JP5954439B2

JP5954439B2 - 基板移載システム及び基板移載方法

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Publication number: JP5954439B2
Application number: JP2014556262A
Authority: JP
Inventors: 正久東; 直也武田; 真義上野
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2013-01-10
Filing date: 2013-01-10
Publication date: 2016-07-20
Anticipated expiration: 2033-01-10
Also published as: WO2014109027A1; JPWO2014109027A1

Description

本発明は、サンプルホルダに基板を移載する基板移載システム及び基板移載方法に関する。

成膜やエッチングなどの処理工程で、基板はサンプルホルダに搭載されてプロセス処理装置に搬入される。サンプルホルダには、基板を水平に搭載するカートタイプや、基板を垂直に搭載するボートタイプなどがある。処理効率を向上させるために、ボートタイプのサンプルホルダ（以下において、「ボート」という。）を用いて同時に処理できる基板の数を増やすことが有効である（例えば、特許文献１参照。）。基板が搭載される搭載面が定義された基板プレートを複数有するボートを使用することにより、多数の基板を同時に処理するプロセス処理装置のフットプリントを小さくすることができる。

ロボットアームなどによってボートに基板を自動で移載するためには、基板移載時においてボートが所定の移載位置に配置され、且つボートの基板搭載面の位置が規定位置に保持されていることが必要である。ここで「規定位置」とは、基板をボートに移載するために予め設定された基板搭載面の位置である。基板搭載面の位置が規定位置ではない状態で基板の移載が行われると、基板とボートが接触したり、基板がボートに正常に搭載されずに落下したりして、基板が破損するという問題がある。このため、ボート形状の歪みなどによって基板搭載面の位置が規定位置から変化することを防止するために、基板搭載面の位置を矯正することが有効である。

特開２００２−７５８８４号公報

しかしながら、基板搭載面の位置を規定位置に矯正する工程を追加することにより、ボードに基板を移載する作業に要する時間が増大するという問題があった。

上記問題点に鑑み、本発明は、ボートの基板搭載面の位置の矯正を含む基板の移載作業に要する時間を短縮できる基板移載システム及び基板移載方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、垂直方向に延伸する第１及び第２の主面をそれぞれ有し、第１及び第２の主面の少なくとも一方が基板搭載面である基板プレートを備えるボートに基板を移載する基板移載システムであって、（イ）ボートを基板が移載される所定の移載位置に移動させながら、ボートの基板搭載面の位置が基板を移載するために予め設定された規定位置になるように基板搭載面の位置を矯正する矯正装置と、（ロ）基板搭載面の位置が規定位置に維持された状態において、ボートに基板を移載するロボットアームとを備える基板移載システムが提供される。

本発明の他の態様によれば、垂直方向に延伸する第１及び第２の主面をそれぞれ有し、第１及び第２の主面の少なくとも一方が基板搭載面である基板プレートを備えるボートに基板を移載する基板移載方法であって、（イ）ボートを基板が移載される所定の移載位置に移動させるステップと、（ロ）ボートを移載位置に移動させるステップと並行して、ボートの基板搭載面の位置が基板を移載するために予め設定された規定位置になるように基板搭載面の位置を矯正するステップと、（ハ）基板搭載面の位置が規定位置に維持された状態において、ロボットアームによってボートに基板を移載するステップとを含む基板移載方法が提供される。

本発明によれば、ボートの基板搭載面の位置の矯正を含む基板の移載作業に要する時間を短縮できる基板移載システム及び基板移載方法を提供できる。

本発明の実施形態に係る基板移載システムの構成を示す模式図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムが適用されるボートの構造例を示す模式図であり、図２（ａ）は斜視図であり、図２（ｂ）は基板搭載面に平行な方向から見た側面図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムのピックアップ機構を示す模式図であり、図３（ａ）はボートを上昇させる前の側面図であり、図３（ｂ）はボートを上昇させた後の側面図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムのボート位置決め機構を示す模式的な平面図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムの第１の矯正機構を示す模式図であり、図５（ａ）は基板搭載面の面法線方向から見た側面図であり、図５（ｂ）は平面図である。ボートの自重による歪みの例を示す模式図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムの第２の矯正機構を示す模式的な平面図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムの基板プレート保持装置による基板保持方法を示す模式的な平面図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムの第２の矯正機構の吸着バーの構造例を示す、吸着面の法線方向から見た模式図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムの第２の矯正機構の吸着バーとクランプの位置を示す模式図である。基板プレートの歪みの例を示す模式図である。本発明の実施形態に係る基板移載システムと比較例のそれぞれによる搬送時間の例を示す表である。本発明のその他の実施形態に係る基板移載システムの構成を示す模式図である。本発明のその他の実施形態に係る基板移載システムの基板プレート保持装置による基板保持方法を示す模式的な平面図である。

