JP5862699B2 - グリッド偏光素子及び光配向装置 - Google Patents
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Description
尚、この出願の発明の偏光素子は、グリッドが金属(ワイヤー)には限らないので、以下、単にグリッド偏光素子と呼ぶ。
しかしながら、消光比等の点でより高性能のグリッド偏光素子を得ようとする場合、グリッドの高アスペクト比化しか解決手段がない現状では、製造上の困難性がグリッド偏光素子の高性能化や対象波長の短波長化のボトルネックとなってしまっている。
グリッドは、誘電体又は半導体で形成されており、
グリッドを構成する各線状部において一方の側の隣の線状部との距離をt、他方の側の隣の線状部との距離をTとしたとき、グリッドは、実質的にt<Tである部分を周期的に有しており、
グリッドの各線状部の長さ方向に電界成分を有する偏光光をs偏光光とし、距離tで隣り合う二つの線状部を伝搬したs偏光光を密部分伝搬光とし、距離Tで隣り合う二つの線状部を伝搬したs偏光光を疎部分伝搬光としたとき、t/Tの比は、密部分伝搬光の位相が疎部分伝搬光の位相よりもπ/2以上遅れる比となっているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、
前記グリッドは、隣り合う二つの線状部が一組となって前記透明基板上に設けられており、
各組の二つの線状部を伝搬したs偏光光が前記密部分伝搬光であって、各組の二つの線状部の離間距離は前記距離tとなっており、
隣接する組同士で向かい合う二つの線状部を伝搬したs偏光光が前記疎部分伝搬光であって、隣接する組同士の離間距離は前記距離Tとなっており、
前記距離tは、前記密部分伝搬光の出射端での離間距離であり、
前記距離Tは、前記疎部分伝搬光の出射端での離間距離であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項2の構成において、前記各組の二つの線状部の離間距離は、前記密部分伝搬光の伝搬方向前側に向かって徐々に狭くなっているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1乃至3いずれかの構成において、 前記グリッドを構成する各線状部の間の空間はギャップであって当該空間には材料は充填されていないという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、光源と、請求項1乃至4いずれかの記載のグリッド偏光素子とを備えており、グリッド偏光素子は、光配向用の膜材が配置される照射領域と光源との間に配置されているという構成を有する。
また、請求項3記載の発明によれば、各組の二つの線状部の離間距離は、前記密部分伝搬光の伝搬方向前側に向かって徐々に狭くなっているので、さらに製造が容易となる。
また、請求項4記載の発明によれば、消光比の高いグリッド偏光素子が使用されるので、高品質の光配向処理を行うことが可能となり、高品質の光配向膜を得ることができる。このため、高画質のディスプレイの製造に大きく貢献できる。
図1は、第一の実施形態のグリッド偏光素子を模式的に示した斜視概略図である。図1に示すグリッド偏光素子は、透明基板1と、透明基板1上に設けられたグリッド2とから主に構成されている。
また、「周期的」というのは、ランダムではないという程度の意味である。t≠Tが製造上のばらつきによって生じる場合はランダムということになるが、後述する位相遅れ作用が発揮されるように意図的にt≠Tとするのであり、従って、周期的となる。尚、この場合の周期的とは、透明基板1の表面に沿って線状部21の長さ方向に垂直な方向で見た際にt≠Tの部分が周期的に存在しているということである。
図2は、減衰型のグリッド偏光素子の動作モデルについて模式的に示した斜視概略図である。前述したように、グリッド偏光素子は、p偏光光を透過させる一方、s偏光光を透過させないようにした偏光素子である。従って、主として検討すべきは、s偏光光の挙動である。
このようなs偏光光がグリッド偏光素子のグリッド2にさしかかると、s偏光光の電界Eyは、グリッド2の誘電率によって弱められる。一方、グリッド2の間の媒質は、空気である場合が多いが、一般的にグリッド2より誘電率が小さいので、グリッド2の間の空間では電界Eyはグリッド2内ほどは弱められない。
