法により球状化したものである。球状シリカ微粒子は表面処理を施すことによって、親水性と疎水性を調整することができるが、粉砕用途には疎水性である方が使用しやすい。 [Spherical silica fine particles]
The spherical silica fine particles of the present invention are classified into synthetic amorphous silica and further spheroidized by a sol-gel method. The spherical silica fine particles can be adjusted in hydrophilicity and hydrophobicity by subjecting them to a surface treatment, but they are more easily used for grinding applications.

平均粒子径は、通常５ｎｍ〜１．００μｍであり、１０〜３００ｎｍが好ましく、３０〜２００ｎｍがより好ましい。この粒子径が５ｎｍよりも小さいと、珪素粒子又は珪素化合物粒子の凝集が激しく、うまく取り出せない場合がある。一方、１．００μｍよりも大きいと、珪素粒子又は珪素化合物粒子に、十分な流動性や充填性を付与できない場合がある。なお、本発明において、球状シリカ微粒子の粒子径とは、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による粒度分布において、体積基準メジアン径（平均粒子径）をいう。 The average particle size is usually 5 nm to 1.00 μm, preferably 10 to 300 nm, and more preferably 30 to 200 nm. If the particle diameter is smaller than 5 nm, the silicon particles or silicon compound particles are agglomerated so that they may not be extracted well. On the other hand, if it is larger than 1.00 μm, sufficient fluidity and filling properties may not be imparted to the silicon particles or silicon compound particles. In the present invention, the particle diameter of the spherical silica fine particles refers to a volume-based median diameter (average particle diameter) in the particle size distribution by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method.

粒度分布の指標であるＤ₉₀／Ｄ₁₀の値が３以下であり、２．９以下が好ましい。Ｄ₉₀、Ｄ₁₀はいずれもレーザー回折散乱式粒度分布測定法による粒度分布において、小さい側から累積体積１０％となる粒子径をＤ₁₀、小さい側から累積体積９０％となる粒子径をＤ₉₀という。このＤ₉₀／Ｄ₁₀が３以下であるとは、その粒度分布はシャープであることを示すものである。このように、粒度分布がシャープな粒子であると、珪素粒子の流動性を制御することが容易になる。 The value of D ₉₀ / D ₁₀ that is an index of the particle size distribution is 3 or less, and preferably 2.9 or less. In D ₉₀ and D _10, in the particle size distribution obtained by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method, D _{10 represents} the particle diameter that is 10% of the cumulative volume from the smaller side, and D _{90 represents the} particle diameter that is the 90% cumulative volume from the smaller side. That's it. The D ₉₀ / D ₁₀ being 3 or less indicates that the particle size distribution is sharp. Thus, if the particle size distribution is sharp, it becomes easy to control the fluidity of the silicon particles.

本発明において、「球状」とは真球だけでなく、若干歪んだ球も含み、平均円形度が０．８〜１の範囲にあるものをいい、０．９２〜１が好ましい。なお、円形度とは、（粒子面積と等しい円の周囲長）／（粒子周囲長）であり、電子顕微鏡等で得られる粒子像を画像解析することにより測定することができる。また、良好な流動性の付与の点から、一次粒子が好ましい。 In the present invention, “spherical” means not only a true sphere but also a slightly distorted sphere, and an average circularity in the range of 0.8 to 1, preferably 0.92 to 1. The circularity is (peripheral length of circle equal to the particle area) / (peripheral length of particle), and can be measured by image analysis of a particle image obtained with an electron microscope or the like. Further, from the viewpoint of imparting good fluidity, primary particles are preferable.

［疎水性球状シリカ微粒子］
疎水性球状シリカ微粒子は、例えば、４官能性シラン化合物の加水分解・縮合によって得られる、小粒径ゾルゲル法シリカ原体に、特定の疎水化表面処理を行い、疎水化処理後の微粒子が、シリカ原体の一次粒子を維持した小粒径であり、凝集しておらず、良好な流動性を付与可能な疎水性球状シリカ微粒子が得られるものである。 [Hydrophobic spherical silica particles]
Hydrophobic spherical silica fine particles are obtained by, for example, performing a specific hydrophobized surface treatment on a silica particle of a small particle size sol-gel method obtained by hydrolysis / condensation of a tetrafunctional silane compound. Hydrophobic spherical silica fine particles having a small particle size maintaining the primary particles of the silica raw material, not agglomerated, and capable of imparting good fluidity can be obtained.

より具体的には、４官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物又はそれらの組み合わせを、加水分解・縮合することによって得られた、ＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子の表面に、Ｒ¹ＳｉＯ_3/2単位（式中、Ｒ¹は置換又は非置換の炭素原子数１〜２０の１価炭化水素基である。）を導入する工程と、次いでＲ² ₃ＳｉＯ_1/2単位（式中、Ｒ²は同一又は異種の、置換又は非置換の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）を導入する工程とを含む疎水化処理をして得られた疎水性球状シリカ微粒子が好ましい。このような疎水化処理をして得られた疎水性球状シリカ微粒子の構造は、非晶質（アモルファス）な疎水性の真球状に近いシリカ微粒子である。 More specifically, on the surface of hydrophilic spherical silica fine particles composed of SiO ₂ units, obtained by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis condensation product thereof, or a combination thereof, A step of introducing R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms), and then R ² ₃ SiO _1/2 units (Wherein R ² is the same or different, a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). Spherical silica fine particles are preferred. The structure of the hydrophobic spherical silica fine particles obtained by such a hydrophobization treatment is a silica fine particle close to an amorphous hydrophobic spherical shape.

本発明において、親水性球状シリカ微粒子が「ＳｉＯ₂単位からなる」とは、この微粒子は、基本的にＳｉＯ₂単位から構成されているが、少なくとも表面に通常知られているようにシラノール基を有することを意味する。また、場合によっては、原料である一般式（Ｉ）で表わされる４官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物（以下、合わせて４官能性シラン化合物等と略す場合がある。）に由来する加水分解性基（ヒドロカルビルオキシ基）が、一部シラノール基に転化されずに若干量そのまま微粒子表面や内部に残存していてもよいことを意味する。 In the present invention, the hydrophilic spherical silica fine particle “consists of SiO ₂ units” means that the fine particles are basically composed of SiO ₂ units, but have at least a silanol group as is generally known on the surface. It means having. In some cases, the raw material is derived from the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) as a raw material and a partial hydrolysis-condensation product thereof (hereinafter sometimes abbreviated as a tetrafunctional silane compound or the like in some cases). This means that some amount of the hydrolyzable group (hydrocarbyloxy group) may remain on the fine particle surface or inside without being partially converted into a silanol group.

以下、疎水性球状シリカ微粒子の製造方法の一つについて以下に詳細に説明する。
<製造方法（Ａ）>
（Ａ１）：親水性球状シリカ微粒子の調製工程
（Ａ２）：３官能性シラン化合物による第１疎水化表面処理工程
（Ａ３）：濃縮工程
（Ａ４）：１官能性シラン化合物による第２疎水化表面処理工程 Hereinafter, one method for producing hydrophobic spherical silica fine particles will be described in detail.
<Manufacturing method (A)>
(A1): Preparation step of hydrophilic spherical silica fine particles (A2): First hydrophobized surface treatment step with trifunctional silane compound (A3): Concentration step (A4): Second hydrophobized surface with monofunctional silane compound Processing process

（Ａ１）：親水性球状シリカ微粒子の調製工程
下記一般式（Ｉ）
Ｓｉ（ＯＲ³）₄ （Ｉ）
（式中、Ｒ³は同一又は異種の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）
で表わされる４官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物又はこれらの混合物を、塩基性物質の存在下、親水性有機溶媒と水との混合溶媒中で加水分解・縮合することによって、ＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子が分散した混合溶媒分散液を得る。 (A1): Step of preparing hydrophilic spherical silica fine particles The following general formula (I)
Si (OR ³ ) ₄ (I)
(In the formula, R ³ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
By hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound represented by the formula, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof in a mixed solvent of a hydrophilic organic solvent and water in the presence of a basic substance, SiO ₂ A mixed solvent dispersion in which hydrophilic spherical silica fine particles composed of units are dispersed is obtained.

