JP5868226B2 - Galvano scanner - Google Patents
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Description
本発明は、所定の角度範囲内で回転する回転ミラーにより、光ビームを反射するガルバノスキャナに関する。 The present invention relates to a galvano scanner that reflects a light beam by a rotating mirror that rotates within a predetermined angle range.
レーザドリル等において、レーザビームを走査するためにガルバノスキャナが用いられる。ガルバノスキャナは、回転ミラーと、回転ミラーを回転させるモータとを含む。回転ミラーが高速で往復回転すると、回転軸や回転ミラーに変形が生じ、共振現象が発生する。回転ミラーの背面を板状部材で支持して剛性を高めることにより、共振周波数を高くしたガルバノスキャナが特許文献1に開示されている。このガルバノスキャナにおいては、回転軸の軸心が、回転ミラーと板状部材との重心を通るように構成されている。これにより、回転ミラーと板状部材との非対称性に起因する共振が抑制される。 In a laser drill or the like, a galvano scanner is used to scan a laser beam. The galvano scanner includes a rotating mirror and a motor that rotates the rotating mirror. When the rotating mirror reciprocates at high speed, the rotating shaft and the rotating mirror are deformed and a resonance phenomenon occurs. A galvano scanner in which the resonance frequency is increased by supporting the back surface of the rotating mirror with a plate-like member to increase rigidity is disclosed in Patent Document 1. The galvano scanner is configured such that the axis of the rotation shaft passes through the center of gravity of the rotation mirror and the plate-like member. Thereby, the resonance resulting from the asymmetry between the rotating mirror and the plate-like member is suppressed.
レーザビームをx方向とy方向との2方向に走査するために、x用とy用の2つのガルバノスキャナが用いられる。2段目のガルバノスキャナに入射するレーザビームは、1段目のガルバノスキャナによって一方向に振られている。このため、2段目のガルバノスキャナの回転ミラーを、1段目のガルバノスキャナの回転ミラーより大きくしなければならない。回転ミラーが大きくなると、慣性モーメントが大きくなるため、応答特性が悪くなる。
本発明の目的は、回転ミラーが大きくなっても、応答特性の低下を抑制することが可能なガルバノスキャナを提供することである。
Two galvanometer scanners for x and y are used to scan the laser beam in two directions, the x direction and the y direction. The laser beam incident on the second-stage galvano scanner is swung in one direction by the first-stage galvano scanner. For this reason, the rotating mirror of the second-stage galvano scanner must be made larger than the rotating mirror of the first-stage galvano scanner. When the rotating mirror is large, the moment of inertia is large, and the response characteristic is deteriorated.
An object of the present invention is to provide a galvano scanner capable of suppressing a decrease in response characteristics even when a rotating mirror becomes large.
本発明の一観点によれば、
回転軸と、
前記回転軸に取り付けられ、前記回転軸の回転中心線に平行な反射面を有し、前記反射面の平面形状は、前記回転中心線に関して非対称であり、前記反射面の面内方向に関して、重心が前記回転中心線と重なる位置にある回転ミラーと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記回転軸への取り付け箇所から前記回転中心線に沿って先端に向かって伸び、先端に向かって細くなる第1の補強リブと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記第1の補強リブから枝分かれし、前記回転中心線に対して垂直な方向から、前記回転ミラーの先端の方に傾いた方向に伸びる複数の第2の補強リブと
を有し、
前記回転中心線を中心として、前記反射面の一方の第1の領域は、他方の第2の領域より広く、
前記第1の領域と前記第2の領域との間で、前記第2の補強リブの本数、高さ、及び長さの少なくとも1つを異ならせることにより、前記反射面の面内方向に関して、前記回転ミラーの重心を前記回転中心線に重ねているガルバノスキャナが提供される。
According to one aspect of the present invention,
A rotation axis;
The reflection surface is attached to the rotation shaft and parallel to the rotation center line of the rotation shaft, and the planar shape of the reflection surface is asymmetric with respect to the rotation center line, and the center of gravity with respect to the in-plane direction of the reflection surface A rotating mirror in a position overlapping the rotation center line ;
A first reinforcing rib formed on the back surface of the rotating mirror, extending from the attachment point to the rotating shaft toward the tip along the rotation center line, and narrowing toward the tip;
A plurality of second reinforcements formed on the back surface of the rotating mirror, branching from the first reinforcing rib, and extending in a direction inclined from the direction perpendicular to the rotation center line toward the tip of the rotating mirror. With ribs
Have
Centering on the rotation center line, one first region of the reflecting surface is wider than the other second region,
By varying at least one of the number, height, and length of the second reinforcing ribs between the first region and the second region, the in-plane direction of the reflecting surface, A galvano scanner is provided in which the center of gravity of the rotating mirror is superimposed on the center of rotation .
