JP5973303B2

JP5973303B2 - 積層体

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Publication number: JP5973303B2
Application number: JP2012214913A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2012-09-27
Filing date: 2012-09-27
Publication date: 2016-08-23
Anticipated expiration: 2032-09-27
Also published as: JP2014069345A

Description

本発明は、積層体に関する。

帯状のダイボンディングシートと、当該ダイボンディングシートの一方の面側に仮着された帯状のベースシートと、当該ダイボンディングシートの他方の面側に仮着された帯状のカバーシートとにより構成されたシート基材を用い、ダイボンディングシートをウェハに貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
剥離シート上の接着シートとは異なる位置に保護材を積層した積層体は、例えば、特許文献２に開示がある。

特開２００５−３０６５１６号公報特開２００４−３５８３６号公報

特許文献１に記載されたシート貼付装置に採用されるシート基材は、先ずカバーシートのみを剥離してから、接着シートをウェハに貼付しなければならないので、接着シートがカバーシートと共に剥離してしまわないように、ベースシートと接着シートとの仮着力をカバーシートと接着シートとの仮着力よりも大きく設定しなければならない。また、特許文献１に記載されたシート貼付装置に、特許文献２に記載のような積層体が採用された場合は、各剥離シートと接着シートとの仮着力のみならず、各剥離シートと保護材との仮着力をも考慮しなければならない。

しかしながら、例えば、両面接着シートや単層の接着シート等のように、貼付方向がない接着シートの場合、上述のように仮着力を設定すると、積層体が逆向きにセットされてしまうと、今度は、接着シートがベースシートとともに巻取りローラで巻き取られてしまい、接着シートを被着体に貼付できないという不都合を招来する。

本発明の目的は、第１、第２剥離シートの内、接着シートを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができる積層体を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の積層体は、所定の形状の接着シートと、前記接着シートの一方の面側に積層された第１剥離シートと、前記接着シートの他方の面側に積層された第２剥離シートと、前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち一方の剥離シートと前記接着シートとの間には、第１処理によって、それらの仮着力である一方のシート仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材が設けられ、前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち他方の剥離シートと前記スペーサ部との間には、前記第１処理およびこれと異なる第２処理のうち一方の処理によって、それらの仮着力である他方のスペーサ仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材が設けられ、前記第１仮着力可変材は、当該第１仮着力可変材に対する前記第１処理がなされていないときに、前記一方のシート仮着力が前記他方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である他方のシート仮着力よりも大きく、前記第１処理がなされたときに、前記一方のシート仮着力が前記他方のシート仮着力よりも小さくなるように制御可能であり、前記第２仮着力可変材は、当該第２仮着力可変材に対する前記一方の処理がなされていないときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である一方のスペーサ仮着力よりも大きく、前記一方の処理がなされたときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方のスペーサ仮着力よりも小さくなるように制御可能である、という構成を採用している。

本発明の他の積層体は、所定の形状の接着シートと、前記接着シートの一方の面側に積層された第１剥離シートと、前記接着シートの他方の面側に積層された第２剥離シートと、前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち一方の剥離シートと前記接着シートとの間には、第１処理によって、それらの仮着力である一方のシート仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材が設けられ、前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち他方の剥離シートと前記スペーサ部との間には、前記第１処理およびこれと異なる第２処理のうち一方の処理によって、それらの仮着力である他方のスペーサ仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材が設けられ、前記第１仮着力可変材は、当該第１仮着力可変材に対する前記第１処理がなされていないときに、前記一方のシート仮着力が前記他方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である他方のシート仮着力よりも小さく、前記第１処理がなされたときに、前記一方のシート仮着力が前記他方のシート仮着力よりも大きくなるように制御可能であり、前記第２仮着力可変材は、当該第２仮着力可変材に対する前記一方の処理がなされていないときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である一方のスペーサ仮着力よりも小さく、前記一方の処理がなされたときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方のスペーサ仮着力よりも大きくなるように制御可能である、という構成を採用している。

以上のような本発明の積層体によれば、第１仮着力可変材を設けたため、第１、第２剥離シートの内、接着シートを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ（第１、第２剥離シートの内、接着シートを仮着しないで剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ）、例えば、先行文献１のような装置に積層体が何れの向きでセットされたとしても、接着シートを被着体に貼付できなくなるという不都合を解消することができる。

