JP5862895B2 - 空間光変調器、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
また、本明細書には以下の発明の態様も記載されている。
本発明の第1の態様によれば、光が照射される複数の光学要素のアレイを有する空間光変調器が提供される。この空間光変調器は、複数のその光学要素は、それぞれ入射する光をその位相を変化させることなく、又は第1の位相だけ変化させて通過させる第1の状態、及び入射する光をその位相をその第1の位相と180°異なる第2の位相だけ変化させて通過させる第2の状態を含む複数の状態に制御可能であり、その複数の光学要素の境界部に、入射する光の位相の変化量が互いに異なる第1の位置及び第2の位置が設けられたものである。
以下、本発明の第1の実施形態につき図1〜図9を参照して説明する。
図1は、本実施形態のマスクレス方式の露光装置EXの概略構成を示す。図1において、露光装置EXは、パルス発光を行う露光用の光源2と、光源2からの露光用の照明光(露光光)ILで被照射面を照明する照明光学系ILSと、ほぼその被照射面又はその近傍の面上に二次元のアレイ状に配列されたそれぞれ高さが可変の微小ミラーである多数のミラー要素30を備えた空間光変調器28と、空間光変調器28を駆動する変調制御部48とを備えている。さらに、露光装置EXは、多数のミラー要素30によって生成された反射型の可変の凹凸パターン(可変の位相分布を持つマスクパターン)で反射された照明光ILを受光して、その凹凸パターン(位相分布)に対応して形成される空間像(デバイスパターン)をウエハW(基板)の表面に投影する投影光学系PLと、ウエハWの位置決め及び移動を行うウエハステージWSTと、装置全体の動作を統括制御するコンピュータよりなる主制御系40と、各種制御系等とを備えている。
光源2から射出された断面形状が矩形でほぼ平行光束のパルスレーザ光よりなる照明光ILは、1対のレンズよりなるビームエキスパンダ4、照明光ILの偏光状態を制御する偏光制御光学系6及びミラー8Aを介して、Y軸に平行に、複数の回折光学素子(diffractive optical element)10A,10B等から選択された回折光学素子(図1では回折光学素子10A)に入射する。偏光制御光学系6は、例えば照明光ILの偏光方向を回転する1/2波長板、照明光ILを円偏光に変換するための1/4波長板、及び照明光ILをランダム偏光(非偏光)に変換するための楔型の複屈折性プリズム等を交換可能に設置可能な光学系である。
その反射面において、X方向にi番目(i=1,2,…,I)及びY方向にj番目(j=1,2,…,J)の位置P(i,j)にそれぞれミラー要素30が配置されている。一例として、ミラー要素30のY方向(ウエハWの走査方向に対応する方向)の配列数Jは数100〜数1000であり、X方向の配列数Iは配列数Jの数倍〜数10倍である。また、ミラー要素30の配列のピッチpx(=py)は例えば10μm〜1μm程度である。
ax+cx<px …(3A), ay+cy<py …(3B)
なお、本実施形態では、ミラー要素30と境界部34との隙間が狭く、以下のようにミラー要素30の幅と境界部34の幅との和が実質的にミラー要素30の配列のピッチとほぼ等しいものとして扱うことが可能である。
一例として、境界部34Xの幅cx(境界部34Yの幅cy)はミラー要素30の配列のピッチpx(py)の数%〜10%程度である。なお、ミラー要素30のアレイの+X方向及び−Y方向の端部には、それぞれ一列の複数の境界部34X及び境界部34Yが付加されている。
また、ミラー要素30間の境界部34の表面A3の反射率は例えば数10%程度である。さらに、境界部34の表面A3と基準平面A1とのZ方向の間隔d2は、境界部34で反射される照明光ILの位相の変化量が、その第1の位相δ1とその第2の位相δ2との中間の第3の位相δ3となるように設定される。本実施形態では、位相δ1及びδ2は式(5A)及び(5B)で表されるため、位相δ3は位相δ1に対する差分として次のようになる。
ただし、ミラー要素30及び境界部34の製造誤差、及びミラー要素30のZ方向への駆動誤差等を考慮すると、境界部34で反射される照明光ILの位相の変化量(第3の位相δ3)は、ほぼ式(6)を満たす範囲、例えば式(6)に対して±10°程度の範囲内にあればよい。
