JP5899485B2 - 樹脂塗布装置および樹脂塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＬＥＤパッケージ製造システムに用いられる樹脂塗布装置および樹脂塗布方法に関するものである。

近年、各種の照明装置の光源として、消費電力が少なく長寿命であるという優れた特性を有するＬＥＤ（発光ダイオード）が、広範囲で用いられるようになっている。ＬＥＤ素子が発する基本光は、現在のところ赤、緑、青の３つに限られているため、一般的な照明用途として好適な白色光を得るためには、上述の３つの基本光を加色混合することによって白色光を得る方法や、青色ＬＥＤと青色と補色関係にある黄色の蛍光を発する蛍光体とを組み合わせることにより疑似白色光を得る方法などが用いられる。近年は後者の方法が広く用いられるようになっており、青色ＬＥＤとＹＡＧ蛍光体を組み合わせたＬＥＤパッケージを用いた照明装置が、液晶パネルのバックライトなどに用いられるようになっている（例えば特許文献１参照）。

この特許文献例においては、側壁に反射面が形成された凹状の実装部の底面にＬＥＤ素子を実装した後、実装部内にＹＡＧ系蛍光体粒子が分散された実装部内にＹＡＧ系蛍光体粒子が分散されたシリコーン樹脂やエポキシ樹脂などを注入して樹脂包装部を形成することにより、ＬＥＤパッケージを構成するようにしている。そして、樹脂注入後の実装部内における樹脂包装部の高さを均一にすることを目的として、規定量以上に注入された剰余樹脂を実装部から排出して貯留するための剰余樹脂貯蔵部を形成する例が記載されている。これにより、樹脂注入時にディスペンサからの吐出量がばらついている場合にあっても、ＬＥＤ素子上には一定の樹脂量を有し規定高さの樹脂包装部が形成される。

特開２００７−６６９６９号公報

しかしながら上述の先行技術例においては、個々のＬＥＤ素子における発光波長のばらつきに起因して、製品となるＬＥＤパッケージの発光特性がばらつくという問題があった。すなわちＬＥＤ素子は複数の素子をウェハ上に一括して作り込む製造過程を経ており、この製造過程における種々の誤差要因、例えばウェハにおける膜形成時の組成の不均一などに起因して、ウェハ状態から個片に分割されたＬＥＤ素子には、発光波長のばらつきが生じることが避けられない。そして上述例では、ＬＥＤ素子を覆う樹脂包装部の高さは均一に設定されていることから、個片のＬＥＤ素子における発光波長のばらつきは、そのまま製品としてのＬＥＤパッケージの発光特性のばらつきに反映され、結果として品質許容範囲から逸脱する不良品の増加を余儀なくされていた。このように、従来のＬＥＤパッケージ製造技術には、個片のＬＥＤ素子における発光波長のばらつきに起因して、製品としてのＬＥＤパッケージの発光特性がばらつき、生産歩留まりの低下を招くという問題があった。

そこで本発明は、個片のＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあってもＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができる樹脂塗布装置および樹脂塗布方法を提供することを目的とする。

本発明の樹脂塗布装置は、蛍光体を含む樹脂を塗布する樹脂塗布部と、前記樹脂塗布部を制御して前記樹脂を測定用塗布処理として試し塗布材に試し塗布する第１塗布制御部と、前記樹脂塗布部を制御して前記樹脂を生産用塗布処理としてＬＥＤ素子に塗布する第２塗布制御部と、前記第１塗布制御部の制御により前記樹脂が試し打ちされた試し塗布材が載置される試し塗布材載置部と、前記蛍光体を励起する励起光を発光する光源部と、前記励起光を前記透光部材に塗布された前記樹脂に照射して前記試し打ちされた樹脂から発せられた光の発光特性を測定する発光特性測定部と、前記発光特性測定部が測定中の前記試し塗布材を位置決めするクランプ部と、前記発光特性測定部の測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて生産用として前記ＬＥＤ素子に塗布されるべき前記樹脂の適正樹脂塗布量を導出する塗布量導出処理部と、前記適正樹脂塗布量を前記第２塗布制御部に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂を前記ＬＥＤ素子に塗布する前記生産用塗布処理を実行させる生産実行処理部とを備えたことを特徴とする。

本発明の樹脂塗布方法は、蛍光体を含む樹脂を吐出する樹脂吐出部によって前記樹脂を発光特性測定用として試し塗布材に試し打ちする測定用塗布工程と、前記樹脂が試し打ちされた試し塗布材を試し塗布材載置部に載置する試し塗布材載置工程と、前記試し塗布材に試し打ちされている前記樹脂に、測定中の前記透光部材をクランプ部によって位置決めした状態で、前記光源部から前記蛍光体を励起する励起光を照射する励起光発光工程と、前記励起光によって前記樹脂から発せられた光の発光特性を測定する発光特性測定工程と、前記発光特性測定工程における測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて生産用として前記ＬＥＤ素子に塗布されるべき前記樹脂の適正樹脂塗布量を導出する塗布量導出処理工程と、前記導出された適正樹脂塗布量を前記樹脂吐出部を制御する塗布制御部に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂をＬＥＤ素子に塗布する生産用塗布処理を実行させる生産実行工程とを含むことを特徴とする。

本発明によれば、クランプ部が試し塗布材を位置決めした状態で、試し塗布材に試し打ちされた樹脂に励起光を照射して、樹脂に含まれる蛍光体から発生した光を発光特性測定部が測定するので、試し塗布材に巻癖があっても測定対象の樹脂の位置を安定化することができ、色度の強度を正確に測定できる。そして、この発光特性測定部によって測定した測定結果と、予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子に塗布されるべき樹脂の適正樹脂塗布量を導出するので、個片のＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあっても、ＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができる。

本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置を備えたＬＥＤパッケージ製造システムの構成図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによって製造されるＬＥＤパッケージの平面図と断面図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおいて用いられるＬＥＤ素子の拡大断面図とＬＥＤウェハの側面図と素子特性情報の説明図および素子特性情報に基づいてソートされたＬＥＤシートの説明図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布情報の説明図 本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図とＡ−Ａ断面図およびＢ−Ｂ断面図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおいて用いられるマップデータの説明図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置の平面図と機能の説明図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置に備えられた試し打ち・測定ユニットの正面図と透光部材に試し打ちされた樹脂の断面図および発光特性検査中の断面図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおける樹脂塗布装置の平面図と機能の説明図 別の実施例の試し打ち・測定ユニットの正面図とこの試し打ち・測定ユニットによって発光特性検査中の断面図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムの制御系の構成図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによるＬＥＤパッケージ製造のフロー図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおける良品判定用のしきい値データ作成処理のフロー図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおいて、樹脂８における蛍光体濃度がそれぞれ５％，１０％，１５％である場合の、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］に対応したしきい値の説明図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムにおける良品判定用のしきい値データを説明する色度図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによるＬＥＤパッケージ製造過程における樹脂塗布作業処理のフロー図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによるＬＥＤパッケージ製造過程における樹脂塗布作業処理の説明図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによるＬＥＤパッケージ製造過程を示す工程説明図 本発明の一実施の形態のＬＥＤパッケージ製造システムによるＬＥＤパッケージ製造過程を示す工程説明図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置の透光部材の斜視図とＡ−ＡＡ断面図とＢ−ＢＢ断面図 巻癖のために透光部材が浮き上がった状態を示す断面図と巻癖のために透光部材が傾いた状態を示す断面図、および透光部材の長さ方向の巻癖を示す断面図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置の照射部４６の位置での透光部材４３と透光部材載置部４１の縦断面図と、照射部４６の位置とその前後付近における試し塗布材４３の移送方向の断面図 図２２の平面図 本発明の一実施の形態の樹脂塗布装置の別の具体例を示す透光部材の斜視図 本発明の実施の形態２における樹脂塗布装置のエンボス部形成部を透光部材の側から見た斜視図 本発明の実施の形態２のエンボス部形成部を使用した場合の工程図 本発明の実施の形態３のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図 本発明の実施の形態３の別のクランプ部を示す斜視図

以下、本発明を各実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
まず、図１を参照して、ＬＥＤパッケージ製造システム１を説明する。

ＬＥＤパッケージ製造システム１は、基板に実装されたＬＥＤ素子を蛍光体を含む樹脂によって覆って成るＬＥＤパッケージを製造する機能を有するものである。本実施の形態においては、図１に示すように、部品実装装置Ｍ１、キュア装置Ｍ２、ワイヤボンディング装置Ｍ３、樹脂塗布装置Ｍ４、キュア装置Ｍ５、個片切断装置Ｍ６の各装置をＬＡＮシステム２によって接続し、管理コンピュータ３によってこれらの各装置を統括して制御する構成となっている。

部品実装装置Ｍ１は、ＬＥＤパッケージのベースとなる基板４（図２参照）にＬＥＤ素子５を樹脂接着剤によって接合して実装する。
キュア装置Ｍ２は、ＬＥＤ素子５が実装された後の基板４を加熱することにより、実装時の接合に用いられた樹脂接着剤を硬化させる。

ワイヤボンディング装置Ｍ３は、基板４の電極とＬＥＤ素子５の電極とをボンディングワイヤによって接続する。
樹脂塗布装置Ｍ４は、ワイヤボンディング後の基板４において、各ＬＥＤ素子５毎に蛍光体を含む樹脂を塗布する。

キュア装置Ｍ５は、樹脂塗布後の基板４を加熱することにより、ＬＥＤ素子５を覆って塗布された樹脂を硬化させる。
個片切断装置Ｍ６、は、樹脂が硬化した後の基板４を各個別のＬＥＤ素子５毎に切断して、個片のＬＥＤパッケージに分割する。これにより、個片に分割されたＬＥＤパッケージが完成する。

なお図１においては、部品実装装置Ｍ１〜個片切断装置Ｍ６の各装置を直列に配置して製造ラインを構成した例を示しているが、ＬＥＤパッケージ製造システム１としては必ずしもこのようなライン構成を採用する必要はなく、以下の説明において述べる情報伝達が適切になされる限りにおいては、分散配置された各装置によってそれぞれの工程作業を順次実行する構成であってもよい。

また、ワイヤボンディング装置Ｍ３の前後に、ワイヤボンディングに先立って電極のクリーニングを目的としたプラズマ処理を行うプラズマ処理装置、ワイヤボンディング後に、樹脂塗布に先立って樹脂の密着性を向上させるための表面改質を目的としたプラズマ処理を行うプラズマ処理装置を介在させるようにしてもよい。