また、第１、第２剥離シートの内、スペーサ部を仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ（第１、第２剥離シートの内、スペーサ部を仮着しないで剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ）、例えば、先行文献１のような装置に積層体が何れの向きでセットされたとしても、スペーサ部が貼付装置内の周辺機器に接着してしまい、当該貼付装置を汚染するという不具合を抑制できる。

（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る積層体の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。第１実施形態および第２実施形態に係るシート貼付装置の正面図。（Ａ）〜（Ｄ）は、第１実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。（Ａ）は第２実施形態に係る積層体の斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。（Ａ）〜（Ｄ）は、第２実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
第１実施形態における積層体ＬＳ１は、図１に示すように、所定の形状の接着シートＡＳと、接着シートＡＳの一方の面（図１（Ｂ）中上面）側に積層された第１剥離シートＲＬ１と、接着シートＡＳの他方の面（図１（Ｂ）中下面）側に積層された第２剥離シートＲＬ２と、接着シートＡＳの面方向外側に設けられるとともに、一方の面（図１（Ｂ）中上面）側に第１剥離シートＲＬ１が積層され、他方の面（図１（Ｂ）中下面）側に第２剥離シートＲＬ２が積層されたスペーサ部ＳＰと、第１剥離シートＲＬ１と接着シートＡＳとの間に設けられ、それらの仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材ＶＬ１と、第２剥離シートＲＬ２とスペーサ部ＳＰとの間に設けられ、それらの仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材ＶＬ２とを備えて構成されている。

接着シートＡＳは、単体の接着剤層からなり、１μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよいしそれ以下の厚みのものでもよく、第１仮着力可変材ＶＬ１と第２剥離シートＲＬ２との間に所定の間隔で設けられている。
スペーサ部ＳＰは、帯状に構成されるとともに、接着シートＡＳの外周に対応した円弧状の凹部ＳＰＡを備え、第２仮着力可変材ＶＬ２と第１剥離シートＲＬ１との間に設けられている。スペーサ部ＳＰを構成するものとしては、接着シートＡＳと同じ組成、構成のもの、紙、樹脂、ニス、印刷用インキ等で構成されるもの、また、それらを適宜組み合わせたもの等が例示でき、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等によって硬化可能なもの用いてもよい。
第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２は、１μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよいしそれ以下の厚みのものでもよく、紙、樹脂等で構成されるもの、また、それらを適宜組み合わせたもの等の帯状部材で構成され、少なくとも一方の面（図２（Ｂ）中向き合う双方の面）にシリコン処理等の剥離剤が積層されている。なお、第１または第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２が積層される部分には剥離剤がなくてもよい。

第１および第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２は、１μｍ〜５０００μｍ程度の厚みを有するものが例示でき、それ以上の厚みでもよいしそれ以下の厚みのものでもよい。第１および第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２は、紫外線、赤外線、マイクロ波などのエネルギー線を照射することで、接着力が低下する接着剤で形成することができ、それらは同じ組成、構成のものでもよいし、異なる組成、構成のものでもよい。
これにより、接着シートＡＳと第１剥離シートＲＬ１との仮着力（以下「第１シート仮着力」と言う）を接着シートＡＳと第２剥離シートＲＬ２との仮着力（以下「第２シート仮着力」と言う）よりも大きく設定しておくことで、エネルギー線を照射しないときは、第１シート仮着力が第２シート仮着力以下になることはなく、図１（Ｂ）左下の図に示すように、接着シートＡＳが第２剥離シートＲＬ２から剥離される剥離態様となる。一方、エネルギー線を照射したときは、第１シート仮着力が第２シート仮着力以下になり、図１（Ｂ）右下の図に示すように、接着シートＡＳが第１剥離シートＲＬ１から剥離される剥離態様となる。これにより、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、接着シートＡＳを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができる。
また、スペーサ部ＳＰと第２剥離シートＲＬ２との仮着力（以下「第２スペーサ仮着力」と言う）をスペーサ部ＳＰと第１剥離シートＲＬ１との仮着力（以下「第１スペーサ仮着力」と言う）よりも大きく設定しておくことで、エネルギー線を照射しないときは、第２スペーサ仮着力が第１スペーサ仮着力以下になることはなく、図１（Ｂ）左下の図に示すように、スペーサ部ＳＰが第１剥離シートＲＬ１から剥離される剥離態様となる。一方、エネルギー線を照射したときは、第２スペーサ仮着力が第１スペーサ仮着力以下になり、スペーサ部ＳＰが第２剥離シートＲＬ２から剥離される剥離態様となる。これにより、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、スペーサ部ＳＰを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができる。
第１仮着力可変材ＶＬ１は、第１剥離シートＲＬ１の中央において長手方向に沿って設けられ、エネルギー線の照射不照射を問わず、第１仮着力可変材ＶＬ１と接着シートＡＳとの仮着力は、被着体としてのウェハＷＦと接着シートＡＳとの接着力よりも小さく設定されている。
第２仮着力可変材ＶＬ２は、スペーサ部ＳＰに形成された凹部ＳＰＡに対応した凹部ＶＬ２Ａを備え、第２剥離シートＲＬ２の両側において長手方向に沿って設けられている。

