JP5946749B2

JP5946749B2 - 冷凍装置

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Publication number: JP5946749B2
Application number: JP2012242000A
Authority: JP
Inventors: 勝弘楢崎
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2012-11-01
Filing date: 2012-11-01
Publication date: 2016-07-06
Anticipated expiration: 2032-11-01
Also published as: JP2014092300A

Description

本発明は、冷凍装置に関する。

このような分野の技術として、下記特許文献１に記載された冷凍装置がある。この冷凍装置は、高圧のヘリウムガスを２段階に膨張させて約４Ｋの極低温を発生させるものである。この冷凍装置は、ヘリウムガスを膨張させるための２つの絞り部を有している。前段の絞り部は、ジュール・トムソン弁によって構成されている。後段の絞り部は、可動オリフィスによって構成されている。

冷凍装置が運転開始されるときには、ジュール・トムソン弁の開度は、全開状態とされる。さらに、冷凍装置がクールダウン状態になると、ジュール・トムソン弁の開度が小さくされる。ジュール・トムソン弁の開度は、クライオスタットの外側の常温部に設けられた操作ロッドによって調整される。

特開平１０−２６４２８号公報

しかしながら、従来の冷凍装置では、ジュール・トムソン弁の開度が、常温部に設けられた操作ロッドによって調整されるため、常温部からの侵入熱が多くなる。さらに、クールダウンに要する時間が長くなる。従来の冷凍装置では、侵入熱の低減を図り、かつ、クールダウンに要する時間を短縮することは困難であった。

本発明は、侵入熱の低減を図り、かつ、クールダウンに要する時間を短縮することができる冷凍装置を提供することを目的とする。

本発明の冷凍装置は、循環ラインに直列に設けられた第１および第２のジュール・トムソン弁によって循環ラインを流れる冷媒を冷却し、極低温冷却部において極低温を発生させるジュール・トムソン冷凍機と、第１および第２のジュール・トムソン弁の上流側で冷媒を予冷する予冷機と、を備えた冷凍装置であって、ジュール・トムソン冷凍機は、第１および第２のジュール・トムソン弁の上流側に設けられて、予冷機によって予冷される予冷部と、第１のジュール・トムソン弁をなす第１のオリフィスと、第１のオリフィスの下流側に設けられて、第２のジュール・トムソン弁をなす第２のオリフィスと、予冷部と第１のオリフィスとの間で循環ラインから分岐して極低温冷却部に接続されるバイパス管と、バイパス管に設けられ、ガス圧により開閉するガス駆動バルブであるバイパスバルブと、前記予冷部、前記第１のオリフィス、前記第２のオリフィス、前記バイパス管、及び前記バイパスバルブを収容するクライオスタットと、前記バイパスバルブを駆動する駆動ガスが流れる駆動ガス管と、を備え、前記駆動ガス管は、前記予冷部の上流側で前記循環ラインから分岐して前記クライオスタットの内部まで延伸し、前記クライオスタットの内部において前記バイパスバルブに接続されていることを特徴とする。