また、反射光B2が基準平面A1に達するときに、比較対象の基準平面A1で反射された反射光B1の光路長op1は次のようになる。
op1=2d1・tan α・sin α=2d1・sin2α/cos α …(7B)
従って、反射光B2と反射光B1との光路長の差分δop2は、式(7A)及び(7B)を用いて次のようになる。
=2d1・cos2α/cos α=2d1・cos α …(8A)
この光路長の差分δop2が、式(5B)の位相に対応する光路長(λ/2)に等しいため、次の関係が得られる。
2d1・cos α=λ/2 …(8B)
この式から間隔d1は次のようになる。
また、境界部34Y(34)の表面A3に入射角αで入射した照明光IL2の反射光B4の光路長と、反射光B4が基準平面A1に達するときの基準平面A1で反射した反射光B3の光路長との差分δop3は、式(8A)に対応して次のようになる。
δop3=2d2・cos α …(9A)
この光路長の差分δop3が、式(6)の位相に対応する光路長(λ/4+k・λ/2)に等しいため、次の関係が得られる。
この式から間隔d2は次のようになる。なお、kは整数である。
d2=(1/cos α)(λ/8+k・λ/4) …(9C)
式(6)の場合と同様に、間隔d2はほぼ式(9C)を満たせばよく、間隔d2は式(9C)に対して例えば±(1/cos α)(λ/8)(10°/90°)、即ち±λ/70程度の範囲内に入ればよい。一例として、整数kが0、入射角αが10°、波長λが193nmである場合、式(8C)及び(9C)から間隔d1,d2は次のようになる。
図2(A)において、空間光変調器28の各ミラー要素30はそれぞれ入射する照明光ILの位相を0°変化させて反射する第1の状態、又は入射する照明光ILの位相を180°(π)変化させて反射する第2の状態に制御される。以下では、その第1の状態に設定されたミラー要素30を位相0のミラー要素、その第2の状態に設定されたミラー要素30を位相πのミラー要素とも呼ぶ。
本実施形態のように物体側に非テレセントリックの投影光学系PLを用いることによって、空間光変調器28の多数のミラー要素30の反射面とウエハWの露光面(フォトレジストの表面)とをほぼ平行に配置できる。従って、露光装置の設計・製造が容易である。
図1において、ウエハWはウエハホルダ(不図示)を介してウエハステージWSTの上面に吸着保持され、ウエハステージWSTは、不図示のガイド面上でX方向、Y方向にステップ移動を行うとともに、Y方向に一定速度で移動する。ウエハステージWSTのX方向、Y方向の位置、及びθz方向の回転角等はレーザ干渉計45によって形成され、この計測情報がステージ制御系44に供給されている。ステージ制御系44は、主制御系40からの制御情報及びレーザ干渉計45からの計測情報に基づいて、リニアモータ等の駆動系46を介してウエハステージWSTの位置及び速度を制御する。なお、ウエハWのアライメントを行うために、ウエハWのアライメントマークの位置を検出するアライメント系(不図示)等も備えられている。
図6(A)は、このシミュレーションにおいて、空間光変調器28のミラー要素30によって設定される反射光の位相分布を示す。図6(A)の位相分布において、白抜きのミラー要素30は位相0であり、灰色のミラー要素30は位相πである。図6(A)の複数のミラー要素30の間には、図6(B)に示すように、境界部34が配置されている。このシミュレーションでは、ミラー要素30の像のX方向、Y方向のピッチβ・px(=β・py)を20nm、ミラー要素30の像のX方向、Y方向の幅β・ax(=β・ay)を17.5nm、境界部34の像のX方向、Y方向の幅β・cx(=β・cy)を2.5nmとする。
(1)本実施形態の露光装置EXは、空間光変調器28を備えている。また、空間光変調器28は、それぞれ入射する光の位相を第1の位相(δ1)だけ変化させて反射する第1の状態、及び入射する光の位相をその第1の位相と180°異なる第2の位相(δ2)だけ変化させて反射する第2の状態に制御可能な複数のミラー要素30(光学要素)と、複数のミラー要素30の間に配置されて、入射する光の位相をその第1の位相とほぼ(90°+k・180°)(kは整数)だけ異なる第3の位相(δ3)だけ変化させる境界部34とを備えている。
