JP5866912B2 - パターンの描画条件導出方法及びパターン描画装置 - Google Patents
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Description
前記基板上に形成するパターン情報を生成するパターン情報生成工程と、前記パターン情報に対して、ビームの振り幅、多重描画回数、水平面内のパターン描画方向、ビーム露光量の組み合わせによる、2通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程と、前記パターン情報生成工程で生成されるパターン情報の全部または一部を抜き取り、実際にパターンを描画する前記基板よりもサイズの小さな補助基板上に、前記描画条件設定工程で設定された各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程と、前記補助パターンが形成された補助基板に対して照明光を入射し、前記補助パターンにより生じる回折光を、光学系を介して光電変換素子上に結像させて画像として取得し、前記ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めることにより、前記複数の描画条件の中から前記ムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程とを含むことを特徴とするパターンの描画条件導出方法である。
補助パターン1におけるパターンピッチ、サイズ、パターン部レイアウト、各パターンの描画条件等の情報を、キーボード、入力デバイス等の入力操作部105を備えた情報処理手段101から入力され、RAMなどの設定データ記憶部に記憶する(A1)。この段階で、補助基板60の被撮像面に対して、ターンテーブル12を水平方向に回転させるθ軸の情報も入力する。ここで、図6には補助基板60とθとの対応関係を示している(この場合の一例として、θ=0°、45°、90°の3種類について定義した)。
C=|ΣI−ΣO| ……(1)
以上のステップC1〜C3は、ムラ評価値Cの算出方法に関する説明とする。
Claims (12)
- 基板上に電子線やレーザー光を用いてパターンを形成するパターン描画装置で取り扱う前記パターンのムラ欠陥が発生しないような描画条件を事前に導出するパターンの描画条件導出方法であって、
前記基板上に形成するパターン情報を生成するパターン情報生成工程と、
前記パターン情報に対して、ビームの振り幅、多重描画回数、水平面内のパターン描画方向、ビーム露光量の組み合わせによる、2通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程と、
前記パターン情報生成工程で生成されるパターン情報の全部または一部を抜き取り、実際にパターンを描画する前記基板よりもサイズの小さな補助基板上に、前記描画条件設定工程で設定された各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程と、
前記補助パターンが形成された補助基板に対して照明光を入射し、前記補助パターンにより生じる回折光を、光学系を介して光電変換素子上に結像させて画像として取得し、前記ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めることにより、前記複数の描画条件の中から前記ムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程と
を含むことを特徴とするパターンの描画条件導出方法。 - 前記補助パターンのパターンピッチは、10μm〜100μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記補助パターン描画工程で形成される前記矩形領域は、マトリクス状にX、Y方向に等間隔で配列することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記補助基板のサイズは、5インチ又は6インチであることを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記基板及び前記補助基板は、波長365nm〜436nmの範囲内の所定波長域の光を露光するためのフォトマスクが施されていることを特徴とする請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記描画条件判定工程で用いられる前記照明光の波長は、中心波長540nmの緑色光であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記描画条件判定工程における画像取得手段は、前記補助基板のパターンから生じる回折光のうち、前記補助基板の被撮像面に対して垂直な回折光のみを抽出する光学系と、この光学系で抽出される垂直な回折光を結像させて画像変換する光電変換素子を用いた撮像手段とを有することを特徴とする請求項1〜請求項6の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記描画条件判定工程におけるムラ欠陥に関するムラ評価値の算出手段は、前記撮像手段により取得された被処理画像に対して矩形領域内の各画素における輝度積算値と該輝度積算値に対する比較基準値とを用いて、ムラ評価値を算出することを特徴とする請求項1〜請求項7の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 前記描画条件判定工程におけるムラ欠陥に関するムラ発生周期算出手段は、前記撮像手段により取得された被処理画像に対して2次元フーリエ変換を実施してムラ発生周期を算出することを特徴とする請求項1〜請求項7の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法。
- 請求項1〜請求項9の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法で使用するパターン情報生成工程、描画条件設定工程、補助パターン描画工程及び描画条件判定工程の他、この描画条件判定工程によって導出された描画条件のもとに実サイズの基板上にパターンを描画するパターン描画工程を備えたことを特徴とするパターン描画装置。
- 請求項1〜請求項9の何れか一項に記載のパターンの描画条件導出方法によって導出された描画条件を用いて、実サイズの基板上にパターンを描画することを特徴とするパターン描画装置。
- 波長413nmのクリプトンイオンレーザーを基板上で走査させることによりパターンを描画するラスター式描画装置であることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のパターン描画装置。
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