JP2013096936A - 熱感知型加速度センサ - Google Patents
熱感知型加速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013096936A JP2013096936A JP2011242107A JP2011242107A JP2013096936A JP 2013096936 A JP2013096936 A JP 2013096936A JP 2011242107 A JP2011242107 A JP 2011242107A JP 2011242107 A JP2011242107 A JP 2011242107A JP 2013096936 A JP2013096936 A JP 2013096936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- acceleration
- heater
- temperature detection
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】 センサ基板3に、密封された流体を加熱するためのヒーター4と、センサ基板3平面に対して平行な方向に加わる加速度を求めるためにヒーター4よりも外側の位置で流体の温度を検出する第1温度検出素子6と、センサ基板3平面に対して垂直な方向に加わる加速度を求めるために、ヒーター4よりも内側の位置で流体の温度を検出する第2温度検出素子8とが設けられた熱感知型加速度センサ1であって、第2温度検出素子8は、ヒーター4が配置される平面よりも高い位置に設けられている熱感知型加速度センサ1。
【選択図】図1
Description
2 空洞部
3 センサ基板
4 ヒーター
6 X軸方向用温度検出素子(第1温度検出素子)
7 Y軸方向用温度検出素子(第3温度検出素子)
8 Z軸方向用温度検出素子(第2温度検出素子)
Claims (4)
- カバー部材で覆われることで周囲の流体が密封されてなるセンサ基板に、密封された前記流体を加熱するためのヒーターと、前記センサ基板平面に対して平行な方向に加わる加速度を求めるために、前記ヒーターよりも外側の位置で前記流体の温度変化を検出する第1温度検出素子と、前記センサ基板平面に対して垂直な方向に加わる加速度を求めるために、前記ヒーターよりも内側の位置で前記流体の温度変化を検出する第2温度検出素子とが設けられた熱感知型加速度センサであって、
前記第2温度検出素子は、前記ヒーターが配置される平面よりも高い位置に設けられていることを特徴とする熱感知型加速度センサ。 - 前記第1温度検出素子は、前記第2温度検出素子と同一の高さに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱感知型加速度センサ。
- 前記センサ基板に、前記第1温度検出素子が検出する前記流体の温度変化に基づいて求められる加速度の方向と前記第2温度検出素子が検出する前記流体の温度変化に基づいて求められる加速度の方向のそれぞれに直交する方向の加速度を求めるために、前記第1温度検出素子と同一の高さ且つ前記ヒーターよりも外側の位置で前記流体の温度変化を検出する第3温度検出素子が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱感知型加速度センサ。
- 前記第2温度検出素子が設けられる高さは、当該第2温度検出素子から前記第1温度検出素子又は/及び前記第3温度検出素子までの距離及び前記ヒーターから得られる熱量に基づいて決定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱感知型加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011242107A JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011242107A JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013096936A true JP2013096936A (ja) | 2013-05-20 |
JP5870374B2 JP5870374B2 (ja) | 2016-03-01 |
Family
ID=48618997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011242107A Expired - Fee Related JP5870374B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | 熱感知型加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5870374B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018088881A1 (ko) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 한국생산기술연구원 | 열대류형 가속도 센서 및 이의 제조방법 |
CN109239401A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-18 | 朴然 | 一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法 |
CN110244081A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-09-17 | 北京信息科技大学 | 一种热膨胀流三轴加速计及其加工方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260820A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Honda Motor Co Ltd | 多軸加速度センサ |
JP2005351892A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Memsic Inc | Z軸熱加速度計 |
US20070101813A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Memsic, Inc. | Single chip tri-axis accelerometer |
JP2007285996A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Ritsumeikan | 熱感知型加速度センサ |
-
2011
- 2011-11-04 JP JP2011242107A patent/JP5870374B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260820A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Honda Motor Co Ltd | 多軸加速度センサ |
JP2005351892A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Memsic Inc | Z軸熱加速度計 |
US20070101813A1 (en) * | 2005-11-10 | 2007-05-10 | Memsic, Inc. | Single chip tri-axis accelerometer |
JP2007285996A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Ritsumeikan | 熱感知型加速度センサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018088881A1 (ko) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 한국생산기술연구원 | 열대류형 가속도 센서 및 이의 제조방법 |
CN109239401A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-18 | 朴然 | 一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法 |
CN110244081A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-09-17 | 北京信息科技大学 | 一种热膨胀流三轴加速计及其加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5870374B2 (ja) | 2016-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103091510B (zh) | 微机械器件以及用于制造微机械器件的方法 | |
JP2008032697A (ja) | 温度センサ、温調装置、温度制御装置および温度制御方法 | |
Roozeboom et al. | Integrated multifunctional environmental sensors | |
JP2008509390A (ja) | 流体の熱対流を利用した加速度及び傾斜角測定装置とその測定方法 | |
JP5870374B2 (ja) | 熱感知型加速度センサ | |
EP2836800B1 (en) | Gaseous flow sensor and related method thereof | |
JP2005351892A (ja) | Z軸熱加速度計 | |
CN207468189U (zh) | 一种压阻式mems温度传感器 | |
KR101743668B1 (ko) | 열대류형 가속도 센서 및 이의 제조방법 | |
Zhu et al. | Development of a self-packaged 2D MEMS thermal wind sensor for low power applications | |
JP6669957B2 (ja) | 流量センサ | |
Lang | Sensors and measurement systems | |
Liu et al. | Optimization of hot-wire airflow sensors on an out-of-plane glass bubble for 2-D detection | |
CN105203825A (zh) | 微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置 | |
Kim et al. | A circular-type thermal flow direction sensor free from temperature compensation | |
Spaan et al. | Isara 400 ultra-precision CMM | |
US20160138666A1 (en) | Micromechanical spring for an inertial sensor | |
JP2002228677A (ja) | 流速センサ素子、流速センサ、流速センサ素子の製造方法、流速センサの製造方法、及び流速計測方法 | |
Goericke et al. | Microcantilever hotplates with temperature-compensated piezoresistive strain sensors | |
US9176012B2 (en) | Methods and systems for improved membrane based calorimeters | |
US20150204734A1 (en) | Micro heater integrated with thermal sensing assembly | |
Zhu et al. | A self-packaged two-dimensional thermal wind sensor based on thermopiles for low cost applications | |
JP5199146B2 (ja) | リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびリソグラフィ装置内の温度を測定する方法 | |
KR101072296B1 (ko) | 열 대류형 마이크로 가속도 측정 장치 및 이의 제조 방법 | |
Salette et al. | Thermal sensors cointegrated within a MEMS thermally actuated ultrathin membrane |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5870374 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |