JP5907092B2 - Method for producing metal silicon powder - Google Patents

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Description

本発明は、流動性に優れ、輸送・分級・粗粒カット等の粉体操作が容易で、樹脂に混合された際に、凝集を抑制し、分散性に優れる金属珪素粉末、及びそれを用いた樹脂組成物に関する。   The present invention is a metal silicon powder having excellent fluidity, easy powder operations such as transportation, classification, and coarse particle cutting, suppressing aggregation when mixed with a resin, and excellent dispersibility. The present invention relates to a resin composition.

電子部品の封止、固定や、機械部品の固定などを行う際に、樹脂組成物を用いて行う場合があり、高い熱伝導性を付与するために、金属微粉末を混合した樹脂組成物を用いる場合がある。この場合に混合する金属微粉末としては金属珪素粉末などが例示でき、その粒径はμmオーダーであるものが好適に使用される。   When sealing and fixing electronic parts and fixing machine parts, etc., it may be performed using a resin composition, and in order to give high thermal conductivity, a resin composition mixed with metal fine powder is used. May be used. In this case, examples of the metal fine powder to be mixed include metal silicon powder, and those having a particle size on the order of μm are preferably used.

このように微細な金属珪素粉を樹脂中に混合する場合、その取り扱いが問題になる。金属珪素粉は、他の微細な金属粉体と同様に凝集等が進行するため、取扱性が悪いとの問題があった。   When such fine metal silicon powder is mixed in the resin, the handling becomes a problem. Metallic silicon powder has a problem that handling is poor because aggregation and the like proceed in the same manner as other fine metal powders.

特許文献1に記載の方法によると、金属珪素粉を塩基性物質で処理すると、該金属珪素粉の表面に存在する酸素原子(シリカ系酸化物由来)と塩基性物質とが相互作用することで、該金属珪素粉の表面に該塩基性物質を安定的に付着させることが可能となり、該塩基性物質が安定的に存在することで静電反発などにより金属珪素粉の粉体同士が反発し合い、粉体の凝集などが防止できる、とされている。しかし、その金属珪素表面のシリカ系酸化物層をコントロールすることが難しく、かつ該シリカ系酸化物層とヘキサメチルジシラザンの反応率が悪いため、金属珪素粉を均一に処理して分散性を向上するには多量のヘキサメチルジシラザンを使用しなければならない。またコストや工程が煩雑という不具合もあった。   According to the method described in Patent Document 1, when metal silicon powder is treated with a basic substance, oxygen atoms (derived from a silica-based oxide) present on the surface of the metal silicon powder interact with the basic substance. The basic substance can be stably adhered to the surface of the metal silicon powder, and the presence of the basic substance causes the metal silicon powder powders to repel each other due to electrostatic repulsion. And agglomeration of the powder can be prevented. However, it is difficult to control the silica-based oxide layer on the surface of the metal silicon, and the reaction rate between the silica-based oxide layer and hexamethyldisilazane is poor. Large amounts of hexamethyldisilazane must be used to improve. There was also a problem that the cost and process were complicated.

特開2010−254511号公報JP 2010-254511 A

本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、金属珪素粉の輸送・分級などの粉体操作の操作性及び樹脂への分散性に優れた金属珪素粉末、並びに該金属珪素組成物を含む樹脂組成物を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and includes a metal silicon powder excellent in operability of powder operation such as transport and classification of metal silicon powder and dispersibility in a resin, and the metal silicon composition. It aims at providing a resin composition.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、本発明に至った。すなわち本発明は、以下の通りである。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have reached the present invention. That is, the present invention is as follows.

<1>金属珪素粉末表面に、該金属珪素粉末の質量の少なくとも0.01質量%の量のシリカ微粒子が付着した粉末であって、
上記シリカ微粒子は、
(A1)4官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物またはこれらの混合物を、加水分解および縮合することによって実質的にSiO2単位からなる親水性球状シリカ微粒子を得る工程と、
(A2)該親水性球状シリカ微粒子の表面に、R1SiO3/2単位(式中、R1は置換または非置換の炭素原子数1〜20の1価炭化水素基である)を導入する工程と、
(A3) R2 3SiO1/2単位(式中、各R2は同一または異なり、置換または非置換の炭素原子数1〜6の1価炭化水素基である)を導入する工程と
を含む方法により製造された、粒子径が0.005〜1.0μmの範囲で、粒度分布D90/D10の値が3以下であり、かつ平均円形度が0.8〜1である疎水性球状シリカ微粒子(1)であることを特徴とする粉末。
<1> A powder in which silica fine particles having an amount of at least 0.01% by mass of the mass of the metal silicon powder are adhered to the surface of the metal silicon powder,
The silica fine particles are
(A1) a step of obtaining hydrophilic spherical silica fine particles substantially consisting of SiO 2 units by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partially hydrolyzed condensation product thereof, or a mixture thereof;
(A2) R 1 SiO 3/2 units (wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms) are introduced onto the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles. Process,
(A3) introducing a R 2 3 SiO 1/2 unit (wherein each R 2 is the same or different and is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). Hydrophobic spherical silica fine particles (1) produced by the method, having a particle size in the range of 0.005 to 1.0 μm, a particle size distribution D90 / D10 value of 3 or less, and an average circularity of 0.8 to 1. A powder characterized by that.

<2>前記疎水性球状シリカ微粒子(1)が、
(A1)一般式(I):
Si(OR34 (I)
(式中、各R3は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される4官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物またはこれらの混合物を、塩基性物質の存在下、親水性有機溶媒と水の混合液中で加水分解及び縮合することによって実質的にSiO2単位からなる親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得、
(A2)得られた該親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(II):
1Si(OR43 (II)
(式中、R1は置換または非置換の炭素原子数1〜20の一価炭化水素基、各R4は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される3官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物、またはこれらの混合物を添加して該親水性球状シリカ微粒子の表面を処理することにより、該親水性球状シリカ微粒子の表面にR1SiO3/2単位(R1は前記の通りである)を導入して第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得、
(A3)得られた該第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(III):
2 3SiNHSiR2 3 (III)
(式中、各R2は同一または異種の置換または非置換の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)
で示されるシラザン化合物、一般式(IV):
2 3SiX (IV)
(式中、R2は一般式(III)で定義した通りであり、XはOH基または加水分解性基である)で示される1官能性シラン化合物、またはこれらの混合物を添加して、前記第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面をこれにより処理して、該第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面にR2 3SiO1/2単位(R2は一般式(III)で定義した通りである)を導入することにより第二の疎水性シリカ微粒子として得られる疎水性球状シリカ微粒子である、<1>記載の粉末。
<2> The hydrophobic spherical silica fine particles (1)
(A1) General formula (I):
Si (OR 3 ) 4 (I)
(Wherein each R 3 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms), a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, In the presence of a substance, a mixed solvent dispersion of hydrophilic spherical silica fine particles substantially consisting of SiO 2 units is obtained by hydrolysis and condensation in a mixed liquid of a hydrophilic organic solvent and water,
(A2) In the mixed solvent dispersion of the obtained hydrophilic spherical silica fine particles, the general formula (II):
R 1 Si (OR 4 ) 3 (II)
Wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and each R 4 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. trifunctional silane compound, a partial hydrolysis product, or by treating the surface of the hydrophilic spherical silica microparticles by adding these mixtures, the surface of the hydrophilic spherical silica microparticles R 1 SiO 3 / 2 units (R 1 is as described above) were introduced to obtain a mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles,
(A3) In the mixed solvent dispersion of the obtained first hydrophobic spherical silica fine particles, the general formula (III):
R 2 3 SiNHSiR 2 3 (III)
(In the formula, each R 2 is the same or different substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms)
Silazane compounds represented by general formula (IV):
R 2 3 SiX (IV)
(Wherein R 2 is as defined in formula (III), X is an OH group or a hydrolyzable group), or a mixture thereof, The surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles is treated thereby, and R 2 3 SiO 1/2 units (R 2 is defined by the general formula (III) are formed on the surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles. The powder according to <1>, which is a hydrophobic spherical silica fine particle obtained as a second hydrophobic silica fine particle by introducing

<3> 工程(A2)で得られた第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を、工程(A3)に付す前に濃縮する、<2>記載の粉末。   <3> The powder according to <2>, wherein the mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles obtained in the step (A2) is concentrated before being subjected to the step (A3).

<4> 前記金属珪素粉末に前記疎水性球状シリカ微粒子(1)を金属珪素粉の質量の0.01〜5.0質量%の量で添加し、混合して、該疎水性球状シリカ微粒子(1)を該金属珪素粉末の表面に付着させたことを特徴とする<1>〜<3>のいずれか1項に記載の粉末。   <4> The hydrophobic spherical silica fine particles (1) are added to the metal silicon powder in an amount of 0.01 to 5.0% by mass of the mass of the metal silicon powder, mixed, and the hydrophobic spherical silica fine particles ( The powder according to any one of <1> to <3>, wherein 1) is adhered to the surface of the metal silicon powder.

<5> <1>〜<4>のいずれか1項記載の粉末を、樹脂100質量部に対して0.01〜600質量部添加してなることを特徴とする樹脂組成物。
<6> 前記樹脂が、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂;ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等のポリアミド;ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変成樹脂、ABS樹脂、AAS(アクリロニトリル・アクリルゴム・スチレン)樹脂、AES(アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム・スチレン)樹脂から選ばれる1種又はそれ以上である、<5>記載の樹脂組成物。
<7> <5>又は<6>記載の樹脂組成物を成形して製造した熱伝熱性シート。
<5> A resin composition obtained by adding 0.01 to 600 parts by mass of the powder according to any one of <1> to <4> with respect to 100 parts by mass of the resin.
<6> The resin is an epoxy resin, silicone resin, phenol resin, melamine resin, urea resin, unsaturated polyester, fluororesin; polyamide such as polyimide, polyamideimide, or polyetherimide; polyester such as polybutylene terephthalate or polyethylene terephthalate Polyphenylene sulfide, wholly aromatic polyester, polysulfone, liquid crystal polymer, polyethersulfone, polycarbonate, maleimide modified resin, ABS resin, AAS (acrylonitrile / acrylic rubber / styrene) resin, AES (acrylonitrile / ethylene / propylene / diene rubber / styrene) The resin composition according to <5>, which is one or more selected from resins.
<7> A heat transfer sheet produced by molding the resin composition according to <5> or <6>.

