JP5986924B2 - 回転機械の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、回転機械の製造において行われる車室内面へのめっき施工に関する。

例えば、遠心圧縮機やタービン等の回転機械には、回転軸、羽根部等の回転体を外周側から覆う車室が設けられている。この車室の内部は作動流体に曝されるため、例えばこの作動流体が二酸化炭素である場合には、車室内面に防食対策としてめっきが施工されている。

ここで、このようなめっき施工は通常、めっき槽内のめっき液に車室を浸漬することによって行われるが、回転機械の車室は寸法に応じた大容量のめっき槽が必要になり、コストアップが避けられないのが現状である。

ところで、特許文献１には、長尺管の内部にめっき液を圧送することで、めっき槽を用いることなく長尺管の内面のめっきを施工するめっき方法が開示されている。

特開平８―３１９５７６号公報

しかしながら、特許文献１のめっき方法を用いればめっき槽が不要となり、コスト抑制につながるものの、車室は寸法が非常に大きいものである。このため、特許文献１の方法を回転機械の車室内面のめっき施工に適用しようとした場合には、めっき施工に供される各液体を車室内面に供給排出する際に、車室内面にこれら液体が接触する時間が車室内面全域で不均一となってしまう。例えば、仮に下方から液体を排出しようとする場合、下方の車室内面での液体の接触時間が長くなってしまう。従って、めっき品質が低下するおそれがある。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、コストを抑制しながら、めっき品質を確保可能な回転機械の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
即ち、本発明に係る回転機械の製造方法は、複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室を形成する車室形成工程と、前記車室形成工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ予熱液を供給した後に排出して該車室の予熱を行う予熱工程と、予熱工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、該車室の内面のめっきを行うめっき工程と、前記めっき工程によってめっきされた前記車室に、内部車室、回転軸及びインペラの組み付けを行う組立工程と、を備え、前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液の供給時及び排出時におけるこれらの液面よりも上方の範囲の前記車室の内面に、これら前処理液、予熱液、めっき液のうち各工程に対応する液体を処理液補助供給手段によって供給することを特徴とする。

このような回転機械の製造方法によると、車室に形成された開口部から、前処理液による車室内面の活性化、予熱液による車室の予熱を行い、さらにめっき液の循環によるめっき施工を行う。この際、各液体は、供給時には車室下方から車室内に貯留され、排出時には上方から減少していく。従って、上方の車室内面はこれら液体と接触する時間が短くなり、一方で下方の車室内面はこれら液体と接触する時間が長くなる。ここで、各工程における液体の液面の上下変動に応じて、処理液補助供給手段が、液面よりも上方の車室内面に各液体を供給することで、車室内面全域にわたって、各液体の接触時間を均一にすることができる。よって、車室全体を浸漬するような予熱槽やめっき槽を不要としながら、均一なめっき施工が可能となる。

また、前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記処理液補助供給手段によって前記車室の内面に、前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液のうち各工程に対応する液体が散布されてもよい。

このように、処理液補助供給手段が液面よりも上方の車室内面に各液体を散布して供給することで、より効率的に液体を車室内面に接触させることができる。さらに、各液体を散布することによって、開口部等の形状が複雑となっている部分へも液体を供給可能となり、均一なめっき施工を可能としてめっき品質の向上が可能となる。

さらに、前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記処理液補助供給手段が移動しながら前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液が散布されてもよい。

このようにすることで、液面変動に応じて処理液補助供給手段が移動可能となるため、より確実に車室の内面に各液体を接触させることができるため、めっき品質のさらなる向上が可能となる。

本発明の回転機械の製造方法によると、処理液補助供給手段を用いたことで、コストを抑制しながら均一なめっき施工が可能となり、めっき品質を確保できる。

本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法で製造される遠心圧縮機を示す概略断面図である。 本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法の手順を示すフロー図である。 本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、ノズル部材による各液体の供給の様子を示す斜視図である。 本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、ノズル部材による各液体の供給の様子を示す斜視図である。 本発明の第三実施形態に係る遠心圧縮機の製造方法に関し、ノズル部材による各液体の供給の様子を示す斜視図である。

