JP5960288B2 - 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および製造装置、並びに、キャリア - Google Patents
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Description
図1および図2を参照して、本実施の形態に基づく情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を使用して製造されたガラス基板1G、およびガラス基板1Gを備えた磁気ディスク1(情報記録媒体)について説明する。
図1に示すように、磁気ディスク1(図2参照)に用いられるガラス基板1G(情報記録媒体用ガラス基板)は、中心に孔11が形成された円盤形状を有している。ガラス基板1Gは、表主表面14、裏主表面15、内周端面13、および外周端面12を含んでいる。内周端面13の表主表面14側の部分には、テーパー形状を有するチャンファ面13aが設けられ、内周端面13の裏主表面15側の部分には、テーパー形状を有するチャンファ面13b(図2参照)が設けられている。
図2に示すように、磁気ディスク1は、ガラス基板1Gと、表主表面14上に成膜された磁気薄膜層16(磁気記録層)とを備えている。本実施の形態における磁気薄膜層16は、表主表面14上にのみ形成されているが、裏主表面15上にさらに形成されていてもよい。磁気薄膜層16は、磁性粒子を分散させた熱硬化性樹脂をガラス基板1Gの表主表面14上にスピンコートすることによって形成される(スピンコート法)。磁気薄膜層16は、スパッタリング法または無電解めっき法等を使用して形成されていてもよい。
図3を参照して、本実施の形態に係るガラス基板1Gの製造方法を説明する。当該製造方法は、工程S10〜S19を備える。ガラス溶融工程S10においては、ガラス素材が溶融される。成形工程S11においては、上型および下型を用いて溶融ガラス素材がプレス成形される。成形により、ガラス基板が得られる。ガラス基板は、板ガラスから切り出して作製してもよい。ガラス基板の組成は、たとえばアルミノシリケートガラスである。
図4〜図12を参照して、第2ポリッシュ工程S18で用いられる両面研磨装置100について説明する。上述のとおり、第2ポリッシュ工程S18においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置100を用いて、ガラス基板の両主表面に精密研磨加工が施される。図4は、両面研磨装置100を示す側面図である。図5は、図4中のV−V線に沿った矢視断面図である。図6は、図5中のVI線で囲まれる領域を拡大して示す図である。図7は、図6中のVII−VII線に沿った矢視断面図である。
図14に示すインターナルギア50Aのように、歯面52には、円周方向に沿って環状に連続する一つの凹溝55が形成されていてもよい。凹溝55は、サンギア40の回転軸に対して平行な方向(図14紙面上下方向)において同一の高さ位置および同一の幅寸法を持って形成されている。この場合の凹み深さは、サンギア40の回転軸に対して垂直な方向において、インターナルギア50Aの歯面から最も遠くにある凹溝55の表面までの距離である。当該構成によっても、上記の実施の形態1と略同様の作用および効果を得ることができる。
図15を参照して、上述の各実施の形態(第2ポリッシュ工程S18)に関連して行なった実験例について説明する。当該実験例は、実施例1〜3および比較例1〜3を含むものとした。いずれの例においても、ピッチ円直径が約423mmで厚さが650μmのキャリアと、外径が65mmで厚さが810μmのガラス基板とを準備した。5枚のキャリアを用い、それぞれのキャリアは20枚のガラス基板を保持したものとし、合計で100枚のガラス基板に対して同時に研磨処理を行なうものとした。研磨装置には、浜井産業株式会社製の16B型両面研磨機を用いた。
Claims (5)
- ガラス基板の表面を研磨する研磨工程を備える情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
前記研磨工程は、
ガラス基板およびキャリアをサンギアおよびインターナルギアの間に配置する工程と、
前記キャリアの外周を前記サンギアおよび前記インターナルギアの双方の歯面に噛合させた状態で前記サンギアおよび前記インターナルギアを用いて前記キャリアを回転させ、研磨パッドの研磨面に対して前記ガラス基板を摺接させて前記ガラス基板の表面を研磨する工程と、を含み、
前記サンギアの全ての歯面およびまたは前記インターナルギアの全ての歯面は、歯先から前記キャリアの回転軸に対して直交する方向に凹む形状を有する凹部を含み、前記凹部には前記キャリアが回転する時に前記キャリアの前記外周が噛合し、
前記キャリアのピッチ円直径をDC(単位:m)とし、前記回転軸に対して直交する方向における前記凹部の前記歯先からの凹み深さをd(単位:mm)とすると、
0.24≦d/DC≦1.89の関係が成立している、
情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記回転軸に対して平行な方向における前記凹部の幅寸法をTAとし、前記回転軸に対して平行な方向における前記ガラス基板の厚さ寸法をTBとすると、
TA<TBの関係が成立している、
請求項1に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記凹部は、円周方向に沿って環状に連続する一つの凹溝を形成している、
請求項1または2に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 研磨パッドと、
ガラス基板およびキャリアが間に配置されるサンギアおよびインターナルギアと、を備え、
前記サンギアおよび前記インターナルギアがこれらの双方の歯面に前記キャリアの外周を噛合させた状態で前記キャリアを回転させることにより、前記研磨パッドの研磨面に対して前記ガラス基板が摺接されて前記ガラス基板の表面が研磨され、
前記サンギアの全ての歯面およびまたは前記インターナルギアの全ての歯面は、歯先から前記キャリアの回転軸に対して直交する方向に凹む形状を有する凹部を含み、前記凹部には前記キャリアが回転する時に前記キャリアの前記外周が噛合し、
前記キャリアのピッチ円直径をDC(単位:m)とし、前記回転軸に対して直交する方向における前記凹部の前記歯先からの凹み深さをd(単位:mm)とすると、
0.24≦d/DC≦1.89の関係が成立している、
情報記録媒体用ガラス基板の製造装置。 - サンギアとインターナルギアとの間に配置され、ガラス基板を保持するキャリアであって、
前記サンギアおよび前記インターナルギアがこれらの双方の歯面に前記キャリアの外周を噛合させた状態で前記キャリアを回転させることにより、研磨パッドの研磨面に対して前記ガラス基板が摺接されて前記ガラス基板の表面が研磨され、
前記サンギアの全ての歯面およびまたは前記インターナルギアの全ての歯面は、歯先から前記キャリアの回転軸に対して直交する方向に凹む形状を有する凹部を含み、前記凹部には前記キャリアが回転する時に前記キャリアの前記外周が噛合し、
前記キャリアのピッチ円直径をDC(単位:m)とし、前記回転軸に対して直交する方向における前記凹部の前記歯先からの凹み深さをd(単位:mm)とすると、
0.24≦d/DC≦1.89の関係が成立している、
キャリア。
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