JP5858630B2 - Inductor-embedded substrate and electric circuit comprising the substrate - Google Patents

Inductor-embedded substrate and electric circuit comprising the substrate Download PDF

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Description

本発明は、インダクタを内蔵する基板(インダクタ内蔵基板)に関する。また、本発明は、インダクタ内蔵基板を含んでなる電気回路にも関する。更に、本発明は、インダクタ内蔵基板を含んでなる電源回路、特に直流・直流変換器(DC−DCコンバータ)にも関する。   The present invention relates to a substrate with a built-in inductor (a substrate with a built-in inductor). The present invention also relates to an electric circuit comprising a substrate with a built-in inductor. Furthermore, the present invention also relates to a power supply circuit including a substrate with a built-in inductor, in particular, a DC / DC converter (DC-DC converter).

近年、携帯電話やスマートフォンに代表される携帯型の通信端末における高機能化が顕著になっていることは周知の通りである。具体的には、携帯電話としての通信回路に加え、無線LANやブルートゥース(登録商標)等に対応した無線通信回路、又はGPSや磁気、ジャイロ等のセンサー類、さらには小額の決済機能を有した電子マネー端末回路等の様々な機能を実現するための回路の搭載が一般的になりつつある。   As is well known, in recent years, high functionality has become prominent in portable communication terminals represented by mobile phones and smartphones. Specifically, in addition to a communication circuit as a mobile phone, a wireless communication circuit corresponding to a wireless LAN, Bluetooth (registered trademark), or the like, sensors such as GPS, magnetism, and gyro, and a small payment function were provided. The mounting of circuits for realizing various functions such as an electronic money terminal circuit is becoming common.

上記のような高機能化は通信端末に限られたことではなく、携帯型の各種電子機器(例えば、携帯情報端末(PDA)やノート型コンピュータ、デジタルメディアプレイヤー、ブルーレイディスク/DVD/CD/MDプレイヤー、デジタルカメラ、ビデオカメラ等)においても、それぞれの用途に応じた様々な高機能化が図られている。   The above enhancement of functionality is not limited to communication terminals, but various portable electronic devices (for example, personal digital assistants (PDAs), notebook computers, digital media players, Blu-ray discs / DVDs / CDs / MDs) Players, digital cameras, video cameras, etc.) have also been improved in various functions according to their use.

上述のような携帯型の通信端末や各種電子機器(以降、「携帯端末」と総称する場合がある)においては、携帯端末の大きさや形状に一定の制約があるのは勿論のこと、携帯端末の小型化・低背化は製品の市場での価値にも直結することから、上述のような追加機能用の各回路(以降、単に「追加回路」と称する場合がある)に対する小型化・低背化の要求は極めて強い。また、かかる小型化・低背化の要求は、これらの追加回路のみならず、既存の回路(例えば、これらの追加回路に適切な電源を供給するための電源回路等)に対しても強くなっている。   In the above-described portable communication terminals and various electronic devices (hereinafter sometimes collectively referred to as “portable terminals”), there are of course certain restrictions on the size and shape of the portable terminals. Since the downsizing and low profile of the product are directly linked to the market value of the product, the downsizing and lowing of each circuit for the additional function as described above (hereinafter may be simply referred to as “additional circuit”). The demand for turning is very strong. Further, the demand for such downsizing and low profile is not only for these additional circuits but also for existing circuits (for example, power supply circuits for supplying appropriate power to these additional circuits). ing.

ところで、前述のような携帯端末は、電源として電池を用いるものが多い。一方、携帯端末に搭載される上記のような各種追加回路は、それぞれの構成に応じて種々の電源電圧が求められるのが実情である。従って、これらの携帯端末は、電池によって供給される電源電圧を各追加回路に最適な所定の動作電圧に変換するための電圧変換装置(例えば、DC−DCコンバータ等の電源回路)を備えているのが一般的である。尚、DC−DCコンバータは、典型的には、スイッチング素子及び制御回路を含む半導体集積回路(スイッチングIC)(能動素子)と、出力電圧を平準化するためのインダクタ(コイル)及びコンデンサ等の受動素子を接続線路が形成されたプリント基板等の上に接続して得られるディスクリート回路として構成される(例えば、図1参照)。   By the way, many portable terminals as described above use a battery as a power source. On the other hand, the various additional circuits mounted on the mobile terminal are actually required to have various power supply voltages according to their configurations. Accordingly, these portable terminals include a voltage conversion device (for example, a power supply circuit such as a DC-DC converter) for converting the power supply voltage supplied by the battery into a predetermined operating voltage optimum for each additional circuit. It is common. Note that a DC-DC converter typically includes a semiconductor integrated circuit (switching IC) (active element) including a switching element and a control circuit, and passives such as an inductor (coil) and a capacitor for leveling the output voltage. It is configured as a discrete circuit obtained by connecting elements on a printed circuit board or the like on which connection lines are formed (see, for example, FIG. 1).

上記のように、携帯端末においては、1つの電池を複数の回路で共有するため、各追加回路用の電源回路における効率劣化を抑制することが、電池寿命の観点から重要である。また、各電源回路(例えば、DC−DCコンバータ)における効率劣化を抑制するには、特にインダクタの重畳特性を良くすること、及び直流抵抗を低くすることが重要である。インダクタの重畳特性を良くするためには、より低い透磁率を有する材料を使用し、大きく多く導体を巻くことが有効である。しかし、このことはインダクタが大きくなることを意味する。また、インダクタを低損失にするには、インダクタを構成するコイルの導線を太くすることが有効である。しかしながら、同じインダクタンスを達成するには、コイルの導線を太くすればする程、コイルの導線の巻きの外周径を大きくする必要があり、インダクタが大きくなってしまう。   As described above, in a mobile terminal, since one battery is shared by a plurality of circuits, it is important from the viewpoint of battery life to suppress deterioration of efficiency in the power supply circuit for each additional circuit. Further, in order to suppress the efficiency deterioration in each power supply circuit (for example, a DC-DC converter), it is particularly important to improve the superposition characteristics of the inductor and to reduce the direct current resistance. In order to improve the superposition characteristics of the inductor, it is effective to use a material having a lower magnetic permeability and wind a large number of conductors. However, this means that the inductor becomes larger. Further, in order to reduce the loss of the inductor, it is effective to increase the thickness of the coil wire constituting the inductor. However, in order to achieve the same inductance, the thicker the coil wire, the larger the outer diameter of the coil wire winding, and the larger the inductor.

そこで、携帯端末用DC−DCコンバータにおいては、例えば図2に示す具体例におけるように、スイッチングICを樹脂基板(例えば、PCB基板)の中に内蔵させて、その分、DC−DCコンバータの効率劣化に対する影響が大きいインダクタが大きな面積を占めることを可能とすることによって、インダクタにおいて良好な重畳特性及び低損失を実現しようとする試みも行われてきた。尚、図2に示す具体例においては、インダクタに加えて、2個の汎用のチップコンデンサが搭載されている。これらのディスクリート部品のうち、インダクタは、最も大きな面積を占めるのみならず、高さにおいても、インダクタが最も高くなっている。   Therefore, in the DC-DC converter for portable terminals, for example, as in the specific example shown in FIG. 2, the switching IC is built in a resin substrate (for example, a PCB substrate), and the efficiency of the DC-DC converter is accordingly increased. Attempts have also been made to achieve good overlay characteristics and low loss in inductors by allowing inductors that have a large impact on degradation to occupy a large area. In the specific example shown in FIG. 2, in addition to the inductor, two general-purpose chip capacitors are mounted. Of these discrete components, the inductor occupies the largest area, and the inductor is the highest in height.

そこで、インダクタの小型化・低背化と低抵抗化とを両立させるための試みとして、例えば、樹脂等からなる積層基板中にインダクタ(コイル)を埋設し、当該基板上にインダクタ以外の回路素子を配設することが提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、基板内に埋設されたインダクタのインダクタンスを更に大きくすることを目的として、フェライト基板中にインダクタ(コイル)を埋設することの提案されている(例えば、特許文献2参照)。   Therefore, as an attempt to achieve both a reduction in size and height of an inductor and a reduction in resistance, for example, an inductor (coil) is embedded in a multilayer substrate made of resin or the like, and circuit elements other than the inductor are formed on the substrate. It has been proposed to arrange (see, for example, Patent Document 1). Further, for the purpose of further increasing the inductance of the inductor embedded in the substrate, it has been proposed to embed an inductor (coil) in the ferrite substrate (see, for example, Patent Document 2).

特開平7−163146号公報JP 7-163146 A 特開2010−238777号公報JP 2010-238777 A

前述のように、インダクタの小型化・低背化については、従来より様々な提案がなされている。しかしながら、昨今の携帯端末の更なる多機能化の進捗により、携帯端末に内蔵される各種回路(多機能化に伴う追加回路や、電源回路等の既存の回路)に対する小型化・低背化の要求は益々強くなってきている。また、前述のようにDC−DCコンバータ等の電源回路を始めとする各種回路において大きな面積及び高さを占め、形状面で最も大きな影響を有するインダクタの小型化・低背化は、インダクタの重畳特性を劣化させてDC−DCコンバータを効率が劣化させると共に、インダクタの直流抵抗を高め、DC−DCコンバータにおける損失を拡大させるという問題がある。   As described above, various proposals have been made for downsizing and low-profile inductors. However, due to the recent progress of multi-functionalization of mobile terminals, various circuits (additional circuits accompanying multi-function and existing circuits such as power supply circuits) have been reduced in size and height. The demand is getting stronger. In addition, as described above, in various circuits including a power supply circuit such as a DC-DC converter, the size and height of an inductor that occupies a large area and height and has the greatest influence on the shape are reduced by overlapping the inductors. There is a problem that the efficiency of the DC-DC converter is deteriorated by degrading the characteristics, the DC resistance of the inductor is increased, and the loss in the DC-DC converter is increased.

ところで、コイルに流れる電流の電流値が大きくなると、当該コイルのインダクタンスが小さくなる問題が認められている。この問題を生ずる特性は、「直流重畳特性」と称される。より詳しくは、この問題は、例えば、磁性材料中に埋設された導電体から構成されるコイルに電流を流す場合、電流値が高まるとコイルの周囲に生じる磁場が強まり、磁場が強いときに磁性材料の透磁率が下がる(磁気飽和)現象に起因するものである。この現象は、DC−DCコンバータにおいて広く使用されている磁性材料であるフェライト材料において特に顕著に観察される。   Incidentally, it has been recognized that when the current value of the current flowing through the coil increases, the inductance of the coil decreases. A characteristic that causes this problem is referred to as a “DC superposition characteristic”. More specifically, for example, when a current is passed through a coil composed of a conductor embedded in a magnetic material, the magnetic field generated around the coil increases as the current value increases, and the magnetic field is generated when the magnetic field is strong. This is due to the phenomenon that the magnetic permeability of the material decreases (magnetic saturation). This phenomenon is particularly noticeable in ferrite materials, which are magnetic materials widely used in DC-DC converters.

尚、直流重畳特性を評価するための指標としては、直流電流を重畳しながらのインダクタンスの測定において、インダクタンスが所定の割合(例えば、10%、30%、又は50%)減少する重畳電流値が挙げられる。尚、本明細書においては、インダクタンスが30%減少する重畳電流値をインダクタの直流重畳特性の指標とし、「直流重畳電流」と称する。   Note that, as an index for evaluating the DC superimposition characteristics, in the measurement of the inductance while superimposing the DC current, the superimposed current value at which the inductance decreases by a predetermined ratio (for example, 10%, 30%, or 50%) is used. Can be mentioned. In the present specification, the superimposed current value at which the inductance is reduced by 30% is used as an index of the DC superimposed characteristic of the inductor and is referred to as “DC superimposed current”.

上記のように電流値の増大と共にコイルのインダクタンスが低下する現象が生ずると、例えば、電源回路においてコイルに求められる、出力電圧を平滑化する機能が低下する。その結果、所望のインダクタンスを達成しないことに起因するDC−DCコンバータの効率の劣化が発生する。更に、十分に平滑化されない出力電圧に起因して、出力側に過大な電流が流れる虞が高まり、例えば、携帯端末に含まれる追加回路の故障を招いたり、DC−DCコンバータを構成するスイッチングICを故障させたりする不具合が生ずる虞が高まる。   When the phenomenon that the inductance of the coil decreases as the current value increases as described above occurs, for example, the function of smoothing the output voltage required for the coil in the power supply circuit decreases. As a result, the efficiency of the DC-DC converter is degraded due to not achieving the desired inductance. Furthermore, there is an increased possibility that an excessive current flows to the output side due to an output voltage that is not sufficiently smoothed. For example, a switching IC that causes a failure of an additional circuit included in the mobile terminal or constitutes a DC-DC converter. There is a high possibility that a malfunction will occur.

従って、DC−DCコンバータの効率やインダクタによる出力電圧の平滑化機能を適切に維持するためには、直流重畳特性に起因するインダクタンスの低下を抑制する必要がある。直流重畳特性は、上述のように磁束密度の高まりに伴う磁気飽和によって発生するため、コイルの形状を大きくする等して磁束密度の高まり(集中)を抑制することにより改善されることが知られている。しかし、この場合も携帯端末に求められる小型化・低背化の要求に相反することとなる。   Therefore, in order to appropriately maintain the efficiency of the DC-DC converter and the smoothing function of the output voltage by the inductor, it is necessary to suppress a decrease in inductance due to the direct current superposition characteristics. It is known that the DC superimposition characteristic is improved by suppressing the increase (concentration) of the magnetic flux density by increasing the shape of the coil or the like because it is generated by the magnetic saturation accompanying the increase of the magnetic flux density as described above. ing. However, this case also conflicts with the demands for miniaturization and low profile required for portable terminals.

