JP5926266B2 - 切り替え可能な動作形態を有するレーザ走査顕微鏡 - Google Patents

切り替え可能な動作形態を有するレーザ走査顕微鏡 Download PDF

Info

Publication number
JP5926266B2
JP5926266B2 JP2013530617A JP2013530617A JP5926266B2 JP 5926266 B2 JP5926266 B2 JP 5926266B2 JP 2013530617 A JP2013530617 A JP 2013530617A JP 2013530617 A JP2013530617 A JP 2013530617A JP 5926266 B2 JP5926266 B2 JP 5926266B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser scanning
scanning microscope
polarization
electro
operation mode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013530617A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013539079A (ja
JP2013539079A5 (ja
Inventor
アンフート、ティーモ
カルクブレナー、トーマス
シュヴェート、ダニエル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microscopy GmbH filed Critical Carl Zeiss Microscopy GmbH
Publication of JP2013539079A publication Critical patent/JP2013539079A/ja
Publication of JP2013539079A5 publication Critical patent/JP2013539079A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5926266B2 publication Critical patent/JP5926266B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0076Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0136Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  for the control of polarisation, e.g. state of polarisation [SOP] control, polarisation scrambling, TE-TM mode conversion or separation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

基本的問題
要求が変化する生物学的試料での顕微鏡、例えば進入深度が制限されていて、強く散乱した媒体中の顕微鏡および/または動的なプロセスを観察するための生体セル顕微鏡、または拡散プロセスを顕微鏡的に分析する際には、散乱した媒体への進入深度、試料保護(ブリーチング、光毒性)、画像記録速度およびROI(関心領域)マニピュレーションに関する柔軟性に高い要求が存在する。
2光子励起顕微鏡(特許文献2):
欠点は、レーザシステムが非常に高価であること、色素の選択が制限されること、試料負荷である。
FRAP(光褪色後蛍光回復法):
ここでは所定の試料領域が目的通りにブリーチング(褪色)され、引き続きその回復特性を時間的に検知する。これに関して、蛍光がブリーチングするまで、試料の選択領域を目的通りにおよび高い強度で照射するためには個別スポットモード(シングルスポット)が必要である(特許文献3参照)。そして拡散過程による蛍光の回復が可能な限り高速の画像形成により測定される。そのためには、回復の勾配はブリーチングの終了直後が最大であるため、ブリーチング過程と画像形成過程とを高速に切り替えるのが有利である。
[非特許文献1、非特許文献2、特許文献1]で公開されたような焦点変調顕微鏡(FMM)
FMMでは励起レーザ光の半分が(直径で)位相変調される。顕微鏡対物レンズによるフォーカシングの際に、この半分の位相変調が焦点容積内に強度変調を引き起こす。この強度変調は、焦点上にあるピンホールの後での例えばロックイン検出によって検出することができる。この方法の利点は、弾動光子、すなわち散乱されない光子であって、焦点に光分布を形成する光子だけがこの変調信号に関与し、これらの光子が信号光子の時間的強度変調を引き起こすことである。例えば強く散乱した媒体内で何度も散乱した光子はしっかりした位相関係を失い、焦点内での時間に依存する干渉構造には寄与せず、ひいてはロックイン復調された信号には寄与しない。これにより散乱された光によるバックグランドが強く低減され、レーザ共焦点顕微鏡に比較的正確に試料を結像することのできる深度が上昇する。
これまでレーザ光の半分を位相変調するためには機械的アプローチが使用されている。[非特許文献1]ではレーザ光が分割されたミラーに偏向され、このミラーの一方の半分が圧電素子を介して他方の半分に対して相対的に移動される。
[非特許文献2]では、ビームが半分まで、ガルバノメータスキャナ上にあるガラスディスクを通して導かれる。このディスクを回転することにより、ビームの一方の半分の位相が他方の半分に対して相対的に変調される。
すべての機械的アプローチの基本的問題は変調率が低いことであり、この変調率は使用される調整素子の機械的共振周波数によって制限される([非特許文献1]と[非特許文献2]については5〜20kHz)。
