JP5892331B2 - 潤滑特性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆ドリル - Google Patents
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(b)Cr高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Aが1〜5であり、
(c)Al高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Bが10〜70である場合、このような硬質被覆層を備えた表面被覆ドリルは、従来の表面被覆ドリルに比して、湿式高速の深穴加工において、すぐれた潤滑特性・耐摩耗性および耐チッピング性を示すことを見出した。
さらに、Cr高含有領域の平均層厚XCrが30〜200nmの範囲に存在し、かつ、Al高含有領域の平均層厚XAlが30〜200nmの範囲に存在し、かつ、ドリルマージン部におけるXCrがドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、ドリルマージン部におけるXAlが、ドリル先端から、ドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少するように構成した場合、潤滑特性、耐摩耗性および耐チッピング性が一層向上することを見出した。
ドリル基体温度:400〜430℃、
蒸発源1:金属Cr、
蒸発源1に対するプラズマガン放電電力:9〜11kW、
蒸発源2:金属Al、
蒸発源2に対するプラズマガン放電電力:7〜8kW、
反応ガス流量:窒素(N2)ガス 80〜100sccm、
放電ガス:アルゴン(Ar)ガス 30〜35sccm、
ドリル基体に印加する直流バイアス電圧:−15〜−10V、
という特定の条件下で、かつ、ドリル基体の先端を回転中心に向けた方向で固定し、回転軸をハース積載面の法線から0度または35〜55度傾けて設置し、公転するドリル基体が通過する円周とCrのハースの距離が、公転するドリル基体が通過する円周とAlのハースの距離よりも短い、すなわち、相対的に空間中のCr量が高い領域では速い成膜速度、相対的にAl量が高い領域では遅い成膜速度となるよう調整された状態で、かつ、XCrおよびXAlの目標層厚に応じて、その公転速度が、Crのハースに最も接近する位置で最大、Alのハースに最も接近する位置で最小となる、三角波形状の速度制御パターンとすることによって、形成することができる。この結果形成された硬質被覆層を備えた表面被覆ドリルは、従来の表面被覆ドリルに比して、湿式高速の深穴加工において、すぐれた潤滑特性および耐摩耗性を示すことを見出した。
「(1) 超硬合金焼結体あるいは高速度鋼からなるドリル基体の上に、直接または中間層を介し、最表面に粒径組成制御層として(Cr1−xAlx)Nの成分系からなる層厚0.3〜5.0μmの硬質被覆層が存在する表面被覆ドリルにおいて、
(a)前記ドリルのマージン部の粒径組成制御層の膜断面でのAlの含有比率xの値が、0.1以上0.6以下の範囲に存在し、xの値が0.2以下となる層状のCr高含有領域と、xの値が0.3以上となる層状のAl高含有領域が、前記粒径組成制御層の中に各々少なくとも一層以上含まれ、かつ、
(b)前記Cr高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Aが、1〜5であり、かつ、
(c)前記Al高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Bが、10〜70であること特徴とする長期に亘り高い耐摩耗性を維持する表面被覆ドリル。
(2) 前記Cr高含有領域の平均層厚XCrが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、前記Al高含有領域の平均層厚XAlが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、ドリルマージン部におけるXCrが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、ドリルマージン部におけるXAlが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少することを特徴とする(1)に記載の表面被覆ドリル。」
に特徴を有するものである。
また、硬質被覆層の組成(Cr1−xAlx)Nにおいて、Alの含有比率xの値が、0.1未満ではAlの耐摩耗性が十分でなく、0.6を超えると六方晶組織へと変化するためNaCl型結晶が持つ強度を維持できない。したがって、Alの含有比率xの値は0.1〜0.6と定めた。
また、Al高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Bの値は、10未満では、柱状組織が持つ耐摩耗性が実現できない。一方、平均アスペクト比Bの値は、70を超えるとせん断力に対する抗折力が維持できない。したがって、アスペクト比Bの値は、10〜70と定めた。
