KR101941580B1 - Apparatus for measuring surface profile - Google Patents

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KR101941580B1
KR101941580B1 KR1020170127948A KR20170127948A KR101941580B1 KR 101941580 B1 KR101941580 B1 KR 101941580B1 KR 1020170127948 A KR1020170127948 A KR 1020170127948A KR 20170127948 A KR20170127948 A KR 20170127948A KR 101941580 B1 KR101941580 B1 KR 101941580B1
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laser light
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laser beam
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Inventor
한성현
박재석
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휴멘 주식회사
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Abstract

Disclosed is an apparatus to measure a surface profile, capable of correctly and quickly measuring a surface profile of a moving sample. According to one embodiment of the present invention, the apparatus to measure a surface profile comprises: a laser source to emit a laser beam; a first galvano scanner reflecting the laser beam emitted from the laser source by a first rotating mirror rotated by a first motor to move an incident point of the laser beam in a lateral direction of a sample; a second galvano scanner reflecting the laser beam emitted from the laser source by a second rotating mirror rotated by a second motor to move an incident point of the laser beam in a longitudinal direction of the sample; a first driving unit to operate the first galvano scanner; a second driving unit to operate the second galvano scanner; a moving unit to move the sample in the longitudinal direction of the sample; and a control unit moving the sample in the longitudinal direction of the sample through the moving unit, rotating the first motor of the first galvano scanner through the first driving unit to rotate the first rotating mirror, and rotating the second motor of the second galvano scanner through the second driving unit to move the incident point of the laser beam reflected by the first rotating mirror in a direction perpendicular to a moving direction of the moving sample.

Description

표면형상 측정장치{APPARATUS FOR MEASURING SURFACE PROFILE}[0001] APPARATUS FOR MEASURING SURFACE PROFILE [0002]

본 발명은 표면형상 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 갈바노 스캐너를 이용하여 샘플의 표면 형상을 측정하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a surface shape measuring apparatus, and more particularly, to a surface shape measuring apparatus for measuring a surface shape of a sample using a galvanometer scanner.

일반적으로, 갈바노 스캐너는 일정한 각도범위 내에서만 회전하도록 마련된 회전축에 미러를 장착한 것으로서, 레이저광을 이용한 장비 산업분야 등에서 레이저광의 경로를 컨트롤하는 수단으로 사용되고 있다.In general, a galvano scanner is a mirror mounted on a rotating shaft provided to rotate only within a certain angular range, and is used as a means for controlling the path of laser light in the field of equipment industry using laser light.

표면형상 측정장치는 샘플의 표면형상을 측정하기 위해서 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광을 샘플의 폭 방향으로 이동시키면서 스캔한다. 스캔하는 동안 샘플에 반사된 레이저광을 검출하여 샘플 표면의 높이를 측정하는 방식으로 샘플의 표면형상을 인식한다.In order to measure the surface shape of the sample, the surface shape measuring apparatus scans while moving the laser light in the width direction of the sample using a galvanometer scanner. The surface shape of the sample is recognized by measuring the height of the sample surface by detecting the laser light reflected on the sample during the scanning.

하지만, 샘플이 정지상태일 경우에는 상관없지만 통상적으로 샘플을 이동시키면서 표면 형상을 측정하기 때문에 샘플의 이동속도로 인해 레이저광이 샘플에 닿는 점인 입사점이 이동하는 샘플의 폭 방향으로 주사되지 못하고 사선으로 주사된다. 이로 인해, 샘플의 표면형상을 정확히 측정하기 어렵다.However, it does not matter when the sample is stationary, but since the surface shape is usually measured while moving the sample, the incident point, which is the point at which the laser beam touches the sample due to the moving speed of the sample, can not be scanned in the width direction of the moving sample, Is injected. As a result, it is difficult to accurately measure the surface shape of the sample.

또한, 사선 주사로 인한 영향을 나중에 보정해야 샘플의 정확한 표면형상 측정이 가능하므로 이를 위한 보정시간이 더 많이 걸리는 문제점이 있다.Also, since the influence due to the oblique scanning is to be corrected later, the accurate surface shape measurement of the sample can be performed, which requires a longer correction time.