一般式（Ｉ）中、Ｒ³は同一又は異種の炭素原子数１〜６、好ましくは１〜４、より好ましくは１〜２の１価炭化水素基である。Ｒ³で表わされる１価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、フェニル基等が挙げられ、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。 In the general formula (I), R ³ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6, preferably 1 to 4, more preferably 1 to 2 carbon atoms. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R ³ include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a phenyl group, and a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group are preferable, and a methyl group An ethyl group is more preferable.

一般式（Ｉ）で表わされる４官能性シラン化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン等のテトラアルコキシシラン、テトラフェノキシシラン等が挙げられ、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシランが好ましく、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシランがより好ましい。粒子径の小さい球状シリカ微粒子を得るためには、テトラアルコキシシランのアルコキシ基炭素原子数が小さいシランを用いることが好ましい。 Examples of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and tetrabutoxysilane, tetraphenoxysilane, and the like. , Tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and tetrabutoxysilane are preferable, and tetramethoxysilane and tetraethoxysilane are more preferable. In order to obtain spherical silica fine particles having a small particle diameter, it is preferable to use a silane having a small number of alkoxy group carbon atoms of tetraalkoxysilane.

４官能性シラン化合物の部分加水分解生成物としては、例えば、メチルシリケート、エチルシリケート等が挙げられる。 Examples of the partial hydrolysis product of the tetrafunctional silane compound include methyl silicate and ethyl silicate.

親水性有機溶媒としては、一般式（Ｉ）で示される４官能性シラン化合物と、この部分加水分解縮合生成物と、水とを溶解するものであれば特に制限されず、例えば、アルコール類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、酢酸セロソルブ等のセロソルブ類、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類等が挙げられ、１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。中でも、アルコール類、セロソルブ類が好ましく、アルコール類がより好ましい。 The hydrophilic organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I), the partial hydrolysis-condensation product, and water. For example, alcohols, Examples include cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, and cellosolve acetate, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, ethers such as dioxane and tetrahydrofuran, and the like. Can do. Among these, alcohols and cellosolves are preferable, and alcohols are more preferable.

アルコール類としては、下記一般式（Ｖ）：
Ｒ⁵ＯＨ（Ｖ）
（式中、Ｒ⁵は炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）
で表わされるアルコールが挙げられる。 As alcohols, the following general formula (V):
R ⁵ OH (V)
(In the formula, R ⁵ is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
The alcohol represented by is mentioned.

一般式（Ｖ）中、Ｒ⁵は炭素原子数１〜６、好ましくは１〜４、より好ましくは１〜２の１価炭化水素基である。Ｒ⁵としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等のアルキル基等が挙げられ、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。一般式（Ｖ）で表わされるアルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール等が挙げられ、メタノール、エタノールが好ましい。アルコールの炭素原子数が増えると、得られる球状シリカ微粒子の粒子径が大きくなるため、粒子径の小さい球状シリカ微粒子を得るためには、メタノールが好ましい。 In general formula (V), R ⁵ is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, preferably 1 to 4 carbon atoms, more preferably 1 to 2 carbon atoms. Examples of R ⁵ include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and a butyl group. A methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group are preferable, and a methyl group and an ethyl group are preferable. More preferred. Examples of the alcohol represented by the general formula (V) include methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol and the like, and methanol and ethanol are preferable. As the number of carbon atoms in the alcohol increases, the particle diameter of the resulting spherical silica particles increases, and therefore methanol is preferred in order to obtain spherical silica particles having a small particle diameter.

混合溶媒中の水の量は、４官能性シラン化合物等のヒドロカルビルオキシ基の合計１モルに対して、０．５〜５モルであることが好ましく、０．６〜２モルであることがより好ましく、０．７〜１モルであることが特に好ましい。水に対する親水性有機溶媒の比率は、質量比で０．５〜１０が好ましく、３〜９がより好ましく、５〜８がさらに好ましい。このとき、親水性有機溶媒の量を多くすることで、得られる球状シリカ微粒子の粒子径が小さくなる。 The amount of water in the mixed solvent is preferably 0.5 to 5 mol and more preferably 0.6 to 2 mol with respect to a total of 1 mol of hydrocarbyloxy groups such as a tetrafunctional silane compound. Preferably, it is 0.7-1 mol. The ratio of the hydrophilic organic solvent to water is preferably 0.5 to 10, more preferably 3 to 9, and still more preferably 5 to 8 in terms of mass ratio. At this time, by increasing the amount of the hydrophilic organic solvent, the particle diameter of the obtained spherical silica fine particles is reduced.

塩基性物質としては、アンモニア、ジメチルアミン、ジエチルアミン等が挙げられ、１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。中でも、アンモニア、ジエチルアミンが好ましく、アンモニアがより好ましい。塩基性物質は、所要量を水に溶解した後、得られた水溶液（塩基性）を、上記親水性有機溶媒と混合すればよい。 Examples of the basic substance include ammonia, dimethylamine, diethylamine and the like, and one kind alone or two or more kinds can be appropriately selected and used. Among these, ammonia and diethylamine are preferable, and ammonia is more preferable. The basic substance may be obtained by dissolving a required amount in water and then mixing the obtained aqueous solution (basic) with the hydrophilic organic solvent.

塩基性物質の量は、４官能性シラン化合物等のヒドロカルビルオキシ基の合計１モルに対して、０．０１〜２モルであることが好ましく、０．０２〜０．５モルであることがより好ましく、０．０４〜０．１２モルであることが特に好ましい。このとき、塩基性物質の量を少なくすることにより、得られる球状シリカ微粒子の粒子径が小さくなる。 The amount of the basic substance is preferably 0.01 to 2 mol and more preferably 0.02 to 0.5 mol with respect to 1 mol in total of hydrocarbyloxy groups such as a tetrafunctional silane compound. Preferably, it is 0.04 to 0.12 mol. At this time, by reducing the amount of the basic substance, the particle diameter of the obtained spherical silica fine particles is reduced.

４官能性シラン化合物等の加水分解・縮合は、公知の方法、つまり塩基性物質を含む親水性有機溶媒と水との混合溶媒に、４官能性シラン化合物等を添加することにより得ることができる。反応温度５〜６０℃、反応時間０．５〜１０時間が好ましい。その加水分解・縮合温度を高くすることにより、得られる球状シリカ微粒子の粒子径が小さくなる。 Hydrolysis / condensation of the tetrafunctional silane compound and the like can be obtained by a known method, that is, by adding the tetrafunctional silane compound and the like to a mixed solvent of a hydrophilic organic solvent containing a basic substance and water. . A reaction temperature of 5 to 60 ° C. and a reaction time of 0.5 to 10 hours are preferred. By increasing the hydrolysis / condensation temperature, the particle diameter of the obtained spherical silica fine particles is reduced.

加水分解・縮合で得られたＳｉＯ₂単位からなる親水性球状シリカ微粒子は、混合溶媒中に分散し、その分散液（Ａ１）中の濃度は、通常３〜１５質量％であり、５〜１０質量％が好ましい。 Hydrophilic spherical silica fine particles composed of SiO ₂ units obtained by hydrolysis / condensation are dispersed in a mixed solvent, and the concentration in the dispersion (A1) is usually 3 to 15% by mass, and 5 to 10 Mass% is preferred.

（Ａ２）：３官能性シラン化合物による第１疎水化表面処理工程
（Ａ１）で得られた分散液に、下記一般式（ＩＩ）
Ｒ¹Ｓｉ（ＯＲ⁴）₃ （ＩＩ）
（式中、Ｒ¹は置換又は非置換の炭素原子数１〜２０の１価炭化水素基、Ｒ⁴は同一又は異種の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）で表わされる３官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物又はこれらの混合物を添加して、上記親水性球状シリカ微粒子を表面処理し、その表面にＲ¹ＳｉＯ_3/2単位（式中、Ｒ¹は上記と同じである。）が導入された球状シリカ微粒子が分散した混合溶媒分散液を得る。 (A2): First hydrophobizing surface treatment step with trifunctional silane compound (A1), the dispersion obtained in the following general formula (II)
R ¹ Si (OR ⁴ ) ₃ (II)
(Wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and R ⁴ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). The above-mentioned hydrophilic spherical silica fine particles are surface-treated by adding a trifunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, and R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is The same as above.) A mixed solvent dispersion liquid in which spherical silica fine particles introduced therein are dispersed is obtained.