なお、本発明でいう「アスペクト比」とは、個々の結晶粒の測定された最大径を示す線分である長辺の値を、長辺に対して垂直方向の最大径を示す短辺の値で除した値である。また、平均アスペクト比は、測定した5つの結晶粒のアスペクト比の平均値である。
また、「ドリル先端から、ドリル外径の5倍の距離までの領域」とは、ドリルの中心軸と平行にドリル切れ刃部先端を起点に後方すなわちシャンクの方向へ計測して、ドリルの中心軸に垂直な平面内の最大直径の5倍の長さまでの領域をいう。
また、同一の測定領域に、膜厚方向に複数のCr高含有領域、あるいは複数のAl高含有領域が存在する場合は、それぞれの平均値をXCr、XAlとする。
さらに、Cr高含有領域の平均層厚XCrが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、Al高含有領域の平均層厚XAlが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、ドリルマージン部におけるXCrが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、ドリルマージン部におけるXAlが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少するように形成することによって、耐摩耗性をより一層向上させることができる。
すなわち、一般的な深穴加工において、力学的負荷が高くまた同時に高い耐熱性が要求される先端部においては、高いAl含有比率を有するAl高含有領域をCr高含有領域に対して大きい割合で、柱状組織にて構成することにより、長期に亘り高い耐摩耗性を維持する。一方、力学的負荷よりも滑り特性や安定的な摩耗形態が要求される切屑排出溝やドリル後方のマージン部においては、CrNのもつ潤滑特性をさらに生かすために高いCr含有比率を有するCr高含有領域を、アスペクト比の低い粒状組織で構成することにより、最低限の耐摩耗性を維持したまま長期に亘り高い潤滑特性を維持することができる。また同時に、それらの領域が膜厚方向に層状に積層されていることで、主として柱状組織で構成されるAl高含有領域において発生した膜厚方向へ進展するクラックの進展方向がCr高含有領域の微細粒状組織により分散され、皮膜の耐衝撃性を向上させることが出来る。
さらに、XCrが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、XAlが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少することで、耐摩耗性が要求される先端部近傍から、潤滑特性が要求される工具後方にかけて、両者の効果をバランスよく発現し、更に工具寿命を延長することが出来る。
さらに、本発明によれば、膜厚方向へ組成比率とアスペクト比が連続的に変化する、あるいは、ドリル軸方向へXAl、XCrが漸次変化することで、ブラスト後処理やマスキングによる、不連続的に処理がなされた従来技術よりもきわめて安定的な切削を実現し、長寿命化を実現するものである。一般的な製造方法によれば、Alの含有比率xを変化させたとしても、粒状組織・柱状組織はAlの含有比率xにより被支配的に変化するものではないが、本製法によれば、基体回転機構およびCr蒸発源、Al蒸発源を極めて特異な配置とし、特定の成膜速度分布および、成膜時の基体表面におけるCrイオンやAlイオンの特定の密度分布を実現することで、本発明の表面被覆ドリルを制御可能な状態で製造することが出来るものである。
ドリル基体温度:400〜430℃、
蒸発源1:金属Cr、
蒸発源1に対するプラズマガン放電電力:9〜11kW、
蒸発源2:金属Al、
蒸発源2に対するプラズマガン放電電力:7〜8kW、
反応ガス流量:窒素(N2)ガス 80〜100sccm、
放電ガス:アルゴン(Ar)ガス 30〜35sccm、
ドリル基体に印加する直流バイアス電圧:−15〜−10V、
という表2に示される特定の条件下、ドリル基体の先端を回転中心に向けた方向で固定し、本発明被覆ドリル1〜15については公転回転軸をハース積載面の法線から0度、本発明被覆ドリル16〜30については35〜55度傾けて回転させ、回転速度が、Crのハースに最も接近する位置で最大、Alのハースに最も接近する位置で最小となる三角波形状の速度制御パターンとして反応性蒸着をして、表2に示される組成、および表4、5に示される目標層厚、平均アスペクト比を有する粒径組成制御層を形成した本発明表面被覆ドリル1〜30をそれぞれ製造した。
ドリル基体温度:410〜420℃、
ターゲット1:Cr−Al合金、
ターゲット1に対するアーク放電電流:80〜140A、
ターゲット2:Cr−Al合金、
ターゲット2に対するアーク放電電流:60〜120A、
反応ガス圧力:窒素(N2)ガス 6〜10Pa、
ドリル基体に印加する直流バイアス電圧:−25〜−5V、