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであることに留意すべきである。また、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の構造、配置などを下記のものに特定するものでない。この発明の実施形態は、請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

本発明の実施形態に係る図１に示す基板移載システム１は、ボート２０に基板１００を移載する。ここで、「ボート２０に基板１００を移載する」とは、ボート２０に基板１００を搭載すること、及びボート２０から基板１００を回収することを含む。ボート２０は、基板１００が搭載される基板搭載面２１０を有する基板プレート２１を備える。基板プレート２１は、垂直方向に延伸する第１及び第２の主面をそれぞれ有し、第１及び第２の主面の少なくとも一方が基板搭載面２１０である。

基板移載システム１は、矯正装置１０とロボットアーム１５とを備える。矯正装置１０は、ボート２０の位置を基板１００が移載される所定の移載位置に移動させながら、ボート２０の基板搭載面２１０の位置が基板１００を移載するために予め設定された規定位置になるように基板搭載面２１０の位置を矯正する。ロボットアーム１５は、基板搭載面２１０の位置が規定位置に維持された状態において、ボート２０に基板１００を移載する。即ち、矯正装置１０は、基板１００の移載が行われる移載位置にボート２０を移動させる作業と基板搭載面２１０の位置を矯正する作業を並行して行う。

先ず、基板移載システム１を適用するボート２０について説明する。図２（ａ）〜図２（ｂ）に、ボート２０の構造例を示す。ボート２０は、垂直方向に延伸する第１の主面２１１と第２の主面２１２をそれぞれ有する複数の基板プレート２１を備える。基板プレート２１は、それぞれの底部が１つの底板２２に固定されて、互いに離間し且つ平行に配置されている。第１の主面２１１と第２の主面２１２の少なくとも一方は基板搭載面２１０であり、複数の基板プレート２１が基板搭載面２１０の法線方向に沿って配列されている。基板プレート２１には、例えばカーボンプレートなどを採用可能である。

図２（ａ）には、１つの基板搭載面２１０に４枚の基板１００が搭載される例を示したが、基板搭載面２１０に搭載される基板１００の枚数は４枚に限られない。図２（ｂ）には、基板プレート２１の第１の主面２１１と第２の主面２１２にそれぞれ基板１００を搭載する例を示した。しかし、１回に処理する基板１００の枚数が少ない場合などには、基板プレート２１の一方の主面のみに基板１００を搭載してもよい。また、図２（ｂ）では基板プレート２１が６枚であるボート２０の例を示したが、基板プレート２１の枚数は６枚に限られない。なお、同一の基板搭載面２１０に搭載される複数の基板１００は、ロボットアーム１５によって同時に搭載することができる。

基板１００は、半導体デバイスに使用される基板などであり、シリコン基板やガラス基板などである。例えば、シリコンからなる太陽電池基板がボート２０に搭載されて、反射防止膜やパッシベーション膜を太陽電池基板上に形成するプロセス処理装置に格納される。図示を省略する固定ピンなどによって、基板１００は基板プレート２１の基板搭載面２１０上に支持される。

ボート２０に基板１００を垂直に搭載することにより、１回の処理工程で処理する基板１００の枚数を増やすことができる。その結果、全体の処理時間を短縮できる。

図１に示した矯正装置１０は、基板プレート２１や底板２２が反ったり撓んだりしないようにボート２０の形状を矯正しつつ、基板１００が搭載されたボート２０を移動する。このために、矯正装置１０は、以下に説明するように、ボート２０の形状を矯正するための第１の矯正機構１１と第２の矯正機構１２と共に、ボート２０の高さ方向の位置が移載位置と同一になるようボート２０を垂直方向に移動させるピックアップ機構１４、及びボート２０の位置を所定の移載位置に調整するボート位置決め機構１３を備える。第１の矯正機構１１、第２の矯正機構１２、ボート位置決め機構１３、ピックアップ機構１４をフレーム１６に一体化することにより、ボート２０を基板１００の移載が行われる移載位置に移動する作業とボート２０の基板搭載面２１０の位置を規定位置に矯正する作業とを並行して行うことができる。これにより、ボート２０に基板１００を移載する作業に要する時間を短縮できる。

