JP5864752B2 - 焦点補正を決定する方法、リソグラフィ処理セル及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2011年8月31日出願の米国仮特許出願第61/529,586号の利益を主張し、全体を参照により本明細書に組み込むものとする。
試験基板上の複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定してフィールド間焦点変動情報を決定するステップと、
上記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するステップと、を含み、
上記グローバル補正マークが複数のグローバル補正フィールド内に配置され、各グローバル補正フィールドがフィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光されている方法が提供される。
本発明の第2の態様によれば、リソグラフィ投影プロセスで使用するための焦点補正を決定するリソセルであって、該装置が、試験基板上で、各々が複数のグローバル補正マークを含む複数のグローバル補正フィールドを、各フィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光するように動作可能なリソグラフィ装置と、複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定するように動作可能な検査装置と、上記測定された焦点依存特性からフィールド間焦点変動情報を決定し、上記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するように動作可能なプロセッサと、を備えるリソセルが提供される。
−放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
−パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構築され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
−基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
−パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PLと、
を備える。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静的露光で結像されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
2.スキャンモードにおいては、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPLの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の(非スキャン方向における)幅が制限され、スキャン動作の長さによってターゲット部分の(スキャン方向における)高さが決まる。
3.別のモードでは、マスクテーブルMTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に適用できる。
フルフィールドランダム化FEMは以下によって混乱/変形する。
−ウェーハ全体のCD変動
−フィールド内焦点の変動(ウェーハ平均の一種)
−格子プレートの焦点オフセット
−スキャンアップ/ダウン効果(全部のフィールドでの平均値)
Bossung曲線をクリーンアップし(フィットの残りを低減する)、プロセスの品質を顧客に通知するために、これらの効果がモデル化され、報告されている。
フィールド間Bossungフィットは以下のような線形モデルを有していてもよい。
G(x,y)は格子プレートオフセットモデルである。
1.リソグラフィ投影装置の焦点補正を決定する方法であって、
試験基板上の複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定してフィールド間焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するステップと、を含み、
前記グローバル補正マークが複数のグローバル補正フィールド内に配置され、各グローバル補正フィールドがフィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光されている、方法。
2.前記グローバル補正フィールドが、前記試験基板表面の実質的に全体にわたって露光されている、条項1に記載の方法。
3.前記傾斜した焦点オフセットが、全て同じ軸方向にある軸を中心に傾斜している、条項1又は2に記載の方法。
4.前記傾斜した焦点オフセットが、前記軸を中心に異なる方向に傾斜している、条項3に記載の方法。
5.前記グローバル補正マークが各グローバル修正フィールド内のサブセットに配置され、前記傾斜した焦点オフセットによって、各サブセットについて、各グローバル補正マークが異なる焦点オフセットで露光され、前記焦点オフセットが前記サブセットに沿って略直線的に変化し、