공개특허공보 제10-2009-0106249호(2009.10.08.공개)Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2009-0106249 (published on October 10, 2009) 공개특허공보 제10-2013-0105333호(2013.09.25.공개)Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2013-0105333 (published on September 25, 2013)

본 발명의 실시예는 이동 중인 샘플에 대해서도 샘플의 표면형상을 보다 정확하고 빠르게 측정할 수 있는 표면형상 측정장치를 제공하고자 한다.The embodiment of the present invention is intended to provide a surface shape measuring apparatus which can more accurately and quickly measure the surface shape of a sample even in a moving sample.

본 발명의 일 측면에 따르면, 레이저광을 출사하는 레이저광원; 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 제1 모터에 의해 회전되는 제1 회전미러를 이용하여 반사시켜 레이저광의 입사점을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 제1 갈바노 스캐너; 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 제2 모터에 의해 회전되는 제2 회전미러를 이용하여 반사시켜 레이저광의 입사점을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키는 제2 갈바노 스캐너; 상기 제1 갈바노 스캐너에 의해 반사된 레이저광이 상기 샘플의 원하는 위치에 포커싱되도록 상기 반사된 레이저광을 집속시켜 상기 샘플의 표면에 수직 입사시키는 fθ렌즈; 상기 제1 갈바노 스캐너를 구동시키는 제1 구동부; 상기 제2 갈바노 스캐너를 구동시키는 제2 구동부; 상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키는 이동부; 상기 샘플의 이동속도를 검출하는 속도검출부; 및 상기 이동부를 통해 상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키고, 상기 제1 구동부를 통해 상기 제1 갈바노 스캐너의 제1 모터를 구동하여 상기 제1 회전미러를 회전시키고, 상기 제2 구동부를 통해 상기 제2 갈바노 스캐너의 제2 모터를 구동하여 상기 제2 회전미러를 회전시키되, 상기 속도검출부를 통해 검출된 샘플 이동속도를 근거로 상기 제2 갈바노 스캐너의 제2 모터의 회전속도를 조절하여 상기 제1 회전미러에 의해 반사된 레이저광의 입사점을 상기 이동중인 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하는 표면형상 측정장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a laser light source comprising: a laser light source for emitting laser light; A first galvanometer scanner that reflects the laser light emitted from the laser light source using a first rotating mirror rotated by the first motor to move the incident point of the laser light in the width direction of the sample; A second galvanometer scanner for reflecting the laser light emitted from the laser light source using a second rotating mirror rotated by the second motor to move the incident point of the laser light in the longitudinal direction of the sample; An f? Lens that focuses the reflected laser light so that the laser light reflected by the first galvanometer scanner is focused at a desired position of the sample and makes a normal incidence on the surface of the sample; A first driving unit for driving the first galvanometer scanner; A second driving unit for driving the second galvanometer scanner; A moving unit for moving the sample in the longitudinal direction of the sample; A velocity detector for detecting a moving velocity of the sample; And moving the sample in the longitudinal direction of the sample through the moving unit, driving the first motor of the first galvanometer scanner through the first driving unit to rotate the first rotating mirror, Wherein the rotation speed of the second motor of the second galvanometer scanner is determined based on the sample movement speed detected through the speed detector, And a control unit for adjusting an incident point of the laser beam reflected by the first rotating mirror in a direction perpendicular to the moving direction of the sample being moved.

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본 발명의 다른 측면에 따르면, 레이저광을 출사하는 레이저광원; 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 상기 레이저광의 입사점을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 제1 갈바노 스캐너; 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 상기 레이저광의 입사점을 상기 샘플의 길이 방향으로 이동시키는 제2 갈바노 스캐너; 상기 제1 갈바노 스캐너에 의해 반사된 레이저광이 상기 샘플의 원하는 위치에 포커싱되도록 상기 반사된 레이저광을 집속시켜 상기 샘플의 표면에 수직 입사시키는 fθ렌즈; 상기 샘플을 이동시키는 이동부; 상기 샘플의 이동속도를 검출하는 속도검출부; 및 상기 이동부를 통해 상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키고, 상기 제1 갈바노 스캐너를 회전시켜 상기 레이저광을 상기 샘플의 폭 방향으로 이동시키고, 상기 속도검출부를 통해 검출된 샘플 이동속도를 근거로 상기 제2 갈바노 스캐너를 회전시켜 상기 레이저광의 입사점을 상기 이동 중인 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하는 표면형상 측정장치가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a laser light source comprising: a laser light source for emitting laser light; A first galvanometer scanner for reflecting the laser beam emitted from the laser beam source and moving the incident point of the laser beam in the width direction of the sample; A second galvanometer scanner for reflecting the laser beam emitted from the laser beam source and moving the incident point of the laser beam in the longitudinal direction of the sample; An f? Lens that focuses the reflected laser light so that the laser light reflected by the first galvanometer scanner is focused at a desired position of the sample and makes a normal incidence on the surface of the sample; A moving unit for moving the sample; A velocity detector for detecting a moving velocity of the sample; And moving the sample in the longitudinal direction of the sample through the moving unit, rotating the first galvanometer scanner to move the laser light in the width direction of the sample, and moving the sample moving speed detected through the speed detecting unit to And a controller for rotating the second galvanometer scanner to move the incident point of the laser beam in a direction perpendicular to the moving direction of the sample being moved.