即ち、グリッド2間の中央の電界Eyの最も高いところを境に、一方の側ではHzは光の伝搬方向前方に向き、他方の側ではHzは後方を向く。ここで、図2では省略されているが、x方向の磁界HxはEyと同位相で、x軸負の側を向いて存在している。このx方向磁界成分Hxは、生成されたz方向成分Hzに引っ張られ、波打つように変形する。
図3に示すように、グリッド2にさしかかる前のs偏光光にはHz成分が無いためHx成分のみとなるが、グリッド2にさしかかる前述のHz成分の生成により、磁界がx−z面内で波打つことが確認できる。図3に示すように、磁界の波打ちは、時計回りの磁界の回転とも言える状況である。尚、図3では、y方向が光の伝搬方向であり、z方向がグリッド2の長さ方向となっており、図2とは異なる。
この様子を図4において模式的に示す。図4は、x方向磁界成分Hxの波打ち(回転)により新たに電界Eyが発生する様子を模式的に示した正面断面概略図である。
発明者らは、このような減衰型のグリッド偏光素子において偏光性能をより高くする観点でさらに研究を続けた。この結果、上記のようにグリッドの各線状部を偏在化させることに着目し、ある偏在化の条件では特に消光比が高くできることを見い出した。以下、この点について説明する。
図5のシミュレーション実験では、グリッドのアスペクト比やグリッドの偏在比を変えると消光比や透過率がどのように変化するかを調べた。シミュレーションには、RCWA(Rigorous Coupled-Wave Analysis)法が用いられており、アメリカ国立標準技術研究所(NIST)が配布しているソフトウェア(http://physics.nist.gov/Divisions/Div844/facilities/scatmech/html/grating.htm)が使用された。グリッドの材料は酸化チタンとし、透明基板は石英とした。また、偏光させる光の波長は、254nmとした。尚、シミュレーションには材料の光学定数が必要であるが、ここでは、酸化チタンの光学定数は、屈折率2.35、消衰係数(屈折率の虚部)は1.31とした。また石英については、屈折率1.5、消衰係数0とした。
このうち、図6及び図7にはグリッド偏在化の構成である第一の実施形態のグリッド偏光素子における光の伝搬状況が示されており、図6にはs偏光光(TE波)の伝搬状況、図7にはp偏光光(TM波)の伝搬状況が示されている。図6及び図7において、入射面は紙面に対して平行であり、グリッドの各線状部の長さ方向は紙面に垂直である。各線状部21の位置が解るように、画像に重畳させて描き入れられている。
尚、図6及び図7において、色の違いは、位相の違いであり、端的には極性の違いである。例えば青がプラス、赤がマイナスである。
図8に示すように、t=Tの場合、多少の位相遅れが生じ、x方向で一様であったs偏光光の電界成分がグリッドによって分断されるように歪められるものの、グリッドを出射する際には殆ど位相差が発生していない。これは、空間の屈折率分布の不均一化が少ないために発生する位相差も小さく、このため、グリッドを出射した際の波面の重なりにおいて位相差が緩和されて解消してしまうことによるものと思われる。つまり、密部分伝搬光の位相遅れを利用したs偏光光の減衰は、グリッドの偏在化をある程度大きくし、空間の屈折率分布がある程度以上不均一になった場合に生じる現象であると考えられる。
図11に示す装置は、前述した液晶ディスプレイ用の光配向膜を得るための光配向装置であり、対象物(ワーク)10に偏光光を照射することで、ワーク10の分子構造が一定の方向に揃った状態とするものである。従って、ワーク10は光配向膜用の膜(膜材)であり、例えばポリイミド製のシートである。ワーク10がシート状である場合、ロールツーロールの搬送方式が採用され、搬送の途中で偏光光が照射される。光配向用の膜材で被覆された液晶基板がワークとなることもあり、この場合には、液晶基板をステージに載せて搬送したり、又はコンベアで搬送したりする構成が採用される。
多くの場合、光配向には紫外線の照射が必要なことから、光源5には高圧水銀ランプのような紫外線ランプが使用される。光源5は、ワーク10の搬送方向に対して垂直な方向(ここでは紙面垂直方向)に長いものが使用される。
尚、グリッド偏光素子は、大型のものを製造するのが難しいため、大きな領域に偏光光を照射する必要がある場合、複数のグリッド偏光素子を同一平面上に並べた構成が採用される。この場合、複数のグリッド偏光素子を並べた面は、ワーク10の表面と並行とされ、各グリッド偏光素子におけるグリッドの長さ方向がワークに対して所定の向きとなるように各グリッド偏光素子が配置される。