以上のように、携帯端末等における各種回路の小型化・低背化の要求に応えるためには、各種回路において最も大きな面積及び高さを占めるインダクタの小型化・低背化が必要であるが、インダクタの小型化・低背化は、損失の増大(直流抵抗の増大)及び直流重畳電流値の低下(直流重畳特性に起因する磁束密度の集中)とトレードオフの関係にあり、これらを同時に満足し得るインダクタに対する継続的な要求が存在する。即ち、本発明の目的は、回路の小型化・低背化への要求を満たしつつ、低い直流抵抗と改善された直流重畳特性とを兼備するインダクタを提供することにある。   As described above, in order to meet the demands for miniaturization and low profile of various circuits in portable terminals, it is necessary to miniaturize and reduce the height of inductors that occupy the largest area and height in various circuits. The downsizing and low profile of an inductor are in a trade-off relationship with an increase in loss (increase in DC resistance) and a decrease in DC superimposition current value (concentration of magnetic flux density due to DC superimposition characteristics). There is a continuing demand for satisfactory inductors. That is, an object of the present invention is to provide an inductor that has both a low DC resistance and an improved DC superposition characteristic while satisfying the demand for circuit size reduction and height reduction.

上記目的は、
主として磁性材料を含んでなる基板、
前記基板中に埋設された導電体からなる第1コイル、
前記基板の少なくとも一方の面上に配設された、主として磁性材料を含んでなる隆起部、及び
前記隆起部中に埋設された導電体からなる第2コイル、
を含んでなり、
前記基板の前記一方の面に平行な平面による、前記隆起部の断面積が前記基板の断面積より小さいこと、
コイルの中心軸に垂直な平面による、前記第2コイルの断面積が前記第1コイルの断面積より小さいこと、及び
前記第2コイルが前記第1コイルと電気的に接続されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板によって達成される。
The above purpose is
A substrate mainly comprising a magnetic material,
A first coil made of a conductor embedded in the substrate;
A raised portion mainly including a magnetic material disposed on at least one surface of the substrate, and a second coil made of a conductor embedded in the raised portion,
Comprising
The cross-sectional area of the raised portion is smaller than the cross-sectional area of the substrate due to a plane parallel to the one surface of the substrate;
According to a plane perpendicular to the central axis of the coil, that the cross-sectional area of the second coil is smaller than the cross-sectional area of the first coil, and said second coil are connected to electrical to said first coil,
This is achieved by a substrate with a built-in inductor.

上記のように、本発明に係るインダクタ内蔵基板は、磁性材料を含んでなる基板中に埋設された第1コイル及び磁性材料を含んでなる隆起部中に埋設された第2コイルを備えている。従って、前述の従来技術のように基板中にのみコイルを埋設したり、コイルをディスクリート部品として基板上に配設したりする場合と比較して、より大きなスペースをインダクタに割り当てることができる。その結果、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。尚、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースには、本発明に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができるので、回路全体としての小型化・低背化も十分に達成される。   As described above, the inductor-embedded substrate according to the present invention includes the first coil embedded in the substrate including the magnetic material and the second coil embedded in the raised portion including the magnetic material. . Therefore, a larger space can be allocated to the inductor as compared with the case where the coil is embedded only in the substrate as in the above-described prior art or the coil is disposed on the substrate as a discrete component. As a result, as with inductors that have been reduced in size and height in the prior art, the loss increases as the DC resistance of the coil increases, and the DC superimposition characteristics deteriorate as the coil size and height decreases. Is avoided. In addition, in the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion, circuit elements other than the inductor built in the substrate with built-in inductor according to the present invention (for example, capacitors, various ICs (integrated) Circuit) etc.) and terminals etc. can be provided, so that the entire circuit can be sufficiently reduced in size and height.

典型的なDC−DCコンバータの構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of a typical DC-DC converter. 従来技術に係るDC−DCコンバータの概略構成を示す断面図(a)及び平面図(b)である。It is sectional drawing (a) and the top view (b) which show schematic structure of the DC-DC converter which concerns on a prior art. 本発明の1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板が適用されたDC−DCコンバータの概略構成を示す断面図(a)及び平面図(b)である。It is sectional drawing (a) and a top view (b) which show schematic structure of the DC-DC converter to which the board | substrate with a built-in inductor concerning one embodiment of this invention was applied. 比較例としての1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on one embodiment as a comparative example. 比較例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as a comparative example. 本発明の実施例としての1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on one embodiment as an Example of this invention. 本発明の実施例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as an Example of this invention. 比較例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as a comparative example. 図8に示す比較例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as a comparative example shown in FIG. 比較例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as a comparative example. 本発明の実施例としてのもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment as an Example of this invention. 各種インダクタ内蔵基板における直流抵抗と重畳電流との関係を表すグラフである。It is a graph showing the relationship between the direct current resistance and the superimposed current in various inductor-embedded substrates.

前述のように、本発明は、回路の小型化・低背化への要求を満たしつつ、低い直流抵抗と改善された直流重畳特性とを兼備するインダクタを提供することを目的とする。   As described above, an object of the present invention is to provide an inductor having both a low DC resistance and an improved DC superposition characteristic while satisfying the demand for circuit miniaturization and low profile.

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究の結果、従来技術におけるように単に基板中にコイルを埋設するだけではなく、基板上の、比較的厚い(高さが大きい)回路素子が配設されない領域に隆起部を設け、この隆起部中にもコイルを埋設し、これらのコイルを電気的に接続してインダクタとすることにより、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失が増大したり、コイルの小型化・低背化に伴って直流重畳特性が悪化したりすることを回避しつつ、回路全体としての小型化・低背化を達成させることを想到するに至ったものである。   As a result of diligent research to achieve the above object, the present inventor has not only embedded a coil in the substrate as in the prior art, but also arranged a relatively thick (high height) circuit element on the substrate. By providing a raised part in the area where it is not installed, embedding a coil in this raised part, and electrically connecting these coils to form an inductor, the inductor is reduced in size and reduced in height in the prior art. In addition, while avoiding the increase in loss due to the increase in DC resistance of the coil and the deterioration of the DC superposition characteristics due to the reduction in size and height of the coil, the overall size and height of the circuit can be reduced. It came to conceive that it will be achieved.

即ち、本発明の第1態様は、
主として磁性材料を含んでなる基板、
前記基板中に埋設された導電体からなる第1コイル、
前記基板の少なくとも一方の面上に配設された、主として磁性材料を含んでなる隆起部、及び
前記隆起部中に埋設された導電体からなる第2コイル、
を含んでなり、
前記基板の面に平行な平面による、前記隆起部の断面積が前記基板の断面積より小さいこと、
コイルの中心軸に垂直な平面による、前記第2コイルの断面積が前記第1コイルの断面積より小さいこと、及び
前記第2コイルが前記第1コイルと直接的又は間接的に電気的に接続されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板である。
That is, the first aspect of the present invention is:
A substrate mainly comprising a magnetic material,
A first coil made of a conductor embedded in the substrate;
A raised portion mainly including a magnetic material disposed on at least one surface of the substrate, and a second coil made of a conductor embedded in the raised portion,
Comprising
The cross-sectional area of the raised portion is smaller than the cross-sectional area of the substrate due to a plane parallel to the surface of the substrate;
The cross-sectional area of the second coil is smaller than the cross-sectional area of the first coil due to a plane perpendicular to the central axis of the coil, and the second coil is directly or indirectly electrically connected to the first coil. is being done,
It is a board | substrate with a built-in inductor characterized by these.

上記のように、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板は、主として磁性材料から構成される。当該基板において使用される磁性材料としては、例えば、インダクタ用コア材料等として使用可能な磁性材料である限り何ら限定されるものではないが、インダクタ用コア材料として広く使用されているフェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト等)が望ましい。また、当該基板の大きさや形状(例えば、面積、厚み等)は、インダクタ内蔵基板が適用される回路の用途や要求特性、当該基板中に埋設される第1コイルの大きさや形状等に応じて、適宜設計される。   As described above, the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention is mainly composed of a magnetic material. The magnetic material used in the substrate is not limited as long as it is a magnetic material that can be used as an inductor core material or the like, for example, but is widely used as an inductor core material (for example, Ni-Cu-Zn ferrite etc.) are desirable. In addition, the size and shape (for example, area, thickness, etc.) of the substrate depend on the application and required characteristics of the circuit to which the inductor-embedded substrate is applied, the size and shape of the first coil embedded in the substrate, etc. , Designed as appropriate.

同様に、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる隆起部は、主として磁性材料から構成される。当該隆起部において使用される磁性材料としては、例えば、インダクタ用コア材料等として使用可能な磁性材料である限り何ら限定されるものではないが、インダクタ用コア材料として広く使用されているフェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト等)が望ましい。尚、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板及び隆起部を構成する磁性材料は、同じであっても異なっていてもよい。   Similarly, the raised portion included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention is mainly composed of a magnetic material. The magnetic material used in the raised portion is not limited as long as it is a magnetic material that can be used as an inductor core material or the like. For example, a ferrite widely used as an inductor core material (for example, Ni-Cu-Zn-based ferrite, etc.) are desirable. In addition, the magnetic material which comprises the board | substrate and the protruding part which are contained in the board | substrate with a built-in inductor which concerns on the 1st aspect of this invention may be the same, or may differ.

また、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板上における隆起部の大きさや形状(例えば、面積、厚み等)は、インダクタ内蔵基板が適用される回路の用途や要求特性、当該隆起部中に埋設される第2コイルの大きさや形状等のみならず、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板上に配設される他の回路素子の大きさや形状、個数等にも応じて設計される。言い換えると、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースは、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等が配設されるスペースとなる。結果として、上記のように、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板上における隆起部の基板の面に平行な平面による断面積は基板の断面積より小さいことになる。   In addition, the size and shape (for example, area, thickness, etc.) of the raised portion on the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention are the application and required characteristics of the circuit to which the inductor-embedded substrate is applied, Not only the size and shape of the second coil embedded in the raised portion, but also the size, shape and number of other circuit elements disposed on the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention. It is designed according to etc. In other words, the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion is a circuit element other than the inductor built in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention (for example, a capacitor, Various ICs (integrated circuits, etc.) and terminals are provided. As a result, as described above, the cross-sectional area by the plane parallel to the surface of the substrate of the raised portion on the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention is smaller than the cross-sectional area of the substrate.

尚、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板及び隆起部の中に埋設された導電体からなる第1コイル及び第2コイルは、インダクタンスを大きくするためには、(コイルの中心軸に垂直な平面による)それらの断面積をできるだけ大きくすることが望ましい。換言すれば、第1コイル及び第2コイルは、例えば、コイル周辺の磁性材料の肉薄化に伴う磁気飽和に起因する透磁率の低下等の問題が生じない限り、(できるだけ大きな断面積を有するように)できるだけ大きく巻かれていることが望ましい。従って、隆起部の基板の面に平行な平面による断面積は基板の断面積よりも小さいことから、その結果として、コイルの中心軸に垂直な平面による、第2コイルの断面積は、第1コイルの断面積より小さいことが望ましい。   In order to increase the inductance, the first coil and the second coil made of the conductor embedded in the substrate and the raised portion included in the substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention ( It is desirable to make their cross-sectional areas as large as possible (by a plane perpendicular to the central axis). In other words, the first coil and the second coil have a cross-sectional area as large as possible unless problems such as a decrease in magnetic permeability due to magnetic saturation caused by thinning of the magnetic material around the coil occur. B) It is desirable that it is wound as large as possible. Accordingly, the cross-sectional area of the raised portion parallel to the plane of the substrate is smaller than the cross-sectional area of the substrate. As a result, the cross-sectional area of the second coil due to the plane perpendicular to the central axis of the coil is It is desirable to be smaller than the cross-sectional area of the coil.

これにより、従来技術と比較して、より大きなスペースをインダクタに割り当てることにより、十分なインダクタンスを達成しつつ、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。加えて、隆起部が形成されていない基板上のスペースには、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができるので、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板を用いる電気回路においては、従来技術に勝る更なる小型化・低背化が回路全体として達成される。   By allocating a larger space to the inductor, compared to the conventional technology, this achieves sufficient inductance while increasing the loss accompanying the increase in the DC resistance of the coil, and reducing the size and height of the coil. The accompanying deterioration of the DC superimposition characteristic is avoided. In addition, a circuit element other than the inductor built in the substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention (for example, a capacitor, various ICs (integrated circuits), etc.) is provided in the space on the substrate where the raised portion is not formed. In the electric circuit using the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, further downsizing and lowering the height of the circuit over the prior art can be achieved.

尚、上記隆起部及びその中に埋設された第2コイルに対応する素子をディスクリート部品として構成し、当該ディスクリート部品を上記基板上に配設することによっても、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板と類似の構成が得られると考えることもできる。しかしながら、このような構成においては、当該ディスクリート部品と基板との接続箇所に相当するスペース(高さ)が余分に必要とされるので、上述のような小型化・低背化の要求に応えることが難しくなる。   The inductor according to the first aspect of the present invention can also be configured by configuring an element corresponding to the raised portion and the second coil embedded therein as a discrete component, and disposing the discrete component on the substrate. It can be considered that a configuration similar to that of the built-in substrate can be obtained. However, in such a configuration, an extra space (height) corresponding to the connection point between the discrete component and the board is required, so that the above-mentioned demands for downsizing and low profile are met. Becomes difficult.

ところで、種々の電気回路を構成する回路素子には、比較的厚い(回路基板面に垂直な方向における高さが大きい)回路素子(例えば、各種コンデンサ等)もあれば、比較的薄い(回路基板面に垂直な方向における高さが小さい)回路素子(例えば、各種IC等)もある。従って、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板(の基板及び隆起部)に内蔵される(第1コイル及び第2コイルを含んでなる)インダクタの設計仕様上可能である場合には、上記比較的厚い回路素子の厚み(高さ)と隆起部の厚み(高さ)との間に差異を設け、この差異によって生ずる隆起部の上部のスペースに、比較的薄い回路素子(例えば、スイッチングICを始めとする各種IC等)を配設してもよい。これにより、回路全体として、より一層の小型化・低背化が達成される。   By the way, circuit elements constituting various electric circuits include relatively thick circuit elements (for example, various capacitors) that are relatively thick (height in a direction perpendicular to the circuit board surface), and relatively thin (circuit boards). There are also circuit elements (for example, various ICs) whose height in a direction perpendicular to the surface is small. Therefore, if the design specifications of the inductor (including the first coil and the second coil) built in the inductor built-in substrate (the substrate and the raised portion) according to the first aspect of the present invention are possible, A difference is provided between the thickness (height) of the relatively thick circuit element and the thickness (height) of the raised portion, and a relatively thin circuit element (for example, a switching IC) is formed in the space above the raised portion caused by this difference. Various ICs including the above may be provided. As a result, the entire circuit can be further reduced in size and height.