本発明に係る金属珪素粉末は、流動性に優れるため、分級、運搬などの金属珪素粉末の操作性が向上し、且つ、分散性も優れるため、樹脂に高い熱伝導性、高い電気伝導性などの性能を付与することができる。   Since the metal silicon powder according to the present invention is excellent in fluidity, the operability of the metal silicon powder such as classification and transportation is improved, and the dispersibility is also excellent, so that the resin has high thermal conductivity, high electrical conductivity, etc. Performance can be imparted.

実施例2の、金属珪素粉末表面に球状疎水性シリカ微粒子が付着した粉末の電子顕微鏡写真を示す。The electron micrograph of the powder which spherical hydrophobic silica fine particles adhered to the metal silicon powder surface of Example 2 is shown. 実施例4の、金属珪素粉末表面に球状疎水性シリカ微粒子が付着した粉末の電子顕微鏡写真を示す。The electron micrograph of the powder which spherical hydrophobic silica fine particles adhered to the metal silicon powder surface of Example 4 is shown. 比較例5の、金属珪素粉末表面に球状疎水性シリカ微粒子を付着させていない未処理の金属珪素粉末の電子顕微鏡写真を示す。The electron micrograph of the untreated metal silicon powder which is not making spherical hydrophobic silica fine particles adhere to the metal silicon powder surface of the comparative example 5 is shown.

以下、本発明について詳細に説明する。
<金属珪素粉成分>
金属珪素粉末の粒径は特に限定しないが、体積平均粒径が1μm〜30μmであることが好ましく、特に好ましくは1〜20μmである。また、45μm以上の粗粒を実質的に含まないことが好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
<Metal silicon powder component>
The particle size of the metal silicon powder is not particularly limited, but the volume average particle size is preferably 1 μm to 30 μm, particularly preferably 1 to 20 μm. Moreover, it is preferable that the coarse grain of 45 micrometers or more is not included substantially.

金属珪素粉末の種類は特に限定されない。例えば、形態を問わない金属珪素を粉砕することで製造したもの、熔融した金属珪素からアトマイズ法にて製造したものであり得る。金属珪素粉の粒径は製造される金属珪素組成物の粒径と高い相関をもつため、本発明の金属珪素組成物に必要な粒径が得られるようにその粒度分布が調整される。粒度分布の調整は、粉体の製造条件を変更するほか、得られた粉体を分級することにより行うことができる。また、金属珪素粉の段階では分級などにより粒度分布の調整を行わず、本発明の金属珪素組成物とした後に分級操作を行うこともできる。また金属珪素粉の純度は、金属珪素組成物が使用される目的に応じて決定される。金属珪素組成物における金属珪素粉が高純度であることが要求される場合には、金属珪素粉の純度も高純度の物を採用し、それ程の純度が必要ない場合には、金属珪素粉の純度もその程度に応じて採用される。   The kind of metal silicon powder is not particularly limited. For example, it may be produced by pulverizing metallic silicon of any form, or may be produced from molten metallic silicon by an atomizing method. Since the particle size of the metal silicon powder has a high correlation with the particle size of the metal silicon composition to be produced, the particle size distribution is adjusted so that the particle size required for the metal silicon composition of the present invention is obtained. The particle size distribution can be adjusted by changing the powder production conditions and classifying the obtained powder. Further, in the stage of metal silicon powder, the particle size distribution is not adjusted by classification or the like, and the classification operation can be performed after the metal silicon composition of the present invention is obtained. The purity of the metal silicon powder is determined according to the purpose for which the metal silicon composition is used. When the metal silicon powder in the metal silicon composition is required to have a high purity, the metal silicon powder should also have a high purity, and when such a purity is not required, Purity is also adopted depending on the degree.

<疎水性球状シリカ微粒子>
上記金属珪素粉末に付着させる疎水性球状シリカ微粒子の特徴について、詳細に説明する。
本発明で使用される疎水性球状シリカ微粒子は、
(A1)4官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物またはそれらの組み合わせを加水分解および縮合することによって実質的にSiO2単位からなる親水性球状シリカ微粒子を得る工程と、
(A2)該親水性球状シリカ微粒子の表面に、R1SiO3/2単位(式中、R1は置換または非置換の炭素原子数1〜20の1価炭化水素基である)を導入する工程と、
(A3) R2 3SiO1/2単位(式中、各R2は同一または異なり、置換または非置換の炭素原子数1〜6の1価炭化水素基である)を導入する工程
とを含む方法により製造され、
粒子径が0.005〜1.0μmの範囲で、粒度分布D90/D10の値が3以下であり、かつ平均円形度が0.8〜1である疎水性球状シリカ微粒子(1)である。
<Hydrophobic spherical silica fine particles>
The characteristics of the hydrophobic spherical silica fine particles attached to the metal silicon powder will be described in detail.
The hydrophobic spherical silica fine particles used in the present invention are
(A1) obtaining hydrophilic spherical silica fine particles substantially composed of SiO 2 units by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis-condensation product thereof, or a combination thereof;
(A2) R 1 SiO 3/2 units (wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms) are introduced onto the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles. Process,
(A3) introducing a R 2 3 SiO 1/2 unit (wherein each R 2 is the same or different and is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). Manufactured by the method,
Hydrophobic spherical silica fine particles (1) having a particle size in the range of 0.005 to 1.0 μm, a particle size distribution D90 / D10 of 3 or less and an average circularity of 0.8 to 1.

該疎水性球状シリカ微粒子は粒子径が0.005〜1.0μmであり、好ましくは0.01〜0.30μm、特に好ましくは0.03〜0.20μmである。この粒子径が0.005μmよりも小さいと、金属珪素粉の凝集が激しく、うまく取り出せない場合がある。また1.0μmよりも大きいと、金属珪素粉に良好な流動性や充填性を付与できない場合があり、好ましくない。   The hydrophobic spherical silica fine particles have a particle size of 0.005 to 1.0 μm, preferably 0.01 to 0.30 μm, particularly preferably 0.03 to 0.20 μm. When this particle diameter is smaller than 0.005 μm, the metal silicon powder is agglomerated so that it may not be taken out well. Moreover, when larger than 1.0 micrometer, favorable fluidity | liquidity and a filling property may not be provided to metal silicon powder, but it is unpreferable.

該疎水性球状シリカ微粒子の粒度分布の指標であるD90/D10の値は、3以下である。ここで、D10及びD90はそれぞれ、粒子径の分布を測定することによって得られる値である。粉体の粒子径の分布を測定した場合に、小さい側から累積10%となる粒子径をD10、小さい側から累積90%となる粒子径をD90という。このD90/D10が3以下であることから、本発明における金属珪素粉の粒度分布はシャープであることを特徴とする。このように粒度分布がシャープな粒子であると、金属珪素粉の流動性を制御することが容易になる点で好ましい。上記D90/D10は、2.9以下であることがより好ましい。
なお、本発明において、微粒子の粒度分布は、動的光散乱法/レーザードップラー法ナノトラック粒度分布測定装置(日機装株式会社製、商品名:UPA-EX150)により測定し、その体積基準メジアン径を粒子径とした。なお、メジアン径とは粒度分布を累積分布として表した時の累積50%に相当する粒子径である。
The value of D90 / D10, which is an index of the particle size distribution of the hydrophobic spherical silica fine particles, is 3 or less. Here, D10 and D90 are values obtained by measuring the particle size distribution. When the particle size distribution of the powder is measured, the particle size that becomes 10% cumulative from the smaller side is called D10, and the particle size that becomes 90% cumulative from the smaller side is called D90. Since D90 / D10 is 3 or less, the particle size distribution of the metal silicon powder in the present invention is sharp. Thus, when the particle size distribution is sharp, it is preferable in terms of easy control of the fluidity of the metal silicon powder. The D90 / D10 is more preferably 2.9 or less.
In the present invention, the particle size distribution of the fine particles is measured by a dynamic light scattering method / laser Doppler nanotrack particle size distribution measuring apparatus (trade name: UPA-EX150, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.), and the volume-based median diameter is The particle diameter was taken. The median diameter is a particle diameter corresponding to 50% cumulative when the particle size distribution is expressed as a cumulative distribution.

また疎水性球状シリカ微粒子の平均円形度は0.8〜1が好ましく、0.92〜1がより好ましい。ここで「球状」とは、真球だけでなく、若干歪んだ球も含む。このような「球状」の形状とは、粒子を二次元に投影した時の円形度で評価し、円形度が0.8〜1の範囲にあるものを云う。ここで円形度とは、(粒子面積と等しい円の周囲長)/(粒子周囲長)である。この円形度は電子顕微鏡等で得られる粒子像を画像解析することにより測定することができる。   The average circularity of the hydrophobic spherical silica fine particles is preferably from 0.8 to 1, more preferably from 0.92 to 1. Here, “spherical” includes not only a true sphere but also a slightly distorted sphere. Such a “spherical” shape is evaluated by the circularity when the particles are projected two-dimensionally, and the circularity is in the range of 0.8 to 1. Here, the circularity is (peripheral length of a circle equal to the particle area) / (peripheral length of particle). This circularity can be measured by image analysis of a particle image obtained with an electron microscope or the like.

上記において、親水性球状シリカ微粒子が「実質的にSiO2単位からなる」とは、該微粒子は基本的にはSiO2単位から構成されているが該単位のみから構成されている訳ではなく、少なくとも表面に通常知られているようにシラノール基を多数個有することを意味する。また、場合によっては、原料である4官能性シラン化合物および/またはその部分加水分解縮合生成物に由来する加水分解性基(ヒドロカルビルオキシ基)が一部シラノール基に転化されずに若干量そのまま微粒子表面や内部に残存していてもよいことを意味する。 In the above, the hydrophilic spherical silica fine particles “consisting essentially of SiO 2 units” means that the fine particles are basically composed of SiO 2 units, but are not composed only of the units, It means having a large number of silanol groups at least on the surface as is generally known. In some cases, the hydrolyzable group (hydrocarbyloxy group) derived from the tetrafunctional silane compound as a raw material and / or its partial hydrolysis-condensation product is not partially converted into a silanol group, but a slight amount of fine particles as it is. It means that it may remain on the surface or inside.

