JP5985298B2 - 個片化物の収納装置及び収納方法 - Google Patents

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Description

本発明は、板状の被切断物を個片化して成る個片化物をトレイに収納するための装置及び方法に関する。
基板を格子状の複数の領域に区画して、各々の領域にチップ状の電子素子を装着した後、該基板全体を樹脂封止したものを樹脂封止体という。この樹脂封止体を回転刃等を用いて切断し、各領域単位に個片化したものが電子部品となる。
個片化された電子部品は、洗浄工程や外観検査工程等を経た後、所定のトレイに収納される。このトレイは熱可塑性樹脂等の樹脂を成型することにより製造され、その上面(収納面)には個々の電子部品に対応する凹状の収納部が格子状に多数設けられている。個片化された電子部品は、専用の収納装置によってトレイの各収納部に収納された後、次の工程(電子部品の実装工程等)へと搬送される。次の工程で電子部品がトレイから取り除かれると、空のトレイは熱水洗浄等を経て再び前の工程へと返却され、次の収納に備える。
トレイの各収納部に電子部品を収納するためには、上述したように専用の収納装置が使用される。例えば特許文献1及び2に記載の収納装置は、個片化された電子部品を1個又は複数個ずつ移送機構により移送し、トレイの各収納部に順次収納する。こうした収納装置では、トレイの標準的な二次元形状に関する情報(以下、「設計位置情報」という)が入力され、その設計位置情報に基づいて各収納部に電子部品が収納される。設計位置情報は、具体的には、トレイの端点や各収納部の端点の二次元座標が主なものである。
特開2010-010506号公報 特開2009-135259号公報
しかしながら、上述したトレイのサイズは、素材である樹脂の線膨張係数のばらつきや、成型時の樹脂の温度の違いによってトレイ毎に微妙に異なる。しかも、トレイを使用する度に上述した熱水洗浄を行うと、トレイが膨張と収縮を繰り返すことにより、トレイ間のサイズのばらつきが増大する。こうしたことにより、トレイの収納面に設けられた各収納部の位置のばらつきが当初の設計範囲を超えてしまい、一部の電子部品が収納装置により正しく収納部に収納されないという事態が生じる。
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、各トレイのサイズのばらつきに拘わらず、全ての電子部品を各収納部に確実に収納することが可能な収納装置及び収納方法を提供することにある。
上記課題を解決するために成された本発明の第一の態様は、板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納装置であって、
a) 前記載置台及びその上に載置されたトレイの画像を撮影する撮影手段と、
b) 前記画像より、前記載置台の所定の2つの基準点の間の距離に基づき、前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離を決定するトレイサイズ決定手段と、
c) 決定された前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離とトレイの標準的な形状に関する情報である設計位置情報から補正率を算出し、該補正率に基づいて前記設計位置情報を補正する補正手段と、
d) 前記補正後の設計位置情報に基づいて、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納手段と
を備えることを特徴とする。
上述した「個片化物」には、例えば各種の基板、該基板に電子素子等を装着したもの、それを樹脂封止したもの等を個片化したものを含む。
本収納装置は、前記載置台上に載置されたトレイの各収納部に、板状の被切断物から個片化された各個片化物を収納するための装置である。前述のとおり、トレイのサイズは様々な要因によりばらついているが、本発明に係る収納装置では、載置台上に載置されたトレイについて、その画像を載置台と共に撮影し、該画像に基づき、そのトレイのサイズを決定する。ここで、撮影した画像からトレイのサイズを決定する際、載置台の所定の2つの基準点の間の距離を基準とする。載置台の基準点としては、予め載置台上に(トレイに隠れないような位置に)マーキングしておいた標点(単純点、クロス点)でもよいし、載置台の端点などの、載置台に固定された任意の点を用いることができる。
トレイの所定の2つの基準点は、オペレータに指定させるようにしてもよいし、画像から自動的に特徴点を抽出するようにしてもよい。この特徴点としては、トレイに予め描いておいた標点(単純点、クロス点)でもよいし、例えば、トレイの左上の収納部の左端の点と右下の収納部の右下の点というように、自動的に画像認識し易い点として定めておいても良い。