次に、積層体ＬＳ１の接着シートＡＳを被着体としてのウェハＷＦに貼付するシート貼付装置について説明する。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図２を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。

シート貼付装置１は、積層体ＬＳ１を繰り出す繰出手段２と、積層体ＬＳ１を層間剥離する剥離手段としての第１剥離手段３と、第１仮着力可変材ＶＬ１および第２仮着力可変材ＶＬ２への所定の処理の実施、不実施によって、第１剥離手段３で接着シートが仮着されて剥離される剥離シートを選択可能な処理手段４と、当該処理手段４に対し、積層体ＬＳ１の繰出方向上流側に設けられ、積層体ＬＳ１を検査する検査手段５と、第１剥離手段３で層間剥離され、接着シートＡＳが仮着された第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内いずれか一方上から接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段７と、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳから第１および第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内いずれか一方を剥離する第２剥離手段８とを備え、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを支持する支持面９１を備えたテーブル９２の上方においてその全体が図示しないフレームに支持される。

繰出手段２は、積層体ＬＳ１を支持する支持ローラ２１と、ガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動され、第１剥離手段３で剥離されて左側に繰り出される積層体ＬＳ１部分（以下「左行部分シートＬＳ１Ｌ」と言う）を巻き取る駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に左行部分シートＬＳ１Ｌを挟み込むピンチローラ２７と、駆動機器としての回動モータ２８によって駆動し、左行部分シートＬＳ１Ｌを回収する回収ローラ２９とを備えている。

第１剥離手段３は、当該第１剥離手段３で剥離されて右側に繰り出される積層体ＬＳ１部分（以下「右行部分シートＬＳ１Ｒ」と言う）が巻き掛けられる剥離ローラ３１と、ガイドローラ３２と、駆動機器としての回動モータ３３によって駆動され、右行部分シートＬＳ１Ｒを回収する回収ローラ３４とを備えている。

処理手段４は、積層体ＬＳ１を挟んだ両側に配置され、第１仮着力可変材ＶＬ１または第２仮着力可変材ＶＬ２に対し、所定の処理として第１および第２エネルギー線ＥＷ１、ＥＷ２を照射する第１および第２エネルギー線照射手段４１、４２を備えている。

検査手段５は、光学センサ、超音波センサ、カメラ等の撮像手段、接触型センサ等からなるセンサ５１を備え、積層体ＬＳ１を挟んだ両側にそれぞれ設けられ、例えば、接着シートＡＳ、スペーサ部ＳＰ、第１、第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２の折れ、汚れ、欠け、ずれなどの異常を検査したり、積層体ＬＳ１の層間における第１仮着力可変材ＶＬ１の位置、積層体ＬＳ１の層間における第２仮着力可変材ＶＬ２の位置等の検査（位置確認）を行ったりすることができる。

押圧手段７は、駆動機器としてのリニアモータ７１の第１スライダ７２に支持された駆動機器としてのリニアモータ７３と、リニアモータ７３のスライダ７４に回転可能に支持された押圧ローラ７５とを備えている。