ロックイン検出法に対してはピクセル滞在時間ごとに最小数の変調期間が必要であるので、これにより画像記録レートが強く制限される。
FMMは、強く散乱した媒体内のレーザ走査顕微鏡(LSM)に対しては有利に使用することができ、多光子励起顕微鏡[特許文献2]に対する択一的手段を提供する。
FMM解決手段はこれまで公知のように、進入深度に有利な変調モードのために設計されている。
しかしフレキシブルに使用可能なLSMについては、とりわけ生体セル研究での使用に対してさらなる要求が生じる。この要求の一部はLSM、とりわけ多光子励起顕微鏡の現行の形状と調和させるのが困難である。ここでは基準として、とくに記録速度(動的なプロセスの観察)と試料負荷(光毒性、動的なプロセスの長時間観察の際のブリーチング)を挙げられる。
動的なプロセスを観察するためにLSMにおいて画像記録速度を上昇させることは、基本的に例えば共振スキャナによる高速走査によって達成することができる。しかしこのことは、短時間のピクセル滞在時間内で十分な蛍光信号を発生させるためには高い強度が必要であるため、試料保護の要求と調和させるのが困難である。
画像記録速度を上昇させ、および/または試料負荷を低減するための別の可能性は、空間的に分割された複数の焦点を同時にラスタ化することである(マルチスポットLSM)(特許文献4、特許文献5)。
特許国際公開第2009008838号 欧州特許第500717号 Zweiphotonenmikroskopie ドイツ特許願第19829981号 ドイツ特許願第19904592号 米国特許第6028306号
チェンら(Chen et al.),Opt.Express 16,18764(2008) ウォンら(Wong et al.),Appl.Opt.48,3237(2009) スエダら(Sueda et al.),Opt.Express 12,3548(2004)
発明
本発明は、独立請求項の特徴部分によって特徴付けられる。
有利な改善形態は従属請求項の対象である。
本発明で請求される解決手段は、具体的なFRAP課題設定にも、2つのビーム経路の高速の切り替えを必要とする択一的な画像形成モード間での高速切り替えにも関連する。ここでビーム経路の1つはマルチスポット発生を含むことができるが、含む必要はない。
LSMのフレキシブルなマルチモードアプローチのためのビーム切り替えおよびビーム変調を実行する構成を示す。 電気光学的変調器(EOM)を示す。 図1に示した構成のための電気光学的変調器を斜視図で示す。 図1に示した構成の斜視図を示す。
以下、本発明の種々の有利な実施形態を概略的に説明する。
図1は、LSMのフレキシブルなマルチモードアプローチのためのビーム切り替えおよびビーム変調を実行する構成を示す。図面および明細書に詳細に説明されたセグメント化されたEOM(s−EOM)によりマルチモードLSMが例えば、
・シングルスポットLSM
・マルチスポットLSM
・シングルスポットFMM
・マルチスポットFMM
・FRAPシステム
として駆動され、さらにこれらの動作状態の間を往復して高速に切り替えることができる。
光源(レーザ)のビーム路には光電変調器S−EOMが設けられており、この光電変調器は有利には図2に示されるように制御することができる。
S−EOMにはλ/2プレートP1とP2が前置および後置接続されている。
プレートP2には偏光ビームスプリッタPBS1が続いており、PBS1の通過方向には別の偏光ビームスプリッタPBS2が続いている。
PBS1の反射方向には光シャッタS1と、レーザ光からマルチスポットを形成するためのMSモジュールとが設けられている。レーザ光はミラーを介してPBS2から走査モジュールを有する顕微鏡Mの方向に再び入力結合される。さらに透過方向で両方のPBSの間に第2の光シャッタS2を有利に配置することができる。
プレートP1とP2は制御ユニットASを介して回転可能に構成されており(P1、P2)、P2はさらに外に旋回可能に構成することができる。
シャッタとS−EOMも同様に制御ユニットASと接続されており、制御ユニットは種々の動作モード間の切り替えを制御する。
シャッタS1は、とりわけシングルスポット(LSM、FMM)モードでは、光がMSモジュールおよびPB2を介して試料に達し、それにより弱いゴーストイメージが形成され得ることを完全に回避するために用いられる。シャッタS2は、部分ビームの1つがマルチスポットモードで、急な遷移(ストライプ)に伴う不均等な画像明度の原因となり得る両方のPBSにより誤偏光されたレーザ光が氾濫することによる強調過多を回避するために用いられる。
表1には、レーザ走査顕微鏡の前記動作形態に対する個々のエレメントの例として動作モードが示されている。
半波電圧とは、使用されるレーザ波長に対するEOMの動作電圧であり、この動作電圧は異方性に偏光されたレーザ光の成分の運動遅延を半分の波長において引き起こし、したがって偏光の回転は90度である。
P1でのゼロ度と22.5度は、入射するレーザビームの偏光で前提にされた線形の配向と、半波プレートの異方性結晶軸との間の角度である。レーザビームは例えば前置されたAOTFにより前記線形の配向を受け、例えば垂直に配向することができる。
焦点変調モード(3および4)では、電極E1ではなく電極E2を変調することも考えられる。
したがって表1の個々の動作モードについて、レーザビームは図1に示したエレメントを介して以下のようにビーム経過する。
1. P1、EOM、P2、PBS1、S2、PBS2を介して方向Mに
2. P1、EOM、P2、PBS1、S1、MS、PBS2を介してMに
3. P1、EOM、P2、PBS1、S2、PBS2を介してMに
4. P1、EOM、P2、PBS1、S1、MS、PBS2を介してMに
5. P1、EOM、P2、PBS1、S2、PBS2を介してMに