個片化物収納手段は、前記載置台上に載置されたトレイの各収納部にそれぞれ個片化物を収納するように設定されているが、従来は上述したように、標準的なサイズのトレイの設計位置情報に基づいて動作するようになっていた。本発明に係る収納装置では、その載置台上に載置された実際のトレイのサイズを上記のように決定し、そのトレイの実際のサイズに基づいて各収納部に各個片化物を収納する。従って、トレイのサイズがばらついたとしても、個片化物が対応する収納部に収納できないという事態が生じることなく、全ての個片化物を各収納部に確実に収納することができるようになる。
また、本発明の第二の態様は、板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納装置であって、
a) 前記載置台の上に載置されたトレイの対向する両端間の距離を計測するトレイサイズ計測手段と、
b) 計測された前記距離に基づき、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納手段と
を備えることを特徴とする。
具体的には、前記トレイサイズ計測手段が、
前記載置台に固定された基準面から、該基準面に一方の端を当接したトレイの他方の端までの距離を計測するマイクロメータであるものとしてもよい。
或いは、前記トレイサイズ計測手段は、
前記載置台に固定された基準面と、
前記基準面に対向するように設けられた、前記基準面から検出点までの距離が既知である端面検出スイッチと、
前記載置台を前記端面検出スイッチの方向に移動させ、その移動距離を測定する移動手段と
を備えるようなものとしてもよい。
このトレイサイズ計測手段でトレイのサイズを計測する場合、まず、前記基準面に一方の端が当接するように、トレイを載置台上に載置する。そして、移動手段により載置台を端面検出スイッチの方向に移動させ(この移動方向は必ずしも基準面に垂直でなくてもよい)、端面検出スイッチが該トレイの他方の端が該端面検出スイッチの検出点に到達したことを検出するまで移動させる。前記基準面から検出点までの距離は既知であるため、この移動により測定された移動距離は、トレイのサイズに対応した値となる。従って、こうして測定された移動距離(すなわち、そのトレイのサイズ)に基づいて収納装置を制御することにより、そのトレイについて、各収納部への個片化物の収納を確実に行うことができるようになる。
さらに、本発明に係る個片化物の収納方法の第一の態様は、板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納方法であって、
a) 前記載置台及びその上に載置されたトレイの画像を撮影する撮影ステップと、
b) 前記画像より、前記載置台の所定の2つの基準点の間の距離に基づき、前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離を決定するトレイサイズ決定ステップと、
c) 決定された前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離とトレイの標準的な形状に関する情報である設計位置情報から補正率を算出し、該補正率に基づいて前記設計位置情報を補正する補正ステップと、
d) 前記補正後の設計位置情報に基づいて、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納ステップと
を有することを特徴とする。
さらにまた、本発明に係る個片化物の収納方法の第二の態様は、板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納方法であって、
a) 前記載置台の上に載置されたトレイの対向する両端間の距離を計測するトレイサイズ計測ステップと、
b) 計測された前記距離に基づき、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納ステップと
を有することを特徴とする。
本発明に係る個片化物の収納装置及び収納方法では、上述したいずれの態様においても、各トレイのサイズのばらつきに拘わらず、全ての個片化物をトレイの各収納部に確実に収納することが可能となる。
本発明の実施例1に係る収納装置の要部を示す概略構成図。 載置台上の基準点及び収納面上の指定点について説明するための概念図。 実施例1に係る収納装置の動作を示すフローチャート。 本発明の実施例2に係る収納装置の要部を示す概略構成図。 実施例2に係る収納装置においてトレイのサイズを計測する様子を示す平面拡大図。 実施例2の変形例に係る収納装置においてトレイのサイズを計測する様子を示す平面拡大図。 実施例2に係る収納装置の動作を示すフローチャート。 トレイの平面図。 トレイに設けられた収納部の平面拡大図。