尚、上述のように、隆起部の大きさや形状は、インダクタ内蔵基板が適用される回路の用途や要求特性、当該隆起部中に埋設される第2コイルの大きさや形状等のみならず、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板上に配設される他の回路素子の大きさや形状、個数等にも応じて適宜設計される。従って、例えば、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板の周縁部上に隆起部を設け、当該隆起部によって囲まれる凹部を基板の中央部近傍に形成させ、当該凹部の中に他の回路素子や端子等を配設することも想定し得る。しかしながら、このように第2コイルの内側に相当する部分に空洞(キャビティ)が設けられる構成は、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる隆起部としては好ましくない。   As described above, the size and shape of the raised portion are not limited to the use and required characteristics of the circuit to which the inductor-embedded substrate is applied, the size and shape of the second coil embedded in the raised portion, and the like. It is designed as appropriate according to the size, shape, number, etc. of other circuit elements disposed on the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the invention. Therefore, for example, a raised portion is provided on the peripheral portion of the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, and a concave portion surrounded by the raised portion is formed in the vicinity of the central portion of the substrate. It is also conceivable to arrange other circuit elements, terminals and the like. However, such a configuration in which a cavity (cavity) is provided in a portion corresponding to the inside of the second coil is not preferable as a raised portion included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention.

上記のように、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板の周縁部上に隆起部を設け、隆起部によって囲まれるキャビティを基板の中央部近傍の上部に形成させて、当該キャビティの中に他の回路素子を配設する構成が好ましくない理由としては、例えば、以下の事項を挙げることができる。   As described above, the raised portion is provided on the peripheral portion of the substrate included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, and the cavity surrounded by the raised portion is formed in the upper portion near the central portion of the substrate. Examples of the reason why the configuration in which other circuit elements are arranged in the cavity are not preferable include the following.

先ず、当該構成を有するインダクタ内蔵基板を使用する電気回路において小型化・低背化を実現するには、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子や端子等をキャビティ内に配設する必要がある。しかし、キャビティは第2コイルに周囲を囲まれる配置になっており、しかもキャビティの底部は第1コイルのコアの頂部に面している。従って、第1コイル及び第2コイルから発生した磁束がキャビティ内に配設される回路素子に悪影響を及ぼす虞がある。   First, in order to realize a reduction in size and height in an electric circuit using an inductor built-in substrate having the above configuration, circuit elements, terminals, etc. other than the inductor built in the inductor built-in substrate according to the first aspect of the present invention Must be placed in the cavity. However, the cavity is arranged so as to be surrounded by the second coil, and the bottom of the cavity faces the top of the core of the first coil. Therefore, the magnetic flux generated from the first coil and the second coil may adversely affect the circuit elements disposed in the cavity.

次に、キャビティの部分には磁性材料が存在しないことから、インダクタ内蔵基板全体としての透磁率が低下してしまうのでインダクタ内蔵基板全体としてのインダクタンスも低下してしまうことに加えて、キャビティを設けるために、第2コイル近傍の磁性材料を肉薄にしたり、第2コイルの導線を細く且つ長くしたりせざるを得ず、その結果として、第2コイル近傍に磁束が集中し易い(磁気飽和を起こし易い)箇所が増えたり、第2コイルの導線が細く且つ長くなることに伴って第2コイルの直流抵抗値が増大したりする虞が高まる。   Next, since there is no magnetic material in the cavity portion, the magnetic permeability of the entire inductor-embedded substrate is lowered, so that the inductance of the entire inductor-embedded substrate is also lowered, and a cavity is provided. For this reason, the magnetic material in the vicinity of the second coil must be thinned or the conductive wire of the second coil must be made thin and long. As a result, the magnetic flux tends to concentrate in the vicinity of the second coil (magnetic saturation is reduced). There is an increased risk of increasing the number of locations) and increasing the DC resistance value of the second coil as the conductive wire of the second coil becomes thinner and longer.

尚、上記キャビティとしては、その中に他の回路素子や端子等を配設することができる程度の大きさを有する空洞(凹部)が想定されている。即ち、キャビティを設けることに伴うデメリットに関する上記議論は、例えば、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板の内部に埋設された各コイルの導線との電気的接続を確保すること等を目的として、例えば、ビアホール等の比較的小さい孔を、発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板の隆起部や基板に設けることをも排除するものではない。   The cavity is assumed to be a cavity (recess) having a size that allows other circuit elements, terminals, and the like to be disposed therein. That is, the above discussion on the disadvantages associated with providing the cavity is, for example, for the purpose of ensuring electrical connection with the conductive wires of the respective coils embedded in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention. For example, it is not excluded to provide a relatively small hole such as a via hole in the raised portion or the substrate of the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the invention.

ところで、上記基板中に埋設された導電体からなる第1コイル及び上記隆起部中に埋設された導電体からなる第2コイルは、巻線型コイルであっても積層型コイルであってもよい。これらのコイルが巻線型コイルである場合、例えば、金属等の導電体で予め形成された当該コイルを電気的に接続しておき、基板及び隆起部に対応する形状の成形空間を有する成形型の中の所定に位置に固定し、例えば、ゲルキャスト法によって当該成形型に磁性材料(例えば、フェライト)のスラリーを注入し、当該スラリーを固化させ、焼成することにより、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板を得ることができる。   By the way, the first coil made of a conductor embedded in the substrate and the second coil made of a conductor embedded in the raised portion may be a wound coil or a laminated coil. When these coils are wire-wound coils, for example, the coil formed in advance with a conductor such as metal is electrically connected, and a molding die having a molding space having a shape corresponding to the substrate and the raised portion is used. In the first embodiment of the present invention, the slurry is fixed at a predetermined position, and a slurry of a magnetic material (for example, ferrite) is injected into the mold by, for example, a gel cast method, and the slurry is solidified and fired. Such an inductor-embedded substrate can be obtained.

一方、これらのコイルが積層型コイルである場合は、例えば、ドクターブレード法等の方法によって上記のような磁性材料のスラリーから薄板状のグリーンシートを製造する。当該グリーンシート上に、導電体パターンを印刷法(例えば、スクリーン印刷法等)によって形成したものを必要な枚数だけ積層して一体化させて、導電体パターンをコイルとして成形した後に焼成することによっても、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板を得ることができる。   On the other hand, when these coils are laminated coils, a thin plate-like green sheet is manufactured from the magnetic material slurry as described above, for example, by a doctor blade method or the like. By stacking and integrating the necessary number of conductor patterns formed on the green sheet by a printing method (for example, screen printing method, etc.), forming the conductor pattern as a coil, and then firing it In addition, the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention can be obtained.

あるいは、例えば、ドクターブレード法やゲルキャスト法等を利用して磁性材料のスラリーから製造された磁性材料のシート又は樹脂フィルムなどの保護基材の上に、例えば、スクリーン印刷法等の印刷法によって導電体パターンを配設し、導電体パターンが配設されなかった部分には磁性材料のスラリーをゲルキャスト法等を利用して注入し、当該スラリーを固化させて得られる、導電体パターンが埋設された磁性材料のシートを必要な枚数だけ積層して、導電体パターンをコイルとして構成し、焼成することによっても、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板を得ることができる。   Or, for example, by a printing method such as a screen printing method on a protective substrate such as a magnetic material sheet or a resin film manufactured from a magnetic material slurry using a doctor blade method or a gel cast method. Conductor pattern is provided, and the conductive pattern obtained by injecting a slurry of magnetic material into the part where the conductor pattern is not provided using a gel cast method, etc., and solidifying the slurry is embedded. The inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention can also be obtained by laminating a required number of sheets of the magnetic material, forming a conductor pattern as a coil, and firing.

因みに、上記導電体パターンは、例えば、主成分として金、銀、銅等から選ばれる少なくとも1種類以上の金属と熱硬化性樹脂前駆体を含んでなる導体ペーストを、例えば、スクリーン印刷等の方法によって印刷することによって形成される。また、上記熱硬化性樹脂前駆体としては、例えば、フェノール樹脂、レゾール樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等を使用することができる。これらの中では、フェノール樹脂、レゾール樹脂が特に好ましい。かかる導電体ペーストを印刷した後、この導電体ペーストに含まれるバインダーを硬化させることによって、導電体パターンが得られる。   Incidentally, the conductor pattern is formed by, for example, using a conductive paste containing at least one metal selected from gold, silver, copper or the like as a main component and a thermosetting resin precursor, for example, a method such as screen printing. Formed by printing. Moreover, as said thermosetting resin precursor, a phenol resin, a resole resin, a urethane resin, an epoxy resin, a melamine resin etc. can be used, for example. Of these, phenol resins and resol resins are particularly preferable. After the conductor paste is printed, the conductor pattern is obtained by curing the binder contained in the conductor paste.

尚、上記に挙げた本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板の製造方法はあくまでも例示であり、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板の製造方法はこれらの特定の方法に限定されるものではない。   The above-described method for manufacturing a substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention is merely an example, and the method for manufacturing a substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention is limited to these specific methods. It is not a thing.

以上のように、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板においては、基板中に埋設された導電体からなる第1コイルと隆起部中に埋設された導電体からなる第2コイルとが直接的又は間接的に電気的に接続されている。即ち、従来技術のように基板中にのみコイルを埋設したり、コイルをディスクリート部品として基板上に配設したりする場合と比較して、より大きなスペースをインダクタに割り当てることができるので、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。   As described above, in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, the first coil made of the conductor embedded in the substrate and the second coil made of the conductor embedded in the raised portion are directly connected. Connected electrically or indirectly. That is, a larger space can be allocated to the inductor as compared with the case where the coil is embedded only in the substrate as in the prior art or the coil is disposed on the substrate as a discrete component. In the case of an inductor having a reduced size and a reduced height, it is possible to avoid an increase in loss due to an increase in the DC resistance of the coil and a deterioration in DC superposition characteristics due to a reduction in the size and the height of the coil.

更に、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースには、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができる。その結果、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板が適用される電気回路においては、従来技術に勝る小型化・低背化が回路全体として達成される。   Further, in the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion, circuit elements other than the inductor built in the inductor built-in substrate according to the first aspect of the present invention (for example, a capacitor, Various ICs (integrated circuits, etc.), terminals and the like can be provided. As a result, in the electric circuit to which the substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention is applied, downsizing and reduction in height over the conventional technique can be achieved as a whole circuit.

ところで、一般的には、コイルは導電体の螺旋構造が筒状(例えば、円筒状、角筒状等)の形状を呈するように構成される。従って、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板に含まれる第1コイル及び第2コイルもまた、導電体の螺旋構造が筒状(例えば、円筒状、角筒状等)の形状を呈するように構成されるのが一般的である。即ち、本発明の第1態様に係るインダクタ内蔵基板においては、筒状(例えば、円筒状、角筒状等)の形状を呈する第2コイルが内部に埋設された隆起部は、柱状(例えば、円柱状、角柱状等)の形状を呈するのが一般的である。   By the way, in general, the coil is configured such that the spiral structure of the conductor has a cylindrical shape (for example, a cylindrical shape, a rectangular tube shape, or the like). Therefore, in the first coil and the second coil included in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, the spiral structure of the conductor also has a cylindrical shape (for example, a cylindrical shape, a rectangular tube shape, etc.). Generally, it is configured as follows. That is, in the inductor-embedded substrate according to the first aspect of the present invention, the raised portion in which the second coil having a cylindrical shape (for example, a cylindrical shape, a rectangular tube shape, etc.) is embedded is columnar (for example, In general, it has a cylindrical shape, a prismatic shape, or the like.

しかしながら、本発明に係るインダクタ内蔵基板における隆起部の形状は、必ずしも柱状(例えば、円柱状、角柱状等)である必要は無い。例えば、製造上の理由や、隆起部が配設されていない基板の表面上に、隆起部に隣接して配設される回路素子の形状等により、本発明に係るインダクタ内蔵基板における隆起部は、例えば、錐状(例えば、円錐状、角錐状等)の形状を有していてもよい。その結果、かかる隆起部中に埋設される第2コイルもまた、例えば、錐状(例えば、円錐状、角錐状等)の形状を有していてもよい。   However, the shape of the raised portion in the inductor-embedded substrate according to the present invention is not necessarily columnar (for example, cylindrical, prismatic, etc.). For example, the raised portion in the inductor-embedded substrate according to the present invention depends on the manufacturing reason and the shape of the circuit element arranged adjacent to the raised portion on the surface of the substrate on which the raised portion is not arranged. For example, you may have a cone shape (for example, cone shape, pyramid shape, etc.). As a result, the second coil embedded in the raised portion may also have, for example, a cone shape (for example, a cone shape, a pyramid shape, etc.).

また、前述のように、隆起部の上部のスペースには、本発明に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することもできる。この場合、隆起部の頂面に段差を設ける等して、高さの異なる複数の回路素子や端子を隆起部の頂面に配設してもよい。このように、隆起部の頂面に段差を設ける場合もまた、第2コイルは、前述のように、例えば、コイル周辺の磁性材料の肉薄化に伴う磁気飽和に起因する透磁率の低下等の問題が生じない限り、できるだけ大きな断面積を有するように、できるだけ大きく巻かれていることが望ましい。   In addition, as described above, circuit elements (for example, capacitors, various ICs (integrated circuits), etc.) other than the inductor built in the inductor built-in substrate according to the present invention, terminals, and the like are arranged in the space above the raised portion. It can also be set up. In this case, a plurality of circuit elements and terminals having different heights may be provided on the top surface of the raised portion, for example, by providing a step on the top surface of the raised portion. In this way, when the step is provided on the top surface of the raised portion, the second coil has a lower magnetic permeability due to magnetic saturation accompanying thinning of the magnetic material around the coil as described above. Unless a problem arises, it is desirable to wind as much as possible so as to have as large a cross-sectional area as possible.