第２剥離手段８は、リニアモータ７１の第２スライダ７６に支持された駆動機器としてのリニアモータ８１と、リニアモータ８１のスライダ８２に駆動機器としての回動モータ８３を介して支持された剥離ローラ８４と、剥離ローラ８４との間に左行部分シートＬＳ１Ｌを挟み込むピンチローラ８５とを備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが積層体ＬＳ１を図２に示すようにセットする。その際、剥離ローラ３１を境に積層体ＬＳ１を右行部分シートＬＳ１Ｒと左行部分シートＬＳ１Ｌとに分けるとき、第１シート仮着力が第２シート仮着力よりも大きく、また、第２スペーサ仮着力が第１スペーサ仮着力よりも大きいため、接着シートＡＳは、簡単に第２剥離シートＲＬ２から剥離され、スペーサ部ＳＰは、簡単に第１剥離シートＲＬ１から剥離される。これにより、オペレータに何の技術も強要することなく、第１仮着力可変材ＶＬ１を介して接着シートＡＳが仮着された第１剥離シートＲＬ１が左行部分シートＬＳ１Ｌとして形成されるとともに、第２仮着力可変材ＶＬ２を介してスペーサ部ＳＰが仮着された第２剥離シートＲＬ２が右行部分シートＬＳ１Ｒとして形成される。

次いで、繰出手段２が各回動モータ２３、２５、２８を駆動し、第２剥離手段８が回動モータ８３を駆動するとともに、第１剥離手段３が回動モータ３３を駆動し、積層体ＬＳ１を繰り出して接着シートＡＳが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２、第２剥離手段８、第１剥離手段３が各回動モータ２３、２５、２８、８３、３３の駆動を停止する。この繰り出しのとき、検査手段５がセンサ５１を駆動し、積層体ＬＳ１の検査を行って接着シートＡＳに異常が確認されなかった場合、図３（Ａ）に示すように、第１仮着力可変材ＶＬ１を介して接着シートＡＳが仮着された第１剥離シートＲＬ１が左行部分シートＬＳ１Ｌとされるとともに、第２仮着力可変材ＶＬ２を介してスペーサ部ＳＰが仮着された第２剥離シートＲＬ２が右行部分シートＬＳ１Ｒとされる。

その後、図示しない搬送手段によってテーブル９２の支持面９１上にウェハＷＦが載置されると、図示しない吸引手段が駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。これにより、図２に示すように、接着シートＡＳの直下にウェハＷＦが位置することとなる。
そして、押圧手段７がリニアモータ７３、７１を駆動し、押圧ローラ７５を下降させるとともに、当該押圧ローラ７５を右方向に移動させることで、接着シートＡＳが第１剥離シートＲＬ１上から押圧されてウェハＷＦに貼付される。その後、押圧ローラ７５が図２中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、押圧手段７がリニアモータ７１の駆動を停止する。

次いで、第２剥離手段８がリニアモータ８１を駆動し、剥離ローラ８４およびピンチローラ８５を下降させた後、回動モータ８３を駆動し、剥離ローラ８４を回転させると同時に、押圧手段７がリニアモータ７１を駆動し、各ローラ８４、８５を右方向に移動させる。これにより、第１剥離シートＲＬ１が接着シートＡＳから剥離され、接着シートＡＳがウェハＷＦに貼付される。その後、各ローラ８４、８５が図２中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、押圧手段７および第２剥離手段８がリニアモータ７１および回動モータ８３の駆動を停止した後、リニアモータ７３、８１を駆動し、押圧ローラ７５および各ローラ８４、８５を上昇させる。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハＷＦの吸着保持を解除した後、図示しない搬送手段が接着シートが貼付されたウェハＷＦを保持して別の工程へと搬送する。

そして、第２剥離手段８が回動モータ８３を停止させた状態で、押圧手段７がリニアモータ７１を駆動し、押圧ローラ７５および各ローラ８４、８５を図２中実線で示す位置まで復帰させる。この移動に同期して繰出手段２が各回動モータ２３、２５、２８を駆動し、支持ローラ２１から積層体ＬＳ１を繰り出して回収ローラ２９で左行部分シートＬＳ１Ｌを巻き取るとともに、第１剥離手段３が回動モータ３３を駆動し、右行部分シートＬＳ１Ｒを回収ローラ３４で巻き取る。そして、以降上述と同様の動作が繰り返される。

ここで、検査手段５によって接着シートＡＳに異常が確認された場合、処理手段４が第１エネルギー線照射手段４１を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、第１仮着力可変材ＶＬ１に第１エネルギー線ＥＷ１を照射する。これにより、第１シート仮着力が第２シート仮着力よりも小さくなり、異常が検出された接着シートＡＳは、第１剥離手段３によって右行部分シートＬＳ１Ｒに仮着された状態で繰り出され、回収ローラ３４で回収される。