本発明に係る個片化物の収納装置及び収納方法について説明する前に、本発明において電子部品(本発明の「個片化物」に相当)を収納するために用いられるトレイの一例について、図8及び図9を参照して以下に説明する。
図8にトレイの一例を示す。トレイ10は、熱可塑性樹脂を、短辺10cm、長辺30cmの矩形シート状に成型したものであり、その上面(収納面)21には凹状の空間である収納部20が格子状に形成されている。収納部20は縦横共に4.2mmの正方形状であり、その底面には該収納部20の各辺に沿うように細長い凸部25が複数設けられている。
収納部20に電子部品50が収納された状態を図9に示す。電子部品50は、複数の凸部25に囲まれた空間23に収納され、凸部25と電子部品50の間に設けられたクリアランスL1は100μmである。一方、トレイのサイズは、図8のトレイ10では、最大で±250μmもばらつくことが経験的に知られている。本発明は、このようなばらつきに拘わらず、全ての電子部品50を各収納部20に収納することができるようにしたものである。
以下、本発明の各実施例について図1〜図7を参照して説明する。
図1及び図2を参照して、本発明の第1の実施例(実施例1)に係る収納装置の構成について説明する。本実施例に係る収納装置1は、電子部品50を移送するための移送機構40と、トレイ10を載置するための載置台11と、トレイ10の収納面21を撮影するための撮影手段12と、データ処理装置30とを有する。
載置台11は、図示しない移動機構によって2次元方向に移動可能な略矩形の台であり、その上面には2個のブロック42が設けられているとともに、前記2個のブロック42を結ぶ線に直交する線上に2個のブロック44が設けられている。載置台11の近傍には、これらブロック42、44に向かってトレイ10を押圧するためのシリンダ43、45が設けられている。これらのシリンダ43、45により、載置台11に載置されたトレイ10の一方の短辺がブロック42に当接され、また、トレイ10の長辺がブロック44に当接される。
撮影手段12は、具体的にはCCDカメラ等であり、載置台11上に載置されたトレイ10の収納面21の画像を該載置台11と共に撮影することができるように、撮影方向を下方に向けて載置台11の上方に取り付けられている。
移送機構40は、電子部品50を各々吸着保持するための複数の吸着機構41を一定の間隔で備えたものである。移送機構40は、洗浄工程や外観検査工程等を経た電子部品50を各吸着機構41によって吸着保持し、トレイ10まで移動し、所定の収納部20の上で吸着を解除するという操作を繰り返すことによって、全ての電子部品50を各収納部20に収納する。
データ処理装置30は、撮影手段12から出力された画像データを格納するための画像データ記憶部31と、トレイ10の収納面21の標準的な二次元形状に関する情報(以下、「設計位置情報」という)を記憶するための設計位置情報記憶部32と、オペレータが前記画像上で指定した、収納面21上の指定点の座標を決定する位置決定部33と、画像データを設計位置情報と照合し、前記指定点の設計位置情報における座標を決定するための照合決定部34と、画像上の指定点間の距離と設計位置情報における指定点間の距離とを算出する離間距離算出部35と、これらの離間距離から補正率を算出し、該補正率に基づいて設計位置情報を補正する補正部37と、を機能ブロックとして含む。
本実施例における設計位置情報は、具体的には、トレイ10の収納面21及び各収納部20の端点、並びに各収納部20の中心点等の座標であるが、収納面21上に何らかの標点(単純点、クロス点)がマーキングしてある場合は、該標点の座標も含むものとする。各点の座標は、図2に示すように、収納面21の端点のうちの1つ(図2中では左上の端点)を原点Dとするとともに、収納面21の長辺が延びる方向をX方向、短辺が延びる方向をY方向と仮定し、原点DからX方向及びY方向の距離をμm単位で表したものとする。
表示部16は、撮影手段12によって得られた画像を表示するためのものである。操作部14は、この画像上でオペレータが収納面21の指定点を指定する等のために操作される。なお、データ処理装置30の機能の一部又は全部は、パーソナルコンピュータにインストールした専用の制御・処理ソフトウエアを実行することにより達成される。また、表示部16は液晶モニタ等であり、操作部14はキーボードやマウス等である。
次に、本実施例に係る収納装置1の各部の動作について、図2の概念図及び図3のフローチャートを参照して説明する。