前記サブセットの各々について最適な焦点が決定される、条項1から4のいずれかに記載の方法。
6.前記グローバル補正マークの前記露光焦点オフセットに対する前記サブセットに含まれる各グローバル補正マークの各測定された焦点依存特性をプロットし、前記焦点依存特性への焦点感度が最小になる場所を決定することによって、各サブセットの前記最適な焦点が決定される、条項5に記載の方法。
7.前記サブセットが、グローバル補正マークの行又は列を含む、条項5又は6に記載の方法。
8.前記決定された最適焦点値が、前記フィールド間焦点補正を発見するために共にモデル化される、条項5、6又は7に記載の方法。
9.前記方法が、
前記試験基板から側壁角度データを測定するステップと、
前記側壁角度測定値から焦点測定値を決定するステップと、を含み、前記焦点測定値が、前記フィールド間焦点補正を用いて補正される、条項5から8のいずれかに記載の方法。
10.全ての決定された最適焦点値における前記側壁角度の値が、前記焦点測定値の補正において全て実質的に等しいと仮定するステップを含む、条項9に記載の方法。
11.各フィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで前記試験基板上に前記複数のグローバル補正フィールドを露光する前記初期ステップを含む、条項1から10のいずれかに記載の方法。
12.フィールド内焦点補正を決定するステップをさらに含む、条項1から11のいずれかに記載の方法。
13.前記フィールド内焦点補正が、
前記試験基板上の複数のフィールド内補正マークの各々について焦点依存特性を測定してフィールド内焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド内焦点変動情報から前記フィールド内焦点補正を計算するステップと、によって決定され、
前記フィールド内補正マークが複数のフィールド内補正フィールド内に配置され、各フィールド内補正フィールドが焦点オフセットを用いて露光されている、条項12に記載の方法。
14.フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正を得るために、前記フィールド間焦点変動情報が、前記フィールド内焦点補正を決定する際に使用される、条項12又は13に記載の方法。
15.フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正を得るために、前記フィールド内焦点変動情報が、前記フィールド間焦点補正を決定する際に使用される、条項12又は13に記載の方法。
16.各フィールド内補正フィールドが、異なる焦点オフセットで露光されている、条項13から15のいずれかに記載の方法。
17.前記フィールド内焦点変動情報が、
前記フィールド内補正マークの前記露光焦点オフセットに対して各フィールド内補正フィールドにおける対応する位置に、各フィールド内補正マークについて各測定された焦点依存特性をプロットするステップと、前記焦点依存特性への焦点感度が最小となる場所を決定するステップと、によって決定される、条項13から16のいずれかに記載の方法。
18.前記グローバル補正マークと前記フィールド内補正マークとが重ならないように、各フィールド内補正フィールドが、前記グローバル補正フィールドからの位置オフセットで露光されている、条項13から17のいずれかに記載の方法。
19.前記方法が、
前記試験基板から側壁角度データを測定するステップと、
前記側壁角度測定値から焦点測定値を決定するステップと、を含み、
前記焦点測定値が、前記フィールド内焦点補正を用いて補正される、条項13から18のいずれかに記載の方法
20.フィールド内補正マークの複数のサブセットの各々について最適な焦点を決定するステップと、
各最適焦点値における前記側壁角度の値が前記焦点測定値の補正の際に全て実質的に等しいと仮定するステップと、
を含む、条項19に記載の方法。
21.前記試験基板上に前記複数のフィールド内補正のフィールドを露光するステップを含む、条項13から20のいずれかに記載の方法。
22.前記焦点依存特性が、クリティカルディメンションに関連する、条項1から21のいずれかに記載の方法。
23.前記決定した焦点補正を後続のリソグラフィプロセスで使用するステップを含む、条項1から22のいずれかに記載の方法。
24.プロセス補正を決定する全ての前記ステップが、前記プロセス補正が前記リソグラフィプロセス中に決定できるように、前記リソグラフィツールとは別のインスペクションツール上で実行される、条項23に記載の方法。
25.リソグラフィ投影プロセスで使用するための焦点補正を決定するリソセルであって、前記装置が、
試験基板上で、各々が複数のグローバル補正マークを含む複数のグローバル補正フィールドを、各フィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光するように動作可能なリソグラフィ装置と、
前記複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定するように動作可能な検査装置と、