本工程（Ａ２）は、次の工程である濃縮工程(Ａ３)において、球状シリカ微粒子の凝集を抑制するために不可欠である。凝集を抑制できないと、得られる疎水性球状シリカ微粒子は一次粒子径を維持できないため、珪素粒子に対する流動性付与能が悪くなる。 This step (A2) is indispensable for suppressing aggregation of spherical silica fine particles in the next concentration step (A3). If the aggregation cannot be suppressed, the resulting hydrophobic spherical silica fine particles cannot maintain the primary particle size, resulting in poor fluidity imparting ability to the silicon particles.

一般式（ＩＩ）中、Ｒ¹は置換又は非置換の炭素原子数１〜２０、好ましくは１〜３、より好ましくは１〜２の１価炭化水素基である。Ｒ¹は、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基が挙げられ、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。また、１価炭化水素基の水素原子の一部又は全部が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子、好ましくはフッ素原子で置換されていてもよい。 In the general formula (II), R ¹ is a substituted or unsubstituted 1 to 20 carbon atoms, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 monovalent hydrocarbon group. Examples of R ¹ include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, a butyl group, and a hexyl group, and a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and an isopropyl group are preferable. Group and ethyl group are more preferred. In addition, some or all of the hydrogen atoms of the monovalent hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom, preferably a fluorine atom.

一般式（ＩＩ）中、Ｒ⁴は同一又は異種の炭素原子数１〜６、好ましくは１〜３、より好ましくは１〜２の１価炭化水素基である。Ｒ⁴で表わされる１価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基等が挙げられ、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。 In the general formula (II), R ⁴ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 carbon atoms. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R ⁴ include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group. A methyl group, an ethyl group, and a propyl group are preferable, and a methyl group, an ethyl group, and the like. Groups are more preferred.

一般式（ＩＩ）で示される３官能性シラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン等のトリアルコキシシラン、その部分加水分解生成物等が挙げられ、１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。中でも、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、その部分加水分解生成物が好ましく、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、その部分加水分解生成物がより好ましい。 Examples of the trifunctional silane compound represented by the general formula (II) include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, and n-propyltriethoxy. Trialkoxysilanes such as silane, isopropyltrimethoxysilane, isopropyltriethoxysilane, butyltrimethoxysilane, butyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane, etc. A decomposition product etc. are mentioned, 1 type can be used individually or 2 or more types can be selected suitably. Among them, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, and partial hydrolysis products thereof are preferable, and methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, and partial hydrolysis products thereof are more preferable. .

これらの添加量は、使用された親水性球状シリカ微粒子のＳｉ原子１モルに対して、０．００１〜１モルが好ましく、０．０１〜０．１モルがより好ましく、０．０１〜０．０５モルがさらに好ましい。添加量が０．００１モルより少ないと、分散性が悪いため、珪素粒子への流動性付与効果が不十分となるおそれがあり、１モルより多いと（Ａ２）工程において、球状シリカ微粒子の凝集が生じるおそれがある。 These addition amounts are preferably 0.001 to 1 mol, more preferably 0.01 to 0.1 mol, and more preferably 0.01 to 0.1 mol with respect to 1 mol of Si atoms in the used hydrophilic spherical silica fine particles. 05 mol is more preferable. If the amount added is less than 0.001 mol, the dispersibility is poor, so that the effect of imparting fluidity to the silicon particles may be insufficient. May occur.

（Ａ１）で得られた分散液（Ａ１）に、一般式（ＩＩ）で表わされる３官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物又はこれらの混合物（以下、３官能性シラン化合物等と略す場合がある。）を添加して、上記親水性球状シリカ微粒子を表面処理することで、その表面にＲ¹ＳｉＯ_3/2単位（式中、Ｒ¹は上記と同じである。）が導入された球状シリカ微粒子が得られる。 In the dispersion (A1) obtained in (A1), the trifunctional silane compound represented by the general formula (II), a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof (hereinafter abbreviated as trifunctional silane compound, etc.) And the hydrophilic spherical silica fine particles are surface-treated to introduce R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is the same as above) on the surface thereof. Spherical silica fine particles are obtained.

親水性球状シリカ微粒子の表面にＲ¹ＳｉＯ_3/2単位が導入された球状シリカ微粒子は、混合溶媒中に分散し、その分散液（Ａ２）中の濃度は、３質量％以上１５質量％未満が好ましく、５〜１０質量％がより好ましい。この量が低すぎると、生産性が低下するおそれがあり、高すぎると（Ａ２）工程において、球状シリカ微粒子の凝集が生じるおそれがある。 The spherical silica fine particles having R ¹ SiO _3/2 units introduced on the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles are dispersed in a mixed solvent, and the concentration in the dispersion (A2) is 3% by mass or more and less than 15% by mass. Is preferable, and 5-10 mass% is more preferable. If this amount is too low, the productivity may decrease, and if it is too high, the spherical silica fine particles may be aggregated in the step (A2).

（Ａ３）：濃縮工程
（Ａ２）で得られた分散液（Ａ２）から、親水性有機溶媒と水の一部とを除去し、濃縮することにより、濃縮分散液を得る。
親水性有機溶媒と水の一部を除去する方法としては、例えば留去、減圧留去等が挙げられる。その温度は用いた親水性有機溶媒やその割合によって適宜選定されるが、６０〜１１０℃程度である。この際、分散液（Ａ２）に、予め又は濃縮中に疎水性溶媒を添加してもよい。使用する疎水性溶媒としては、炭化水素系、ケトン系溶媒が好ましく、１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。具体的には、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等が挙げられ、メチルイソブチルケトンが好ましい。 (A3): Concentration Step A concentrated dispersion is obtained by removing the hydrophilic organic solvent and a part of water from the dispersion (A2) obtained in (A2) and concentrating.
Examples of the method for removing a part of the hydrophilic organic solvent and water include distillation and distillation under reduced pressure. The temperature is appropriately selected depending on the hydrophilic organic solvent used and its ratio, but is about 60 to 110 ° C. At this time, a hydrophobic solvent may be added to the dispersion (A2) in advance or during concentration. As the hydrophobic solvent to be used, hydrocarbon solvents and ketone solvents are preferable, and one kind alone or two or more kinds can be appropriately selected and used. Specific examples include toluene, xylene, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and the like, and methyl isobutyl ketone is preferred.

濃縮後の濃縮分散液（Ａ３）中の球状シリカ微粒子濃度は、１５〜４０質量％が好ましく、２０〜３５質量％がより好ましく、２５〜３０質量％がさらに好ましい。１５質量％以上とすることで、次工程（Ａ４）が順調となり、４０質量％より大きいと、（Ａ３）工程において、球状シリカ微粒子の凝集が生じるおそれがある。 The concentration of spherical silica fine particles in the concentrated dispersion (A3) after concentration is preferably 15 to 40% by mass, more preferably 20 to 35% by mass, and even more preferably 25 to 30% by mass. When the content is 15% by mass or more, the next step (A4) becomes smooth, and when it is larger than 40% by mass, the spherical silica fine particles may be aggregated in the step (A3).