まず、オペレータは、操作部14を操作し、トレイ10の設計位置情報をデータ処理装置30の設計位置情報記憶部32に入力する(図3のステップS1)。次に、トレイ10を載置台11の上に載置し、シリンダ43、45を用いてトレイ10をブロック42、44に向かって押圧することにより、トレイ10の一方の短辺をブロック42に当接させ、一方の長辺をブロック44に当接させて固定する。そして、撮影手段12によりトレイ10の収納面21の画像を載置台11と共に撮影する(ステップS2)。得られた画像データは画像データ記憶部31に格納される。
こうして得られた画像データは表示部16の画面上に表示される。オペレータは表示部16によって表示された画像上で、収納面21上の2個の指定点を操作部14でもって指定する(図3のステップS3)。本実施例では、図2に示すように、収納面21の左上の収納部20の左上の端点と右下の収納部20の右下の端点とを2個の指定点として指定するものとする。なお、前記2個の指定点は、画像上の特徴点から自動的に抽出するようにしてもよい。このような特徴点としては、上述した収納部20の端点の他、収納面21に予め描いておいた標点(単純点、クロス点)や、収納面21の端点でもよい。
こうして2個の指定点が画像上で決まると、位置決定部33は、前記2個の指定点の位置を、載置台11上の2個の基準点の位置と画像上で照合することにより、前記2個の指定点の実際の座標を決定する(ステップS4)。このような基準点として、本実施例ではブロック42、44の各頂点のうち最も離間した2個の頂点を用いるが、予め載置台11上に描いておいた標点(単純点、クロス点)や、載置台11の端点を基準点として用いてもよい。
さらに、照合決定部34は、画像データ記憶部31及び設計位置情報記憶部32から画像データ及び設計位置情報をそれぞれ取得するとともに両者を照合し、設計位置情報における前記2個の指定点の座標を決定する(ステップS5)。
こうして2個の指定点について、実際の座標と設計位置情報上の座標が決定すると、離間距離算出部35は、それぞれの指定点間の距離(図2のLdに相当)を算出する(図3のステップS6)。そして、補正部37は、これら2つの距離から設計位置情報の補正率を算出する(ステップS7)。該補正率は、2個の指定点間の実際の距離を、設計位置情報上の距離で除したものである。補正部37は設計位置情報における各点の座標間の距離に前記補正率を乗じることにより、設計位置情報を補正する(ステップS8)。最後に、移送機構40は、補正された前記座標に基づいて、電子部品50を各収納部20に移送する(ステップS9)。
本実施例では、収納面21上で指定点を2個だけ指定したが、指定点を3個以上指定しておき、それらのうち2個の各組み合わせについて補正率を求め、全組み合わせの補正率の平均を最終的な補正率とすれば、より正確な補正率を得ることができる。
なお、本実施例における位置決定部33、照合決定部34及び離間距離算出部35は本発明の「トレイサイズ決定手段」に相当し、本実施例の設計位置情報記憶部32、補正部37及び移送機構40は「個片化物収納手段」に相当する。また、上述したステップS2は本願発明の「撮影ステップ」に相当し、ステップS3〜S6は「トレイサイズ決定ステップ」に相当し、ステップS7〜S9は「個片化物収納ステップ」に相当する。
図4及び図5を参照して、本発明の第2の実施例(実施例2)に係る収納装置の構成について説明する。上述した実施例1と同じ構成要素については、同じ符号を付与して説明を略す。本実施例に係る収納装置1Aは、トレイ10の対向する両端間の距離を計測し、該距離に基づいて補正率を算出するという構成を採用している。
収納装置1Aの要部構成は、撮影手段ではなく計測手段39を有している点、及び、画像データ記憶部、照合決定部、離間距離算出部ではなく距離算出部36を有している点において、上述した実施例1と異なっている。
収納装置1Aは画像データ処理を必要としないため、表示部を有しなくてよく、また、データ処理装置30Aとしてパーソナルコンピュータよりも簡単な装置を採用することができる。従って、本実施例に係る収納装置1Aは、上述した実施例1に比べ、より低いコストで実現することが可能である。
上述した計測手段39の具体的な構成について、図5及び図6を示して以下に説明する。図5に示すように、計測手段39は、トレイ10を挟んでブロック42の反対側に位置するマイクロメータ53と、該マイクロメータ53を載置台11上で支持する支持部材51と、該支持部材51を一方のブロック42に向かって移動させるレール55と、から構成される。マイクロメータ53は、接触検出子を有する先端が前記一方のブロック42を指向するように支持部材51に取り付けられている。
図7を参照して、本実施例に係る収納装置1Aの動作について説明する。