(4)また、空間光変調器28の各ミラー要素30は、電源オフのときにそれぞれその第1の状態(位相0)になるため、制御が容易である。さらに、境界部34の表面の高さは、空間光変調器28の製造時のミラー要素30の反射面の高さに基づいて設定すればよいため、境界部34で反射される光の位相の変化δ3を高精度に設定できる。
(5)また、空間光変調器28のミラー要素30は2次元のアレイであるため、一度の露光で大面積のパターンをウエハWに露光できる。なお、空間光変調器28において、ミラー要素30を例えばX方向(ウエハWの非走査方向に対応する方向)に一次元のアレイ状に配列してもよい。
なお、空間光変調器28の各ミラー要素30は、その第1の状態及びその第2の状態以外の第3の状態等を含む複数の状態に設定可能としてもよい。
(1)まず、上記の実施形態では、ウエハWを連続的に移動してウエハWを走査露光している。その他に、図5(B)に示すように、ウエハWの各ショット領域(例えばSA21)をY方向に複数の部分領域SB1〜SB5等に分割し、投影光学系PLの露光領域26Bに部分領域SB1等が達したときに、照明光ILを所定パルス数だけ発光させて、空間光変調器28のミラー要素30のアレイからの反射光で部分領域SB1等を露光してもよい。この後、ウエハWをY方向にステップ移動させて、次の部分領域SB2等が露光領域26Bに達してから、同様に部分領域SB2等に露光が行われる。この方式は実質的にステップ・アンド・リピート方式であるが、部分領域SB1〜SB5等には互いに異なるパターンが露光される。
これに対して、図10の第1変形例の空間光変調器28Aで示すように、第1の状態(位相0)のミラー要素30の反射面(基準反射面A1)と境界部34(34Y)の表面A3との間隔d2を、境界部34の反射光の位相が270°変化するように定めてもよい。図10において、図2(B)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。この変形例は、式(6)でk=1とした場合に相当する。さらに、ミラー要素30の厚さを間隔d1(第2の状態(位相π)に設定されたミラー要素30の反射面と基準反射面A1との間隔)の1/2よりも薄く形成する。この場合、境界部34の表面A3は、第1の状態及び第2の状態のいずれの状態のミラー要素30の底面よりも低くなる。
ax+ex>px …(11A), ay+ey>py …(11B)
この変形例によれば、ミラー要素30と境界部34との間の隙間が実質的になくなるため、境界部34に入射する照明光IL2は、ほぼその全部が反射される。従って、迷光等が減少するため、結像特性が向上する。
これに対して、図12の第3変形例の空間光変調器28Cで示すように、ミラー要素30の反射面とこれに一体化された境界部38の表面A3との間隔d2を、境界部38の反射光の位相が270°変化するように定めてもよい。図12において、図11に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。この変形例は、式(6)でkを1又は2とした場合に相当する。さらに、ミラー要素30の厚さを間隔d1の1/2よりも薄く形成し、境界部38のY方向の幅及びX方向の幅(不図示)をそれぞれミラー要素30の隙間よりも広く設定する。
なお、境界部34Yで反射された照明光IL2の位相の変化量と、それと隣り合う境界部34Yで反射された照明光の位相の変化量とは0又は360°以外の任意の位相だけ異なっていてもよい。この場合でも、その2つの境界部34Yからの反射光の強度は減少するため、境界部34での反射光の影響が少なくなる。