〔第一実施形態〕
以下、本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機（回転機械）１００の製造方法について説明する。
本実施形態で製造される遠心圧縮機１００は、流体Ｆを取り込んで、軸線Ｏに沿って流通させることで流体Ｆの昇圧を行う装置である。
図１に示すように、この遠心圧縮機１００は、円筒状をなす車室１と、車室１によって外周側から覆われるようにして車室１との間で相対回転不能に設けられた内部車室２と、内部車室２によって外周側から覆われて、内部車室２との間で相対回転可能に設けられた回転軸（回転体）３及びインペラ（回転体）４とを備えている。

回転軸３は、軸線Ｏを中心とした柱状をなして、軸線Ｏ方向に延在している。またインペラ４は軸線Ｏ方向に所定の間隔をあけて複数段が回転軸３に外嵌されて、回転軸３とともに軸線Ｏを中心に回転する。

内部車室２は、回転軸３、及びインペラ４を支持する。またこの内部車室２には、不図示の流路が各インペラ４間に形成されており、この流路を介して最前段のインペラ４から最後段のインペラ４へ、段階的に流体Ｆを流通させて昇圧を行う。

車室１は、軸線Ｏを中心として、軸線Ｏの一方側（図１の紙面に向かって左側）の上流側開口部１０及び他方側の下流側開口部１１とが形成された円筒状をなし、遠心圧縮機１００の外形を形成している。この車室１は、本実施形態では軸線Ｏの一方側の端部において、軸線Ｏの径方向内側に向かって環状に突出する形状をなしており、これによって下流側開口部１１と比較して上流側開口部１０の開口径の方が小さくなっている。
さらに、この車室１は、外周面から軸線Ｏの径方向外側に向かって突出するように、上流側となる軸線Ｏ方向の一方側の端部に設けられた流体の吸入口（開口部）５と、他方側の端部に設けられた流体の排出口（開口部）６とを有している。本実施形態では、この車室１は分割面を有さず、一体の筒状部材となっている。

吸入口５には、車室１の内外を連通するように軸線Ｏの径方向に車室１を貫通する吸入流路ＦＣ１が形成されており、この吸入流路ＦＣ１は最前段のインペラ４内に連通して、外部から流体Ｆを取り込んでこのインペラ４へ流入可能としている。

排出口６にも同様に、車室１の内外を連通するように軸線Ｏの径方向に貫通する排出流路ＦＣ２が形成されており、またこの排出流路ＦＣ２は最後段のインペラ４内に連通して、このインペラ４から外部へ流体Ｆを排出可能としている。

次に、上記遠心圧縮機１００の製造方法（めっき方法を含む）について、まず製造工程の概要について説明し、その後、各工程の詳細を説明する。
図２に示すように遠心圧縮機１００の製造方法は、車室１を形成する車室形成工程Ｓ０と、車室形成工程Ｓ０の後に車室１の内面１ａのめっき施工の準備を行う準備工程Ｓ１と、準備工程Ｓ１の後に車室１内に前処理液Ｗ１を供給して車室１の内面１ａの活性化を行う表面活性化工程Ｓ２とを備えている。
さらに、遠心圧縮機１００の製造方法は、表面活性化工程Ｓ２の後に車室１内を洗浄する洗浄工程Ｓ３と、洗浄工程Ｓ３の後に車室１内に予熱液Ｗ２を供給して車室１の予熱を行う予熱工程Ｓ４と、予熱工程Ｓ４の後に車室１内にめっき液Ｗ３を供給して車室１の内面１ａのめっきを行うめっき工程Ｓ５と、めっき工程Ｓ５の後に車室１の仕上げを行う車室仕上げ工程Ｓ６とを備えている。
そして、車室仕上げ工程Ｓ６の後に車室１に内部車室２、回転軸３、インペラ４を組み込む組立工程Ｓ７を備え、これらの工程を経て最終的な遠心圧縮機１００が製造される。