反射面の平面形状を、回転中心線に関して非対称とすることにより、所望の領域にのみ反射面を確保し、小型化を図ることが可能になる。反射面の形状を非対称にしても、重心を回転中心線上に位置させることにより、倒れモードの励振を抑制することができる。 By making the planar shape of the reflecting surface asymmetric with respect to the rotation center line, it is possible to secure the reflecting surface only in a desired region and reduce the size. Even if the shape of the reflecting surface is asymmetrical, the excitation of the fall mode can be suppressed by positioning the center of gravity on the rotation center line.
[実施例1]
図1に、実施例1によるガルバノスキャナを用いたレーザドリルの概略図を示す。レーザ光源10から出射したレーザビームが、ベンディングミラー11、1段目のガルバノスキャナ12、2段目のガルバノスキャナ13、及びfθレンズ14を経由して、加工対象物15に入射する。なお、必要に応じて、ビームエキスパンダ、マスク、レンズ等が配置される。加工対象物15の表面をxy面とするxy直交座標系を定義する。
[Example 1]
FIG. 1 shows a schematic diagram of a laser drill using the galvano scanner according to the first embodiment. A laser beam emitted from the
1段目のガルバノスキャナ12は、加工対象物15の表面において、レーザビームの入射点をx方向に移動させる。1段目のガルバノスキャナ12によってレーザビームの進行方向が振られると、2段目のガルバノスキャナ13の回転ミラー20への入射点がx方向に移動する。2段目のガルバノスキャナ13は、加工対象物15の表面において、レーザビームの入射点をy方向に移動させる。fθレンズ14は、加工対象物15の表面に、レーザビームを集光して垂直入射させる。
The first-
図2Aに、2段目のガルバノスキャナ13の概略側面図を示す。回転軸21の一端に、固定具24を介して回転ミラー20が固定されている。回転軸21の他端には、エンコーダ22が取り付けられている。モータ23が、回転軸21の中央部分にトルクを発生させる。回転軸21は、モータ23の両側において、軸受26により回転可能に支持されている。回転軸21、回転ミラー20、及びエンコーダ22が、回転中心線31を中心として、所定の範囲内で往復回転する。
FIG. 2A shows a schematic side view of the second-
図2Bに、回転ミラー20の反射面20Aに正対したときの回転ミラー20の正面図を示す。反射面20Aは、回転中心線31に対して平行である。1段目のガルバノスキャナ12(図1)でレーザビームを走査すると、反射面20A上で、レーザビームのビーム断面30が、回転中心線31に沿って移動する。反射面20Aが、入射レーザビームの進行方向に対して傾いているため、レーザビームを反射面20Aで切り取ったビーム断面30は楕円になる。1段目のガルバノスキャナ12(図1)でレーザビームを一方の端まで振った時のビーム断面30Aの長軸と、他方の端まで振った時のビーム断面30Bの長軸と
は、回転中心線31に対して反対方向に傾く。
FIG. 2B shows a front view of the rotating
反射面20Aは、1段目のガルバノスキャナ12(図1)でレーザビームを振ったときに、ビーム断面30が移動する領域の外形よりもやや大きな外形を有する。例えば、反射面20Aの外形は、回転中心線31に平行な一対の直線部分と、一対の直線部分の端部同士を接続する曲線部分とを含む。一対の直線部分の長さは、相互に異なる。曲線部分は、直線部分になめらかに接続され、外側に向かって凸の形状を有する。言い換えると、反射面20Aは、台形の一対の斜辺を外側にふくらませた形状を有する。
The reflecting
反射面20Aの外形を、ビーム断面30の移動範囲の外形よりやや大きくしたのは、光学系の取付け誤差、回転ミラー20の製造上のばらつき等を吸収するためのマージンを確保するためである。回転ミラー20の縁に、把持部43が設けられている。把持部43が固定具24(図2A)で把持されることにより、回転ミラー20が回転軸21に固定される。
The reason why the outer shape of the reflecting
ビーム断面30Aと30Bとが、回転中心線31に対して相互に反対向きに傾いているため、反射面20Aの外形は、回転中心線31に対して非対称になる。より具体的には、回転中心線31を中心として、反射面20Aの一方の領域は、他方の領域より広い。このため、回転ミラー20を均一な厚さにすると、回転ミラー20の重心Gが、回転中心線31からずれてしまう。実施例1においては、後述するように、反射面20Aの面内方向に関して、回転ミラー20の重心Gが回転中心線31上に位置する構成とされている。
Since the
図2Cに、回転ミラー20の背面図を示す。回転ミラー20の背面20Bに、剛性を高めるための第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42が設けられている。第1の補強リブ41は、把持部43から、回転中心線31に沿って、回転ミラー20の先端に向かって伸びる。第1の補強リブ41の幅は、先端に向かって細くなっている。
FIG. 2C shows a rear view of the
第2の補強リブ42が第1の補強リブ41から枝分かれしている。第2の補強リブ42は、回転中心線31に対して垂直な方向から、回転ミラー20の先端の方向に傾いた斜め方向に伸びる。回転中心線31を中心として、反射面20Aの面積が相対的に大きな側に配置される第2の補強リブ42の本数(図2Cにおいて2本)が、反射面20Aの面積が相対的に小さな側に配置される第2の補強リブ42の本数(図2Cにおいて3本)より少ない。第2の補強リブ42の本数を調節することにより、反射面20Aの面内方向に関して、回転ミラー20の重心を回転中心線31上に位置させることができる。