본 발명의 실시예는 이동 중인 샘플에 대해서도 표면 형상 측정을 위한 레이저광이 샘플에 닿는 점인 입사점을 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시킬 수 있어 실시간 처리가 가능하여 별도의 보정과정이 필요 없으므로 샘플의 표면형상을 보다 정확하고 빠르게 측정할 수 있다.The embodiment of the present invention can move the incident point, which is the point where the laser beam for surface shape measurement touches the sample, in the direction perpendicular to the moving direction of the sample with respect to the moving sample, The surface shape of the sample can be measured more accurately and quickly.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치의 제어블록도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 샘플의 이동을 정지시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 샘플을 이동시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광을 샘플의 폭 방향으로 이동시킬 경우 레이저광의 입사점이 사선으로 나타나는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 제2 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광의 입사점을 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 보상하는 것을 설명하기 위한 도면이다.1 is a configuration diagram of a surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a control block diagram of a surface profile measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining movement of the laser light in the width direction of the sample using the first galvanometer scanner in a state in which the movement of the sample is stopped in the surface shape measuring apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 4 illustrates that the incidence point of laser light appears as an oblique line when the laser beam is moved in the width direction of the sample using the first galvanometer scanner while the sample is moved in the surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention Fig.
5 is a view for explaining compensation of an incident point of laser light in a direction perpendicular to the moving direction of a sample by using a second galvanometer scanner in a surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예들을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하에 소개되는 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 사상을 충분히 전달할 수 있도록 하기 위해 예로서 제공하는 것이다. 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정하지 않고 다른 형태로 구체화할 수도 있다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 도면에서 생략하였으며 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장하여 표현할 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments to be described below are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. The present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, etc. of components are exaggerated for the sake of convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 표면형상 측정장치는 레이저광원(10), 제1 갈바노 스캐너(20), 제2 갈바노 스캐너(30) 및 집속렌즈인 fθ렌즈(30)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the surface shape measuring apparatus may include a laser light source 10, a first galvanometer scanner 20, a second galvanometer scanner 30, and an f? Lens 30 as a focusing lens.

레이저광원(10)는 레이저광을 출사한다.The laser light source 10 emits laser light.

제1 갈바노 스캐너(20)는 레이저광원(10)으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 반사된 레이저광이 측정대상물인 샘플(S)에 닿는 입사점을 샘플(S)의 폭 방향으로 이동시킨다.The first galvanometer scanner 20 reflects the laser light emitted from the laser light source 10 and moves the incident point at which the reflected laser light comes into contact with the sample S as a measurement object in the width direction of the sample S.

제1 갈바노 스캐너(20)는 샘플(S)의 표면에 있어서 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 폭 방향(예를 들면, 샘플(S)의 표면을 XY 면이라고 가정하면, X축 방향)으로 이동시킨다.The first galvanometer scanner 20 determines the incident point of the laser beam on the surface of the sample S in the X-axis direction when assuming that the surface of the sample S in the width direction (for example, ).

제1 갈바노 스캐너(20)는 제1 회전미러(21), 이 제1 회전미러(21)를 회전시키는 제1 모터(22)를 포함한다.The first galvanometer scanner 20 includes a first rotating mirror 21 and a first motor 22 for rotating the first rotating mirror 21.