本発明の冷凍装置によれば、循環ラインを流れる冷媒が、予冷部において予冷機により冷却され、さらに第１および第２のジュール・トムソン弁すなわち第１および第２のオリフィスによって冷却される。ここで、ジュール・トムソン冷凍機には、予冷部と第１のオリフィスとの間で循環ラインから分岐して極低温冷却部に接続されるバイパス管が設けられる。バイパス管には、バイパスバルブが設けられる。ここで、冷媒の温度が所定の温度域以上である状態においては、第１および第２のオリフィスによる冷却のためのジュール・トムソン効果は発揮され難い。本発明の冷凍装置では、冷却が開始されて定常状態になるまでの初期の段階（すなわちクールダウン時）においてはバイパスバルブを開くことにより、冷媒が、第１および第２のオリフィスを通らずに（すなわち、第１および第２のオリフィスをバイパスして）極低温冷却部に導かれる。この場合、冷媒は、予冷機のみによって冷却される。冷媒が第１および第２のオリフィスをバイパスすることにより、冷媒は予冷機によって所定の温度域まで効率よく速やかに冷却される。冷媒が所定の温度域まで冷却された後、バイパスバルブを閉じることにより、冷媒は、第１および第２のオリフィスを通る。このとき、第１および第２のオリフィスによるジュール・トムソン効果が発揮されて、冷媒がさらに冷却され、極低温冷却部において極低温が発生する。このように、ジュール・トムソン効果が発揮されやすい温度域に至るまでは、冷媒が第１および第２のオリフィスをバイパスするように、冷媒の流路が切り替えられる。これによって、クールダウンに要する時間を短縮することができる。さらに、バイパスバルブは単に開閉すればよく、開度や流量の調整は不要であるため、従来のような常温部からの操作は不要になる。よって、侵入熱の低減を図ることができる。また、駆動ガス管を介して、バイパスバルブの駆動ガス流入部に冷媒を送ることにより、バイパスバルブが開く。このようなガス駆動バルブを用いることにより、簡易な構成でクールダウンに要する時間を短縮することができる。駆動ガス管は、従来の操作ロッドが通る配管より細いため、侵入熱の影響を小さくできる。しかも、駆動ガス管は、従来の操作ロッドが通る配管のように直線状に配置する必要がないため、駆動ガス管を曲げて配置する等により、駆動ガス管を自由に長くすることができる。これにより、侵入熱の影響を一層小さくできる。

本発明によれば、侵入熱の低減を図り、かつ、クールダウンに要する時間を短縮することができる。

冷凍装置の一実施形態の概略構成を示すブロック図である。図１の冷凍装置において、冷却の初期段階における冷媒の流れを示す図である。図１の冷凍装置において、図２に続く段階における冷媒の流れを示す図である。従来の冷凍装置の概略構成を示すブロック図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

まず、図１を参照して、本実施形態の冷凍機（冷凍装置）１の構成について説明する。図１に示されるように、冷凍機１は、１〜４Ｋの冷却温度を実現することのできる小型冷凍機である。冷凍機１は、例えば赤外線検出器やサブミリ波検出器などを冷却するものである。冷凍機１は、ギフォード・マクマホン冷凍機からなる予冷機２と、予冷機２によって予冷されるジュール・トムソン冷凍機３と、予冷機２およびジュール・トムソン冷凍機３における弁類等を制御するための制御部５と、を備えている。さらに、冷凍機１は、真空容器であるクライオスタット６と、クライオスタット６内に配置された第１シールド７と、第１シールド７内に配置された第２シールド８と、を備えている。第１シールド７は、たとえば１００Ｋの輻射シールド板であり、第２シールド８は、たとえば１５Ｋの輻射シールド板である。

予冷機２は、ヘリウムを冷媒として用い、膨張器４内でサイモン膨張を行わせることにより低温を発生させるものである。予冷機２は、コールドヘッドとしての膨張器４と、ジュール・トムソン冷凍機３の第１予冷部（予冷部）Ｌ１ａとの熱交換を行う第１段冷却部９と、ジュール・トムソン冷凍機３の第２予冷部（予冷部）Ｌ１ｂとの熱交換を行う第２段冷却部１０と、を備えている。すなわち、予冷機２は、２段式の予冷機である。予冷機２には、図示しない圧縮機が設けられる。第１段冷却部９および第２段冷却部１０は、真空容器であるクライオスタット６内に収容されている。より詳細には、第１段冷却部９は、第１シールド７によって熱アンカーが取られている。第２段冷却部１０は、第２シールド８によって熱アンカーが取られている。第２段冷却部１０は、第２予冷部Ｌ１ｂ内の冷媒を例えば１５Ｋ以下にまで冷却する機能を有する。

ジュール・トムソン冷凍機３は、ヘリウム（ヘリウム３またはヘリウム４）を冷媒として用い、上記予冷機２により予冷された後ジュール・トムソン弁１４，１５におけるヘリウムの断熱自由膨張により、冷却ステージ（極低温冷却部）１６で１〜４Ｋの極低温を発生させるものである。２段のジュール・トムソン弁１４，１５が設けられることにより、ジュール・トムソン冷凍機３の冷却能力は、１段のジュール・トムソン弁を備える冷凍機にくらべて高められている。