まず、車室形成工程Ｓ０を実行する。即ち、鋳造等、機械加工を用いて筒状の車室１を形成する。

次に、準備工程Ｓ１を実行する。即ち、車室１のめっき不要部分等にマスキングを行う。その後、軸線Ｏ方向が鉛直方向に一致するように、また吸入口５が下方に配されるように車室１を載置する。この時点で、下流側開口部１１が上方を向いて載置されるため、車室１における全ての開口部である吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１のうちで、最大の開口部が上方を向いた状態となる。

そして、準備工程Ｓ１では、さらに、上流側開口部１０に蓋をして、上流側開口部１０からの液体の漏洩を防止する。さらに、ポンプ１５及びタンク１６（図３を参照）を設置して配管１６ａを吸入口５及び排出口６に接続する。

ここで、タンク１６の詳細は図示しないが、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の三種の液体を各々分離して貯留可能となっており、各工程で使用される液体を別々に上記配管１６ａを通じて車室１内に供給し、また車室１内から排出された液体を回収するようになっている。また、各液体のｐＨ値、濃度、温度は常時所定値となるように適宜調整される。

また、この準備工程Ｓ１では、車室１の内面１ａへアルカリ性溶液などの脱脂液を吹きつけて、内面１ａの脱脂等の処理を行う。この脱脂液としては、例えば水酸化ナトリウム、ケイ酸塩，界面活性剤などの混合物が用いられる。そして内面１ａの処理を行った後に、内面１ａに水を吹きつけて水洗する。

次に、表面活性化工程Ｓ２を実行する。即ち、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へ前処理液Ｗ１を供給して車室１内を前処理液Ｗ１で満たす。その後、前処理液Ｗ１を車室１の排出口６より排出してタンク１６に回収し、車室１の内面１ａの酸化皮膜を除去して内面１ａの活性化を行う。
前処理液Ｗ１としては例えば、室温に調整された塩酸等の酸液が用いられる。

さらに、図３に示すように表面活性化工程Ｓ２では、処理液補助供給手段としてノズル部材１８が、下流側開口部１１から挿入された状態で工程が実行される。
ここで、このノズル部材１８は、軸線Ｏ方向に延在して車室１の外部に配された筒状の本体部１８ａと、本体部１８ａに連通するとともに本体部１８ａの先端から車室１の内面１ａにむかって延びて、軸線Ｏの周方向に間隔をあけて複数設けられた分岐管１８ｂとを有している。そして、本体部１８ａはタンク１６に配管１７、ポンプ１９を介して接続されており、表面活性化工程Ｓ２の実行中に前処理液Ｗ１が分岐管１８ｂから車室１の内面１ａに向かって供給される。なお、ノズル部材１８は車室１内に挿入されていなくともよく、少なくとも分岐管１８ｂが車室１の内面１ａに向かって開口していればよい。

そして、表面活性化工程Ｓ２の後に、洗浄工程Ｓ３を実行する。即ち、前処理液Ｗ１によって活性化を行った車室１の内面１ａに対してスプレーを用いて水洗を行う。

次に、予熱工程Ｓ４を実行する。即ち、洗浄工程Ｓ３によって水洗された車室１に対して、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へ予熱液Ｗ２を供給して車室１内を予熱液Ｗ２で満たす。その後、予熱液Ｗ２を車室１の排出口６より排出してタンク１６に回収し、めっき施工前に車室１の温度を上昇させる。
予熱液Ｗ２としては例えば、９０℃程度の温度に調整された還元剤を含む水溶液が用いられ、還元剤としては例えば、次亜リン酸ナトリウム等が用いられるが、その他一般的に用いられる還元剤であってもよい。
ここで、予熱工程Ｓ４の実行後に水洗を行ってもよい。

さらに、図３に示すように予熱工程Ｓ４では、表面活性化工程Ｓ２と同様に、ノズル部材１８が、下流側開口部１１から挿入された状態で工程が実行され、予熱工程Ｓ４の実行中に予熱液Ｗ２が分岐管１８ｂから車室１の内面１ａに向かって供給される。