以上のように、本発明においては、テトラアルコキシシランの加水分解によって得られる小粒径ゾルゲル法シリカをシリカ原体(疎水化処理前のシリカ)として、これに特定の表面処理を行なうことにより、粉体として得たときに疎水化処理後の粒子径がシリカ原体の一次粒子径を維持しており、凝集しておらず、小粒径であり、金属珪素粉末に良好な流動性を付与できる疎水性シリカ微粒子を得る。   As described above, in the present invention, a small particle size sol-gel method silica obtained by hydrolysis of tetraalkoxysilane is used as a silica base (silica before hydrophobization treatment), and by performing a specific surface treatment thereto, When obtained as a powder, the particle size after hydrophobization treatment maintains the primary particle size of the silica base, is not agglomerated, has a small particle size, and gives good fluidity to the metal silicon powder Hydrophobic silica fine particles are obtained.

小粒径のシリカ原体として、アルコキシ基の炭素原子数が小さいテトラアルコキシシランを用いること、溶媒として炭素原子数の小さいアルコールを用いること、加水分解温度を高めること、テトラアルコキシシランの加水分解時の濃度を低くすること、加水分解触媒の濃度を低くすることなど、反応条件を変更することにより、任意の粒径のシリカ原体を得ることができる。   Use of tetraalkoxysilane having a small number of carbon atoms in the alkoxy group as a silica particle having a small particle diameter, use of an alcohol having a small number of carbon atoms as a solvent, increasing the hydrolysis temperature, during hydrolysis of tetraalkoxysilane By changing the reaction conditions such as lowering the concentration of the catalyst and lowering the concentration of the hydrolysis catalyst, a silica raw material having an arbitrary particle size can be obtained.

この小粒径のシリカ原体に、前述の通り、そして更に詳しく以下に述べるように、特定の表面処理を行なうことにより、所望の疎水性シリカ微粒子が得られる。   As described above and as will be described in more detail below, the silica particle having a small particle diameter is subjected to a specific surface treatment to obtain desired hydrophobic silica fine particles.

疎水性球状シリカ微粒子の製造方法の一つについて、以下に詳細に説明する。   One method for producing hydrophobic spherical silica fine particles will be described in detail below.

<製造方法A)>
該方法によると、本発明の疎水性球状シリカ微粒子は、
工程(A1):親水性球状シリカ微粒子の合成工程、
工程(A2):3官能性シラン化合物による表面処理工程、
工程(A3):1官能性シラン化合物による表面処理工程
によって得られる。以下、各工程を順次説明する。
<Production method A)>
According to this method, the hydrophobic spherical silica fine particles of the present invention are
Step (A1): Step of synthesizing hydrophilic spherical silica fine particles,
Step (A2): Surface treatment step with a trifunctional silane compound,
Step (A3): Obtained by a surface treatment step with a functional silane compound. Hereinafter, each process is demonstrated one by one.

・工程(A1):親水性球状シリカ微粒子の合成工程
一般式(I):
Si(OR34 (I)
(式中、各R3は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される4官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物、またはこれらの混合物を、塩基性物質を含む親水性有機溶媒と水の混合液中で加水分解及び縮合することによって、親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得られる。
Step (A1): Synthesis step of hydrophilic spherical silica fine particles General formula (I):
Si (OR 3 ) 4 (I)
(Wherein each R 3 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms), a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, Hydrolysis and condensation in a mixed liquid of a hydrophilic organic solvent containing a hydrophilic substance and water can provide a mixed solvent dispersion of hydrophilic spherical silica fine particles.

上記一般式(I)中、R3は、炭素原子数1〜6の一価炭化水素基であるが、好ましくは炭素原子数1〜4、特に好ましくは1〜2の1価炭化水素基である。R3で表される1価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基のようなアルキル基;フェニル基のようなアリール基が挙げられ、好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基又はブチル基、特に好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。 In the above general formula (I), R 3 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, preferably a monovalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, particularly preferably 1 to 2 carbon atoms. is there. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R 3 include an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group; and an aryl group such as a phenyl group, preferably a methyl group, An ethyl group, a propyl group, or a butyl group, particularly preferably a methyl group or an ethyl group.

上記一般式(I)で示される4官能性シラン化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシラン等のテトラアルコキシシラン;及びテトラフェノキシシランが挙げられ、好ましくは、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン及びテトラブトキシシラン、特に好ましくは、テトラメトキシシラン及びテトラエトキシシランが挙げられる。また、一般式(I)で示される4官能性シラン化合物の部分加水分解縮合生成物としては、例えば、メチルシリケート、エチルシリケート等のアルキルシリケートが挙げられる。   Examples of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and tetrabutoxysilane; and tetraphenoxysilane, preferably , Tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane and tetrabutoxysilane, particularly preferably tetramethoxysilane and tetraethoxysilane. Examples of the partial hydrolysis-condensation product of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) include alkyl silicates such as methyl silicate and ethyl silicate.

前記親水性有機溶媒としては、一般式(I)で示される4官能性シラン化合物と、この部分加水分解縮合生成物と、水とを溶解するものであれば特に制限されず、例えば、アルコール類;メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、酢酸セロソルブ等のセロソルブ類;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類;ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類等が挙げられ、好ましくは、アルコール類、セロソルブ類であり、特に好ましくはアルコール類が挙げられる。該アルコール類としては、一般式(V):
5OH (V)
[式中、R5は炭素原子数1〜6の1価炭化水素基である]で示されるアルコールが挙げられる。
The hydrophilic organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I), the partial hydrolysis-condensation product, and water. For example, alcohols Cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, cellosolve acetate; ketones such as acetone and methylethylketone; ethers such as dioxane and tetrahydrofuran, and the like, preferably alcohols and cellosolves. Examples include alcohols. Examples of the alcohols include general formula (V):
R 5 OH (V)
[Wherein, R 5 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms].

上記一般式(V)中、R5は、好ましくは炭素原子数1〜4、特に好ましくは1〜2の1価炭化水素基である。R5で表される1価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等のアルキル基、好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基及びイソプロピル基、より好ましくはメチル基及びエチル基が挙げられる。一般式(V)で示されるアルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール等が挙げられ、好ましくはメタノール、エタノールが挙げられる。アルコールの炭素原子数が増えると、生成する球状シリカ微粒子の粒子径が大きくなる。従って、目的とする小粒径のシリカ微粒子を得るためには、メタノールが好ましい。 In the general formula (V), R 5 is preferably a monovalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, particularly preferably 1 to 2 carbon atoms. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R 5 include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and a butyl group, preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group. Preferably a methyl group and an ethyl group are mentioned. Examples of the alcohol represented by the general formula (V) include methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol and the like, preferably methanol and ethanol. As the number of carbon atoms in the alcohol increases, the particle size of the spherical silica fine particles to be generated increases. Therefore, methanol is preferred in order to obtain the desired small particle size silica fine particles.

また、上記塩基性物質としてはアンモニア、ジメチルアミン、ジエチルアミン等、好ましくは、アンモニア、ジエチルアミン、特に好ましくはアンモニアが挙げられる。これらの塩基性物質は、所要量を水に溶解した後、得られた水溶液(塩基性)を前記親水性有機溶媒と混合すればよい。
該塩基性物質の使用量は、一般式(I)で示される4官能性シラン化合物および/またはその部分加水分解縮合生成物のヒドロカルビルオキシ基の合計1モルに対して0.01〜2モルであることが好ましく、0.02〜0.5モルであることがより好ましく、0.04〜0.12モルであることが特に好ましい。このとき、塩基性物質の量が少ないほど所望の小粒径シリカ微粒子となる。
Examples of the basic substance include ammonia, dimethylamine, diethylamine and the like, preferably ammonia, diethylamine, and particularly preferably ammonia. These basic substances may be dissolved in water in a required amount, and the obtained aqueous solution (basic) may be mixed with the hydrophilic organic solvent.
The amount of the basic substance used is 0.01 to 2 mol with respect to a total of 1 mol of the hydrocarbyloxy group of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) and / or its partial hydrolysis-condensation product. Is more preferable, 0.02 to 0.5 mol is more preferable, and 0.04 to 0.12 mol is particularly preferable. At this time, the smaller the amount of the basic substance, the desired small particle size silica fine particles.

上記加水分解及び縮合で使用される水の量は、一般式(I)で示される4官能性シラン化合物および/またはその部分加水分解縮合生成物のヒドロカルビルオキシ基の合計1モルに対して0.5〜5モルであることが好ましく、0.6〜2モルであることがより好ましく、0.7〜1モルであることが特に好ましい。水に対する上記親水性有機溶媒の比率(親水性有機溶媒:水)は、質量比で0.5〜10であることが好ましく、3〜9であることがより好ましく、5〜8であることが特に好ましい。親水性有機溶媒の量が多いほど所望の小粒径のシリカ微粒子が得られる。   The amount of water used in the hydrolysis and condensation is from 0.5 to a total of 1 mol of the hydrocarbyloxy group of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) and / or the partial hydrolysis condensation product thereof. 5 mol is preferable, 0.6 to 2 mol is more preferable, and 0.7 to 1 mol is particularly preferable. The ratio of the hydrophilic organic solvent to water (hydrophilic organic solvent: water) is preferably 0.5 to 10, more preferably 3 to 9, and particularly preferably 5 to 8 in terms of mass ratio. . As the amount of the hydrophilic organic solvent increases, silica particles having a desired small particle diameter can be obtained.

一般式(I)で示される4官能性シラン化合物等の加水分解および縮合は、周知の方法、即ち、塩基性物質を含む親水性有機溶媒と水との混合物中に、一般式(I)で示される4官能性シラン化合物等を添加することにより行われる。   Hydrolysis and condensation of the tetrafunctional silane compound represented by the general formula (I) can be carried out by a well-known method, that is, in a mixture of a hydrophilic organic solvent containing a basic substance and water in the general formula (I). It is performed by adding a tetrafunctional silane compound or the like shown.

この工程(A1)で得られる親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液中のシリカ微粒子の濃度は一般に、3〜15質量%であり、好ましくは5〜10質量%である。   The concentration of silica fine particles in the mixed solvent dispersion of hydrophilic spherical silica fine particles obtained in this step (A1) is generally 3 to 15% by mass, preferably 5 to 10% by mass.

