JP5864258B2 - スペクトル光コヒーレンス断層映像法を用いて構造データを収集する方法および装置 - Google Patents
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Claims (12)
- 最大反射率ポイントを有するサンプル(12)から、スペクトル光コヒーレンス断層映像法を用いて構造データを収集する方法であって、
a)少なくとも2本の走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)に沿って1組の少なくとも2つのBスキャンを実施するステップであって、走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)は交差点で交差しているステップと、
b)前記走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)に沿って光強度の最大値を特定するステップと、
c)前記交差点からの前記最大値のオフセットを決定するステップと、
d)前記走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)の少なくとも1つの位置を変更して交差点をステップc)の結果に応じて調整した状態で、ステップa)からc)を再実施し、その結果、構造データの収集中にサンプルの動きにより生じる外乱が抑制されるようにしたステップとを含む方法。 - 再実施するステップc)は、走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)の少なくとも2つの位置が変化することを含むことを特徴とする請求項1記載の構造データを収集する方法。
- 両走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)間の角度は、70°〜120°の範囲内にあることを特徴とする請求項1記載の構造データを収集する方法。
- 両走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)間の角度は、90°であることを特徴とする請求項1記載の構造データを収集する方法。
- 特定ステップb)に従って光強度の最大値を特定することは、サンプル(12)からの戻り光を、スペクトル光コヒーレンス断層映像法に使用する第1部分と、光強度の検出に使用する第2部分に分割することを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の構造データを収集する方法。
- 最大反射率ポイントを有するサンプル(12)から、スペクトル光コヒーレンス断層映像法を用いて構造データを収集する装置であって、
光源(1)と、
干渉計であって、光源(1)から光を受光するように構成され、プローブビームがサンプル(12)に向けられるサンプル経路、
参照経路、および
干渉計に入る光を分割し、前記光の一部分をサンプル経路に、前記光の一部分を参照経路に向け、サンプル経路から出射する光と参照経路から出射する光を再結合し、それを再結合した光の出力に向けるための手段(5)を含む干渉計と、
前記干渉計の再結合した光の前記出力から出射する光のスペクトル分析のために設計されたスペクトル分析手段と、
サンプルを横切る2次元のプローブビームの走査位置をシフトさせるように設計された走査手段(10)と、
プローブビームの走査位置が所定の走査パターンに従うように走査手段(10)を調整するよう構成された走査制御手段(19)とを備え、
前記走査制御手段(19)は、前記装置が請求項1〜5において規定された方法のいずれかに従って構造データを収集するような連続走査パターンを決定する、ように構成されていることを特徴とする装置。 - サンプル(12)からの戻り光強度を測定し、光強度を表す信号を前記走査制御手段(19)に伝送するように構成された光強度検出器(18)を更に備えることを特徴とする請求項6記載の構造データを収集する装置。
- 前記光強度検出器(18)は、サンプル経路から出射する光と、参照経路から出射する光を再結合するための前記手段(5)によって再結合した光の強度を測定するように構成されていることを特徴とする請求項7記載の構造データを収集する装置。
- サンプル経路から出射する光と、参照経路から出射する光を再結合する手段(5)が光カプラであって、その第1ポートは前記スペクトル分析手段に接続され、その第2ポートは前記光強度検出器(12)に接続されていることを特徴とする請求項8記載の構造データを収集する装置。
- 前記走査手段(10)が搭載されたホルダ(26)と、プローブビームに対して垂直に前記ホルダ(26)を並進するように設計された駆動手段とを更に備えることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の装置。
- 前記駆動手段は、プローブビームに対して垂直に、2次元で前記ホルダ(26)を並進するように構成されていることを特徴とする請求項10記載の装置。
- 前記制御手段(19)は、ステップc)によって決定する小さいオフセットの場合は、走査手段(10)でオフセットを調整することによって、およびステップc)によって決定するより大きいオフセットの場合は、前記ホルダ(26)を並進することによって走査線(20a、20b、21a、21b、22a、22b)の位置を変更するように構成されていることを特徴とする請求項10または11に記載の装置。
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