ジュール・トムソン冷凍機３は、循環ラインＬを流れる冷媒を圧送するためのジュール・トムソン圧縮システム１１と、第１予冷部Ｌ１ａおよび第２予冷部Ｌ１ｂと、第１導管Ｌ１に直列に設けられて、２段のジュール・トムソン弁をなす固定オリフィス１４，１５と、冷却ステージ１６と、第１導管Ｌ１および第２導管Ｌ２を流れる冷媒同士で熱交換を行うための熱交換器１７と、を備えている。固定オリフィス１５は、固定オリフィス１４の下流側に設けられている。第１予冷部Ｌ１ａおよび第２予冷部Ｌ１ｂは、固定オリフィス１４の上流側に設けられている。固定オリフィス１４，１５および冷却ステージ１６は、第２シールド８内に収容されている。熱交換器１７は、クライオスタット６内に収容されている。

冷却ステージ１６には、冷却ステージ１６における冷媒の温度を検出する温度検出器２４が設けられている。冷却ステージ１６は、冷却ステージ１６における冷媒の温度を検出し、温度データを制御部５に出力する。

ここで、ジュール・トムソン冷凍機３の循環ラインＬは、ジュール・トムソン圧縮システム１１の吐出側に接続されて冷媒を固定オリフィス１４，１５および冷却ステージ１６に導く第１導管Ｌ１と、冷却ステージ１６の下流側に位置してジュール・トムソン圧縮機１１の吸込み側に接続された第２導管Ｌ２と、を有している。ジュール・トムソン圧縮システム１１およびその周辺の配管（第１導管Ｌ１の最上流部、第２導管Ｌ２の最下流部）は、クライオスタット６外で室温環境下に設置されている。

ジュール・トムソン圧縮システム１１は、多段の圧縮構成となっている（複数の圧縮機を有している）。冷媒の流量及び圧力、この圧縮機により、必要な冷却温度における飽和蒸気圧から適宜設定される冷媒の流量及び圧力になる。本実施形態では、圧縮機は２段構成とされており、ほぼ大気圧に等しい圧力を有する第２導管Ｌ２内の冷媒を圧縮して昇圧させる真空ポンプ１２と、真空ポンプ１２により昇圧された冷媒をさらに圧縮して昇圧させ、第１導管Ｌ１内へと圧送するジュール・トムソン圧縮機１３と、を有している。冷媒は、真空ポンプ１２によって、例えば数気圧に昇圧され、ジュール・トムソン圧縮機１３によって、例えば数十気圧に昇圧される。真空ポンプ（圧縮機）の個数や、ジュール・トムソン圧縮システム１１によって圧送される冷媒の圧力および流量は、冷凍機１において求められる冷却能力などによって適宜設定される。

熱交換器１７は、４段構成とされており、室温の冷媒を冷却するための第１熱交換器１７ａと、第１熱交換器１７ａおよび第１予冷部Ｌ１ａにおいて冷却された冷媒をさらに冷却する第２熱交換器１７ｂと、第２熱交換器１７ｂおよび第２予冷部Ｌ１ｂにおいて冷却された冷媒をさらに冷却する第３熱交換器１７ｃと、第３熱交換器１７ｃおよび固定オリフィス１４によって冷却された冷媒をさらに冷却する第４熱交換器１７ｄと、を有している。第１熱交換器１７ａは、クライオスタット６と第１シールド７との間に配置されている。第２熱交換器１７ｂは、第１シールド７と第２シールド８との間に配置されている。第３熱交換器１７ｃおよび第４熱交換器１７ｄは、第２シールド８内に配置されている。熱交換器１７ａ〜１７ｄには、第１導管Ｌ１および第２導管Ｌ２が通っている。

固定オリフィス１４は、第３熱交換器１７ｃの直後に設けられている。固定オリフィス１５は、第４熱交換器１７ｄの直後に設けられている。冷却ステージ１６は、固定オリフィス１５の直後に設けられている。言い換えれば、固定オリフィス１４は、第３熱交換器１７ｃと第４熱交換器１７ｄとの間に設けられており、固定オリフィス１５は、第４熱交換器１７ｄと冷却ステージ１６との間に設けられている。冷媒は、各固定オリフィス１４，１５内で断熱自由膨張してミスト状の気液混合状態となり、さらに、冷却ステージ１６で冷却負荷を吸収して気化される。

