JP5993668B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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初期設定として、一次電子線62の収差補正器10への入射位置を光軸60上とし(s、t)=(0、0)、イメージシフトのカウンタ(nx、ny)=(―Nx、―Ny)に設定し、イメージシフト座標(x、y)=(―NxX/Nx、―NyY/Ny)に設定する。
イメージシフトの位置を座標(nxX/Nx、nyY/Ny)に移動する。
単位加速電圧に対する移動ベクトル(vx(nx、ny)、vy(nx、ny))を測定する。単位加速電圧に対する移動ベクトル(vx、vy)の測定法は実施例2に準じ、異なる2種類以上の加速電圧における一次電子線62の試料18への照射位置のズレ(ベクトル)から求められる。得られた単位加速電圧に対する移動ベクトルはイメージシフト座標もしくはカウンタと関連づけされて、ともにストレージ上に記録される。
カウンタnxの判定を行う。nx<Nxなら、ステップ(S13a)へ進み、カウンタnxに1を足してステップ(S11)へ戻る。
nx=Nxならステップ(S13b)へ進み、カウンタnxを−Nxに設定する。
カウンタnyの判定を行う。ny<Nyなら、ステップ(S14a)へ進み、カウンタnyに1を足してステップ(S11)へ戻る。ny=Nyならステップ(S14b)へ進み、(nx、ny)=(0、0)つまりイメージシフト座標(x、y)=(0、0)(イメージシフトなし、試料18と軸60の交点)に設定する。
一次電子線62の収差補正器10への入射位置(s、t)を座標(msS/Ms、mtT/Mt)に移動する。このとき、前述の通り、偏向器8は偏向器7がイメージシフトの位置と角度を変えないよう動作している。
単位加速電圧に対する移動ベクトル(vs(ms、mt)、vt(ms、mt))を測定する。測定法はステップ(S12)と同じ。得られた(vs(ms、mt)、vt(ms、mt))は入射位置(s、t)=(msS/Ms、mtT/Mt)もしくはカウンタ(ms、mt)と関連づけされて、ともにストレージ上に記録される。
カウンタmsの判定を行う。ms<Msなら、ステップ(S17a)へ進み、カウンタmsに1を足してステップ(S15)へ戻る。
ms=Msならステップ(S17b)へ進み、カウンタmsを−Msに設定する。
カウンタmtの判定を行う。mt<Mtなら、ステップ(S18a)へ進み、カウンタmtに1を足してステップ(S15)へ戻る。
mt=Mtならステップ(S19)へ進む。
(nx、ny)についてストレージ上に保存された(vx(nx、ny)、vy(nx、ny))に対して、(vs(ms、mt)、vt(ms、mt))との和をとり、絶対値を算出し、絶対値が最小となる(ms、mt)を求める。得られた、(nx、ny)と(ms、mt)の組み合わせ、もしくは、イメージシフト座標(nxX/Nx、nyY/Ny)と入射座標(msS/Ms、mtT/Mt)の組み合わせをテーブルデータとして保存する。
Claims (8)
- 荷電粒子線を試料に照射させる照射光学系と、前記荷電粒子線の照射により前記試料から発生する荷電粒子を検出する検出光学系とを備えた荷電粒子線装置において、
前記照射光学系は、
荷電粒子線を放出する荷電粒子銃と、
前記荷電粒子線を試料に集束させる対物レンズと、
前記荷電粒子銃と前記対物レンズとの間に配置された収差補正器と、
前記収差補正器からの前記荷電粒子線を偏向しイメージシフトを行う第1の偏向手段と、
前記イメージシフトの移動量に基づいて、前記収差補正器への前記荷電粒子線の偏向量を制御する第2の偏向手段と、を有する荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記収差補正器は、前記イメージシフトの移動量と第2の偏向手段の偏向量とに基づいて,収差量を変化させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御は、前記イメージシフトによる色収差が最小となる位置へ前記荷電粒子線の入射位置を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3の荷電粒子線装置において、
前記第2の偏向手段の偏向量は、偏向色収差補正量を最小にする量であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御は、照射光学系の色分散が最小となる収差補正器への位置へ前記荷電粒子線の入射位置を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5の荷電粒子線装置において、
前記収差補正器は、前記荷電粒子線の入射位置に基づいて、照射光学系に生じる幾何収差を補正するように前記収差補正器の極子場の強度を変化させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
荷電粒子線装置は、測定する領域内において、前記イメージシフトの移動量と前記収差補正器の極子場の強度とに基づき、前記収差補正器への前記荷電粒子線の偏向量を記憶した記憶部を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、さらに
前記照射光学系は照射する前記荷電粒子線の電圧を一時的に増減させる電圧増減手段と,
前記イメージシフトを行いかつ前記電圧増減手段により電圧を増減させた複数の状態にて、複数の画像を取得する画像取得手段と,
前記複数の画像に基づき、前記イメージシフトにて増減させた電圧における一定の電圧あたりの前記荷電粒子線の照射位置の移動ベクトルを計算する移動ベクトル計算手段と、を有し、
前記第2の偏向手段は、前記移動ベクトルの大きさが最小となるよう前記収差補正器への前記荷電粒子線の入射位置を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
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