図2は、電気光学的変調器(EOM)を示す。
本発明では、EOMがFMMモードで、励起光線の少なくとも一部、好ましくは半分をとくに高速に非機械的に変調するために使用される。
励起光線の半分は、1つまたは複数のEOMの一部を逆極性に制御することにより異なって(逆相に)変調される。
EOMの一部が異なって制御される場合、当業者には通常の絶縁層によって、セグメント化された電極の互いの影響を回避することができる。
電気光学的変調器は、二重屈折結晶内のポッケルス効果を利用する。ポッケルス効果では、電圧を結晶に印加することにより、その異方性屈折率が変化する。このことは、通過するレーザ光の偏光または位相を走査するのに利用される。ポッケルス効果はほとんど即時に生じ、これにより変調を結晶の種類と大きさに応じて非常に高速に行うことができる(最大数10MHz)。
以下に、実施例についてどのようにFMM顕微鏡に有利に使用することができるかを説明する。
並置される、または互いにずらし、向き合って配置される電極により形成される逆相の場E1、E2を有するEOMが図2に概略的に示されている。
すべてのEOMベースの解決手段における基本的に重要な利点は、数10MHzの大きな変調速度である。
EOMは、非特許文献1、非特許文献2によれば照明ビーム路、有利には拡張された(視準化された)ビーム区間に配置される。
ビーム拡張の大きさによりビーム横断面を結晶サイズに適合することができる。
図2の左では上方と下方の2つの半分ビームが、上側部分と下側部分とで逆相に極性付けられた電極により異なって変調される。
変調された区間はレーザビームで上下に重なることができるが、重なる必要はない。
図2の右部分には側面図が概略的に示されており(左部分の矢印方向)、制御される区間は有利には互いに側面がずらされている。
これは散乱場(EOMでは高電圧が必要)を回避するのに有利である。
逆相に極性付けられた実施例は、例えば結晶を変調すべきでないが、一方の側から他方の側へのクロストーク効果を回避すべき場合に有利である。逆相の制御により、さらに有利にはストローク間隔(逆に経過する振幅の間隔)が、単相の制御と比較して倍になる。所望の位相(ストローク)を区別する場合、これにより有利には結晶も短縮できる(伝搬長の短縮)。さらにEOMの制御される領域をずらして配置することにより、両方のビーム領域をオーバラップすることができる(半分を超えて)。
マルチモード切り替えのためのアプローチ
後で明らかになるように、EOMは別の動作モードでも同じ構成で、シングルスポット変形例での駆動のために、好ましくはFRAPのために驚くことには有利に使用できる。
図3は、図1に示した構成のための電気光学的変調器を斜視図で示す。
交番電場を形成するための電極1と2は、結晶の下面に対応する対向電極を有する(分かりやすくするため図示されていない)。
セグメント化された電極を備えるEOMの等方性結晶軸と異方性結晶軸とは互いに垂直であり、かつ光軸に対して垂直であり、図に示されているように、電場の軸に対して45°で配向されている。このことは線形に偏光されたレーザ光に対して以下の作用を有する。
・異方性結晶軸に沿ったレーザ偏光→レーザ光は、電極に印加される電界強度にしたがいポッケルス効果のため遅延(運転期間が延長)される。
・(異方性)等方性結晶軸に対して45°でレーザ偏光→光は(異方性)等方性伝搬方向に均等に分割される。電極に印加される電圧に応じて(異方性伝搬成分の遅延)、結晶から出た後に両方の成分が重なると新たな位相状態が調整される。これは半波遅延では例えば線形の90°回転、または四分の一波遅延では円偏光である。
動作モードFMM(3a)に対しては、レーザ偏光がEOMの高速結晶軸(すなわち異方性軸)に沿って入射される。この配向は、図1でS−EOMに前置され、回転可能に構成された第1のλ/2プレートP1によって調整することができる。対応して偏光回転は行われないが、FMMに必要なように、EOMにおける半分ビームの位相変調または両方の半分ビームの逆相変調は必要である。
第2のλ/2プレートP2(S−EOMの後方)の回転により、PBS1と関連して、レーザ出力をマルチスポットモードを介して導くのか(マルチスポットFMM)またはスキャンヘッド/顕微鏡の方向に直接導くのか(シングルスポットFMM)を調整することができる。
S−EOMの前方にある第1のλ/2プレートP1が回転されると、レーザ偏光と(異方性)等方性結晶軸とが45°の角度を形成し(図3(b))、セグメント化された電極が同相で制御される。これにより両方のビーム半分の間に位相差は存在せず、EOMは偏光スイッチとして機能し、例えば偏光を水平と垂直との間で、例えば矩形電圧の制御により高速に切り替える。すなわち、光がPBSを透過するか、またはここで反射されるかを設定する。その際、この動作モードに対しては、第2のλ/2プレートがビーム路から取り出されるか、またはその高速軸が後続のPBSの優位軸に対して平行になるよう配向される。この動作モードでは、このシステムを有利にはFRAPに使用することができる。高速の切り替えにより、スキャナと関連して任意のROI(関心領域、特許文献3)を目的通りにブリーチングすることができる。
とりわけ生体セル画像形成のためには、高速観察のためのマルチスポットLSMとシングルスポットマニピュレーションとの魅力的な組み合わせが有利に可能である。直線通過(表T1の第5行)でのマニピュレーションイベントの後に、マルチスポットLSMモードで引き続き観察走査(表T1の第2行)を高速に行うことができ、これによりマニピュレーションによってトリガされた動的な事象(例えば色素の活性化)を高い時間的分解能で観察することができる。
本発明は提示された経過に束縛されるものではない。むしろ当業者が取り扱う枠内で本発明を、異なる複数の動作モードの切り替えのために使用することができ、本発明はペアでもまたは多重の組み合わせでも有利に使用することができる。