固定オリフィス１４，１５は、流路の幅または形状を変更できない固定式のオリフィスである。各固定オリフィス１４，１５を流れる冷媒の流量は、各固定オリフィス１４，１５の入口の圧力によって決まる。固定オリフィス１４と固定オリフィス１５とでは、それぞれの入口における冷媒の圧力が異なる。よって、固定オリフィス１４と固定オリフィス１５としては、容量の異なるオリフィスが用いられる。各固定オリフィス１４，１５で冷却される冷媒の温度は、各固定オリフィス１４，１５の出口における飽和蒸気圧によって決まる。

冷凍機１のジュール・トムソン冷凍機３は、冷媒が固定オリフィス１４および固定オリフィス１５を通らない（すなわち、バイパスする）ようにするためのバイパス管２０を備えている。バイパス管２０は、第２予冷部Ｌ１ｂと固定オリフィス１４との間で第１導管Ｌ１から分岐して、冷却ステージ１６に接続されている。すなわち、第１導管Ｌ１からバイパス管２０が分岐する分岐部Ａは、第２予冷部Ｌ１ｂの直後に設けられている。

このバイパス管２０には、バイパス管２０にヘリウムガスを通す、または遮断するためのバイパスバルブ２１が設けられている。言い換えれば、バイパスバルブ２１は、ヘリウムガスの流路を、固定オリフィス１４，１５を通る流路とするか、固定オリフィス１４，１５を通らずに直接冷却ステージ１６に向かう流路とするか、のいずれかに切り替える切り替え手段である。バイパスバルブ２１は、ヘリウムガスのガス圧により開閉する、オンオフ式のガス駆動バルブである。バイパスバルブ２１は、ケーシングと、ケーシングに形成されたガス流入部およびガス流出部と、ケーシング内において進退することにより冷媒の流通をオン／オフさせるニードル部とを有している。これらの図示は、いずれも省略されている。

バイパスバルブ２１のケーシングには、ニードル部を進退させるための駆動ガス流入部２１ａが形成されている。駆動ガス流入部２１ａに駆動ガスが流入し、ニードル部にガス圧が加わることにより、ニードル部が進退する。

ここで、ジュール・トムソン冷凍機３には、バイパスバルブ２１の駆動ガス流入部２１ａに駆動ガス（すなわちヘリウムガス）を供給するための駆動ガス管２２が設けられている。駆動ガス管２２は、第１熱交換器１７ａの上流側（すなわち予冷部Ｌ１ａ，Ｌ１ｂの上流側）で第１導管Ｌ１から分岐してバイパスバルブ２１の駆動ガス流入部２１ａに接続されている。より詳細には、第１導管Ｌ１から駆動ガス管２２が分岐する分岐部Ｂは、クライオスタット６の外部（すなわち常温部）であって、ジュール・トムソン圧縮機１３と第１熱交換器１７ａとの間に設けられている。なお、分岐部Ｂは、クライオスタット６内に設けられてもよい。

この駆動ガス管２２中には、駆動ガス管２２にヘリウムガスを通す、または遮断するためのバルブ２６が設けられている。バルブ２６は、制御部５によって開閉制御される。駆動ガス管２２は、第１シールド７および第２シールド８によって熱アンカーが取られている。駆動ガス管２２の第２シールド８内に配置された部分２２ａは、１または数回折り曲げられることにより、その長さが意図的に長くされている。この部分２２ａの長さが長いことにより、駆動ガスがクライオスタット６、第１シールド７、および第２シールド８内に流入した場合でも、侵入熱の流入が低減されている。駆動ガス管２２の上流側の部分２２ｂは、第２シールド８の外部に配置されている。第２シールド８の外部に配置された部分２２ｂは、大気に曝されているため、高温になる。駆動ガス管２２の長さを長くすることにより、駆動ガスではなく駆動ガス管２２自体を伝って侵入する侵入熱も低減されている。

