JP5969307B2 - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
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Description
このため、たとえ、凸部のプレスによってグリーンシート面に転写される窪み部の下方にセラミック粒子が集中したとしても、その集中部位は隆起部としておおむね除去され、当該窪み部の下方におけるセラミック粒子がおおむね均一となる。
したがって、グリーンシートの焼成に起因して、凸部のプレスによってグリーンシートに転写された窪み部が変形することを大幅に低減できる。
こうして、設計値との隔たりを低減し得るセラミック基板の製造方法を提供することができる。
この結果、隆起部を残して除去すること等に起因して窪み部が変形することを低減でき、より一段と設計値との隔たりを低減することが可能となる。
また、分割される凹部同士の間を所定距離だけ隔てた場合には、当該凹部同士の間が、隆起部の除去している際に生じる除去片を蓄積する場等となるため、隆起部を残して除去することを未然に抑止することができる。
この点、凹部の開口面積が凸部の先端面積よりも大きい面積とされた場合、凹部と凸部とをグリーンシートにプレスしたときに、当該凹部の開口面と凸部の先端面との間には隙間が生じる。このため、この隙間を介して、凹部と凸部とにプレスされたセラミック粒子が、当該プレス部分の周辺部分に移行し易くなる。
したがって、プレス部分の厚みと、そのプレス部分の周辺部分の厚みとに差があったとしても、当該部分におけるセラミック粒子の密度差を低減することができ、この結果、より一段と設計値との隔たりを低減し得るセラミック基板を製造することが可能となる。
したがって、プレス部分の厚みと、そのプレス部分の周辺部分の厚みとに差があったとしても、当該部分におけるセラミック粒子の密度差を低減することができ、この結果、より一段と設計値との隔たりを低減し得るセラミック基板を製造することが可能となる。
この配置工程P1は、第1金型22のプレス面PS1に形成される凸部22Xと、第2金型23のプレス面PS2に形成される凹部23Xとの間に、グリーンシートを配置する工程である。
このプレス工程P2は、凸部22Xと凹部23Xとの間に配置されたグリーンシート部位GSPに対して、当該凸部22X及び凹部23Xをプレスする工程である。
この除去工程P3は、プレス面PS2における凹部23Xのプレスによってグリーンシート部位GSPに転写された隆起部UPを除去する工程である。
この焼成工程P4は、隆起部UPが除去されたグリーンシート部位GSPを焼成する工程である。
10・・・搬送部
20・・・プレス部
21A,21B・・・昇降機
22・・・第1金型
22X・・・凸部
23・・・第2金型
23X,23X1,23X2・・・凹部
30・・・除去部
PS1,PS2・・・プレス面
DP・・・窪み部
UP,UP1,UP2・・・隆起部
GT・・・グリーンシート
GSP・・・グリーンシート部位
P1・・・配置工程
P2・・・プレス工程
P3・・・除去工程
P4・・・焼成工程
Claims (4)
- 互いに対向される一対のプレス面の一方に形成される凸部と、前記一対のプレス面の他方において前記凸部と対向する部分を含む領域に形成される凹部とを、前記一対のプレス面間に配置されるグリーンシートにプレスするプレス工程と、
前記凹部のプレスによって前記グリーンシート面に転写された隆起部を除去する除去工程と、
前記隆起部が除去された前記グリーンシートを焼成する焼成工程と
を備え、
前記凹部の開口面積は、前記凸部の先端面積よりも大きい面積とされることを特徴とするセラミック基板の製造方法。 - 前記凹部は、1つの前記凸部と対向する部分を含む領域において分割される
ことを特徴とする請求項1に記載のセラミック基板の製造方法。 - 前記凹部が形成されるプレス面に対する前記凹部側面の傾斜角度は、前記凸部が形成されるプレス面に対する前記凸部側面の傾斜角度よりも大きい傾斜角度とされる
ことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のセラミック基板の製造方法。 - 前記凹部の空間体積における前記凸部の体積に対する比は、0.2以上1以下の範囲内とされる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のセラミック基板の製造方法。
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JP2014037321A JP2014037321A (ja) | 2014-02-27 |
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JP4735017B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-07-27 | 株式会社村田製作所 | 多層セラミック基板の製造方法 |
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JP2007245649A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Nippon Denki Shinku Glass Kk | セラミック構造物の製造方法 |
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