Claims (10)

  1. 異なる複数の動作モード間で切り替えることのできるレーザ走査顕微鏡であって、
    前記異なる複数の動作モード間で切り替えために照明ビームの第1のビーム路に設けられた電気光学的変調器(EOM)
    該電気光学的変調器に対して前置された調整可能な第1の偏光回転素子と
    該電気光学的変調器に対して後置された調整可能な第2の偏光回転素子と、
    該電気光学的変調器に対して後置され前記第1のビーム路から分岐する第2のビーム路を形成するための少なくとも1つの第1の偏光スプリッタとを備える、レーザ走査顕微鏡。
  2. 請求項1に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    前記第1の偏光回転素子は、前記電気光学的変調器の動作モードに応じて調整され、
    前記第2の偏光回転素子は、前記第1または前記第2のビーム路に応じて調整される、レーザ走査顕微鏡。
  3. 請求項1または2に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    前記少なくとも1つの第1の偏光スプリッタに対して光方向で後置された第2の偏光スプリッタをさらに備え、
    前記第2の偏光スプリッタは、前記第1および前記第2のビーム路の統合を行い、
    前記電気光学的変調器は、少なくとも2つの動作状態(B1、B2)の間で切り替え可能であり、
    前記少なくとも2つの動作状態の間で切り替えることは、
    B1.偏光の切り替え、
    B2.焦点変調(FMM)を形成するために電気光学的変調器の異なる領域を異なって変調することである、レーザ走査顕微鏡。
  4. 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    前記第1および第2の偏光回転素子は、λハーフプレートである、レーザ走査顕微鏡。
  5. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    前記第2のビーム路には、照明ビームの形状を変更する光影響手段が設けられ、
    前記光影響手段は、少なくとも2つの部分ビームへのビーム分割部を含む、レーザ走査顕微鏡。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    部分ビームは、互いに角度をなす、レーザ走査顕微鏡。
  7. 請求項3乃至6のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡であって、
    前記第2のビーム路中で前記光影響手段の前方および前記第1のビーム路中で前記第1および前記第2の偏光スプリッタの間のうちの少なくとも一方には制御可能な光シャッタが設けられている、レーザ走査顕微鏡。
  8. 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡の構成要素備える、レーザ走査顕微鏡の照明ビーム路における構成要素群
  9. 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のレーザ走査顕微鏡のための方法であって、
    前記レーザ走査顕微鏡は、前記異なる複数の動作モードを
    ・シングルスポットレーザ走査顕微鏡として動作する動作モード
    ・マルチスポットレーザ走査顕微鏡として動作する動作モード
    ・シングルスポット焦点変調として動作する動作モード
    ・マルチスポット焦点変調として動作する動作モード
    光褪色後蛍光回復法システムとして動作する動作モードのうちの少なくとも2つの動作モードの間で切り替える、方法
  10. 請求項9に記載の方法であって、
    前記動作モードの切り替えは、ブリーチング過程または試料領域のマニピュレーションの後に、レーザ走査顕微鏡のマルチスポットの照明ビームを形成するマルチスポットモードへの切り替えが即時に行われるように実行される、方法。
JP2013530617A 2010-10-01 2011-09-29 切り替え可能な動作形態を有するレーザ走査顕微鏡 Active JP5926266B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010047353.7 2010-10-01
DE102010047353A DE102010047353A1 (de) 2010-10-01 2010-10-01 Laser-Scanning-Mikroskop mit umschaltbarer Betriebsweise
PCT/EP2011/004873 WO2012041502A1 (de) 2010-10-01 2011-09-29 Laser-scanning-mikroskop mit umschaltbarer betriebsweise