The second reinforcing
第2の補強リブ42の本数を調整する代わりに、第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42の高さを不均一にすることにより、反射面20Aの面内方向に関して、回転中心線31が重心Gを通過するようにしてもよい。一例として、反射面20Aの面積が相対的に大きな側に配置される第2の補強リブ42を、反射面20Aの面積が相対的に小さな側に配置される第2の補強リブ42より低くしてもよい。その他に、反射面20Aの面積が相対的に大きな側に配置される第2の補強リブ42を、反射面20Aの面積が相対的に小さな側に配置される第2の補強リブ42より短くしてもよい。
Instead of adjusting the number of the second reinforcing
回転ミラー20の材料として、例えばベリリウムが用いられる。回転ミラー20を作製する際には、まず、ベリリウムの粉体を焼結することにより、最終形状に近い形状の構造物を得る。その後、この構造物の表面を削って形状を調整することにより、回転ミラー20が作製される。
For example, beryllium is used as the material of the
図3Aに、2段目のガルバノスキャナ13の回転ミラー20を、図2Aの状態から90°回転させた状態の概略側面図を示す。回転ミラー20の把持部43が、固定具24に挟
まれて回転軸21に固定されている。回転ミラー20と固定具24とは、例えば接着剤により相互に固定される。背面20Bに、第1の補強リブ41が形成されている。
FIG. 3A is a schematic side view showing a state in which the
図3Bに、回転ミラー20及び固定具24の断面図を示す。背面20Bから反射面20Aまでの高さよりも、背面20Bから第1の補強リブ41の上面(図3Bにおいては、下側を向く面)までの高さの方が高い。回転ミラー20の重心Gは、背面20Bに関して反射面20Aとは反対側に位置する。第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42(図2C)の高さを調整することにより、回転ミラー20の厚さ方向に関して重心Gの位置を調整することができる。実施例1においては、回転中心線31が重心Gを通過するように、第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42の高さが設定されている。
FIG. 3B shows a cross-sectional view of the
従来は、反射面20Aの形状が、回転中心線31に関して対称であった。このため、回転中心線31を中心として、両側の反射面20Aの各々を、図2Bに示した相対的に大きな方の反射面20Aと同一か、それよりも大きくしなければならない。従って、回転ミラー20の重量が重くなってしまう。実施例1のように、反射面20Aの形状を回転中心線31に関して非対称にすることにより、回転ミラー20の小型化、及び軽量化を図ることができる。
Conventionally, the shape of the
図4A〜図4Cを参照して、実施例1によるガルバノスキャナの効果について説明する。図4A及び図4Bに示すガルバノスキャナの応答特性を、シミュレーションにより求めた。図4Aに示したガルバノスキャナは、上述の実施例1によるガルバノスキャナと同一の構成を有する。図4Bに示したガルバノスキャナは、回転ミラー20の先端において、軸受27により支持されている。すなわち、回転軸21を支持する2つの軸受26と、回転ミラー20を、その先端で支持する軸受27との3点で、回転軸21が支持される。これに対して、図4Aに示したガルバノスキャナの回転軸21は、2点で支持される。
The effect of the galvano scanner according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 4A to 4C. The response characteristics of the galvano scanner shown in FIGS. 4A and 4B were obtained by simulation. The galvano scanner shown in FIG. 4A has the same configuration as the galvano scanner according to the first embodiment. The galvano scanner shown in FIG. 4B is supported by a bearing 27 at the tip of the
回転軸を3点で支持する構成を採用すると、3個の軸受の軸受中心がずれた場合に、曲げモードの振動が励振される。2点で回転軸21を支持することにより、曲げモードの励振が抑制される。ただし、回転ミラー20の先端を開放端とすると、回転ミラー20の重心が回転中心線からずれたときに、倒れモードの振動が励振され易くなる。
When a configuration in which the rotating shaft is supported at three points is adopted, bending mode vibration is excited when the bearing centers of the three bearings are displaced. By supporting the
図4Cに、利得と位相の速度開ループ周波数応答特性の、有限要素法による解析結果を示す。横軸は周波数を対数目盛で表し、左縦軸は利得を単位「dB」で表し、右縦軸は位相を単位「度」で表す。開ループ周波数応答特性の入力は、モータ23に与える正弦波電流であり、出力はモータ23の回転速度である。実線4Aは、図4Aに示した2点支持のガルバノスキャナの応答特性を示し、破線4Bは、図4Bに示した3点支持のガルバノスキャナの応答特性を示す。2点支持のガルバノスキャナにおいても、反共振点より低い周波数領域において、共振は生じていない。すなわち、倒れモードの共振は発生していない。これは、図2B、図2C、図3Bに示したように、回転ミラー20の重心Gを、回転中心線31上に位置させたことによる。
