JP5937809B2 - 基板搬送システム - Google Patents
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先ず,本発明の実施形態にかかる基板搬送システムについて図面を参照しながら説明する。ここでは,基板搬送システムをプロセスチャンバなどとの間で基板をやり取りするトランスファチャンバに適用した場合の例を挙げて説明する。図1は,本実施形態にかかる基板搬送システム100の概略構成を示す断面図である。
ここで,ミラーユニット300の第1構成例について説明する。図2,図3は,ミラーユニット300の第1構成例を説明するための図である。図2は,ミラーユニット300をその内部構成とともに説明するため,ミラーユニット300のみを断面図にしたものである。また,図3は,図2に示すミラーユニット300を含む搬送アーム装置200を上方から見た図を示す。
次に,ミラーユニット300の第2構成例について説明する。図6,図7は,ミラーユニット300の第2構成例を説明するための図である。図6は,ミラーユニット300をその内部構成とともに説明するため,ミラーユニット300のみを断面図にしたものである。また,図7は,図6に示すミラーユニット300を含む搬送アーム装置200を上方から見た図を示す。図8A〜図8Cは,図7に示すピック240を前進させたときのミラーユニット300の動作説明図である。
次に,ミラーユニット300の第3構成例について説明する。図9,図10は,ミラーユニット300の第3構成例を説明するための図である。図9は,ミラーユニット300をその内部構成とともに説明するため,ミラーユニット300のみを断面図にしたものである。また,図10は,図9に示すミラーユニット300を含む搬送アーム装置200を上方から見た図を示す。
ここで,搬送アーム装置の他の構成例について説明する。ここでは,複数の搬送アームを設けた搬送アーム装置にミラーユニットを適用する場合を例に挙げる。
ここで,本発明にかかる基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの他の構成例について図面を参照しながら説明する。図18は,4つのプロセスチャンバを接続した6角形のトランスファチャンバの構成例を示す。
102 ゲートバルブ
110 トランスファチャンバ
112 容器
113 基板搬出入口
114 天井壁
116 観察窓
118 案内レール
120,120A〜120F プロセスチャンバ
122 容器
123 基板搬出入口
124 載置台
130,130A,130B 撮像装置
132 支持部材
140 制御部
142 操作部
144 記憶部
200 搬送アーム装置
202 モータ
210,210A,210B 搬送アーム
220 ベース
222 駆動軸
230 230A,230B リンク
234A,234B 駆動リンク
236 回転台
240,240A,240B ピック
242 242A,242B 段部
300,300A,300B ミラーユニット
302 連結ユニット
302a,302b,302c 連結部
304A,304B ピック側ユニット
305a ピック側開口部
305b 側部開口部
306,306A,306B ベース側ユニット
307a ベース側開口部
307b 側部開口部
308 筒状連結部
309 側部開口部
310,310A,310B ピック側ミラー
312,312A,312B ベース側ミラー
314A,314B,316A,316B 中継ミラー
320 支持部材
LLA,LLB ロードロックチャンバ
W ウエハ
Claims (11)
- 基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され,搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって,
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され,屈伸自在に構成された搬送アームと,
前記搬送アームの先端に設けられ,前記基板を保持するピックと,
前記ピック側に配置されるピック側ミラーを備えたピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えたベース側ユニットとを少なくとも有し,前記ピック側ミラーは前記ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し,前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと,
前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と,
前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて,前記基板の状態を検出する制御部と,を備え,
前記ミラーユニットは,前記搬送アームと共に旋回するように,前記ベースに支持されることを特徴とする基板搬送システム。 - 前記ミラーユニットは,前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットとを連結ユニットで水平に連結して構成し,
前記連結ユニットは,筒状に形成し,その両端で前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。 - 前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま,前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け,
前記連結ユニットは伸縮自在に構成したことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送システム。 - 前記ミラーユニットは,前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットを水平に離間させて構成し,
前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま,前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け,
前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットは,前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。 - 前記ベースに前記搬送アームを複数設け,前記搬送アームごとに前記ミラーユニットを設け,
前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し,前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し,
前記撮像装置は,前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように配置し,
前記制御部は,前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて,前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板搬送システム。 - 前記複数の搬送アームのピックをそれぞれ鉛直方向にずらして設けた場合には,前記各ベース側ミラーが重ならないように,前記各ベース側ユニットを水平方向にずらして設けたことを特徴とする請求項5に記載の基板搬送システム。
- 前記ベースに前記搬送アームを水平に2つ並べて設け,これらのピックの中間に1つの前記ミラーユニットを設け,
前記ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を両方含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し,前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し,
前記撮像装置は,前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように配置し,
前記制御部は,前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて,前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板搬送システム。 - 基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され,搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって,
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され,屈伸自在に構成された複数の搬送アームと,
前記搬送アームの先端に設けられ,前記基板を保持するピックと,
前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置される複数のベース側ミラーを備えた1つのベース側ユニットとを有し,前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し,前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像をそれぞれ前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと,
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と,
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて,前記各基板の状態を検出する制御部と,を備え,
前記ミラーユニットは,前記搬送アームと共に旋回するように,前記ベースに支持されることを特徴とする基板搬送システム。 - 基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され,搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって,
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され,屈伸自在に構成された搬送アームと,
前記搬送アームの先端に筒状連結部を介して設けられ,前記基板をそれぞれ保持する複数のピックと,
前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えた1つのベース側ユニットとを有し,前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し,前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからそれぞれ前記筒状連結部に設けられた中継ミラーを介して反射された画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと,
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と,
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて,前記各基板の状態を検出する制御部と,を備え,
前記ミラーユニットは,前記搬送アームと共に旋回するように,前記ベースに支持されることを特徴とする基板搬送システム。 - 前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ,前記ベースのスライド方向の複数の位置に停止して前記搬送アームを旋回させる場合には,その停止位置にそれぞれ前記撮像装置を設けたことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の基板搬送システム。
- 前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ,前記撮像装置は前記ベースとともにスライド自在に設けたことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の基板搬送システム。
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