・工程(A2):3官能性シラン化合物による表面処理工程
工程(A1)において得られた親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(II):
1Si(OR43 (II)
(式中、R1は置換または非置換の炭素原子数1〜20の一価炭化水素基、各R4は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される3官能性シラン化合物、またはその部分加水分解生成物、またはこれらの混合物を添加して、該親水性球状シリカ微粒子の表面をこれにより処理することにより、前記親水性球状シリカ微粒子の表面にR1SiO3/2単位(R1は前記の通り)を導入して、第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得る。
Step (A2): Surface treatment step with a trifunctional silane compound In the mixed solvent dispersion of the hydrophilic spherical silica fine particles obtained in the step (A1), the general formula (II):
R 1 Si (OR 4 ) 3 (II)
Wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and each R 4 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. To the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles by adding a trifunctional silane compound or a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, and treating the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles thereby. 1 SiO 3/2 unit (R 1 is as described above) is introduced to obtain a mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles.

本工程(A2)は、次の工程である濃縮工程においてシリカ微粒子の凝集を抑制するために不可欠である。凝集を抑制できないと、得られるシリカ系粉体の個々の粒子は一次粒子径を維持できないため、流動性付与能が悪くなる。   This step (A2) is indispensable for suppressing aggregation of silica fine particles in the subsequent concentration step. If the aggregation cannot be suppressed, the individual particles of the obtained silica-based powder cannot maintain the primary particle diameter, and the fluidity imparting ability is deteriorated.

上記一般式(II)中、R1は、置換または非置換の炭素原子数1〜20の一価炭化水素基であるが、好ましくは炭素原子数1〜3、特に好ましくは1〜2の1価炭化水素基である。R1で表される1価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基、好ましくは、メチル基、エチル基、n−プロピル基又はイソプロピル基、特に好ましくは、メチル基又はエチル基が挙げられる。また、これらの1価炭化水素基の水素原子の一部または全部が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子、好ましくはフッ素原子で置換されていてもよい。 In the general formula (II), R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, preferably 1 to 3 carbon atoms, particularly preferably 1 to 2 carbon atoms. Is a valent hydrocarbon group. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R 1 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, butyl group and hexyl group, preferably methyl group, ethyl group, n -A propyl group or an isopropyl group, particularly preferably a methyl group or an ethyl group. Further, some or all of the hydrogen atoms of these monovalent hydrocarbon groups may be substituted with halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, preferably fluorine atom.

上記一般式(II)中、R4は、炭素原子数1〜6の一価炭化水素基であるが、好ましくは炭素原子数1〜3、特に好ましくは1〜2の1価炭化水素基である。R4で表される1価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、好ましくは、メチル基、エチル基又はプロピル基、特に好ましくは、メチル基又はエチル基が挙げられる。 In the general formula (II), R 4 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, preferably a monovalent hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, particularly preferably 1 to 2 carbon atoms. is there. Examples of the monovalent hydrocarbon group represented by R 4 include alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group, preferably a methyl group, an ethyl group, or a propyl group, and particularly preferably a methyl group. Or an ethyl group is mentioned.

一般式(II)で示される3官能性シラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン等の非置換若しくはハロゲン置換のトリアルコキシシラン等、好ましくは、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン及びエチルトリエトキシシラン、より好ましくは、メチルトリメトキシシラン及びメチルトリエトキシシラン、または、これらの部分加水分解縮合生成物が挙げられる。   Examples of the trifunctional silane compound represented by the general formula (II) include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, and n-propyltriethoxy. Unsubstituted or halogen-substituted trisilane such as silane, isopropyltrimethoxysilane, isopropyltriethoxysilane, butyltrimethoxysilane, butyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, heptadecafluorodecyltrimethoxysilane Alkoxysilane, etc., preferably methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane and ethyltriethoxysilane, more preferably methyltrimethoxysilane And methyl triethoxysilane, or they partially hydrolyzed condensation products thereof.

一般式(II)で示される3官能性シラン化合物の添加量は、使用された親水性球状シリカ微粒子のSi原子1モル当り0.001〜1モル、好ましくは0.01〜0.1モル、特に好ましくは0.01〜0.05モルである。添加量が0.01モルより少ないと、得られる疎水性球状シリカ微粒子の分散性が悪くなるため、金属珪素粉末への流動性化付与効果が現れず、1モルより多いとシリカ微粒子の凝集が生じ得る。   The addition amount of the trifunctional silane compound represented by the general formula (II) is 0.001 to 1 mol, preferably 0.01 to 0.1 mol, particularly preferably 0.01 to 0.05, per mol of Si atom of the used hydrophilic spherical silica fine particles. Is a mole. If the amount added is less than 0.01 mol, the dispersibility of the resulting hydrophobic spherical silica fine particles will deteriorate, so that the effect of imparting fluidity to the metal silicon powder will not appear, and if it exceeds 1 mol, the silica fine particles may aggregate. .

ここで得られる第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液中の該シリカ微粒子の濃度は通常3質量%以上15質量%未満、好ましくは5〜10質量%である。かかる濃度が低すぎると生産性が低下してしまうという不都合があり、高すぎるとシリカ微粒子の凝集が生じてしまうという不都合がある。   The concentration of the silica fine particles in the mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles obtained here is usually 3% by mass or more and less than 15% by mass, preferably 5 to 10% by mass. If the concentration is too low, there is an inconvenience that productivity is lowered, and if it is too high, there is an inconvenience that silica fine particles are aggregated.

・濃縮工程
このようにして得られた第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液から前記親水性有機溶媒と水の一部を除去し、濃縮することにより、第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒濃縮分散液を得る。この際、疎水性有機溶媒をあらかじめ(濃縮工程前)、或いは濃縮工程中に加えてもよい。この際、使用する疎水性溶媒としては、炭化水素系又はケトン系溶媒が好ましい。具体的には該溶媒として、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等が挙げられ、メチルイソブチルケトンが好ましい。前記親水性有機溶媒と水の一部を除去する方法としては、例えば留去、減圧留去などが挙げられる。得られる濃縮分散液はシリカ微粒子濃度が15〜40質量%であることが好ましく、20〜35質量%であることがより好ましく、25〜30質量%であることが特に好ましい。15質量%より少ないと後工程の表面処理が円滑に進まないことがあり、40質量%より大きいとシリカ微粒子の凝集が生じてしまうことがある。
-Concentration step The first hydrophobic spherical silica is obtained by removing a portion of the hydrophilic organic solvent and water from the mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles thus obtained and concentrating. A mixed solvent concentrated dispersion of fine particles is obtained. At this time, the hydrophobic organic solvent may be added in advance (before the concentration step) or during the concentration step. In this case, the hydrophobic solvent used is preferably a hydrocarbon or ketone solvent. Specific examples of the solvent include toluene, xylene, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and the like, and methyl isobutyl ketone is preferable. Examples of the method for removing a part of the hydrophilic organic solvent and water include distillation and distillation under reduced pressure. The resulting concentrated dispersion preferably has a silica fine particle concentration of 15 to 40% by mass, more preferably 20 to 35% by mass, and particularly preferably 25 to 30% by mass. If the amount is less than 15% by mass, the surface treatment in the subsequent process may not proceed smoothly. If the amount is more than 40% by mass, the silica fine particles may be aggregated.

濃縮工程は、次の工程(A3)において表面処理剤として使用される一般式(III)で表されるシラザン化合物および一般式(IV)で表される一官能性シラン化合物がアルコールや水と反応して表面処理が不十分となり、その後に乾燥を行った時に凝集を生じ、得られるシリカ粉体は一次粒子径を維持できず、流動性付与能が悪くなる、といった不具合を抑制するという意義もある。   In the concentration step, the silazane compound represented by the general formula (III) and the monofunctional silane compound represented by the general formula (IV) used as a surface treatment agent in the next step (A3) react with alcohol or water. In addition, the surface treatment becomes insufficient, and when the subsequent drying is performed, aggregation occurs, and the resulting silica powder cannot maintain the primary particle diameter, and has the significance of suppressing problems such as poor fluidity imparting ability. is there.

・工程(A3):1官能性シラン化合物による表面処理工程
工程(A2)で得られた第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(III):
2 3SiNHSiR2 3 (III)
(式中、各R2は同一または異種の置換または非置換の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)
で示されるシラザン化合物、又は一般式(IV):
2 3SiX (IV)
(式中、R2は一般式(III)で定義した通りであり、XはOH基または加水分解性基である)で示される1官能性シラン化合物またはこれらの混合物を添加し、これにより前記第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面を処理し、該微粒子の表面にR2 3SiO1/2単位(但し、R2は一般式(III)で定義の通り)を導入することにより、第二の疎水性球状シリカ微粒子を得る。この工程の処理により、第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面に残存するシラノール基をトリオルガノシリル化する形でR2 3SiO1/2単位が該表面に導入される。
Step (A3): Surface treatment step with a functional silane compound In the mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles obtained in the step (A2), the general formula (III):
R 2 3 SiNHSiR 2 3 (III)
(In the formula, each R 2 is the same or different substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms)
Or a general formula (IV):
R 2 3 SiX (IV)
(Wherein R 2 is as defined in the general formula (III) and X is an OH group or a hydrolyzable group), and a monofunctional silane compound or a mixture thereof is added. By treating the surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles and introducing R 2 3 SiO 1/2 units (wherein R 2 is as defined in the general formula (III)) to the surface of the fine particles, Two hydrophobic spherical silica fine particles are obtained. By the treatment in this step, R 2 3 SiO 1/2 units are introduced to the surface in the form of triorganosilylation of silanol groups remaining on the surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles.

上記一般式(III)および(IV)中、R2は、好ましくは炭素原子数1〜4、特に好ましくは1〜2の1価炭化水素基である。R2で表される1価炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等のアルキル基、好ましくは、メチル基、エチル基又はプロピル基、特に好ましくは、メチル基又はエチル基が挙げられる。また、これらの1価炭化水素基の水素原子の一部または全部が、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子、好ましくは、フッ素原子、で置換されていてもよい。 In the general formulas (III) and (IV), R 2 is preferably a monovalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, particularly preferably 1 to 2 carbon atoms. The monovalent hydrocarbon group represented by R 2 is, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group or a butyl group, preferably a methyl group, an ethyl group or a propyl group, particularly preferably , Methyl group or ethyl group. Further, some or all of the hydrogen atoms of these monovalent hydrocarbon groups may be substituted with a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom, preferably a fluorine atom.