次に、図２および図３を参照して、冷凍機１の動作について説明する。

まず、冷凍機１による冷却温度が定常状態になるまでの冷却初期の段階（クールダウン）の時は、ヘリウムガスを１Ｋに冷却するまでの冷却時間を短縮するため、バイパスバルブ２１を開にする。このクールダウンの時、ジュール・トムソン圧縮システム１１は低消費電力運転により圧縮比をほとんどつけずにヘリウムガスを循環するのみである。ジュール・トムソン圧縮システム１１から吐出されるヘリウムガスは最初に第１熱交換器１７ａの高圧側入口に供給される。第１熱交換器１７ａの高圧側（第１導管Ｌ１）を流れるヘリウムガスは向流タイプの第１熱交換器１７ａで低圧側（第２導管Ｌ２）を流れる戻りのヘリウムガスと熱交換して冷却される。

次に、ヘリウムガスは、予冷機２の第１段冷却部９で冷却され、第２熱交換器１７ｂの高圧側入口へ送り込まれる。第２熱交換器１７ｂの高圧側（第１導管Ｌ１を流れるヘリウムガスは、低圧側（第２導管Ｌ２）を流れる戻りのヘリウムガスと熱交換して冷却され、更に予冷機２の第２段冷却部１０で冷却される。図２に示されるように、バイパスバルブ２１は開とされているので、第３熱交換器１７ｃ、第４熱交換器１７ｄの高圧側と２段の固定オリフィス１４，１５とを通さずに（すなわちジュール・トムソン効果は使わずに）バイパスさせてヘリウムガスを流して、冷却ステージ１６を予冷機２のみによって冷却する。

冷却ステージ１６を冷却したヘリウムガスは、第４熱交換器１７ｄの低圧側へ戻される。このヘリウムガスは、第３熱交換器１７ｃ、第２熱交換器１７ｂ、第１熱交換器１７ａの順に、熱交換器１７の低圧側（第２導管Ｌ２）を通って熱交換器１７の高圧側（第１導管Ｌ１）のヘリウムガスを冷却しながら昇温される。

そのようにして、常温に戻ったヘリウムガスはジュール・トムソン圧縮システム１１の低圧側へ戻る。そして、ヘリウムガスは、再びジュール・トムソン圧縮システム１１で循環のため第１熱交換器１７ａに供給される。

温度検出器２４によって検出される冷却ステージ１６の温度が、たとえば２０〜３０Ｋ以下になったら、図３に示されるように、制御部５の制御によりバルブ２６を閉にすることによりバイパスバルブ２１を閉にして、第３熱交換器１７ｃおよび第４熱交換器１７ｄの高圧側（第１導管Ｌ１）から固定オリフィス１４，１５を通してヘリウムガスを流す。このバイパスバルブ２１を閉にした時は、ジュール・トムソン圧縮システム１１の消費電力を増加させ、高低の圧縮比が取れる通常運転にする。これは、ジュール・トムソン効果（ＪＴ効果）を利用して冷却ステージ１６を冷却するためである。

次に、定常状態の運転について説明する。ジュール・トムソン圧縮システム１１で圧縮された高圧ヘリウムガスは、最初に第１熱交換器１７ａの高圧側入口に供給される。第１熱交換器１７ａの高圧側（第１導管Ｌ１）を流れる高圧ヘリウムガスは、向流タイプの第１熱交換器１７ａで低圧側（第２導管Ｌ２）を流れる戻りの低圧ヘリウムガスと熱交換して冷却される。第１熱交換器１７ａで冷却された高圧側（第１導管Ｌ１）を流れる高圧ヘリウムガスは、次に予冷機２の第１段冷却部９で冷却され、第２熱交換器１７ｂの高圧側入口へ送り込まれる。第２熱交換器１７ｂの高圧側（第１導管Ｌ１）を流れる高圧ヘリウムガスは、低圧側（第２導管Ｌ２）を流れる戻りの低圧ヘリウムガスと熱交換して冷却される。それから、第２熱交換器１７ｂで冷却された高圧側を流れる高圧ヘリウムガスは、更に予冷機２の第２段冷却部１０で冷却される。