第一の実施形態では、グリッド2を成す各線状部21は、透明基板1に対して垂直であったが、第二の実施形態では斜めに形成されている。即ち、図12に示すように、隣り合う一対の線状部21は、正面視で逆ハの字を形成している。逆ハの字を形成する二つの線状部が一組となって多数組の線状部21,21が形成されている。
図5において、併せてこの第二の実施形態のグリッド偏光素子についてのシミュレーション実験結果(消光比及び透過率)が示されている。図が見にくくなるためにtの値については図示が省略されているが、第二の実施形態のシミュレーション実験では、同様にt=70nmからスタートしてtを徐々に小さくしたところ、透過率は徐々に減少するものの、消光比はt=30nmあたりから急激に上昇し、t=24nmで最大の消光比8300が得られた。消光比最大となるtの値が第一の実施形態と比べて小さくなっていることは、逆ハの字状の形状と関係があるものと推測される。即ち、密部分とはいえ入射側でギャップ幅が広がっているので、出射端がより狭くなっていないと、電界の集中や位相遅れの効果が出にくいものと推測される。
また、図示及び詳しい説明は省略するが、グリッド2の形状を上下逆にし、密部分を成す一対の線状部をハの字状とした場合、消光比向上の効果は小さい。この理由は、ハの字状の場合、グリッド2の出射端において偏在比が小さくなってしまい、電界を集中させる効果や位相差を発生させる効果や緩和されてしまうことによるものと考えられる。
第二の実施形態のグリッド偏光素子を製造する際にも、図14(1)に示すように、透明基板1上に中間薄膜3を作成する。中間薄膜3は、グリッド用薄膜を作成する際のベースになる薄膜である。
また、上記各実施形態において、距離tのギャップと距離Tのギャップが交互に存在していたが、周期的に偏在化していれば足り、必ずしも交互である必要はない。例えば、第一の実施形態の構造において、短い距離tで隣り合う三つの線状部(二つのギャップ)が一組となり、各組が広いギャップTで隣り合っているような構造でも良い。
2 グリッド
21 線状部
3 中間薄膜
4 グリッド用薄膜
5 光源
6 ミラー
7 グリッド偏光素子
10 ワーク
Claims (5)
- 透明基板と、透明基板上に設けられた縞状のグリッドとより成るグリッド偏光素子であって、
グリッドは、誘電体又は半導体で形成されており、
グリッドを構成する各線状部において一方の側の隣の線状部との距離をt、他方の側の隣の線状部との距離をTとしたとき、グリッドは、実質的にt<Tである部分を周期的に有しており、
グリッドの各線状部の長さ方向に電界成分を有する偏光光をs偏光光とし、距離tで隣り合う二つの線状部を伝搬したs偏光光を密部分伝搬光とし、距離Tで隣り合う二つの線状部を伝搬したs偏光光を疎部分伝搬光としたとき、t/Tの比は、密部分伝搬光の位相が疎部分伝搬光の位相よりもπ/2以上遅れる比となっていることを特徴とするグリッド偏光素子。 - 前記グリッドは、隣り合う二つの線状部が一組となって前記透明基板上に設けられており、
各組の二つの線状部を伝搬したs偏光光が前記密部分伝搬光であって、各組の二つの線状部の離間距離は前記距離tとなっており、
隣接する組同士で向かい合う二つの線状部を伝搬したs偏光光が前記疎部分伝搬光であって、隣接する組同士の離間距離は前記距離Tとなっており、
前記距離tは、前記密部分伝搬光の出射端での離間距離であり、
前記距離Tは、前記疎部分伝搬光の出射端での離間距離であることを特徴とする請求項1記載のグリッド偏光素子。 - 前記各組の二つの線状部の離間距離は、前記密部分伝搬光の伝搬方向前側に向かって徐々に狭くなっていることを特徴とする請求項2記載のグリッド偏光素子。
- 前記グリッドを構成する各線状部の間の空間はギャップであって当該空間には材料は充填されていないことを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載のグリッド偏光素子。
- 光源と、請求項1乃至4いずれかに記載のグリッド偏光素子とを備えており、グリッド偏光素子は、光配向用の膜材が配置される照射領域と光源との間に配置されていることを特徴とする光配向装置。
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