ピックアップ機構１４は、図１のｚ方向である垂直方向に沿ってボート２０を移動させる。即ち、基板１００を搭載したボート２０を上昇させたり、下降させたりする。ピックアップ機構１４は、通常、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、ボート２０の底板２２を支持しながら、ボート２０を上昇或いは下降させる。

ボート位置決め機構１３は、ロボットアーム１５によって基板１００の移載を行うために、図１のｘ−ｙ平面と平行な水平方向についてボート２０を移動させ、ボート２０が所定の移載位置に配置されるように調整する。このために、図４に示すように、ボート位置決め機構１３は、ｘ方向にボート２０を移動させる第１の調整部１３１と、ｙ方向にボート２０を移動させる第２の調整部１３２とを有する。第１の調整部１３１と第２の調整部１３２によってボート２０の水平方向の位置が調整され、ボート２０が位置合わせマーク１３５で規定される所定の移載位置に配置される。例えば、第１の調整部１３１と第２の調整部１３２によってボート２０を矢印で示すように斜め方向に移動させ、ボート２０のコーナー部を位置合わせ用のストッパー１３６に押し付ける。これにより、ボート２０が所定の移載位置に配置される。

第１の矯正機構１１は、図１及び図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、ボート２０の底板２２が歪まないように底板２２を下方から支持する。第１の矯正機構１１は、上面に複数の凸形状の支持部１１１が配置されており、図５（ａ）に示すように、各支持部１１１の頂点の位置は同一平面レベルにある。第１の矯正機構１１をボート２０の下方に移動させ、支持部１１１の頂点部をボート２０の底板２２に接触させることにより、底板２２が平坦であるようにボート２０が支持される。第１の矯正機構１１の有する支持部１１１の数はボート２０の大きさなどに依存するが、図５（ｂ）に示すように、例えばボート２０の長手方向に沿って２列に配列される。

図６に示すように、ボート２０の自重によって底板２２に矢印Ｇで示す外力が加わった場合に、基板プレート２１に矢印Ｗで示す方向に応力が加わる。これにより基板プレート２１に歪みが生じ、基板搭載面２１０の位置が規定位置からずれる。しかし、第１の矯正機構１１によってボート２０の底板２２の形状を矯正することにより、自重によってボート２０の基板搭載面２１０の位置が規定位置からずれることを防止できる。

第２の矯正機構１２の平面図を図７に示す。第２の矯正機構１２は、基板プレート２１を保持する基板プレート保持装置１２０と、基板搭載面２１０の位置が規定位置になるように、基板プレート２１を保持した基板プレート保持装置１２０を移動する基板プレート移動装置１２５を有する。

基板プレート保持装置１２０は、図７に示すように、吸着面を有する吸着バー１２１と、基板プレート２１を吸着バー１２１に吸着させる吸着装置１２２と、基板プレート２１を挟んで吸着バー１２１の吸着面と対向して配置されたクランプ１２３とを備える。図８に示すように、第１の主面２１１と第２の主面２１２にそれぞれ接触する吸着バー１２１とクランプ１２３によって基板プレート２１が挟まれた状態で、基板プレート保持装置１２０は基板プレート２１を保持する。

基板プレート移動装置１２５は、吸着バー１２１とクランプ１２３によって基板プレート２１が挟まれた状態の基板搭載面２１０の位置が規定位置になるように、吸着バー１２１とクランプ１２３を移動させる。

図７に示した第２の矯正機構１２による基板搭載面２１０の位置の矯正方法を、以下に説明する。吸着バー１２１及びクランプ１２３の端部がそれぞれ接続されたフレーム１２９を、基板プレート移動装置１２５によって移動する。つまり、基板プレート移動装置１２５がフレーム１２９を基板プレート２１の基板搭載面２１０の面法線方向に移動することにより、各基板プレート２１の基板搭載面２１０の位置が規定位置になるように複数の吸着バー１２１とクランプ１２３が同時に移動する。基板プレート移動装置１２５には、シリンダやモータなどを採用可能である。

図９に示すように、吸着バー１２１の基板プレート２１に対向する吸着面には、吸着口１２１０が配置されている。吸着口１２１０は、吸着バー１２１の内部に形成された空洞に連接している。吸着口１２１０に連接する空洞は、図７に示した配管１２６に連結されている。