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013539079A JP2013539079A (ja) 2013-10-17
JP2013539079A5 JP2013539079A5 (ja) 2015-03-19
JP5926266B2 true JP5926266B2 (ja) 2016-05-25

Family

ID=44741266

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013530617A Active JP5926266B2 (ja) 2010-10-01 2011-09-29 切り替え可能な動作形態を有するレーザ走査顕微鏡

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9632298B2 (ja)
EP (1) EP2622401B1 (ja)
JP (1) JP5926266B2 (ja)
DE (1) DE102010047353A1 (ja)
WO (1) WO2012041502A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012010207B4 (de) 2012-05-15 2024-02-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskop und Mikroskopieverfahren
DE102012019464A1 (de) * 2012-09-28 2014-04-03 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Konfokales Auflicht-Rastermikroskop zur Multifleck-Abtastung
DE102013227108A1 (de) * 2013-09-03 2015-03-05 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen einer Probe
DE102013218231A1 (de) * 2013-09-11 2015-03-12 Sirona Dental Systems Gmbh Optisches System zur Erzeugung eines sich zeitlich ändernden Musters für ein Konfokalmikroskop
DE102013021182B4 (de) * 2013-12-17 2023-06-07 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Scanning-Mikroskopie
DE102014201472B4 (de) 2014-01-28 2017-10-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur Reduktion mechanischer Schwingungen bei elektrooptischen Modulatoren und Anordnung mit einem elektrooptischen Modulator
DE102014117596A1 (de) * 2014-12-01 2016-06-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Lichtmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer mikroskopischen Probe mit einem Lichtmikroskop
DE102016102286A1 (de) 2016-02-10 2017-08-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Multispot-Scanning-Mikroskopie
DE102016120308A1 (de) * 2016-10-25 2018-04-26 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung, Multispot-Scanning-Mikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Mikroskops
DE102017206203A1 (de) 2017-04-11 2018-10-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Anordnung zur spektralen Selektion, sowie Vorrichtung und Mikroskop
DE102017207611A1 (de) * 2017-05-05 2018-11-08 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Beleuchtungsvorrichtung zur Strukturierung von Beleuchtungslicht und Verfahren zu deren Betrieb
DE102018110083A1 (de) 2018-04-26 2019-10-31 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optikanordnung zur flexiblen Mehrfarbbeleuchtung für ein Lichtmikroskop und Verfahren hierzu