ここで図２，図３を参照して、ＬＥＤパッケージ製造システム１における作業対象となる基板４、ＬＥＤ素子５および完成品としてのＬＥＤパッケージ５０について説明する。
図２（ａ）に示すように、基板４は、完成品において１つのＬＥＤパッケージ５０のベースとなる個片基板４ａが複数個作り込まれた多連型基板であり、各個片基板４ａには、それぞれＬＥＤ素子５が実装される１つのＬＥＤ実装部４ｂが形成されている。各個片基板４ａ毎においてＬＥＤ実装部４ｂ内にＬＥＤ素子５を実装し、その後ＬＥＤ実装部４ｂ内にＬＥＤ素子５を覆って樹脂８を塗布し、さらに樹脂８の硬化後に工程完了済みの基板４を個片基板４ａ毎に切断することにより、図２（ｂ）に示すＬＥＤパッケージ５０が完成する。

ＬＥＤパッケージ５０は、各種の照明装置の光源として用いられる白色光を照射する機能を有しており、青色ＬＥＤであるＬＥＤ素子５と青色と補色関係にある黄色の蛍光を発する蛍光体を含んだ樹脂８とを組み合わせることにより、擬似白色光を得るようになっている。図２（ｂ）に示すように、個片基板４ａにはＬＥＤ実装部４ｂを形成する例えば円形や楕円形の環状堤を有するキャビティ形状の反射部４ｃが設けられている。反射部４ｃの内側に搭載されたＬＥＤ素子５のＮ型部電極６ａ、Ｐ型部電極６ｂは、個片基板４ａの上面に形成された配線層４ｅ，４ｄと、それぞれボンディングワイヤ７によって接続される。そして樹脂８はこの状態のＬＥＤ素子５を覆って反射部４ｃの内側に所定厚みで塗布され、ＬＥＤ素子５から発光された青色光が樹脂８を透過して照射される過程において、樹脂８内含まれる蛍光体が発光する黄色と混色され、白色光となって照射される。

図３（ａ）に示すように、ＬＥＤ素子５は、サファイア基板５ａ上にＮ型半導体５ｂ、Ｐ型半導体５ｃを積層し、さらにＰ型半導体５ｃの表面を透明電極５ｄで覆って構成され、Ｎ型半導体５ｂ、Ｐ型半導体５ｃにはそれぞれ外部接続用のＮ型部電極６ａ、Ｐ型部電極６ｂが形成されている。

ＬＥＤ素子５は、図３（ｂ）に示すように、複数が一括して形成された後に個片に分割された状態で保持シート１０ａに貼着保持されたＬＥＤウェハ１０から取り出される。ＬＥＤ素子５は、製造過程における種々の誤差要因、例えばウェハにおける膜形成時の組成の不均一などに起因して、ウェハ状態から個片に分割されたＬＥＤ素子５には、発光波長など発光特性にばらつきが生じることが避けられない。そしてこのようなＬＥＤ素子５をそのまま基板４に実装すると、製品としてのＬＥＤパッケージ５０の発光特性のばらつきとなる。

このような発光特性のばらつきに起因する品質不良を防止するため、本実施の形態においては、同一製造過程で製造される複数のＬＥＤ素子５の発光特性を予め計測し、各ＬＥＤ素子５と当該ＬＥＤ素子５の発光特性を示すデータとを対応させた素子特性情報を作成しておき、樹脂８の塗布において各ＬＥＤ素子５の発光特性に応じた適正量の樹脂８を塗布するようにしている。そして適正量の樹脂８を塗布するために、後述する樹脂塗布情報が予め準備される。

まず、素子特性情報について説明する。
図３（ｃ）に示すように、ＬＥＤウェハ１０から取り出されたＬＥＤ素子５は、個々を識別する素子ＩＤ（ここでは、当該ＬＥＤウェハ１０における連番（ｉ）にて個別のＬＥＤ素子５を識別）が付与された上で、発光特性計測装置１１に順次投入される。

なお、素子ＩＤとしては、ＬＥＤ素子５を個別に特定できる情報であれば、他のデータ形式のもの、例えばＬＥＤウェハ１０におけるＬＥＤ素子５の配列を示すマトリクス座標をそのまま用いるようにしてもよい。このような形式の素子ＩＤを用いることにより、後述する部品実装装置Ｍ１において、ＬＥＤ素子５をＬＥＤウェハ１０の状態のまま供給することが可能となる。

発光特性計測装置１１においては、各ＬＥＤ素子５にプローブを介して電力を供給して実際に発光させ、その光を分光分析して発光波長や発光強度などの所定項目について計測を行う。計測対象となるＬＥＤ素子５については、予め発光波長の標準的な分布が参照データとして準備されており、さらにその分布における標準範囲に該当する波長範囲を複数の波長域に区分することにより、計測対象となった複数のＬＥＤ素子５を、発光波長によってランク分けする。

ここでは、波長範囲を５つに区分することにより設定されたランクのそれぞれに対応して、低波長側から順に、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］が付与されている。そして素子ＩＤ１２ａにＢｉｎコード１２ｂを対応させたデータ構成の素子特性情報１２が作成される。

すなわち素子特性情報１２は、複数のＬＥＤ素子５の発光波長を含む発光特性を予め個別に測定して得られた情報であり、予めＬＥＤ素子製造メーカなどによって準備されてＬＥＤパッケージ製造システム１に対して伝達される。この素子特性情報１２の伝達形態としては、単独の記憶媒体に記録された形で伝達されてもよく、またＬＡＮシステム２を介して管理コンピュータ３に伝達するようにしてもよい。いずれにおいても、伝達された素子特性情報１２は管理コンピュータ３において記憶され、必要に応じて部品実装装置Ｍ１に提供される。

このようにして発光特性計測が終了した複数のＬＥＤ素子５は、図３（ｄ）に示すように特性ランク毎にソートされ、それぞれの特性ランクに応じて５種類に振り分けられ、５つの粘着シート１３ａに個別に貼着される。これにより、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］のそれぞれに対応するＬＥＤ素子５を粘着シート１３ａに貼着保持した３種類のＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅが作成され、これらＬＥＤ素子５を基板４の個片基板４ａに実装する際には、ＬＥＤ素子５はこのようなランク分けが既になされたＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅの形態で部品実装装置Ｍ１に供給される。このとき、ＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅのそれぞれには、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］のいずれに対応したＬＥＤ素子５が保持されているかを示す形で素子特性情報１２が管理コンピュータ３から提供される。

次に、上述の素子特性情報１２に対応して予め準備される樹脂塗布情報について、図４を参照して説明する。
青色ＬＥＤとＹＡＧ系の蛍光体を組み合わせることにより白色光を得る構成のＬＥＤパッケージ５０では、ＬＥＤ素子５が発光する青色光とこの青色光によって蛍光体が励起されて発光する黄色光との加色混合が行われることから、ＬＥＤ素子５が実装される凹状のＬＥＤ実装部４ｂ内における蛍光体粒子の量が、製品のＬＥＤパッケージ５０の正規の発光特性を確保する上で重要な要素となる。

上述のように、同時に作業対象となる複数のＬＥＤ素子５の発光波長には、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］によって分類されるばらつきが存在することから、ＬＥＤ素子５を覆って塗布される樹脂８中の蛍光体粒子の適正量は、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］に応じて異なったものとなる。

本実施の形態において準備される樹脂塗布情報１４では、図４に示すように、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂などにＹＡＧ系の蛍光体粒子を含有させた樹脂８のＢｉｎ分類別適正樹脂塗布量を、ｎｌ（ナノリットル）単位で、Ｂｉｎコード区分１７に応じて予め規定している。すなわち、ＬＥＤ素子５を覆って樹脂８を樹脂塗布情報１４に示される適正樹脂塗布量だけ正確に塗布すると、ＬＥＤ素子５を覆う樹脂中の蛍光体粒子の量は適正な蛍光体粒子供給量となり、これにより樹脂が熱硬化した後に完成品に求められる正規の発光波長が確保される。

ここでは、蛍光体濃度欄１６に示すように、樹脂８中の蛍光体粒子の濃度を示す蛍光体濃度を複数通り（ここではＤ１（５％），Ｄ２（１０％），Ｄ３（１５％）の３通り）に設定し、樹脂８の適正樹脂塗布量も使用する樹脂８の蛍光体濃度に応じて適正な（表現に違和感）数値を用いるようにしている。

すなわち、蛍光体濃度Ｄ１の樹脂を塗布する場合には、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］のそれぞれについて、適正樹脂塗布量ＶＡ０，ＶＢ０，ＶＣ０，ＶＤ０，ＶＥ０（適正樹脂塗布量１５（１））の樹脂８を塗布する。同様に、蛍光体濃度Ｄ２の樹脂を塗布する場合には、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］のそれぞれについて、適正樹脂塗布量ＶＦ０，ＶＧ０，ＶＨ０，ＶＪ０，ＶＫ０（適正樹脂塗布量１５（２））の樹脂８を塗布する。また蛍光体濃度Ｄ３の樹脂を塗布する場合には、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］のそれぞれについて、適正樹脂塗布量ＶＬ０、ＶＭ０，ＶＮ０，ＶＰ０，ＶＲ０（適正樹脂塗布量１５（３））の樹脂８を塗布する。このように異なった複数の蛍光体濃度毎にそれぞれ適正樹脂塗布量を設定するのは、発光波長のばらつきの程度に応じて最適の蛍光体濃度の樹脂８を塗布するのが品質確保の上で、より好ましいからである。

図５を参照して、部品実装装置Ｍ１の構成および機能を説明する。
図５（ａ）の平面図に示すように、部品実装装置Ｍ１は、上流側から供給された作業対象の基板４を基板搬送方向（矢印ａ）に搬送する基板搬送機構２１を備えている。基板搬送機構２１には、上流側から順に、図５（ｂ）にＡ−Ａ断面にて示す接着剤塗布部Ａ、図５（ｃ）にＢ−Ｂ断面にて示す部品実装部Ｂが配設されている。

接着剤塗布部Ａは、基板搬送機構２１の側方に配置され樹脂接着剤２３を所定の膜厚の塗膜の形で供給する接着剤供給部２２および基板搬送機構２１と接着剤供給部２２の上方で水平方向（矢印ｂ）に移動自在な接着剤転写機構２４を備えている。