即ち、上記のように隆起部の頂面に段差を設ける場合(即ち、隆起部の頂部の形状が階段状である場合)、当該隆起部中に埋設される第2コイルの形状は、当該隆起部の形状に対応したものとなるのが望ましい。具体的には、当該隆起部中に埋設される第2コイルの断面積が、当該隆起部の頂面の形状に対応して、段階的に変化するように、第2コイルの形状が構成されるのが望ましい。   That is, when a step is provided on the top surface of the raised portion as described above (that is, when the shape of the top portion of the raised portion is stepped), the shape of the second coil embedded in the raised portion is the height of the raised portion. It is desirable to correspond to the shape of the part. Specifically, the shape of the second coil is configured such that the cross-sectional area of the second coil embedded in the raised portion changes stepwise corresponding to the shape of the top surface of the raised portion. Is desirable.

更に、例えば、製造上の理由や、隆起部に求められる機械的強度、その他の何等かの理由により、本発明に係るインダクタ内蔵基板における隆起部と基板との境界領域近傍において、例えば、テーパ形状等の、隆起部の側面と基板の表面とをより連続的に繋ぐ形状を形成してもよい。   Further, for example, in the vicinity of the boundary region between the raised portion and the substrate in the inductor-embedded substrate according to the present invention due to manufacturing reasons, mechanical strength required for the raised portion, or any other reason, for example, a tapered shape A shape that continuously connects the side surface of the raised portion and the surface of the substrate may be formed.

上記に対応して、本発明に係るインダクタ内蔵基板に埋設される第1コイルと第2コイルとの接続領域近傍に対応する基板及び/又は隆起部の領域に埋設された少なくとも1巻き分の導電体からなる中間コイルを更に配設してもよい。当該中間コイルの導電体の螺旋構造は、第1コイルの導電体の螺旋構造の第2コイル側の端部における(コイルの中心軸に垂直な平面による)断面と、第2コイルの導電体の螺旋構造の第1コイル側の端部における(コイルの中心軸に垂直な平面による)断面とを、連続的に繋ぐ形状を呈するように形成してもよい。   Corresponding to the above, at least one turn of the conductive material embedded in the region of the substrate and / or the raised portion corresponding to the vicinity of the connection region between the first coil and the second coil embedded in the inductor-embedded substrate according to the present invention. An intermediate coil made of a body may be further arranged. The spiral structure of the conductor of the intermediate coil includes a cross section (by a plane perpendicular to the central axis of the coil) at the end on the second coil side of the spiral structure of the conductor of the first coil, and the conductor structure of the second coil. You may form so that the cross section (by the plane perpendicular | vertical to the central axis of a coil) in the edge part by the side of the 1st coil of a helical structure may be connected continuously.

尚、上記中間コイルの導電体の巻き数が少ない場合、当該導電体の螺旋構造の形状が特定し難い場合も想定される。かかる場合は、中間コイルの導電体の螺旋構造の形状が必ずしも上記のような形状を呈する必要は無く、中間コイルの導電体が、第1コイルの第2コイル側の端部における第1コイルの断面と第2コイルの第1コイル側の端部における第2コイルの断面とを連続的に繋ぐ形状に対応する位置に配設されていればよい。   When the number of turns of the conductor of the intermediate coil is small, it may be difficult to specify the shape of the spiral structure of the conductor. In such a case, the shape of the spiral structure of the conductor of the intermediate coil does not necessarily have the shape as described above, and the conductor of the intermediate coil is the first coil at the end of the first coil on the second coil side. What is necessary is just to be arrange | positioned in the position corresponding to the shape which connects a cross section and the cross section of the 2nd coil in the edge part by the side of the 1st coil of a 2nd coil continuously.

また、上記中間コイルを、上述のように第1コイルと第2コイルとの接続領域近傍に配設するのみならず、例えば、前述のように隆起部の頂部が階段状の形状を有する場合における、第2コイルの断面積が段階的に変化する箇所に設けてもよい。その結果として、階段状の形状を有する隆起部中に埋設される第2コイルの頂部の形状が連続的な錐状(例えば、円錐状、角錐状等)の形状を有していてもよい。   Further, the intermediate coil is not only disposed in the vicinity of the connection region between the first coil and the second coil as described above, but, for example, when the top of the raised portion has a stepped shape as described above. The second coil may be provided at a location where the cross-sectional area changes stepwise. As a result, the shape of the top of the second coil embedded in the raised portion having a stepped shape may have a continuous cone shape (for example, a cone shape, a pyramid shape, etc.).

上述のように、本発明に係るインダクタ内蔵基板においては、例えば、製造上の理由や、隆起部が配設されていない基板の表面上に、隆起部に隣接して配設される回路素子の形状等に対応して、隆起部を種々の形状とすることができ、これに対応して、隆起部中に埋設される第2コイルもまた、種々の形状とすることができる。更に、前述のように、本発明に係るインダクタ内蔵基板に含まれる(第1コイル及び第2コイルを含んでなる)コイルの断面積が不連続に変化する領域に中間コイルを配設して、コイルの断面積が連続的に変化するようにしてもよい。尚、上記中間コイルは、前述の第1コイル及び第2コイルと同様の手法により製造することができるので、ここでは中間コイルの材質や製造方法についての詳細な説明は割愛する。   As described above, in the substrate with a built-in inductor according to the present invention, for example, on the surface of a substrate on which a raised portion is not provided, for manufacturing reasons, the circuit element provided adjacent to the raised portion. Corresponding to the shape and the like, the raised portion can have various shapes, and in response to this, the second coil embedded in the raised portion can also have various shapes. Furthermore, as described above, the intermediate coil is disposed in the region where the cross-sectional area of the coil (including the first coil and the second coil) included in the inductor-embedded substrate according to the present invention changes discontinuously, You may make it the cross-sectional area of a coil change continuously. In addition, since the said intermediate coil can be manufactured by the method similar to the above-mentioned 1st coil and 2nd coil, the detailed description about the material and manufacturing method of an intermediate coil is omitted here.

インダクタ内蔵基板全体としてのインダクタンスを高めるための更なる方策としては、例えば、インダクタ内蔵基板に含まれるコイルの多重化を挙げることができる。コイルの多重化は、前述の第1コイル及び第2コイルの両方又は何れかについて行うことができる。また、コイルの多重化のために新たに追加されるコイルは、対象となるコイルの内側及び/又は外側に配設することができる。   As a further measure for increasing the inductance of the whole substrate with built-in inductor, for example, multiplexing of coils included in the substrate with built-in inductor can be mentioned. Coil multiplexing can be performed for both or either of the first and second coils described above. In addition, a coil newly added for coil multiplexing can be arranged inside and / or outside the target coil.

但し、本発明に係るインダクタ内蔵基板に含まれる隆起部においては、スペース面での余裕が少ないため、コイルの多重化を行おうとすると、コイル近傍の磁性材料を肉薄にしたり、導電体を細くしたりせざるを得ず、結果として、コイルの直流重畳特性の悪化や、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大を招く虞がある。従って、コイルの多重化は、本発明に係るインダクタ内蔵基板に含まれる基板中で行われることが望ましい。   However, in the raised portion included in the substrate with built-in inductor according to the present invention, there is little room in space, so when attempting to multiplex coils, the magnetic material near the coil is made thinner or the conductor is made thinner. As a result, there is a possibility that the direct current superimposition characteristics of the coil are deteriorated and the loss accompanying the increase of the direct current resistance of the coil is increased. Therefore, it is desirable that the multiplexing of the coil is performed in a substrate included in the inductor-embedded substrate according to the present invention.

即ち、本発明の第2態様に係るインダクタ内蔵基板は、
本発明の前記第1態様に係るインダクタ内蔵基板であって、
前記基板中に埋設された導電体からなる第3コイルであって、前記第1コイル及び前記第2コイルのうち少なくとも1つと直接的又は間接的に電気的に接続された第3コイルを更に含んでなること、並びに
前記第3コイルが前記第1コイルの内側及び/又は外側に形成されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板である。
That is, the substrate with a built-in inductor according to the second aspect of the present invention is
The substrate with a built-in inductor according to the first aspect of the present invention,
A third coil made of a conductor embedded in the substrate, further comprising a third coil that is directly or indirectly electrically connected to at least one of the first coil and the second coil; And the third coil is formed inside and / or outside the first coil,
It is a board | substrate with a built-in inductor characterized by these.

上記第3コイルは、前述の第1コイル及び第2コイルと同様の手法により製造することができるので、ここでは第3コイルの材質や製造方法についての詳細な説明は割愛する。
上述のように、本発明の第2態様に係るインダクタ内蔵基板によれば、基板中に埋設された導電体からなる第1コイルの内側及び/又は外側に第3コイルを形成することにより、インダクタ内蔵基板全体としてのインダクタンスを更に高めることができる。
Since the third coil can be manufactured by the same method as the first coil and the second coil described above, a detailed description of the material and manufacturing method of the third coil is omitted here.
As described above, according to the inductor-embedded substrate according to the second aspect of the present invention, the third coil is formed inside and / or outside of the first coil made of the conductor embedded in the substrate, whereby the inductor The inductance of the entire built-in substrate can be further increased.

ところで、コイルの中心軸方向の両端部においては、コイルを構成する各導線から発生する磁束の向きが揃い易い。そのため、例えば、コイルの中心軸方向の両端部近傍の磁性材料の厚みが不十分(肉薄)である場合、当該箇所において磁気飽和に起因する直流重畳特性の悪化が生じ易い。   By the way, at both ends in the central axis direction of the coil, the directions of magnetic fluxes generated from the respective conductive wires constituting the coil are easily aligned. Therefore, for example, when the thickness of the magnetic material in the vicinity of both end portions in the central axis direction of the coil is insufficient (thin), the direct current superimposition characteristics due to magnetic saturation are likely to deteriorate at that location.

かかる重畳特性の劣化を回避するには、コイルの中心軸方向の両端部における磁束の集中による磁気飽和を抑制する必要がある。かかる対策としては、例えば、インダクタ内蔵基板に含まれる基板及び/又は隆起部を構成する磁性材料中に、少なくとも1層の主として非磁性材料を含んでなる非磁性層を配設することが挙げられる。   In order to avoid such deterioration of the superposition characteristics, it is necessary to suppress magnetic saturation due to concentration of magnetic flux at both ends in the central axis direction of the coil. Such measures include, for example, disposing at least one nonmagnetic layer mainly including a nonmagnetic material in the magnetic material constituting the substrate and / or the raised portion included in the inductor built-in substrate. .

上記のようにインダクタ内蔵基板に含まれる基板及び/又は隆起部に非磁性層を配設すると、当該非磁性層を挟んで対向する磁性層(基板及び/又は隆起部のうち主として磁性材料によって構成される部分)に埋設されたコイル(例えば、第1コイル、第2コイル等)から発生する磁束が当該非磁性層によって遮断される。これにより、上述のようなコイルの中心軸方向の両端部における磁束の集中による磁気飽和が抑制され、上述のような重畳特性の劣化が回避される。   As described above, when a nonmagnetic layer is disposed on the substrate and / or the raised portion included in the inductor-embedded substrate, the magnetic layers facing each other with the nonmagnetic layer interposed therebetween (consisting mainly of a magnetic material of the substrate and / or the raised portion) The magnetic flux generated from the coil (for example, the first coil, the second coil, etc.) embedded in the portion) is blocked by the nonmagnetic layer. As a result, magnetic saturation due to concentration of magnetic flux at both ends in the central axis direction of the coil as described above is suppressed, and deterioration of the superposition characteristics as described above is avoided.

従って、本発明の第3態様に係るインダクタ内蔵基板は、
本発明の前記第1態様又は前記第2態様の何れかに係るインダクタ内蔵基板であって、
前記基板及び/又は前記隆起部を構成する磁性材料中に、少なくとも1層の主として非磁性材料を含んでなる非磁性層を更に含んでなること、並びに
前記非磁性層が、前記第1コイル乃至前記第3コイルのうち少なくとの1つのコイルの中心軸と交差するように構成されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板である。
Therefore, the inductor-embedded substrate according to the third aspect of the present invention is
An inductor-embedded substrate according to either the first aspect or the second aspect of the present invention,
The magnetic material constituting the substrate and / or the raised portion further includes at least one nonmagnetic layer mainly including a nonmagnetic material, and the nonmagnetic layer includes the first coil to the first coil. Being configured to intersect the central axis of at least one of the third coils,
It is a board | substrate with a built-in inductor characterized by these.

上記非磁性層は、例えば、磁性材料のスラリーの代わりに非磁性材料のスラリーを使用して、インダクタ内蔵基板に含まれる基板及び/又は隆起部を構成する磁性材料と同様の手法によって製造することができる。尚、上記非磁性材料は、基板、隆起部、及び各種コイルを含んでなるインダクタ内蔵基板の製造工程に耐え、且つ前述の磁性材料よりも十分に低い透磁率(望ましくは、約1.0の透磁率)を有する限り、特定の材料に限定されるものではないが、例えば、Zn系フェライト、Cu系フェライト等の非磁性フェライトや、ガラスセラミックを挙げることができる。これらの中でも、X−Fe(XはCu、Zn)として示される正スピネル構造の固溶体であるCu−Zn系フェライトが好適である。 The nonmagnetic layer is manufactured by using a nonmagnetic material slurry instead of the magnetic material slurry by the same method as the magnetic material constituting the substrate and / or the raised portion included in the inductor built-in substrate, for example. Can do. The non-magnetic material can withstand the manufacturing process of the substrate with a built-in inductor including the substrate, the raised portion, and various coils, and has a sufficiently low magnetic permeability (preferably about 1.0). The material is not limited to a specific material as long as it has a magnetic permeability), and examples thereof include nonmagnetic ferrite such as Zn-based ferrite and Cu-based ferrite, and glass ceramic. Among these, Cu—Zn-based ferrite which is a solid solution having a positive spinel structure represented as X—Fe 2 O 4 (X is Cu, Zn) is preferable.

