JP5856278B1 - 改質方法並びにめっき皮膜付樹脂製品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
樹脂製品の表面の一部を無電解めっきが析出するように選択的に改質する改質方法であって、
紫外線を前記樹脂製品の表面の一部に照射する改質工程を含み、
前記改質工程においては、少なくとも2つの紫外光束による干渉パターンが前記樹脂製品の表面に形成されるように紫外線を照射することを特徴とする。
改質工程(S210)においては、紫外線が樹脂製品の表面の一部に照射される。この改質工程においては、少なくとも2つの紫外光束による干渉パターンが樹脂製品の表面に形成されるように、紫外線が照射される。この工程の結果、樹脂製品の表面の一部は無電解めっきが析出するように選択的に改質される。例えば、図6(A)に示される樹脂製品110は、その一部が改質される。図6(B)に示すように、改質された部分には改質部160が生じる。後述するように、一実施形態においては紫外線レーザを用いて改質が行われるため、レーザのアブレーション効果により樹脂製品110のレーザ照射部には凹部が形成され、この凹部に改質部160が形成される。
(明線位置)Δx=0,(m+0.5)・λ・l/d
(暗線位置)Δx=m・λ・l/d
上式において、明線位置及び暗線位置Δxは中心点Oからの距離を示し、中心点Oとは、スリットの中心を透過した紫外線が、回折しないと仮定した場合に樹脂製品110の表面に入射する点である。また、mは1以上の整数を表す。
(明線位置)Δx=0,m・λ・l/d
(暗線位置)Δx=(m−0.5)・λ・l/d
(明線位置)Δx=0,m・λ・l/d
(暗線位置)Δx=(m−0.5)・λ・l/d
E=Nhc/λ(KJ・mol−1)
N=6.022×1023mol−1(アボガドロ数)
h=6.626×10−37KJ・s(プランク定数)
c=2.988×108m・s−1(光速)
λ=光の波長(nm)
O2+hν(243nm以下)→O(3P)+O(3P)
O2+O(3P)→O3(オゾン)
O3+hν(310nm以下)→O2+O(1D)(活性酸素)
O(3P):基底状態酸素原子
O(1D):励起酸素原子(活性酸素)
F2エキシマレーザ :波長157nm
ArFエキシマレーザ :波長193nm
KrClエキシマレーザ:波長222nm
KrFエキシマレーザ:波長248nm
Xe2エキシマランプ :波長172nm
KrBrエキシマランプ:波長206nm
KrClエキシマランプ:波長222nm
めっき工程(S220)においては、図6(C)に示されるように、改質工程において表面が改質された樹脂製品110の表面に、めっき皮膜170が形成される。こうして、めっき皮膜付樹脂製品190が製造される。改質工程においては、所望の改質部160にめっき皮膜170が析出するように選択的な改質が行われている。したがって、例えば樹脂製品110の全体をめっき液に浸漬した場合であっても、所望の改質部160に選択的にめっき皮膜170が析出する。また、所望の部分に隣接する部分にはめっきは析出しない。従って、めっき皮膜170の形成後にフォトリソグラフィー及びエッチング等の方法でめっき皮膜をパターニングすることは必須ではない。
1.(アルカリ処理)樹脂製品110をアルカリ溶液に浸漬し、脱脂を行い、親水性を高める。アルカリ溶液の例としては、水酸化ナトリウム水溶液等が挙げられる。
2.(コンディショナ処理)樹脂製品110と触媒イオンとのバインダーを含有する溶液に樹脂製品110を浸漬する。バインダーの例としては、カチオンポリマー等が挙げられる。
3.(アクチベーター処理)樹脂製品110を触媒イオン入りの溶液に浸漬する。触媒イオンの例としては、塩酸酸性パラジウム錯体のようなパラジウム錯体等が挙げられる。
4.(アクセレレーター処理)還元剤を含有する溶液に樹脂製品110を浸漬し、触媒イオンを還元及び析出させる。還元剤の例としては、水素ガス、ジメチルアミンボラン及び水素化ホウ素ナトリウム等が挙げられる。
5.(無電解めっき処理)析出した触媒上にめっき皮膜170を析出させる。
(基板処理)
実験1においては、無電解めっき用基板として、樹脂材料であるシクロオレフィンポリマー材(日本ゼオン株式会社製,ゼオノアフィルムZF−16,膜厚100μm)を用いた。
1.50℃の純水で3分間超音波洗浄
2.50℃のアルカリ洗浄液(水酸化ナトリウム3.7%含有)に3分間浸漬
3.50℃の純水で3分間超音波洗浄
4.乾燥
次に、基板の所望部分に対して紫外線レーザを照射した。実験1で用いた紫外線レーザの詳細について以下に示す。