前記測定された焦点依存特性からフィールド間焦点変動情報を決定し、前記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するように動作可能なプロセッサと、
を備える、リソセル。
26.前記リソグラフィ装置が、前記試験基板表面の実質的に全体にわたって前記グローバル補正フィールドを露光するように動作可能である、条項25に記載のリソセル。
27.前記傾斜した焦点オフセットが前記同一の軸方向に配置された軸周りに全て傾斜されるように、前記リソグラフィ装置が前記グローバル補正フィールドを露光するように動作可能である、条項25又は26に記載のリソセル。
28.前記傾斜した焦点オフセットが前記軸周りの異なる方向に傾斜されるように、前記リソグラフィ装置が前記グローバル補正フィールドを露光するように動作可能である、条項27に記載のリソセル。
29.前記リソグラフィ装置が、前記グローバル補正マークが各グローバル補正フィールド内のサブセットに配置されるように、前記グローバル補正フィールドを露光するように動作可能であり、前記傾斜した焦点オフセットによって、各サブセットについて、各グローバル補正マークが異なる焦点オフセットで露光され、前記焦点オフセットが前記サブセットに沿って略直線的に変化し、
前記プロセッサが、前記サブセットの各々について最適な焦点を決定するように動作可能である、条項25から28のいずれかに記載のリソセル。
30.前記プロセッサが、前記グローバル補正マークの前記露光焦点オフセットに対する前記サブセットに含まれる各グローバル補正マークの各測定された焦点依存特性をプロットし、前記焦点依存特性への焦点感度が最小になる場所を決定することによって、各サブセットの前記最適な焦点を決定するように動作可能である、条項29に記載のリソセル。
31.前記サブセットが、グローバル補正マークの行又は列を含む、条項29又は30に記載のリソセル。
32.前記プロセッサが、前記フィールド間焦点補正を発見するために前記最適焦点値を共にモデル化するように動作可能である、条項29、30又は31に記載のリソセル。
33.前記検査装置が、前記試験基板から側壁角度データを測定するように動作可能であり、
前記プロセッサが、前記側壁角度の測定値から焦点測定値を決定し、前記フィールド間焦点補正を用いて前記焦点測定値を補正する、条項29から32のいずれかに記載のリソセル。
34.前記プロセッサが、全ての決定された最適焦点値における前記側壁角度の値が全て実質的に等しいと仮定するように動作可能である、条項33に記載のリソセル。
35.フィールド内焦点補正を決定するようにさらに動作可能である、条項25から34のいずれかに記載のリソセル。
36.前記リソグラフィ装置が、各々が複数のフィールド内補正マークを含む複数のフィールド内補正フィールドを前記試験基板上で露光するように動作可能であり、前記フィールド内補正フィールドが各々、焦点オフセットを用いて露光され、
前記検査装置が、前記複数のフィールド内補正マークの各々の焦点依存特性を測定するように動作可能であり、
前記プロセッサが、前記複数のフィールド内補正マークの各々について前記測定された焦点依存特性からフィールド内焦点変動情報を決定し、前記フィールド内焦点変動情報から前記フィールド内焦点補正を計算するように動作可能である、条項35に記載のリソセル。
37.前記プロセッサが、フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正を得るために、前記フィールド間焦点変動情報を用いて前記フィールド内焦点補正を決定するように動作可能である、条項35又は36に記載のリソセル。
38.前記プロセッサが、フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正を得るために、前記フィールド内焦点変動情報を用いて前記フィールド間焦点補正を決定するように動作可能である、条項35又は36に記載のリソセル。
39.前記リソグラフィ装置が、各フィールド内補正フィールドを異なる焦点オフセットで露光するように動作可能である、条項36から38に記載のリソセル。
40.前記プロセッサが、前記フィールド内焦点変動情報を、
前記フィールド内補正マークの前記露光焦点オフセットに対して各フィールド内補正フィールドにおける対応する位置に、各フィールド内補正マークについて各測定された焦点依存特性をプロットするステップと、前記焦点依存特性への焦点感度が最小となる場所を決定するステップと、によって決定するように動作可能である、条項36から39に記載のリソセル。
41.前記グローバル補正マークと前記フィールド内補正マークとが重ならないように、前記リソグラフィ装置が、各フィールド内補正フィールドを前記グローバル補正フィールドからの位置オフセットで露光するように動作可能である、条項36から40のいずれかに記載のリソセル。
42.前記検査装置が、前記試験基板から側壁角度データを測定するように動作可能であり、
前記プロセッサが、前記側壁角度の測定値から焦点測定値を決定し、前記フィールド内焦点補正を用いて前記焦点測定値を補正するように動作可能である、条項36から41のいずれかに記載のリソセル。
43.前記プロセッサが、