제1 회전미러(21)는 제1 모터(22)의 회전축에 회전 가능하게 마련되어 있다. 제1 회전미러(21)는 제1 모터(22)의 회전방향을 따라 회전한다.The first rotating mirror (21) is rotatably provided on the rotating shaft of the first motor (22). The first rotating mirror 21 rotates along the rotating direction of the first motor 22. [

제1 모터(22)는 시계 방향 회전과 시계 반대 방향 회전을 할 수 있는 정역 회전 가능한 모터이다. 제1 모터(22)는 제1 회전미러(21)를 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 회전시킨다.The first motor 22 is a constantly rotatable motor capable of rotating clockwise and counterclockwise. The first motor 22 rotates the first rotating mirror 21 clockwise or counterclockwise.

제2 갈바노 스캐너(30)는 레이저광원(10)과 제1 갈바노 스캐너(20) 사이의 광 경로상에 마련된다.The second galvanometer scanner 30 is provided on the optical path between the laser light source 10 and the first galvanometer scanner 20.

제2 갈바노 스캐너(30)는 레이저광원(10)으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 반사된 레이저광이 샘플(S)에 닿는 입사점을 샘플(S)의 길이 방향으로 이동시킨다.The second galvanometer scanner 30 reflects the laser light emitted from the laser light source 10 and moves the incident point at which the reflected laser light comes into contact with the sample S in the longitudinal direction of the sample S.

제2 갈바노 스캐너(30)는 샘플(S)의 표면에 있어서 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 길이 방향(예를 들면, 샘플(S)의 표면을 XY 면이라고 가정하면, Y축 방향)으로 이동시킨다.The second galvanometer scanner 30 determines the incident point of the laser beam on the surface of the sample S in the longitudinal direction of the sample S (for example, assuming that the surface of the sample S is the XY plane) ).

제2 갈바노 스캐너(30)는 제2 회전미러(31), 이 제2 회전미러(31)를 회전시키는 제2 모터(32)를 포함한다.The second galvanometer scanner 30 includes a second rotating mirror 31 and a second motor 32 for rotating the second rotating mirror 31.

제2 회전미러(31)는 제2 모터(32)의 회전축에 회전 가능하게 마련되어 있다. 제2 회전미러(31)는 제2 모터(32)의 회전방향을 따라 회전한다.The second rotating mirror 31 is rotatably provided on the rotating shaft of the second motor 32. And the second rotating mirror 31 rotates along the rotating direction of the second motor 32. [

제2 모터(32)는 시계 방향 회전과 시계 반대 방향 회전을 할 수 있는 정역 회전 가능한 모터이다. 제2 모터(32)는 제2 회전미러(31)를 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 회전시킨다.The second motor 32 is a constantly rotatable motor capable of rotating clockwise and counterclockwise. The second motor 32 rotates the second rotating mirror 31 clockwise or counterclockwise.

fθ렌즈(40)는 제1 갈바노 스캐너(20)를 경유한 레이저광이 샘플(S)의 원하는 위치에 포커싱 될 수 있도록 레이저광의 초점을 조절하는 역할을 할 수 있다.The f? lens 40 may control the focal point of the laser beam so that the laser beam passing through the first galvanometer scanner 20 can be focused at a desired position of the sample S.

fθ렌즈(40)는 샘플(S)의 표면에 레이저광을 집속하여 수직 입사시킨다.The f? lens 40 focuses the laser light on the surface of the sample S and vertically enters it.

레이저광원(10)로부터 출사된 레이저광은 제2 갈바노 스캐너(30), 제1 갈바노 스캐너(20), fθ렌즈(40)를 경유하여 샘플(S)에 입사된다.The laser light emitted from the laser light source 10 is incident on the sample S via the second galvanometer scanner 30, the first galvanometer scanner 20 and the f?

제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 회전미러(22)를 고정시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너(20)의 제1 회전미러(21)를 회전시키는 것에 의해 레이저광은 샘플(S)의 폭방향(X축 방향)으로 스캔한다.The first rotating mirror 21 of the first galvano scanner 20 is rotated while the second rotating mirror 22 of the second galvanometer scanner 30 is fixed, Scan in the width direction (X-axis direction).

제1 갈바노 스캐너(20)의 제1 회전미러(21)를 고정시킨 상태에서 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 회전미러(31)를 회전시키는 것에 의해 레이저광은 샘플(S)의 길이방향(Y축 방향)으로 스캔한다.By rotating the second rotating mirror 31 of the second galvanometer scanner 30 while the first rotating mirror 21 of the first galvanometer scanner 20 is fixed, Scan in the longitudinal direction (Y-axis direction).