また、図２中二点鎖線で示すように、積層体ＬＳ１が支持ローラ２１に逆向きにセットさた場合、第１または第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２が積層されている位置を検査手段５が検査することで、当該逆向きセットを確認することができる。この確認を受けた場合、処理手段４が第１および第２エネルギー線照射手段４１、４２を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、第１および第２仮着力可変材ＶＬ１、ＶＬ２に第２および第１エネルギー線ＥＷ２、ＥＷ１を照射する。これにより、第１シート仮着力が第２シート仮着力よりも小さくなるとともに、第２スペーサ仮着力が第１スペーサ仮着力よりも小さくなる。その結果、接着シートＡＳと第２仮着力可変材ＶＬ２とが仮着された第２剥離シートＲＬ２が左行部分シートＬＳ１Ｌとして形成されるとともに、スペーサ部ＳＰと第１仮着力可変材ＶＬ１とが仮着された第１剥離シートＲＬ１が右行部分シートＬＳ１Ｒとして形成される。
この場合、検査手段５によって接着シートＡＳに異常が確認された場合、処理手段４が第１エネルギー線照射手段４１の駆動は停止することなく、第２エネルギー線照射手段４２の駆動を停止し、図３（Ｄ）に示すように、第１仮着力可変材ＶＬ１に第２エネルギー線ＥＷ２を照射することを止める。これにより、第１シート仮着力が第２シート仮着力よりも大きいので、異常が検出された接着シートＡＳは、第１剥離手段３によって右行部分シートＬＳ１Ｒに仮着された状態で繰り出され、回収ローラ３４で回収される。

以上のような第１実施形態によれば、第１仮着力可変材ＶＬ１を設けたため、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、接着シートＡＳを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ（第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、接着シートＡＳを仮着しないで剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができ）、積層体ＬＳ１が何れの向きにセットされたとしても、接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付できなくなるという不都合を解消することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の積層体ＬＳ２は、第１実施形態の積層体ＬＳ１に対し、第１仮着力可変材ＶＬ１および第２仮着力可変材ＶＬ２の代わりに、第１仮着力可変材ＶＲ１および第２仮着力可変材ＶＲ２を設けた点が相違する。
すなわち、積層体ＬＳ２は、図４に示すように、所定の形状の接着シートＡＳと、接着シートＡＳの一方の面（図４（Ｂ）中上面）側に積層された第１剥離シートＲＬ１と、接着シートＡＳの他方の面（図４（Ｂ）中下面）側に積層された第２剥離シートＲＬ２と、接着シートＡＳの面方向外側に設けられるとともに、一方の面（図４（Ｂ）中上面）側に第１剥離シートＲＬ１が積層され、他方の面（図４（Ｂ）中下面）側に第２剥離シートＲＬ２が積層されたスペーサ部ＳＰと、第２剥離シートＲＬ２と接着シートＡＳとの間に設けられ、それらの仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材ＶＲ１と、第１剥離シートＲＬ１とスペーサ部ＳＰとの間に設けられ、それらの仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材ＶＲ２とを備えて構成されている。

第１および第２仮着力可変材ＶＲ１、ＶＲ２は、紫外線、赤外線、マイクロ波などのエネルギー線を照射することで、接着力が増加する接着剤等によって、例えば第１仮着力可変材ＶＬ１および第２仮着力可変材ＶＬ２とそれぞれ同様の厚みおよび形状の帯状に形成することができる。
これにより、第２シート仮着力および第１スペーサ仮着力をそれぞれ第１シート仮着力および第２スペーサ仮着力よりも小さく設定しておくことで、エネルギー線を照射しないときは、図４（Ｂ）左下の図に示すように、接着シートＡＳおよびスペーサ部ＳＰがそれぞれ第２剥離シートＲＬ２および第１剥離シートＲＬ１から剥離される剥離態様となる。一方、エネルギー線を照射したときは、図４（Ｂ）右下の図に示すように、接着シートＡＳおよびスペーサ部ＳＰがそれぞれ第１剥離シートＲＬ１および第２剥離シートＲＬ２から剥離される剥離態様となる。これにより、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、接着シートＡＳを仮着して剥離する側の剥離シートを意のままに選択することができる。