フィールド内補正マークの複数のサブセットの各々について最適な焦点を決定し、
各最適焦点値における前記側壁角度の値が全て実質的に等しいと仮定するように動作可能である、条項42に記載のリソセル。
44.前記焦点依存特性が、クリティカルディメンションに関連する、条項25から43のいずれかに記載のリソセル。
45.リソグラフィ投影装置の焦点補正を決定する方法であって、前記方法が、
複数のフィールド内補正フィールド内に配置され、変動する焦点を用いて露光されている、試験基板上の複数のフィールド内補正マークの各々の焦点依存特性を測定するステップと、
前記測定された焦点依存特性から、各フィールド内補正マークの場所についてフィールド内焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド内焦点変動情報から前記フィールド内焦点補正を計算するステップと、を含み、
フィールド内焦点補正を計算する前記ステップがスキャンアップ−スキャンダウン効果を考慮するステップを含み、それによって、測定されたパラメータがリソグラフィプロセス中の前記スキャン方向の依存性の変動を示す、方法。
46.フィールド内焦点補正を計算する前記ステップが、各フィールド内の場所での平均フィールド内焦点オフセットと、各フィールド内の場所でのスキャンアップ−スキャンダウン効果から生じる差と、によって、前記フィールド内焦点変動情報をモデル化するステップを含む、条項45に記載の方法。
47.変動する焦点を用いて前記フィールド内補正マークを露光するステップが、フィールドごとに擬似ランダム化焦点及びドーズ量設定で単層上に補正マークを露光するステップを含む、条項45又は46に記載の方法。
48.フィールド内焦点補正を計算する前記ステップが、格子プレートが前記リソグラフィ装置の一部を形成する結果として誘導される格子プレート焦点誤差を別に考慮するステップを含む、条項45から47のいずれかに記載の方法。
49.前記格子プレート焦点誤差がウェーハ象限ごとに誘導され、フィールド内焦点補正を計算する前記ステップがフィルタを用いて別のフィールド内焦点変動情報をモデル化して前記試験基板の特定の象限をフィルタリングするステップを含む、条項48に記載の方法。
50.フィールド内焦点補正を計算する前記ステップが、
ジェネリック型フィールド間成分が得られるように、前記測定された焦点依存特性のサブセットのみについての前記焦点補正のフィールド間成分と前記フィールド内補正フィールドのサブセットのみから得たフィールド内成分とを同時にモデル化するステップと、
前記ジェネリック型フィールド間成分と測定された焦点依存特性の完全なセットとを用いて各々の場所の前記スキャンアップ−スキャンダウン効果を決定するステップと、
を含む、条項45から49のいずれかに記載の方法。
51.Bossung曲線として各フィールド内の場所での前記平均フィールド内焦点オフセットのモデル化の際に、前記計算されたフィールド間成分と測定された焦点依存特性の前記完全なセットとが使用される、条項50に記載の方法。
52.前記フィールド間成分が、前記ウェーハ全体のクリティカルディメンションシグネチャ及び格子プレート焦点誤差を含む、条項50又は51に記載の方法。
53.前記フィールド内焦点変動情報がBossung曲線としてモデル化され、全てのフィールド内位置について、別々のBossung曲線がモデル化される、条項45から49のいずれかに記載の方法。
54.リソグラフィ投影プロセスで使用するための焦点補正を決定するリソセルであって、前記装置が、
試験基板上に、複数のフィールド内補正フィールドに配置され、フィールドごとに擬似ランダム化焦点及びドーズ量設定で露光されている複数のフィールド内補正マークを露光するように動作可能なリソグラフィ装置と、
前記複数のフィールド内補正マークの各々について焦点依存特性を測定するように動作可能な検査装置と、
前記測定された焦点依存特性から各フィールド内補正マークの場所のフィールド内焦点変動情報を決定し、前記フィールド内焦点変動情報からフィールド内焦点補正を計算するように動作可能なプロセッサと、を備え、
フィールド内焦点補正を計算することが、スキャンアップ−スキャンダウン効果を考慮することを含み、それによって、測定されたパラメータがリソグラフィプロセス中の前記スキャン方向の依存性の変動を示す、リソセル。
55.前記プロセッサが、各フィールド内の場所での前記平均フィールド内焦点オフセットと、各フィールド内の場所でのスキャンアップ−スキャンダウン効果から生じる差と、によって、前記フィールド内焦点変動情報をモデル化するようにさらに動作可能である、条項54に記載のリソセル。
56.前記プロセッサが、格子プレートが前記リソグラフィ装置の一部を形成する結果として誘導される格子プレート焦点誤差を別に考慮するように動作可能である、条項54又は55に記載のリソセル。
57.前記格子プレート焦点誤差がウェーハ象限ごとに誘導され、前記プロセッサが、フィルタを用いて別のフィールド内焦点変動情報をモデル化することによって前記フィールド内焦点補正を計算して前記試験基板の特定の象限をフィルタリングするように動作可能である、条項56に記載のリソセル。
58.前記プロセッサが、
