JP5752786B2 - 多層ミラー及びそのロバスト性を改善する方法 - Google Patents
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Description
上の式で、λは、使用される放射の波長であり、NAは、パターンを印刷(つまり、付与)するために使用される投影システムの開口数であり、k1は、レイリー定数とも呼ばれているプロセス依存調節係数であり、CDは、印刷された(つまり、付与された)フィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能(つまり、付与可能)サイズは、露光波長λを短くすること、開口数NAを大きくすること、あるいはk1の値を小さくすること、の3つの方法によって縮小することができると言える。
本明細書において、IC製造におけるリソグラフィ装置の使用について具体的な言及がなされているが、本明細書記載のリソグラフィ装置が、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用のガイダンスパターンおよび検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ(LCD)、薄膜磁気ヘッド等の製造といった他の用途を有し得ることが理解されるべきである。当業者にとっては当然のことであるが、そのような別の用途においては、本明細書で使用される「ウェーハ」または「ダイ」という用語はすべて、それぞれより一般的な「基板」または「ターゲット部分」という用語と同義であるとみなしてよい。本明細書に記載した基板は、露光の前後を問わず、例えば、トラック(通常、基板にレジスト層を塗布し、かつ露光されたレジストを現像するツール)、メトロロジーツール、および/またはインスペクションツールで処理されてもよい。適用可能な場合には、本明細書中の開示内容を上記のような基板プロセシングツールおよびその他の基板プロセシングツールに適用してもよい。さらに基板は、例えば、多層ICを作るために複数回処理されてもよいので、本明細書で使用される基板という用語は、すでに多重処理層を包含している基板を表すものとしてもよい。
Claims (14)
- 第1材料層と、
シリコン層と、を備え、
前記第1材料層及び前記シリコン層が層のスタックを形成しており、
前記シリコン層の露出側壁は、前記露出側壁のシリコンのロバスト性を改善するように構成された改良を含む、多層ミラー。 - 前記改良が、前記シリコン層の前記露出側壁の、水素又は水素原子との反応性を低下させること、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁のスパッタリング耐性を改善することのうち、一方又は両方によって、前記露出側壁のシリコンのロバスト性を改善するように構成される、請求項1に記載の多層ミラー。
- 前記シリコン層の前記露出側壁の、水素又は水素原子との前記反応性が、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に提供される1つ以上のインプラント材料、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層によって低下させられる、請求項2に記載の多層ミラー。
- 前記シリコン層の前記露出側壁の前記スパッタリング耐性が、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に提供される1つ以上のインプラント材料、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層によって改善される、請求項2又は請求項3に記載の多層ミラー。
- 前記改良が、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に提供される、例えば、ホウ素、窒素及び窒化物のうちの1つ以上である、1つ以上のインプラント材料、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層であって、窒化物層、窒化シリコン層、ホウ素ガラス層、又は酸化窒化シリコン層のうちの1つ以上を任意で含む、不活性化層のうち、1つ以上を含む、請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の多層ミラー。
- 前記多層ミラーが、複数の第1材料層及び/又は複数のシリコン層を備え、前記複数のシリコン層が第1材料層によって分離され、かつ/又は前記複数の第1材料層がシリコン層によって分離される、請求項1乃至請求項5のうち何れか1項に記載の多層ミラー。
- 前記単数又は複数のシリコン層の複数の露出側壁が、前記改良を含む、請求項1乃至請求項6のうち何れか1項に記載の多層ミラー。
- 前記単数又は複数のシリコン層の、前記単数又は複数の露出側壁の大半又は実質的に全てが、前記改良を含む、請求項1乃至請求項7のうち何れか1項に記載の多層ミラー。
- 請求項1乃至請求項8のうち何れか1項に記載の多層ミラーを備えたリソグラフィ装置又は放射源。
- 多層ミラーのロバスト性を改善する方法であって、前記多層ミラーは、
第1材料層と、
シリコン層と、を備え、
前記第1材料層及び前記シリコン層が層のスタックを形成し、
前記方法は、
前記シリコン層の露出側壁を改良して、前記露出側壁のシリコンのロバストを改善することを含む、方法。 - 前記改良することが、前記シリコン層の前記露出側壁の、水素又は水素原子との反応性を低下させること、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁のスパッタリング耐性を改善することのうち、一方又は両方によって前記露出側壁のシリコンのロバスト性を改善する、請求項10に記載の方法。
- 前記シリコン層の前記露出側壁の、水素又は水素原子との前記反応性が、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に、1つ以上の材料をインプラントすること、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層を提供することによって、低下させられる、請求項11に記載の方法。
- 前記シリコン層の前記露出側壁の前記スパッタリング耐性が、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に、1つ以上の材料をインプラントすること、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層を提供することによって改善される、請求項11又は請求項12に記載の方法。
- 前記改良することが、前記シリコン層の前記露出側壁の表面上又は前記シリコン層の前記露出側壁内に、1つ以上の材料をインプラントすること、及び/又は前記シリコン層の前記露出側壁を覆う、又は前記露出側壁の一部を形成する不活性化層を提供することのうちの1つ以上を含む、請求項10に記載の方法。
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