第３熱交換器１７ｃに送り込まれた高圧ヘリウムガスは、戻りの低圧ヘリウムガスと熱交換して、ジュール・トムソン効果が期待される温度以下まで冷却される。この冷却された高圧ヘリウムガスは、固定オリフィス１４においてジュール・トムソン効果により中間圧のヘリウムガスとる。この中間圧の設定は、固定オリフィス１５でのジュール・トムソン効果が高効率になるように選定し得る。

固定オリフィス１４を通過し、第４熱交換器１７ｄに送り込まれた中圧ヘリウムガスは、戻りの低圧ヘリウムガスと熱交換して冷却され、固定オリフィス１５においてジュール・トムソン効果により低圧のヘリウムミストとなり、液体ヘリウム温度域での冷却能力を発生させる。未液化及び蒸発ヘリウムガス（低圧）は、第４熱交換器１７ｄの低圧側（第２導管Ｌ２）へ戻される。この低圧ヘリウムガスは、第３熱交換器１７ｃ、第２熱交換器１７ｂ、第１熱交換器１７ａの順に、熱交換器１７の低圧側（第２導管Ｌ２）を通って熱交換器１７の高圧側（第１導管Ｌ１）の中圧、高圧ヘリウムガスを冷却しながら昇温される。

そのようにして、常温に戻った低圧ヘリウムガスはジュール・トムソン圧縮システム１１の低圧側へ戻る。そして、ヘリウムガスは、再びジュール・トムソン圧縮システム１１で圧縮され、高圧ヘリウムガスとして第１熱交換器１７ａに供給される。

なお、上記の説明では、ヘリウムガスを１Ｋに冷却する例について説明したが、１Ｋに限らず他の温度（例えば、１Ｋ〜４Ｋ）に冷却しても良い。

本実施形態の冷凍機１によれば、循環ラインＬを流れるヘリウムガスが、予冷部Ｌ１ａ，Ｌ１ｂにおいて予冷機２により冷却され、さらに固定オリフィス１４，１５によって冷却される。ここで、ジュール・トムソン冷凍機３には、予冷部Ｌ１ａ，Ｌ１ｂと固定オリフィス１４との間で循環ラインＬの第１導管Ｌ１から分岐して冷却ステージ１６に接続されるバイパス管２０が設けられる。バイパス管２０には、バイパスバルブ２１が設けられる。ここで、ヘリウムガスの温度が所定の温度域（たとえば２０〜３０Ｋ）以上である状態においては、固定オリフィス１４，１５による冷却のためのジュール・トムソン効果は発揮され難い。冷凍機１では、冷却が開始されて定常状態になるまでの初期の段階（すなわちクールダウン時）においてはバイパスバルブ２１を開くことにより、ヘリウムガスが、固定オリフィス１４，１５を通らずに（すなわち、固定オリフィス１４，１５をバイパスして）冷却ステージ１６に導かれる。この場合、ヘリウムガスは、予冷機２のみによって冷却される。ヘリウムガスが固定オリフィス１４，１５をバイパスすることにより、ヘリウムガスは予冷機２によって所定の温度域（たとえば２０〜３０Ｋ）まで効率よく速やかに冷却される。ヘリウムガスが所定の温度域まで冷却された後、バイパスバルブ２１を閉じることにより、ヘリウムガスは、固定オリフィス１４，１５を通る。このとき、固定オリフィス１４，１５によるジュール・トムソン効果が発揮されて、ヘリウムガスがさらに冷却され、冷却ステージ１６において極低温が発生する。このように、ジュール・トムソン効果が発揮されやすい温度域に至るまでは、ヘリウムガスが固定オリフィス１４，１５をバイパスするように、ヘリウムガスの流路が切り替えられる。これによって、クールダウンに要する時間が短縮される。さらに、バイパスバルブ２１は単に開閉すればよく、開度や流量の調整は不要であるため、従来のような常温部からの操作は不要になる。よって、侵入熱の低減を図ることができる。

また、駆動ガス管２２を介して、バイパスバルブ２１の駆動ガス流入部２１ａにヘリウムガスを送ることにより、バイパスバルブ２１が開く。このようなガス駆動バルブを用いることにより、簡易な構成で、クールダウンに要する時間が短縮される。また、駆動ガス管２２の配管サイズは、従来の操作ロッドが通る配管サイズよりも大幅に小さくできるため、侵入熱の影響が小さい。しかも、駆動ガス管２２は、従来の操作ロッドが通る配管のように直線状に配置する必要がないため、駆動ガス管を曲げて配置することができる。すなわち、駆動ガス管を自由に長くすることができる。これにより、侵入熱の影響が一層小さくなる。