前記測定された焦点依存特性のサブセットのみの前記焦点補正のフィールド間成分を計算し、
前記計算されたフィールド間成分と測定された焦点依存特性の前記完全なセットとを使用して各々の場所での前記スキャンアップ−スキャンダウン効果を決定するように動作可能である、条項54から57のいずれかに記載のリソセル。
59.前記プロセッサが、Bossung曲線として各フィールド内の場所での前記平均フィールド内焦点オフセットのモデル化の際に前記計算されたフィールド間成分と測定された焦点依存特性の前記完全なセットとを使用するように動作可能である、条項58に記載のリソセル。
60.前記フィールド間成分が、前記ウェーハ全体のクリティカルディメンションシグネチャ及び格子プレート焦点誤差を含む、条項58又は59に記載のリソセル。
61.前記プロセッサが、Bossung曲線として前記フィールド内焦点変動情報をモデル化するように動作可能であり、全てのフィールド内位置について、別個のBossung曲線がモデル化される、条項54から57のいずれかに記載のリソセル。
62.好適な装置上で実行されると条項1から24のいずれかに記載の方法を実行するように動作可能なプログラム命令を含む、コンピュータプログラムプロダクト。
63.好適な装置上で実行されると条項45から53のいずれかに記載の方法を実行するように動作可能なプログラム命令を含む、コンピュータプログラムプロダクト。
Claims (18)
- リソグラフィ投影装置の焦点補正を決定する方法であって、
試験基板上の複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定してフィールド間焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するステップと、
前記試験基板上の複数のフィールド内補正マークの各々について焦点依存特性を測定してフィールド内焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド内焦点変動情報からフィールド内焦点補正を計算するステップと、を含み、
前記グローバル補正マークが複数のグローバル補正フィールド内に配置され、各グローバル補正フィールドがフィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光されており、前記フィールド内補正マークが複数のフィールド内補正フィールド内に配置され、各フィールド内補正フィールドがフィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光されており、
フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正が得られるように、前記フィールド内焦点補正を決定するために前記フィールド間焦点変動情報が用いられ、又は前記フィールド間焦点補正を決定するために前記フィールド内焦点変動情報が用いられる、方法。 - 前記グローバル補正マークは、各グローバル補正フィールド内のサブセットに配置され、前記傾斜した焦点オフセットによって、各サブセットについて、各グローバル補正マークが異なる焦点オフセットで露光され、前記焦点オフセットが前記サブセットに沿って略直線的に変化し、
前記サブセットの各々について最適な焦点が決定される、請求項1に記載の方法。 - 前記グローバル補正マークの前記露光焦点オフセットに対する前記サブセットに含まれる各グローバル補正マークの各測定された焦点依存特性をプロットし、前記焦点依存特性への焦点感度が最小になる場所を決定することによって、各サブセットの前記最適な焦点が決定される、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 前記焦点依存特性は、クリティカルディメンションに関連する、請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の方法。
- リソグラフィ投影プロセスで使用するための焦点補正を決定するリソセルであって、前記装置は、
試験基板上で、各々が複数のグローバル補正マークを含む複数のグローバル補正フィールドを、各フィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光するとともに、各々が複数のフィールド内補正マークを含む複数のフィールド内補正フィールドを、各フィールド全体にわたって傾斜した焦点オフセットで露光するように動作可能なリソグラフィ装置と、
前記複数のグローバル補正マークの各々について焦点依存特性を測定するとともに、前記複数のフィールド内補正マークの各々について焦点依存特性を測定するように動作可能な検査装置と、
前記複数のグローバル補正マークの各々について前記測定された焦点依存特性からフィールド間焦点変動情報を決定し、前記フィールド間焦点変動情報からフィールド間焦点補正を計算するとともに、前記複数のフィールド内補正マークの各々について前記測定された焦点依存特性からフィールド内焦点変動情報を決定し、前記フィールド内焦点変動情報からフィールド内焦点補正を計算するように動作可能なプロセッサと、を備え、