まず、オペレータは、操作部14を操作し、トレイ10の設計位置情報をデータ処理装置30の設計位置情報記憶部32に入力する(図7のステップS1)。設計位置情報の内容は上述した実施例1と同じである。データ処理装置30の距離算出部36は、設計位置情報記憶部32からトレイ10の設計位置情報を取得し、該設計位置情報に含まれるトレイ10の端点の座標に基づいて、設計位置情報におけるトレイ10の両短辺間の距離(即ち、本発明における「対向する両端間の距離」)を算出する(ステップS2)。なお、距離算出部36を設けず、オペレータがトレイ10の両短辺間の距離を直接入力するようにしてもよい。
次に、オペレータは、トレイ10を載置台11の上に載置し、シリンダ43、45を用いてトレイ10をブロック42、44に向かって押圧することにより、トレイ10の一方の短辺をブロック42に当接させ、一方の長辺をブロック44に当接させて固定する。このとき、ブロック42がトレイ10と当接する面が、本発明における「基準面」に相当する。こうしてトレイ10を固定した後、上述した支持部材51をレール55上で移動させることにより、マイクロメータ53をトレイ10の他方の短辺に向かって移動させる。マイクロメータ53がトレイ10の他方の短辺に接触すると、マイクロメータ53は、その接触部位からブロック42の当接面までの距離(即ち、トレイ10の両短辺間の距離)を計測する(図7のステップS3)。計測された距離は補正部37に入力される。
こうしてトレイ10の両短辺間の距離が計測されると、補正部37は、計測により得られた実際の両短辺間の距離と、設計位置情報における該距離を用いて補正率を算出する(図7のステップS4)。補正率は、トレイ10の実際の両短辺間の距離を、設計位置情報における距離で除したものである。補正部37はこの補正率に基づいて設計位置情報を補正し(ステップS5)、移送機構40は補正された設計位置情報に基づいて電子部品50を各収納部20に移送する(ステップS6)。
本実施例ではトレイ10の両短辺間の距離を計測する構成としたが、両長辺間の距離を計測するようにしてもよい。
なお、本実施例の計測手段39は本発明における「トレイサイズ計測手段」に相当し、設計位置情報記憶部32、補正部37及び移送機構40は「個片化物収納手段」に相当する。また、上述したステップS3は本発明における「トレイサイズ決定ステップ」に相当し、ステップS4〜S6は「個片化物収納ステップ」に相当する。
上述した各実施例に係る電子部品の収納装置及び収納方法によれば、各トレイ10の大きさのばらつきに拘わらず、全ての電子部品50をトレイ10の各収納部20に確実に収納することが可能となる。
本発明は種々の変更が可能である。
例えば、図6に示す収納装置は計測手段39として、トレイ10を挟んでブロック42と反対側に設けられ、載置台10とは別の場所で固定された4個のブロック状の固定部67と、スライドユニット61と、付勢手段63と、近接スイッチ65とを有する。4個の固定部67は四角形の四隅に相当する配置で載置台10上に位置しており、スライドユニット61は前記4個の固定部67により囲まれた領域に配置されている。付勢手段63は、前記4個の固定部67のうちブロック42から遠い方の2個に取り付けられ、スライドユニット61を一方のブロック42に向かって付勢している。近接スイッチ65は、上述した実施例1のマイクロメータ53とは違い、載置台11とは別の場所で固定されており、トレイ10及びスライドユニット61を挟んでブロック42の反対側に配置されている。近接スイッチ65は検出対象の有無を検出してオン/オフの切り替えを行うものである。
図6に示す収納装置では、上述した各実施例と同じように載置台11上にトレイ10を固定した状態で、図示しない移動機構により載置台11を所定の位置から近接スイッチ65に向かって移動させていく。まずトレイ10の短辺がスライドユニット61に当接し、載置台11を更に移動させていくと、スライドユニット61を付勢する付勢手段63が徐々に縮み、スライドユニット61が近接スイッチ65に近づいていく。やがて、スライドユニット61が近接スイッチ65の検出位置に来ると、近接スイッチ65はオフからオン(或いはオンからオフ)に切り替わる。近接スイッチ65が切り替わるまでの載置台11の移動距離は距離算出部36に出力される。
図6に示す収納装置の距離算出部36には、載置台11を移動させる前の、ブロック42から近接スイッチ65の検出位置までの実際の距離が予め記憶されている。距離算出部36は該距離と載置台11の移動距離の差分を求めることによって、トレイ10の両短辺間の距離を求める。その後の動作は実施例2において述べた通りである。
1、1A…収納装置
10…トレイ
11…載置台
12…撮影手段
14…操作部
16…表示部
20…収納部
21…収納面
23…空間
25…凸部
30、30A…データ処理装置
31…画像データ記憶部
32…設計位置情報記憶部
33…位置決定部
34…照合決定部
35…離間距離算出部
36…距離算出部
37…補正部
39…計測手段