このような積層体ＬＳ２を図２に示すシート貼付装置１に採用した場合でも、剥離ローラ３１を境に積層体ＬＳ２を右行部分シートＬＳ２Ｒと左行部分シートＬＳ２Ｌとに分けるとき、更には、図２に示すシート貼付装置１の自動運転中において、接着シートＡＳに異常が確認されなかったとき、接着シートＡＳは、簡単に第２剥離シートＲＬ２から剥離されるとともに、スペーサ部ＳＰは、簡単に第１剥離シートＲＬ１から剥離される。これにより、図５（Ａ）に示すように、接着シートＡＳと第２仮着力可変材ＶＲ２とが仮着された第１剥離シートＲＬ１が左行部分シートＬＳ２Ｌとして形成されるとともに、スペーサ部ＳＰと第１仮着力可変材ＶＲ１とが仮着された第２剥離シートＲＬ２が右行部分シートＬＳ１Ｒとして形成される。
そして、検査手段５によって接着シートＡＳに異常が確認された場合、処理手段４が第２エネルギー線照射手段４２を駆動し、図５（Ｂ）に示すように、第１仮着力可変材ＶＲ１に第２エネルギー線ＥＷ２を照射する。これにより、第２シート仮着力が第１シート仮着力よりも大きくなり、異常が検出された接着シートＡＳは、第１剥離手段３によって右行部分シートＬＳ２Ｒに仮着された状態で繰り出され、回収ローラ３４で回収される。

また、図５（Ｃ）で示すように、積層体ＬＳ２が支持ローラ２１に逆向きにセットされた場合、検査手段５の確認を受け、処理手段４が第１および第２エネルギー線照射手段４１、４２を駆動し、同図に示すように、第１および第２仮着力可変材ＶＲ１、ＶＲ２に第１および第２エネルギー線ＥＷ１、ＥＷ２を照射する。これにより、第２シート仮着力が第１シート仮着力よりも大きくなるとともに、第１スペーサ仮着力が第２スペーサ仮着力よりも大きくなる。その結果、第１仮着力可変材ＶＲ１を介して接着シートＡＳが仮着された第２剥離シートＲＬ２が左行部分シートＬＳ２Ｌとして形成されるとともに、第２仮着力可変材ＶＲ２を介してスペーサ部ＳＰが仮着された第１剥離シートＲＬ１が右行部分シートＬＳ１Ｒとして形成される。
この場合、検査手段５によって接着シートＡＳに異常が確認された場合、処理手段４が第２エネルギー線照射手段４２の駆動は停止することなく、第１エネルギー線照射手段４１の駆動を停止し、図５（Ｄ）に示すように、第１仮着力可変材ＶＲ１に第１エネルギー線ＥＷ１を照射することを止める。これにより、第２シート仮着力が第１シート仮着力よりも小さいので、異常が検出された接着シートＡＳは、第１剥離手段３によって右行部分シートＬＳ２Ｒに仮着された状態で繰り出され、回収ローラ３４で回収される。

以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

積層体ＬＳ１、ＬＳ２において、第１仮着力可変材ＶＬ１、ＶＲ１を第１剥離シートＲＬ１の長手方向に沿って帯状に設けたが、接着シートＡＳと同じ形状あるいは接着シートＡＳより若干大きい円形や多角形の枚葉状として、点在させてもよい。
また、第２仮着力可変材ＶＬ２に形成した凹部ＳＰＡに対応した凹部ＶＬ２Ａや、第２仮着力可変材ＶＲ２に形成した凹部ＳＰＡに対応した凹部ＶＲ２Ａ（説明省略図示のみ）を備えることなく直線的な帯状に形成してもよい。
さらに、第１実施形態において、所定の処理によって仮着力が低下する第１仮着力可変材ＶＬ１および第２仮着力可変材ＶＬ２の内少なくとも一方の代わりに、所定の処理によって仮着力が増加するものを用いてもよいし、第２実施形態において、所定の処理によって仮着力が増加する第１仮着力可変材ＶＲ１および第２仮着力可変材ＶＲ２の内少なくとも一方の代わりに、所定の処理によって仮着力が低下するものを用い、所定の処理としての第１および第２エネルギー線ＥＷ１、ＥＷ２の照射を適切に制御してもよい。
さらに、積層体ＬＳ１、ＬＳ２を複数枚の接着シートＡＳが仮着された帯状としたが、１枚の積層体ＬＳ１、ＬＳ２に１枚の接着シートＡＳが仮着された枚葉状としてもよい。
また、上記実施形態では、シート貼付装置１を用いて積層体ＬＳ１、ＬＳ２の接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付したが、オペレータが手作業で接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付してもよい。
さらに、第１剥離シートＲＬ１および第２剥離シートＲＬ２の両方と接着シートＡＳとの間に第１仮着力可変材ＶＬ１、ＶＲ１を設けてもよい。この場合、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、接着シートＡＳを仮着して剥離したい方の剥離力が他方の剥離シートの剥離力よりも大きくなるように、または、接着シートＡＳを仮着しないで剥接したい方の剥離力が他方の剥離シートの剥離力よりも小さくなるように、処理手段４でエネルギー線を照射すればよい。
また、第１剥離シートＲＬ１および第２剥離シートＲＬ２の両方とスペーサ部ＳＰとの間に第２仮着力可変材ＶＬ２、ＶＲ２を設けてもよい。この場合、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の内、スペーサ部ＳＰを仮着して剥離したい方の剥離力が他方の剥離シートの剥離力よりも大きくなるように、または、スペーサ部ＳＰを仮着しないで剥接したい方の剥離力が他方の剥離シートの剥離力よりも小さくなるように、処理手段４でエネルギー線を照射すればよい。
さらに、第１仮着力可変材ＶＬ１と第２仮着力可変材ＶＬ２とを第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に対する同一の面側に設けてもよいし、第１仮着力可変材ＶＲ１と第２仮着力可変材ＶＲ２とを第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に対する同一の面側に設けてもよい。これらの場合、処理手段がエネルギー線を照射する領域を同一面内で区分できればよい。