（Ａ３）濃縮工程は、次の（Ａ４）工程において、表面処理剤として使用される一般式（ＩＩＩ）で表わされるシラザン化合物、一般式（ＩＶ）で表わされる１官能性シラン化合物又はこれらの混合物が、親水性有機溶媒や水と反応して表面処理が不十分となり、その後に乾燥を行った時に凝集を生じるため、得られる疎水性球状シリカ微粒子は一次粒子径を維持できないため、珪素粒子に対する流動性付与能が悪くなるといった不具合を抑制するために、不可欠な工程である。 (A3) The concentration step is a silazane compound represented by general formula (III), a monofunctional silane compound represented by general formula (IV) or a mixture thereof used as a surface treating agent in the next step (A4). However, since the surface treatment becomes insufficient by reacting with a hydrophilic organic solvent or water and aggregation occurs when drying is performed after that, the resulting hydrophobic spherical silica fine particles cannot maintain the primary particle size, so This is an indispensable process for suppressing problems such as poor fluidity imparting ability.

（Ａ４）：１官能性シラン化合物による第２疎水化表面処理工程
（Ａ３）で得られた濃縮分散液に、下記一般式（ＩＩＩ）
Ｒ² ₃ＳｉＮＨＳｉＲ² ₃ （ＩＩＩ）
（式中、Ｒ²は、同一又は異種の、置換又は非置換の炭素原子数１〜６の１価炭化水素基である。）
で表わされるシラザン化合物、下記一般式（ＩＶ）：
Ｒ² ₃ＳｉＸ（ＩＶ）
（式中、Ｒ²は上記と同じであり、ＸはＯＨ基又は加水分解性基である。）で表わされる１官能性シラン化合物又はこれらの混合物を添加し、上記Ｒ¹ＳｉＯ_3/2単位が導入された球状シリカ微粒子を表面処理し、その表面にＲ² ₃ＳｉＯ_1/2単位（式中、Ｒ²は上記と同じである。）を導入する。シラザン化合物、１官能性シラン化合物は１種単独で又は２種以上を適宜選択して用いることができる。 (A4): Second hydrophobized surface treatment step with a functional silane compound (A3) The concentrated dispersion obtained in (A3) is added to the following general formula (III)
R ² ₃ SiNHSiR ² ₃ (III)
(In the formula, R ² is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
A silazane compound represented by the following general formula (IV):
R ² ₃ SiX (IV)
(Wherein R ² is the same as above, X is an OH group or a hydrolyzable group), and a monofunctional silane compound or a mixture thereof is added, and the R ¹ SiO _3/2 unit is added. Are treated, and R ² ₃ SiO _1/2 units (wherein R ² is the same as above) are introduced on the surface thereof. Silazane compounds and monofunctional silane compounds may be used alone or in combination of two or more.

一般式（ＩＩＩ）及び（ＩＶ）中、Ｒ²は、同一又は異種の、置換又は非置換の炭素原子数１〜６、好ましくは１〜４、より好ましくは１〜２の１価炭化水素基である。Ｒ²としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等のアルキル基等が挙げられ、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。また、これらの１価炭化水素基の水素原子の一部又は全部が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子、好ましくは、フッ素原子で置換されていてもよい。 In the general formulas (III) and (IV), R ² is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, preferably 1 to 4 carbon atoms, more preferably 1 to 2 carbon atoms. It is. Examples of R ² include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and a butyl group. A methyl group, an ethyl group, and a propyl group are preferable, and a methyl group and an ethyl group are more preferable. Further, some or all of the hydrogen atoms of these monovalent hydrocarbon groups may be substituted with halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, preferably fluorine atom.

Ｘで表わされる加水分解性基としては、例えば、塩素原子、アルコキシ基、アミノ基、アシルオキシ基等が挙げられ、アルコキシ基、アミノ基が好ましく、アルコキシ基がより好ましい。 Examples of the hydrolyzable group represented by X include a chlorine atom, an alkoxy group, an amino group, and an acyloxy group. An alkoxy group and an amino group are preferable, and an alkoxy group is more preferable.

一般式（ＩＩＩ）で表わされるシラザン化合物としては、例えば、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサエチルジシラザン等が挙げられ、中でも、ヘキサメチルジシラザンが好ましい。 Examples of the silazane compound represented by the general formula (III) include hexamethyldisilazane and hexaethyldisilazane. Among them, hexamethyldisilazane is preferable.

一般式（ＩＶ）で表わされる１官能性シラン化合物としては、例えば、トリメチルシラノール、トリエチルシラノール等のモノシラノール化合物、トリメチルクロロシラン、トリエチルクロロシラン等のモノクロロシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン等のモノアルコキシシラン、トリメチルシリルジメチルアミン、トリメチルシリルジエチルアミン等のモノアミノシラン、トリメチルアセトキシシラン等のモノアシルオキシシラン等が挙げられ、トリメチルシラノール、トリメチルメトキシシラン、トリメチルシリルジエチルアミンが好ましく、トリメチルシラノール、トリメチルメトキシシランがより好ましい。 Examples of the monofunctional silane compound represented by the general formula (IV) include monosilanol compounds such as trimethylsilanol and triethylsilanol, monochlorosilanes such as trimethylchlorosilane and triethylchlorosilane, and monoalkoxy such as trimethylmethoxysilane and trimethylethoxysilane. Examples thereof include monoaminosilanes such as silane, trimethylsilyldimethylamine and trimethylsilyldiethylamine, and monoacyloxysilanes such as trimethylacetoxysilane. Trimethylsilanol, trimethylmethoxysilane and trimethylsilyldiethylamine are preferable, and trimethylsilanol and trimethylmethoxysilane are more preferable.

これらの添加量は、使用した親水性球状シリカ微粒子のＳｉ原子１モルに対して、０．１〜０．５モルが好ましく、０．２〜０．４モルがより好ましく、０．２５〜０．３５モルがさらに好ましい。添加量が０．１モルより少ないと、分散性が悪いため、珪素粒子への流動性付与効果が不十分となるおそれがあり、０．５モルより多いと経済的不利が生じるおそれがある。 The amount of addition is preferably 0.1 to 0.5 mol, more preferably 0.2 to 0.4 mol, and more preferably 0.25 to 0, with respect to 1 mol of Si atoms in the used hydrophilic spherical silica fine particles. More preferred is .35 moles. If the amount added is less than 0.1 mol, the dispersibility is poor, so that the effect of imparting fluidity to the silicon particles may be insufficient, and if it is more than 0.5 mol, there may be an economic disadvantage.

（Ａ３）で得られた濃縮分散液（Ａ３）に、一般式（ＩＩＩ）で表わされるシラザン化合物、一般式（ＩＶ）で表わされる１官能性シラン化合物又はこれらの混合物を添加して、上記Ｒ¹ＳｉＯ_3/2単位が導入された球状シリカ微粒子を表面処理することで、その表面に、Ｒ² ₃ＳｉＯ_1/2単位がさらに導入された、疎水性球状シリカ微粒子が得られる。 To the concentrated dispersion (A3) obtained in (A3), a silazane compound represented by the general formula (III), a monofunctional silane compound represented by the general formula (IV) or a mixture thereof is added, and the above R ^By subjecting the spherical silica fine particles introduced with ¹ SiO _3/2 units to surface treatment, hydrophobic spherical silica fine particles further introduced with R ² ₃ SiO _1/2 units are obtained.

疎水性球状シリカ微粒子は混合溶媒中に分散し、その分散液（Ａ４）中の濃度は、１５〜４０質量％が好ましい。疎水性球状シリカ微粒子は、常圧乾燥、減圧乾燥等により、粉体として得ることができる。 The hydrophobic spherical silica fine particles are dispersed in a mixed solvent, and the concentration in the dispersion (A4) is preferably 15 to 40% by mass. Hydrophobic spherical silica fine particles can be obtained as a powder by normal pressure drying, reduced pressure drying or the like.