図７に示したように、吸着バー１２１に連結された配管１２６は、バルブ１２７を介して吸着装置１２２に接続されている。吸着装置１２２によって配管１２６に連結する吸着バー１２１の空洞内を周囲よりも負圧にすることより、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１を吸着させることができる。吸着装置１２２には、例えば真空ポンプが使用される。図７に示した与圧装置１２４は、配管１２６内に空気を供給することにより、配管１２６内の真空状態を破る。これにより、吸着バー１２１から基板プレート２１が開放される。

例えば基板プレート２１の第１の主面２１１に基板１００を搭載する場合には、バルブ１２７が閉じた状態で、吸着装置１２２を起動する。そして、基板プレート２１の第１の主面２１１の基板搭載面２１０の位置がその基板搭載面２１０の位置に関して設定された規定位置になるように、吸着バー１２１及びクランプ１２３が移動する。そして、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１の第２の主面２１２を接触させ、クランプ１２３に基板プレート２１の第１の主面２１１を接触させる。この状態でバルブ１２７を開き、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１の第２の主面２１２を吸着させる。

上記のようにして矯正された基板プレート２１の第１の主面２１１に基板１００を搭載する。その後、バルブ１２７を閉じ、バルブ１２８を開けて、配管１２６内の真空状態を破る。

基板プレート２１の第２の主面２１２に基板１００を搭載する場合も、上記の方法と同様である。即ち、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１の第１の主面２１１を接触させ、クランプ１２３に基板プレート２１の第２の主面２１２を接触させる。そして、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１の第１の主面２１１を吸着させた状態で、第２の主面２１２に基板１００を搭載する。

第２の矯正機構１２は、吸着バー１２１とクランプ１２３をそれぞれ複数備える。このため、複数の基板プレート２１の基板搭載面２１０を同時に矯正することができる。

上記では、基板プレート２１に基板１００を搭載する例を示したが、基板プレート２１から基板１００を回収する場合も同様である。即ち、基板搭載面２１０が規定位置に維持された基板プレート２１を吸着バー１２１の吸着面に吸着させた状態で、基板プレート２１から基板１００を回収する。

なお、基板１００を基板プレート２１に搭載する際の障害にならないように、吸着バー１２１とクランプ１２３は配置される。即ち、基板プレート２１の第１の主面２１１及び第２の主面２１２において基板搭載面２１０が定義された領域の残余の領域において、吸着バー１２１とクランプ１２３が基板プレート２１と接触する。例えば図１０に示すように、基板搭載面２１０よりも基板プレート２１の上端に近い部分で、吸着バー１２１とクランプ１２３は基板プレート２１に接触する。

また、図１０に示したように、吸着バー１２１とクランプ１２３が基板プレート２１と接触する位置の基板プレート２１の上端からの距離を、互いに異なるように設定することが好ましい。これにより、安定して基板プレート２１が保持される。

図１１に領域Ｓで示すように基板プレート２１自体に歪みが生じて、基板搭載面２１０の位置が規定位置からずれる場合がある。また、ボート２０に搭載した基板１００に成膜処理を行った場合にボート２０の表面にも膜が形成されたために、ボート２０表面の膜の応力によって基板プレート２１に歪みが生じる場合がある。

上記のように基板プレート２１に歪みが生じ、基板搭載面２１０の位置が規定位置にない状態で基板１００の移載が実行されると、基板１００とボート２０とが接触したり、基板１００がボート２０に正常に搭載されずに落下したりして、基板１００が破損する。

しかしながら、基板移載システム１では、第２の矯正機構１２の吸着バー１２１とクランプ１２３とで基板プレート２１を挟んだ状態で、基板搭載面２１０の位置が規定位置になるように基板プレート２１が保持される。このため、基板プレート２１が第１の主面２１１側又は第２の主面２１２側のいずれに歪んだ場合でも、基板搭載面２１０を規定位置に矯正することができる。

以下に、本発明の実施形態に係る基板移載システム１を用いた基板移載方法の例を説明する。

先ず、基板１００を搭載するために所定の位置にボート２０を搬送する。例えば、基板移載システム１の下方にボート２０をセットする。

次に、矯正装置１０の第１の矯正機構１１によってボート２０の底板２２を支持し、ボート２０の底板２２が所定の形状を維持するように矯正する。

そして、ピックアップ機構１４によってボート２０をｚ方向に上昇させ、ボート２０の高さ方向の位置が移載位置と同一になるように移動させる。このとき、ボート２０を上昇させるのと並行して、第１の矯正機構１１によってボート２０の形状を矯正した状態で、ボート位置決め機構１３によってボート２０を所定の移載位置まで移動させ、且つ、第２の矯正機構１２によって基板プレート２１が矯正される。このため、移載位置に配置されたボート２０の基板搭載面２１０の位置は規定位置になっている。