また部品実装部Ｂは、基板搬送機構２１の側方に配置され、図３（ｄ）に示すＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅを保持する部品供給機構２５および基板搬送機構２１と部品供給機構２５の上方で水平方向（矢印ｃ）に移動自在な部品実装機構２６を備えている。

基板搬送機構２１に搬入された基板４は、図５（ｂ）に示すように、接着剤塗布部Ａにて位置決めされ、各個片基板４ａに形成されたＬＥＤ実装部４ｂを対象として、樹脂接着剤２３の塗布が行われる。

すなわち、まず接着剤転写機構２４を接着剤供給部２２の上方に移動させて転写ピン２４ａを転写面２２ａに形成された樹脂接着剤２３の塗膜に接触させ、樹脂接着剤２３を付着させる。次いで接着剤転写機構２４を基板４の上方に移動させて、転写ピン２４ａをＬＥＤ実装部４ｂに下降させることにより（矢印ｄ）、転写ピン２４ａに付着した樹脂接着剤２３をＬＥＤ実装部４ｂ内の素子実装位置に転写により供給する。

次いで接着剤塗布後の基板４は下流側へ搬送されて、図５（ｃ）に示すように部品実装部Ｂにて位置決めされ、接着剤供給後の各ＬＥＤ実装部４ｂを対象として、ＬＥＤ素子５の実装が行われる。

すなわち、まず部品実装機構２６を部品供給機構２５の上方に移動させて実装ノズル２６ａを部品供給機構２５に保持されたＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅのいずれかに対して下降させ、実装ノズル２６ａによってＬＥＤ素子５を保持して取り出す。次いで部品実装機構２６を基板４のＬＥＤ実装部４ｂの上方に移動させて実装ノズル２６ａを下降させることにより（矢印ｅ）、実装ノズル２６ａに保持したＬＥＤ素子５をＬＥＤ実装部４ｂ内において接着剤が塗布された素子実装位置に実装する。

この部品実装装置Ｍ１による基板４へのＬＥＤ素子５の実装においては、予め作成された素子実装プログラム、すなわち部品実装機構２６による個別実装動作においてＬＥＤシート１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３ＥのいずれからＬＥＤ素子５を取り出して基板４の複数の個片基板４ａに実装するかの順序が予め設定されており、部品実装作業はこの素子実装プログラムにしたがって実行される。

そして部品実装作業の実行に際しては、作業実行履歴から個別のＬＥＤ素子５が基板４の複数の個片基板４ａのうちのいずれに実装されたかを示す実装位置情報７１ａ（図１１参照）を抽出し記録する。そしてこの実装位置情報７１ａと個々の個片基板４ａに実装されたＬＥＤ素子５がいずれの特性ランク（Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］）に対応するものであるかを示す素子特性情報１２とを関連づけたデータが、マップ作成処理部７４（図１１参照）によって、図６に示すマップデータ１８として作成されるようになっている。

図６において、基板４の複数の個片基板４ａの個別の位置は、Ｘ方向，Ｙ方向の位置をそれぞれ示すマトリクス座標１９Ｘ，１９Ｙの組み合わせによって特定される。そしてマトリクス座標１９Ｘ，１９Ｙによって構成されるマトリックスの個別セルに、当該位置に実装されたＬＥＤ素子５が属するＢｉｎコードを対応させることにより、部品実装装置Ｍ１によって実装されたＬＥＤ素子５の基板４における位置を示す実装位置情報７１ａと、当該ＬＥＤ素子５についての素子特性情報１２とを関連付けたマップデータ１８が作成される。

すなわち、部品実装装置Ｍ１は、当該装置によって実装されたＬＥＤ素子５の基板４における位置を示す実装位置情報と、当該ＬＥＤ素子５についての素子特性情報１２とを関連付けたマップデータ１８を、基板４毎に作成するマップ作成処理部７４を備えた構成となっている。そして作成されたマップデータ１８は、ＬＡＮシステム２を介して以下に説明する樹脂塗布装置Ｍ４に対してフィードフォワードデータとして送信される。

次に図７と図８を参照して、樹脂塗布装置Ｍ４の構成および機能について説明する。
樹脂塗布装置Ｍ４は、部品実装装置Ｍ１によって基板４に実装された複数のＬＥＤ素子５を覆って樹脂８を塗布する機能を有するものである。図７（ａ）の平面図に示すように、樹脂塗布装置Ｍ４は上流側から供給された作業対象の基板４を基板搬送方向（矢印ｆ）に搬送する基板搬送機構３１に、図７（ｂ）にＣ−Ｃ断面にて示す樹脂塗布部Ｃを配設した構成となっている。樹脂塗布部Ｃには、下端部に装着された吐出ノズル３３ａから樹脂８を吐出する構成の樹脂吐出ヘッド３２が設けられている。

図７（ｂ）に示すように、樹脂吐出ヘッド３２はノズル移動機構３４によって駆動され、ノズル移動機構３４を塗布制御部３６によって制御することにより、水平方向（図７（ａ）に示す矢印ｇ）の移動動作および昇降動作を行う。樹脂吐出ヘッド３２には樹脂８がディスペンサ３３に装着されるシリンジに収納された状態で供給され、樹脂吐出機構３５によって空圧をディスペンサ３３内に印加することにより、ディスペンサ３３内の樹脂８は吐出ノズル３３ａを介して吐出されて、基板４に形成されたＬＥＤ実装部４ｂに塗布される。このとき、樹脂吐出機構３５を塗布制御部３６によって制御することにより、樹脂８の吐出量を任意に制御することができる。すなわち樹脂塗布部Ｃは、樹脂８の塗布量を可変に吐出して、任意の塗布対象位置に塗布する機能を有している。

なお、樹脂吐出機構３５には、空圧のディスペンサ３３以外にもメカシリンダを用いたプランジャ方式、スクリューポンプ方式など、各種の液吐出方式を採用することができる。

基板搬送機構３１の側方には、試し打ち・測定ユニット４０が樹脂吐出ヘッド３２の移動範囲内に配置されている。試し打ち・測定ユニット４０は、樹脂８を基板４のＬＥＤ実装部４ｂに塗布する実生産用塗布作業に先立って、樹脂８の塗布量が適正であるか否かを、試し打ちした樹脂８の発光特性を測定することにより判定する機能を有するものである。

すなわち、樹脂塗布部Ｃによって樹脂８を試し打ちした試し塗布材としての透光部材４３に、測定用の光源部４５が発する光を照射したときの発光特性を、分光器４２および発光特性測定処理部３９を備えた発光特性測定部によって測定し、測定結果を予め設定されたしきい値と比較することにより、図４に示す樹脂塗布情報１４にて規定される既設定の樹脂塗布量の適否を判定する。

蛍光体粒子を含有する樹脂８は、その組成・性状は必ずしも安定的ではなく、予め樹脂塗布情報１４にて樹脂の適正塗布量を設定していても、時間の経過によって蛍光体の濃度や樹脂粘度が変動することが避けられない。

このため、予め設定された適正塗布量に対応する吐出パラメータで樹脂８を吐出しても、樹脂塗布量そのものが既設定の適正値からばらつく場合や、さらには塗布量自体は適正であっても濃度変化によって本来供給されるべき蛍光体粒子の供給量がばらつく結果となる。

このような不都合を排除するため、本実施の形態では、所定のインターバルにて適正供給量の蛍光体粒子が供給されているか否かを検査するための試し打ちを、樹脂塗布装置Ｍ４にて実行し、さらに試し打ちされた樹脂を対象として発光特性の測定を実行することにより、本来あるべき発光特性に則して蛍光体粒子の供給量を安定させるようにしている。

そして本実施の形態に示す樹脂塗布装置Ｍ４に備えられた樹脂塗布部Ｃは、樹脂８を上述の発光特性測定用として透光部材４３に試し打ちする測定用塗布処理と、実生産用として基板４に実装された状態のＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理とを併せて実行する機能を有している。これらの測定用塗布処理および生産用塗布処理は、いずれも塗布制御部３６が樹脂塗布部Ｃを制御することにより実行される。ただし、測定用塗布処理用と生産用塗布処理用とで、２つの異なる塗布制御部を用いて、制御してもよい。

図８を参照して、試し打ち・測定ユニット４０の詳細構成を説明する。
図８（ａ）に示すように、透光部材４３は供給リール４７に卷回収納されて供給され、試し打ちステージ４０ａの上面に沿って送られた後、試し塗布材載置部としての透光部材載置部４１と照射部４６との間を経由して、巻き取りモータ４９によって駆動される回収リール４８に巻き取られる。

なお、透光部材４３を回収する機構としては、回収リール４８に卷回して回収する方式以外にも、回収ボックス内に透光部材４３を送り機構によって送り込む方式など、各種の方式を採用することができる。

照射部４６は、光源部４５によって発光された励起光を透光部材４３に対して照射する機能を有しており、光源部４５の白色光または青色光を発生するＬＥＤの発光した励起光が、ファイバケーブルによって導光される光集束ツール４６ｂを介して、簡易暗箱機能を有する遮光ボックス４６ａ内に導かれている。

光源部４５は樹脂８に含まれる蛍光体を励起する励起光を発光する機能を有しており、本実施の形態においては透光部材載置部４１の上方に配置されて、測定光を透光部材４３に対して光集束ツール４６ｂを介して上方から照射する形態となっている。

ここで透光部材４３としては、透明樹脂製の平面シート状部材を所定幅のテープ材としたものや、同様のテープ材にＬＥＤパッケージ５０の凹部形状に対応したエンボス部４３ａが下面に突設されたエンボスタイプのものなどが用いられる（図８（ｂ）参照）。

透光部材４３が試し打ち・測定ユニット４０上を送られる過程において、透光部材４３に対して樹脂吐出ヘッド３２によって樹脂８が試し打ちされる。この試し打ちは、下面側を試し打ちステージ４０ａによって支持された透光部材４３に対して、図８（ｂ）に示すように、吐出ノズル３３ａによって規定塗布量の樹脂８を透光部材４３に吐出することによって行われる。

図８（ｂ）の（ｂ１）は、前述のテープ材よりなる透光部材４３に樹脂塗布情報１４にて規定される既設定の適正吐出量の樹脂８を塗布した状態を示している。樹脂８の塗布の平面形状は円形である。

図８（ｂ）の（ｂ２）は、前述のエンボスタイプの透光部材４３のエンボス部４３ａ内に、同様に既設定の適正吐出量の樹脂８を塗布した状態を示している。なお、後述するように、試し打ちステージ４０ａにて塗布された樹脂８は、対象となるＬＥＤ素子５に対して蛍光体供給量が適正であるか否かを実証的に判定するための試し塗布であることから、樹脂吐出ヘッド３２による同一試し塗布動作で複数点に樹脂８を連続的に透光部材４３上に塗布する場合には、発光特性測定値と塗布量との相関関係を示す既知のデータに基づいて塗布量を段階的に異ならせて塗布しておく。