이와 같이, 제1 갈바노 스캐너(20)과 제2 갈바노 스캐너(30)의 작동을 제어함으로써 샘플에 주사되는 레이저광의 입사점을 샘플(S)에서 원하는 XY축 방향(혹은 사선방향)으로 이동시킬 수 있다.Thus, by controlling the operation of the first galvanometer scanner 20 and the second galvanometer scanner 30, the incident point of the laser beam scanned on the sample is shifted in the desired XY-axis direction (or oblique direction) from the sample S .

한편, 표면형상 측정장치는 다수의 롤러(R)를 이용하여 샘플(S)을 샘플 표면에 입사되는 레이저광의 입사방향에 수직한 방향으로 이동시킨다. 표면형상 측정장치는 샘플(S)을 이동시키면서 레이저광을 샘플 표면에 스캔하여 샘플의 표면형상을 측정한다.On the other hand, the surface shape measuring apparatus uses a plurality of rollers R to move the sample S in a direction perpendicular to the incident direction of the laser light incident on the sample surface. The surface shape measuring apparatus measures the surface shape of the sample by scanning the laser light on the sample surface while moving the sample (S).

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치의 제어블록도이다.2 is a control block diagram of a surface profile measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 표면형상 측정장치는 전반적인 제어를 수행하는 제어부(50)를 포함한다. 제어부(50)는 마이크로프로세서를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the surface profile measuring apparatus includes a controller 50 that performs overall control. The control unit 50 may include a microprocessor.

제어부(50)의 출력측에는 제1 구동부(60), 제2 구동부(70) 및 이동부(80)가 전기적으로 연결된다.The first driving unit 60, the second driving unit 70, and the moving unit 80 are electrically connected to the output side of the controller 50.

제1 구동부(60)는 제1 갈바노 스캐너(20)의 제1 모터(22)를 정역 회전시킨다. 제2 구동부(60)는 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 모터(32)를 정역 회전시킨다.The first driving unit 60 rotates the first motor 22 of the first galvanometer scanner 20 in the forward and reverse directions. The second driving unit 60 rotates the second motor 32 of the second galvanometer scanner 30 in the forward and reverse directions.

이동부(80)는 다수의 롤러(R)를 회전시켜 샘플(S)을 길이방향으로 이동시킨다.The moving unit 80 rotates the plurality of rollers R to move the sample S in the longitudinal direction.

제어부(50)의 입력측에는 속도검출부(90)가 전기적으로 연결된다. 속도검출부(90)는 이동부(80)의 회전속도 혹은 샘플(S)의 이동속도를 검출한다.The speed detector 90 is electrically connected to the input side of the controller 50. The speed detecting section 90 detects the rotating speed of the moving section 80 or the moving speed of the sample S. [

제어부(50)는 제1 구동부(60)를 통해 제1 갈바노 스캐너(20)의 제1 모터(22)를 회전시켜 제2 회전미러(21)를 회전시킴으로써 레이저광원(10)로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 반사된 레이저광의 입사점이 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동하도록 제2 구동부(70)를 통해 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 모터(32)를 회전시킨다.The control unit 50 rotates the first rotating motor 21 of the first galvano scanner 20 through the first driving unit 60 and rotates the second rotating mirror 21 to rotate the laser light emitted from the laser light source 10 And rotates the second motor 32 of the second galvanometer scanner 30 through the second driving unit 70 so that the incident point of the reflected laser beam moves in a direction perpendicular to the moving direction of the sample.