また、上記非磁性層は、インダクタ内蔵基板に含まれる各種コイルの構成や想定される用途に応じて、インダクタ内蔵基板に含まれる基板及び隆起部の両方若しくは何れか片方に、それぞれ1層若しくは複数層を設けることができる。尚、上述のように非磁性層を挟んで対向する磁性層に埋設されたコイルから発生する磁束を遮断するという目的を達成するためには、非磁性層の厚みは、好ましくは5μm以上であり、より好ましくは10μm以上である。   In addition, the nonmagnetic layer may include one or a plurality of layers on both or either one of the substrate and the raised portion included in the inductor built-in substrate, depending on the configuration of various coils included in the inductor built-in substrate and the intended use. A layer can be provided. In order to achieve the object of blocking the magnetic flux generated from the coil embedded in the opposing magnetic layer across the nonmagnetic layer as described above, the thickness of the nonmagnetic layer is preferably 5 μm or more. More preferably, it is 10 μm or more.

更に、上記非磁性層は、上述のように非磁性層を挟んで対向する磁性層に埋設されたコイルから発生する磁束を遮断することにより、コイルの中心軸方向の両端部における磁束の集中による磁気飽和を目的として配設される。従って、かかる目的を有効に達成するためには、非磁性層が、磁束を遮断しようとする対象コイルの中心軸と交差するように構成されていることが必要である。   Further, the non-magnetic layer blocks the magnetic flux generated from the coil embedded in the opposing magnetic layer with the non-magnetic layer sandwiched therebetween as described above, thereby concentrating the magnetic flux at both ends in the central axis direction of the coil. Arranged for the purpose of magnetic saturation. Therefore, in order to effectively achieve such an object, it is necessary that the nonmagnetic layer is configured to intersect with the central axis of the target coil that is intended to block the magnetic flux.

上述のように、本発明の第3態様に係るインダクタ内蔵基板によれば、非磁性層を挟んで対向する磁性層に埋設されたコイルから発生する磁束が非磁性層によって遮断されることにより、コイルの中心軸方向の両端部における磁束の集中による磁気飽和に起因する重畳特性の劣化が抑制される。   As described above, according to the inductor-embedded substrate according to the third aspect of the present invention, the magnetic flux generated from the coil embedded in the opposing magnetic layer with the nonmagnetic layer interposed therebetween is blocked by the nonmagnetic layer. Deterioration of superposition characteristics due to magnetic saturation due to magnetic flux concentration at both ends in the central axis direction of the coil is suppressed.

以上、本発明の各種実施態様に係るインダクタ内蔵基板の構成及び優位性について説明してきたが、前述のように、本発明の目的は、例えば、携帯端末等に含まれる各種電気回路の小型化・低背化への要求を満たしつつ、低い直流抵抗と改善された直流重畳特性とを兼備するインダクタを提供することにある。逆に言えば、本発明に係るインダクタ内蔵基板は、低い直流抵抗と改善された直流重畳特性とを維持しつつ、例えば、携帯端末等に含まれる各種電気回路の小型化・低背化への要求を満たすことを目的とするものである。   As described above, the configuration and superiority of the inductor-embedded substrate according to various embodiments of the present invention have been described. As described above, the object of the present invention is, for example, the miniaturization / reduction of various electric circuits included in portable terminals and the like. An object of the present invention is to provide an inductor having both a low DC resistance and an improved DC superposition characteristic while satisfying the demand for a low profile. Conversely, the substrate with a built-in inductor according to the present invention maintains, for example, low DC resistance and improved DC superposition characteristics, while reducing the size and height of various electric circuits included in mobile terminals, for example. The purpose is to meet the requirements.

従って、本発明の第4態様は、
本発明の前記第1態様乃至前記第3態様の何れかに係るインダクタ内蔵基板を含んでなる電気回路である。
Therefore, the fourth aspect of the present invention is
An electric circuit comprising an inductor-embedded substrate according to any one of the first to third aspects of the present invention.

前述のように、本発明に係るインダクタ内蔵基板は、磁性材料を含んでなる基板中に埋設された第1コイル及び磁性材料を含んでなる隆起部中に埋設された第2コイルを備えている。従って、従来技術のように基板中にのみコイルを埋設したり、コイルをディスクリート部品として基板上に配設したりする場合と比較して、より大きなスペースをインダクタに割り当てることができる。その結果、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。係る利点に加えて、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースには、本発明に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができるので、回路全体として従来技術に勝る小型化・低背化を達成することができる。   As described above, the inductor-embedded substrate according to the present invention includes the first coil embedded in the substrate including the magnetic material and the second coil embedded in the raised portion including the magnetic material. . Therefore, a larger space can be allocated to the inductor as compared with the case where the coil is embedded only in the substrate as in the prior art or the coil is disposed as a discrete component on the substrate. As a result, as with inductors that have been reduced in size and height in the prior art, the loss increases as the DC resistance of the coil increases, and the DC superimposition characteristics deteriorate as the coil size and height decreases. Is avoided. In addition to such advantages, a circuit element (for example, a capacitor, etc.) other than the inductor built in the inductor built-in substrate according to the present invention may be included in the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion. Since various ICs (integrated circuits, etc.) and terminals can be arranged, the entire circuit can be reduced in size and height over the prior art.

ところで、前述のように、種々の電気回路に対する小型化・低背化の要求は携帯端末において特に強い。また、昨今の多機能化を実現するために携帯端末には種々の追加回路が搭載されるようになっており、これらの追加回路には、それぞれの構成に応じて種々の電源電圧を供給する必要がある。一方で、携帯端末は電源として電池を用いるものが多い。従って、携帯端末は、電池によって供給される電源電圧を各種追加回路に最適な動作電圧に変換するための電源回路を備える必要があり、当該電源回路においては、出力電圧を平滑化する機能を実現する素子としてインダクタが必要である。しかも、携帯端末においては、1つの電池を複数の回路で共有するため、電源回路における損失を抑制することが、電池寿命の観点から重要である。かかる状況に照らせば、本発明に係るインダクタ内蔵基板は、電源回路用のインダクタとして利用されることが望ましい。   By the way, as described above, the demand for miniaturization and low profile for various electric circuits is particularly strong in portable terminals. Further, in order to realize the recent multi-functionalization, various additional circuits are mounted on the mobile terminal, and various power supply voltages are supplied to these additional circuits according to the respective configurations. There is a need. On the other hand, many portable terminals use a battery as a power source. Therefore, the mobile terminal needs to have a power supply circuit for converting the power supply voltage supplied by the battery into an operating voltage optimum for various additional circuits, and the power supply circuit realizes a function of smoothing the output voltage. An inductor is required as an element to perform. Moreover, in a mobile terminal, since one battery is shared by a plurality of circuits, it is important from the viewpoint of battery life to suppress loss in the power supply circuit. In view of this situation, the inductor-embedded substrate according to the present invention is preferably used as an inductor for a power supply circuit.

即ち、本発明の第5態様は、
本発明の前記第4態様に係る電気回路であって、前記電気回路が電源回路を構成することを特徴とする電気回路である。
That is, the fifth aspect of the present invention is
The electric circuit according to the fourth aspect of the present invention, wherein the electric circuit constitutes a power supply circuit.

ところで、上記のように電源回路において、電流値によらず高い効率を実現したり、出力電圧を平滑化する機能を安定して実現するには、前述のように、インダクタに流れる電流値の増大に伴う磁気飽和に起因する磁性材料における透磁率の低下を生じ難い、良好な直流重畳特性を有するインダクタを使用することが望ましい。直流重畳特性が低いインダクタを使用すると、DC−DCコンバータの効率が劣化したり、出力電圧が十分に平滑化されず、インダクタの出力側に過大な電流が流れ、出力側に接続された他の回路素子や他の回路の故障等を招く虞がある。特に、直流・直流変換器(DC−DCコンバータ)を構成するスイッチングICについては、電流値によらず高い効率を維持することと、供給電圧の平滑化を安定に実行することが極めて重要である。かかる状況に照らせば、本発明に係るインダクタ内蔵基板は、直流・直流変換器用のインダクタとして利用されることが望ましい。   By the way, in the power supply circuit as described above, in order to achieve high efficiency regardless of the current value and to stably realize the function of smoothing the output voltage, as described above, the increase in the value of the current flowing through the inductor It is desirable to use an inductor having good direct current superposition characteristics that is unlikely to cause a decrease in magnetic permeability in a magnetic material due to magnetic saturation caused by the magnetic field. If an inductor with low DC superimposition characteristics is used, the efficiency of the DC-DC converter will deteriorate, the output voltage will not be smoothed sufficiently, an excessive current will flow to the output side of the inductor, and other inductors connected to the output side will There is a risk of failure of circuit elements and other circuits. In particular, for switching ICs that constitute DC / DC converters (DC-DC converters), it is extremely important to maintain high efficiency regardless of current value and to stably perform supply voltage smoothing. . In view of such a situation, the substrate with a built-in inductor according to the present invention is preferably used as an inductor for a DC / DC converter.

即ち、本発明の第6態様は、
本発明の前記第5態様に係る電気回路であって、前記電源回路が直流・直流変換器を構成することを特徴とする電気回路である。
上述のように、直流・直流変換器(DC−DCコンバータ)は、本発明に係るインダクタ内蔵基板の利点を最大限に発揮し得る用途の1つである。
That is, the sixth aspect of the present invention is
The electric circuit according to the fifth aspect of the present invention, wherein the power supply circuit constitutes a DC / DC converter.
As described above, the DC / DC converter (DC-DC converter) is one of the applications that can maximize the advantages of the substrate with a built-in inductor according to the present invention.

以上のように、本発明に係るインダクタ内蔵基板によれば、従来技術のように基板中にのみコイルを埋設したり、コイルをディスクリート部品として基板上に配設したりする場合と比較して、より大きなスペースをインダクタに割り当てることができる。その結果、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。   As described above, according to the inductor built-in substrate according to the present invention, compared to the case where the coil is embedded only in the substrate as in the prior art or the coil is disposed on the substrate as a discrete component, More space can be allocated to the inductor. As a result, as with inductors that have been reduced in size and height in the prior art, the loss increases as the DC resistance of the coil increases, and the DC superimposition characteristics deteriorate as the coil size and height decreases. Is avoided.

尚、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースには、本発明に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができるので、回路全体としての小型化・低背化も十分に達成される。即ち、本発明に係るインダクタ内蔵基板によれば、回路の小型化・低背化への要求を満たしつつ、低い直流抵抗と改善された直流重畳特性とを兼備するインダクタを提供するという目的が達成される。   In addition, in the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion, circuit elements other than the inductor built in the substrate with built-in inductor according to the present invention (for example, capacitors, various ICs (integrated) Circuit) etc.) and terminals etc. can be provided, so that the entire circuit can be sufficiently reduced in size and height. That is, according to the substrate with a built-in inductor according to the present invention, the object of providing an inductor having both a low DC resistance and an improved DC superimposition characteristic while satisfying the demand for circuit miniaturization and low profile is achieved. Is done.

以下、本発明の幾つかの実施態様に係るインダクタ内蔵基板につき、添付図面等を参照しつつ説明する。但し、以下に述べる説明はあくまで例示を目的とするものであり、本発明の範囲が以下の説明に限定されるものと解釈されるべきではない。   Hereinafter, a substrate with a built-in inductor according to some embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the following description is for illustrative purposes only, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following description.

1.各種インダクタ内蔵基板の構成
表1は、本発明の優位性を説明する実施例として製造した各種インダクタ内蔵基板の構成及び特性を示す。先ず、各種インダクタ内蔵基板の構成について説明する。尚、実施例として製造した各種サンプルは何れも、スクリーン印刷法によって配設される導電体パターンに、ゲルキャスト法によって磁性材料又は非磁性材料を注入して得られる層を必要な枚数だけ積層し、導電体パターンをコイルとして構成し、焼成することにより製造した。
1. Various inductor internal configuration table 1 of the substrate shows a structure and characteristics of the various inductor embedded substrate manufactured as examples illustrating the superiority of the present invention. First, the configuration of various inductor-embedded substrates will be described. In addition, all the various samples manufactured as examples are laminated with a necessary number of layers obtained by injecting a magnetic material or a non-magnetic material by a gel casting method on a conductor pattern arranged by a screen printing method. The conductor pattern was formed as a coil and fired.

但し、ここで説明する各種実施例及び比較例において、導体ペーストは、 銀(Ag)に、熱硬化性フェノール樹脂、酢酸ブチルカルビトール、メラミン樹脂粉末を加え構成した。尚、メラミン樹脂粉末の量は、焼成時における磁性体部(フェライト)とコイル部(導電体部)との収縮差を 出来るだけ小さくするように調整した。
また、各種実施例及び比較例において、磁性体層のフェライト材料は、Ni−Cu−Zn系フェライトとし、非磁性体層のフェライト材料は、Cu−Zn系フェライトとした。
However, in the various examples and comparative examples described here, the conductor paste was constituted by adding thermosetting phenol resin, butyl carbitol acetate, and melamine resin powder to silver (Ag). The amount of melamine resin powder was adjusted so that the shrinkage difference between the magnetic part (ferrite) and the coil part (conductor part) during firing was as small as possible.
In various examples and comparative examples, the ferrite material of the magnetic layer was Ni—Cu—Zn-based ferrite, and the ferrite material of the non-magnetic layer was Cu—Zn-based ferrite.