［粉砕方法］
非水電解質二次電池活物質である、珪素粒子又は珪素化合物粒子を、所定の平均粒子径とするための粉砕機は、例えば、（１）ボール、ビーズ等の粉砕媒体を運動させ、その運動エネルギーによる衝撃力や摩擦力、圧縮力を利用して被砕物を粉砕するボールミル、媒体攪拌ミル、（２）ローラによる圧縮力を利用して粉砕を行うローラミル、（３）被砕物を高速で内張材に衝突又は粒子相互に衝突させ、その衝撃による衝撃力によって粉砕を行うジェットミル、（３）ハンマー、ブレード、ピン等を固設したローターの回転による衝撃力を利用して被砕物を粉砕するハンマーミル、ピンミル、ディスクミル等の乾式粉砕機が好適に使用される。中でも、上記粒度に調整するにはボールミル又はジェットミルが好ましい。 [Crushing method]
A pulverizer for making silicon particles or silicon compound particles, which are non-aqueous electrolyte secondary battery active materials, have a predetermined average particle diameter is, for example, (1) moving a pulverizing medium such as balls and beads, Ball mill that pulverizes the object to be crushed using energy impact force, friction force, and compressive force, medium agitation mill, (2) Roller mill that pulverizes using compressive force of roller, and (3) Inner object to be crushed at high speed A jet mill that collides with a tension material or collides with particles and pulverizes by the impact force of the impact, (3) pulverizes the object to be crushed using the impact force of the rotation of the rotor with a fixed hammer, blade, pin, etc. A dry pulverizer such as a hammer mill, a pin mill, or a disk mill is preferably used. Among them, a ball mill or a jet mill is preferable for adjusting the particle size.

粉砕時の雰囲気は、珪素が粉塵爆発性の粉体であることから酸素濃度は７〜１５体積％中で乾式粉砕される。一方、粉砕対象が酸化珪素である場合等の粉塵爆発の心配がない場合には、酸素濃度の精密な制御は必要ない。 The atmosphere during pulverization is dry pulverization in which the oxygen concentration is 7 to 15% by volume since silicon is a dust explosive powder. On the other hand, when there is no fear of dust explosion such as when the object to be crushed is silicon oxide, precise control of the oxygen concentration is not necessary.

乾式で粉砕する際には、珪素微粒子は粉塵爆発の可能性があるため、
（１）粒子濃度を爆発下限界以下にする
（２）酸素濃度を爆発限界酸素濃度以下にする
（３）最小着火エネルギーを上回るエネルギーを粉塵雲に与えない
の中からいずれかの策を選択する。このうち（１）は粉砕機の粉砕室を条件の満足する粉体濃度に調整しても、局部的に粉体が偏在していれば爆発下限濃度を超えてしまう。（３）は回転物の摩擦やボールの衝突、また静電気等完全に発生を抑えるのは難しい。従って、粒子の偏在を減じる措置を講じる上に、系内の酸素濃度を下限値以下に調整することで比較的簡単に安全性を確保することが可能である。 When finely pulverizing dry, silicon fine particles may cause a dust explosion,
(1) Make the particle concentration below the explosion limit (2) Make the oxygen concentration below the explosion limit oxygen concentration (3) Choose one of the measures from not giving the dust cloud energy exceeding the minimum ignition energy . Among these, (1), even if the pulverizing chamber of the pulverizer is adjusted to a powder concentration satisfying the conditions, if the powder is unevenly distributed locally, the lower explosion limit concentration is exceeded. In (3), it is difficult to completely suppress the occurrence of friction such as friction of rotating objects, ball collision, and static electricity. Therefore, in addition to taking measures to reduce the uneven distribution of particles, it is possible to ensure safety relatively easily by adjusting the oxygen concentration in the system to the lower limit value or less.

珪素粒子又は珪素化合物粒子である非水電解質二次電池活物質に、球状シリカ微粒子を添加して粉砕するが、その添加量は、珪素粒子又は珪素化合物粒子（非水電解質二次電池活物質）に対して０．１〜５質量％が好ましく、０．５〜５質量％が好ましく、０．６〜３質量％がさらに好ましい。この量が０．１質量％より少ないと流動性付与効果が十分でないおそれがあり、５質量％を超えるとコスト的に好ましくない場合がある。 Spherical silica fine particles are added to a non-aqueous electrolyte secondary battery active material that is silicon particles or silicon compound particles and pulverized. The amount of addition is silicon particles or silicon compound particles (non-aqueous electrolyte secondary battery active material). 0.1-5 mass% is preferable with respect to 0.5, 5-5 mass% is preferable, and 0.6-3 mass% is further more preferable. If this amount is less than 0.1% by mass, the fluidity-imparting effect may not be sufficient, and if it exceeds 5% by mass, it may be undesirable in terms of cost.

球状シリカ微粒子を添加して粉砕する方法としては、予め公知の方法によって、ヘンシェルミキサー、Ｖ型ブレンダー、リボンブレンダー、らいかい機、ニーダーミキサー、バタフライミキサー、又は通常のプロペラ攪拌子による混合機を用いて、珪素粒子又は珪素化合物粒子と、球状シリカ微粒子とを均一に混合した後に、粉砕してもよく、粉砕器中の珪素粒子又は珪素化合物粒子に、直接投入してもよい。 As a method of adding and pulverizing spherical silica fine particles, a Henschel mixer, a V-type blender, a ribbon blender, a raking machine, a kneader mixer, a butterfly mixer, or a mixer using a normal propeller stirrer is used by a known method in advance. Then, after the silicon particles or silicon compound particles and the spherical silica fine particles are uniformly mixed, the particles may be pulverized or directly charged into the silicon particles or silicon compound particles in the pulverizer.

粉砕後の珪素粒子又は珪素化合物粒子は、非水電解質二次電池活物質、特に非水電解質二次電池用負極活物質として用いることができる。これを用いて負極を作製し、非水電解質二次電池、例えばリチウムイオン二次電池を製造することができる。 The pulverized silicon particles or silicon compound particles can be used as a non-aqueous electrolyte secondary battery active material, particularly as a negative electrode active material for a non-aqueous electrolyte secondary battery. A negative electrode is produced using this, and a nonaqueous electrolyte secondary battery, for example, a lithium ion secondary battery, can be manufactured.

以下、合成例、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
〈疎水性球状シリカ微粒子の合成〉
［合成例１］
・工程（Ａ１）：親水性球状シリカ微粒子の調製工程
攪拌機と、滴下ロートと、温度計とを備えた３リットルのガラス製反応器にメタノール９８９．５ｇ（水に対する質量比５．４）と、水１３５．５ｇ（水の量はテトラメトキシシランに対して３．６ｍｏｌ比）、２８質量％アンモニア水６６．５ｇ（アンモニアの量はテトラメトキシシランに対して０．３８ｍｏｌ比）とを入れて混合した。この溶液を３５℃となるように調整し、攪拌しながらテトラメトキシシラン４３６．５ｇ（２．８７モル）を６時間かけて滴下した。この滴下が終了した後も、さらに０．５時間攪拌を継続して加水分解を行うことにより、親水性球状シリカ微粒子の懸濁液を得た。 EXAMPLES Hereinafter, although a synthesis example, an Example, and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example.
<Synthesis of hydrophobic spherical silica fine particles>
[Synthesis Example 1]
Step (A1): Step of preparing hydrophilic spherical silica fine particles 989.5 g of methanol (mass ratio to water: 5.4) in a 3 liter glass reactor equipped with a stirrer, a dropping funnel and a thermometer, 135.5 g of water (the amount of water is 3.6 mol ratio with respect to tetramethoxysilane) and 66.5 g of 28 mass% aqueous ammonia (the amount of ammonia is 0.38 mol ratio with respect to tetramethoxysilane) are mixed. did. This solution was adjusted to 35 ° C., and 436.5 g (2.87 mol) of tetramethoxysilane was added dropwise over 6 hours while stirring. Even after the completion of the dropwise addition, the suspension was further stirred for 0.5 hours for hydrolysis to obtain a suspension of hydrophilic spherical silica fine particles.