Xで表される加水分解性基としては、例えば、塩素原子、アルコキシ基、アミノ基、アシルオキシ基が挙げられ、好ましくはアルコキシ基又はアミノ基、特に好ましくはアルコキシ基が挙げられる。   Examples of the hydrolyzable group represented by X include a chlorine atom, an alkoxy group, an amino group, and an acyloxy group, preferably an alkoxy group or an amino group, and particularly preferably an alkoxy group.

一般式(III)で示されるシラザン化合物としては、例えば、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサエチルジシラザン等、好ましくはヘキサメチルジシラザンが挙げられる。一般式(IV)で示される1官能性シラン化合物としては、例えば、トリメチルシラノール、トリエチルシラノール等のモノシラノール化合物;トリメチルクロロシラン、トリエチルクロロシラン等のモノクロロシラン;トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン等のモノアルコキシシラン;トリメチルシリルジメチルアミン、トリメチルシリルジエチルアミン等のモノアミノシラン;トリメチルアセトキシシラン等のモノアシルオキシシランが挙げられ、好ましくは、トリメチルシラノール、トリメチルメトキシシラン又はトリメチルシリルジエチルアミン、特に好ましくは、トリメチルシラノール又はトリメチルメトキシシランが挙げられる。   Examples of the silazane compound represented by the general formula (III) include hexamethyldisilazane and hexaethyldisilazane, and preferably hexamethyldisilazane. Examples of the monofunctional silane compound represented by the general formula (IV) include monosilanol compounds such as trimethylsilanol and triethylsilanol; monochlorosilanes such as trimethylchlorosilane and triethylchlorosilane; monoalkoxy such as trimethylmethoxysilane and trimethylethoxysilane. Silane; monoaminosilane such as trimethylsilyldimethylamine and trimethylsilyldiethylamine; monoacyloxysilane such as trimethylacetoxysilane, preferably trimethylsilanol, trimethylmethoxysilane or trimethylsilyldiethylamine, particularly preferably trimethylsilanol or trimethylmethoxysilane It is done.

前記シラザン化合物又は/及び官能性シラン化合物の使用量は、使用した親水性球状シリカ微粒子のSi原子1モルに対して0.1〜0.5モル、好ましくは0.2〜0.4モル、特に好ましくは0.25〜0.35モルである。使用量が0.1モルより少ないと、得られる疎水性シリカ微粒子の分散性が悪くなるため、金属珪素への流動性付与効果が現れない。使用量が0.5モルより多いと、経済的に不利である。   The amount of the silazane compound or / and functional silane compound used is 0.1 to 0.5 mol, preferably 0.2 to 0.4 mol, particularly preferably 0.25 to 0.35 mol, per 1 mol of Si atoms in the used hydrophilic spherical silica fine particles. is there. When the amount used is less than 0.1 mol, the dispersibility of the resulting hydrophobic silica fine particles is deteriorated, so that the effect of imparting fluidity to metal silicon does not appear. When the amount used is more than 0.5 mol, it is economically disadvantageous.

上記疎水性球状シリカ微粒子は、常圧乾燥、減圧乾燥等の常法によって粉体として得る。   The hydrophobic spherical silica fine particles are obtained as a powder by a conventional method such as atmospheric drying or reduced pressure drying.

<金属珪素組成物>
本発明の金属珪素粉末は、原料である金属珪素粉末に前記疎水性球状シリカ微粒子を添加し、混合し、該金属珪素粉末の表面上に該シリカ微粒子を物理的吸着により付着させることより得られる。金属珪素粉への疎水性球状シリカ微粒子の添加量は、該金属珪素粉の0.01〜5.0質量%が好ましく、より好ましくは0.1〜4.0質量%、特に0.5〜3.0質量%である。この添加量が0.01質量%より少ないと、金属珪素粉の流動性が変化しない場合があり、好ましくない。またこの添加量が5.0質量%を超えると、コスト的に好ましくない場合がある。該金属珪素粉末は、通常は、前記金属珪素粉と前記疎水性球状シリカ微粒子とから成る粉末であるが、場合によってはカップリング剤のような添加剤を含んでもよい。
<Metal silicon composition>
The metal silicon powder of the present invention is obtained by adding the hydrophobic spherical silica fine particles to the metal silicon powder as a raw material, mixing them, and attaching the silica fine particles to the surface of the metal silicon powder by physical adsorption. . The addition amount of the hydrophobic spherical silica fine particles to the metal silicon powder is preferably 0.01 to 5.0% by mass, more preferably 0.1 to 4.0% by mass, particularly 0.5 to 0.5% by mass of the metal silicon powder. 3.0% by mass. If the amount added is less than 0.01% by mass, the fluidity of the metal silicon powder may not change, which is not preferable. Moreover, when this addition amount exceeds 5.0 mass%, it may not be preferable in terms of cost. The metal silicon powder is usually a powder composed of the metal silicon powder and the hydrophobic spherical silica fine particles, but may optionally contain an additive such as a coupling agent.

金属珪素粉末に前記疎水性シリカ微粒子を付着するには公知の混合方法によれば良く、ヘンシェルミキサー、V型ブレンダー、リボンブレンダー、らいかい機、ニーダーミキサー、バタフライミキサー、あるいは通常のプロペラ攪拌子による混合機を用いて各成分の所定量を均一に混合すればよい。そうすれば簡単に金属珪素粉末に付着させることができる。   In order to adhere the hydrophobic silica fine particles to the metal silicon powder, a known mixing method may be used. By using a Henschel mixer, a V-type blender, a ribbon blender, a raking machine, a kneader mixer, a butterfly mixer, or a normal propeller stirrer What is necessary is just to mix the predetermined amount of each component uniformly using a mixer. Then, it can be easily attached to the metal silicon powder.

<金属珪素粉末を用いた樹脂組成物>
本発明の金属珪素粉末と組合せられる樹脂としては有機樹脂が用いられ、該有機樹脂は特に限定されないが、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂;ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等のポリアミド;ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変成樹脂、ABS樹脂、AAS(アクリロニトリル・アクリルゴム・スチレン)樹脂、AES(アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム・スチレン)樹脂等の、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂又は各種エンジニアリングプラスチックが例示される。上記のようなポリマーマトリクス構成要素を該有機樹脂として選ぶことができ、該有機樹脂100質量部に対して本発明の金属珪素粉末を0.01〜600質量部、好ましくは0.01〜500質量部、特に好ましくは30〜450質量部の量で添加することができる。それによって該有機樹脂の熱伝導性を向上させることが可能となる。この樹脂100質量部に対する添加量が0.01質量部よりも少ないと、金属珪素由来の好ましい熱伝導性を付与できず、また600質量部より多いと、樹脂組成物をうまく成形できない場合があり、好ましくない。
<Resin composition using metal silicon powder>
An organic resin is used as the resin combined with the metal silicon powder of the present invention, and the organic resin is not particularly limited, but is an epoxy resin, silicone resin, phenol resin, melamine resin, urea resin, unsaturated polyester, fluororesin; polyimide , Polyamides such as polyamideimide and polyetherimide; polyesters such as polybutylene terephthalate and polyethylene terephthalate; polyphenylene sulfide, wholly aromatic polyester, polysulfone, liquid crystal polymer, polyethersulfone, polycarbonate, maleimide modified resin, ABS resin, and AAS (acrylonitrile)・ Acrylic rubber, styrene) resin, AES (acrylonitrile, ethylene, propylene, diene rubber, styrene) resin, etc., thermosetting resin, thermoplastic resin, or various engineers Ring plastic is exemplified. The polymer matrix constituents as described above can be selected as the organic resin, and 0.01 to 600 parts by mass, preferably 0.01 to 500 parts by mass of the metal silicon powder of the present invention with respect to 100 parts by mass of the organic resin. Parts, particularly preferably in an amount of 30 to 450 parts by weight. Thereby, the thermal conductivity of the organic resin can be improved. If the amount added to 100 parts by mass of the resin is less than 0.01 parts by mass, preferable thermal conductivity derived from metal silicon cannot be imparted, and if it is more than 600 parts by mass, the resin composition may not be molded successfully. Is not preferable.

本発明の金属珪素粉末を用いた樹脂組成物は、ミル、Banbury、Brabender、一軸又は二軸スクリュー押出機、連続ミキサ、混練機、その他のような装置を用いて、溶融混合のような当技術分野で公知の技術により調製することができる。   The resin composition using the metal silicon powder of the present invention is used in the art such as melt-mixing using equipment such as a mill, Banbury, Brabender, single- or twin-screw extruder, continuous mixer, kneader, etc. It can be prepared by techniques known in the art.

本発明の金属珪素紛体を用いた樹脂組成物は、マイクロプロセッサパッケージ又は自動車の部品及び構成要素;タイヤ又は軸受ハウジングで用いられる物品、部品、シート又はフィルム;マイクロプロセッサ及び集積回路のチップ;プラスチックボールグリッドアレイパッケージ、クワッドフラットパック及び他の一般的な表面実装集積回路パッケージ;ヒートシンクのような熱交換器用の部品、シート又はフィルム;定着ロール等のベルトなどがあるが、これらに限定されるものではない。   The resin composition using the metal silicon powder of the present invention comprises a microprocessor package or automobile parts and components; articles, parts, sheets or films used in tires or bearing housings; microprocessors and integrated circuit chips; plastic balls Grid array packages, quad flat packs and other common surface mount integrated circuit packages; heat exchanger parts such as heat sinks, sheets or films; belts such as fuser rolls, but are not limited to these Absent.

以下、実施例および比較例を用いて本発明を具体的に説明する。なお、下記の実施例は、本発明を何ら制限するものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The following examples do not limit the present invention.

実施例で使用する金属珪素粉として、体積平均粒子径6.0μmのものを使用した。この粉末は珪素含有量(純度)98.5%、不定形の形状のものである。   As the metal silicon powder used in the examples, one having a volume average particle diameter of 6.0 μm was used. This powder has a silicon content (purity) of 98.5% and an irregular shape.