このようにして樹脂８が試し打ちされた後に遮光ボックス４６ａ内に導かれた透光部材４３に対して、光源部４５によって発光された白色光を光集束ツール４６ｂを介して上方から照射する。そして透光部材４３に塗布された樹脂８を透過した光は、透光部材載置部４１に設けられた光透過開口部４１ａを介して、透光部材載置部４１の下方に配設された積分球４４によって受光される。

図８（ｃ）は、透光部材載置部４１、積分球４４の構造を示している。
透光部材載置部４１は、透光部材４３の下面を支持する下部支持部材４１ｂの上面に、透光部材４３の両端面をガイドする機能を有する上部ガイド部材４１ｃを装着した構造となっている。

透光部材載置部４１は、試し打ち・測定ユニット４０における搬送時に透光部材４３をガイドするとともに、測定用塗布処理において樹脂８が試し打ちされた透光部材４３を載置して位置を保持する機能を有している。

積分球４４は、光集束ツール４６ｂから照射されて（矢印ｈ）樹脂８を透過した透過光を集光し、分光器４２に導く機能を有している。すなわち積分球４４は内部に球面状の球状反射面４４ｃを有しており、光透過開口部４１ａの直下に位置する開口部４４ａから入光した透過光（矢印ｉ）は、積分球４４の頂部に設けられた開口部４４ａから反射空間４４ｂ内に入射し、球状反射面４４ｃによる全反射（矢印ｊ）を反復する過程で出力部４４ｄから測定光（矢印ｋ）として取り出され、分光器４２によって受光される。

上述構成では、光源部４５に用いられるＬＥＤパッケージによって発光された白色光が透光部材４３に試し打ちされた樹脂８に照射される。この過程において、白色光中に含まれる青色光成分が樹脂８中の蛍光体を励起させて黄色光を発光させる。そしてこの黄色光と青色光が加色混合した白色光が樹脂８から上方に照射され、上述の積分球４４を介して分光器４２によって受光される。

そして受光された白色光は、図７（ｂ）に示すように、発光特性測定処理部３９によって分析されて発光特性が測定される。ここでは、白色光の色調ランクや光束などの発光特性が検査され、検査結果として、規定の発光特性との偏差が検出される。積分球４４、分光器４２および発光特性測定処理部３９は、励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に光源部４５によって発光された励起光（ここでは白色ＬＥＤにより発光された白色光）を上方から照射することによりこの樹脂８が発する光を、透光部材４３の下方の積分球４４を介して分光器４２で受光して、樹脂８が発する光の発光特性を測定する発光特性測定部を構成している。

発光特性測定部を上述のような構成とすることにより、以下に述べるような効果を得る。すなわち、図８（ｂ）に示す透光部材４３に試し打ちされる樹脂８の塗布形状において、下面側は常に透光部材４３の上面またはエンボス部４３ａの底面に接触していることから、樹脂８の下面は常に透光部材４３によって規定される基準高さにある。したがって、樹脂８の下面と積分球４４の開口部４４ａとの高さ差は常に一定に保たれる。これに対し、樹脂８の上面は吐出ノズル３３ａによる塗布条件などの外乱によって、必ずしも同一の液面形状・高さが実現されるとは限らず、樹脂８の上面と光集束ツール４６ｂとの間の間隔はばらつくこととなる。

ここで樹脂８の上面に対して照射される照射光と樹脂８の下面からの透過光とを比較した場合の安定度合いを考えると、樹脂８に対して照射される照射光は光集束ツール４６ｂを介して照射されることから集束度が高く、樹脂８の上面と光集束ツール４６ｂとの間の間隔のばらつきが光伝達に対して与える影響は無視できる。これに対し、樹脂８を透過した透過光は樹脂８の内部で蛍光体が励起された励起光であることから散乱の度合いが高く、樹脂８の下面と開口部４４ａとの間の距離のばらつきが積分球４４によって光が取り込まれる度合いに与える影響は無視できない。

本実施の形態に示す試し打ち・測定ユニット４０においては、前述構成のように光源部４５によって発光された励起光を、樹脂８に対して上方から照射することによりこの樹脂８が発する光を透光部材４３の下方から積分球４４によって受光する構成を採用していることから、安定した発光特性の判定を行うことが可能となっている。さらに、積分球４４を用いることにより受光部分に暗室構造を別途設ける必要がなく、装置のコンパクト化と設備費用の削減が可能となっている。

図７（ｂ）に示すように、発光特性測定処理部３９の測定結果は塗布量導出処理部３８に送られ、塗布量導出処理部３８は、発光特性測定処理部３９の測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子５に塗布されるべき樹脂８の適正樹脂塗布量を導出する処理を行う。塗布量導出処理部３８によって導出された新たな適正吐出量は生産実行処理部３７に送られ、生産実行処理部３７は新たに導出された適正樹脂塗布量を塗布制御部３６に指令する。これにより塗布制御部３６は、ノズル移動機構３４、樹脂吐出機構３５を制御して、適正樹脂塗布量の樹脂８を基板４に実装されたＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を樹脂吐出ヘッド３２に実行させる。

この生産用塗布処理においては、まず樹脂塗布情報１４に規定される適正樹脂塗布量の樹脂８を実際に塗布し、樹脂８が未硬化の状態で発光特性の測定を行う。そして得られた測定結果に基づき、生産用塗布において塗布された樹脂８を対象として発光特性を測定した場合における発光特性測定値の良品範囲を設定し、この良品範囲を生産用塗布における良否判定のしきい値（図１１に示すしきい値データ８１ａ参照）として用いるようにしている。

すなわち本実施の形態に示すＬＥＤパッケージ製造システムにおける樹脂塗布方法では、発光特性測定用の光源部４５として白色ＬＥＤを用いるとともに、生産用塗布における良否判定のしきい値設定の基となる予め規定された発光特性として、ＬＥＤ素子５に塗布された樹脂８が硬化した状態の完成製品について求められる正規の発光特性を、樹脂８が未硬化の状態であることによる発光特性の相違分だけ偏らせた発光特性を用いるようにしている。これにより、ＬＥＤ素子５への樹脂塗布過程における樹脂塗布量の制御を完成製品についての正規の発光特性に基づいて行うことが可能となっている。

なお本実施の形態においては、光源部４５として白色光を発するＬＥＤパッケージ５０を用いている。これにより、試し打ちされた樹脂８の発光特性測定を、完成品のＬＥＤパッケージ５０において発光される励起光と同一特性の光によって行うことができ、より信頼性の高い検査結果を得ることができる。なお、完成品に用いられるものと同一のＬＥＤパッケージ５０を用いることは必ずしも必須要件ではない。発光特性測定には、一定波長の青色光を安定的に発光することが可能な光源装置（例えば青色光を発光する青色ＬＥＤや、青色レーザ光源など）であれば、検査用の光源部として用いることができる。但し、青色ＬＥＤを用いた白色光を発するＬＥＤパッケージ５０を用いることにより、安定的な品質の光源装置を低コストで選定することができるという利点を有する。ここでバンドパスフィルタを用いて、所定の波長の青色光を取り出すようにしてもよい。

なお上述構成の試し打ち・測定ユニット４０の替わりに、図９，図１０に示す構成の試し打ち・測定ユニット１４０を用いるようにしてもよい。すなわち、図９，図１０に示すように、試し打ち・測定ユニット１４０は細長形状の水平な基部１４０ａの上方に、カバー部１４０ｂを配設した外部構造となっている。カバー部１４０ｂには開口部１４０ｃが設けられており、開口部１４０ｃはスライド自在（矢印ｌ）な塗布用スライド窓１４０ｄによって開閉自在となっている。試し打ち・測定ユニット１４０の内部には、透光部材４３を下面側から支持する試し打ちステージ１４５ａ、透光部材４３が載置される透光部材載置部１４１および透光部材載置部１４１の上方に配設された分光器４２が設けられている。

透光部材載置部１４１は、図８に示す光源部４５と同様に蛍光体を励起する励起光を発光する光源装置を備えており、測定用塗布処理において樹脂８が試し打ちされた透光部材４３に対して、この光源装置より下面側から励起光が照射される。透光部材４３は、図８に示す例と同様に供給リール４７に卷回収納されて供給され、試し打ちステージ１４５ａの上面に沿って送られた後（矢印ｍ）、透光部材載置部１４１と分光器４２との間を経由して巻き取りモータ４９によって駆動される回収リール４８に巻き取られる。

塗布用スライド窓１４０ｄをスライドさせて開放した状態では、試し打ちステージ１４５ａ上面は上方に露呈され、上面に載置された透光部材４３に対して樹脂吐出ヘッド３２によって樹脂８を試し打ちすることが可能となる。この試し打ちは、下面側を試し打ちステージ１４５ａによって支持された透光部材４３に対して、図８（ｂ）に示すように、吐出ノズル３３ａによって規定塗布量の樹脂８を透光部材４３に吐出することによって行われる。

図１０（ｂ）は、試し打ちステージ１４５ａにて樹脂８が試し打ちされた透光部材４３を移動させて、樹脂８を透光部材載置部１４１の上方に位置させ、さらにカバー部１４０ｂを下降させて基部１４０ａとの間に発光特性測定用の暗室を形成した状態を示している。透光部材載置部１４１には、光源装置として白色光を発するＬＥＤパッケージ５０が用いられている。ＬＥＤパッケージ５０においてＬＥＤ素子５と接続された配線層４ｅ、４ｄは電源装置１４２と接続されており、電源装置１４２をＯＮすることにより、ＬＥＤ素子５には発光用の電力が供給され、これによりＬＥＤパッケージ５０は白色光を発光する。

そしてこの白色光が樹脂８を透過した後に透光部材４３に試し打ちされた樹脂８に照射される過程において、白色光に含まれる青色光によって樹脂８中の蛍光体が励起して発光した黄色光と青色光が加色混合した白色光が、樹脂８から上方に照射される。試し打ち・測定ユニット１４０の上方には分光器４２が配置されており、樹脂８から照射された白色光は分光器４２によって受光され、受光された白色光は発光特性測定処理部３９によって分析されて発光特性が測定される。ここでは、白色光の色調ランクや光束などの発光特性が検査され、検査結果として、規定の発光特性との偏差が検出される。すなわち発光特性測定処理部３９は、光源部であるＬＥＤ素子５から発光された励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に照射することによりこの樹脂８が発する光の発光特性を測定する。そして発光特性測定処理部３９の測定結果は塗布量導出処理部３８に送られ、図７に示す例と同様の処理が実行される。

