JP5870374B2 - 熱感知型加速度センサ - Google Patents
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Description
2 空洞部
3 センサ基板
4 ヒーター
6 X軸方向用温度検出素子(第1温度検出素子)
7 Y軸方向用温度検出素子(第3温度検出素子)
8 Z軸方向用温度検出素子(第2温度検出素子)
Claims (3)
- カバー部材で覆われることで周囲の流体が密封されてなるセンサ基板に、密封された前記流体を加熱するためのヒーターと、前記センサ基板平面に対して平行な方向に加わる加速度を求めるために、前記ヒーターよりも外側の位置で前記流体の温度変化を検出する第1温度検出素子と、前記センサ基板平面に対して垂直な方向に加わる加速度を求めるために、前記ヒーターよりも内側の位置で前記流体の温度変化を検出する第2温度検出素子とが設けられた熱感知型加速度センサであって、
前記第2温度検出素子は、前記ヒーターが配置される平面よりも高い位置に設けられていることを特徴とする熱感知型加速度センサ。 - 前記第1温度検出素子は、前記第2温度検出素子と同一の高さに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱感知型加速度センサ。
- 前記センサ基板に、前記第1温度検出素子が検出する前記流体の温度変化に基づいて求められる加速度の方向と前記第2温度検出素子が検出する前記流体の温度変化に基づいて求められる加速度の方向のそれぞれに直交する方向の加速度を求めるために、前記第1温度検出素子と同一の高さ且つ前記ヒーターよりも外側の位置で前記流体の温度変化を検出する第3温度検出素子が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱感知型加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011242107A JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011242107A JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013096936A JP2013096936A (ja) | 2013-05-20 |
JP5870374B2 true JP5870374B2 (ja) | 2016-03-01 |
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ID=48618997
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011242107A Expired - Fee Related JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5870374B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101743668B1 (ko) * | 2016-11-14 | 2017-06-07 | 한국생산기술연구원 | 열대류형 가속도 센서 및 이의 제조방법 |
CN109239401B (zh) * | 2018-10-30 | 2024-06-25 | 朴然 | 一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法 |
CN110244081A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-09-17 | 北京信息科技大学 | 一种热膨胀流三轴加速计及其加工方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3332283B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2002-10-07 | 本田技研工業株式会社 | 多軸加速度センサ |
US7392703B2 (en) * | 2004-06-09 | 2008-07-01 | Memsic, Inc. | Z-axis thermal accelerometer |
US7424826B2 (en) * | 2005-11-10 | 2008-09-16 | Memsic, Inc. | Single chip tri-axis accelerometer |
JP2007285996A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Ritsumeikan | 熱感知型加速度センサ |
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2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013096936A (ja) | 2013-05-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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