前記プロセッサは、フィールド間効果とフィールド内効果の両方の補正を得るために、前記フィールド間焦点変動情報を用いて前記フィールド内焦点補正を決定し、又は前記フィールド内焦点変動情報を用いて前記フィールド間焦点補正を決定するように構成されている、リソセル。 - 前記リソグラフィ装置は、前記グローバル補正マークが各グローバル補正フィールド内のサブセットに配置されるようにかつ前記グローバル補正フィールドを露光するように動作可能であり、前記傾斜した焦点オフセットによって、各サブセットについて、各グローバル補正マークが異なる焦点オフセットで露光され、前記焦点オフセットが前記サブセットに沿って略直線的に変化し、
前記プロセッサは、前記サブセットの各々について最適な焦点を決定するように動作可能である、請求項5に記載のリソセル。 - 前記プロセッサは、前記グローバル補正マークの前記露光焦点オフセットに対する前記サブセットに含まれる各グローバル補正マークの各測定された焦点依存特性をプロットし、前記焦点依存特性への焦点感度が最小になる場所を決定することによって、各サブセットの前記最適な焦点を決定するように動作可能である、請求項5又は請求項6に記載のリソセル。
- 前記焦点依存特性は、クリティカルディメンションに関連する、請求項5乃至請求項7のうち何れか1項に記載のリソセル。
- リソグラフィ投影装置の焦点補正を決定する方法であって、前記方法は、
複数のフィールド内補正フィールド内に配置され、変動する焦点を用いて露光されている、試験基板上の複数のフィールド内補正マークの各々の焦点依存特性を測定してフィールド内焦点変動情報を決定するステップと、
前記フィールド内焦点変動情報から前記フィールド内焦点補正を計算するステップと、を含み、
前記フィールド内焦点補正を計算するステップは、スキャンアップ−スキャンダウン効果を考慮するステップを含み、それによって、測定されたパラメータがリソグラフィプロセス中の前記スキャン方向の依存性の変動を示す、方法。 - 前記フィールド内焦点補正を計算するステップは、各フィールド内の場所での平均フィールド内焦点オフセットと、各フィールド内の場所でのスキャンアップ−スキャンダウン効果から生じる差と、によって、前記フィールド内焦点変動情報をモデル化するステップを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記フィールド内焦点補正を計算するステップは、格子プレートが前記リソグラフィ装置の一部を形成する結果として誘導される格子プレート焦点誤差を別に考慮するステップを含む、請求項9又は請求項10に記載の方法。
- 前記格子プレート焦点誤差がウェーハ象限ごとに誘導され、
前記フィールド内焦点補正を計算するステップは、フィルタを用いて、前記格子プレート焦点誤差を含むフィールド内焦点変動情報をモデル化して前記試験基板の特定の象限をフィルタリングするステップを含む、請求項11に記載の方法。 - リソグラフィ投影プロセスで使用するための焦点補正を決定するリソセルであって、前記装置は、
試験基板上に、複数のフィールド内補正フィールドに配置され、フィールドごとに擬似ランダム化焦点及びドーズ量設定で露光されている複数のフィールド内補正マークを露光するように動作可能なリソグラフィ装置と、
前記複数のフィールド内補正マークの各々について焦点依存特性を測定するように動作可能な検査装置と、
前記測定された焦点依存特性からフィールド内焦点変動情報を決定し、前記フィールド内焦点変動情報からフィールド内焦点補正を計算するように動作可能なプロセッサと、を備え、
フィールド内焦点補正を計算することが、スキャンアップ−スキャンダウン効果を考慮することを含み、それによって、測定されたパラメータがリソグラフィプロセス中の前記スキャン方向の依存性の変動を示す、リソセル。 - 前記プロセッサは、各フィールド内の場所での前記平均フィールド内焦点オフセットと、各フィールド内の場所でのスキャンアップ−スキャンダウン効果から生じる差と、によって、前記フィールド内焦点変動情報をモデル化するようにさらに動作可能である、請求項13に記載のリソセル。
- 前記プロセッサは、格子プレートが前記リソグラフィ装置の一部を形成する結果として誘導される格子プレート焦点誤差を別に考慮するように動作可能である、請求項13又は請求項14に記載のリソセル。
- 前記格子プレート焦点誤差がウェーハ象限ごとに誘導され、
前記プロセッサは、フィルタを用いて、前記格子プレート焦点誤差を含むフィールド内焦点変動情報をモデル化することによって前記フィールド内焦点補正を計算して前記試験基板の特定の象限をフィルタリングするように動作可能である、請求項15に記載のリソセル。 - 好適な装置上で実行されると請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の方法を実行するように動作可能なプログラム命令を含む、コンピュータプログラム。
- 好適な装置上で実行されると請求項9乃至請求項12のうち何れか1項に記載の方法を実行するように動作可能なプログラム命令を含む、コンピュータプログラム。
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