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5034613A (en) 1989-11-14 1991-07-23 Cornell Research Foundation, Inc. Two-photon laser microscopy
JP3816632B2 (ja) 1997-05-14 2006-08-30 オリンパス株式会社 走査型顕微鏡
CN1096004C (zh) * 1997-11-05 2002-12-11 朱润枢 相控阵光学装置
DE19829981C2 (de) 1998-07-04 2002-10-17 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie
DE19904592C2 (de) 1999-02-05 2001-03-08 Lavision Gmbh Strahlteilervorrichtung
JP2001091842A (ja) * 1999-09-21 2001-04-06 Olympus Optical Co Ltd 共焦点顕微鏡
JP4519987B2 (ja) * 2000-04-13 2010-08-04 オリンパス株式会社 焦点検出装置
DE10139754B4 (de) * 2001-08-13 2004-07-08 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Beleuchtungsverfahren für ein Scanmikroskop und Scanmikroskop
JP4030838B2 (ja) * 2002-08-30 2008-01-09 独立行政法人科学技術振興機構 量子回路および量子計算機
US7463410B2 (en) * 2003-07-16 2008-12-09 Soreq Nuclear Research Center Optical frequency converter for non-polarized light
US20100193481A1 (en) 2004-11-29 2010-08-05 Electro Scientific Industries, Inc. Laser constructed with multiple output couplers to generate multiple output beams
DE102005020545A1 (de) * 2005-05-03 2006-11-09 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Steuerung von Lichtstrahlung
JP2007127740A (ja) * 2005-11-02 2007-05-24 Olympus Corp 走査型レーザ顕微鏡装置及び顕微鏡用照明装置
WO2007090279A1 (en) * 2006-02-10 2007-08-16 Sunnybrook Health Sciences Centre X-ray light valve based digital radiographic imaging systems
JP2007275908A (ja) * 2006-04-03 2007-10-25 Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd レーザ加工装置
US7738079B2 (en) * 2006-11-14 2010-06-15 Asml Netherlands B.V. Radiation beam pulse trimming
CN101802675B (zh) 2007-07-06 2014-09-17 新加坡国立大学 荧光焦点调制显微系统和方法
EP2232306A2 (en) 2007-11-23 2010-09-29 Koninklijke Philips Electronics N.V. Multi-modal spot generator and multi-modal multi-spot scanning microscope
US7817688B2 (en) * 2008-02-19 2010-10-19 Lockheed Martin Coherent Technologies, Inc. Phase and polarization controlled beam combining devices and methods
DE102010013829A1 (de) * 2010-03-26 2011-09-29 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Mikroskop und Verfahren zur Erfassung von Probenlicht
WO2014084007A1 (ja) * 2012-11-29 2014-06-05 シチズンホールディングス株式会社 光変調素子

Also Published As

Publication number Publication date
EP2622401A1 (de) 2013-08-07
JP2013539079A (ja) 2013-10-17
EP2622401B1 (de) 2020-07-29
WO2012041502A1 (de) 2012-04-05
WO2012041502A8 (de) 2012-07-12
US9632298B2 (en) 2017-04-25
DE102010047353A1 (de) 2012-04-05
US20130182306A1 (en) 2013-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5926266B2 (ja) 切り替え可能な動作形態を有するレーザ走査顕微鏡
US10156710B2 (en) Microscope and microscopy techniques
US8362448B2 (en) Apparatus and method for high spatial resolution imaging of a structure of a sample
JP4994826B2 (ja) レーザ顕微鏡
JP6511433B2 (ja) ランダムアクセス誘導放出抑制(sted)顕微鏡
JP6612915B2 (ja) 顕微鏡および顕微鏡観察方法
US20080308730A1 (en) Real-Time, 3D, Non-Linear Microscope Measuring System and Method for Application of the Same
US9097889B2 (en) Microscope and method for detecting sample light
US11703670B2 (en) Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope
WO2006030430A2 (en) Microscope system and method
JP2005345614A (ja) レーザ顕微鏡
US11422347B2 (en) Optical assembly for scanning excitation radiation and/or manipulation radiation in a laser scanning microscope, and laser scanning microscope
JP6526678B2 (ja) 偏光式のサンプル照明部を備えた走査顕微鏡
US9705275B2 (en) Laser assembly
JP5525882B2 (ja) 光源装置及び走査型顕微鏡
CN108303421A (zh) 三维高速宽视场层析成像方法及装置
JPH11119106A (ja) レーザ走査型顕微鏡
US9494781B2 (en) Plane-projection multi-photon microscopy
US11194144B2 (en) Microscopy method using temporal focus modulation, and microscope
JP3992591B2 (ja) 走査型光学顕微鏡
Engelhardt MINFLUX Nanoscopy with Interferometric Approach
Reddy et al. Random-access multiphoton microscopy for fast three-dimensional imaging
EP4167010A1 (en) Focusing device, focusing system, microscope and method for imaging and/or localizing molecules or particles in a sample
SG182865A1 (en) Flexible spatial-temporal phase modulator for focal modulation microscopy
JP2008203301A (ja) レーザー走査型顕微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140925

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150130

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150722

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150825

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20151120

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20160125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160322

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160421

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5926266

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250