紫外線レーザ:ArFエキシマレーザ(主波長193nm)
紫外線レーザ照射機:コヒレント社製LPXpro305
照射条件:周波数50Hz,パルス幅25ns,200パルス
1パルス当たりの照射面エネルギー密度:100mJ/cm2
低圧水銀ランプ:サムコ社製UV−300(主波長185nm,254nm)
照射距離3.5cmにおける照度:5.40mW/cm2(254nm)
1.35mW/cm2(185nm)
次に、改質工程において紫外線を照射した基板に対し、無電解めっきを行うめっき工程を行った。無電解めっき液としては、JCU社製Cu−Niめっき液セット「AISL」を使用した。めっき工程における具体的な処理を表1に示す。
照射工程においてレーザの照射回数を変えたことを除いては、実験1と同様に改質工程及びめっき工程を行い、レーザを照射した部位にめっき皮膜が形成されるか否かを観察した。結果を表2に示す。表2において、○はめっきが析出したことを、×はめっきが析出しなかったことを示す。
改質工程においてレーザの照射回数を変えたこと、及びさらなる改質処理において紫外線を3分間照射したことを除いては、実験1と同様に改質工程及びめっき工程を行い、レーザを照射した部位にめっき皮膜が形成されるか否かを観察した。結果を表3に示す。表3において、○はめっきが析出したことを、×はめっきが析出しなかったことを示す。
基板としては、樹脂材料であるシクロオレフィンポリマー材(日本ゼオン株式会社製,ゼオノアフィルムZF−16,膜厚100μm)を用いた。
1.50℃の純水で3分間超音波洗浄
2.50℃のアルカリ洗浄液(水酸化ナトリウム3.7%含有)に3分間浸漬
3.50℃の純水で3分間超音波洗浄
4.乾燥
紫外線レーザ:ArFエキシマレーザ(主波長193nm)
紫外線レーザ照射機:コヒレント社製LPXpro305
照射条件:周波数50Hz,パルス幅25ns,40パルス
1パルス当たりの照射面エネルギー密度:100mJ/cm2
紫外線レーザ照射器からは、光学系を介して、4.5cm×1.5mmの面状の紫外線レーザが石英クロムマスクへと照射された。図1に示すように、この紫外線レーザで石英クロムマスク上を走査することにより、基板表面の改質を行った。走査は、石英クロムマスク上のそれぞれの箇所に40パルスのレーザが照射されるように行われた。
低圧水銀ランプ:サムコ社製UV−300(主波長185nm,254nm)
照射距離:3.5cm
照射時間:2分30秒間
照射距離3.5cmにおける照度:5.40mW/cm2(254nm)
1.35mW/cm2(185nm)
次に、改質工程において紫外線を照射した基板に対し、無電解めっきを行うめっき工程を行った。具体的には、まず、基板に対してアルカリ処理を行った。すなわち、JCU社製Cu−Niめっき液セット「AISL」で使用されるアルカリ処理液を50℃に加熱して基板を3分間浸漬した。その後、基板を純水で洗浄した。
130 透過部
120 遮蔽部材
150 紫外線の照射範囲
S210 改質工程
S220 めっき工程
310 紫外線
Claims (15)
- 樹脂製品の表面の一部を無電解めっきが析出するように選択的に改質する改質方法であって、
紫外線を前記樹脂製品の表面の一部に照射する改質工程を含み、
前記改質工程においては、少なくとも2つの紫外光束による干渉パターンが前記樹脂製品の表面に形成されるように紫外線を照射することを特徴とする、改質方法。 - 前記改質工程においては、紫外線透過部を備える遮蔽部材を介して前記紫外線が前記樹脂製品の表面の一部に照射され、
前記干渉パターンは前記紫外線透過部を透過した少なくとも2つの紫外光束により形成されることを特徴とする、請求項1に記載の改質方法。 - 樹脂製品の表面の一部を無電解めっきが析出するように選択的に改質する改質方法であって、
紫外線透過部を備える遮蔽部材を介して紫外線を前記樹脂製品の表面の一部に照射する改質工程を含み、
前記遮蔽部材は、当該遮蔽部材を透過する紫外線を集光する集光手段を有することを特徴とする、改質方法。 - 前記紫外線透過部はスリットであることを特徴とする、請求項2又は3に記載の改質方法。
- 前記スリットの幅は、前記スリットを透過した紫外線により無電解めっきが析出するように改質される前記樹脂製品の表面の一部の幅よりも大きいことを特徴とする、請求項4に記載の改質方法。
- 前記スリットを透過した紫外線の、前記樹脂製品の表面における照射範囲が、縞状であることを特徴とする、請求項4又は5に記載の改質方法。
- 前記紫外線透過部は回折格子であることを特徴とする、請求項2又は3に記載の改質方法。