次に、本発明の第2の実施形態につき14(A)〜図15(C)を参照して説明する。本実施形態においても基本的に図1の露光装置EXを使用するが、図1の空間光変調器28の代わりに図14(A)、(B)に示す空間光変調器28Eを使用する点が異なっている。以下、図14(A)、(B)、図15(A)〜(C)において図2(B)、図2(A)、図3(A)〜(C)に対応する部分にはそれぞれ同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施形態の露光装置EXは、空間光変調器28Eを備えている。また、空間光変調器28Eは、照明光ILが照射される複数のミラー要素30のアレイを有し、複数のミラー要素30の境界部34(34X,34Y)に、それぞれ入射する光の位相の変化量が互いに180°異なる第1の領域54A(第1の位置PA1を有する領域)及び第2の領域54B(第2の位置PB1を有する領域)が設けられたものである。また、ミラー要素30は、それぞれ入射する光を第1の位相(δ1)だけ変化させて反射する第1の状態、及び入射する光をその位相をその第1の位相と180°異なる第2の位相(δ2)だけ変化させて反射させる第2の状態に制御可能である。なお、本実施形態では第1の位相δ1は0であるが、位相δ2は任意である。
(1)本実施形態では、ミラー要素30の境界部34の幅方向に隣接して反射光の位相が180°異なる2つの領域54A,54Bが設けられている。しかしながら、図16(A)及び(B)の変形例の空間光変調器28F及び28Gで示すように、ミラー要素30の境界部34の長手方向(X方向及びY方向)に隣接して反射光の位相の変化量が180°異なる2つの領域55A,55B及び56A,56Bを交互に(周期的に)設けてもよい。この場合、領域55A,55Bの境界はミラー要素30の中央にあり、領域56A,56Bの境界はミラー要素30の中央からずれた任意の位置にある。
(2)また、図17(A)の変形例の空間光変調器28Kで示すように、ミラー要素30のY方向の境界部34Yの表面の中央に、断面形状が長方形で高さがd1(位相換算で180°)の突起部60を設けてもよい。突起部60は境界部34と一体的に形成されており、突起部60の幅には、境界部34からの反射率を最小にする、ミラー要素30の間隔やミラー要素30のZ方向の厚みなどに依存した最適な値がある。突起部60の幅をミラー要素30の間隔の1/2とすると、幾何学的には位相の変化量が180°異なる2つの領域が同じ面積をもち、境界部34からの反射率を最も低く抑えられると考えられるが、境界部34の幅が微小な場合は光の回折によりミラー要素30の下に回り込み反射されない光線もあり、また、ミラー要素30の側壁で吸収される光線もある。そのため、突起部60の幅をミラー要素30の間隔の1/2としたときが必ずしも最適とは限らない。ただし、図17(A)では、簡単のため突起部60の幅をミラー要素30の間隔の1/2とした。即ち、ミラー要素30の間隔(cy)を4・eyとすると、突起部60の表面の幅は2・eyとなり、境界部34の表面において、ミラー要素30の間隔内で突起部60を挟む2つの領域62B,62Cの幅はeyとなる。照明光(波長λ)の平均的な入射角αが小さい場合には、一例として突起部60の高さd1はλ/4である。図17(B)に示すように、ミラー要素30のX方向の境界部34Xの表面の中央にも高さがd1で幅がミラー間隔の1/2の突起部60が設けられている。この他の構成は、図14(A)の空間光変調器28Eと同様である。
また、隙間反射率を評価するモデルとして、図20(A)に示す空間光変調器28O(図19(C)と同じ段差又は突起部がないモデル)の他に、図20(B)に示す1周期ごとに高さがλ/4(反射光の位相の変化量に換算して180°)異なる領域55A,55Bがある空間光変調器28F、図20(C)に示すミラー要素30の隙間領域に高さがλ/4異なる領域54A,54Bの境界がある空間光変調器28Eを想定する。さらに、図20(D)、(E)、及び(F)に示すそれぞれ1周期内に幅c1(隙間領域の幅をcとする)で高さλ/4の突起部60、高さλ/2で幅c2の突起部64、及び高さ4λで幅cの突起部66がある空間光変調器28K,28L,28Mを想定する。
次に、ミラー要素30のピッチpが1μm(c=0.2μm)の場合に、境界部34の高さhを変えながら、図19(B)の像面IPにおける強度Iを計算した結果を図22に示す。図22の縦軸及び横軸は図21と同様である。図22において、反射強度がほぼ59%の直線72Gは、1周期の全面がアルミニウムのミラーの場合の強度、正弦波状の曲線72Aは、図20(A)の空間光変調器28Oで得られる強度、曲線72B及び72Cは、図20(B)及び(C)の空間光変調器28F,28Eで得られる強度、曲線72D及び72Eは、図20(D)及び(E)の空間光変調器28K及び28Lで突起部60及び64の幅c1及びc2をそれぞれc/10及びc/5と最適化したときに得られる強度、曲線72Fは、図20(F)の空間光変調器28Mで得られる強度である。