という条件のもと、従来被覆層を蒸着形成して、ドリル基体D−1〜D−4の表面に、表3に示される組成、および、表6に示される目標層厚、平均アスペクト比を有する従来層を形成した比較表面被覆ドリル1〜8をそれぞれ製造した。
被削材−平面寸法:100mm×250mm、厚さ:80mmのJIS・SC55(HB260)の板材、
切削速度:130m/min.、
送り:0.30mm/rev.、
穴深さ:50mm、
の条件での合金鋼の湿式高速深穴あけ切削加工試験(通常の、加工穴深さ5Dの切削速度および送りは、それぞれ、110m/min.および0.20mm/rev.)、
を行い、先端切刃面の逃げ面摩耗幅が0.3mmに至るまで、若しくは工具の欠損に至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表4、5、6にそれぞれ示した。
高さ:層厚の2倍相当 × 幅:5μm × 厚さ:100nm
の薄片に加工した後、透過型電子顕微鏡を用いて、観察加速電圧200kVの条件のもと、本発明表面被覆ドリル1〜30の硬質被覆層を構成する粒径組成制御層、比較表面被覆ドリル1〜8の硬質被覆層を構成する従来層の粒径組織を観測したのち、薄片の幅方向における中心線とドリル基体の交差点から、ドリル基体に略垂直に皮膜の表面の方向へ向かって、10nmの間隔で組成を測定し、各点での組成が表2、3に示す目標組成範囲と実質的に同じ組成範囲を有していることを確認するとともに、さらに、Alの含有比率xが0.1以上0.2以下となるCr高含有領域の平均層厚XCrおよび、Cr高含有領域に含まれる(Cr1−xAlx)Nの成分系からなる個々の結晶粒の長辺および短辺を測定し、平均アスペクト比Aを算出し、同じく、Alの含有比率xが0.3以上0.6以下となるAl高含有領域の平均層厚XAlおよび、Al高含有領域に含まれる(Cr1−xAlx)Nの成分系からなる個々の結晶粒の長辺および短辺を測定し、平均アスペクト比Bを算出し、それぞれの結果を表4、5、6に示した。なお、ここで言う長辺とは結晶粒中の最大の長さを示す線分の長さを表し、短辺とは、長辺に垂直な線分のうち最大の長さもつ線分の長さを表し、アスペクト比とは前記長辺を前記短辺で除した値である。
また、Cr高含有領域の平均層厚XCrが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、Al高含有領域の平均層厚XAlが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、ドリルマージン部におけるXCrが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、ドリルマージン部におけるXAlが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少していることにより、さらに一層、長期に亘りすぐれた潤滑特性と耐摩耗性を維持する表面被覆ドリルが得られることが明らかである。
これに対して、表3、6に示される結果から、硬質被覆層のCrとAlそれぞれの高含有領域がない、あるいは、CrとAlそれぞれの高含有領域の平均アスペクト比および平均層厚が所定の範囲内に制御されていない従来層を有する比較表面被覆ドリルにおいては、潤滑特性および耐摩耗性が十分でないために、チッピング、欠損、剥離の発生等により、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
Claims (2)
- 超硬合金焼結体あるいは高速度鋼からなるドリル基体の上に、直接または中間層を介し、最表面に粒径組成制御層として(Cr1−xAlx)Nの成分系からなる平均層厚0.3〜5.0μmの硬質被覆層が存在する表面被覆ドリルにおいて、
(a)前記ドリルのマージン部の粒径組成制御層のAlの含有比率xの値が、
0.1以上0.6以下の範囲であり、xの値が0.2以下となる層状のCr高含有領域と、xの値が0.3以上となる層状のAl高含有領域が、前記粒径組成制御層の中に各々少なくとも一層以上含まれ、かつ、
(b)前記Cr高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Aが、1〜5であり、かつ、
(c)前記Al高含有領域における結晶粒の平均アスペクト比Bが、10〜70であること特徴とする長期に亘り高い耐摩耗性を維持する表面被覆ドリル。 - 前記Cr高含有領域の平均層厚XCrが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、前記Al高含有領域の平均層厚XAlが、30〜200nmの範囲に存在し、かつ、ドリルマージン部におけるXCrが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次増加し、かつ、ドリルマージン部におけるXAlが、ドリル先端からドリル外径の5倍の距離までの領域にかけて漸次減少することを特徴とする請求項1に記載の表面被覆ドリル。
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