次に図１１を参照して、ＬＥＤパッケージ製造システム１の制御系の構成について説明する。
なお、ここではＬＥＤパッケージ製造システム１を構成する各装置の構成要素のうち、管理コンピュータ３、部品実装装置Ｍ１、樹脂塗布装置Ｍ４において、素子特性情報１２、樹脂塗布情報１４およびマップデータ１８、上述のしきい値データ８１ａの送受信および更新処理に関連する構成要素を示すものである。

図１１において、管理コンピュータ３は、システム制御部６０、記憶部６１、通信部６２を備えている。システム制御部６０は、ＬＥＤパッケージ製造システム１によるＬＥＤパッケージ製造作業を統括して制御する。記憶部６１には、システム制御部６０による制御処理に必要なプログラムやデータのほか、素子特性情報１２、樹脂塗布情報１４、さらには必要に応じてマップデータ１８、しきい値データ８１ａが記憶されている。通信部６２はＬＡＮシステム２を介して他装置と接続されており、制御信号やデータの授受を行う。素子特性情報１２、樹脂塗布情報１４は、ＬＡＮシステム２および通信部６２を介して、またはＣＤロム、ＵＳＢメモリストレージ、ＳＤカードなど単独の記憶媒体を介して、外部から伝達され記憶部６１に記憶される。

部品実装装置Ｍ１は、実装制御部７０、記憶部７１、通信部７２、機構駆動部７３およびマップ作成処理部７４を備えている。実装制御部７０は、部品実装装置Ｍ１による部品実装作業を実行するために、記憶部７１に記憶された各種のプログラムやデータに基づいて、以下に説明する各部を制御する。記憶部７１には、実装制御部７０による制御処理に必要なプログラムやデータのほか、実装位置情報７１ａや素子特性情報１２を記憶する。実装位置情報７１ａは、実装制御部７０による実装動作制御の実行履歴データより作成される。素子特性情報１２は、ＬＡＮシステム２を介して管理コンピュータ３から送信される。通信部７２は、ＬＡＮシステム２を介して他装置と接続されており、制御信号やデータの授受を行う。

機構駆動部７３は、実装制御部７０に制御されて、部品供給機構２５や部品実装機構２６を駆動する。これにより、基板４の各個片基板４ａにＬＥＤ素子５が実装される。マップ作成処理部７４（マップデータ作成手段）は、記憶部７１に記憶され部品実装装置Ｍ１によって実装されたＬＥＤ素子５の基板４における位置を示す実装位置情報７１ａと、当該ＬＥＤ素子５についての素子特性情報１２とを関連付けたマップデータ１８を、基板４毎に作成する処理を行う。すなわち、マップデータ作成手段は部品実装装置Ｍ１に設けられており、マップデータ１８は部品実装装置Ｍ１から樹脂塗布装置Ｍ４に送信される。なお、マップデータ１８を管理コンピュータ３経由で部品実装装置Ｍ１から樹脂塗布装置Ｍ４に送信するようにしてもよい。この場合には、マップデータ１８は、図１１に示すように、管理コンピュータ３の記憶部６１にも記憶される。

樹脂塗布装置Ｍ４は、塗布制御部３６、記憶部８１、通信部８２、生産実行処理部３７、塗布量導出処理部３８、発光特性測定処理部３９を備えている。塗布制御部３６は、樹脂塗布部Ｃを構成するノズル移動機構３４、樹脂吐出機構３５および試し打ち・測定ユニット４０を制御することにより、樹脂８を発光特性測定用として透光部材４３に試し打ちする測定用塗布処理および実生産用としてＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を実行させる処理を行う。

記憶部８１には、塗布制御部３６による制御処理に必要なプログラムやデータのほか、樹脂塗布情報１４やマップデータ１８、しきい値データ８１ａ、実生産用塗布量８１ｂを記憶する。樹脂塗布情報１４はＬＡＮシステム２を介して管理コンピュータ３から送信され、マップデータ１８は同様にＬＡＮシステム２を介して部品実装装置Ｍ１から送信される。通信部８２はＬＡＮシステム２を介して他装置と接続されており、制御信号やデータの授受を行う。

発光特性測定処理部３９は、光源部４５から発光された励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に照射することによりこの樹脂が発する光の発光特性を測定する処理を行う。塗布量導出処理部３８は、発光特性測定処理部３９の測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子５に塗布されるべき樹脂８の適正樹脂塗布量を導出する演算処理を行う。そして生産実行処理部３７は、塗布量導出処理部３８により導出された適正樹脂塗布量を塗布制御部３６に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂をＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を実行させる。

なお、図１１に示す構成において、各装置固有の作業動作を実行するための機能以外の処理機能、例えば部品実装装置Ｍ１に設けられているマップ作成処理部７４の機能、樹脂塗布装置Ｍ４に設けられている塗布量導出処理部３８の機能は、必ずしも当該装置に付属させる必要はない。例えば、マップ作成処理部７４、塗布量導出処理部３８の機能を管理コンピュータ３のシステム制御部６０が有する演算処理機能によってカバーするようにし、ＬＡＮシステム２を介して必要な信号授受を行うように構成してもよい。

上述のＬＥＤパッケージ製造システム１の構成において、部品実装装置Ｍ１、樹脂塗布装置Ｍ４はいずれもＬＡＮシステム２に接続されている。そして記憶部６１に素子特性情報１２が記憶された管理コンピュータ３およびＬＡＮシステム２は、複数のＬＥＤ素子５の発光波長を含む発光特性を予め個別に測定して得られた情報を、素子特性情報１２として部品実装装置Ｍ１に提供する素子特性情報提供手段となっている。同様に、記憶部６１に樹脂塗布情報１４が記憶された管理コンピュータ３およびＬＡＮシステム２は、規定の発光特性を具備したＬＥＤパッケージ５０を得るための樹脂８の適正樹脂塗布量と素子特性情報とを対応させた情報を樹脂塗布情報として樹脂塗布装置Ｍ４に提供する樹脂情報提供手段となっている。

すなわち、素子特性情報１２を部品実装装置Ｍ１に提供する素子特性情報提供手段および樹脂塗布情報１４を樹脂塗布装置Ｍ４に提供する樹脂情報提供手段は、外部記憶手段である管理コンピュータ３の記憶部６１より読み出された素子特性情報および樹脂塗布情報を、ＬＡＮシステム２を介して部品実装装置Ｍ１および樹脂塗布装置Ｍ４にそれぞれ送信する構成となっている。

次にＬＥＤパッケージ製造システム１によって実行されるＬＥＤパッケージ製造過程について、図１２のフローに沿って、各図を参照しながら説明する。まず、素子特性情報１２および樹脂塗布情報１４を取得する（ＳＴ１）。すなわち、複数のＬＥＤ素子５の発光波長を含む発光特性を予め個別に測定して得られた素子特性情報１２および規定の発光特性を具備したＬＥＤパッケージ５０を得るための樹脂８の適正樹脂塗布量と素子特性情報１２とを対応させた樹脂塗布情報１４を、外部装置からＬＡＮシステム２を介して、または記憶媒体を介して取得する。

この後、部品実装装置Ｍ１に実装対象となる基板４を搬入する（ＳＴ２）。そして図１８（ａ）に示すように、接着剤転写機構２４の転写ピン２４ａを昇降させることにより（矢印ｎ）、ＬＥＤ実装部４ｂ内の素子実装位置に樹脂接着剤２３を供給した後、図１８（ｂ）に示すように、部品実装機構２６の実装ノズル２６ａに保持したＬＥＤ素子５を下降させ（矢印ｏ）、樹脂接着剤２３を介して基板４のＬＥＤ実装部４ｂ内に実装する（ＳＴ３）。そしてこの部品実装作業の実行データから、当該基板４について、実装位置情報７１ａと、それぞれのＬＥＤ素子５の素子特性情報１２とを関連付けたマップデータ１８を、マップ作成処理部７４によって作成する（ＳＴ４）。次いでこのマップデータ１８を部品実装装置Ｍ１から樹脂塗布装置Ｍ４に送信するとともに、管理コンピュータ３から樹脂塗布情報１４を樹脂塗布装置Ｍ４に送信する（ＳＴ５）。これにより、樹脂塗布装置Ｍ４による樹脂塗布作業が実行可能な状態となる。

次いで、部品実装後の基板４はキュア装置Ｍ２に送られ、ここで加熱されることにより、図１８（ｃ）に示すように、樹脂接着剤２３が熱硬化して樹脂接着剤２３ａとなり、ＬＥＤ素子５は個片基板４ａに固着される。次いで樹脂キュア後の基板４はワイヤボンディング装置Ｍ３に送られ、図１８（ｄ）に示すように、個片基板４ａの配線層４ｅ、４ｄを、それぞれＬＥＤ素子５のＮ型部電極６ａ、Ｐ型部電極６ｂとボンディングワイヤ７によって接続する。

次いで、良品判定用のしきい値データ作成処理が実行される（ＳＴ６）。この処理は、生産用塗布における良否判定のしきい値（図１１に示すしきい値データ８１ａ参照）を設定するために実行されるものであり、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］に対応する生産用塗布のそれぞれについて反復して実行される。このしきい値データ作成処理の詳細について、図１３，図１４，図１５を参照して説明する。図１３において、まず樹脂塗布情報１４に規定する蛍光体を純正濃度で含む樹脂８を準備する（ＳＴ１１）。そしてこの樹脂８を樹脂吐出ヘッド３２にセットした後、樹脂吐出ヘッド３２を試し打ち・測定ユニット４０の試し打ちステージ４０ａに移動させて樹脂８を樹脂塗布情報１４に示す規定塗布量（適正樹脂塗布量）で透光部材４３に塗布する（ＳＴ１２）。次いで透光部材４３に塗布された樹脂８を透光部材載置部４１上に移動させ、ＬＥＤ素子５を発光させて樹脂８が未硬化の状態における発光特性を前述構成の発光特性測定部によって測定する（ＳＴ１３）。そして発光特性測定部によって測定された発光特性の測定結果である発光特性測定値３９ａに基づき、発光特性が良品と判定されるための測定値の良品判定範囲を設定し（ＳＴ１４）、設定された良品判定範囲をしきい値データ８１ａとして、記憶部８１に記憶させるとともに管理コンピュータ３に転送して記憶部６１に記憶させる（ＳＴ１５）。