d1=λ/4 …(12A), d2=λ/8+k・λ/4 …(12B)
この変形例の露光装置EXAによれば、両側テレセントリックの投影光学系PLAを使用できるため、露光装置の構成が簡素化できる。
なお、照明光ILの利用効率が1/2に低下してもよい場合には、偏光ビームスプリッタ51の代わりに通常のビームスプリッタを使用し、1/4波長板52を省略してもよい。この場合には、偏光照明が使用できる。
図24では、図1等に示した実施形態と同様の機能を有する部材には、説明を簡略化するため同じ符号を付してある。図24において、露光装置EXBは、偏光制御光学系6からマイクロレンズアレイ16までの光路が図1等に示した実施形態とは異なる照明光学系ILSBを備えている。
さらに、図24の空間光変調器10Cに空間光変調器28Pを用いても良い。この場合、多数のミラー要素のそれぞれの傾斜角を所定の傾斜角分布に設定して所定の反射回折パターンを形成することにより、入射する照明光ILを任意の複数の方向に反射して、空間光変調器10Cの遠視野、ひいては照明瞳面IPPに所望の瞳輝度分布を形成する。
図25では、説明を簡略化するために上述の実施形態および変形例と同様の機能を有する部材には同じ符号を付してある。図25において、空間光変調器28Pは、二次元のアレイ状に配列された多数のミラー要素30と、各ミラー要素30を可撓性(弾性)を持つヒンジ部材35を介して支持するベース部材32と、隣接するミラー要素30間の隙間領域に配置され且つベース部材32に固定された多数の境界部34と、ミラー要素30の底面側のベース部材32の表面に形成された電極36A1〜36A4とを備えている。図25の例では、ミラー要素30の裏面と電極36A1〜36A4との間の電位差を利用して、電極間に作用する静電力を制御することで、ヒンジ部材35を介して可撓的に支持されるミラー要素30を、例えばθy軸回り及びθx軸回りに揺動及び傾斜させることができる。
この図25に示した空間光変調器28Pを図24の露光装置EXBに適用した場合、空間光変調器28Pの多数のミラー要素のそれぞれの傾斜角を所定の傾斜角分布に設定して入射する照明光ILを任意の複数の方向に反射し、所定の反射回折パターンを空間光変調器10Cのファーフィールド(遠視野領域)に形成する。そして、空間光変調器10Cの射出側に配置されるリレー光学系14によって、空間光変調器10Cのファーフィールドに形成される反射回折パターンを、瞳輝度分布として照明瞳面IPPに形成する。この場合には、空間光変調器28Pに起因する照明瞳面での回折干渉縞を低減することができる。 なお、二次元のアレイ状に配列されて、それぞれの反射面の傾斜方向及び傾斜角が個別に可変な空間光変調器28Pを、可変の位相分布を持つマスクパターン(可変の凹凸パターン)を形成するための空間光変調器28Eの代わりに設けても良い。
また、本発明は、半導体デバイスの製造プロセスへの適用に限定されることなく、例えば、液晶表示素子、プラズマディスプレイ等の製造プロセスや、撮像素子(CMOS型、CCD等)、マイクロマシーン、MEMS(Microelectromechanical Systems:微小電気機械システム)、薄膜磁気ヘッド、及びDNAチップ等の各種デバイス(電子デバイス)の製造プロセスにも広く適用できる。
Claims (29)
- 入射する光を変調して射出する空間光変調器において、
前記入射する光を反射する反射面を備え、該反射面の位置を変更可能な複数の反射要素と、
互いに隣接する2つの前記反射要素の反射面のすき間に入射する光を反射する第1部分と、
前記すき間に入射する光を反射する第2部分と
を備え、