40…移送機構
41…吸着機
2,44…ブロック
43,45…シリンダ
50…電子部品
51…支持部材
53…マイクロメータ
55…レール
61…スライドユニット
63…付勢手段
65…近接スイッチ
67…固定部
D…原点

Claims (8)

  1. 板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納装置であって、
    a) 前記載置台及びその上に載置されたトレイの画像を撮影する撮影手段と、
    b) 前記画像より、前記載置台の所定の2つの基準点の間の距離に基づき、前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離を決定するトレイサイズ決定手段と、
    c) 決定された前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離とトレイの標準的な形状に関する情報である設計位置情報から補正率を算出し、該補正率に基づいて前記設計位置情報を補正する補正手段と、
    d) 前記補正後の設計位置情報に基づいて、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納手段と
    を備えることを特徴とする個片化物の収納装置。
  2. 板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納装置であって、
    a) 前記載置台の上に載置されたトレイの対向する両端間の距離を計測するトレイサイズ計測手段と、
    b) 計測された前記距離に基づき、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納手段と
    を備えることを特徴とする個片化物の収納装置。
  3. 前記トレイサイズ計測手段が、
    前記載置台に固定された基準面から、該基準面に一方の端を当接したトレイの他方の端までの距離を計測するマイクロメータであることを特徴とする請求項2に記載の個片化物の収納装置。
  4. 前記トレイサイズ計測手段が、
    前記載置台に固定された基準面と、
    前記基準面に対向するように設けられた、前記基準面から検出点までの距離が既知である端面検出スイッチと、
    前記載置台を前記端面検出スイッチの方向に移動させ、その移動距離を測定する移動手段と
    を備える請求項2に記載の個片化物の収納装置。
  5. 板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納方法であって、
    a) 前記載置台及びその上に載置されたトレイの画像を撮影する撮影ステップと、
    b) 前記画像より、前記載置台の所定の2つの基準点の間の距離に基づき、前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離を決定するトレイサイズ決定ステップと、
    c) 決定された前記トレイの所定の2つの基準点の間の距離とトレイの標準的な形状に関する情報である設計位置情報から補正率を算出し、該補正率に基づいて前記設計位置情報を補正する補正ステップと、
    d) 前記補正後の設計位置情報に基づいて、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納ステップと
    を有することを特徴とする個片化物の収納方法。
  6. 板状の被切断物を切断して成る複数の個片化物を、載置台上に載置されたトレイの複数の収納部にそれぞれ収納するための収納方法であって、
    a) 前記載置台の上に載置されたトレイの対向する両端間の距離を計測するトレイサイズ計測ステップと、
    b) 計測された前記距離に基づき、複数の個片化物を前記トレイの複数の収納部にそれぞれ収納する個片化物収納ステップと
    を有することを特徴とする個片化物の収納方法。
  7. 前記トレイサイズ計測ステップにおいて、
    前記載置台に固定された基準面から、該基準面に一方の端を当接したトレイの他方の端までの距離をマイクロメータにより計測することを特徴とする、請求項6に記載の個片化物の収納方法。
  8. 前記トレイサイズ計測ステップが、
    前記載置台に固定された基準面に前記トレイの一方の端を当接する当接ステップと、
    前記基準面に対向するように設けられた、前記基準面から検出点までの距離が既知である端面検出スイッチの方向に、前記載置台を移動させ、その移動距離を測定する移動ステップとから成ることを特徴とする、請求項6に記載の個片化物の収納方法。
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