- 線状の照射範囲を有する紫外線で、前記遮蔽部材を介して前記樹脂製品の表面を走査することにより、前記紫外線を前記樹脂製品の表面に照射することを特徴とする、請求項2乃至7の何れか1項に記載の改質方法。
- 前記紫外線の照射は、酸素とオゾンとの少なくとも一方を含む雰囲気下で行われることを特徴とする、請求項1乃至8の何れか1項に記載の改質方法。
- 前記紫外線は、243nm以下の波長を有する紫外線レーザであることを特徴とする、請求項1乃至9の何れか1項に記載の改質方法。
- 前記改質工程において、前記紫外線レーザを照射した後に、さらに前記樹脂製品の表面の一部を包含する領域に対してさらなる改質処理を行うことを特徴とする、請求項10に記載の改質方法。
- 前記さらなる改質処理は、酸素とオゾンとの少なくとも一方を含む雰囲気下で、紫外線ランプ又は紫外線LEDを用いて、前記樹脂製品の表面の一部を包含する領域に対して243nm以下の波長を有する紫外線を照射する処理であることを特徴とする、請求項11に記載の改質方法。
- 前記樹脂製品の表面が、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリビニル、及びポリカーボネートのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする、請求項1乃至12の何れか1項に記載の改質方法。
- 請求項1乃至13の何れか1項に記載の改質方法により樹脂製品の表面の一部を選択的に改質する改質工程と、
無電解めっきにより前記樹脂製品の表面の一部にめっき皮膜を形成するめっき工程と、
を有することを特徴とするめっき皮膜付樹脂製品の製造方法。 - 樹脂製品の表面の一部を無電解めっきが析出するように選択的に改質する改質方法であって、
紫外線を前記樹脂製品の表面の一部に照射する改質工程を含み、
前記改質工程においては、紫外線による干渉パターンが前記樹脂製品の表面に形成されるように紫外線を照射することを特徴とする、改質方法。
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JP5654154B1 (ja) * | 2013-08-09 | 2015-01-14 | キヤノン・コンポーネンツ株式会社 | 樹脂製品及び金属皮膜付樹脂製品を製造する方法、金属皮膜付樹脂製品、並びに配線板 |
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JP6644636B2 (ja) * | 2016-05-24 | 2020-02-12 | キヤノンマシナリー株式会社 | コーティング膜形成方法 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0687964A (ja) * | 1992-09-09 | 1994-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂表面の改質方法および無電解メッキ形成方法および前記方法を用いて製造された小型電子回路基板 |
JPH06256548A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-13 | Agency Of Ind Science & Technol | フッ素系高分子成形品の化学めっき方法 |
JP2006057059A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面導電性材料の製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0687964A (ja) * | 1992-09-09 | 1994-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂表面の改質方法および無電解メッキ形成方法および前記方法を用いて製造された小型電子回路基板 |
JPH06256548A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-13 | Agency Of Ind Science & Technol | フッ素系高分子成形品の化学めっき方法 |
JP2006057059A (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面導電性材料の製造方法 |
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