前記第1部分で反射されて前記すき間から射出される光と前記第2部分で反射されて前記すき間から射出される光とは所定の位相差を持つ、空間光変調器。 - 前記第1部分で反射される前記光と前記第2部分で反射される前記光との位相差はほぼ180°である、請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記第1及び第2部分は、前記すき間に入射する光の位相を連続的に変化させる部分に設けられた、請求項1に記載の空間光変調器。
- 前記複数の反射要素の反射面は、所定の平面内に配列され、該平面の法線方向に可動である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記複数の反射要素は、前記複数の反射要素にそれぞれ入射する光をその位相を変化させることなく、又は第1の位相だけ変化させて通過させる第1の状態と、
前記複数の反射要素に入射する光をその位相を前記第1の位相と180°異なる第2の位相だけ変化させて通過させる第2の状態とを含む複数の状態に制御可能である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の空間光変調器。 - 前記第1及び第2部分は、前記すき間に入射する光の進行方向において異なる位置に設けられる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 複数の前記反射要素の反射面は互いに平行であり、
複数の前記反射要素の反射面に入射する光の平均的な入射角をα、前記光の波長をλとして、
複数の前記反射要素の反射面の前記第1の状態における高さと、前記第2の状態における高さとの差は、(1/cos α)λ/4であり、
前記第1部分の高さと前記第2部分の高さとの差は、ほぼ(1/cos α)(λ/4)である、請求項5に記載の空間光変調器。 - 複数の前記反射面とそれぞれ可動部を介して連結されるとともに、前記第1及び第2部分が固定されるベース部を備える、請求項7に記載の空間光変調器。
- 前記第1部分及び第2部分のうち少なくとも一方は複数の前記反射要素のうちの少なくとも1つの反射要素に連結されている、請求項7又は8に記載の空間光変調器。
- 前記複数の反射要素は、前記複数の反射要素が配列される配列面に対して傾動可能である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記複数の反射要素は2次元のアレイである、請求項1〜10のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 露光光で基板を露光する露光装置において、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の空間光変調器と、
前記空間光変調器の複数の前記反射要素のアレイに前記露光光を照射する照明光学系と、
複数の前記反射要素からの光を前記基板上に導いて前記基板上にパターンを投影する投影光学系と、
前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記空間光変調器の複数の前記反射要素の反射面を個別に複数の状態のいずれかに制御する制御装置と、
を備える露光装置。 - 前記制御装置は、複数の前記反射要素をそれぞれ前記第1の状態又は前記第2の状態に制御する、請求項12に記載の露光装置。
- 露光光で基板を露光する露光装置において、
請求項1〜11のいずれか一項に記載の空間光変調器を備え、所定のパターンが配置される被照射面に前記露光光を照射する照明光学系と、
前記被照射面からの光を前記基板上に導いて前記基板上にパターンを投影する投影光学系と、
前記被照射面に照射される前記露光光を制御するために、前記空間光変調器の複数の前記反射要素の反射面を個別に複数の状態のいずれかに制御する制御装置と、
を備える露光装置。 - 前記被照射面上に配置される、請求項1〜11のいずれか一項に記載の空間光変調器をさらに備え、
前記制御装置は、前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記空間光変調器の複数の前記反射要素の反射面を個別に前記複数の状態のいずれかに制御する、請求項14に記載の露光装置。 - 光が照射される複数の光学要素のアレイを有し、