図１４はこのようにして作成されたしきい値データ、すなわち純正含有量の蛍光体を含有した樹脂８を塗布した後、樹脂未硬化状態において求められた発光特性測定値および発光特性が良品と判定されるための測定値の良品判定範囲（しきい値）を示している。図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）は、樹脂８における蛍光体濃度がそれぞれ５％。１０％、１５％である場合の、Ｂｉｎコード［１］［２］［３］［４］［５］に対応したしきい値を示すものである。

例えば図１４（ａ）に示すように、樹脂８の蛍光体濃度が５％である場合において、Ｂｉｎコード１２ｂのそれぞれには適正樹脂塗布量１５（１）のそれぞれに示す塗布量が対応しており、それぞれの塗布量で塗布した樹脂８にＬＥＤ素子５の青色光を照射することにより樹脂８が発する光の発光特性を発光特性測定部によって測定した測定結果が、発光特性測定値３９ａ（１）に示されている。そしてそれぞれの発光特性測定値３９ａ（１）に基づいて、しきい値データ８１ａ（１）が設定される。例えばＢｉｎコード［１］に対応して適正樹脂塗布量ＶＡ０で塗布した樹脂８対象として発光特性を測定した測定結果は、図１５に示す色度表上の色度座標ＺＡ０（ＸＡ０、ＹＡ０）によって表される。そしてこの色度座標ＺＡ０を中心として、色度表上におけるＸ座標、Ｙ座標についての所定範囲（例えば±１０％）が良品判定範囲（しきい値）として設定される。他のＢｉｎコード［２］〜［５］に対応した適正樹脂塗布量についても同様に、発光特性測定結果に基づいて良品判定範囲（しきい値）が設定される（図１５に示す色度表上の色度座標ＺＢ０〜ＺＥ０参照）。ここで、しきい値として設定される所定範囲は、製品としてのＬＥＤパッケージ５０に求められる発光特性の精度レベルに応じて適宜設定される。

そして図１４（ｂ）（ｃ）は、同様に樹脂８の蛍光体濃度がそれぞれ１０％、１５％である場合の、発光特性測定値および良品判定範囲（しきい値）を示している。図１４（ｂ）、（ｃ）において、適正樹脂塗布量１５（２）、適正樹脂塗布量１５（３）はそれぞれ蛍光体濃度がそれぞれ１０％、１５％である場合の適正樹脂塗布量を示しており、発光特性測定値３９ａ（２）、発光特性測定値３９ａ（３）は、それぞれ蛍光体濃度がそれぞれ１０％、１５％である場合の発光特定測定値を、またしきい値データ８１ａ（２）、しきい値データ８１ａ（３）はそれぞれの場合の良品判定範囲（しきい値）を示している。このようにして作成されたしきい値データは、生産用塗布作業において、対象となるＬＥＤ素子５の属するＢｉｎコード１２ｂに応じて使い分けられる。なお、（ＳＴ６）に示すしきい値データ作成処理は、ＬＥＤパッケージ製造システム１とは別に設けられた単独の検査装置によってオフライン作業として実行し、管理コンピュータ３に予めしきい値データ８１ａとして記憶させたものをＬＡＮシステム２経由樹脂塗布装置Ｍ４に送信して用いるようにしてもよい。

この後、ワイヤボンディング後の基板４は樹脂塗布装置Ｍ４に搬送され（ＳＴ７）、図１９（ａ）に示すように、反射部４ｃで囲まれるＬＥＤ実装部４ｂの内部に、吐出ノズル３３ａから樹脂８を吐出させる。ここでは、マップデータ１８、しきい値データ８１ａおよび樹脂塗布情報１４に基づき、図１９（ｂ）に示す規定量の樹脂８を、ＬＥＤ素子５を覆って塗布する作業が実行される（ＳＴ８）。この樹脂塗布作業処理の詳細について、図１４，図１５を参照して説明する。まず樹脂塗布作業の開始に際しては、必要に応じて樹脂収納容器の交換が行われる（ＳＴ２１）。すなわち樹脂吐出ヘッド３２に装着されるディスペンサ３３を、ＬＥＤ素子５の特性に応じて選択された蛍光体濃度の樹脂８を収納したものに交換する。

次いで樹脂塗布部Ｃによって、樹脂８を発光特性測定用として透光部材４３に試し打ちする（測定用塗布工程）（ＳＴ２２）。すなわち、試し打ち・測定ユニット４０にて試し打ちステージ４０ａに引き出された透光部材４３上に、図４にて規定される各Ｂｉｎコード１２ｂ毎の適正樹脂塗布量（ＶＡ０〜ＶＥ０）の樹脂８を塗布する。このとき適正樹脂塗布量（ＶＡ０〜ＶＥ０）に対応する吐出動作パラメータを樹脂吐出機構３５に指令しても、吐出ノズル３３ａから吐出されて透光部材４３に塗布される実際の樹脂塗布量は樹脂８の性状の経時変化などによって必ずしも上述の適正樹脂塗布量とはならず、図１７（ａ）に示すように、実際樹脂塗布量はＶＡ０〜ＶＥ０とは幾分異なるＶＡ１〜ＶＥ１となる。

次いで試し打ち・測定ユニット４０において透光部材４３を送ることにより、樹脂８が試し打ちされた透光部材４３を送り、透光部材載置部４１に載置する（透光部材載置工程）。そして透光部材載置部４１の上方に配置された光源部４５から、蛍光体を励起する励起光を発光する（励起光発光工程）。そしてこの励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に上方から照射することにより、この樹脂８が発する光を透光部材４３の下方から積分球４４を介して分光器４２によって受光し、発光特性測定処理部３９によってこの光の発光特性測定を行う（発光特性測定工程）（ＳＴ２３）。

これにより、図１７（ｂ）に示すように、色度座標Ｚ（図１５参照）で表される発光特性測定値が得られる。この測定結果は、上述の塗布量の誤差および樹脂８中の蛍光体粒子の濃度変化などによって、必ずしも予め規定された発光特性、すなわち図１４（ａ）に示す適正樹脂塗布時における標準的な色度座標ＺＡ０〜ＺＥ０とは一致しない。このため、得られた色度座標ＺＡ１〜ＺＥ１と、図１４（ａ）に示す適正樹脂塗布時における標準的な色度座標ＺＡ０〜ＺＥ０との、Ｘ，Ｙ座標における隔たりを示す偏差（ΔＸＡ、ΔＹＡ）〜（ΔＸＥ、ΔＹＥ）を求め、所望の発光特性を得るための補正の要否を判定する。

ここでは測定結果はしきい値以内であるか否かの判定が行われ（ＳＴ２４）、図１７（ｃ）に示すように、（ＳＴ２３）にて求められた偏差としきい値とを比較することにより、偏差（ΔＸＡ、ΔＹＡ）〜（ΔＸＥ、ΔＹＥ）がＺＡ０〜ＺＥ０に対して±１０％の範囲内にあるか否かを判断する。ここで、偏差がしきい値以内であれば、既設定の適正樹脂塗布量ＶＡ０〜ＶＥ０に対応する吐出動作パラメータをそのまま維持して生産用塗布作業を実行する。これに対し、偏差がしきい値を超えている場合には、塗布量の補正を行う（ＳＴ２５）。すなわち、発光特性測定工程における測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この求められたそれぞれの偏差に応じた補正分を、適正樹脂塗布量ＶＡ０〜ＶＥ０に加え、図１７（ｄ）に示すように、ＬＥＤ素子５に塗布されるべき実生産用の新たな適正樹脂塗布量（ＶＡ２〜ＶＥ２）を導出する処理を、塗布量導出処理部３８によって実行する（塗布量導出処理工程）。

ここで、補正後の適正樹脂塗布量（ＶＡ２〜ＶＥ２）は、既設定の適正樹脂塗布量ＶＡ０〜ＶＥ０に、それぞれの偏差に応じた補正分を加えた更新値である。偏差と補正分との関係は、予め既知の付随データとして樹脂塗布情報１４に記録されている。そして補正後の適正樹脂塗布量（ＶＡ２〜ＶＥ２）に基づいて（ＳＴ２２）、（ＳＴ２３）、（ＳＴ２４）、（ＳＴ２５）の処理が反復実行され、（ＳＴ２４）にて測定結果と予め規定された発光特性との偏差がしきい値以内であることが確認されることにより、実生産用の適正樹脂塗布量が確定する。すなわち上述の樹脂塗布方法においては、測定用塗布工程、透光部材載置工程、励起光発光工程、発光特性測定工程および塗布量導出工程を反復実行することにより、適正樹脂塗布量を確定的に導出するようにしている。そして確定した適正樹脂塗布量は、記憶部８１に実生産用塗布量８１ｂとして記憶される。

そしてこの後、次のステップに移行して捨て打ちが実行される（ＳＴ２６）。ここでは、所定量の樹脂８を吐出ノズル３３ａから吐出させることにより、樹脂吐出経路内の樹脂流動状態を改善して、ディスペンサ３３、樹脂吐出機構３５の動作を安定させる。なお図１６にて破線枠によって示す（ＳＴ２７）（ＳＴ２８）（ＳＴ２９）（ＳＴ３０）の処理は、（ＳＴ２２）（ＳＴ２３）（ＳＴ２４）（ＳＴ２５）に示す処理内容と同様であり、所望の発光特性が完全に確保されていることを入念的に確認する必要がある場合に実行されるものであり、必ずしも必須実行事項ではない。

このようにして、所望の発光特性を与える適正樹脂塗布量が確定したならば、生産用塗布が実行される（ＳＴ３１）。すなわち、塗布量導出処理部３８によって導出され実生産用塗布量８１ｂとして記憶されたた適正樹脂塗布量を、樹脂吐出機構３５を制御する塗布制御部３６に生産実行処理部３７が指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂８を基板４に実装されたＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を実行させる（生産実行工程）。

そしてこの生産用塗布処理を反復実行する過程においては、ディスペンサ３３による塗布回数をカウントしており、塗布回数が予め設定された所定回数を経過したか否かが監視される（ＳＴ３２）。すなわちこの所定回数に到達するまでは、樹脂８の性状や蛍光体濃度の変化は少ないと判断して、同一の実生産用塗布量８１ｂを維持したまま生産用塗布実行（ＳＴ３１）を反復する。そして（ＳＴ３２）にて所定回数の経過が確認されたならば、樹脂８の性状や蛍光体濃度が変化している可能性有りと判断して（ＳＴ２２）に戻り、以下同様の発光特性の測定とその測定結果に基づく塗布量補正処理が反復して実行される。