제어부(50)는 속도검출부(90)를 통해 검출된 샘플 이동속도를 근거로 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 모터(32)의 회전속도를 조절한다. 즉, 제어부(50)는 샘플(S)의 이동속도에 대응하도록 미리 설정된 속도로 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 모터(32)를 회전시킨다.The control unit 50 adjusts the rotation speed of the second motor 32 of the second galvanometer scanner 30 based on the detected sample movement speed through the speed detector 90. That is, the controller 50 rotates the second motor 32 of the second galvanometer scanner 30 at a predetermined speed corresponding to the moving speed of the sample S.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 샘플의 이동을 정지시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 것을 설명하기 위한 도면이다. 3 is a view for explaining movement of the laser light in the width direction of the sample using the first galvanometer scanner in a state in which the movement of the sample is stopped in the surface shape measuring apparatus according to the embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 샘플(S)의 이동을 정지시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너(20)를 이용하여 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 폭 방향으로 이동시키면, 점선과 같이 레이저광의 입사점이 샘플(S)의 폭 방향과 수직한 방향으로 나타난다.3, when the incident point of the laser beam is moved in the width direction of the sample S by using the first galvanometer scanner 20 while the movement of the sample S is stopped, A point appears in a direction perpendicular to the width direction of the sample S.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 샘플을 이동시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광을 샘플의 폭 방향으로 이동시킬 경우 레이저광의 입사점이 사선으로 나타나는 것을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 illustrates that the incidence point of laser light appears as an oblique line when the laser beam is moved in the width direction of the sample using the first galvanometer scanner while the sample is moved in the surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention Fig.

도 4를 참조하면, 샘플(S)을 화살표 방향으로 이동시킨 상태에서 제1 갈바노 스캐너(20)를 이용하여 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 폭 방향으로 이동시키면, 샘플(S)의 이동으로 인해 레이저광의 입사점이 실선과 같이 샘플(S)의 폭 방향과 수직한 방향으로 나타나지 않고, 점선과 같이 의도한 폭 방향과 소정각도(θ)만큼 틀어져 사선방향으로 나타낸다.4, when the incident point of the laser beam is moved in the width direction of the sample S by using the first galvanometer scanner 20 while the sample S is moved in the direction of the arrow, The incident point of the laser light does not appear in a direction perpendicular to the width direction of the sample S as indicated by a solid line but is shifted by a predetermined angle &thetas;

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 표면형상 측정장치에서 제2 갈바노 스캐너를 이용하여 레이저광의 입사점을 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 보상하는 것을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining compensation of an incident point of laser light in a direction perpendicular to the moving direction of a sample by using a second galvanometer scanner in a surface shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 샘플(S)의 이동속도에 근거로 제2 갈바노 스캐너(30)의 제2 모터(32)의 회전속도를 조절하여 샘플 이동속도에 맞춰서 제2 회전미러(31)를 회전시키면, 점선과 같이 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 이동방향에 수직한 방향으로 보정할 수 있다.5, the rotation speed of the second motor 32 of the second galvanometer scanner 30 is adjusted based on the moving speed of the sample S to adjust the rotation speed of the second rotating mirror 31 The incident point of the laser light can be corrected in the direction perpendicular to the moving direction of the sample S as indicated by the dotted line.

따라서, 이동 중인 샘플(S)에 대해서도 표면 형상 측정을 위한 레이저광의 입사점을 샘플(S)의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시킬 수 있어 샘플(S)의 표면형상을 보다 정확히 측정할 수 있다.Therefore, the incident point of the laser beam for the surface shape measurement can be moved in the direction perpendicular to the moving direction of the sample S with respect to the moving sample S, and the surface shape of the sample S can be more accurately measured .

10 : 레이저광원 20 : 제1 갈바노 스캐너
21 : 제1 회전미러 22 : 제1 모터
30 : 제2 갈바노 스캐너 31 : 제2 회전미러
32 : 제2 모터 40 : fθ렌즈
50 : 제어부 60 : 제1 구동부
70 : 제2 구동부 80 : 이동부
90 : 속도검출부10: laser light source 20: first galvanometer scanner
21: first rotating mirror 22: first motor
30: second galvanometer scanner 31: second rotating mirror
32: second motor 40: f? Lens
50: control unit 60: first driving unit
70: second driving part 80:
90: Speed detector

Claims (3)