FIG. 4C shows the analysis result of the gain and phase velocity open loop frequency response characteristics by the finite element method. The horizontal axis represents frequency in a logarithmic scale, the left vertical axis represents gain in units of “dB”, and the right vertical axis represents phase in units of “degrees”. The input of the open loop frequency response characteristic is a sine wave current applied to the
次に、図5A〜図5Cを参照して、回転ミラー20を小型化することの効果について説明する。図5A及び図5Bに示すガルバノスキャナの応答特性をシミュレーションにより求めた。
Next, the effect of reducing the size of the
図5Aに示したガルバノスキャナは、上記実施例1のガルバノスキャナと同一の構成を有し、回転ミラー20の反射面20Aが回転中心線31に関して非対称である。図5Bに示したガルバノスキャナの回転ミラー20の反射面は、回転中心線31に関して対称である。このため、図5Bに示した回転ミラー20は、図5Aに示した回転ミラー20よりも重い。
The galvano scanner shown in FIG. 5A has the same configuration as the galvano scanner of the first embodiment, and the reflecting
図5Cに、利得と位相の速度開ループ周波数応答特性の、有限要素法による解析結果を示す。横軸及び縦軸は、図4Cに示したグラフの横軸及び縦軸と同一である。図5Aに示したガルバノスキャナの反共振点の周波数が、図5Bに示したガルバノスキャナの反共振点の周波数より高いことがわかる。これは、回転ミラー20を小型化したことによって、慣性モーメントが低減したためである。
FIG. 5C shows the analysis result by the finite element method of the gain and phase velocity open loop frequency response characteristics. The horizontal and vertical axes are the same as the horizontal and vertical axes of the graph shown in FIG. 4C. It can be seen that the frequency of the antiresonance point of the galvano scanner shown in FIG. 5A is higher than the frequency of the antiresonance point of the galvano scanner shown in FIG. 5B. This is because the moment of inertia is reduced by downsizing the
上記実施例1では、図2Bに示したように、1段目のガルバノスキャナ12でレーザビームを走査したとき、レーザビームのビーム断面30が、2段目のガルバノスキャナ13の回転中心線31と平行な方向に移動した。1段目及び2段目のガルバノスキャナ12、13の姿勢によっては、ビーム断面30の移動方向が、回転中心線31と平行にならない場合もある。
In the first embodiment, as shown in FIG. 2B, when the laser beam is scanned by the first
図6Aに、ビーム断面30の移動方向と、回転中心線31とが平行ではない場合の回転ミラー20の正面図を示す。反射面20Aの外形の直線部分が、回転中心線31に対してやや傾いている。この場合でも、後述するように、回転ミラー20の重心Gが回転中心線31上に位置する構成とされている。
FIG. 6A shows a front view of the
図6Bに、回転ミラー20の背面図を示す。第1の補強リブ41は、ビーム断面30(図6A)の移動方向ではなく、回転中心線31に沿って伸びる。第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42の平面形状及び高さは、重心Gが回転中心線31上に位置するように設定されている。
FIG. 6B shows a rear view of the
[実施例2]
図7A及び図7Bに、それぞれ実施例2によるガルバノスキャナの回転ミラーの正面図及び背面図を示す。以下、上記実施例1によるガルバノスキャナとの相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
[Example 2]
7A and 7B are a front view and a rear view of a rotating mirror of the galvano scanner according to the second embodiment, respectively. Hereinafter, differences from the galvano scanner according to the first embodiment will be described, and description of the same configuration will be omitted.