次に、めっき工程Ｓ５を実行する。即ち、予熱工程Ｓ４で予熱された車室１に対して、タンク１６からポンプ１５によって吸入口５へめっき液Ｗ３を供給して車室１内をめっき液Ｗ３で満たす。この状態で排出口６からめっき液Ｗ３を排出してタンク１６に回収し、車室１内にめっき液Ｗ３が満たされた状態でめっき液Ｗ３を循環させ、車室１の内面１ａのめっきを行う。
めっき液Ｗ３としては例えば、９０℃程度の温度に調整された無電解ニッケルめっき液が用いられる。

さらに、図３に示すようにめっき工程Ｓ５では、予熱工程Ｓ４、表面活性化工程Ｓ２と同様に、ノズル部材１８が、下流側開口部１１から挿入された状態で工程が実行され、めっき工程Ｓ５の実行中にめっき液Ｗ３が分岐管１８ｂから車室１の内面１ａに向かって供給される。

次に、車室仕上げ工程Ｓ６を実行する。即ち、まず、めっきが施された車室１の内面１ａに対してスプレーを用いて水洗を行った後に乾燥させ、車室１が完成される。また場合によっては、ベーキング処理（水素脆性除去）を施してもよい。

最後に、組立工程Ｓ７を実行する。即ち、車室１に、内部車室２、回転軸３、インペラ４の組み付けを行い、遠心圧縮機１００が製造される。

このような遠心圧縮機１００の製造方法においては、車室１に形成された吸入口５から前処理液Ｗ１を供給し、また排出口６から排出することで、前処理液Ｗ１を車室１の内面１ａの活性化を行い、同様に予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の供給、排出をこれら吸入口５及び排出口６から行うことで、車室１の内面１ａへのめっき施工を行うことができる。

即ち、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５では、車室１全体を浸漬するような予熱槽やめっき槽を不要としながら、車室１の内面１ａのめっき施工が可能である。

ところで、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の各液体は、供給時には車室１の下方から車室１内に貯留され、排出時には上方から減少していくこととなる。従って、上方の車室１の内面１ａではこれら液体と接触する時間が短くなり、一方で下方の車室１内面１ａではこれら液体と接触する時間が長くなる。特に、大型の車室１においてはこのような状況は顕著に生じる。

ここで、本実施形態ではノズル部材１８によって、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５の各工程に用いられる各液体をノズル部材１８によって、別途、車室１内面１ａの上方から供給することができる。従って、各工程における液体の供給排出時の車室１の内面１ａの液面ＳＦの上下変動に応じて、ノズル部材１８が、液面ＳＦよりも上方の車室１の内面１ａに各液体を供給することが可能となり、車室１の内面１ａ全域にわたって、各液体の接触時間を均一にすることができる。よって、車室１全体を浸漬するような予熱槽やめっき槽を不要としながら、均一なめっき施工が可能となる。

本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、車室１に形成された吸入口５、排出口６を利用して前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３を供給、排出することでコストを抑制し、さらに、ノズル部材１８による各液体の供給によってめっき品質を確保可能である。

ここで、本実施形態では、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３は、車室１の吸入口５から供給し、排出口６から排出するようにしているが、これに限定されず、逆に排出口６から供給し、吸入口５から排出してもよい。また、供給、排出に利用する吸入口５、排出口６が複数存在する場合には、各液体の供給、排出にこれら複数の吸入口５、排出口６を用いてもよいし、このような場合であっても、一つの開口部のみを液体の供給排出に用いてもよい。さらに、上流側開口部１０、下流側開口部１１等を各液体の供給、排出に利用してもよい。また、吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１以外であっても、車室１に形成された他の開口部を通じて各液体の供給排出を行うことも可能である。