[疎水性球状シリカ微粒子の合成]
<合成例1>
・工程(A1):親水性球状シリカ微粒子の合成工程
攪拌機と、滴下ロートと、温度計とを備えた3リットルのガラス製反応器にメタノール989.5gと、水135.5gと、28%アンモニア水66.5gとを入れて混合した。この溶液を35℃となるように調整し、攪拌しながらテトラメトキシシラン436.5g(2.87モル)を6時間かけて滴下した。この滴下が終了した後も、さらに0.5時間攪拌を継続して加水分解を行うことにより、親水性球状シリカ微粒子の懸濁液を得た。
[Synthesis of hydrophobic spherical silica fine particles]
<Synthesis Example 1>
Step (A1): Step of synthesizing hydrophilic spherical silica fine particles 989.5 g of methanol, 135.5 g of water, and 66.5% of 28% ammonia water in a 3 liter glass reactor equipped with a stirrer, a dropping funnel and a thermometer g and mixed. This solution was adjusted to 35 ° C., and 436.5 g (2.87 mol) of tetramethoxysilane was added dropwise over 6 hours while stirring. Even after the completion of the dropwise addition, the suspension was further stirred for 0.5 hours for hydrolysis to obtain a suspension of hydrophilic spherical silica fine particles.

・工程(A2):3官能性シラン化合物による表面処理工程
上で得られた懸濁液に室温でメチルトリメトキシシラン4.4g(0.03モル)を0.5時間かけて滴下し、滴下後も12時間攪拌を継続し、シリカ微粒子表面を疎水化処理することにより、疎水性球状シリカ微粒子の分散液を得た。
-Step (A2): Surface treatment step with trifunctional silane compound 4.4 g (0.03 mol) of methyltrimethoxysilane was added dropwise to the suspension obtained above at room temperature over 0.5 hours and stirred for 12 hours after the addition. Then, the surface of the silica fine particles was hydrophobized to obtain a dispersion of hydrophobic spherical silica fine particles.

・濃縮工程
次いで、ガラス製反応器にエステルアダプターと冷却管とを取り付け、前工程で得られた分散液を60〜70℃に加熱してメタノールと水の混合物1021gを留去し、疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒濃縮分散液を得た。このとき、濃縮分散液中の疎水性球状シリカ微粒子の含有量は28質量%であった。
-Concentration step Next, an ester adapter and a condenser tube were attached to a glass reactor, and the dispersion obtained in the previous step was heated to 60 to 70 ° C to distill off 1021 g of a mixture of methanol and water, thereby forming a hydrophobic sphere. A mixed solvent concentrated dispersion of silica fine particles was obtained. At this time, the content of hydrophobic spherical silica fine particles in the concentrated dispersion was 28% by mass.

・工程(A3):1官能性シラン化合物による表面処理工程
前工程で得られた濃縮分散液に、室温において、ヘキサメチルジシラザン138.4g(0.86モル)を添加した後、この分散液を50〜60℃に加熱し、9時間反応させることにより、該分散液中のシリカ微粒子をトリメチルシリル化した。次いで、この分散液中の溶媒を130℃、減圧下(6650Pa)で留去することにより、疎水性球状シリカ微粒子(1)186gを得た。
-Step (A3): Surface treatment step with a functional silane compound After adding 138.4 g (0.86 mol) of hexamethyldisilazane to the concentrated dispersion obtained in the previous step at room temperature, The silica fine particles in the dispersion were trimethylsilylated by heating to 60 ° C. and reacting for 9 hours. Subsequently, the solvent in this dispersion was distilled off at 130 ° C. under reduced pressure (6650 Pa) to obtain 186 g of hydrophobic spherical silica fine particles (1).

工程(A1)で得られた親水性球状シリカ微粒子について、下記の測定方法1に従って測定を行った。また、上記の工程(A1)〜(A3)の各段階を経て得られた疎水性球状シリカ微粒子について、下記の測定方法2〜3に従って測定を行った。得られた結果を表1に示す。   The hydrophilic spherical silica fine particles obtained in the step (A1) were measured according to the following measuring method 1. Further, the hydrophobic spherical silica fine particles obtained through the respective steps (A1) to (A3) were measured according to the following measuring methods 2 to 3. The obtained results are shown in Table 1.

[測定方法1〜3]
1.工程(A1)で得られた親水性球状シリカ微粒子の粒子径測定
メタノールにシリカ微粒子懸濁液を、シリカ微粒子が0.5質量%となるように添加し、10分間超音波にかけることにより、該微粒子を分散させた。このように処理した微粒子の粒度分布を、動的光散乱法/レーザードップラー法ナノトラック粒度分布測定装置(日機装株式会社製、商品名:UPA-EX150)により測定し、その体積基準メジアン径を粒子径とした。なお、メジアン径とは粒度分布を累積分布として表した時の累積50%に相当する粒子径である。
[Measurement methods 1 to 3]
1. Particle size measurement of the hydrophilic spherical silica fine particles obtained in the step (A1) The silica fine particle suspension was added to methanol so that the silica fine particles were 0.5% by mass, and the fine particles were subjected to ultrasonic waves for 10 minutes. Was dispersed. The particle size distribution of the fine particles treated in this way is measured with a dynamic light scattering method / laser Doppler nanotrack particle size distribution measuring device (trade name: UPA-EX150, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.), and the volume-based median diameter is measured as particles. The diameter. The median diameter is a particle diameter corresponding to 50% cumulative when the particle size distribution is expressed as a cumulative distribution.

2.工程(A3)において得られた疎水性球状シリカ微粒子の粒子径測定及び粒度分布D90/D10の測定
メタノールにシリカ微粒子を、0.5質量%となるように添加し、10分間超音波にかけることにより、該微粒子を分散させた。このように処理した微粒子の粒度分布を、動的光散乱法/レーザードップラー法ナノトラック粒度分布測定装置(日機装株式会社製、商品名:UPA-EX150)により測定し、その体積基準メジアン径を粒子径とした。粒度分布D90/D10の測定は、上記粒子径測定した際の分布において小さい側から累積が10%となる粒子径をD10、小さい側から累積が90%となる粒子径をD90とし測定された値からD90/D10を計算した。
2. Particle size measurement of hydrophobic spherical silica fine particles obtained in step (A3) and measurement of particle size distribution D90 / D10 Silica fine particles were added to methanol so as to be 0.5% by mass, and subjected to ultrasonic waves for 10 minutes, The fine particles were dispersed. The particle size distribution of the fine particles treated in this way is measured with a dynamic light scattering method / laser Doppler nanotrack particle size distribution measuring device (trade name: UPA-EX150, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.), and the volume-based median diameter is measured as particles. The diameter. Measurement of the particle size distribution D90 / D10 is a value measured by setting D10 to be a particle size with a cumulative value of 10% from the small side and D90 to be a particle size with a cumulative value of 90% from the small side. From this, D90 / D10 was calculated.

3.疎水性球状シリカ微粒子の形状測定
電子顕微鏡(日立製作所製、商品名:S-4700型、倍率:10万倍)によって観察を行い、形状を確認した。「球状」とは、真球だけでなく、若干歪んだ球も含む。なおこのような粒子の形状は、粒子を二次元に投影した時の円形度で評価し、円形度が0.8〜1の範囲にあるものとする。ここで円形度とは、(粒子面積と等しい円の周囲長)/(粒子周囲長)である。
3. Shape measurement of hydrophobic spherical silica fine particles The shape was confirmed by observation with an electron microscope (manufactured by Hitachi, trade name: S-4700 type, magnification: 100,000 times). The term “spherical” includes not only a true sphere but also a slightly distorted sphere. The shape of such particles is evaluated by the circularity when the particles are projected two-dimensionally, and the circularity is in the range of 0.8 to 1. Here, the circularity is (peripheral length of a circle equal to the particle area) / (peripheral length of particle).

<合成例2>
合成例1において、工程(A1)でメタノール、水、及び28%アンモニア水の量を、メタノール1045.7g、水112.6g、28%アンモニア水33.2gに変えたこと以外は同様にして、疎水性球状シリカ微粒子(2)188gを得た。この疎水性球状シリカ微粒子を用いて合成例1における測定と同様に測定した。この結果を表1に示す。
<Synthesis Example 2>
In the same manner as in Synthesis Example 1, except that the amounts of methanol, water, and 28% ammonia water were changed to 1045.7 g of methanol, 112.6 g of water, and 33.2 g of 28% ammonia water in the step (A1). 188 g of silica fine particles (2) were obtained. Measurement was performed in the same manner as in Synthesis Example 1 using these hydrophobic spherical silica fine particles. The results are shown in Table 1.

<合成例3>
・工程(A1):
撹拌機、滴下ロート及び温度計を備えた3リットルのガラス製反応器に、メタノール623.7g、水41.4g、28%アンモニア水49.8gを添加して混合した。この溶液を35℃に調整し、撹拌しながら該溶液にテトラメトキシシラン1163.7gおよび5.4%アンモニア水418.1gを同時に添加開始し、前者は6時間、そして後者は4時間かけて滴下した。テトラメトキシシラン滴下後も0.5時間撹拌を続けて加水分解を行い、シリカ微粒子の懸濁液を得た。
<Synthesis Example 3>
・ Process (A1):
In a 3 liter glass reactor equipped with a stirrer, a dropping funnel and a thermometer, 623.7 g of methanol, 41.4 g of water and 49.8 g of 28% aqueous ammonia were added and mixed. The solution was adjusted to 35 ° C., and 1163.7 g of tetramethoxysilane and 418.1 g of 5.4% aqueous ammonia were simultaneously added to the solution while stirring. The former was added dropwise over 6 hours and the latter over 4 hours. did. Even after the tetramethoxysilane was added dropwise, the mixture was stirred for 0.5 hours for hydrolysis to obtain a silica fine particle suspension.

・工程(A2):
こうして得られた懸濁液に室温でメチルトリメトキシシラン11.6g(テトラメトキシシランに対してモル比で0.01相当量)を0.5時間かけて滴下し、滴下後も12時間撹拌して、シリカ微粒子表面の処理を行った。
・ Process (A2):
To the suspension thus obtained, 11.6 g of methyltrimethoxysilane (0.01 molar equivalent to tetramethoxysilane) was added dropwise at room temperature over 0.5 hours, and after the addition, the mixture was stirred for 12 hours, The surface of silica fine particles was treated.

該ガラス製反応器にエステルアダプターと冷却管を取り付け、上記の表面処理を施したシリカ微粒子を含む分散液にメチルイソブチルケトン1440gを添加した後、80〜110℃に加熱して、メタノール水を7時間かけて留去した。   An ester adapter and a condenser tube were attached to the glass reactor, and 1440 g of methyl isobutyl ketone was added to the dispersion containing silica fine particles that had been subjected to the above surface treatment. Distilled off over time.