更に、磁性材料及び非磁性材料の層の厚みは何れも20μmとした(但し、キャビティ構造を有するサンプルCVTYW及びCVTYNにおける非磁性層の厚みは、それぞれ100μm及び150μmとした)。更に、各種サンプルにおけるコイルは四角柱状の螺旋構造を呈しており、その巻き数は断面の1辺当たり0.25としてカウントした。尚、以下に説明する各種サンプルの構成を示す図面においては、基板や隆起部に埋設されたコイルの構造を見え易くするために、非磁性層は図示しない。   Furthermore, the thicknesses of the magnetic material and nonmagnetic material layers were both 20 μm (however, the thicknesses of the nonmagnetic layers in the samples CVTYW and CVTYN having a cavity structure were 100 μm and 150 μm, respectively). Furthermore, the coils in the various samples had a square columnar spiral structure, and the number of turns was counted as 0.25 per side of the cross section. In the drawings showing the configurations of various samples described below, the nonmagnetic layer is not shown in order to make the structure of the coil embedded in the substrate or the raised portion easier to see.

番号「LL310」によって示されるサンプル(以降、単に「サンプルLL310」と称する。他のサンプルについても同様)は、比較例としてのサンプルである。具体的には、サンプルLL310は、本発明に係るインダクタ内蔵基板とは異なり、基板上に隆起部が配設されておらず、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設されたコイルのみを備えている(図4参照)。より詳細には、表1に示されているように、サンプルLL310は、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.4mmの外寸を有する。このフェライト製の基板中に、幅220μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が3.25回のコイルが形成されている。尚、サンプルLL310においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、下から2番目の層と3番目の層との間に1層の非磁性層が配設されている。   A sample indicated by the number “LL310” (hereinafter, simply referred to as “sample LL310”. The same applies to other samples) is a sample as a comparative example. Specifically, unlike the substrate with a built-in inductor according to the present invention, the sample LL310 is provided with only a coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material, without a raised portion on the substrate. (See FIG. 4). More specifically, as shown in Table 1, the sample LL310 has outer dimensions of a width of 2.9 mm, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.4 mm. In this ferrite substrate, a coil having a winding number of 3.25 is formed by a conductor pattern having a width of 220 μm and a height (thickness) of 10 μm. In Sample LL310, as shown in Table 1, one nonmagnetic layer is disposed between the second and third layers from the bottom among the layers including the conductor pattern. Has been.

また、サンプルLL320は、幅195μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルLL310と同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。以上のように、サンプルLL310及びLL20は、本発明に係るインダクタ内蔵基板における基板部分のみからなる構成に対応する比較例としてのサンプルである。
Sample LL320 is a sample as a comparative example having the same configuration as sample LL310 except that a thicker conductor pattern having a width of 195 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. As described above, the sample LL310 and LL 3 20 is sample as a comparative example corresponding to only consist of component substrate portion in the inductor embedded substrate according to the present invention.

次に、サンプルSH410は、上記サンプルLL310やLL320が本発明に係るインダクタ内蔵基板における基板部分のみからなる構成に対応する比較例であるのに対し、これらよりも平面積が小さい隆起部のみからなる構成に対応する比較例である。具体的には、サンプルSH410は、本発明に係るインダクタ内蔵基板とは異なり、磁性材料としてのフェライトからなる隆起部中に埋設されたコイルのみを備えている(但し、隆起部の高さ(厚み)は、本発明に係るインダクタ内蔵基板における基板の高さ(厚み)と隆起部の高さ(厚み)との合計に相当する高さ(厚み)とした)(図5参照)。   Next, the sample SH410 is a comparative example corresponding to the configuration in which the samples LL310 and LL320 include only the substrate portion of the inductor-embedded substrate according to the present invention, whereas the sample SH410 includes only a raised portion having a smaller planar area than these. It is a comparative example corresponding to a structure. Specifically, unlike the inductor built-in substrate according to the present invention, the sample SH410 includes only a coil embedded in a raised portion made of ferrite as a magnetic material (however, the height (thickness of the raised portion)). ) Is the height (thickness) corresponding to the sum of the height (thickness) of the substrate and the height (thickness) of the raised portion in the inductor-embedded substrate according to the present invention) (see FIG. 5).

より詳細には、表1に示されているように、サンプルSH410は、幅2.3mm、奥行き1.3mm、高さ(厚み)0.6mmの外寸を有する。このフェライト製の隆起部中に、幅195μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が4.25回のコイルが形成されている。尚、サンプルSH410においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、下から2番目の層と3番目の層との間、及び下から4番目の層と5番目の層との間にそれぞれ1層(即ち、合計で2層)の非磁性層が配設されている。   More specifically, as shown in Table 1, the sample SH410 has outer dimensions of 2.3 mm in width, 1.3 mm in depth, and 0.6 mm in height (thickness). A coil having a winding number of 4.25 is formed in the ferrite raised portion by a conductor pattern having a width of 195 μm and a height (thickness) of 10 μm. In sample SH410, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, the second layer from the bottom and the third layer, and the fourth layer from the bottom and 5 One non-magnetic layer (that is, a total of two layers) is disposed between the second layer and the second layer.

また、サンプルSH420は、幅185μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルSH410と同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。   Sample SH420 is a sample as a comparative example having the same configuration as sample SH410 except that a thicker conductor pattern having a width of 185 μm and a height (thickness) of 20 μm is used.

次に、サンプルSH610は、幅250μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンが使用されていること、及び導電体パターンの巻き数が6.25回であることを除き、サンプルSH410と同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。また、サンプルSH620は、幅235μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルSH610と同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。以上のように、サンプルSH410、SH420、SH610、及びSH620は、本発明に係るインダクタ内蔵基板における隆起部のみからなる構成に対応する比較例である。   Next, sample SH610 has the same configuration as sample SH410 except that a conductor pattern having a width of 250 μm and a height (thickness) of 10 μm is used, and the number of windings of the conductor pattern is 6.25. It is a sample as a comparative example. Sample SH620 is a sample as a comparative example having the same configuration as sample SH610 except that a thicker conductor pattern having a width of 235 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. As described above, the samples SH410, SH420, SH610, and SH620 are comparative examples corresponding to the configuration including only the raised portions in the inductor-embedded substrate according to the present invention.

一方、サンプルBC610は、基板上の中央部に隆起部が配設された、本発明の1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。具体的には、サンプルBC610は、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設された第1コイルと、磁性材料としてのフェライトからなる隆起部中に埋設された第2コイルを備えている(図6参照)。より詳細には、表1に示されているように、サンプルBC610は、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.4mmの外寸を有する基板上の中央部に、幅1.3mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.2mmの外寸を有する隆起部が配設された外観を有する。   On the other hand, sample BC610 is an example corresponding to the inductor-embedded substrate according to one embodiment of the present invention, in which a raised portion is disposed at the center of the substrate. Specifically, the sample BC 610 includes a first coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material and a second coil embedded in a raised portion made of ferrite as a magnetic material (FIG. 6). More specifically, as shown in Table 1, the sample BC610 has a width of 2.9 mm in width, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.4 mm in the center on the substrate. It has an appearance in which raised portions having outer dimensions of 1.3 mm, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.2 mm are disposed.

このフェライト製の基板中に、幅325μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が4.25回の第1コイルが形成されている。また、このフェライト製の隆起部の中に、幅325μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が2.25回の第2コイルが形成されている。尚、サンプルSH410においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、基板中の下から1番目の層と2番目の層との間及び下から5番目の層と6番目の層(隆起部中の最下層に該当する)との間にそれぞれ1層、並びに隆起部中の下から2番目の層と3番目の層との間に1層(即ち、合計で3層)の非磁性層が配設されている。   In the ferrite substrate, a first coil having a winding number of 4.25 is formed by a conductor pattern having a width of 325 μm and a height (thickness) of 10 μm. In addition, a second coil having a winding number of 2.25 is formed in the raised portion made of ferrite by a conductor pattern having a width of 325 μm and a height (thickness) of 10 μm. In Sample SH410, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, between the first layer and the second layer from the bottom and the fifth layer from the bottom in the substrate. And a sixth layer (corresponding to the bottom layer in the ridge), respectively, and one layer between the second and third layers from the bottom in the ridge (ie, total) 3 layers) of nonmagnetic layers are provided.

また、サンプルBC620は、幅300μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルBC610と同じ構成を有する、本発明のもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例としてのサンプルである。以上のように、サンプルBC610及びBC620は、本発明に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。   In addition, the sample BC 620 has the same configuration as the sample BC 610 except that a thicker conductor pattern having a width of 300 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. The inductor according to another embodiment of the present invention It is a sample as an example corresponding to a built-in substrate. As described above, the samples BC610 and BC620 are examples corresponding to the inductor-embedded substrate according to the present invention.

次に、サンプルBE610は、上記サンプルBC610やBC620においては、隆起部が基板上の中央部に配設されているのに対し、隆起部が基板上の一方の端に寄せて配設された、本発明のもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。具体的には、サンプルBE610は、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設された第1コイルと、基板上の一方の端に寄せて配設された磁性材料としてのフェライトからなる隆起部中に埋設された第2コイルを備えている(図7参照)。   Next, in the sample BE610, in the samples BC610 and BC620, the raised portion is arranged at the center portion on the substrate, whereas the raised portion is arranged close to one end on the substrate. It is an Example corresponding to the board | substrate with a built-in inductor which concerns on another embodiment of this invention. Specifically, the sample BE610 includes a first coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material, and a raised portion made of ferrite as a magnetic material disposed close to one end on the substrate. The second coil is embedded in (see FIG. 7).

より詳細には、表1に示されているように、サンプルBE610は、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.4mmの外寸を有する基板上の一方の端に寄せて、幅1.3mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.2mmの外寸を有する隆起部が配設された外観を有する。このフェライト製の基板中に、幅336μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が4.25回の第1コイルが形成されている。また、このフェライト製の隆起部の中に、幅336μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が2.25回の第2コイルが形成されている。尚、サンプルBE610においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、基板中の下から1番目の層と2番目の層との間及び下から5番目の層と6番目の層(隆起部中の最下層に該当する)との間にそれぞれ1層、並びに隆起部中の下から2番目の層と3番目の層との間に1層(即ち、合計で3層)の非磁性層が配設されている。   More specifically, as shown in Table 1, sample BE610 is brought to one end on a substrate having outer dimensions of 2.9 mm width, 2.3 mm depth, and 0.4 mm height (thickness). Thus, it has an appearance in which raised portions having outer dimensions of 1.3 mm in width, 2.3 mm in depth, and 0.2 mm in height (thickness) are disposed. In this ferrite substrate, a first coil having a winding number of 4.25 is formed by a conductor pattern having a width of 336 μm and a height (thickness) of 10 μm. In addition, a second coil having a winding number of 2.25 is formed in the ferrite raised portion by a conductor pattern having a width of 336 μm and a height (thickness) of 10 μm. In Sample BE610, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, the first and second layers from the bottom and the fifth layer from the bottom in the substrate. And a sixth layer (corresponding to the bottom layer in the ridge), respectively, and one layer between the second and third layers from the bottom in the ridge (ie, total) 3 layers) of nonmagnetic layers are provided.

また、サンプルBE620は、幅300μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルBC610と同じ構成を有する、本発明のもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例としてのサンプルである。以上のように、サンプルBE610及びBE620は、本発明に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。   In addition, the sample BE 620 has the same configuration as the sample BC 610 except that a thicker conductor pattern having a width of 300 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. The inductor according to another embodiment of the present invention It is a sample as an example corresponding to a built-in substrate. As described above, samples BE610 and BE620 are examples corresponding to the inductor-embedded substrate according to the present invention.

一方、サンプルCVTYWは、基板の周縁部上に隆起部を設け、隆起部によって囲まれるキャビティを基板の中央部近傍の上部に形成させた、比較例としてのサンプルである。具体的には、サンプルCVTYWは、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設された第1コイルと、磁性材料としてのフェライトからなる、基板の周縁部上に設けられた隆起部中に埋設された第2コイルを備えている。尚、サンプルCVTYWにおいては、第1コイルと第2コイルとが同じ断面形状を有するので、第1コイルと第2コイルとが1つの連続した螺旋構造を形成している(図8参照)。   On the other hand, the sample CVTYW is a sample as a comparative example in which a raised portion is provided on the peripheral portion of the substrate, and a cavity surrounded by the raised portion is formed in the upper portion near the central portion of the substrate. Specifically, the sample CVTYW is embedded in a first coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material and a raised portion provided on a peripheral portion of the substrate made of ferrite as a magnetic material. A second coil. In the sample CVTYW, the first coil and the second coil have the same cross-sectional shape, so that the first coil and the second coil form one continuous spiral structure (see FIG. 8).

より詳細には、表1に示されているように、サンプルCVTYWは、基板と基板の周縁部上に設けられた隆起部とによって、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)1.0mmの外寸を有する。加えて、基板の中央部近傍の上部には、基板の上面と基板の周縁部上に設けられた隆起部の内面とによって、幅2.2mm、奥行き1.85mm、高さ(深さ)0.6mmの内寸を有するキャビティ(空洞)隆起部が形成されている(図8においては、コイルを見易くする目的で、キャビティは図示されていない。基板及び隆起部の外観については、図9を参照)。このキャビティの大きさは、携帯端末において一般的に使用されるDC−DCコンバータを構成する回路素子(例えば、コンデンサやスイッチングIC等)を収容するのに必要な容積として算出したものである。   More specifically, as shown in Table 1, the sample CVTYW has a width of 2.9 mm, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) due to the substrate and the raised portions provided on the peripheral edge of the substrate. It has an outer dimension of 1.0 mm. In addition, at the upper part in the vicinity of the center of the substrate, the width is 2.2 mm, the depth is 1.85 mm, and the height (depth) is 0, due to the upper surface of the substrate and the inner surface of the raised portion provided on the peripheral edge of the substrate. A cavity ridge having an inner dimension of .6 mm is formed (in FIG. 8, the cavity is not shown for the purpose of making the coil easy to see. For the appearance of the substrate and the ridge, see FIG. 9). reference). The size of the cavity is calculated as a volume necessary to accommodate circuit elements (for example, a capacitor and a switching IC) that constitute a DC-DC converter generally used in a portable terminal.