・工程（Ａ２）：３官能性シラン化合物による第１疎水化表面処理工程
上で得られた懸濁液に室温でメチルトリメトキシシラン４．４ｇ（０．０３モル、親水性球状シリカ微粒子のＳｉ原子に対して０．０１ｍｏｌ比）を０．５時間かけて滴下し、滴下後も１２時間攪拌を継続し、シリカ微粒子表面を疎水化処理することにより、疎水性球状シリカ微粒子分散液を得た。分散液中の疎水性球状シリカ微粒子濃度は、１１質量％であった。 Step (A2): First hydrophobizing surface treatment step with trifunctional silane compound 4.4 g of methyltrimethoxysilane (0.03 mol, Si of hydrophilic spherical silica fine particles) was added to the suspension obtained above at room temperature. Was added dropwise over a period of 0.5 hours, and stirring was continued for 12 hours after the addition, and the surface of the silica fine particles was hydrophobized to obtain a hydrophobic spherical silica fine particle dispersion. . The hydrophobic spherical silica fine particle concentration in the dispersion was 11% by mass.

・工程（Ａ３）：濃縮工程
次いで、ガラス製反応器にエステルアダプターと冷却管とを取り付け、前工程で得られた分散液を６０〜７０℃に加熱してメタノールと水の混合物１，０２１ｇを留去し、疎水性球状シリカ微粒子混合溶媒濃縮分散液を得た。このとき、濃縮分散液中の疎水性球状シリカ微粒子濃度は２８質量％であった。 -Step (A3): Concentration step Next, an ester adapter and a condenser tube were attached to a glass reactor, and the dispersion obtained in the previous step was heated to 60 to 70 ° C to obtain a mixture of methanol and water (1,021 g). Distilled off to obtain a concentrated dispersion of hydrophobic spherical silica fine particles. At this time, the concentration of the hydrophobic spherical silica fine particles in the concentrated dispersion was 28% by mass.

・工程（Ａ４）：１官能性シラン化合物による第２疎水化表面処理工程
前工程で得られた濃縮分散液に、室温において、ヘキサメチルジシラザン１３８．４ｇ（０．８６モル、親水性球状シリカ微粒子のＳｉ原子に対して０．３ｍｏｌ比）を添加した後、この分散液を５０〜６０℃に加熱し、９時間反応させることにより、分散液中のシリカ微粒子をトリメチルシリル化した。次いで、この分散液中の溶媒を１３０℃、減圧下（６，６５０Ｐａ）で留去することにより、疎水性球状シリカ微粒子（１）１８６ｇを得た。 Step (A4): Second hydrophobizing surface treatment step with a functional silane compound 138.4 g (0.86 mol, hydrophilic spherical silica) of hexamethyldisilazane was added to the concentrated dispersion obtained in the previous step at room temperature. Then, the dispersion was heated to 50-60 ° C. and reacted for 9 hours to trimethylsilylate the silica particles in the dispersion. Subsequently, the solvent in this dispersion was distilled off at 130 ° C. under reduced pressure (6,650 Pa) to obtain 186 g of hydrophobic spherical silica fine particles (1).

工程（Ａ１）で得られた親水性球状シリカ微粒子について下記の測定方法１に従って測定を行った。また、上記の工程（Ａ１）〜（Ａ４）の各段階を経て得られた疎水性球状シリカ微粒子について、下記の測定方法１〜３に従って測定を行った。なお、得られた結果を表１に示す。 The hydrophilic spherical silica fine particles obtained in the step (A1) were measured according to the following measuring method 1. Moreover, it measured according to the following measuring methods 1-3 about the hydrophobic spherical silica fine particle obtained through each step of said process (A1)-(A4). The obtained results are shown in Table 1.

〈シリカ微粒子測定方法〉
１．工程（Ａ１）で得られた親水性球状シリカ微粒子の平均粒子径測定
メタノールにシリカ微粒子懸濁液を、シリカ微粒子が０．５質量％となるように添加し、１０分間超音波にかけることにより、該微粒子を分散させた。このように処理した微粒子の粒度分布を、動的光散乱法／レーザードップラー法ナノトラック粒度分布測定装置（日機装株式会社製、商品名：ＵＰＡ−ＥＸ１５０）により測定し、その体積基準メジアン径を平均粒子径とした。なお、メジアン径とは粒度分布を累積分布として表した時の累積５０％に相当する粒子径である。 <Silica fine particle measurement method>
1. Measurement of average particle diameter of hydrophilic spherical silica fine particles obtained in step (A1) By adding a silica fine particle suspension to methanol so that the silica fine particles are 0.5% by mass, and applying ultrasonic waves for 10 minutes. The fine particles were dispersed. The particle size distribution of the fine particles treated in this way was measured by a dynamic light scattering method / laser Doppler nanotrack particle size distribution measuring apparatus (trade name: UPA-EX150, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.), and the volume-based median diameter was averaged. The particle diameter was taken. The median diameter is a particle diameter corresponding to 50% cumulative when the particle size distribution is expressed as a cumulative distribution.

２．工程（Ａ４）において得られた疎水性球状シリカ微粒子の平均粒子径測定及び粒度分布Ｄ₉₀／Ｄ₁₀の測定
メタノールにシリカ微粒子を、０．５質量％となるように添加し、１０分間超音波にかけることにより、該微粒子を分散させた。このように処理した微粒子の粒度分布を、動的光散乱法／レーザードップラー法ナノトラック粒度分布測定装置（日機装株式会社製、商品名：ＵＰＡ−ＥＸ１５０）により測定し、その体積基準メジアン径を平均粒子径とした。
また粒度分布Ｄ₉₀／Ｄ₁₀の測定は、上記粒子径測定した際の分布において小さい側から累積が１０％となる粒子径をＤ₁₀、小さい側から累積が９０％となる粒子径をＤ₉₀とし測定された値からＤ₉₀／Ｄ₁₀を計算した。 2. Measurement of average particle size of hydrophobic spherical silica fine particles obtained in step (A4) and measurement of particle size distribution D ₉₀ / D ₁₀ Silica fine particles are added to methanol so as to be 0.5 mass%, and ultrasonic waves are applied for 10 minutes. The fine particles were dispersed by applying to. The particle size distribution of the fine particles treated in this way was measured by a dynamic light scattering method / laser Doppler nanotrack particle size distribution measuring apparatus (trade name: UPA-EX150, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.), and the volume-based median diameter was averaged. The particle diameter was taken.
The granulometry of the distribution D ₉₀ / D ₁₀ is the particle diameter D ₁₀ of the particle size of which cumulative is 10% smaller side in the distribution when measured, smaller particle size of which cumulative from the side is 90% D ₉₀ D ₉₀ / D ₁₀ was calculated from the measured values.

３．疎水性球状シリカ微粒子の形状測定
電子顕微鏡（日立製作所製、商品名：Ｓ−４７００型、倍率：１０万倍）によって観察を行い、形状を確認した。「球状」とは、真球だけでなく、若干歪んだ球も含む。なおこのような粒子の形状は、粒子を二次元に投影した時の円形度で評価し、円形度が０．８〜１の範囲にあるものとする。ここで円形度とは、（粒子面積と等しい円の周囲長）／（粒子周囲長）である。 3. Shape measurement of hydrophobic spherical silica fine particles The shape was confirmed by observation with an electron microscope (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name: S-4700 type, magnification: 100,000 times). The term “spherical” includes not only a true sphere but also a slightly distorted sphere. Note that the shape of such particles is evaluated by the circularity when the particles are projected two-dimensionally, and the circularity is in the range of 0.8 to 1. Here, the circularity is (peripheral length of a circle equal to the particle area) / (peripheral length of particle).

