JP5882931B2 - 多層光導波路構造の製造方法 - Google Patents
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はじめに、本発明の実施の形態1について図1A〜図1Gを用いて説明する。図1A〜図1Gは、本発明の実施の形態1における多層光導波路構造の製造方法を説明するための各工程における状態を模式的に示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態2について図2A〜図2Hを用いて説明する。図2A〜図2Hは、本発明の実施の形態2における多層光導波路構造の製造方法を説明するための各工程における状態を模式的に示す断面図である。
Claims (2)
- 基板の上にSiO2からなる第1クラッド層およびシリコンからなるシリコンコアを形成する第1工程と、
前記第1クラッド層の上にシリコン化合物からなる第1層を形成してパターニングすることで、前記第1クラッド層の上に前記シリコンコアを覆う第2クラッド層、およびシリコン化合物からなる第1シリコン化合物コアを形成する第2工程と、
ECRプラズマCVD法によりSiO2を堆積することで、前記第2クラッド層および前記第1シリコン化合物コアを覆う第3クラッド層を前記第1クラッド層の上に形成する第3工程と、
前記第3クラッド層の表面を化学的機械的研磨により平坦化する第4工程と、
平坦化された前記第3クラッド層の上にECRプラズマCVD法によりシリコン化合物からなる第2層を形成してパターニングすることでシリコン化合物からなる第2シリコン化合物コアを形成する第5工程と、
ECRプラズマCVD法によりSiO2を堆積することで、前記第2シリコン化合物コアを覆う第4クラッド層を前記第3クラッド層の上に形成する第6工程と
を備え、
前記シリコン化合物は、シリコン窒化物およびSiO x の少なくとも一方から構成されたものであることを特徴とする多層光導波路構造の製造方法。 - 請求項1記載の多層光導波路構造の製造方法において、
前記第2工程では、前記第1層の上に窒化シリコンからなる停止層を形成してから、前記第1層および前記停止層をパターニングすることで、前記第2クラッド層および前記第1シリコン化合物コアの上に停止層が形成された状態とし、
前記第4工程では、前記第3クラッド層の化学的機械的研磨を前記停止層で停止させることで平坦化を行う
ことを特徴とする多層光導波路構造の製造方法。
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