複数の前記光学要素は、それぞれ入射する光をその位相を変化させることなく、又は第1の位相だけ変化させて通過させる第1の状態、及び入射する光をその位相を前記第1の位相と180°異なる第2の位相だけ変化させて通過させる第2の状態を含む複数の状態に制御可能であり、
複数の前記光学要素の間に配置されて、入射する光の位相を前記第1の位相とほぼ(90°+k・180°)(kは整数)だけ異なる第3の位相だけ変化させる少なくとも1つの境界部を備える空間光変調器。 - 複数の前記光学要素はそれぞれ入射する光を反射するとともに、反射面が互いに平行な反射要素であり、
複数の前記光学要素に入射する光の平均的な入射角をα、前記光の波長をλとして、
複数の前記光学要素の反射面の前記第1の状態における高さと、前記第2の状態における高さとの差は、(1/cos α)λ/4であり、
複数の前記光学要素の反射面の前記第1の状態における高さと、前記境界部の反射面の高さとの差は、ほぼ(1/cos α)(λ/8+k・λ/4)である、請求項16に記載の空間光変調器。 - 前記複数の光学要素の間に隣り合って配置される第1及び第2の境界部を備え、
前記第1の境界部に入射する光の位相の変化量と、前記第2の境界部に入射する光の位相の変化量とがほぼ180°異なる、請求項16又は17に記載の空間光変調器。 - 複数の前記光学要素とそれぞれ可動部を介して連結されるとともに、前記境界部が固定されるベース部を備える、請求項16〜18のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記境界部は複数の前記光学要素のうちの少なくとも1つの光学要素に連結されている、請求項16〜19のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 複数の前記光学要素は、電源オフのときにそれぞれ前記第1の状態になる、請求項16〜20のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記複数の光学要素は2次元のアレイである、請求項16〜21のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 前記複数の光学要素は1次元のアレイである、請求項16〜21のいずれか一項に記載の空間光変調器。
- 露光光で基板を露光する露光装置において、
請求項16〜23のいずれか一項に記載の空間光変調器と、
前記空間光変調器の複数の前記光学要素のアレイに前記露光光を照射する照明光学系と、
複数の前記光学要素からの光を前記基板上に導いて前記基板上にパターンを投影する投影光学系と、
前記基板に露光されるパターンを制御するために、前記空間光変調器の複数の前記光学要素を個別に前記複数の状態のいずれかに制御する制御装置と、
を備える露光装置。 - 前記制御装置は、複数の前記光学要素をそれぞれ前記第1の状態又は前記第2の状態に制御する、請求項24に記載の露光装置。
- 複数の前記光学要素はそれぞれ反射要素であり、
前記照明光学系からの前記露光光は、複数の前記反射要素に斜めに入射し、複数の前記反射要素からの反射光が、前記投影光学系に対して前記投影光学系の光軸に交差するように入射する、請求項24又は25に記載の露光装置。 - 前記空間光変調器と前記投影光学系との間に配置されるビームスプリッタを備え、
前記照明光学系からの前記露光光は、前記ビームスプリッタ、前記空間光変調器、及び前記ビームスプリッタを介して前記投影光学系に入射する、請求項24又は25に記載の露光装置。 - 複数の前記光学要素のアレイは第1方向を長手方向とする長方形の領域に設けられており、
前記基板を前記投影光学系の像面で前記第1方向と直交する第2方向に対応する走査方向に移動する基板ステージを備え、
前記制御装置は、前記基板ステージによる前記基板の移動に応じて、複数の前記光学要素によって形成されるパターンを前記第2方向に移動する、請求項24〜27のいずれか一項に記載の露光装置。 - 請求項12〜15、及び請求項24〜28のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、
を含むデバイス製造方法。
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