そして、矯正装置１０によって所定の移載位置にボート２０が配置され且つ基板搭載面２１０の位置が規定位置に維持された状態において、ロボットアーム１５によって、ボート２０に基板１００が搭載される。

基板１００が搭載されたボート２０は、例えば搬送トレイなどに載せられて移動し、各種のプロセス処理装置に格納される。そして、ボート２０に搭載された基板１００にプロセス処理が施される。

プロセス処理後、基板１００が搭載されたボート２０が所定の位置に搬送される。そして、基板１００をボート２０に搭載したのと同様に、基板搭載面２１０の位置を規定位置に維持して、ボート２０から基板１００を回収する。即ち、第１の矯正機構１１によってボート２０の形状を矯正しつつピックアップ機構１４によってボート２０を移載位置まで上昇させる。そして、ボート２０を上昇させるのと並行して、第２の矯正機構１２によって基板搭載面２１０の位置を矯正しながらボート位置決め機構１３によってボート２０を移載位置に移動する。

その後、ロボットアーム１５によって、基板１００がボート２０から回収される。基板１００が回収された後のボート２０は、例えば搬送装置などによって所定の位置に搬送される。

以上に説明したように、本発明の実施形態に係る基板移載システム１によれば、基板搭載面２１０の位置決め精度が向上し、常に規定位置にある基板搭載面２１０にロボットアーム１５によって基板１００が移載される。このため、移載時における基板１００の割れ率が減少し、歩留まりが向上する。

更に、矯正装置１０は、基板搭載面２１０の位置を矯正しながら、ボート２０を移載位置に移動させる。このため、ボート２０を移載位置に移動した後に基板搭載面２１０の位置を矯正する場合に比べて、ボート２０に基板１００を移載する作業時間を短縮することができる。

図１２に、本発明の実施形態に係る基板移載方法（図１２中で「実施形態」と記載。）による基板移載作業に要した時間と、ボート２０を移載位置に移動した後に基板搭載面２１０の位置を矯正する比較例（図１２中で「比較例」と記載。）の基板移載方法による基板移載作業に要した時間とを比較した結果を示す。図１２において、「搬送時間Ｔ」とは、ボート２０での基板移載作業が終了してから、新たなボート２０での基板移載作業が終了するまでの時間である。

図１２に示した例では、比較例の基板移載方法による搬送時間Ｔが１６．２ｓｅｃであるのに対し、実施形態に係る基板移載方法による搬送時間Ｔは８ｓｅｃである。つまり、実施形態に係る基板移載方法では、比較例の基板移載方法に比べて基板移載作業に要する搬送時間Ｔは半分以下である。このように、基板移載システム１によれば、基板移載作業の時間を大幅に短縮することができる。

基板移載システム１は、例えばプラズマ化学気相成長（ＣＶＤ）法などにより太陽電池基板上に反射防止膜やパッシベーション膜を形成する成膜工程で利用可能である。つまり、太陽電池基板を成膜装置に搬入する際に、移載作業に要する時間の増大を抑制しつつ、太陽電池基板を破損することなくボート２０に搭載したり、成膜工程後の太陽電池基板を破損することなくボート２０から回収したりすることができる。

また、ボート２０が成膜装置以外のエッチング装置や加熱装置に基板１００を搬入するためのボートであってもよい。つまり、基板移載システム１は、基板１００を垂直に搭載するボート２０が使用される各種製造装置において適用可能である。

（その他の実施形態）
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記では第２の矯正機構１２において、吸着バー１２１が吸着装置１２２によって吸着力を発生して基板プレート２１を支持する例を示したが、吸着バー１２１とクランプ１２３とによる基板プレート２１の挟み込みのみによって基板プレート２１を支持してもよい。すなわち、図７において、吸着装置１２２、与圧装置１２４、配管１２６、バルブ１２７、バルブ１２８がなくともよい。