［合成例２］
合成例１において、工程（Ａ１）でメタノール、水、及び２８質量％アンモニア水の量をメタノール１０４５．７ｇ、水１１２．６ｇ、２８質量％アンモニア水３３．２ｇに変えたこと以外は同様にして、疎水性球状シリカ微粒子（２）１８８ｇを得た。この疎水性球状シリカ微粒子について合成例１と同様に測定した。この結果を表１に示す。 [Synthesis Example 2]
In Synthesis Example 1, the same procedure was performed except that the amounts of methanol, water, and 28% by mass ammonia water were changed to 1045.7 g of methanol, 112.6 g of water, and 33.2 g of 28% by mass ammonia water in Step (A1). 188 g of hydrophobic spherical silica fine particles (2) were obtained. The hydrophobic spherical silica fine particles were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

［合成例３］
・工程（Ａ１）：親水性球状シリカ微粒子の調製工程
攪拌機、滴下ロート、温度計を備えた３リットルのガラス製反応器にメタノール６２３．７ｇ、水４１．４ｇ、２８質量％アンモニア水４９．８ｇを添加して混合した。この溶液を３５℃に調整し、攪拌しながらテトラメトキシシラン１，１６３．７ｇ及び５．４質量％アンモニア水４１８．１ｇを同時に添加開始し、前者は６時間、そして後者は４時間かけて滴下した。テトラメトキシシラン滴下後も０．５時間攪拌を続け加水分解を行いシリカ微粒子の懸濁液を得た。 [Synthesis Example 3]
Step (A1): Preparation Step of Hydrophilic Spherical Silica Fine Particles A 3 liter glass reactor equipped with a stirrer, a dropping funnel and a thermometer was charged with 623.7 g of methanol, 41.4 g of water, and 49.8 g of 28% by mass ammonia water. Was added and mixed. The solution was adjusted to 35 ° C., and 1,163.7 g of tetramethoxysilane and 418.1 g of 5.4% by mass ammonia water were simultaneously added while stirring. The former was added dropwise over 6 hours and the latter over 4 hours. did. After the tetramethoxysilane was added dropwise, stirring was continued for 0.5 hour to effect hydrolysis to obtain a silica fine particle suspension.

・工程（Ａ２）：３官能性シラン化合物による第１疎水化表面処理工程
こうして得られた懸濁液に室温でメチルトリメトキシシラン１１．６ｇ（テトラメトキシシランに対してモル比で０．０１相当量）を０．５時間かけて滴下し、滴下後も１２時間攪拌しシリカ微粒子表面の処理を行った。 Step (A2): First hydrophobizing surface treatment step with a trifunctional silane compound 11.6 g of methyltrimethoxysilane (corresponding to a molar ratio of 0.01 with respect to tetramethoxysilane) was added to the suspension thus obtained at room temperature. Amount) was added dropwise over 0.5 hours, and after the addition, the surface of the silica fine particles was treated by stirring for 12 hours.

・工程（Ａ３）：濃縮工程
該ガラス製反応器にエステルアダプターと冷却管を取り付け、上記の表面処理を施したシリカ微粒子を含む分散液にメチルイソブチルケトン１，４４０ｇを添加した後、８０〜１１０℃に加熱しメタノール水を７時間かけて留去した。 Step (A3): Concentration step An ester adapter and a condenser tube are attached to the glass reactor, and 1,440 g of methyl isobutyl ketone is added to the dispersion containing silica fine particles subjected to the above surface treatment, and then 80 to 110 The mixture was heated to 0 ° C. and methanol water was distilled off over 7 hours.

・工程（Ａ４）：１官能性シラン化合物による第２疎水化表面処理工程
こうして得られた分散液に室温でヘキサメチルジシラザン３５７．６ｇを添加し１２０℃に加熱し３時間反応させ、シリカ微粒子をトリメチルシリル化した。その後溶媒を減圧下で留去して球状疎水性シリカ微粒子（３）４７２ｇを得た。得られた疎水性球状シリカ微粒子について合成例１と同様に測定した。この結果を表１に示す。 Step (A4): Second hydrophobizing surface treatment step with a functional silane compound 357.6 g of hexamethyldisilazane was added to the dispersion thus obtained at room temperature, and the mixture was heated to 120 ° C. and allowed to react for 3 hours. Was trimethylsilylated. Thereafter, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 472 g of spherical hydrophobic silica fine particles (3). The obtained hydrophobic spherical silica fine particles were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

［合成例４］
シリカ微粒子の合成の際にテトラメトキシシランの加水分解温度を３５℃の代りに２０℃とした以外は合成例３と同様にして各工程を行ったところ、疎水性球状シリカ微粒子（４）４６９ｇを得た。得られた疎水性球状シリカ微粒子について合成例１と同様に測定した。この結果を表１に示す。 [Synthesis Example 4]
Each step was performed in the same manner as in Synthesis Example 3 except that the hydrolysis temperature of tetramethoxysilane was set to 20 ° C. instead of 35 ° C. during the synthesis of the silica fine particles. As a result, 469 g of hydrophobic spherical silica fine particles (4) were obtained. Obtained. The obtained hydrophobic spherical silica fine particles were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

［合成例５］
攪拌機と温度計とを備えた０．３リットルのガラス製反応器に爆燃法シリカ（商品名：ＳＯＣ１、アドマテクス社製）１００ｇを仕込み、純水１ｇを攪拌下で添加し、密閉後、さらに６０℃で１０時間攪拌した。次いで、室温まで冷却した後、ヘキサメチルジシラザン２ｇを攪拌下で添加し、密閉後、さらに２４時間攪拌した。１２０℃に昇温し、窒素ガスを通気しながら残存原料及び生成したアンモニアを除去し、疎水性球状シリカ微粒子（５）１００ｇを得た。得られた球状シリカ微粒子について合成例１と同様に測定した。この結果を表１に示す。 [Synthesis Example 5]
A 0.3-liter glass reactor equipped with a stirrer and a thermometer was charged with 100 g of deflagration silica (trade name: SOC1, manufactured by Admatechs), 1 g of pure water was added under stirring, and after sealing, an additional 60 Stir at 0 ° C. for 10 hours. Subsequently, after cooling to room temperature, 2 g of hexamethyldisilazane was added with stirring, and after sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. The temperature was raised to 120 ° C., and the remaining raw material and the produced ammonia were removed while ventilating nitrogen gas to obtain 100 g of hydrophobic spherical silica fine particles (5). The obtained spherical silica fine particles were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

［合成例６］
攪拌機と温度計とを備えた０．３リットルのガラス製反応器に爆燃法シリカ（商品名：ＳＯＣ１、アドマテクス社製）１００ｇを仕込み、純水１ｇを攪拌下で添加し、密閉後、さらに６０℃で１０時間攪拌した。次いで、室温まで冷却した後、メチルトリメトキシシラン１ｇを攪拌下で添加し、密閉後、さらに２４時間攪拌した。次にヘキサメチルジシラザン２ｇを攪拌下で添加し、密閉後、さらに２４時間攪拌した。１２０℃に昇温し、窒素ガスを通気しながら残存原料及び生成したアンモニアを除去し、疎水性不定形シリカ微粒子（６）１０１ｇを得た。得られたシリカ微粒子について合成例１と同様の試験を行った。結果を表１に示す。 [Synthesis Example 6]
A 0.3-liter glass reactor equipped with a stirrer and a thermometer was charged with 100 g of deflagration silica (trade name: SOC1, manufactured by Admatechs), 1 g of pure water was added under stirring, and after sealing, an additional 60 Stir at 0 ° C. for 10 hours. Subsequently, after cooling to room temperature, 1 g of methyltrimethoxysilane was added with stirring, and after sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. Next, 2 g of hexamethyldisilazane was added with stirring. After sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. The temperature was raised to 120 ° C., and the remaining raw material and the produced ammonia were removed while ventilating nitrogen gas to obtain 101 g of hydrophobic amorphous silica fine particles (6). The same test as in Synthesis Example 1 was performed on the obtained silica fine particles. The results are shown in Table 1.