さらに、吸入口５、排出口６の中で、特に高い耐食性が要求される開口部については、ステンレス材を用いて肉盛りを行う場合もある。このような開口部に対しては、めっき施工を行う必要はないため、複数の開口部のうちでめっきが必要な開口部から前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３を供給し、排出することによって、車室１の内面１ａのめっきとともに、これら開口部のめっきが可能となる。よって、より効率的に車室１のめっきが可能となる。
例えば、サイドストリームタイプの圧縮機では、吸入口５が二つ、排出口６が一つ設けられているため、これら吸入口５、排出口６のうちで液体の供給排出を行う開口部を適宜選択することが可能である。

また、予熱工程Ｓ４で用いる予熱液Ｗ２には還元剤を必ずしも含有させなくともよい。

さらに、予熱液Ｗ２の排出が完全に完了する前に、めっき液Ｗ３の供給を開始しても構わない。

また、車室１は下流側開口部１１が上方を向いた状態で載置されて、各液体の供給排出が行われているが、例えば軸線Ｏ方向が水平方向となるように、即ち上流側開口部１０、下流側開口部１１の開口方向が水平方向となるように、車室１を載置して各液体の供給排出を実行してもよい。この場合には、ノズル部材１８は、上流側開口部１０、下流側開口部１１、吸入口５、排出口６のいずれの開口部から挿入して設置してもよいが、分岐管１８ｂが車室１の内面１ａのうちの最も上部に向かって開口するように設置する必要がある。

また、準備工程Ｓ１、洗浄工程Ｓ３、車室仕上げ工程Ｓ６で、車室１内をスプレーで水洗するが、これに代えて、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ３と同様に、吸入口５、排出口６、上流側開口部１０、下流側開口部１１を利用して水の供給、排出を行い、車室１の内面１ａの水洗を行ってもよい。予熱工程Ｓ４後に水洗を行う場合も同様である。

〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５で用いられるノズル部材（処理液補助供給手段）２１が、第一実施形態とは異なっている。

図４に示すように、ノズル部材２１は、軸線Ｏの方向に延在する筒状の本体部２１ａと、本体部２１ａの先端で軸線Ｏの径方向外側に延びて車室１の内面１ａに向かって開口する複数の分岐管２１ｂとを有している。

そして、ノズル部材２１は、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の各液体の液面ＳＦよりも上部に配されて、分岐管２１ｂの開口が車室１の内面１ａと径方向に対向するように車室１内に挿入され、各工程に対応する液体を車室１の内面１ａに噴射して散布するスプレーノズルとなっている。このノズル部材２１は詳細は図示しないが、例えば、ポンプ等によって各液体に圧力を付与することで、液体の散布を可能としている。

本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、ノズル部材２１としてスプレーノズルを用いることで、液面ＳＦよりも上方の車室１の内面１ａに各液体を散布して供給できるため、各工程での液面ＳＦの上下変動に対応して、より効率的に液体を車室１の内面１ａに接触させることが可能である。さらに、吸入流路ＦＣ１、排出流路ＦＣ２の内部等、形状が特異となっている部分にも確実に液体を散布して供給可能であるため、めっき品質の向上を図ることができる。

なお、例えば、ノズル部材２１は液面ＳＦの上部に配されるように、好ましくは分岐管２１ｂの開口が車室１の最上部の内面に対向して配されるように、手動で操作されてもよいし、センサ等によって液面ＳＦを検知して制御装置によって自動で上下動されてもよい。

〔第三実施形態〕
次に、本発明の第三実施形態に係る遠心圧縮機１００の製造方法について説明する。
なお、第一実施形態及び第二実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態では、表面活性化工程Ｓ２、予熱工程Ｓ４、めっき工程Ｓ５で用いられるノズル部材（処理液補助供給手段）３１が、第一実施形態及び第二実施形態とは異なっている。

図５に示すように、ノズル部材３１は、軸線Ｏ方向に延在する筒状の本体部３１ａと、本体部３１ａ外周面上に周方向、軸線Ｏ方向に間隔をあけて設けられ、径方向外側に延びるとともに車室１の内面１ａに向かって開口する複数の分岐管３１ｂとを有している。