また、上記では第２の矯正機構１２が吸着バー１２１とクランプ１２３によって基板プレート２１が保持される例を示したが、図１３に示すように吸着バー１２１のみによって第２の矯正機構１２が基板プレート２１を保持してもよい。即ち、図１３に示す基板プレート保持装置１２０は、吸着面を有する吸着バー１２１と、基板プレート２１を吸着バー１２１に吸着させる吸着装置１２２とを備える。基板プレート保持装置１２０は、吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１を保持する。基板プレート移動装置１２５は、図１４に示すように吸着バー１２１の吸着面に基板プレート２１が吸着された状態における基板搭載面２１０の位置が規定位置になるように、基板プレート保持装置１２０を移動させる。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

本発明の基板移載技術は、サンプルホルダに縦方向に搭載した基板を処理する半導体装置製造工程に利用可能である。

Claims

垂直方向に延伸する第１及び第２の主面をそれぞれ有し、前記第１及び第２の主面の少なくとも一方が基板搭載面である基板プレートを備えるボートに基板を移載する基板移載システムであって、
前記ボートを前記基板が移載される所定の移載位置に移動させながら、前記ボートの前記基板搭載面の位置が前記基板を移載するために予め設定された規定位置になるように前記基板搭載面の位置を矯正する矯正装置と、
前記基板搭載面の位置が前記規定位置に維持された状態において、前記ボートに前記基板を移載するロボットアームと
を備えることを特徴とする基板移載システム。
前記矯正装置が、
前記ボートの底部が歪まないように前記底部を支持する第１の矯正機構と、
前記基板プレートを保持する基板プレート保持装置、及び、前記基板搭載面の位置が前記規定位置になるように前記基板プレート保持装置を移動させる基板プレート移動装置を有する第２の矯正機構と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の基板移載システム。
前記基板プレート保持装置が、
吸着面を有する吸着バーと、
前記基板プレートを挟んで前記吸着面と対向して配置されたクランプと
を備え、
前記第１の主面と前記第２の主面にそれぞれ接触する前記吸着バーと前記クランプに挟まれた状態において前記基板搭載面の位置が前記規定位置になるように、前記吸着バー及び前記クランプを前記基板プレート移動装置が移動させることを特徴とする請求項２に記載の基板移載システム。
前記矯正装置が、
前記ボートの高さ方向の位置が前記移載位置と同一になるように、前記ボートを垂直方向に移動させるピックアップ機構と、
前記ボートの水平方向の位置を前記移載位置に調整するボート位置決め機構と
を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の基板移載システム。
垂直方向に延伸する第１及び第２の主面をそれぞれ有し、前記第１及び第２の主面の少なくとも一方が基板搭載面である基板プレートを備えるボートに基板を移載する基板移載方法であって、
前記ボートを前記基板が移載される所定の移載位置に移動させるステップと、
前記ボートを前記移載位置に移動させるステップと並行して、前記ボートの前記基板搭載面の位置が前記基板を移載するために予め設定された規定位置になるように前記基板搭載面の位置を矯正するステップと、
前記基板搭載面の位置が前記規定位置に維持された状態において、ロボットアームによって前記ボートに前記基板を移載するステップと
を含むことを特徴とする基板移載方法。
前記基板搭載面の位置を矯正するステップが、
前記ボートの底部が歪まないように前記底部を支持する第１の矯正と、
基板プレート保持装置によって前記基板プレートを保持しながら、前記基板搭載面の位置が前記規定位置になるように前記基板プレート保持装置を移動する第２の矯正と
を含むことを特徴とする請求項５に記載の基板移載方法。
前記第２の矯正が、
吸着面を有する吸着バーを前記基板プレートに近接して配置するステップと、
前記基板プレートを挟んで前記吸着面と対向させてクランプを配置するステップと、
前記第１の主面と前記第２の主面にそれぞれ接触させて前記吸着バーと前記クランプにより前記基板プレートを挟むステップと、
前記吸着バーと前記クランプにより前記基板プレートが挟まれた状態における前記基板搭載面の位置が前記規定位置になるように、前記吸着バー及び前記クランプを移動させるステップと
を含むことを特徴とする請求項６に記載の基板移載方法。
前記ボートの位置を前記移載位置に移動させるステップが、
前記ボートの高さ方向の位置が前記移載位置と同一になるまで前記ボートを垂直方向に移動させるステップと、
前記ボートの水平方向の位置を前記移載位置に調整するステップと
を含むことを特徴とする請求項５に記載の基板移載方法。