図7Aに示すように、実施例2によるガルバノスキャナの回転ミラー20の反射面20Aは、回転中心線31に関して対称である。図7Bに示すように、第1の補強リブ41は、実施例1の場合と同様に、把持部43から回転中心線31に沿って伸び、先端に向かって細くなる。第2の補強リブ42は、実施例1の場合と同様に、第1の補強リブ41から枝分かれしている。また、第2の補強リブ42は、回転中心線31に対して垂直な方向から、回転ミラー20の先端の方に向かって傾斜した方向に伸びる。第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42は、回転中心線31に関して対称な平面形状を有する。反射面20Aが回転中心線31に関して対称であり、かつ第1の補強リブ41及び第2の補強リブ42も、回転中心線31に関して対称であるため、反射面20Aの面内方向に関して、回転ミラー20の重心Gは、回転中心線31上に位置する。
As shown in FIG. 7A, the reflecting
第1の補強リブ41が、把持部43から先端に向かって細くなっているため、等幅である場合に比べて、慣性モーメントが小さくなる。このため、応答特性を改善することができる。特に、先端が相対的に軽いため、先端を軸受で支持することなく、自由端とすることができる。これにより、曲げモードの振動の励振を抑制することができる。
Since the
上記実施例1及び実施例2では、回転ミラー20の重心Gが、回転中心線31上に位置する例を示した。ただし、機械加工精度のばらつきにより、重心Gが回転中心線31からわずかにずれる場合もある。回転中心線31から重心Gまでのずれが100μm以下であれば、実質的に重心Gが回転中心線31上に位置しているといえる。
In the first embodiment and the second embodiment, an example in which the center of gravity G of the
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited thereto.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.
10 レーザ光源
11 ベンディングミラー
12 1段目のガルバノスキャナ
13 2段目のガルバノスキャナ
14 fθレンズ
15 加工対象物
20 回転ミラー
20A 反射面
20B 背面
21 回転軸
22 エンコーダ
23 モータ
24 固定具
26、27 軸受
30、30A、30B ビーム断面
31 回転中心線
41 第1の補強リブ
42 第2の補強リブ
43 把持部
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記回転軸に取り付けられ、前記回転軸の回転中心線に平行な反射面を有し、前記反射面の平面形状は、前記回転中心線に関して非対称であり、前記反射面の面内方向に関して、重心が前記回転中心線と重なる位置にある回転ミラーと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記回転軸への取り付け箇所から前記回転中心線に沿って先端に向かって伸び、先端に向かって細くなる第1の補強リブと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記第1の補強リブから枝分かれし、前記回転中心線に対して垂直な方向から、前記回転ミラーの先端の方に傾いた方向に伸びる複数の第2の補強リブと
を有し、
前記回転中心線を中心として、前記反射面の一方の第1の領域は、他方の第2の領域より広く、
前記第1の領域と前記第2の領域との間で、前記第2の補強リブの本数、高さ、及び長さの少なくとも1つを異ならせることにより、前記反射面の面内方向に関して、前記回転ミラーの重心を前記回転中心線に重ねているガルバノスキャナ。 A rotation axis;
The reflection surface is attached to the rotation shaft and parallel to the rotation center line of the rotation shaft, and the planar shape of the reflection surface is asymmetric with respect to the rotation center line, and the center of gravity with respect to the in-plane direction of the reflection surface A rotating mirror in a position overlapping the rotation center line ;
A first reinforcing rib formed on the back surface of the rotating mirror, extending from the attachment point to the rotating shaft toward the tip along the rotation center line, and narrowing toward the tip;
A plurality of second reinforcements formed on the back surface of the rotating mirror, branching from the first reinforcing rib, and extending in a direction inclined from the direction perpendicular to the rotation center line toward the tip of the rotating mirror. With ribs
Have
Centering on the rotation center line, one first region of the reflecting surface is wider than the other second region,
By varying at least one of the number, height, and length of the second reinforcing ribs between the first region and the second region, the in-plane direction of the reflecting surface, A galvano scanner in which the center of gravity of the rotating mirror is superimposed on the rotation center line .
The tip of the rotating mirror optical scanner according to claim 1 or 2 which is a free end.
Priority Applications (3)
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publications (2)
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