このようにして１枚の基板４を対象とする樹脂塗布が終了すると、基板４はキュア装置Ｍ５に送られ、キュア装置Ｍ５によって加熱することにより樹脂８を硬化させる（ＳＴ９）。これにより、図１９（ｃ）に示すように、ＬＥＤ素子５を覆って塗布された樹脂８は熱硬化して樹脂８ａとなり、ＬＥＤ実装部４ｂ内で固着状態となる。次いで、樹脂キュア後の基板４は個片切断装置Ｍ６に送られ、ここで基板４を個片基板４ａ毎に切断することにより、図１９（ｄ）に示すように、個片のＬＥＤパッケージ５０に分割する（ＳＴ１０）。これにより、ＬＥＤパッケージ５０が完成する。

上記説明したように、上記実施の形態に示すＬＥＤパッケージ製造システム１は、基板４に複数のＬＥＤ素子５を実装する部品実装装置Ｍ１と、複数のＬＥＤ素子５の発光波長を予め個別に測定して得られた情報を素子特性情報１２として提供する素子特性情報提供手段と、規定の発光特性を具備したＬＥＤパッケージ５０を得るための樹脂８の適正樹脂塗布量と素子特性情報１２とを対応させた情報を樹脂塗布情報１４として提供する樹脂情報提供手段と、部品実装装置Ｍ１によって実装されたＬＥＤ素子５の基板４における位置を示す実装位置情報７１ａと当該ＬＥＤ素子５についての素子特性情報１２とを関連付けたマップデータ１８を、基板４毎に作成するマップデータ作成手段と、マップデータ１８と樹脂塗布情報１４に基づき、規定の発光特性を具備するための適正樹脂塗布量の樹脂８を、基板４に実装された各ＬＥＤ素子に塗布する樹脂塗布装置Ｍ４とを備えた構成となっている。

そして樹脂塗布装置Ｍ４は、樹脂８の塗布量を可変に吐出して任意の塗布対象位置に塗布する樹脂塗布部Ｃと、樹脂塗布部Ｃを制御することにより、樹脂８を発光特性測定用として透光部材４３に試し打ちする測定用塗布処理および実生産用としてＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を実行させる塗布制御部３６と、蛍光体を励起する励起光を発光する光源部を備え測定用塗布処理において樹脂８が試し打ちされた透光部材４３が載置される透光部材載置部４１と、光源部から発光された励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に照射することによりこの樹脂８が発する光の発光特性を測定する発光特性測定部と、発光特性測定部の測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて適正樹脂塗布量を補正することにより、ＬＥＤ素子５に塗布されるべき実生産用の適正樹脂塗布量を導出する塗布量導出処理部３８と、導出された適正樹脂塗布量を塗布制御部３６に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂をＬＥＤ素子５に塗布する生産用塗布処理を実行させる生産実行処理部３７とを備えた構成となっている。

上述構成により、蛍光体を含む樹脂によってＬＥＤ素子５を覆って成るＬＥＤパッケージ５０の製造に用いられる樹脂塗布において、樹脂８を発光特性測定用として試し打ちした透光部材４３を透光部材載置部４１に載置し、上方に配置された光源部４５から蛍光体を励起する励起光を発光し、励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に上方から照射することにより、この樹脂８が発する光を透光部材４３の下方から受光して光の発光特性を測定した測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子５に塗布されるべき樹脂の適正樹脂塗布量を導出することができる。これにより、個片のＬＥＤ素子５の発光波長がばらつく場合にあっても、ＬＥＤパッケージ５０の発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができる。

また、上述構成のＬＥＤパッケージ製造システム１においては、管理コンピュータ３および部品実装装置Ｍ１〜個片切断装置Ｍ６の各装置をＬＡＮシステム２によって接続した構成を示しているが、ＬＡＮシステム２は必ずしも必須の構成要件ではない。すなわち予め準備されて外部から伝達される素子特性情報１２、樹脂塗布情報１４を各ＬＥＤパッケージ５０毎に記憶しておく記憶手段があり、これらの記憶手段から、部品実装装置Ｍ１に対して素子特性情報１２を、また樹脂塗布装置Ｍ４に対して樹脂塗布情報１４およびマップデータ１８を、必要に応じて随時提供可能なデータ提供手段が存在すれば、本実施の形態に示すＬＥＤパッケージ製造システム１の機能を実現することができる。

図２０（ａ）は透光部材４３として、図８（ｂ）の（ｂ２）に示したようにエンボス部４３ａが形成されている場合の斜視図を示す。図２０（ｂ）（ｃ）は図２０（ａ）の透光部材４３を透光部材載置部４１にセットした状態のＡ−ＡＡ断面図とＢ−ＢＢ断面図を示す。矢印Ｐ４６は照射部４６の位置を示している。

しかし、供給リール４７に卷回収納されて供給される透光部材４３には、供給リール４７から引き出した状態では、図２１（ａ）（ｂ）（ｃ）のような巻癖が発生する。
図２１（ａ）（ｂ）は透光部材４３の幅方向の巻癖の具体例を示す。

図２１（ａ）の場合には、透光部材４３の上面部５１の変形によって、透光部材４３の底部の位置が規定の位置５２から上方へ移動する浮きΔが生じている。
図２１（ｂ）の場合には、透光部材４３の上面部５１の変形によって、透光部材４３の底部が角度θだけ傾く誤差が生じている。

図２１（ｃ）は、供給リール４７の巻癖によって透光部材４３の長手方向に反りが発生している状態を示しており、この場合も上部ガイド部材４１ｃと下部支持部材４１ｂとで透光部材４３をガイドしながら回収リール４８に巻き取るだけでは、図２１（ａ）（ｂ）のような浮きや傾きが発生する。

このような透光部材４３の浮きや傾きの発生によって、照射部４６の位置での透光部材４３の姿勢が不安定になった場合には、積分球４４へ入射する光の波長に対する検出感度が不安定になって、色度補正の精度が悪化する。

そこでこの実施の形態では、図２２〜図２４に示すように照射部４６の位置（発光特性測定部３９が測定中）の透光部材４３を、透光部材載置部４１の側に引っ張って位置決めするクランプ部６３が設けられている。

図２２（ａ）は照射部４６の位置での透光部材４３と透光部材載置部４１の縦断面図を示す。図２２（ｂ）は照射部４６の位置とその前後付近における試し塗布材４３の移送方向の断面図を示す。図２３は図２２（ｂ）の平面図を示す。

クランプ部６３は、第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄを有している。
第１，第２吸着ノズル６３ａ，６３ｂは、透光部材４３に隣接して形成されているエンボス部４３ａの間に設けられ、図２２（ｂ）に示すように仮想線位置と実線位置に出退する。第３，第４吸着ノズル６３ｃ，６３ｄは、図２２（ａ）に示すようにエンボス部４３ａの外周の対向する側面５３ａ，５３ｂに向かって実線位置と仮想線位置に出退する。第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄの基端は制御バルブを介して真空源（図示せず）に接続されている。

測定に供する樹脂８が試し打ちされた透光部材４３のエンボス部４３ａが照射部４６の位置Ｐ４６に到着すると、先ず、第１，第２吸着ノズル６３ａ，６３ｂを仮想線位置から実線位置に駆動して、隣接するエンボス部の間のポイントＲ１，Ｒ２を吸着して、透光部材４３を下部支持部材４１ｂの上面に押し付けて位置決めする。

次ぎに、第３，第４吸着ノズル６３ｃ，６３ｄを仮想線位置から実線位置に駆動して、エンボス部の側面５３ａ，５３ｂのポイントＲ３，Ｒ４を吸着して位置決めする。
試し打ちした樹脂８の測定が完了すると、第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄによる透光部材４３の真空吸着を終了して、第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄを仮想線位置に後退させてから、次のエンボス部４３ａが照射部４６に到着するまで透明部材４３を回収リール４８が巻き取る。

なお、ここでは第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄによって透光部材４３のポイントＲ１〜Ｒ４を吸着保持したが、図２４に示すように第１〜第４吸着ノズル６３ａ〜６３ｄによって吸着保持するとともに、エンボス部４３ａの外周の側面５３ｃ，５３ｄのポイントＲ５，Ｒ６を同時に、吸着ノズルによって吸着保持することもできる。

また、図２２〜図２４では透光部材４３がエンボス部４３ａを有している場合を例に挙げて説明したが、図８（ｂ）の（ｂ１）のようにエンボス部を有していないテープ状の透光部材４３の場合には、第１，第２吸着ノズル６３ａ，６３ｂによって透光部材４３を裏面から吸着することによって、同様な前記巻癖の影響を回避できる。

（実施の形態２）
上記の実施の形態では、テープ状の透光部材４３の場合には照射部４６に到着した樹脂８が、表面がフラットな透光部材４３の上面に載置されていたが、テープ状の透光部材４３の場合であっても、図２５と図２６に示すように構成することによって、試し打ちされた樹脂８の形状の安定化、ならびに前記巻癖の影響を回避できる。

図２５はテープ状の透光部材４３を透光部材載置部４１の側に吸着保持するエンボス部形成部５４の斜視図を示す。図２６はこのエンボス部形成部５４を設けた樹脂塗布装置の要部の工程図を示す。

エンボス部形成部５４は、透光部材４３の裏面と接する上面に凹部５５が形成されている。この凹部５５の側壁に形成された開口５６は、エンボス部形成部５４の内部に形成された環状の流路５７と凹部５５の内側とを連通している。さらに、このエンボス部形成部５４の少なくとも底部５８は、凹部５５に入射した光を遮らないように透光性材料で形成されている。

エンボス部形成部５４は、図７に示した試し打ちステージ４０ａの位置から少なくとも照射部４６の位置にまで、透光部材４３が、回収リール４８による透光部材４３の巻き取りに同期して移動するように駆動される。

図２６（ａ）はエンボス部形成部５４が試し打ちステージ４０ａの位置にある初期状態を示している。次ぎに図２６（ｂ）では、エンボス部形成部５４の環状の流路５７が真空源に接続される。矢印５９は吸引状態を示している。これによって、透光部材４３の凹部５５が減圧されて、可撓性の透光部材４３が凹部５５に吸引されて下方に半球状に突出してエンボス部４３ａが形成される。