平均粒子径¹⁾工程（Ａ１）で得られた親水性球状シリカ微粒子の平均粒子径
平均粒子径²⁾最終的に得られた球状シリカ微粒子の平均粒子径

Average particle diameter ¹⁾ Average particle diameter of hydrophilic spherical silica fine particles obtained in step (A1) Average particle diameter ²⁾ Average particle diameter of finally obtained spherical silica fine particles

［実施例１〜５、比較例１〜５］
平均粒子径０．９ｍｍのビーズ状多結晶珪素をロールミルにて粉砕した後、合成例で得られたシリカ微粒子を表２で記載されている量で添加し、ジルコニアボールを用いた内容積１５Ｌのボールミルにて２８時間粉砕を行った。粉砕後の珪素粒子の平均粒子径は１０．２μｍであった。また、分級器を用いて珪素粒子を分級し、Ｄ₁₀＝６．８μｍ、Ｄ₅₀＝９．５μｍ、Ｄ₉₀＝１３．７μｍである粒度分布の狭い珪素粒子を得た。それぞれの分級収率を表２に示した。 [Examples 1-5, Comparative Examples 1-5]
After pulverizing the bead-like polycrystalline silicon having an average particle diameter of 0.9 mm with a roll mill, the silica fine particles obtained in the synthesis example were added in the amounts described in Table 2, and the inner volume of 15 L using zirconia balls was added. Grinding was performed for 28 hours in a ball mill. The average particle size of the silicon particles after pulverization was 10.2 μm. Further, the silicon particles were classified using a classifier to obtain silicon particles having a narrow particle size distribution with D ₁₀ = 6.8 μm, D ₅₀ = 9.5 μm, and D ₉₀ = 13.7 μm. The respective classification yields are shown in Table 2.

［実施例６〜１０、比較例６〜１０］
３ｃｍ角の不定形酸化珪素塊をジョークラッシャーミルにて粉砕した後、合成例で得られたシリカ微粒子を表２で記載されている量で添加し、ジルコニアボールを用いた内容積１５Ｌのボールミルにて２５時間粉砕を行った。粉砕後の酸化珪素粒子の平均粒子径は５．３μｍであった。また、分級器を用いて珪素粒子を分級し、Ｄ₁₀＝３．６μｍ、Ｄ₅₀＝４．９μｍ、Ｄ₉₀＝６．９μｍである粒度分布の狭い酸化珪素粒子を得た。それぞれの分級収率を表３に示した。なお、ここでいう分級収率は分級前後の質量％を示し、ボールミルによって粉砕された酸化珪素粉から粒度分布の狭い酸化珪素粒子とするため、常に１００質量％以下の値を示す。従って、分級収率の改善は経済的に重要な因子である。 [Examples 6 to 10, Comparative Examples 6 to 10]
After pulverizing a 3 cm square amorphous silicon oxide lump with a jaw crusher mill, the silica fine particles obtained in the synthesis example were added in the amounts shown in Table 2 and added to a ball mill having an internal volume of 15 L using zirconia balls. For 25 hours. The average particle size of the pulverized silicon oxide particles was 5.3 μm. Further, silicon particles were classified using a classifier to obtain silicon oxide particles having a narrow particle size distribution with D ₁₀ = 3.6 μm, D ₅₀ = 4.9 μm, and D ₉₀ = 6.9 μm. Each classification yield is shown in Table 3. In addition, the classification yield here shows the mass% before and behind classification, and in order to make silicon oxide particles with a narrow particle size distribution from the silicon oxide powder pulverized by the ball mill, it always shows a value of 100 mass% or less. Therefore, improvement of classification yield is an economically important factor.

下記方法で、粉砕後の粉砕後のボールミル内部を観察して内壁への付着（ブリッジ）の有無と粒度分布の分散性を評価した。結果を表中に併記する。 By the following method, the inside of the ball mill after pulverization was observed to evaluate the presence or absence of adhesion (bridge) to the inner wall and the dispersibility of the particle size distribution. The results are also shown in the table.

<ブリッジ（内壁への付着）の有無>
粉砕後のボールミル内部を観察して内壁への付着（ブリッジ）の有無を比較し、下記３段階で評価した。
○：ブリッジなし
△：ややあり
×：ブリッジあり <Presence / absence of bridge (attachment to inner wall)>
The inside of the ball mill after pulverization was observed to compare the presence or absence of adhesion (bridge) to the inner wall, and the evaluation was made in the following three stages.
○: No bridge △: Slightly present ×: Bridge present

<粒度分布の分散性>
粉砕粒子の粒度分布の分散性を比較して、下記３段階で評価した。
○：分散性良
△：やや低粒度側にピーク出現
×：粒度分布が２山出現 <Dispersibility of particle size distribution>
The dispersibility of the particle size distribution of the pulverized particles was compared and evaluated in the following three stages.
○: Good dispersibility △: Appearance of peaks slightly on the low particle size side ×: Appearance of two peaks in particle size distribution

表２及び３の結果から疎水性球状シリカが粉砕助剤として効果のあることがわかった。また、表２及び３に示したとおり非水二次電解質活物質に求められる粒度分布がシャープな珪素粒子及び酸化珪素粒子の収率が、実施例では比較例と比較して高く経済的であることが示された。 From the results in Tables 2 and 3, it was found that hydrophobic spherical silica is effective as a grinding aid. Further, as shown in Tables 2 and 3, the yields of silicon particles and silicon oxide particles having a sharp particle size distribution required for the non-aqueous secondary electrolyte active material are high and economical in Examples compared to Comparative Examples. It was shown that.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

Claims

The average particle size is 5 nm to 1.00 μm, the particle size distribution D ₉₀ / D ₁₀ is 3 or less, and the average circularity used when pulverizing the non-aqueous electrolyte secondary battery active material that is silicon particles or silicon compound particles A grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material comprising spherical silica fine particles having an A of 0.8 to 1.

The grinding aid for a nonaqueous electrolyte secondary battery active material according to claim 1, which is added in an amount of 0.1 to 5 mass% with respect to the nonaqueous electrolyte secondary battery active material.

The grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material according to claim 1 or 2 , wherein the spherical silica fine particles are hydrophobic spherical silica fine particles.

A step of obtaining hydrophilic spherical silica fine particles comprising SiO ₂ units by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis condensation product thereof, or a combination thereof, and the resulting SiO ₂ units Introducing R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms) on the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles; Next, a hydrophobizing treatment step for introducing R ² ₃ SiO _1/2 units (wherein R ² is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms); A method for producing a grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material comprising hydrophobic spherical silica fine particles according to claim 3 .

A method for producing a grinding aid for a non-aqueous electrolyte secondary battery active material comprising hydrophobic spherical silica fine particles according to claim 3 , comprising the following steps (A1) to (A4).
(A1): Step of preparing hydrophilic spherical silica fine particles The following general formula (I)
Si (OR ³ ) ₄ (I)
(In the formula, R ³ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
By hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound represented by the formula, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof in a mixed solvent of a hydrophilic organic solvent and water in the presence of a basic substance, SiO ₂ A mixed solvent dispersion in which hydrophilic spherical silica fine particles composed of units are dispersed is obtained,
(A2): First hydrophobizing surface treatment step with trifunctional silane compound (A1), the dispersion obtained in the following general formula (II)
R ¹ Si (OR ⁴ ) ₃ (II)
(Wherein R ¹ is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and R ⁴ is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). The above-mentioned hydrophilic spherical silica fine particles are surface-treated by adding a trifunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, and R ¹ SiO _3/2 units (wherein R ¹ is The same as the above) to obtain a mixed solvent dispersion in which spherical silica fine particles introduced are dispersed,
(A3): Concentration step From the dispersion obtained in (A2), the hydrophilic organic solvent and a part of water are removed and concentrated to obtain a concentrated dispersion.
(A4): Second hydrophobized surface treatment step with a functional silane compound (A3) The concentrated dispersion obtained in (A3) is added to the following general formula (III)
R ² ₃ SiNHSiR ² ₃ (III)
(In the formula, R ² is the same or different, substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.)
A silazane compound represented by the following general formula (IV):
R ² ₃ SiX (IV)
(Wherein R ² is the same as above, X is an OH group or a hydrolyzable group), and a monofunctional silane compound or a mixture thereof is added, and the R ¹ SiO _3/2 unit is added. Are treated, and R ² ₃ SiO _1/2 units (wherein R ² is the same as above) are introduced on the surface thereof.

The nonaqueous electrolyte secondary battery active material according to any one of claims 1 to 3 is added to the nonaqueous electrolyte secondary battery active material which is silicon particles or silicon compound particles. The said nonaqueous electrolyte secondary battery active material grinding | pulverization method of adding 0.1-5 mass% with respect to an active material, and grind | pulverizing.