JP5974472B2 - ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 - Google Patents
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Description
2…ボンディングツール
3…ボンディング面
4…ボンディングワイヤ
6…トランスデューサ駆動電源装置
8…ボンディング品質判定装置
9…電流信号解析装置
10…レーザードップラー振動測定器
11…振動解析装置
P1…閾値レベル
P2…閾値レベル
V1…駆動電源電圧信号
Claims (8)
- 振動するツールによりボンディング面に対してボンディングワイヤをボンディングする装置であって、
上記ツールによるボンディング品質の良否判定を行うボンディング品質管理装置を備えていて、
上記ボンディング品質管理装置では、
ボンディング中における上記ツールの振動周波数を監視して、ボンディング開始時に対する所定時間経過後の上記振動周波数の増加量と、ボンディング開始時から所定時間経過後までの振動周波数の増加速度を算出し、
算出した上記振動周波数の増加量と予め設定してある閾値との比較、および算出した上記振動周波数の増加速度と予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うものであることを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 上記ボンディング品質管理装置では、
上記振動周波数の増加量の算出はボンディングに要する時間を複数の区間に分けた上で各区間ごとに行うとともに、
算出した振動周波数の増加量と各区間ごとに予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うものであることを特徴とする請求項1に記載のワイヤボンディング装置。 - 上記ボンディング品質管理装置では、
上記振動周波数の増加速度の算出はボンディングに要する時間を複数の区間に分けた上で各区間ごとに行うとともに、
算出した振動周波数の増加速度と各区間ごとに予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うものであることを特徴とする請求項2に記載のワイヤボンディング装置。 - 上記ボンディング品質管理装置は、
上記ツールの振動周波数を振動駆動源の駆動電圧振幅もしくは駆動電流振幅または振動測定手段によるツールの実測振幅に基づいて監視するものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のワイヤボンディング装置。 - 振動するツールによりボンディング面に対してボンディングワイヤをボンディングする方法であって、
ボンディング中における上記ツールの振動周波数を監視して、ボンディング開始時に対する所定時間経過後の上記振動周波数の増加量と、ボンディング開始時から所定時間経過後までの上記振動周波数の増加速度を算出し、
算出した上記振動周波数の増加量と予め設定してある閾値との比較、および算出した上記振動周波数の増加速度と予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 上記振動周波数の増加量の算出はボンディングに要する時間を複数の区間に分けた上で各区間ごとに行うとともに、
算出した振動周波数の増加量と各区間ごとに予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うことを特徴とする請求項5に記載のワイヤボンディング方法。 - 上記振動周波数の増加速度の算出はボンディングに要する時間を複数の区間に分けた上で各区間ごとに行うとともに、
算出した振動周波数の増加速度と各区間ごとに予め設定してある閾値との比較をもってボンディング品質の良否判定を行うものであることを特徴とする請求項6に記載のワイヤボンディング方法。 - 上記ツールの振動基本周波数を振動駆動源の駆動電圧振幅もしくは駆動電流振幅または振動測定手段によるツールの実測振幅に基づいて監視することを特徴とする請求項5〜7のいずれか一つに記載のワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011274043A JP5974472B2 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011274043A JP5974472B2 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013125875A JP2013125875A (ja) | 2013-06-24 |
JP5974472B2 true JP5974472B2 (ja) | 2016-08-23 |
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ID=48776950
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011274043A Expired - Fee Related JP5974472B2 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5974472B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI756811B (zh) | 2019-09-03 | 2022-03-01 | 日商新川股份有限公司 | 振動檢測系統 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07335700A (ja) * | 1994-06-06 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | ボンディング方法及び装置 |
JP4157260B2 (ja) * | 2000-07-28 | 2008-10-01 | 京セラ株式会社 | フリップチップ実装方法 |
DE102007054626A1 (de) * | 2007-11-12 | 2009-05-14 | Hesse & Knipps Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Ultraschallbonden |
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2011
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JP2013125875A (ja) | 2013-06-24 |
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A977 | Report on retrieval |
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