上述のように、サンプルCVTYWにおいては、基板中の第1コイルと隆起部中の第2コイルとが一体となって、1つの連続した螺旋構造を呈するコイルを形成している。このコイルは、短辺部分については、幅100μm、高さ(厚み)30μm、長辺部分については、幅275μm、高さ(厚み)30μmの導電体パターンにより、巻き数が7.25回のコイルとして構成されている。尚、サンプルCVTYWにおいては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、基板及び隆起部を通して、下から2番目の層と3番目の層との間、下から4番目の層と5番目の層との間、及び下から6番目の層と7番目の層との間にそれぞれ1層(即ち、合計で3層)の非磁性層が配設されている。   As described above, in the sample CVTYW, the first coil in the substrate and the second coil in the raised portion are integrated to form a coil that exhibits one continuous spiral structure. This coil has a width of 100 μm and a height (thickness) of 30 μm for the short side portion, and a coil of 7.25 turns with a conductor pattern of a width of 275 μm and a height (thickness) of 30 μm for the long side portion. It is configured as. In the sample CVTYW, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, between the second and third layers from the bottom through the substrate and the raised portions, the four from the bottom One non-magnetic layer (that is, a total of three layers) is disposed between the first layer and the fifth layer, and between the sixth layer and the seventh layer from the bottom.

また、サンプルCVTYNは、短辺部分については、幅50μm、高さ(厚み)30μm、長辺部分については、幅225μm、高さ(厚み)30μmの、より細い導電体パターンにより、巻き数が6.25回のコイルが構成されていることを除き、サンプルCVTYWと同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。以上のように、サンプルCVTYW及びCVTYNは、基板と基板の周縁部上に設けられた隆起部とによって形成されるキャビティを有する構成に対応する比較例である。   Further, the sample CVTYN has a width of 50 μm and a height (thickness) of 30 μm for the short side portion, and a thin conductor pattern having a width of 225 μm and a height (thickness) of 30 μm for the long side portion. A sample as a comparative example having the same configuration as the sample CVTYW except that 25 coils are configured. As described above, the samples CVTYW and CVTYN are comparative examples corresponding to a configuration having a cavity formed by the substrate and the raised portion provided on the peripheral portion of the substrate.

次に、サンプルDC410は、上記サンプルLL310やLL320においては、基板中に埋設されるコイルが第1コイルのみ(即ち、一重)であるのに対し、基板中に埋設された第1コイルの内側に、もう1つのコイルが更に形成された、比較例である。サンプルDC410においては、本発明に係るインダクタ内蔵基板とは異なり、基板上に隆起部が配設されていない。具体的には、サンプルDC410は、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設された第1コイル及び第1コイルの内側に埋設された第3コイルを備えている(図10参照)。   Next, in the sample DC410, in the samples LL310 and LL320, the coil embedded in the substrate is only the first coil (that is, single), whereas the sample DC410 is located inside the first coil embedded in the substrate. This is a comparative example in which another coil is further formed. In the sample DC 410, unlike the inductor built-in substrate according to the present invention, the raised portion is not disposed on the substrate. Specifically, the sample DC 410 includes a first coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material and a third coil embedded inside the first coil (see FIG. 10).

より詳細には、表1に示されているように、サンプルDC410は、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.4mmの外寸を有する。このフェライト製の基板中に、幅386μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が4.25回の第1コイル及び第3コイルが形成されている。尚、サンプルDC410においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、基板中の下から1番目の層と2番目の層との間及び下から3番目の層と4番目の層との間にそれぞれ1層(即ち、合計で2層)の非磁性層が配設されている。   More specifically, as shown in Table 1, the sample DC 410 has outer dimensions of a width of 2.9 mm, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.4 mm. In the ferrite substrate, a first coil and a third coil having a winding number of 4.25 are formed by a conductor pattern having a width of 386 μm and a height (thickness) of 10 μm. In Sample DC410, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, the third layer from the bottom and the third layer from the bottom in the substrate. Between the first layer and the fourth layer, one non-magnetic layer (that is, two layers in total) is disposed.

また、サンプルDC420は、幅359μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルDC410と同じ構成を有する、比較例としてのサンプルである。以上のように、サンプルDC410及びDC420は、基板上に隆起部が配設されておらず、基板中に埋設されるコイルが二重化された構成に対応する比較例である。   Sample DC420 is a sample as a comparative example having the same configuration as sample DC410 except that a thicker conductor pattern having a width of 359 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. As described above, the samples DC410 and DC420 are comparative examples corresponding to the configuration in which the protruding portion is not provided on the substrate and the coils embedded in the substrate are duplicated.

次に、サンプルDB610は、上記サンプルDC410やDC420においては、基板上に隆起部が配設されていないのに対し、基板上の中央部に隆起部が配設された、本発明のもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。尚、サンプルDB610の基板中では、上記サンプルDC410やDC420と同様に、本発明の第2態様における第3コイルに該当するコイルが、第1コイルの内側に形成されている。具体的には、サンプルDB610は、磁性材料としてのフェライトからなる基板中に埋設された第1コイル及び第コイルの内側に埋設された第3コイル、並びに基板上の中央部に配設された磁性材料としてのフェライトからなる隆起部中に埋設された第2コイルを備えている(図11参照)。   Next, in the sample DB 610, in the samples DC410 and DC420, the ridge is not disposed on the substrate, whereas the ridge is disposed in the center on the substrate. It is an Example corresponding to the board | substrate with a built-in inductor which concerns on an embodiment. In the substrate of the sample DB 610, similarly to the samples DC410 and DC420, a coil corresponding to the third coil in the second aspect of the present invention is formed inside the first coil. Specifically, the sample DB 610 includes a first coil embedded in a substrate made of ferrite as a magnetic material, a third coil embedded inside the first coil, and a magnet disposed in the central portion on the substrate. A second coil embedded in a raised portion made of ferrite as a material is provided (see FIG. 11).

より詳細には、表1に示されているように、サンプルDB610は、幅2.9mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.4mmの外寸を有する基板上の中央部に、幅1.3mm、奥行き2.3mm、高さ(厚み)0.2mmの外寸を有する隆起部が配設された外観を有する。このフェライト製の基板中に、幅323μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が4.25回の第1コイル及び第3コイルが形成されている。また、このフェライト製の隆起部の中に、幅323μm、高さ(厚み)10μmの導電体パターンにより、巻き数が2.25回の第2コイルが形成されている。尚、サンプルDB610においては、表1に示されているように、導電体パターンを含む層のうち、基板中の下から1番目の層と2番目の層との間及び下から4番目の層と5番目の層との間にそれぞれ1層、並びに隆起部中の下から2番目の層と3番目の層との間に1層(即ち、合計で3層)の非磁性層が配設されている。   More specifically, as shown in Table 1, the sample DB 610 has a width of 2.9 mm in width, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.4 mm in the center on the substrate. It has an appearance in which raised portions having outer dimensions of 1.3 mm, a depth of 2.3 mm, and a height (thickness) of 0.2 mm are disposed. In this ferrite substrate, a first coil and a third coil having a winding number of 4.25 are formed by a conductor pattern having a width of 323 μm and a height (thickness) of 10 μm. In addition, a second coil having a winding number of 2.25 is formed in the raised portion made of ferrite by a conductor pattern having a width of 323 μm and a height (thickness) of 10 μm. In the sample DB 610, as shown in Table 1, among the layers including the conductor pattern, between the first and second layers from the bottom in the substrate and the fourth layer from the bottom. 1 layer each between the first layer and the fifth layer, and one non-magnetic layer between the second layer and the third layer from the bottom in the ridge (that is, three layers in total) Has been.

また、サンプルDB620は、幅311μm、高さ(厚み)20μmの、より太い導電体パターンが使用されていることを除き、サンプルDB610と同じ構成を有する、本発明のもう1つの実施態様に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例としてのサンプルである。以上のように、サンプルDB610及びDB620は、本発明に係るインダクタ内蔵基板に対応する実施例である。   In addition, the sample DB 620 has the same configuration as the sample DB 610 except that a thicker conductor pattern having a width of 311 μm and a height (thickness) of 20 μm is used. The inductor according to another embodiment of the present invention It is a sample as an example corresponding to a built-in substrate. As described above, the samples DB610 and DB620 are examples corresponding to the inductor-embedded substrate according to the present invention.

上述のような構成を有する各種インダクタ内蔵基板の特性測定について、以下に詳しく説明する。尚、表1に示すように、各種インダクタ内蔵基板の全てのサンプルについて、アジレント社のLCRメータ4285Aによって周波数を1MHzに固定した状態で測定されるインダクタンスが約1μHとなるように、個々のサンプルにおけるコイルの巻き数、断面積と非磁性層の数との組み合わせによって調整した。   Measurement of characteristics of various inductor-embedded substrates having the above-described configuration will be described in detail below. In addition, as shown in Table 1, for all samples of various inductor-embedded substrates, the inductance measured for each sample was about 1 μH with the frequency fixed at 1 MHz by Agilent's LCR meter 4285A. Adjustment was made by a combination of the number of coil turns, the cross-sectional area, and the number of nonmagnetic layers.

2.各種インダクタ内蔵基板の特性測定
表1に示すように、上述のような構成を有する各種インダクタ内蔵基板のそれぞれについて、直流抵抗及び重畳電流を測定した。それぞれの測定項目の測定方法につき、以下に説明する。
2. Measurement of Characteristics of Various Inductor-Incorporated Substrates As shown in Table 1, DC resistance and superimposed current were measured for each of the various inductor-incorporated substrates having the above-described configuration. The measurement method for each measurement item will be described below.

(1)直流抵抗
前述のように、携帯端末において使用される各種回路においては、回路素子等の電気抵抗を低減し、回路における損失を抑制することが、電池寿命の観点から重要である。ここでいう「直流抵抗」は、ケースレー社のマルチ・メータ(2000型)に4端子プローブを接続し、4端子法にて測定した。
(1) DC resistance As described above, in various circuits used in mobile terminals, it is important from the viewpoint of battery life to reduce the electrical resistance of circuit elements and the like and suppress the loss in the circuit. The “DC resistance” here was measured by a 4-terminal method by connecting a 4-terminal probe to a Keithley multimeter (2000 type).

(2)重畳電流
前述のように、昨今の益々の高機能化に伴って携帯端末に搭載される回路は益々多種多様になってきており、例えば、DC−DCコンバータ等の電源回路に流れる電流値も増大の一途を辿っている。一方、磁性材料中に埋設されたコイルに流れる電流が増大すると、前述の「直流重畳特性」に起因してコイルのインダクタンスが低下し、例えば、DC−DCコンバータの効率が低下する。あるいは、DC−DCコンバータ等の電源回路の出力電圧を平滑化する機能が低下する。その結果、過大な電流が出力側に流れる虞が高まり、例えば、携帯端末に含まれる追加回路の故障を招く等の虞が高まる。このような問題を低減するには、電流値の増大によるインダクタンスの低下が小さいインダクタが求められる。
(2) Superposed current As described above, with the recent increase in functionality, the circuits mounted on mobile terminals are becoming increasingly diverse. For example, the current flowing in a power supply circuit such as a DC-DC converter The value continues to increase. On the other hand, when the current flowing through the coil embedded in the magnetic material increases, the inductance of the coil decreases due to the aforementioned “direct current superposition characteristics”, for example, the efficiency of the DC-DC converter decreases. Or the function which smoothes the output voltage of power supply circuits, such as a DC-DC converter, falls. As a result, there is a high possibility that an excessive current flows to the output side, and for example, there is a high possibility that an additional circuit included in the mobile terminal will be broken. In order to reduce such a problem, an inductor in which a decrease in inductance due to an increase in current value is small is required.

インダクタンス及び重畳電流は、アジレント社のLCRメータ4285Aを用い、1MHzに周波数を固定した状態で、直流電流を重畳しながらインダクタンスを測定した。重畳電流は、直流電流が流れていない状態からインダクタンスが30%減少したときの値として求めた。   The inductance and the superimposed current were measured using an Agilent LCR meter 4285A with the frequency fixed at 1 MHz while superimposing the DC current. The superimposed current was obtained as a value when the inductance decreased by 30% from the state where no direct current was flowing.

前述のように、本明細書においては、直流電流重畳インダクタンス測定により、インダクタンス−直流電流バイアス(L−Idc)特性から求められる、インダクタンスが30%減少するバイアス電流値を、インダクタの直流重畳特性の指標として測定し、「重畳電流」と称する。   As described above, in the present specification, the bias current value at which the inductance is reduced by 30%, which is obtained from the inductance-DC current bias (L-Idc) characteristics, is measured by the DC current superposition inductance measurement. Measured as an index, referred to as “superimposed current”.

3.各種インダクタ内蔵基板の特性評価
上記のように測定した各種インダクタ内蔵基板の各特性は、前述のように、表1に列挙されている。損失が小さく、電流値が増大しても出力電圧の平滑化機能が低下しないインダクタ内蔵基板の特定としては、直流抵抗が低く、重畳電流が大きいことが望ましいと言える。そこで、表1に列挙されている、各種インダクタ内蔵基板における直流抵抗と重畳電流との関係を表すグラフを図12に示す。
3. Characteristic Evaluation of Various Inductor-Incorporated Substrates The characteristics of various inductor-incorporated substrates measured as described above are listed in Table 1 as described above. In order to specify a substrate with a built-in inductor that has a low loss and does not deteriorate the smoothing function of the output voltage even if the current value increases, it can be said that it is desirable that the DC resistance is low and the superimposed current is large. Therefore, FIG. 12 shows a graph showing the relationship between the direct current resistance and the superimposed current in various inductor-embedded substrates listed in Table 1.

上記のように、損失が小さく、電流値が増大しても出力電圧の平滑化機能が低下しないインダクタ内蔵基板の特定としては、直流抵抗が低く、重畳電流が大きいことが望ましい。即ち、直流抵抗を横軸とし、重畳電流を縦軸とする図12のようなグラフにおいては、グラフの左上にプロットがあるものほど、好ましい特性を有するインダクタ内蔵基板であると言うことができる。   As described above, in order to specify a substrate with a built-in inductor in which the loss is small and the smoothing function of the output voltage does not decrease even when the current value increases, it is desirable that the DC resistance is low and the superimposed current is large. That is, in the graph as shown in FIG. 12 in which the horizontal axis is the DC resistance and the vertical axis is the superimposed current, it can be said that the more the plot is in the upper left of the graph, the more preferable the substrate with built-in inductor.