図４に示されるように、予冷機２００とジュール・トムソン冷凍機３００とを備えた従来の冷凍機１００では、常温部に配置されたジュール・トムソン操作部１０１によりジュール・トムソン弁であるニードルバルブ１０２を操作していたため、侵入熱が大きかった。また、ジュール・トムソン操作部１０１の操作ロッドが通る配管１０３は直線状に配置する必要があるため、配管１０３の長さが短くならざるを得ず、侵入熱が大きかった。固定オリフィス１４，１５を備えた冷凍機１によれば、これらの問題が解決される。

さらに、固定オリフィス１４，１５は、熱交換器１７とは独立した２段固定オリフィスであるため、製作が簡単である。また、開度の調整が不要であるため、冷凍機１の運転操作が容易になっている。

上記実施形態では、熱交換器１７が４段構成とされる場合について説明したが、熱交換器１７は、３段以下であってもよく、５段以上であってもよい。

駆動ガス管２２およびバルブ２６を省略して、バイパスバルブ２１をガス駆動ではなく電動バルブとし、制御部５によって開閉制御してもよい。バルブ２６は、制御部５によって開閉制御される場合に限られず、温度検出器２４による出力値に応じて手動で開閉操作されてもよい。すなわち、バルブ２６を自動制御するための制御部５を省略することもできる。

予冷機２は、ギフォード・マクマホン冷凍機に限られず、スターリング冷凍機やパルスチューブ冷凍機等であっても良い。予冷機２がギフォード・マクマホン冷凍機である場合には、上記したように、膨張器４内でサイモン膨張を行わせることにより低温を発生させるが、予冷機２がギフォード・マクマホン冷凍機以外の冷凍機である場合には、この作用とは異なる作用で低温を発生させる。第２シールド８は必ずしも設けられなくても良い。第１シールド７内の温度が低い（例えば４０Ｋ以下の）場合には、第２シールド８を省略しても良い。

１…冷凍機（冷凍装置）、２…予冷機、３…ジュール・トムソン冷凍機、１４…固定オリフィス（第１のオリフィス、第１のジュール・トムソン弁）、１５…固定オリフィス（第２のオリフィス、第２のジュール・トムソン弁）、１６…冷却ステージ（極低温冷却部）、２０…バイパス管、２１…バイパスバルブ、２１ａ…駆動ガス流入部、２２…駆動ガス管、Ｌ…循環ライン、Ｌ１ｂ…第２予冷部（予冷部）。

Claims

循環ラインに直列に設けられた第１および第２のジュール・トムソン弁によって前記循環ラインを流れる冷媒を冷却し、極低温冷却部において極低温を発生させるジュール・トムソン冷凍機と、前記第１および第２のジュール・トムソン弁の上流側で前記冷媒を予冷する予冷機と、を備えた冷凍装置であって、
前記ジュール・トムソン冷凍機は、
前記第１および第２のジュール・トムソン弁の上流側に設けられて、前記予冷機によって予冷される予冷部と、
前記第１のジュール・トムソン弁をなす第１のオリフィスと、
前記第１のオリフィスの下流側に設けられて、前記第２のジュール・トムソン弁をなす第２のオリフィスと、
前記予冷部と前記第１のオリフィスとの間で前記循環ラインから分岐して前記極低温冷却部に接続されるバイパス管と、
前記バイパス管に設けられ、ガス圧により開閉するガス駆動バルブであるバイパスバルブと、
前記予冷部、前記第１のオリフィス、前記第２のオリフィス、前記バイパス管、及び前記バイパスバルブを収容するクライオスタットと、
前記バイパスバルブを駆動する駆動ガスが流れる駆動ガス管と、
を備え、
前記駆動ガス管は、前記予冷部の上流側で前記循環ラインから分岐して前記クライオスタットの内部まで延伸し、前記クライオスタットの内部において前記バイパスバルブに接続されていることを特徴とする冷凍装置。