JP5934633B2 - 単結晶SiC基板の表面処理方法及び単結晶SiC基板の製造方法 - Google Patents
単結晶SiC基板の表面処理方法及び単結晶SiC基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
また4H−SiC 4°−off(0001)(□10mm/4”)、エピタキシャル層n−type1×1016/cm3〜10μmの単結晶SiC基板に、Al+イオンの多段注入を、高温(500℃)、1×1019atoms/cm3、基板表面から500nm、の条件下で行った。このイオン注入後の単結晶SiC基板を、直径20mmの蓋付の上記の坩堝内に載置し、1600℃でAr1.3kPa雰囲気下において5分間のエッチングを行った。
イオン注入後の単結晶SiC基板に、従来のカーボン層を形成してアニールを行い、上記の実施例1と電気特性を比較した。
21 本加熱室
22 予備加熱室
30 坩堝
40 単結晶SiC基板
41 エピタキシャル層
42 イオン注入部分
Claims (9)
- 単結晶SiC基板をSiの蒸気圧下で加熱処理することによりエッチングする単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記単結晶SiC基板周囲の雰囲気の不活性ガス圧を調整することによりエッチング速度を制御するエッチング工程を含み、
前記エッチング工程では、前記エッチング速度が1000nm/min以下となるように不活性ガス圧を調整することを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項1に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記単結晶SiC基板にイオンが注入されるイオン注入工程を含み、
前記エッチング工程では、前記単結晶SiC基板の表面のイオン注入不足部分が除去されることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項2に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記エッチング工程では、前記単結晶SiC基板に注入されたイオンが活性化されるとともに、前記イオン注入不足部分が除去されることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項2又は3に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
カーボン層に覆われておらず、表面が露出している前記単結晶SiC基板に対して前記エッチング工程が行われることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項2から4までの何れか一項に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記エッチング速度が100nm/min以下であることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記エッチング工程は、エピタキシャル層を形成する前の前記単結晶SiC基板に行われることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項1から6までの何れか一項に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記不活性ガス圧が10Pa以上であることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項1から7までの何れか一項に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法であって、
前記エッチング工程では、前記単結晶SiC基板は坩堝に収容されて加熱処理され、
前記坩堝は、タンタル金属からなるとともに、炭化タンタル層を内部空間に露出させるようにして構成されていることを特徴とする単結晶SiC基板の表面処理方法。 - 請求項1から8までの何れか一項に記載の単結晶SiC基板の表面処理方法を用いて基板表面を処理する工程を含むことを特徴とする単結晶SiC基板の製造方法。
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