図12に示すグラフにおいては、前述の比較例の各種サンプルについては白抜きのプロットで示されており(但し、キャビティ構造を有する比較例のサンプルCVTYW及びCVTYNについては×印のプロット)、本発明に係る各種サンプルについては黒塗りのプロットで示されている。より詳しくは、前述の比較例のサンプルLL310及びLL320(基板のみ)は白抜きの丸印で、SH410及びSH420(隆起部のみで、コイルの巻き数が少ない)は白抜きの三角印で、SH610及びSH620(隆起部のみで、コイルの巻き数が多い)は白抜きの四角印で、CVTYW及びCVTYN(キャビティ)は×印で、DC410及びDC420(基板中に二重コイルのみ)は白抜きの菱形印で、それぞれ示されており、本発明に係るサンプルBC610及びBC620(基板+中央に隆起部)は黒塗りの丸印で、BE610及びBE620(基板+端に隆起部)は黒塗りの三角印で、DB610及びDB620(基板中に二重コイル+中央に隆起部)は黒塗りの菱形印で、それぞれ示されている。   In the graph shown in FIG. 12, the various samples of the above-described comparative example are shown as white plots (however, the samples CVTYW and CVTYN of the comparative example having a cavity structure are plotted with x marks). The various samples are shown in black plots. More specifically, the samples LL310 and LL320 (only the substrate) of the comparative example described above are white circle marks, and SH410 and SH420 (only the raised portion and the number of windings of the coil are small) are white triangle marks, SH610. And SH620 (only the raised part and the number of windings of the coil) are white square marks, CVTYW and CVTYN (cavity) are marked with X, and DC410 and DC420 (only the double coil in the substrate) are white. Each of the samples BC610 and BC620 (substrate + raised portion at the center) according to the present invention is a black circle, and BE610 and BE620 (substrate + a raised portion at the end) are black triangles. The marks DB610 and DB620 (double coil in the substrate + protruding part in the center) are indicated by black rhombus marks, respectively.

先ず、基板中に二重コイルが埋設されているサンプル(DC410及びDC420、並びにDB610及びDB620)以外の各種サンプルにおいては、図12に示すグラフからも明らかなように、白抜きのプロットで表される比較例の各種サンプルと比較して、黒塗りのプロットで表される本発明に係る各種サンプルの方が、より低い直流抵抗において、より高い重畳電流を達成している(直流抵抗と重畳電流とのバランスが良い)。また、基板中に二重コイルが埋設されているサンプル(DC410及びDC420、並びにDB610及びDB620)同士を比較した場合でも、白抜きのプロットで表される比較例のサンプルと比較して、黒塗りのプロットで表される本発明に係るサンプルの方が、より低い直流抵抗において、より高い重畳電流を達成している(直流抵抗と重畳電流とのバランスが良い)。   First, various samples other than the samples (DC410 and DC420, and DB610 and DB620) in which the double coil is embedded in the substrate are represented by white plots as apparent from the graph shown in FIG. Compared with the various samples of the comparative example, the various samples according to the present invention represented by the black plots achieve higher superimposed currents at lower DC resistance (DC resistance and superimposed current). And a good balance). Even when samples (DC410 and DC420, and DB610 and DB620) in which the double coil is embedded in the substrate are compared with each other, the sample is painted black compared with the sample of the comparative example represented by the white plot. The sample according to the present invention represented by this plot achieves a higher superimposed current at a lower DC resistance (the balance between the DC resistance and the superimposed current is better).

具体的には、基板のみにコイルを埋設したサンプル(LL310及びLL320)や隆起部のみにコイルを埋設したサンプル(SH410及びSH420)については、直流抵抗が低い点は望ましいものの、何れも重畳電流が400mA前後と低い。また、巻き数を増やしたコイルを隆起部のみに埋設したサンプル(SH610及びSH620)についても、重畳電流が500mA前後までしか向上していない。   Specifically, for the samples (LL310 and LL320) in which the coil is embedded only in the substrate and the samples (SH410 and SH420) in which the coil is embedded only in the raised portion, it is desirable that the DC resistance is low, but the superimposed currents are both present. It is as low as around 400 mA. In addition, with respect to the samples (SH610 and SH620) in which the coil having an increased number of turns is embedded only in the raised portion, the superimposed current is improved only to around 500 mA.

更に、基板の周縁部上に隆起部を設け、隆起部によって囲まれるキャビティを基板の中央部近傍の上部に形成させたサンプル(CVTYW及びCVTYN)については、直流抵抗は著しく高く、重畳電流は著しく低い結果となった。これは、前述のように、キャビティを設けるために、コイルの導線を細く且つ長くせざるを得ないことから、直流抵抗値が上昇し、キャビティ周辺の磁性材料を肉薄にせざるを得ないことから、(第2)コイル近傍において磁束の集中による磁気飽和が起こり易くなったことに起因するものと考えられる。以上のように、比較例としての各種インダクタ内蔵基板においては、所望の特性を達成することはできなかった。   Furthermore, for the samples (CVTYW and CVTYN) in which a ridge is provided on the peripheral edge of the substrate and a cavity surrounded by the ridge is formed near the center of the substrate (CVTYW and CVTYN), the direct current resistance is remarkably high and the superimposed current is remarkably high. The result was low. This is because, as described above, in order to provide the cavity, the conductive wire of the coil has to be made thin and long, so that the DC resistance value is increased and the magnetic material around the cavity has to be thinned. (Second) It is considered that this is because magnetic saturation due to the concentration of magnetic flux is likely to occur near the coil. As described above, in the various inductor-embedded substrates as comparative examples, desired characteristics could not be achieved.

これに対し、磁性材料を含んでなる基板中に埋設された第1コイル及び磁性材料を含んでなる隆起部中に埋設された第2コイルを備える、本発明に係る各種サンプル(BC610及びBC620(隆起部が中央に配設)、及びBE610及びBE620(隆起部が端部に配設)においては、キャビティを有するサンプルを除く比較例の各種サンプルと殆ど同等の直流抵抗を維持しつつ、600mA前後から700mA近くに至る高い重畳電流を達成した。一方、基板中に埋設されたコイルを二重化した比較例のサンプルDC410及びDC420(基板中に二重コイルのみ。隆起部無し)は、基板中に埋設されたコイルを二重化した効果により、約670mAから約770mAという高い重畳電流を達成した。これに対し、基板中に埋設されたコイルを二重化した上に更に隆起部中に埋設された第2コイルを備える、本発明に係るサンプルDB610及びDB620においては、基板中に埋設されたコイルを二重化したのみの比較例のサンプルDC410及びDC420を更に上回る、約800〜900mAという非常に高い重畳電流を達成した。これらの基板中に埋設されたコイルを二重化したサンプル同士の比較からも、隆起部中に埋設された第2コイルの重畳特性の改善における効果が大きいことが認められる。   On the other hand, various samples according to the present invention (BC610 and BC620 () having a first coil embedded in a substrate including a magnetic material and a second coil embedded in a raised portion including a magnetic material. The ridges are arranged at the center), and BE610 and BE620 (the ridges are arranged at the ends), while maintaining almost the same DC resistance as the various samples of the comparative example except for the samples having cavities, around 600 mA. On the other hand, the comparative samples DC410 and DC420 (double coil only in the substrate, no ridge) embedded in the substrate were embedded in the substrate. Due to the effect of duplicating the coil formed, a high superimposed current of about 670 mA to about 770 mA was achieved, whereas it was embedded in the substrate. In the samples DB610 and DB620 according to the present invention, in which the second coil is further embedded in the raised portion in addition to the doubled coil, the samples DC410 and DC420 of the comparative example only in which the coil embedded in the substrate is only duplexed. A superposed current of about 800 to 900 mA, which is even higher than the above, was achieved, and the superposition characteristics of the second coil embedded in the raised portion were also found from a comparison between samples obtained by duplicating the coils embedded in these substrates. It is recognized that the effect on the improvement of is great.

以上の結果からも明らかなように、本発明に係るインダクタ内蔵基板においては、従来技術において小型化・低背化されたインダクタのように、コイルの直流抵抗の増大に伴う損失の増大や、コイルの小型化・低背化に伴う直流重畳特性の悪化を招くことが回避される。尚、前述のように、隆起部が形成されていない基板上のスペース及び/又は隆起部の上部のスペースには、本発明に係るインダクタ内蔵基板に内蔵されるインダクタ以外の回路素子(例えば、コンデンサ、各種IC(集積回路)等)や端子等を配設することができるので、回路全体としての小型化・低背化も十分に達成される。   As is clear from the above results, in the inductor-embedded substrate according to the present invention, like the inductor that has been reduced in size and reduced in height in the prior art, an increase in loss due to an increase in the DC resistance of the coil, It is avoided that the direct current superimposition characteristic is deteriorated due to the downsizing and the low profile. As described above, a circuit element (for example, a capacitor) other than the inductor built in the inductor-embedded substrate according to the present invention is provided in the space on the substrate where the raised portion is not formed and / or the space above the raised portion. , Various ICs (integrated circuits), etc.), terminals, and the like can be provided, so that the entire circuit can be sufficiently reduced in size and height.

以上、本発明を説明することを目的として、特定の構成有する幾つかの実施態様について説明してきたが、本発明の範囲は、これらの例示的な実施態様に限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書に記載された事項の範囲内で、適宜修正を加えることができることは言うまでも無い。   Although several embodiments having specific configurations have been described above for the purpose of illustrating the present invention, the scope of the present invention is not limited to these exemplary embodiments, and It goes without saying that appropriate modifications can be made within the scope of the above and the matters described in the specification.

11…基板、12…隆起部、21…インダクタ、22…コイル、23…コイルによって生ずる磁束、31…コンデンサ、及び41…スイッチングIC。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Board | substrate, 12 ... Raised part, 21 ... Inductor, 22 ... Coil, 23 ... Magnetic flux produced by a coil, 31 ... Capacitor, and 41 ... Switching IC.

Claims (7)

主として磁性材料を含んでなる基板、
前記基板中に埋設された導電体からなる第1コイル、
前記基板の少なくとも一方の面上に配設された、主として磁性材料を含んでなる隆起部、及び
前記隆起部中に埋設された導電体からなる第2コイル、
を含んでなり、
前記基板の前記一方の面に平行な平面による、前記隆起部の断面積が前記基板の断面積より小さいこと、
コイルの中心軸に垂直な平面による、前記第2コイルの断面積が前記第1コイルの断面積より小さいこと、及び
前記第2コイルが前記第1コイルと電気的に接続されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板。
A substrate mainly comprising a magnetic material,
A first coil made of a conductor embedded in the substrate;
A raised portion mainly including a magnetic material disposed on at least one surface of the substrate, and a second coil made of a conductor embedded in the raised portion,
Comprising
The cross-sectional area of the raised portion is smaller than the cross-sectional area of the substrate due to a plane parallel to the one surface of the substrate;
The cross-sectional area of the second coil is smaller than the cross-sectional area of the first coil due to a plane perpendicular to the central axis of the coil; and the second coil is electrically connected to the first coil;
A substrate with a built-in inductor.
請求項1に記載のインダクタ内蔵基板であって、
前記基板中に埋設された導電体からなる第3コイルであって、前記第1コイル及び前記第2コイルのうち少なくとも1つと電気的に接続された第3コイルを更に含んでなること
、並びに
前記第3コイルが前記第1コイルの内側又は外側に形成されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板。
The inductor-embedded substrate according to claim 1,
A third coil made of a conductor embedded in the substrate, further comprising a third coil electrically connected to at least one of the first coil and the second coil; and A third coil is formed inside or outside the first coil;
A substrate with a built-in inductor.
請求項1に記載のインダクタ内蔵基板であって、
前記基板及び/又は前記隆起部を構成する磁性材料中に、少なくとも1層の主として非磁性材料を含んでなる非磁性層を更に含んでなること、並びに
前記非磁性層が、前記第1コイル乃至前記第コイルのうち少なくと1つのコイルの中心軸と交差するように構成されていること、
を特徴とする、インダクタ内蔵基板。
The inductor-embedded substrate according to claim 1 ,
The magnetic material constituting the substrate and / or the raised portion further includes at least one nonmagnetic layer mainly including a nonmagnetic material, and the nonmagnetic layer includes the first coil to the first coil. that is configured to intersect the central axis of one coil also least one of the second coil,
A substrate with a built-in inductor.
請求項2に記載のインダクタ内蔵基板であって、The inductor-embedded substrate according to claim 2,
前記基板及び/又は前記隆起部を構成する磁性材料中に、少なくとも1層の主として非磁性材料を含んでなる非磁性層を更に含んでなること、並びにThe magnetic material constituting the substrate and / or the raised portion further includes at least one nonmagnetic layer mainly including a nonmagnetic material; and
前記非磁性層が、前記第1コイル乃至前記第3コイルのうち少なくとも1つのコイルの中心軸と交差するように構成されていること、The nonmagnetic layer is configured to intersect a central axis of at least one of the first to third coils;
を特徴とする、インダクタ内蔵基板。A substrate with a built-in inductor.
請求項1乃至請求項の何れか1項に記載のインダクタ内蔵基板を含んでなる電気回路。 An electric circuit comprising the inductor-embedded substrate according to any one of claims 1 to 4 . 請求項に記載の電気回路であって、前記電気回路が電源回路を構成することを特徴とする電気回路。 6. The electric circuit according to claim 5 , wherein the electric circuit constitutes a power supply circuit. 請求項に記載の電気回路であって、前記電源回路が直流・直流変換器を構成することを特徴とする電気回路。 7. The electric circuit according to claim 6 , wherein the power supply circuit constitutes a DC / DC converter.
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