・工程(A3):
こうして得られた分散液に、室温でヘキサメチルジシラザン357.6gを添加し、120℃に加熱し、3時間反応させて、シリカ微粒子をトリメチルシリル化した。その後溶媒を減圧下で留去して球状疎水性シリカ微粒子(3)472gを得た。
・ Process (A3):
To the dispersion thus obtained, 357.6 g of hexamethyldisilazane was added at room temperature, heated to 120 ° C., and reacted for 3 hours to trimethylsilylate the silica fine particles. Thereafter, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 472 g of spherical hydrophobic silica fine particles (3).

こうして得られたシリカ微粒子(3)について、合成例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。   The silica fine particles (3) thus obtained were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

<合成例4>
シリカ微粒子の合成の際に、テトラメトキシシランの加水分解温度を35℃の代りに20℃とした以外は、合成例3と同様にして各工程を行ったところ、疎水性球状シリカ微粒子(4)469gを得た。この疎水性球状シリカ微粒子(4)を用いて合成例1と同様の測定を行った。この結果を表1に示す。
<Synthesis Example 4>
Hydrophobic spherical silica fine particles (4) were obtained in the same manner as in Synthesis Example 3 except that the hydrolysis temperature of tetramethoxysilane was changed to 20 ° C. instead of 35 ° C. during the synthesis of the silica fine particles. 469 g was obtained. The same measurement as in Synthesis Example 1 was performed using this hydrophobic spherical silica fine particle (4). The results are shown in Table 1.

<比較合成例1>
攪拌機と温度計とを備えた0.3リットルのガラス製反応器に爆燃法シリカ(商品名:SOC1、アドマテクス社製)100gを仕込み、純水1gを攪拌下で添加し、密閉後、さらに60℃で10時間攪拌した。次いで、室温まで冷却した後、ヘキサメチルジシラザン2gを攪拌下で添加し、密閉後、さらに24時間攪拌した。120℃に昇温し、窒素ガスを通気しながら残存原料および生成したアンモニアを除去し、疎水性球状シリカ微粒子(5)100gを得た。
<Comparative Synthesis Example 1>
A 0.3 liter glass reactor equipped with a stirrer and a thermometer was charged with 100 g of deflagration silica (trade name: SOC1, manufactured by Admatechs), 1 g of pure water was added with stirring, and after sealing, further sealed at 60 ° C Stir for 10 hours. Subsequently, after cooling to room temperature, 2 g of hexamethyldisilazane was added with stirring, and after sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. The temperature was raised to 120 ° C., and the remaining raw material and the produced ammonia were removed while ventilating nitrogen gas to obtain 100 g of hydrophobic spherical silica fine particles (5).

得られたシリカ微粒子(5)について、合成例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。   The obtained silica fine particles (5) were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

<比較合成例2>
攪拌機と温度計とを備えた0.3リットルのガラス製反応器に爆燃法シリカ(商品名:SOC1、アドマテクス社製)100gを仕込み、純水1gを攪拌下で添加し、密閉後、さらに60℃で10時間攪拌した。次いで、室温まで冷却した後、メチルトリメトキシシラン1gを攪拌下で添加し、密閉後、さらに24時間攪拌した。次にヘキサメチルジシラザン2gを攪拌下で添加し、密閉後、さらに24時間攪拌した。120℃に昇温し、窒素ガスを通気しながら残存原料および生成したアンモニアを除去し、疎水性球状シリカ微粒子(6)101gを得た。得られたシリカ微粒子(6)について、合成例1と同様の測定を行った。結果を表1に示す。
<Comparative Synthesis Example 2>
A 0.3 liter glass reactor equipped with a stirrer and a thermometer was charged with 100 g of deflagration silica (trade name: SOC1, manufactured by Admatechs), 1 g of pure water was added with stirring, and after sealing, further sealed at 60 ° C Stir for 10 hours. Next, after cooling to room temperature, 1 g of methyltrimethoxysilane was added with stirring, and after sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. Next, 2 g of hexamethyldisilazane was added with stirring. After sealing, the mixture was further stirred for 24 hours. The temperature was raised to 120 ° C., and the remaining raw material and the produced ammonia were removed while ventilating nitrogen gas to obtain 101 g of hydrophobic spherical silica fine particles (6). The obtained silica fine particles (6) were measured in the same manner as in Synthesis Example 1. The results are shown in Table 1.

<実施例1〜5、比較例1〜5>
上記合成例又は比較合成例で得られた疎水性球状シリカ微粒子(1)〜(6)を、表2に示す量で金属珪素粉(体積平均粒子径5.0μm、キンセイマテック社製)に添加し、サンプルミルにより1分撹拌混合を行った。得られた金属珪素粉末について、粉体流動性の指標である基本流動性エネルギー測定を行った。またそれぞれの金属珪素粉末サンプルを50g秤量し、200メッシュの篩に供給した後、1分間保持した時の篩を通過したサンプルの質量割合を測定した。結果を表2に示す。
また、実施例2、4の、球状疎水性シリカ微粒子を粉末表面に付着させた金属珪素粉末の電子顕微鏡写真を夫々図1、2に、及び比較例5の、球状疎水性シリカ微粒子を金属珪素粉末に添加しない未処理の金属珪素粉末の電子顕微鏡写真を図に示す
<Examples 1-5, Comparative Examples 1-5>
Hydrophobic spherical silica fine particles (1) to (6) obtained in the above synthesis examples or comparative synthesis examples are added to metal silicon powder (volume average particle diameter: 5.0 μm, manufactured by Kinsei Matec Co., Ltd.) in the amounts shown in Table 2. The mixture was stirred and mixed for 1 minute by a sample mill. The obtained metallic silicon powder was measured for basic fluidity energy, which is an index of powder fluidity. Further, 50 g of each metal silicon powder sample was weighed and supplied to a 200 mesh sieve, and then the mass ratio of the sample that passed through the sieve when held for 1 minute was measured. The results are shown in Table 2.
Moreover, the electron micrograph of the metal silicon powder which adhered the spherical hydrophobic silica fine particles of Examples 2 and 4 to the powder surface is shown in FIGS. 1 and 2, respectively, and the spherical hydrophobic silica fine particles of Comparative Example 5 are metallic silicon. an electron micrograph of the untreated metal silicon powder is not added to the powder shown in Figure 3.

粉体流動性は、粉体流動性分析装置FT−4(シスメックス(株)製)を用いて測定した。この装置の測定原理を説明する。垂直に置かれた筒状容器に粉体を充填し、該粉体中を垂直な軸棒の先端に設けられた二枚の回転翼(ブレード)を回転させながら一定の距離(高さH1からH2まで)下降させる。このときに粉体から受ける力をトルク成分と荷重成分とに分けて測定することにより、ブレードがH1からH2まで下降するのに伴うそれぞれの仕事量(エネルギー)を求め、次いで両者のトータルエネルギー量を求める。こうして測定されたトータルエネルギー量が小さいほど粉体の流動性が良好であることを意味するので、粉体流動性の指標として使用する。この装置にて安定性試験も行なった。   The powder fluidity was measured using a powder fluidity analyzer FT-4 (manufactured by Sysmex Corporation). The measurement principle of this apparatus will be described. A cylindrical container placed vertically is filled with powder, and while rotating two rotating blades (blades) provided at the tip of a vertical shaft rod in the powder, a certain distance (from height H1) Down to H2. The force received from the powder at this time is measured separately for the torque component and the load component, so that each work (energy) associated with the blade descending from H1 to H2 is obtained, and then the total energy amount of both Ask for. The smaller the total energy measured in this way, the better the fluidity of the powder, so it is used as an index of powder fluidity. A stability test was also conducted with this apparatus.

・・条件:
容器:容積160ml(内径50mm、長さ79mm)のガラス製円筒型容器を使用した。
··conditions:
Container: A glass cylindrical container having a volume of 160 ml (inner diameter: 50 mm, length: 79 mm) was used.

ブレード:円筒型容器内の中央に鉛直に装入されるステンレス製の軸棒の先端に水平に対向する形で二枚取り付けられている。ブレードは、直径48mmのものを使用する。H1からH2までの長さは69mmである。   Blades: Two blades are mounted horizontally facing the tip of a stainless steel shaft rod inserted vertically into the center of the cylindrical container. A blade with a diameter of 48 mm is used. The length from H1 to H2 is 69 mm.

・・流動性試験:上記のようにして、測定容器に充填した粉体を静置した状態から流動させた場合の粉体流動特性をみる。ブレード先端の回転速度を100mm/secの条件とし、トータルエネルギー量を7回連続して測定する。7回目のトータルエネルギー量(最も安定した状態であるので基本流動性エネルギーと称される)を表2に示す。小さいほど流動性が高い。
・・安定性試験:流動性試験に続いて、ブレードの回転速度を100mm/sec→70mm/sec→40mm/sec→10mm/secと変えた時のトータルエネルギー量を測定する。その時のFRI変動指数(Flow Rate Index)が1に近いほど流動速度に対して安定していると言える。FRI変動指数=(10mm/sのデータ)/(100mm/sのデータ)。
.. Fluidity test: As described above, the powder flow characteristics when the powder filled in the measurement container is allowed to flow from a static state are observed. Measure the total energy amount 7 times continuously with the blade tip rotation speed as 100mm / sec. Table 7 shows the total energy amount for the seventh time (referred to as basic fluidity energy because it is the most stable state). The smaller the value, the higher the fluidity.
・ ・ Stability test: Following the fluidity test, measure the total energy when the blade rotation speed is changed from 100 mm / sec → 70 mm / sec → 40 mm / sec → 10 mm / sec. It can be said that the FRI fluctuation index (Flow Rate Index) at that time is closer to 1, and the flow rate is more stable. FRI fluctuation index = (10 mm / s data) / (100 mm / s data).

