JP5938132B1 - 部品接合装置及び部品接合システム - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本発明の実施の形態に係る部品接合装置1の構成について説明する(図1及び図2参照)。
中ベース4は外径がベース板部6の外径と同じにされた円環状に形成され、高さ(厚み)が押さえ部7の高さ(厚み)より大きくされている。中ベース4の内周面は押さえ部7の外周面より外側に位置され、中ベース4の内周面と押さえ部7の外周面との間の空間は環状空間3bとして形成されている。
次に、本発明の実施の形態に係る部品接合システム70の構成について説明する(図3参照)。本発明の実施の形態に係る部品接合システム70は上記した部品接合装置1と部品接合装置1に対して加熱を行うと共に部品接合装置1の接合用配置部2aを真空状態にする真空オーブン20とを備えている。
以下に、本発明の実施の形態に係る部品接合システム70における接合作業について説明する(図3乃至図5参照)。接合作業によって被接合体92、92、・・・が接合体91、91、・・・に、例えば、固相拡散接合によって接合される。固相拡散接合は、接合ワーク90、90、・・・が配置された接合用配置部2aが真空状態にされて部品接合装置1が加熱されることにより行われる。
以上に記載した通り、部品接合装置1及び部品接合装置1を用いた部品接合システム70にあっては、接合用配置部2aが真空にされ加熱された状態かつ接合体91又は被接合体92の一方が押さえられた状態で加圧液100の圧力が封止材9を介して接合体91又は被接合体92の他方に付与される。
次に、本発明の比較例に係る部品接合装置31の構成について説明する(図6及び図7参照)。
次に、本発明の比較例に係る部品接合システム80の構成について説明する(図8参照)。本発明の比較例に係る部品接合システム80は上記した部品接合装置31と部品接合装置31に対して加熱及び加圧を行う加熱加圧オーブン40とを備えている。
以下に、本発明の比較例に係る部品接合システム80における接合作業について説明する(図8参照)。接合作業によって被接合体92、92、・・・が接合体91、91、・・・に、例えば、固相拡散接合によって接合される。固相拡散接合は、被覆シート37と接合ワーク90、90、・・・の間の空間が真空状態に保持されている状態において部品接合装置31が加熱されることにより行われる。
以上に記載した通り、部品接合装置31及び部品接合装置31を用いた部品接合システム80にあっては、真空状態において接合ワーク90が被覆シート37に押さえられた状態で加熱及び加圧される。
尚、上記には、接合ワーク90に対する加熱が加熱加圧オーブン40によって行われる例を示したが、例えば、ベース筐体32を加熱機能を有する構成にし、ベース筐体32によっても接合ワーク90に対する加熱が行われるようにすることも可能である。
次に、本発明の比較例の変形例に係る部品接合システム80Aについて説明する(図9乃至図11参照)。
尚、押さえフィルム52として、例えば、加熱されることにより軟化され、さらに高い温度で一定時間加熱されることにより固化される特性を有するものを用いることも可能である。このような特性を有する材料としては、例えば、熱可塑性又は熱硬化性のエポキシ樹脂やナイロン系の樹脂がある。
上記には、被接合体92が接合体91に固相拡散により接合される例を示したが、本発明は、固相拡散以外の接合方法に用いることも可能である。
2…ベース筐体
2a…接合用配置部
5a…封入空間
7…押さえ部
9…封止材
11…ストップバルブ(流入遮断部)
13…圧力調整部
20…真空オーブン
70…接合システム
90…接合ワーク
91…接合体
92…被接合体
93…接合材
100…加圧液
Claims (5)
- 接合材を挟んで接合体と被接合体が位置される接合ワークにおいて前記被接合体を前記接合材によって前記接合体に接合する真空状態で真空オーブンによって加熱される部品接合装置であって、
前記真空オーブンによって加熱されて圧力が変化される加圧液が封入される封入空間が内部に形成されたベース筐体と、
前記封入空間に前記加圧液を封止すると共に前記加圧液の圧力に応じて変形される封止材とを備え、
前記ベース筐体の内部に前記接合ワークが配置される接合用配置部が形成され、
前記ベース筐体に前記真空オーブンによって前記接合用配置部を真空にするためのエアー排出孔が形成され、
加熱された状態かつ前記接合体又は前記被接合体の一方が押さえられた状態で前記加圧液の圧力が前記封止材を介して前記接合体又は前記被接合体の他方に付与される
部品接合装置。 - 前記加圧液の圧力を調整する圧力調整部が設けられた
請求項1に記載の部品接合装置。 - 前記ベース筐体に前記接合体又は前記被接合体を押さえる押さえ部が設けられた
請求項1又は請求項2に記載の部品接合装置。 - 前記加圧液として水が用いられた
請求項1、請求項2又は請求項3に記載の部品接合装置。 - 接合材を挟んで接合体と被接合体が位置される接合ワークにおいて前記被接合体を前記接合材によって前記接合体に接合する部品接合装置と内部に配置される前記部品接合装置に対して真空状態で加熱を行う真空オーブンとを備えた部品接合システムであって、
前記部品接合装置は、
前記真空オーブンによって加熱されて圧力が変化される加圧液が封入される封入空間が内部に形成されたベース筐体と、
前記封入空間に前記加圧液を封止すると共に前記加圧液の圧力に応じて変形される封止材とを有し、
前記ベース筐体の内部に前記接合ワークが配置される接合用配置部が形成され、
前記ベース筐体に前記接合用配置部を前記真空オーブンによって真空にするためのエアー排出孔が形成され、
加熱された状態かつ前記接合体又は前記被接合体の一方が押さえられた状態で前記加圧液の圧力が前記封止材を介して前記接合体又は前記被接合体の他方に付与される
部品接合システム。
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