레이저광을 출사하는 레이저광원;
상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 제1 모터에 의해 회전되는 제1 회전미러를 이용하여 반사시켜 레이저광의 입사점을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 제1 갈바노 스캐너;
상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 제2 모터에 의해 회전되는 제2 회전미러를 이용하여 반사시켜 레이저광의 입사점을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키는 제2 갈바노 스캐너;
상기 제1 갈바노 스캐너에 의해 반사된 레이저광이 상기 샘플의 원하는 위치에 포커싱되도록 상기 반사된 레이저광을 집속시켜 상기 샘플의 표면에 수직 입사시키는 fθ렌즈;
상기 제1 갈바노 스캐너를 구동시키는 제1 구동부;
상기 제2 갈바노 스캐너를 구동시키는 제2 구동부;
상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키는 이동부;
상기 샘플의 이동속도를 검출하는 속도검출부; 및
상기 이동부를 통해 상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키고, 상기 제1 구동부를 통해 상기 제1 갈바노 스캐너의 제1 모터를 구동하여 상기 제1 회전미러를 회전시키고, 상기 제2 구동부를 통해 상기 제2 갈바노 스캐너의 제2 모터를 구동하여 상기 제2 회전미러를 회전시키되, 상기 속도검출부를 통해 검출된 샘플 이동속도를 근거로 상기 제2 갈바노 스캐너의 제2 모터의 회전속도를 조절하여 상기 제1 회전미러에 의해 반사된 레이저광의 입사점을 상기 이동중인 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하는 표면형상 측정장치.A laser light source for emitting laser light;
A first galvanometer scanner that reflects the laser light emitted from the laser light source using a first rotating mirror rotated by the first motor to move the incident point of the laser light in the width direction of the sample;
A second galvanometer scanner for reflecting the laser light emitted from the laser light source using a second rotating mirror rotated by the second motor to move the incident point of the laser light in the longitudinal direction of the sample;
An f? Lens that focuses the reflected laser light so that the laser light reflected by the first galvanometer scanner is focused at a desired position of the sample and makes a normal incidence on the surface of the sample;
A first driving unit for driving the first galvanometer scanner;
A second driving unit for driving the second galvanometer scanner;
A moving unit for moving the sample in the longitudinal direction of the sample;
A velocity detector for detecting a moving velocity of the sample; And
The sample is moved in the longitudinal direction of the sample through the moving unit, the first rotating motor of the first galvanometer scanner is driven through the first driving unit to rotate the first rotating mirror, The second galvanometer scanner is driven to rotate the second rotating mirror and the rotational speed of the second motor of the second galvanometer scanner is adjusted based on the sample moving speed detected through the speed detector And a control section for moving the incident point of the laser light reflected by the first rotating mirror in a direction perpendicular to the moving direction of the sample being moved. 삭제delete 레이저광을 출사하는 레이저광원;
상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 상기 레이저광의 입사점을 샘플의 폭 방향으로 이동시키는 제1 갈바노 스캐너;
상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저광을 반사시켜 상기 레이저광의 입사점을 상기 샘플의 길이 방향으로 이동시키는 제2 갈바노 스캐너;
상기 제1 갈바노 스캐너에 의해 반사된 레이저광이 상기 샘플의 원하는 위치에 포커싱되도록 상기 반사된 레이저광을 집속시켜 상기 샘플의 표면에 수직 입사시키는 fθ렌즈;
상기 샘플을 이동시키는 이동부;
상기 샘플의 이동속도를 검출하는 속도검출부; 및
상기 이동부를 통해 상기 샘플을 상기 샘플의 길이방향으로 이동시키고, 상기 제1 갈바노 스캐너를 회전시켜 상기 레이저광을 상기 샘플의 폭 방향으로 이동시키고, 상기 속도검출부를 통해 검출된 샘플 이동속도를 근거로 상기 제2 갈바노 스캐너를 회전시켜 상기 레이저광의 입사점을 상기 이동 중인 샘플의 이동방향에 수직한 방향으로 이동시키는 제어부를 포함하는 표면형상 측정장치.A laser light source for emitting laser light;
A first galvanometer scanner for reflecting the laser beam emitted from the laser beam source and moving the incident point of the laser beam in the width direction of the sample;
A second galvanometer scanner for reflecting the laser beam emitted from the laser beam source and moving the incident point of the laser beam in the longitudinal direction of the sample;
An f? Lens that focuses the reflected laser light so that the laser light reflected by the first galvanometer scanner is focused at a desired position of the sample and makes a normal incidence on the surface of the sample;
A moving unit for moving the sample;
A velocity detector for detecting a moving velocity of the sample; And
The sample is moved in the longitudinal direction of the sample through the moving unit, the first galvanometer scanner is rotated to move the laser light in the width direction of the sample, and the sample moving speed detected through the speed detector is used as a basis And a controller for rotating the second galvanometer scanner to move the incident point of the laser beam in a direction perpendicular to the moving direction of the sample being moved.
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