図２６（ｃ）では、エンボス部４３ａに、吐出ノズル３３ａによって規定塗布量の樹脂８を吐出する。エンボス部４３ａに樹脂８が試し打ちされた透光部材４３は、図２６（ｃ）の初期状態から図２６（ｄ）に示す照射部４６の位置Ｐ４６に向かって、吸引状態が維持されているエンボス部形成部５４とともに移送される。

図２６（ｄ）では、エンボス部形成部５４が依然として吸引状態が維持されており、この状態でエンボス部４３ａの樹脂８に、上方から光源部４５からの励起光が照射される。樹脂８に含まれている蛍光体から発生した光は、エンボス部形成部５４の底部を通過して、積分球４４を介して分光器４２に入射して発光特性が測定される。

照射部４６での測定が終わると、回収リール４８による透光部材４３の巻き取りが開始される前に、エンボス部形成部５４による前記吸引状態が解除されて凹部４３ａが大気圧に復帰し、回収リール４８が透光部材４３を巻き取るときにエンボス部形成部５４は、透光部材４３の移送方向とは逆方向に駆動されて図２６（ａ）の位置に復帰する。

このように照射部４６の透光部材４３が、エンボス部形成部５４によって吸引されているため、透光部材４３に発生している巻癖の影響を受けることなく照射部４６の位置での透光部材４３の姿勢が安定させることができ、色度補正の精度が向上する。

（実施の形態３）
実施の形態１では図２２（ａ）（ｂ）に示したように、透光部材載置部４１の下側だけに配置したクランプ部６３によって、透光部材４３を正しい位置にクランプしたが、この実施の形態３では、図２７〜図３５の何れかに示すように、透光部材４３を正しい位置にクランプするために有効な押圧体を透光部材載置部４１の上側に更に設け、これをクランプ部６３の一部として透光部材４３に作用するように構成することによって、透光部材４３をより正しい位置にクランプできる。

図２７〜図３５は、何れも照射部４６側（上方）から、透光部材４３を透光部材載置部４１へ押える斜視図を示す。透光部材載置部４１の下側のクランプ部は、実施の形態１と同じである。

図２７の具体例のクランプ部６３ｅは、枠状の押圧体によって構成されており、透光部材４３の開口の周辺を押えることができる。
図２８〜図３０に示す各具体例のクランプ部６３ｆは、棒状の押圧体によって構成されており、透光部材４３の開口の周辺の少なくとも２辺または４辺を押えることができる。

図３１の具体例のクランプ部６３ｇは、柱状の押圧体によって構成されており、透光部材４３の開口のコーナ部を押えることができる。図３１では４コーナであるが、対角線２コーナを押えることでもよい。

図３２の具体例のクランプ部６３ｈは、ばね（弾性体）６４ｈと棒状の押圧体６５ｈの組み合わせによって構成されており、ばね６４ｈの弾性によって棒状の押圧体６５ｈをしっかりと透光部材４３の開口の周辺の４辺を押えることができる。少なくとも２辺は押える必要がある。棒状の押圧体６５ｈの長さは、図３３に示した棒状の押圧体６５ｉのように開口の辺の長さあってもよいが、少なくとも開口の辺の一部を押さえる長さがあればよい。

図３３に示したクランプ部６３ｉは、ばね（弾性体）６４ｉと棒状の押圧体６５ｉの組み合わせによって構成されている。
図３４の具体例のクランプ部６３ｊは、ばね性のある板状の押圧体によって構成されており、その先端で透光部材４３を押える。ばね性があるので、しっかりと押えることができる。

図３５の具体例のクランプ部６３ｋは、ばね（弾性体）６４ｋとローラ状の押圧体６５ｋの組み合わせによって構成されており、透光部材４３の２辺を押える。透光部材４３を押えているローラ状の押圧体６５ｋは透光部材４３の移動に伴って透光部材４３の移動を許容するように回転自在であるため、押圧体６５ｋの下を透光部材４３が移動していく。

なお、図２７〜図３５のように透光部材４３を上方から押える各クランプ部６３ｅ〜６３ｋは、実施の形態３の図２２（ａ）（ｂ）のように、下方で固定するクランプ部６３と両方を用いてもよいが、下方で固定するクランプ部６３を設けずにクランプ部６３ｅ〜６３ｋの何れかによって透光部材４３を上方から押えるようにして簡素化することもできる。

本発明は、蛍光体を含む樹脂でＬＥＤ素子を覆ったＬＥＤパッケージを製造する分野において利用可能である。

１ ＬＥＤパッケージ製造システム
２ ＬＡＮシステム
４ 基板
４ａ 個片基板
４ｂ ＬＥＤ実装部
４ｃ 反射部
５ ＬＥＤ素子
８ 樹脂
１２ 素子特性情報
１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１３Ｅ ＬＥＤシート
１４ 樹脂塗布情報
１８ マップデータ
２３ 樹脂接着剤
２４ 接着剤転写機構
２５ 部品供給機構
２６ 部品実装機構
３２ 樹脂吐出ヘッド
３３ ディスペンサ
３３ａ 吐出ノズル
４０，１４０ 試し打ち・測定ユニット
４０ａ 試し打ちステージ
４１，１４１ 透光部材載置部
４２ 分光器
４３ 透光部材
４３ａ エンボス部
４４ 積分球
４６ 照射部
５０ ＬＥＤパッケージ
５１ 透光部材４３の上面部
５２ 透光部材４３の底部の規定の位置
５３ａ，５３ｂ エンボス部４３ａの対向する側面
５４ エンボス部形成部
５５ 凹部
５６ 開口
５７ 流路
５８ 底部
６３ クランプ部
６３ａ〜６３ｄ 第１〜第４吸着ノズル
Ｐ４６ 照射部４６の位置
Ｒ１〜Ｒ６ 吸着ポイント

Claims (10)

1. 蛍光体を含む樹脂を塗布する樹脂塗布部と、
   前記樹脂塗布部を制御して前記樹脂を測定用塗布処理として試し塗布材に試し塗布する第１塗布制御部と、
   前記樹脂塗布部を制御して前記樹脂を生産用塗布処理としてＬＥＤ素子に塗布する第２塗布制御部と、
   前記第１塗布制御部の制御により前記樹脂が試し打ちされた試し塗布材が載置される試し塗布材載置部と、
   前記蛍光体を励起する励起光を発光する光源部と、
   前記励起光を前記透光部材に塗布された前記樹脂に照射して前記試し打ちされた樹脂から発せられた光の発光特性を測定する発光特性測定部と、
   前記発光特性測定部が測定中の前記試し塗布材を位置決めするクランプ部と、
   前記発光特性測定部の測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて生産用として前記ＬＥＤ素子に塗布されるべき前記樹脂の適正樹脂塗布量を導出する塗布量導出処理部と、
   前記適正樹脂塗布量を前記第２塗布制御部に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂を前記ＬＥＤ素子に塗布する前記生産用塗布処理を実行させる生産実行処理部と
   を備えたことを特徴とする樹脂塗布装置。
2. 前記クランプ部は、
   前記発光特性測定部が測定中の前記試し塗布材を、前記試し塗布材載置部の側に吸着保持する
   請求項１記載の樹脂塗布装置。
3. 前記試し塗布材は、前記樹脂が試し打ちされるエンボス部を有しており、
   前記クランプ部は、
   前記発光特性測定部が測定中の試し塗布材に隣接して形成されている前記エンボス部の間を、前記試し塗布材載置部の側に吸着保持する
   請求項１記載の樹脂塗布装置。
4. 前記試し塗布材は、前記樹脂が試し打ちされるエンボス部を有しており、
   前記クランプ部は、
   前記発光特性測定部が測定中の試し塗布材に形成されている前記エンボス部の外周面の少なくとも一部を、前記試し塗布材載置部の側に吸着保持する
   請求項１記載の樹脂塗布装置。
5. 前記クランプ部に代わって、前記試し塗布材の下面側から前記試し塗布材を吸引して前記試し塗布材の下面側に突出したエンボス部を形成するとともに、前記吸引によって前記発光特性測定部が測定中の前記試し塗布材を、前記試し塗布材載置部の側に吸着保持するエンボス部形成部を設けた
   請求項１記載の樹脂塗布装置。
6. 前記クランプ部は、前記発光特性測定部が測定中の前記試し塗布材を、前記試し塗布材載置部へ上方より押え保持する
   請求項１記載の樹脂塗布装置。
7. 前記クランプ部は、枠状、棒状体、ローラの何れかの押圧体である
   請求項６記載の樹脂塗布装置。
8. 前記クランプ部は、枠状、棒状体、ローラの何れかの押圧体と、この押圧体を前記試し塗布材載置部の側に押し付ける弾性体を有する
   請求項６記載の樹脂塗布装置。
9. 蛍光体を含む樹脂を吐出する樹脂吐出部によって前記樹脂を発光特性測定用として試し塗布材に試し打ちする測定用塗布工程と、
   前記樹脂が試し打ちされた試し塗布材を試し塗布材載置部に載置する試し塗布材載置工程と、
   前記試し塗布材に試し打ちされている前記樹脂に、測定中の前記透光部材をクランプ部によって位置決めした状態で、前記光源部から前記蛍光体を励起する励起光を照射する励起光発光工程と、
   前記励起光によって前記樹脂から発せられた光の発光特性を測定する発光特性測定工程と、
   前記発光特性測定工程における測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて生産用として前記ＬＥＤ素子に塗布されるべき前記樹脂の適正樹脂塗布量を導出する塗布量導出処理工程と、
   前記導出された適正樹脂塗布量を前記樹脂吐出部を制御する塗布制御部に指令することにより、この適正樹脂塗布量の樹脂をＬＥＤ素子に塗布する生産用塗布処理を実行させる生産実行工程と
   を含むことを特徴とする樹脂塗布方法。
10. 前記測定用塗布工程では、
    前記試し塗布材の下面側から前記試し塗布材をエンボス部形成部によって吸引して前記試し塗布材の下面側に突出したエンボス部を形成し、この形成されたエンボス部に前記樹脂を発光特性測定用として試し打ちし、
    前記励起光発光工程では、
    前記エンボス部に試し打ちされている前記樹脂に、前記光源部から前記蛍光体を励起する励起光を照射し、
    発光特性測定工程では、
    前記吸引して形成中のエンボス部の前記樹脂から前記励起光によって発せられた光の発光特性を測定する
    請求項９記載の樹脂塗布方法。

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