そして、ノズル部材３１は、前処理液Ｗ１、予熱液Ｗ２、めっき液Ｗ３の各液体の液面ＳＦよりも上部に配されて、分岐管３１ｂの開口が車室１の内面１ａと径方向に対向するように車室１内に挿入され、各工程に対応する液体を車室１の内面１ａに噴射して散布するスプレーノズルとなっている。このノズル部材３１については詳細は図示しないが、第二実施形態と同様に例えば、ポンプ等によって各液体に圧力を付与することで、液体の散布を可能としている。

また、このノズル部材３１は、不図示の電動機等によって上下移動、軸線Ｏ回りの回転移動が可能となっている。

本実施形態の遠心圧縮機１００の製造方法によると、ノズル部材３１が上下移動、回転移動しながら各工程での各液体の散布による供給が可能となる。即ち、液体の噴射範囲、噴射方向を様々に選択できるため、確実に車室１の内面１ａに各液体を接触させることが可能となる。よって、めっき品質のさらなる向上を図ることができる。

以上、本発明の実施形態について詳細を説明したが、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内において、多少の設計変更も可能である。
上述の実施形態では、第一実施形態から第三実施形態については、円筒型の車室１についての説明を行ったが、これらの遠心圧縮機１００の製造方法を水平分割型の車室１に対して適用してもよい。この場合、車室１は反割れの状態で、かつ分割側の開口部が上方を向くように載置されることが好ましい。

また、上述の実施形態では、遠心圧縮機１００について説明を行ったが、軸流式圧縮機や、タービン等の他の回転機械にも上述の製造方法を適用可能である。

１…車室 １ａ…内面 ２…内部車室 ３…回転軸（回転体） ４…インペラ（回転体） ５…吸入口（開口部） ６…排出口（開口部） １０…上流側開口部 １１…下流側開口部 １１ａ…開口縁部 １５…ポンプ １６…タンク １６ａ…配管 １７…配管 １８…ノズル部材（処理液補助供給手段） １９…ポンプ １８ａ…本体部 １８ｂ…分岐管 １００…遠心圧縮機 Ｏ…軸線 ＦＣ１…吸入流路 ＦＣ２…排出流路 Ｓ０…車室形成工程 Ｓ１…準備工程 Ｓ２…表面活性化工程 Ｓ３…洗浄工程 Ｓ４…予熱工程 Ｓ５…めっき工程 Ｓ６…車室仕上げ工程 Ｓ７…組立工程 ＳＦ…液面 Ｗ１…前処理液 Ｗ２…予熱液 Ｗ３…めっき液 ２１…ノズル部材（処理液補助供給手段） ２１ａ…本体部 ２１ｂ…分岐管 ３１…ノズル部材（処理液補助供給手段） ３１ａ…本体部 ３１ｂ…分岐管

Claims (3)

1. 複数の開口部を有して、流体を吸入、排出する回転機械の車室を形成する車室形成工程と、
   前記車室形成工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ前処理液を供給した後に排出して該車室の内面の活性化を行う表面活性化工程と、
   表面活性化工程の後に、前記開口部を通じて、前記車室内へ予熱液を供給した後に排出して該車室の予熱を行う予熱工程と、
   予熱工程の後に、前記開口部を通じて、めっき液の前記車室内への供給と前記車室内からの排出を行って循環させ、該車室の内面のめっきを行うめっき工程と、
   前記めっき工程によってめっきされた前記車室に、内部車室、回転軸及びインペラの組み付けを行う組立工程と、
   を備え、
   前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液の供給時及び排出時におけるこれらの液面よりも上方の範囲の前記車室の内面に、これら前処理液、予熱液、めっき液のうち各工程に対応する液体を処理液補助供給手段によって供給することを特徴とする回転機械の製造方法。
2. 前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記処理液補助供給手段によって前記車室の内面に、前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液のうち各工程に対応する液体を散布することを特徴とする請求項１に記載の回転機械の製造方法。
3. 前記表面活性化工程、前記予熱工程、前記めっき工程では、前記処理液補助供給手段が移動しながら前記前処理液、前記予熱液、前記めっき液を散布することを特徴とする請求項２に記載の回転機械の製造方法。

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