<注>
1)工程(A1)で得られた分散液の親水性球状シリカ微粒子の粒子径
2)最終的に得られた疎水性シリカ微粒子の粒子径
<Note>
1) Particle size of hydrophilic spherical silica fine particles of dispersion obtained in step (A1) 2) Particle size of hydrophobic silica fine particles finally obtained

<実施例6>
熱伝導性シートの作製
実施例4の金属珪素粉末100g、エポキシ樹脂(東都化成社製、商品名「YSLV−80XY」)11.3g、クレゾールノボラック樹脂(東都化成社製、商品名「YDCN−701」)11.3g、硬化促進剤(三フッ化ホウ素モノエチルアミン)0.26gを小型粉砕機に投入してこれらを混合し、樹脂組成物を作製した。
この樹脂組成物を、金型を用いてプレス成形(180℃×10分間)によりシート化して、熱伝導性シート(厚み0.2mm)を作製した。
<Example 6>
Preparation of Thermal Conductive Sheet 100 g of metal silicon powder of Example 4, 11.3 g of epoxy resin (trade name “YSLV-80XY”, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), cresol novolac resin (trade name “YDCN-701, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) “] 11.3 g and a curing accelerator (boron trifluoride monoethylamine) 0.26 g were put into a small pulverizer and mixed to prepare a resin composition.
This resin composition was formed into a sheet by press molding (180 ° C. × 10 minutes) using a mold to produce a heat conductive sheet (thickness 0.2 mm).

(評価)
前記熱伝導性シートについて、熱伝導率ならびに絶縁破壊電圧の測定を実施した。なお、熱伝導率は、アイフェイズ社製、商品名「ai−phase mobile」により熱拡散率を求め、さらに、示差走査熱量計(DSC)を用いた測定により熱伝導性シートの単位体積あたりの熱容量を測定し、先の熱拡散率に乗じることにより算出した。
絶縁破壊電圧は、常温の絶縁油(JIS C 2320に規定された1種2号絶縁油)中で1kV/minの昇圧速度で測定した。さらに、各熱伝導性シートの脆さを指触にて判定し、取り扱いが良好で成形時における支障が生じないと見られるものを「○」、やや脆い感じがあるものの実用上問題ない普通レベルと感じられるものを「△」、もろく、成形時に慎重な取り扱いを要するものを「×」として判定した。
結果を表3に示す。
(Evaluation)
About the said heat conductive sheet, the heat conductivity and the dielectric breakdown voltage were measured. In addition, thermal conductivity calculates | requires a thermal diffusivity by the product name "ai-phase mobile" by an eye phase company, Furthermore, per unit volume of a heat conductive sheet by the measurement using a differential scanning calorimeter (DSC). The heat capacity was measured and calculated by multiplying the previous thermal diffusivity.
The dielectric breakdown voltage was measured at a pressure increase rate of 1 kV / min in normal temperature insulating oil (Type 1 No. 2 insulating oil specified in JIS C 2320). Furthermore, the brittleness of each thermal conductive sheet is judged by touch, and “○” indicates that the handling is good and does not cause any trouble during molding. What was felt as “△” was judged as “△”, and what was fragile and required careful handling at the time of molding was judged as “x”.
The results are shown in Table 3.

<比較例6>
上記実施例6の金属珪素粉末100gを未処理の金属珪素粉100gとした以外は実施例6と同様にして熱伝導性シート(厚み0.2mm)を作製し、評価を行った。その結果を表3に示す。
<Comparative Example 6>
A heat conductive sheet (thickness 0.2 mm) was prepared and evaluated in the same manner as in Example 6 except that 100 g of the metal silicon powder of Example 6 was changed to 100 g of untreated metal silicon powder. The results are shown in Table 3.

Claims (6)

(A1)4官能性シラン化合物、その部分加水分解縮合生成物またはこれらの混合物を、加水分解および縮合することによって実質的にSiO2単位からなる親水性球状シリカ微粒子を得る工程と、
(A2)該親水性球状シリカ微粒子の表面に、RSiO3/2単位(式中、Rは置換または非置換の炭素原子数1〜20の1価炭化水素基である)を導入する工程と、
(A3) R 3SiO1/2単位(式中、各Rは同一または異なり、置換または非置換の炭素原子数1〜6の1価炭化水素基である)を導入する工程と
を含む方法により粒子径が0.005〜1.0μmの範囲で、粒度分布D90/D10の値が3以下であり、かつ平均円形度が0.8〜1である疎水性球状シリカ微粒子(1)を製造し、
該疎水性球状シリカ微粒子(1)を金属珪素粉末に、該金属珪素粉末の質量の0.01〜5.0質量%の量で添加し、混合して、該疎水性球状シリカ微粒子(1)を該金属珪素粉末の表面に付着させることを特徴とする粉末の製造方法。
(A1) a step of obtaining hydrophilic spherical silica fine particles substantially consisting of SiO 2 units by hydrolyzing and condensing a tetrafunctional silane compound, a partially hydrolyzed condensation product thereof, or a mixture thereof;
(A2) R 1 SiO 3/2 unit (wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms) is introduced onto the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles. Process,
(A3) introducing a R 2 3 SiO 1/2 unit (wherein each R 2 is the same or different and is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms). According to the method , hydrophobic spherical silica fine particles (1) having a particle size in the range of 0.005 to 1.0 μm , a particle size distribution D90 / D10 value of 3 or less and an average circularity of 0.8 to 1 are produced.
The hydrophobic spherical silica fine particles (1) are added to the metal silicon powder in an amount of 0.01 to 5.0% by mass with respect to the mass of the metal silicon powder, mixed, and the hydrophobic spherical silica fine particles (1). Is made to adhere to the surface of the metal silicon powder.
前記疎水性球状シリカ微粒子(1)の製造方法が、
(A1)一般式(I):
Si(OR34 (I)
(式中、各R3は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される4官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物またはこれらの混合物を、塩基性物質の存在下、親水性有機溶媒と水の混合液中で加水分解及び縮合することによって実質的にSiO2単位からなる親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得、
(A2)得られた該親水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(II):
Si(OR43 (II)
(式中、Rは置換または非置換の炭素原子数1〜20の一価炭化水素基、各R4は同一または異種の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)で示される3官能性シラン化合物、その部分加水分解生成物、またはこれらの混合物を添加して該親水性球状シリカ微粒子の表面を処理することにより、該親水性球状シリカ微粒子の表面にRSiO3/2単位(Rは前記の通りである)を導入して第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を得、
(A3)得られた該第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液に、一般式(III):
3SiNHSiR 3 (III)
(式中、各Rは同一または異種の置換または非置換の炭素原子数1〜6の一価炭化水素基である)
で示されるシラザン化合物、一般式(IV):
3SiX (IV)
(式中、Rは一般式(III)で定義した通りであり、XはOH基または加水分解性基である)で示される1官能性シラン化合物、またはこれらの混合物を添加して、前記第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面をこれにより処理して、該第一の疎水性球状シリカ微粒子の表面にR 3SiO1/2単位(Rは一般式(III)で定義した通りである)を導入することにより第二の疎水性シリカ微粒子を得る方法である、請求項1記載の粉末の製造方法
A method for producing the hydrophobic spherical silica fine particles (1) comprises:
(A1) General formula (I):
Si (OR 3 ) 4 (I)
(Wherein each R 3 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms), a tetrafunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof, In the presence of a substance, a mixed solvent dispersion of hydrophilic spherical silica fine particles substantially consisting of SiO 2 units is obtained by hydrolysis and condensation in a mixed liquid of a hydrophilic organic solvent and water,
(A2) In the mixed solvent dispersion of the obtained hydrophilic spherical silica fine particles, the general formula (II):
R 1 Si (OR 4 ) 3 (II)
Wherein R 1 is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and each R 4 is the same or different monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. The surface of the hydrophilic spherical silica fine particles is treated with R 1 SiO 3 / by adding a trifunctional silane compound, a partial hydrolysis product thereof, or a mixture thereof to treat the surface of the hydrophilic spherical silica fine particles. 2 units (R 1 is as described above) were introduced to obtain a mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles,
(A3) In the mixed solvent dispersion of the obtained first hydrophobic spherical silica fine particles, the general formula (III):
R 2 3 SiNHSiR 2 3 (III)
(In the formula, each R 2 is the same or different substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms)
Silazane compounds represented by general formula (IV):
R 2 3 SiX (IV)
(Wherein R 2 is as defined in the general formula (III), X is an OH group or a hydrolyzable group), or a mixture thereof, The surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles is treated thereby, and R 2 3 SiO 1/2 units (R 2 is defined by the general formula (III) are formed on the surface of the first hydrophobic spherical silica fine particles. The method for producing a powder according to claim 1, wherein the second hydrophobic silica fine particles are obtained by introducing
工程(A2)で得られた第一の疎水性球状シリカ微粒子の混合溶媒分散液を、工程(A3)に付す前に濃縮する、請求項2記載の粉末の製造方法The method for producing a powder according to claim 2, wherein the mixed solvent dispersion of the first hydrophobic spherical silica fine particles obtained in the step (A2) is concentrated before being subjected to the step (A3). 請求項1〜のいずれか1項記載の方法により粉末を得、得られた粉末を、樹脂100質量部に対して0.01〜600質量部添加することを特徴とする樹脂組成物の製造方法 Preparation of claim 1 to obtain a powder by the method according to any one of 3, the obtained powder, the resin composition is characterized by adding from 0.01 to 600 parts by weight per 100 parts by weight resin Way . 前記樹脂が、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂;ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等のポリアミド;ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変成樹脂、ABS樹脂、AAS(アクリロニトリル・アクリルゴム・スチレン)樹脂、AES(アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム・スチレン)樹脂から選ばれる1種又はそれ以上である、請求項記載の樹脂組成物の製造方法The resin is an epoxy resin, silicone resin, phenol resin, melamine resin, urea resin, unsaturated polyester, fluororesin; polyamide such as polyimide, polyamideimide, or polyetherimide; polyester such as polybutylene terephthalate or polyethylene terephthalate; polyphenylene sulfide , Fully aromatic polyester, polysulfone, liquid crystal polymer, polyethersulfone, polycarbonate, maleimide modified resin, ABS resin, AAS (acrylonitrile / acrylic rubber / styrene) resin, AES (acrylonitrile / ethylene / propylene / diene rubber / styrene) resin The manufacturing method of the resin composition of Claim 4 which is 1 type or more to be used . 請求項又は記載の方法により樹脂組成物を得、得られた樹脂組成物を成形することを特徴とする熱伝熱性シートの製造方法

A method for producing a heat and heat conductive sheet , comprising: obtaining a resin composition by the method according to claim 4 or 5; and molding the obtained resin composition.

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