また、本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、前記実施形態のように、単体の接着剤層からなるもの以外に、基材シートと接着剤層とからなる２層のものや、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、ウェハの表面にパターン回路が形成されたものも対象とすることができる。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

ＡＳ…接着シート
ＬＳ１、ＬＳ２…積層体
ＲＬ１、ＲＬ２…第１および第２剥離シート
ＳＰ…スペーサ部
ＶＬ１、ＶＲ１…第１仮着力可変材
ＶＬ２、ＶＲ２…第２仮着力可変材

Claims

所定の形状の接着シートと、
前記接着シートの一方の面側に積層された第１剥離シートと、
前記接着シートの他方の面側に積層された第２剥離シートと、
前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、
前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち一方の剥離シートと前記接着シートとの間には、第１処理によって、それらの仮着力である一方のシート仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材が設けられ、
前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち他方の剥離シートと前記スペーサ部との間には、前記第１処理およびこれと異なる第２処理のうち一方の処理によって、それらの仮着力である他方のスペーサ仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材が設けられ、
前記第１仮着力可変材は、当該第１仮着力可変材に対する前記第１処理がなされていないときに、前記一方のシート仮着力が前記他方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である他方のシート仮着力よりも大きく、前記第１処理がなされたときに、前記一方のシート仮着力が前記他方のシート仮着力よりも小さくなるように制御可能であり、
前記第２仮着力可変材は、当該第２仮着力可変材に対する前記一方の処理がなされていないときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である一方のスペーサ仮着力よりも大きく、前記一方の処理がなされたときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方のスペーサ仮着力よりも小さくなるように制御可能であることを特徴とする積層体。
所定の形状の接着シートと、
前記接着シートの一方の面側に積層された第１剥離シートと、
前記接着シートの他方の面側に積層された第２剥離シートと、
前記接着シートの面方向外側に設けられたスペーサ部とを備え、
前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち一方の剥離シートと前記接着シートとの間には、第１処理によって、それらの仮着力である一方のシート仮着力の制御が可能な第１仮着力可変材が設けられ、
前記第１剥離シートおよび前記第２剥離シートのうち他方の剥離シートと前記スペーサ部との間には、前記第１処理およびこれと異なる第２処理のうち一方の処理によって、それらの仮着力である他方のスペーサ仮着力の制御が可能な第２仮着力可変材が設けられ、
前記第１仮着力可変材は、当該第１仮着力可変材に対する前記第１処理がなされていないときに、前記一方のシート仮着力が前記他方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である他方のシート仮着力よりも小さく、前記第１処理がなされたときに、前記一方のシート仮着力が前記他方のシート仮着力よりも大きくなるように制御可能であり、
前記第２仮着力可変材は、当該第２仮着力可変材に対する前記一方の処理がなされていないときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方の剥離シートと前記接着シートとの仮着力である一方のスペーサ仮着力よりも小さく、前記一方の処理がなされたときに、前記他方のスペーサ仮着力が前記一方のスペーサ仮着力よりも大きくなるように制御可能であることを特徴とする積層体。